JPH0629559A - 太陽電池の電極形成装置 - Google Patents
太陽電池の電極形成装置Info
- Publication number
- JPH0629559A JPH0629559A JP4182266A JP18226692A JPH0629559A JP H0629559 A JPH0629559 A JP H0629559A JP 4182266 A JP4182266 A JP 4182266A JP 18226692 A JP18226692 A JP 18226692A JP H0629559 A JPH0629559 A JP H0629559A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- electrode
- solar cell
- solar battery
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スクリーン印刷に代わる電極形成装置を得
る。 【構成】 太陽電池１０を移載容器７に乗せコンベア１
２により移動させる。ペースト吐出機構１を太陽電池１
０の表面に接触させ、太陽電池１０を左方に動かすと横
に長くペーストを塗布することができる。
る。 【構成】 太陽電池１０を移載容器７に乗せコンベア１
２により移動させる。ペースト吐出機構１を太陽電池１
０の表面に接触させ、太陽電池１０を左方に動かすと横
に長くペーストを塗布することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、太陽電池製造の際の電
極、特に受光面電極のような一方向に長い電極の形成装
置に関するものである。
極、特に受光面電極のような一方向に長い電極の形成装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、太陽電池の製造工程の１つである
受光面電極の形成には、蒸着法，メッキ法，印刷法とい
った方法がある。大量生産のためには、生産性に富み、
自動化もしやすいということで印刷法が盛んに用いられ
ている。
受光面電極の形成には、蒸着法，メッキ法，印刷法とい
った方法がある。大量生産のためには、生産性に富み、
自動化もしやすいということで印刷法が盛んに用いられ
ている。
【０００３】この印刷法は、ｎ+ ｐ型の太陽電池セルに
対しては、銀粉末とガラス粉末および有機バインダを有
機溶剤とともに混合し作成したペーストを、セル上面に
電極形状にスクリーン印刷を行なうもので、この後、乾
燥，焼成して電極を形成する。
対しては、銀粉末とガラス粉末および有機バインダを有
機溶剤とともに混合し作成したペーストを、セル上面に
電極形状にスクリーン印刷を行なうもので、この後、乾
燥，焼成して電極を形成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述の印刷法において
は、スクリーンメッシュが目詰りを起こし、グリッド状
電極が断線したり、印刷開始時と時間が経過した後で
は、スクリーンマスク上のペースト中の溶媒の蒸発乾固
により、いわゆるスキージ（ゴムロール）とスクリーン
マスクとの間の距離が変わることにより、グリッド状電
極の線幅が変化したり、また、わずかな衝撃でマスクが
破れるということがある。一度目詰りを起こすと、有機
溶媒でマスク面を拭かなければならず、これは人手を介
するやっかいなことである。
は、スクリーンメッシュが目詰りを起こし、グリッド状
電極が断線したり、印刷開始時と時間が経過した後で
は、スクリーンマスク上のペースト中の溶媒の蒸発乾固
により、いわゆるスキージ（ゴムロール）とスクリーン
マスクとの間の距離が変わることにより、グリッド状電
極の線幅が変化したり、また、わずかな衝撃でマスクが
破れるということがある。一度目詰りを起こすと、有機
溶媒でマスク面を拭かなければならず、これは人手を介
するやっかいなことである。
【０００５】本発明の目的は、スクリーン印刷に代わる
電極形成装置により、印刷法による電極の断線、電極の
線幅の変化、スクリーンの破れに伴うマスク交換または
有機溶剤によるマスク払拭といったトラブルをなくすこ
とにある。
電極形成装置により、印刷法による電極の断線、電極の
線幅の変化、スクリーンの破れに伴うマスク交換または
有機溶剤によるマスク払拭といったトラブルをなくすこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の電極形成装置に
おいては、先端に微小な穴のあいたペーストを吐出させ
るためのノズルを任意の数並べたペースト吐出機構と、
これらのノズルを上下させるための機構と、太陽電池を
電極形成方向に移動するための機構と、これらの機構を
タイミングよく制御して電極パターンを形成するように
した制御手段とを設けた。
おいては、先端に微小な穴のあいたペーストを吐出させ
るためのノズルを任意の数並べたペースト吐出機構と、
これらのノズルを上下させるための機構と、太陽電池を
電極形成方向に移動するための機構と、これらの機構を
タイミングよく制御して電極パターンを形成するように
した制御手段とを設けた。
【０００７】
