KR20120093563A - 금속전극형성을 위한 잉크젯 다중 헤드 모듈를 포함하는 금속전극형성장치 - Google Patents

금속전극형성을 위한 잉크젯 다중 헤드 모듈를 포함하는 금속전극형성장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전극 재료 잉크를 태양전지 표면에 분사한 직후 시간차 없이 바로 잉크를 경화시킬 수 있도록 잉크노즐 및 자외선 램프가 결합된 잉크젯 모듈을 제공함과 아울러, 이러한 잉크젯 모듈이 다단으로 형성되어, 동일한 위치에 중복하여 잉크 분사 및 경화를 하도록 함으로써 사용자가 원하는 높이의 전극을 용이하게 형성할 수 있도록 한 잉크젯 다중 헤드 모듈을 포함하는 금속전극형성장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 금속전극형성장치는 대상물체에 금속전극을 형성하기 위한 금속전극 형성장치에 있어서, 상기 대상물체를 거치하여 고정하는 스테이지; 상기 대상물체에 상기 금속전극 형성을 위한 잉크를 분사하고, 경화시켜 금속전극을 형성하는 복수의 헤드모듈을 가지는 다중헤드모듈; 상기 다중헤드모듈을 상기 대상물체 상에서 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동장치; 상기 구동력에 의해 상기 다중헤드모듈의 이동을 위한 경로를 제공하는 가이드; 및 상기 다중헤드모듈의 상기 잉크 분사 및 상기 구동장치를 제어하는 제어장치;를 포함하여 구성된다.

Description

금속전극형성을 위한 잉크젯 다중 헤드 모듈를 포함하는 금속전극형성장치{Metallization device comprising inkjet multy-head module for metallization}
본 발명은 금속전극 형성장치에 관한 것으로 특히, 전극 재료 잉크를 태양전지 표면에 분사한 직후 시간차 없이 바로 잉크를 경화시킬 수 있도록 잉크노즐 및 자외선 램프가 결합된 잉크젯 모듈을 제공함과 아울러, 이러한 잉크젯 모듈이 다단으로 형성되어, 동일한 위치에 중복하여 잉크 분사 및 경화를 하도록 함으로써 사용자가 원하는 높이의 전극을 용이하게 형성할 수 있도록 한 잉크젯 다중 헤드 모듈을 포함하는 금속전극형성장치에 관한 것이다.
일반적으로 결정질 태양전지 셀의 제조는 단결정이나 다결정 실리콘 웨이퍼의 표면을 조직화하여 PN접합을 형성하는 공정, 실리콘 웨이퍼의 표면에 전극패턴을 형성하는 공정, PSG(포스포실리케이트글래스)를 제거하는 공정, 산화방지막을 형성하는 공정 및 제조된 태양전지 셀의 성능을 평가하고 분류하는 공정으로 이루어진다.
이러한 태양전지는 태양전지에서 생산된 전력을 수집하여 외부 장치에 전달하기 위한 전극이 형성된다. 통상적으로 태양전지의 금속전극은 은(Ag)으로 형성되는 전면전극과 알루미늄(Al)을 이용하는 후면전극으로 구분된다. 전면전극은 전극의 인쇄 두께 및 핑거폭을 태양전지가 태양광을 최대한 흡수하고, 직렬저항을 최소화할 수 있도록 하여 제작된다. 이를 위해 현재 양산라인에서는스크린 프린팅을 이용하여 전극을 형성하는 방법이 가장 보편적으로 이용되고 있다.
스크린 프린팅 방식은 전극 패턴이 형성된 스크린을 태양전지 표면에 밀착시키고 전극 페이스트를 패턴을 통해 태양전지 표면에 인쇄하는 방식으로, 스크린으로써 금속 메쉬마스크(Mesh mask)가 주로 이용된다. 이러한 스크린 프린팅 방식은 메쉬 마스크를 태양전지 표면에 접촉시켜 인쇄함으로 인해 태양전지에 충격을 주어 전지의 깨짐을 발생시키는 원인이 된다. 또한, 스크린 프린팅 방식의 경우 메쉬 마스크를 주기적으로 교체해 주어야 하며, 인쇄에 사용되고 남은 잔여 페이스트의 페기처분이 필요하여, 불량 발생률이 높고, 메쉬 마스크의 교체 및 페이스트 처리로 인한 제조비용 상승 및 환경오염물질의 양산이라는 문제점이 있다.
