KR100662564B1 - 얼라인장치 - Google Patents

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KR100662564B1
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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing

Abstract

본 발명은, 기판과 상기 기판에 프린트작업을 수행하도록 복수의 오리피스가 마련된 프린트헤드를 정렬하기 위한 얼라인장치에 관한 것으로서, 상기 프린트헤드와 상기 기판을 정렬하도록 상기 기판과 상기 프린트헤드 사이에 마련되어 상기 프린트헤드의 오리피스 및 상기 기판을 촬영하는 카메라유닛과; 상기 카메라유닛을 상기 기판과 상기 프린트헤드 사이로 이송가능하게 지지하는 카메라이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 구조가 간단하고 설치가 용이하며, 불투명한 기판의 경우에도 용이하게 사용가능하다.

Description

얼라인장치{ ALIGN APPARATUS }
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 얼라인장치가 장착된 프린트공정의 개략적인 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 얼라인장치의 카메라유닛의 Ⅱ-Ⅱ 개략적인 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 얼라인장치의 제어블록도,
도 4는 본 발명에 따른 얼라인장치에 의해 촬영된 영상들 및 이를 조합한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
5 : 기판 6 : 얼라인마크
7 : 픽셀 8 : 픽셀그리드
9 : 스테이지 11 : 프린트헤드
13 : 오리피스 15 : 헤드이송부
20 : 얼라인장치 21 : 카메라유닛
23 : 제1카메라 25 : 제2카메라
27 : 렌즈 29 : 프리즘
31 : 카메라이송부 40 : 제어부
45 : 디스플레이부
본 발명은 얼라인장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판과 기판에 프린트작업을 수행하는 프린트헤드를 정렬하기 위한 얼라인장치에 관한 것이다.
일반적으로, TFT-LCD(THIN FILM TRANSISTOR - LIQUID CRYSTAL DISPLAY) 및 유기ELD(ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY)와 같은 평면디스플레이장치에는 화상을 형성하는 디스플레이패널이 장착된다.
이러한 디스플레이패널의 제조과정은 디스플레이패널용 기판에 칼라필터(COLOR FILTER)를 형성하는 프린트공정을 포함하며, 최근에 이러한 프린트공정은 잉크젯방식을 주로 사용하게 된다.
잉크젯방식은 디스플레이패널용 기판에 형성된 다수의 픽셀(PIXEL)에 오리피스(ORIFICE)를 갖는 프린트헤드(PRINT HEAD)를 이용하여 컬러필터용 잉크를 분사하여 이를 경화시키는 방식이다. 이러한 잉크젯방식은 종래의 포토리소그래피(PHOTO LITHOGRAPHY)방식에 비해 재료비 절감 및 공정을 감축할 수 있다.
이러한 잉크젯방식을 이용한 프린트공정에는 잉크가 기판의 픽셀(PIXEL)에 정위치하도록 프린트헤드를 기판에 대해 정렬하는 얼라인장치나 혹은 잉크가 기판의 픽셀(PIXEL)에 정위치 했는지를 검사하는 검사장치 등을 포함하게 된다.
얼라인장치는 프린트헤드가 기판의 픽셀에 잉크를 분사하기 전에 프린트헤드와 기판의 픽셀을 정렬함으로, 잉크를 기판에 분사한 후 잉크의 위치를 검사하는 검사장치에 비해 재료비 절감 및 공정을 감축할 수 있다.
이러한 디스플레이패널 제작을 위한 잉크젯 얼라인장치가 한국특허출원번호 10-2002-0018970호에 개시되어 있다. 종래 디스플레이패널 제작용 얼라인장치는 다수의 오리피스 얼라인(ORIFICE ALIGN)이 가능한 헤드와, 상기 헤드를 통해 인쇄하고자 하는 기판의 패턴의 픽셀피치(PITCH)에 맞게 그려진 그리드(GRID)에 각각의 오리피스가 위치할 수 있도록 조정하는 다수의 CCD카메라로 구성된다.