【作用】太陽電池の表面の電極形成予定位置の一方の端
部にノズルが軽く接触することで、粘性をもったペース
トが太陽電池に付着し、次にノズルを少し上に引上げ、
同時に太陽電池を電極形成方向に移動させると、ペース
トは糸状に伸びる。太陽電池表面の電極形成予定位置の
他方の端部にノズルが到達すると、再びノズルを下にお
ろし、太陽電池表面と接触させる。このようにしてペー
ストを太陽電池表面に付着させる。
部にノズルが軽く接触することで、粘性をもったペース
トが太陽電池に付着し、次にノズルを少し上に引上げ、
同時に太陽電池を電極形成方向に移動させると、ペース
トは糸状に伸びる。太陽電池表面の電極形成予定位置の
他方の端部にノズルが到達すると、再びノズルを下にお
ろし、太陽電池表面と接触させる。このようにしてペー
ストを太陽電池表面に付着させる。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の側面図である。
【０００９】コンベア１２の上部には、複数の移載容器
７，７…が載置され、図の矢印のように左方に移動され
る。各移載容器７の上方には、太陽電池１０が載せられ
抑え板９で支持されている。
７，７…が載置され、図の矢印のように左方に移動され
る。各移載容器７の上方には、太陽電池１０が載せられ
抑え板９で支持されている。
【００１０】太陽電池１０に対向するように、ペースト
吐出機構１が設けられている。ペースト吐出機構１のノ
ズル３はペースト溜２の下方に取付けられ、これらはフ
レーム５を上下動させることにより、太陽電池１０の表
面と接触したり離れたりすることができる。ペースト吐
出機構１と、これを上下に移動する機構およびコンベア
のような太陽電池を移動する機構は、制御装置１３によ
り制御される。上記の各部の構造については以下に詳述
する。
吐出機構１が設けられている。ペースト吐出機構１のノ
ズル３はペースト溜２の下方に取付けられ、これらはフ
レーム５を上下動させることにより、太陽電池１０の表
面と接触したり離れたりすることができる。ペースト吐
出機構１と、これを上下に移動する機構およびコンベア
のような太陽電池を移動する機構は、制御装置１３によ
り制御される。上記の各部の構造については以下に詳述
する。
【００１１】本発明において使用される太陽電池は、例
えば、図９に示されるように、５０ｍｍ角、厚みが３０
０μｍであり、太陽電池１０の表面の中心に４００μｍ
程度の幅の１本の主電極２０を形成し、これと直角に複
数のグリッド状のサブ電極２１，２１…が１本の線幅が
約１００μｍ，ピッチ３ｍｍで１６本並んで形成されて
いる。
えば、図９に示されるように、５０ｍｍ角、厚みが３０
０μｍであり、太陽電池１０の表面の中心に４００μｍ
程度の幅の１本の主電極２０を形成し、これと直角に複
数のグリッド状のサブ電極２１，２１…が１本の線幅が
約１００μｍ，ピッチ３ｍｍで１６本並んで形成されて
いる。
【００１２】電極用ペーストとしては、銀，ガラス粉
末，有機バインダ，有機溶剤の混合物を用い、粘度は２
４０００ｃｐｓに調節してある。
末，有機バインダ，有機溶剤の混合物を用い、粘度は２
４０００ｃｐｓに調節してある。
【００１３】図２は、サブ電極２１を形成する場合の、
ペースト吐出機構１の斜視図である。これは以下のよう
に構成される。ペーストを溜めるペースト溜２の下方
に、先端に穴のあいたノズル３がサブ電極２１の本数に
対応するように１６個並んでいる。ペースト溜２には、
チューブ４によりペーストが外部から補給される。ペー
スト吐出機構１はフレーム５により支持され、ギアとモ
ータ６により上下に移動される。
ペースト吐出機構１の斜視図である。これは以下のよう
に構成される。ペーストを溜めるペースト溜２の下方
に、先端に穴のあいたノズル３がサブ電極２１の本数に
対応するように１６個並んでいる。ペースト溜２には、
チューブ４によりペーストが外部から補給される。ペー
スト吐出機構１はフレーム５により支持され、ギアとモ
ータ６により上下に移動される。
【００１４】図３は、ペースト溜２とノズル３の断面図
である。これらは中空になった金属製の容器でできてお
り、ノズル部は直径２００μｍの穴があいている。
である。これらは中空になった金属製の容器でできてお
り、ノズル部は直径２００μｍの穴があいている。
【００１５】図４は、太陽電池を運ぶための移載容器７
の斜視図である。図５は、図４のＡ−Ａ′に切った断面
である。厚みが３００μｍの太陽電池を動かないように
載せるために、内側の面の高さを３２０μｍ，幅を５１
ｍｍとした壁８で囲み、中央部はくり抜いて穴７−１が
設けられている。本実施例の場合、太陽電池の受光面を
上にして壁８の中に入れる。この状態で太陽電池は横の
移動を行なうこととなる。太陽電池を取出すときは、図
６に示すように、移載容器７の下方からプランジャ１１
を、穴７−１から上方に押し上げ太陽電池１０を上に押
し出す。
の斜視図である。図５は、図４のＡ−Ａ′に切った断面
である。厚みが３００μｍの太陽電池を動かないように
載せるために、内側の面の高さを３２０μｍ，幅を５１
ｍｍとした壁８で囲み、中央部はくり抜いて穴７−１が
設けられている。本実施例の場合、太陽電池の受光面を
