JP2005193232A - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wの表面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、往路と復路に沿って往復移動される搬送台10と、この搬送台10に回転可能に設けられ、上記基板Wを保持するテーブル3と、このテーブル3の上側に設けられ、上記搬送台10の移動方向と交差する方向に沿って並設された複数のノズルを有するヘッド7と、上記搬送台10に設けられ、上記テーブル3を回転駆動する駆動モータ19と、上記駆動モータ19により上記テーブル3を往路復路別に回転させ、上記基板Wの向きを変更してから、上記搬送台10を上記往路復路に沿って移動させることで上記基板Wを上記ヘッド7に通過させる制御装置62とを具備する。
【選択図】 図1
Description
Claims (4)
- 基板の表面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
往路と復路に沿って往復移動される搬送台と、
上記搬送台に回転可能に設けられ、上記基板を保持するテーブルと、
上記テーブルの上側に設けられ、上記搬送台の移動方向と交差する方向に沿って並設された複数のノズルを有するヘッドと、
上記搬送台に設けられ、上記テーブルを回転駆動する駆動モータと、
上記駆動モータにより上記テーブルを往路復路別に回転させ、上記基板の向きを変更してから、上記搬送台を上記往路復路に沿って移動させることで、上記基板を上記ヘッドに通過させる制御手段と、
を具備することを特徴とする塗布装置。 - 基板の表面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記基板を第1の方向に搬送する第1の搬送手段と、
上記第1の搬送手段により搬送される基板の上側に設けられ、上記第1の方向と交差する方向に沿って並設された複数のノズルを有する第1のヘッドと、
上記基板を上記第1の方向と交差する第2の方向に搬送する第2の搬送手段と、
上記第2の搬送手段により搬送される基板の上側に設けられ、上記第2の方向と交差する方向に沿って並設された複数のノズルを有する第2のヘッドと、
を具備することを特徴とする塗布装置。 - ヘッドに並設された複数のノズルから溶液を噴射して、その下側を搬送される基板の表面に上記溶液を塗布する塗布方法において、
上記基板を搬送し、その表面に上記ノズルから溶液を噴射塗布する第1の塗布工程と、
上記第1の塗布工程終了後、上記基板を所定の角度だけ回転し、その向きを上記ノズルの並設方向に対して相対的に変える回転工程と、
上記回転工程終了後、上記基板を再び搬送し、その表面に上記ノズルから溶液を噴射塗布する第2の塗布工程と、
を具備することを特徴とする塗布方法。 - 基板の表面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記基板を保持するテーブルと、
上記テーブルの上側に設けられ、複数のノズルが並設されてなるヘッドと、
上記テーブルと上記ヘッドとを上記複数のノズルの並設方向に交差する方向で相対的に移動させる駆動手段と、
上記テーブルを回転駆動させる駆動モータと、
上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記基板の表面に溶液を噴射塗布する第1の塗布と、この第1の塗布の後、上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記基板の表面に溶液を噴射塗布する第2の塗布とで、上記基板の向きを変更するように上記駆動モータを制御する制御手段と、
を具備することを特徴とする塗布装置。
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