이러한 CCD카메라는 투명한 기판을 지지하는 스테이지의 하측에 마련되어 상측으로 촬영함으로서 투명한 기판을 투과하여 오리피스의 위치를 촬영할 수 있다. 이에, 이러한 CCD카메라에 의해 촬영된 영상을 통해 오리피스를 기판의 패턴의 픽셀피치(PITCH)에 맞게 그려진 그리드(GRID)에 정렬할 수 있다.
그러나. 이러한 종래의 디스플레이패널 제작용 얼라인장치는 기판을 지지하는 스테이지의 하측에 마련되어 스테이지에 형성된 구멍을 통해 기판 및 오리피스를 촬영하도록 되어있어 카메라장착이 용이하지 않으며 구성이 복잡하다.
그리고, 이러한 종래의 디스플레이패널 제작용 얼라인장치는 투명한 기판에만 사용가능하므로 불투명한 기판의 경우에는 사용이 불가능하다.
또한, 이러한 종래의 디스플레이패널 제작용 얼라인장치는 투명한 기판을 투과하여 오리피스를 촬영하게 되는데, 기판을 투과하여 촬영하는 과정에서 노이즈나 굴절 등에 의해 오리피스의 영상이 왜곡될 수 있으며, 이러한 왜곡된 영상으로는 정밀 제어가 어려울 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은, 구조가 간단하고 설치가 용이하며, 불투명한 기판의 경우에도 사용이 가능한 얼라인장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판과 상기 기판에 프린트작업을 수행하도록 복수의 오리피스가 마련된 프린트헤드를 정렬하기 위한 얼라인장치에 있어서, 상기 프린트헤드와 상기 기판을 정렬하도록 상기 기판과 상기 프린트헤드 사이에 마련되며, 상기 프린트헤드를 촬영하는 제1카메라와, 상기 기판을 촬영하는 제2카메라와, 소정 각도로 배향된 한 쌍의 반사면이 상기 제1 및 제2카메라를 향해 배치되어 상호 이격 대향된 상기 프린트헤드 및 기판의 영상을 상기 제1 및 제2카메라 방향으로 굴절시키는 프리즘과, 상기 프린트헤드 및 상기 기판의 영상을 확대하는 렌즈를 일체로 하여 상기 프린트헤드의 오리피스 및 상기 기판을 촬영하는 카메라유닛과; 상기 카메라유닛을 상기 기판과 상기 프린트헤드 사이로 이송가능하게 지지하는 카메라이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치에 의해 달성된다.
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여기서, 상기 기판은 디스플레이패널용으로 다수의 픽셀이 등간격으로 형성된 픽셀그리드를 포함하며, 상기 카메라유닛은 상기 프린트헤드의 오리피스와 상기 오리피스에 의해 프린트될 상기 기판의 픽셀을 촬영할 수 있다.
상기 프린트헤드의 오리피스와 상기 기판의 픽셀을 정렬하도록 상기 카메라유닛에 의해 촬영된 영상들을 표시하는 디스플레이부를 더 포함할 수 있다.
상기 프린트헤드를 이송가능하게 지지하는 헤드이송부 및 상기 기판을 이송가능하게 지지하는 스테이지 중 적어도 하나를 더 포함하며, 상기 카메라유닛에 의해 촬영된 영상들을 비교하여 상기 프린트헤드 및 상기 기판 중 어느 하나를 다른 하나에 정렬하도록 상기 헤드이송부 및 상기 스테이지 중 적어도 하나를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 얼라인장치(20)가 장착된 프린트공정의 사시도이다.
프린트공정은 기판(5)에 칼라필터(COLOR FILTER)를 형성하는 과정으로 잉크젯방식으로 구성된다. 이러한 잉크젯방식의 프린트공정은 기판(5)과, 기판(5)의 하측에 마련되어 기판(5)을 이송가능하게 지지하는 스테이지(9)와, 기판(5)에 프린트작업을 수행하는 프린트헤드(11)와, 프린트헤드(11)를 이송가능하게 지지하는 헤드이송부(15)를 포함한다. 프린트공정에는 기판(5)과 프린트헤드(11)를 정렬하기 위한 얼라인장치(20)가 마련된다.