上にして壁８の中に入れる。この状態で太陽電池は横の
移動を行なうこととなる。太陽電池を取出すときは、図
６に示すように、移載容器７の下方からプランジャ１１
を、穴７−１から上方に押し上げ太陽電池１０を上に押
し出す。
【００１６】図７に示すように、移載容器７を横に複数
並べて太陽電池を移動する際に、太陽電池が何らかの事
情で表に飛び出したり、また、後述するように、ペース
トが太陽電池の側面または裏面に付着しないよう、押さ
え板９を各太陽電池の間にはめ込む。これは、隣接する
太陽電池の端約２ｍｍを隠す形として、この端約２ｍｍ
をペーストの付着から保護するものである。
並べて太陽電池を移動する際に、太陽電池が何らかの事
情で表に飛び出したり、また、後述するように、ペース
トが太陽電池の側面または裏面に付着しないよう、押さ
え板９を各太陽電池の間にはめ込む。これは、隣接する
太陽電池の端約２ｍｍを隠す形として、この端約２ｍｍ
をペーストの付着から保護するものである。
【００１７】次に、太陽電池にペーストを付着するため
の方法について述べる。図１において、太陽電池の移動
は右から左へとする。１つ前の太陽電池のペースト付着
が終わると、太陽電池１０は左側に移動する。そして、
太陽電池１０の左側端部より約３ｍｍのところで、ペー
スト吐出機構１は下に下がり、太陽電池１０の表面に一
旦接触した後約５ｍｍ上に上がり、太陽電池１０は秒速
５０ｍｍ／ｓの速度で左に移動する。そして、太陽電池
１０右側の端より約３ｍｍの位置にペースト吐出機構１
が到達すると、再び下に下がり太陽電池１０の表面と接
触し、その直後に約５ｍｍ上に上がる。そして、次の太
陽電池の左橋約３ｍｍのところに来ると、ペースト吐出
機構１は再び下に下がる。
の方法について述べる。図１において、太陽電池の移動
は右から左へとする。１つ前の太陽電池のペースト付着
が終わると、太陽電池１０は左側に移動する。そして、
太陽電池１０の左側端部より約３ｍｍのところで、ペー
スト吐出機構１は下に下がり、太陽電池１０の表面に一
旦接触した後約５ｍｍ上に上がり、太陽電池１０は秒速
５０ｍｍ／ｓの速度で左に移動する。そして、太陽電池
１０右側の端より約３ｍｍの位置にペースト吐出機構１
が到達すると、再び下に下がり太陽電池１０の表面と接
触し、その直後に約５ｍｍ上に上がる。そして、次の太
陽電池の左橋約３ｍｍのところに来ると、ペースト吐出
機構１は再び下に下がる。
【００１８】ペースト吐出機構１には、ペースト補給時
常に圧力がかけられ、太陽電池１０との接触の間すべて
においてペーストは少しずつノズル３より出ており、ペ
ーストの粘度が高いために糸状に引伸ばされた状態で太
陽電池の表面に付着することとなる。したがって、太陽
電池から次の太陽電池への移動に際しても、ペーストは
連続して出ているが、押さえ板９の上を通過することに
より、太陽電池の側面への付着、および裏面への流れ込
みによる付着を防ぐことができる。各太陽電池の境界で
ペーストの吐出を中止することもできるが、ノズルの目
詰りを生ずるおそれがある。
常に圧力がかけられ、太陽電池１０との接触の間すべて
においてペーストは少しずつノズル３より出ており、ペ
ーストの粘度が高いために糸状に引伸ばされた状態で太
陽電池の表面に付着することとなる。したがって、太陽
電池から次の太陽電池への移動に際しても、ペーストは
連続して出ているが、押さえ板９の上を通過することに
より、太陽電池の側面への付着、および裏面への流れ込
みによる付着を防ぐことができる。各太陽電池の境界で
ペーストの吐出を中止することもできるが、ノズルの目
詰りを生ずるおそれがある。
【００１９】図８は、この装置により連続して太陽電池
を流す場合のライン構成を示している。図中、位置Ａよ
り左に向けて、移載容器７に載置された太陽電池１０は
移動される。
を流す場合のライン構成を示している。図中、位置Ａよ
り左に向けて、移載容器７に載置された太陽電池１０は
移動される。
【００２０】最初にサブ電極が形成される。位置Ｃに１
６個のノズルを有するペースト吐出機構１が設けられて
おり、ペースト吐出機構１が太陽電池１０の左端より約
３ｍｍのところで下に下がるときに、一旦横方向の流れ
が停止するので、このとき、位置Ｂで押さえ板９がはめ
込まれる。そして、ペースト吐出機構１が上に上がると
同時に太陽電池１０は左側に流れていく。そして、ペー
スト吐出機構１が位置Ｃで、太陽電池１０の右端から約
３ｍｍのところで下に下がり、一旦停止状態になると
き、位置Ｄで押さえ板９は抜き取られる。そして、再使
用するために位置Ｂに戻される。
６個のノズルを有するペースト吐出機構１が設けられて
おり、ペースト吐出機構１が太陽電池１０の左端より約
３ｍｍのところで下に下がるときに、一旦横方向の流れ
が停止するので、このとき、位置Ｂで押さえ板９がはめ
込まれる。そして、ペースト吐出機構１が上に上がると
同時に太陽電池１０は左側に流れていく。そして、ペー
スト吐出機構１が位置Ｃで、太陽電池１０の右端から約
３ｍｍのところで下に下がり、一旦停止状態になると
き、位置Ｄで押さえ板９は抜き取られる。そして、再使
用するために位置Ｂに戻される。
【００２１】このようにして、位置Ｅまで来たとき太陽
