JP4785376B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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- 基板の表面に溶液の液滴を噴射塗布する塗布装置において、
往路と復路に沿って往復移動される搬送台と、
上記搬送台に回転可能に設けられ、上記基板を保持するテーブルと、
上記テーブルの上側に設けられ、上記搬送台の移動方向とは交差する方向に沿って並設された複数のノズルを有するヘッドと、
上記搬送台に設けられ、上記テーブルを回転駆動する駆動モータと、
上記駆動モータを制御する制御手段とを有し、
上記制御手段は、上記搬送台を移動させることで上記基板を移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記溶液の液滴を噴射塗布する第1の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列と、上記搬送台を移動させることで上記基板を移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記溶液の液滴を噴射塗布する第2の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列とが交差して配置されるように、上記第1の塗布時に対して上記第2の塗布時の上記基板の向きを変更するように上記駆動モータを制御する
ことを特徴とする塗布装置。 - ヘッドに並設された複数のノズルから溶液の液滴を噴射して、その下側を搬送される基板の表面に上記溶液の液滴を塗布する塗布方法において、
上記基板を搬送し、その表面に上記ノズルから溶液の液滴を噴射し上記液滴の列を形成する第1の塗布工程と、
上記第1の塗布工程終了後、上記基板を所定の角度だけ回転し、その向きを上記ノズルの並設方向に対して相対的に変える回転工程と、
上記回転工程終了後、上記基板を再び搬送し、その表面に上記ノズルから溶液の液滴を噴射し上記第1の塗布工程で形成された液滴の列に交差するように上記液滴の列を形成する第2の塗布工程と、
を具備することを特徴とする塗布方法。 - 基板の表面に溶液の液滴を噴射塗布する塗布装置において、
上記基板を保持するテーブルと、
上記テーブルの上側に設けられ、複数のノズルが並設されてなる複数のヘッドと、
上記テーブルと上記ヘッドとを上記複数のノズルの並設方向に交差する方向で相対的に移動させる駆動手段と、
上記テーブルを回転駆動させる駆動モータと、
上記駆動モータを制御する制御手段とを有し、
上記制御手段は、上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記基板の表面に上記溶液の液滴を噴射塗布する第1の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列と、この第1の塗布の後、上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記基板の表面に上記溶液の液滴を噴射塗布する第2の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列とが交差して配置されるように、上記第1の塗布時に対して上記第2の塗布時の上記基板の向きを変更するように上記駆動モータを制御することを特徴とする塗布装置。
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