기판(5)은 판 형상의 글라스로 마련되며, TFT-LCD(THIN FILM TRANSISTOR - LIQUID CRYSTAL DISPLAY) 및 유기ELD(ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY)와 같은 평면디스플레이장치의 디스플레이패널 등의 제작에 사용된다. 기판(5)에는 다수의 픽셀(7)이 등 간격으로 형성된 픽셀그리드(PIXEL GRID)(8)가 마련되며, 각각의 픽셀(7)에는 후술할 프린트헤드(11)의 오리피스(13)로부터 분사된 잉크가 충진된다. 또한, 기판(5)에는 프린트헤드(11)의 이송방향과 기판(5)에 형성된 픽셀(7)의 배열 방향 등을 정렬하도록 기준점이 되는 복수의 얼라인마크(6)가 형성된다. 기판(5)은 투명하게 마련될 수도 있으며, 반투명이나 불투명하게 마련될 수도 있다. 그러나, 기판(5)은 디스플레이패널용 뿐만 아니라 프린트헤드(11)와 같은 잉크분사장치 등에 의해 정위치에 잉크 등이 분사되도록 마련된 다른 종류의 기판일 수 있다.
스테이지(9)는 기판(5)의 하측에 마련되어 기판(5)을 지지가능하게 평판 형상으로 마련된다. 스테이지(9)는 기판(5)을 프린트헤드(11)에 대해 일치시키도록 기판(5)을 이송가능하게 지지한다. 스테이지(9)는 기판(5)의 얼라인마크(6)들을 프린트헤드(11)의 이송방향에 대해 일치시키도록 기판(5)을 기판(5)의 판면방향으로 이송가능하게 지지할 수 있다. 즉, 스테이지(9)는 기판(5)의 판면방향으로 상호 수직을 이루는 2축(x,y)방향으로 이송가능하게 마련될 수 있으며, 기판(5)의 판면 방향의 가로방향 축선(z)방향을 중심으로 회전가능하게 마련될 수도 있다. 이에, 스테이지(9)는 기판(5)을 지지하며, 기판(5)의 얼라인마크(6)가 프린트헤드(11)의 이송방향과 일치하도록 기판(5)을 이송할 수 있다. 그리고, 스테이지(9)의 2축(x,y) 이송방향은 후술할 프린트헤드(11)의 2축(X,Y) 이송방향과 다르게 설정될 수도 있으며, 동일하게 설정될 수도 있다.
프린트헤드(11)는 기판(5)의 픽셀(7)에 잉크를 분사하도록 다수의 오리피스(13)를 포함한다. 다수의 오리피스(13)는 TFT-LCD용 디스플레이패널을 제조하는 경우를 예를 들면, R(RED), G(GREEN), B(BLUE)의 색상을 갖는 컬러필터용 잉크를 분사하게 된다. 프린트헤드(11)는 헤드이송부(15)에 의해 지지되어 2축(X,Y)방향으로 이동가능하게 된다.
헤드이송부(15)는 프린트헤드(11)를 이송가능하게 지지한다. 헤드이송부(15)는 프린트헤드(11)를 2축(X,Y)방향으로 이동가능하게 지지할 수 있다. 헤드이송부(15)는 대략 10㎛ 이내의 이송거리 오차를 갖는 것이 바람직하며, LM가이드(LINEAR MOTION GUIDE)(미도시) 등을 사용할 수 있다. 이에, 헤드이송부(15)는 프린트헤드(11)를 기판(5)에 마련된 픽셀(7)의 배열방향을 따라 이송하게 된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 먼저 헤드이송부(15)가 X 방향으로 이동하며 픽셀(7)에 잉크를 충진한다. 그런 후 헤드이송부(15)가 Y 방향으로 이동하여 다른 열의 픽셀(7)로 이동한 후 다시 X 방향의 반대방향으로 이동하며 픽셀(7)에 잉크를 충진하게 된다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 얼라인장치(20)는 기판(5)과 프린트헤드(11) 사이에 마련되어 프린트헤드(11)의 오리피스(13) 및 기판(5)을 촬영하는 카메라유닛(21)과, 카메라유닛(21)을 기판(5)과 프린트헤드(11) 사이로 이송가능하게 지지하는 카메라이송부(31)를 포함한다. 얼라인장치(20)는 카메라유닛(21)으로부터 촬영된 영상들을 표시하기 위한 디스플레이부(45)를 더 포함할 수 있다. 얼라인장치(20)는 카메라유닛(21)으로부터 촬영된 영상들을 비교하여 프린트헤드(11)와 기판(5)을 정렬하도록 제어하는 제어부(40)를 더 포함할 수 있다.