電池１０は主電極形成のため、これまでの流れ方向に対
して直角に向きを変える。位置Ｆで、押さえ板９が挿入
され、ノズル３が押さえ板９の中心にきたとき、位置Ｅ
にある太陽電池１０は、その先端が位置Ｆの押さえ板９
に接触するところまで素早く送られる。位置Ｇでノズル
（先端の穴の直径４００μｍ）１個がついたペースト吐
出機構２１で主電極を形成し、位置Ｈで押さえ板９が抜
き取られる。そして、押さえ板９は再使用されるために
位置Ｆに戻される。この押さえ板９に付着したペースト
は、ペースト構成に使用している有機溶剤で拭き取り再
使用可能である。
電池１０は主電極形成のため、これまでの流れ方向に対
して直角に向きを変える。位置Ｆで、押さえ板９が挿入
され、ノズル３が押さえ板９の中心にきたとき、位置Ｅ
にある太陽電池１０は、その先端が位置Ｆの押さえ板９
に接触するところまで素早く送られる。位置Ｇでノズル
（先端の穴の直径４００μｍ）１個がついたペースト吐
出機構２１で主電極を形成し、位置Ｈで押さえ板９が抜
き取られる。そして、押さえ板９は再使用されるために
位置Ｆに戻される。この押さえ板９に付着したペースト
は、ペースト構成に使用している有機溶剤で拭き取り再
使用可能である。
【００２２】前述の説明では、この太陽電池を取出す工
程は、人の手を介して行なわれているが、移載容器７に
太陽電池を入れる工程も含めて全自動化が可能なことは
いうまでもない。
程は、人の手を介して行なわれているが、移載容器７に
太陽電池を入れる工程も含めて全自動化が可能なことは
いうまでもない。
【００２３】
【発明の効果】電極形成にスクリーンマスクを使用しな
いので、目詰りによる電極の断線がない、また、仮にあ
っても補修用のペースト吐出機構があれば補修可能であ
り、印刷法のように太陽電池１枚、または１群すべてが
だめになったりすることがない。また、スクリーンマス
クの破れ、印刷開始時とある時間経過後での線幅が変化
すること等に対応するマスク交換、または、マスク払拭
も行なう必要がなくなり、生産ラインでの効率がよくな
る。
いので、目詰りによる電極の断線がない、また、仮にあ
っても補修用のペースト吐出機構があれば補修可能であ
り、印刷法のように太陽電池１枚、または１群すべてが
だめになったりすることがない。また、スクリーンマス
クの破れ、印刷開始時とある時間経過後での線幅が変化
すること等に対応するマスク交換、または、マスク払拭
も行なう必要がなくなり、生産ラインでの効率がよくな
る。
【図１】本発明の一実施例の側面図である。
【図２】ペースト吐出機構およびその駆動装置の斜視図
である。
である。
【図３】ペースト溜とノズルとの断面図である。
【図４】移載容器の斜視図である。
【図５】図４のＡ−Ａ′断面図である。
【図６】移載容器から太陽電池を取出すときの断面図で
ある。
ある。
【図７】移載容器を複数個横に並べた場合の斜視図であ
る。
る。
【図８】サブ電極および主電極を連続して流すラインの
平面図である。
平面図である。
【図９】本発明で形成する受光面電極の平面図である。
１ ペースト吐出機構 ２ ペースト溜 ３ ノズル ５ フレーム ６ モータ ７ 移載容器 ９ 押さえ板 １０ 太陽電池 １２ コンベア １３ 制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹田 喜彦 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 西田 誠 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 太陽電池の電極形成用のペーストを貯溜
するペースト溜と、ペースト溜にペーストを供給する手
段と、ペーストを吐き出すノズルとを備えたペースト吐
出機構と、 ペースト吐出機構を上下に移動する機構と、 太陽電池を電極形成方向に移動する機構と、 前記の上下に移動する機構と電極形成方向に移動する機
構の制御手段と、 を有することを特徴とする太陽電池の電極形成装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の装置に使用される粘度が
２００００〜３００００ｃｐｓであるペースト。 - 【請求項３】 銀、アルミニウム等の導電性金属の少な
くとも１つが含まれる請求項２記載のペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18226692A JP3266651B2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 太陽電池の電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18226692A JP3266651B2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 太陽電池の電極形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629559A true JPH0629559A (ja) | 1994-02-04 |
