JP2005137971A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 基板に溶液をインクジェット方式によって供給する溶液の供給装置において、
   上面に上記基板を載置して所定方向に駆動される搬送テーブルと、
   上記搬送テーブルの上方に配置され、上記溶液を液滴状に噴射塗布する複数のノズルを上記所定方向に対して交差する方向に沿って設けたヘッドと、
   上記基板に噴射塗布される溶液の塗布データがパターン化されて記憶されるメモリと、
   上記搬送テーブルの上記所定方向の移動を検出する検出手段と、
   この検出手段が検出する上記基板の所定方向への移動に応じて、上記メモリに記憶されたパターン化データに基づいて上記ヘッドの所定のノズルから溶液を噴射させる制御手段と
   を具備したことを特徴とする溶液の供給装置。
2. 上記パターン化データは、上記ヘッドによる塗布領域を、上記所定方向における各ドットの溶液を塗布する部分と、塗布しない部分とにパターン化されたものであることを特徴とする請求項１記載の溶液の供給装置。
3. 上記ヘッドは上記所定方向に対して交差する方向に沿って複数設けられ、上記メモリは各ヘッドにそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の溶液の供給装置。
4. 複数のヘッドに形成された複数のノズルから所定方向に搬送される基板に対して溶液を噴射塗布する溶液の供給方法において、
   上記溶液の塗布データをパターン化して記憶する工程と、
   上記所定方向に搬送される上記基板の搬送位置を検出する工程と、
   上記基板の搬送位置の検出に基づいてパターン化されたデータによって各ヘッドの所定のノズルから溶液を噴射させる工程と
   を具備したことを特徴とする溶液の供給方法。