카메라유닛(21)은 기판(5)과 기판(5)의 상측에 배치된 프린트헤드(11) 사이로 이동가능하게 마련되어 프린트헤드(11)의 오리피스(13) 및 기판(5)의 픽셀그리드(8)를 촬영하게 된다. 카메라유닛(21)은 프린트헤드(11)의 임의의 오리피스(13)와, 임의의 오리피스(13)에 의해 프린트될 기판(5)의 픽셀(7)을 촬영하게 된다. 카메라유닛(21)은 프린트헤드(11)를 촬영하기 위한 제1카메라(23)와, 기판(5)을 촬영하기 위한 제2카메라(25)를 포함할 수 있다. 카메라유닛(21)은 프린트헤드(11) 및 기판(5)의 영상을 제1 및 제2카메라(23,25) 방향으로 굴절시키도록 프리즘(29)을 더 포함할 수 있으며, 프린트헤드(11) 및 기판(5)의 영상을 확대 촬영하도록 렌즈(27)를 더 포함할 수 있다. 한편, 카메라유닛(21)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1카메라(23), 제2카메라(25), 프리즘(29) 및 렌즈(27)를 일체로 하여 마련될 수도 있다. 그러나, 카메라유닛(21)은 제1 및 제2카메라(23,25) 대신 하나의 카메라(미도시)를 마련하여 프린트헤드(11) 및 기판(5)을 순차적으로 촬영할 수도 있으며, 프리즘(29)에 의해 굴절된 프린트헤드(11) 및 기판(5)의 영상을 동시에 촬영할 수도 있다. 이에, 카메라유닛(21)에 의해 프린트헤드(11)의 오리피스(13) 및 그 오리피스(13)에 의해 프린트될 기판(5)의 픽셀(7)을 각각 촬영하여 두개의 영상을 비교함으로써 기판(5)의 픽셀(7)에 대한 오리피스(13)의 위치를 조절할 수 있다.
제1카메라(23)는 도 2에 도시된 바와 같이, 프린트헤드(11)의 오리피스(13)가 마련된 하부영역을 촬영하게 된다. 제1카메라(23)는 카메라유닛(21)의 내측에 마련되어 프리즘(29)에 의해 굴절되는 프린트헤드(11)의 영상을 촬영하게 된다. 그러나, 제1카메라(23)는 카메라유닛(21)의 상측에 마련되어 프린트헤드(11)의 영상을 직접 촬영할 수도 있음은 물론이다.
제2카메라(25)는 기판(5)의 픽셀(7)이 마련된 상부영역을 촬영하게 된다. 제2카메라(25)는 카메라유닛(21)의 내측에 마련되어 프리즘(29)에 의해 굴절되는 기판(5)의 영상을 촬영하게 된다. 그러나, 제2카메라(25)는 카메라유닛(21)의 하측에 마련되어 프린트헤드(11)의 영상을 직접 촬영할 수도 있음은 물론이다.
프리즘(29)은 프린트헤드(11) 및 기판(5)의 영상을 촬영할 카메라유닛(21)의 단부에 소정 각도로 배향된 한 쌍의 반사면이 제1 및 제2카메라(23,25)를 향해 배치되어 상호 이격 대향된 프린트헤드(11)의 영상 및 기판(5)의 영상을 제1 및 제2카메라(23,25)로 굴절시키게 된다. 이에, 프리즘(29)을 마련함으로써 제1 및 제2카메라(23,25)를 카메라유닛(21)의 내부영역 등 다양한 곳에 장착할 있게 된다.