| JP3266651B2 JP3266651B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=16115256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18226692A Expired - Fee Related JP3266651B2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 太陽電池の電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3266651B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005193232A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-07-21 | Shibaura Mechatronics Corp | 塗布装置および塗布方法 |
| JP2005353904A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Sharp Corp | 電極の形成方法、太陽電池の製造方法、電極、太陽電池 |
| JP2011060873A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成方法およびパターン形成装置 |
| JP2011066037A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成方法およびパターン形成装置 |
| JP2011071156A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 電極形成方法および電極形成装置 |
| WO2012090293A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 株式会社Sat | 太陽電池集電極形成装置及びその方法と塗布ヘッド |
| KR101358340B1 (ko) * | 2008-11-30 | 2014-02-06 | 엑스제트 엘티디. | 기판 상에 물질을 도포하는 방법 및 시스템 |
| US8691326B2 (en) | 2011-04-01 | 2014-04-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for manufacturing solar cell electrode |
| CN114632670A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-06-17 | 无锡极电光能科技有限公司 | 狭缝涂布设备及其使用方法 |
-
1992
- 1992-07-09 JP JP18226692A patent/JP3266651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005193232A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-07-21 | Shibaura Mechatronics Corp | 塗布装置および塗布方法 |
| JP2005353904A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Sharp Corp | 電極の形成方法、太陽電池の製造方法、電極、太陽電池 |
| KR101358340B1 (ko) * | 2008-11-30 | 2014-02-06 | 엑스제트 엘티디. | 기판 상에 물질을 도포하는 방법 및 시스템 |
| US9381759B2 (en) | 2008-11-30 | 2016-07-05 | Xjet Ltd | Method and system for applying materials on a substrate |
| US10026617B2 (en) | 2008-11-30 | 2018-07-17 | Xjet Ltd | Method and system for applying materials on a substrate |
| JP2011060873A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成方法およびパターン形成装置 |
| JP2011066037A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成方法およびパターン形成装置 |
| JP2011071156A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 電極形成方法および電極形成装置 |
| WO2012090293A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 株式会社Sat | 太陽電池集電極形成装置及びその方法と塗布ヘッド |