이러한 스크린 프린팅 방식의 문제점을 해소하기 위하여 최근에는 잉크젯 방식을 이용하여 비접촉식으로 전극을 형성하는 방법이 주목받고 있다. 잉크젯 방식은 전극 재료가 포함된 잉크를 태양전지 표면에 분사하고, 자외선(UV) 등을 이용해 경화시킴으로써 전극을 형성하는 방법이다. 그러나, 이러한 잉크젯 방식은 잉크의 점도가 금속 페이스트에 비해 낮기 때문에 태양전지 표면에 분사하는 경우 잉크가 퍼지는 현상 및 이로 인한 전극의 두께가 얇게 형성되는 전극의 저항이 증가하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 전극 재료 잉크를 태양전지 표면에 분사한 직후 시간차 없이 바로 잉크를 경화시킬 수 있도록 잉크노즐 및 자외선 램프가 결합된 잉크젯 모듈을 제공함과 아울러, 이러한 잉크젯 모듈이 다단으로 형성되어, 동일한 위치에 중복하여 잉크 분사 및 경화를 하도록 함으로써 사용자가 원하는 높이의 전극을 용이하게 형성할 수 있도록 한 잉크젯 다중 헤드 모듈을 포함하는 금속전극형성장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 금속전극형성장치는 대상물체에 금속전극을 형성하기 위한 금속전극 형성장치에 있어서, 상기 대상물체를 거치하여 고정하는 스테이지; 상기 대상물체에 상기 금속전극 형성을 위한 잉크를 분사하고, 경화시켜 금속전극을 형성하는 복수의 헤드모듈을 가지는 다중헤드모듈; 상기 다중헤드모듈을 상기 대상물체 상에서 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동장치; 상기 구동력에 의해 상기 다중헤드모듈의 이동을 위한 경로를 제공하는 가이드; 및 상기 다중헤드모듈의 상기 잉크 분사 및 상기 구동장치를 제어하는 제어장치;를 포함하여 구성된다.
상기 다중헤드모듈은 상기 복수의 헤드모듈이 상기 다중헤드모듈의 이동방향을 따라 연속적으로 배치된다.
상기 다중헤드모듈의 상기 복수의 헤드모듈은 선행한 상기 헤드모듈에 의해 형성된 전극에 부가하여 전극을 형성한다.
상기 헤드모듈은 상기 금속전극의 재료물질이 포함된 잉크가 수용되는 잉크저장부; 상기 잉크저장부에 수용된 상기 잉크를 상기 대상물체에 분사하는 복수의 헤드노즐; 상기 헤드노즐과 이웃하게 결합되어 상기 헤드노즐에서 분사된 상기 잉크를 경화시키기 위한 광을 방출하는 램프부;를 포함하여 구성되고, 상기 복수의 헤드노즐은 상기 다중헤드모듈의 이동방향에 대해 수직인 방향으로 정렬되어 상기 잉크저장부에 결합되고, 상기 램프부는 상기 헤드노즐의 정렬방향과 나란하게 정렬되며 상기 다중헤드모듈의 이동시 상기 헤드노즐을 뒤따르도록 상기 헤드노즐에 결합된다.
상기 헤드노즐은 노즐과 상기 노즐로 상기 잉크를 밀어내기 위한 압력을 제공하는 트랜듀서부를 포함하여 구성된다.
상기 트랜듀서부는 압전소자이다.
본 발명에 따른 잉크젯 다중 헤드 모듈을 포함하는 금속전극형성장치는 전극 재료 잉크를 태양전지 표면에 분사한 직후 시간차 없이 바로 잉크를 경화시킬 수 있도록 잉크노즐 및 자외선 램프가 결합된 잉크젯 모듈을 제공함과 아울러, 이러한 잉크젯 모듈이 다단으로 형성되어, 동일한 위치에 중복하여 잉크 분사 및 경화를 하도록 함으로써 사용자가 원하는 높이의 전극을 용이하게 형성할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 헤드모듈의 개략적인 형태를 도시한 투시예시도.
도 2는 도 1의 측면도.
도 3은 도 1에서 낱개의 헤드모듈을 별도로 도시한 예시도.
도 4는 본 발명에 따른 금속전극형성장치(200)를 도시한 예시도.
도 5는 도 4의 I-I`선을 따라 절취한 단면을 개략적으로 도시한 예시도.
도 6은 본 발명에 따른 금속전극형성장치에 의한 금속전극 형성과정을 설명하기 위한 예시도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명하기로 한다. 첨부된 도면들에서 구성에 표기된 참조번호는 다른 도면에서도 동일한 구성을 표기할 때에 가능한 한 동일한 도면번호를 사용하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 도면에 제시된 어떤 특징들은 설명의 용이함을 위해 확대 또는 축소 또는 단순화된 것이고, 도면 및 그 구성요소들이 반드시 적절한 비율로 도시되어 있지는 않다. 또한, 장치 또는 요소의 방향에 있어서, 전후좌우, 상하, 종횡은 본 발명의 설명을 용이하게 하기 위한 것으로 관련된 장치 또는 요소가 특정 방향을 가져야 함을 의미하지 않는다. 아울러, "제1", "제2"와 같은 용어는 설명의 편의를 위해 사용되는 것으로 상세한 설명 및 청구항들에서 상대적인 주요성 또는 취지 또는 순서를 의미하는 것은 아니다. 이러한 사항은 당업자라면 이에 대한 상세 사항들을 쉽게 이해할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 헤드모듈의 개략적인 형태를 도시한 투시예시도이고, 도 2는 도 1의 측면도이다. 또한, 도 3은 도 1에서 낱개의 헤드모듈을 별도로 도시한 예시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 헤드모듈(100)은 헤드노즐(110), 잉크저장부(140), 램프부(180) 및 잉크(190)를 포함하여 구성된다.
헤드노즐(110)은 전극 형성을 위한 잉크를 태양전지 패널과 같은 대상물체(미도시)에 분사하는 역할을 한다. 이러한 헤드노즐(110)은 형성될 전극의 패턴 및 전극형성 면적에 따라 복수로 구성되며, 복수의 헤드노즐(110)이 도시된 것과 같이 일방향으로 나열되어 형성된다. 이러한 헤드노즐(110)은 헤드모듈(100)의 이동에 따라 잉크저장부(140)에 저장된 잉크를 대상물체에 분사하게 된다. 이를 위해 헤드노즐(110)은 노즐부(111)와 트랜듀서부(115)를 포함하여 구성된다. 노즐부(111)는 트래듀서부(115)에 의해 발생된 압력에 의해 공급되는 잉크(190)가 대상물체에 전달되는 경로 및 분사구의 역할을 한다. 그리고, 트랜듀서부(115)는 일정한 양의 잉크(190)가 대상물체에 분사되도록 하는 펌프의 역할을 한다. 특히, 본 발명의 헤드노즐(110)의 트랜듀서부(115)는 압전소자에 의해 구성되는 피에조방식이 적합한다. 잉크젯 방식의 경우 열전사 방식, 피에조방식과 같은 방식이 있으나, 열전사 방식의 경우 전극물질을 포함한 잉크의 성분을 변화시킬 수 있으므로 이러한 변성 영향이 없는 피에조 방식을 이용하여 잉크(190)를 분사하는 것이 바람직하다. 아울러, 헤드노즐(110)들은 전극 형성을 위해 헤드모듈(100)이 이동하는 방향에 대해 수직인 방향으로 일렬로 정렬되어 배치된다. 아울러, 이러한 헤드모듈(100)은 도시되지 않은 제어장치와 연결되어 잉크(190)의 분사과정을 제어받게 된다.
잉크저장부(140)는 전극물질이 포함된 잉크(190)가 저장되고, 저장된 잉크(190)를 헤드노즐(110)에 제공하는 역할을 한다. 이러한 잉크저장부(140)는 복수의 헤드노즐(110)과 연결되어, 연결된 헤드노즐(110)의 잉크(190) 분사를 위한 잉크(190)를 수용 및 제공하게 된다. 여기서, 잉크저장부(140)는 몇 개의 블럭 또는 각각의 헤드노즐(110) 별로 구성될 수 있으나, 본 발명에서는 일렬로 배치된 헤드노즐(110)이 하나의 잉크저장부(140)에 연결되는 경우를 예로 들어 설명하기로 하며, 이로써 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 아울러, 잉크저장부(140)의 상부에는 잉크(190)의 보충을 위한 잉크투입구(141)가 형성되며, 잉크투입구(141)에는 마개가 결합되거나, 잉크(190) 공급을 위한 공급 튜브와 연결될 수도 있다.
램프부(180)는 헤드노즐(110)로부터 대상물체에 분사된 잉크를 경화시키기 위한 광을 대상물체 및 대상물체 표면의 잉크(190)에 제공하는 역할을 한다. 이를 위해 램프부(180)는 헤드노즐(110)이 대상물체 상에서 잉크(190)를 분사하면 이동한 궤적을 따라 이동하며 광을 방출하도록 헤드노즐(110)과 나란하게 헤드노즐(110)의 후면에 결합된다. 이러한 램프부(180)는 자외선(UV)을 방출하는 램프를 포함하여 구성될 수 있으나, 잉크(190)의 경화조건에 따라 램프에서 방출되는 광 및 이를 위한 램프의 종류는 변경하는 것이 가능하다. 한편, 램프부(180)는 헤드노들(110)의 수와 일대일로 대응되는 복수의 램프 및 개별제어를 통해 잉크(190)를 경화시키기 위한 광을 방출하도록 할 수도 있고, 잉크(190)를 분사하는 동안 지속적으로 점등되도록 할 수도 있으나, 이로써 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 한편, 램프부(180)의 점등 또한 제어장치에 의해 헤드노즐(110)과 함께 제어될 수 있다.
잉크(190)는 잉크저장부(140)에 수용되어 헤드노즐(110)에 공급되고, 헤드노즐(110)에 의해 대상물체에 분사된 후, 램프부(180)에서 방출되는 광에 의해 경화되어 대상물체의 표면에 전극을 형성하는 재료로 이용된다. 이를 위해 잉크(190)는 전극으로 이용되는 전도성 물질인 은(Ag), 알루미늄(Al) 또는 이의 등가물질을 포함하여 구성된다. 한편, 태양전지와 같은 대상물체에 생성되는 전극의 경우 평판디스플레이 장치에 형성되는 전극과는 달리 상대적으로 높은 높이인 수십 마이크로미터 이상으로 형성되어야 한다. 때문에 잉크(190)가 대상물체에 분사되는 경우 넓게 퍼지지 않고 바로 경화될 수 있도록 높은 점도를 가져야 하며, 20cp(centipoise) 이상의 점도를 것이 바람직하지만, 대상물체의 종류, 생성 전극의 높이, 전극 생성절차의 반복회수에 따라 잉크(190)의 점도는 달라질 수 있다.
이하에서는 이러한 헤드모듈(100)을 포함하는 금속전극형성장치에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 금속전극형성장치(200)를 도시한 예시도이고, 도 5는 도 4의 I-I`선을 따라 절취한 단면을 개략적으로 도시한 예시도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 금속전극형성장치(200)는 다중헤드모듈(210), 스테이지(220), 가이드(230), 홀더(235), 구동장치(240) 및 제어장치(250)를 포함하여 구성된다.
다중헤드모듈(210)은 스테이지(220) 상에 고정되는 대상물체에 전극물질을 포함하는 잉크(190)를 분사 및 경화시켜, 대상물체(300)의 표면에 금속전극을 형성하며, 이를 위해 구동장치(240)에 의해 대상물체(300) 표면을 따라 이동한다. 이러한 다중헤드모듈(210)은 도 1 내지 도 3을 통해 전술한 헤드모듈(100 : 100a 내지 100c)이 복수로 구성되어 이루어진다. 구체적으로 도 4 및 도 5에는 3개의 헤드모듈(100a 내지 100c)을 포함하는 다중헤드모듈(210)이 도시되어 있다. 이러한 다중헤드모듈(210)에 포함된 헤드모듈(100)은 다중헤드모듈(210)의 이동에 따라 함께 대상물체(300)의 표면을 따라 이동하며, 연속적으로 대상물체(300)의 표면에 금속전극을 형성하게 된다. 특히, 본 발명의 다중헤드모듈(210)은 뒤따르는 헤드모듈(100)이 선행한 헤드모듈(100)에 의해 형성된 전극상에 중첩하여 연속적으로 전극을 형성함으로써 사용자가 원하는 위치에 원하는 두께의 전극을 형성하게 된다. 구체적으로 도 5에서와 같이 전극형성 이전에 대상물체(300)와 가까운 위치의 헤드모듈(100)인 제1헤드모듈(100a)이 대상물체(300)의 표면에 우선적으로 잉크(190)를 분사하고, 분사된 잉크(190)를 경화시켜 제1전극을 형성하게 된다. 이후 제1헤드모듈(100a)의 이동궤적을 뒤따르는 제2헤드모듈(100b)이 제1전극 상에 잉크(190)를 분사하고, 이를 경화시켜 제2전극을 형성하게 된다. 마찬가지로 제3헤드모듈(100c)도 동일한 과정에 의해 제2전극 상에 제3전극을 형성하게 되며, 이를 통해 대상물체(300) 표면에 형성되는 금속전극의 두께가 두꺼워지게 된다. 특히, 이러한 과정은 제1헤드모듈(100a)에 의해 제1전극 형성이 완료된 후 이루어지는 것이 아니라. 제1헤드모듈(100a)이 앞서 제1전극을 형성하는 동안 제2헤드모듈(100b)이 연속적으로 제1전극 상에 제2전극을 형성하게 되어 동시에 연속적으로 금속전극이 형성되게 된다.
스테이지(220)는 대상물체(300)의 고정, 다중헤드모듈(210)의 작업을 위한 공간을 제공한다. 이러한 스테이지(200)에는 다중헤드모듈(210)의 이동을 위한 가이드(230) 및 구동장치(240)가 설치되며, 다중헤드모듈(210)은 홀더(235)에 의해 가이드(230)와 결합된다.
가이드(230)는 스테이티지(220)에 결합되고, 구동장치(240)에 의해 다중헤드모듈(210)이 이동할 수 있게 하는 레일의 역할을 한다. 이러한 가이드(230)는 구동장치(240) 및 다중헤드모듈(210)의 이동방법에 따라 설치 위치 및 수가 상이해질 수 있으며, 필요에 따라 변경이 가능하다.
홀더(235)는 다중헤드모듈(210)을 고정함과 아울러, 다중헤드모듈(210)이 가이드(230)를 따라 이동할 수 있도록, 다중헤드모듈(210)을 가이드(230)에 결합시키는 역할을 한다.
구동장치(240)는 제어장치(250)의 제어에 따라 다중헤드모듈(210)을 가이드 상에서 이동시킨다. 이러한 구동장치(240)는 모터, 유압장치, 컴프레셔 및 이의 등가장치에 의해 구성될 수 있으며, 레일, 와이어, 체인에 의해 홀더(235)와 연결되어 다중헤드모듈(210)을 가이드(230)를 따라 이동시키게 된다. 여기서, 도 4에는 가이드(230)의 일측 종단에 구동장치(240)가 결합된 것으로 도시하였으나, 홀더(235)에 구동장치(240)가 설치되도록 하는 것도 가능하며, 다중헤드모듈(210)의 이동방향 및 가이드(230)의 설치 형태에 따라 구동장치의 수 및 종류는 변경될 수 있다.
제어장치(250)는 다중헤드모듈(210)의 각 헤드모듈(100)을 제어하여 잉크(190) 분사 및 경화를 제어함과 아울러 구동장치(240)를 제어하여 다중헤드모듈(210)을 대상물체(300) 상에서 이동시키거나, 대기위치로 복귀시키는 역할을 한다. 이를 위해 제어장치(250)는 다중헤드모듈(210) 및 구동장치(240)와 유/무선 통신을 수행한다.
도 6은 본 발명에 따른 금속전극형성장치에 의한 금속전극 형성과정을 설명하기 위한 예시도이다.
도 6을 참조하면, 금속전극형성장치(200)의 다중헤드모듈(210)은 구동장치(240)에 의해 대상물체(300)의 위를 지나가게 된다. 이때, 금속전극(310)의 형성 위치에 도달하면 제1헤드모듈(110a)로부터 잉크(190)가 대상물체(300)에 분사되고, 분사된 잉크는 제1헤드모듈(110a)의 램프부(180)로부터 방출되는 광에 의해 경화되어 제1전극(311)이 형성된다. 구체적으로 제1헤드모듈(110a)의 헤드노즐(110)은 다중헤드모듈(210)이 이동하는 동안 지속적으로 잉크(190)를 대상물체에 분사하며, 램프부(180)는 헤드노즐(110)과 함께 이동하며 잉크(190)에 광을 방출하여 경화시키게 된다.
이와 같은 과정에 의해 제1전극(311)이 형성되면, 제1헤드모듈(110a)을 뒤따라 함께 이동하는 제2헤드모듈(110b)에 의해 제1전극(311) 상에 제2전극(312)이 형성된다. 이때 제2헤드모듈(110b)은 제1전극(311) 상에 잉크(190)를 분사하고 경화시켜, 제2전극(312)을 형성하게 된다.
마찬가지로 제3헤드모듈(110c)는 제2헤드모듈(110b)의 뒤를 따르며 제1 및 제2헤드모듈(110a, 110b)과 동일한 방법으로 제2전극(312) 위에 제3전극(313)을 형성하게 된다.
본 발명의 금속전극 형성장치(200)는 이와 같이 함께 이동하는 복수의 헤드모듈(110)로 구성된 다중헤드모듈(210)을 이용함으로써, 금속전극을 최소한의 절차를 이용하여 용이하게 형성할 수 있다. 구체적으로 다중헤드모듈(210)에 포함되는 헤드모듈(100) 당 형성할 수 있는 전극의 두께를 고려하면, 원하는 전극의 총두께에 따라 헤드모듈(100)의 수가 결정된다. 예를 들어 헤드모듈(100) 하나가 대략 20마이크로미터의 전극을 형성하고, 총 100 마이크로미터의 전극을 형성하는 경우 헤드노즐(100) 다섯 개 이상을 가지는 다중헤드모듈(210)을 구성함으로써 1회의 작업을 통해 100마이크로미터 이상의 전극을 형성하는 것이 가능해진다. 더욱이 본 발명의 금속전극 형성장치(200)는 다중헤드모듈(210)이 이동하는 동안 헤드모듈(100)의 헤드노즐(110)에서는 지속적으로 잉크(190)가 분사되고 램프부(180)에 의해 잉크(190)를 연속적으로 경화시킴과 아울러, 여러개의 헤드모듈(100)이 동일한 위치에 작업을 하게 되어 원하는 전극을 1회 또는 최소한의 반복을 통해 생성할 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위해 구체적인 실시예로 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기와 같이 구체적인 실시예와 동일한 구성 및 작용에만 국한되지 않고, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 실시될 수 있다. 따라서, 그와 같은 변형도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주해야 하며, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의해 결정되어야 한다.
100 : 다중헤드모듈 110 : 헤드노즐
111 : 노즐부 112 : 노즐
115 : 트랜듀서부 140 : 잉크저장부
141 : 잉크투입구 180 : 램프부
190 : 잉크 200 : 금속전극형성장치
210 : 다중헤드모듈 220 : 스테이지
230 : 가이드 235 : 홀더
240 : 구동장치 250 : 제어장치
300 : 대상물체

Claims (6)

  1. 대상물체에 금속전극을 형성하기 위한 금속전극 형성장치에 있어서,
    상기 대상물체를 거치하여 고정하는 스테이지;
    상기 대상물체에 상기 금속전극 형성을 위한 잉크를 분사하고, 경화시켜 금속전극을 형성하는 복수의 헤드모듈을 가지는 다중헤드모듈;
    상기 다중헤드모듈을 상기 대상물체 상에서 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동장치;
    상기 구동력에 의해 상기 다중헤드모듈의 이동을 위한 경로를 제공하는 가이드; 및
    상기 다중헤드모듈의 상기 잉크 분사 및 상기 구동장치를 제어하는 제어장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 금속전극 형성장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다중헤드모듈은
    상기 복수의 헤드모듈이 상기 다중헤드모듈의 이동방향을 따라 연속적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 금속전극 형성장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 다중헤드모듈의 상기 복수의 헤드모듈은
    선행한 상기 헤드모듈에 의해 형성된 전극에 부가하여 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 금속전극 형성장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 헤드모듈은
    상기 금속전극의 재료물질이 포함된 잉크가 수용되는 잉크저장부;
    상기 잉크저장부에 수용된 상기 잉크를 상기 대상물체에 분사하는 복수의 헤드노즐;
    상기 헤드노즐과 이웃하게 결합되어 상기 헤드노즐에서 분사된 상기 잉크를 경화시키기 위한 광을 방출하는 램프부;를 포함하여 구성되고,
    상기 복수의 헤드노즐은 상기 다중헤드모듈의 이동방향에 대해 수직인 방향으로 정렬되어 상기 잉크저장부에 결합되고,
    상기 램프부는 상기 헤드노즐의 정렬방향과 나란하게 정렬되며 상기 다중헤드모듈의 이동시 상기 헤드노즐을 뒤따르도록 상기 헤드노즐에 결합되는 것을 특징으로 하는 금속전극 형성장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 헤드노즐은,
    노즐과
    상기 노즐로 상기 잉크를 밀어내기 위한 압력을 제공하는 트랜듀서부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 금속전극 형성장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 트랜듀서부는 압전소자인 것을 특징으로 하는 금속전극 형성장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220047150A (ko) * 2020-10-08 2022-04-15 연세대학교 산학협력단 액체 금속을 이용한 생체신호 측정용 3차원 미세 전극 어레이 제조시스템 및 제조방법
WO2023096158A1 (ko) * 2021-11-25 2023-06-01 (주) 유니젯 잉크젯 인쇄 장비

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