렌즈(27)는 프린트헤드(11) 및 기판(5)의 영상을 촬영할 카메라유닛(21)의 단부의 상부 및 하측에 마련되어 프린트헤드(11)의 영상 및 기판(5)의 영상을 확대하게 된다. 그러나, 렌즈(27)는 제1 및 제2카메라(23,25)와 프리즘(29) 사이에 마련되어 프린트헤드(11)의 및 기판(5)의 영상을 확대 할 수도 있음은 물론이다. 이에, 렌즈(27)를 마련함으로써 프린트헤드(11)의 영상 및 기판(5)의 영상을 확대하여 촬영할 수 있다.
디스플레이부(45)는 카메라유닛(21)과 연결되어 카메라유닛(21)에 의해 촬영된 영상들을 표시하게 된다. 디스플레이부(45)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제1카메라(23)에 의해 촬영된 프린트헤드(11)에 대한 제1영상(A)과, 제2카메라(25)에 의해 촬영된 기판(5)에 대한 제2영상(B)을 교차하여 제3영상(C)으로 표시하게 된다. 즉, 디스플레이부(45)는 제1영상(A)과 제2영상(B)을 동시에 교차하여 표시한 제3영상(C)으로 프린트헤드(11)의 오리피스(13)가 기판(5)의 픽셀(7)에 대해 정위치하는 지를 확인할 수 있다. 이에, 사용자는 제3영상(C)을 통해 제1영상(A) 및 제2영상(B)을 비교하여 프린트헤드(11)의 오리피스(13)가 기판(5)의 해당 픽셀(7)에 정위치하도록 헤드이송부(15)를 조절하면 된다. 그러나, 사용자는 프린트헤드(11)의 오리피스(13)가 기판(5)의 해당 픽셀(7)에 정위치하도록 스테이지(9)를 조절할 수 도 있다.
제어부(40)는 카메라유닛(21)과 연결되어 카메라유닛(21)에 의해 촬영된 영상들을 수신하며, 수신된 영상들을 비교하여 프린트헤드(11)와 기판(5)을 정렬하게 된다. 즉, 제어부(40)는 수신된 영상들로부터 프린트헤드(11)의 오리피스(13)위치와 기판(5)의 픽셀(7)위치를 각각 감지하며, 감지된 오리피스(13)의 위치 및 픽셀(7)의 위치가 상호 교차하여 정 위치에 오도록 헤드이송부(15)를 제어하게 된다. 그러나, 제어부(40)는 감지된 오리피스(13)의 위치 및 픽셀(7)의 위치가 상호 교차하도록 스테이지(9)를 제어할 수 있음은 물론이다. 또한, 제어부(40)는 카메라이송부(31)를 제어하여 카메라유닛(21)이 기판(5)의 얼라인마크(6)들을 인식하며, 이렇게 인식된 얼라인마크(6)가 프린트헤드(11)의 이송방향으로 정렬되어있는 지를 확인할 수도 있다. 그리고, 제어부(40)는 기판(5)의 얼라인마크(6)가 프린트헤드(11)의 이송방향으로 정렬되도록 스테이지(9)를 제어할 수도 있다.
카메라이송부(31)는 카메라유닛(21)을 이송가능하게 지지한다. 카메라이송부(31)는 헤드이송부(15)와 같이 카메라유닛(21)을 2축(X,Y)방향으로 이동가능하게 지지할 수 있으며, 정밀 제어를 위해 LM가이드(LINEAR MOTION GUIDE)(미도시) 등을 마련될 수 있다. 이에, 카메라이송부(31)는 카메라유닛(21)을 프린트헤드(11)와 기판(5) 사이로 이송시킬 수 있으며, 프린트헤드(11)가 프린트작업을 수행하는 동안은 기판(5)의 외측으로 이송시킬 수 있다.
이러한 구성에 의해 본 발명에 따른 얼라인장치(20)의 작동과정을 살펴보면 다음과 같다. 우선, 기판(5)을 스테이지(9)에 위치시킨다. 그리고, 기판(5)이 스 테이지(9)에 정위치하는 지를 확인한다. 즉, 기판(5)의 얼라인마크(6)들이 프린트헤드(11)의 프린트작업시 이송방향과 일치되도록 조절한다. 이 경우에는, 카메라이송부(31)를 조절하여 카메라유닛(21)에 의해 얼라인마크(6)를 확인하며, 카메라이송부(31)의 이송방향이 프린트헤드(11)의 이송방향과 일치함으로 기판(5)의 얼라인마크(6)들과 프린트헤드(11)의 이송방향의 일치여부를 확인할 수 있다. 그리고, 얼라인마크(6)와 프린트헤드(11)의 이송방향이 일치하지 않을 경우 스테이지(9)를 조절하여 일치시킬 수 있다. 그러나, 프린트헤드(11)에 별도의 카메라(미도시)를 부착하여 기판(5)의 얼라인마크(6)와 프린트헤드(11)의 이송방향의 일치여부를 확인할 수 있다. 그리고, 헤드이송부(15)에 의해 프린트헤드(11)를 기판(5)의 상측으로 이동시킨 후, 카메라이송부(31)에 의해 카메라유닛(21)을 프린트헤드(11)와 기판(5) 사이로 이동시킨다. 그런 후, 카메라유닛(21)을 통해 프린트헤드(11)와 기판(5) 영상을 촬영하여 디스플레이부(45) 및 제어부(40) 중 적어도 하나를 통해 프린트헤드(11)의 오리피스(13)를 기판(5)의 픽셀(7)에 정위치 시키도록 헤드이송부(15)를 제어한다. 그리고, 카메라유닛(21)을 기판(5)의 외측으로 철수시킨 후 프린트헤드(11)에 의해 프린트작업을 수행할 수 있다. 프린트작업이 시작되는 프린트헤드(11)의 위치와 기판(5)의 위치를 설정함으로써 기판(5)의 다른 픽셀(7)의 프린트작업시 기준으로 활용할 수도 있으며, 다른 기판(5)의 프린트작업시에도 기준으로 활용할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 얼라인장치는 기판과 프린트헤드 사이에 마련된 카메라유닛과, 카메라유닛을 이송하는 카메라이송부를 마련하여, 실시간으로 프린 트헤드와 기판의 위치를 점검할 수 있으며, 카메라유닛을 기판과 프린트헤드 사이에 배치되도록 함으로써 구조가 간단하고 설치가 용이할 뿐만 아니라, 불투명한 기판의 경우에도 용이하게 사용할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 구조가 간단하고 설치가 용이하며, 불투명한 기판의 경우에도 용이하게 사용가능하다.

Claims (7)

  1. 기판과 상기 기판에 프린트작업을 수행하도록 복수의 오리피스가 마련된 프린트헤드를 정렬하기 위한 얼라인장치에 있어서,
    상기 프린트헤드와 상기 기판을 정렬하도록 상기 기판과 상기 프린트헤드 사이에 마련되며, 상기 프린트헤드를 촬영하는 제1카메라와, 상기 기판을 촬영하는 제2카메라와, 소정 각도로 배향된 한 쌍의 반사면이 상기 제1 및 제2카메라를 향해 배치되어 상호 이격 대향된 상기 프린트헤드 및 기판의 영상을 상기 제1 및 제2카메라 방향으로 굴절시키는 프리즘과, 상기 프린트헤드 및 상기 기판의 영상을 확대하는 렌즈를 일체로 하여 상기 프린트헤드의 오리피스 및 상기 기판을 촬영하는 카메라유닛과;
    상기 카메라유닛을 상기 기판과 상기 프린트헤드 사이로 이송가능하게 지지하는 카메라이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 디스플레이패널용으로 다수의 픽셀이 등간격으로 형성된 픽셀그리드를 포함하며,
    상기 카메라유닛은 상기 프린트헤드의 오리피스와 상기 오리피스에 의해 프린트될 상기 기판의 픽셀을 촬영하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 프린트헤드의 오리피스와 상기 기판의 픽셀을 정렬하도록 상기 카메라유닛에 의해 촬영된 영상들을 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 프린트헤드를 이송가능하게 지지하는 헤드이송부 및 상기 기판을 이송가능하게 지지하는 스테이지 중 적어도 하나를 더 포함하며,
    상기 카메라유닛에 의해 촬영된 영상들을 비교하여 상기 프린트헤드 및 상기 기판 중 어느 하나를 다른 하나에 정렬하도록 상기 헤드이송부 및 상기 스테이지 중 적어도 하나를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인장치.
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