| US8691326B2 (en) | 2011-04-01 | 2014-04-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for manufacturing solar cell electrode |
| CN114632670A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-06-17 | 无锡极电光能科技有限公司 | 狭缝涂布设备及其使用方法 |
| CN114632670B (zh) * | 2022-03-24 | 2023-05-26 | 无锡极电光能科技有限公司 | 狭缝涂布设备及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3266651B2 (ja) | 2002-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2549807B2 (ja) | 接点を形成する方法及び装置 | |
| KR100679959B1 (ko) | 액정표시장치의 제조 방법 및 액정표시장치의 제조 장치 | |
| US4954225A (en) | Method for making nozzle plates | |
| JPH0629559A (ja) | 太陽電池の電極形成装置 | |
| US20210053345A1 (en) | Liquid droplet ejection device and liquid droplet ejection method | |
| US11097445B2 (en) | Descending type ceramic 3D printer | |
| TWI553891B (zh) | 用於劃分薄膜裝置為分離的晶胞之方法和設備 | |
| TW200304574A (en) | Liquid crystal dropping apparatus and method, and liquid crystal display panel producing | |
| WO2005013308A1 (en) | Master mold for duplicating fine structure and production method thereof | |
| CN110587884B (zh) | 调整机构、打印头模组及喷墨打印装置 | |
| JP4530651B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
| JP3344829B2 (ja) | 印刷装置 | |
| CN105655260A (zh) | 一种微互连凸点制备方法及装置 | |
| JPH0360036A (ja) | バンプの形成方法 | |
| EP0768176A1 (en) | System and method for high resolution screen printing | |
| KR20120093563A (ko) | 금속전극형성을 위한 잉크젯 다중 헤드 모듈를 포함하는 금속전극형성장치 | |
| CN1536414A (zh) | 溶液涂敷装置和涂敷方法 | |
| NL2018395B1 (en) | Apparatus, assembly method and assembly line | |
| EP0933214A2 (en) | A method of and apparatus for directing ink towards substrate | |
| KR100753513B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 및 오프-셋 공정 또는잉크-젯 공정에 의한 그 형성방법 | |
| JPH10217487A (ja) | インクジェット記録ヘッドの圧電素子形成方法 | |
| JP2002103564A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
| JP2023160025A (ja) | メンテナンス方法、および回路作製装置 | |
| JP5283874B2 (ja) | インクジェット式塗布装置の吐出準備方法 | |
| EP1002647A2 (en) | Method and article for electroforming process for an ink jet nozzle plate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011218 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080111 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090111 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100111 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |