JP4345716B2

JP4345716B2 - 液滴吐出方法

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Publication number: JP4345716B2
Application number: JP2005170463A
Authority: JP
Inventors: 信明長江; 和巳有賀
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-06-10
Filing date: 2005-06-10
Publication date: 2009-10-14
Anticipated expiration: 2025-06-10
Also published as: TWI314102B; US20060279200A1; TW200706386A; CN1876246A; US7851020B2; KR20060128680A; JP2006341216A

Description

本発明は、液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器に関する。

インクジェットプリンタの液滴吐出ヘッドは、微小なインク滴をドット状に吐出することが可能であり、インク滴の大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高い。この技術は、各種製品の製造分野への応用がなされている。例えば、液晶装置のカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置の発光部等を形成する場合にも応用することができる。具体的には、液滴吐出ヘッドに特殊なインクや感光性の樹脂液等（機能液）を含ませ、電気光学装置用の基板に対して当該機能液の液滴を吐出するものである（例えば、特許文献１参照。）。このような方法によって形成されるカラーフィルタや発光部には、複数種類の色が形成されることが多いため、複数種類の機能液を１種類ずつ異なる装置によって基板に吐出するようになっている。

このような方法によって形成される膜状のカラーフィルタ層や発光部には、複数種類の色が形成されることが多い。特許文献１に記載の装置では、複数種類の機能液を１種類ずつ異なる装置によって基板に吐出するようになっているため、吐出時間が長くなってしまう。吐出時間を短縮することを目的として１つの装置で全種類の液体材料を一走査で同時に吐出させようとする場合、例えば、各種類の液体材料を吐出するノズルが設けられたヘッドを、ノズルの配置を揃えて走査方向に配列させ、１回の走査で各ヘッドから同時に液体材料を吐出させる手法等が考えられる。
特開２００４−２６７９２７号公報

しかしながら、ヘッドから液体材料を吐出する際、特にヘッドの両端部に設けられたノズルから吐出された液体材料にスジムラが生じることが多いため、各ヘッドの両端が揃っていると、各ヘッドから吐出された液体材料のスジムラの位置が重なってしまい、基板全体において液体材料のスジムラが目立ちやすくなってしまう。
上記のような事情に鑑み、本発明の目的は、基板全体において機能液のムラを目立たなくすることが可能な液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出方法は、基板に設けられた被吐出部上を複数の吐出ヘッドが相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記被吐出部に複数種類の機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、前記走査方向に略直交する直交方向の両端部に設けられる前記ノズルの前記直交方向における位置を前記吐出ヘッドごとにずらすと共に、走査の際すべての種類の前記機能液の吐出領域が重なる重複吐出領域が形成されるように前記複数のノズルをそれぞれの前記吐出ヘッドに配置し、前記基板の前記直交方向の端部に位置し前記走査方向に延在する辺に沿って設けられた被吐出部に前記機能液の液滴を吐出するときには、前記重複吐出領域が前記走査方向に延在する辺に沿って設けられた被吐出部のうち少なくとも一部を含むように前記吐出ヘッドを走査することを特徴とする。

本発明によれば、個々の吐出ヘッドにおいてスジムラが発生しやすい位置、すなわち吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの位置を吐出ヘッド毎にずらしているので、本発明に係るヘッドユニットにより基板上を走査しながら機能液を吐出する場合であっても、個々の吐出ヘッドから吐出された機能液のスジムラの位置が重なることは無い。

ノズルを上記のようにずらした場合、吐出ヘッドごとに吐出領域が重ならないので、特に基板の直交方向の端辺側に設けられる被吐出部には、１種類あるいは一部の種類の機能液しか吐出されない場合がある。このため、１回の走査では吐出されない他の種類の機能液を吐出しようとするだけの目的で、走査を２回、３回と繰り返さなければならず、極めて非効率である。

本発明によれば、基板の直交方向の端辺側に設けられた被吐出部に機能液の液滴を吐出するときには、重複吐出領域がその被吐出部のうち少なくとも一部を含むように吐出ヘッドを走査するので、１回の走査で全種類の機能液を吐出することができる。これにより、非効率な走査を行わなくても済むという利点がある。

また、前記重複吐出領域の前記直交方向における寸法が、前記被吐出部の前記直交方向における寸法よりも大きくなっていることが好ましい。
本発明によれば、重複吐出領域の直交方向における寸法が、被吐出部の直交方向における寸法よりも大きくなっているので、吐出領域が被吐出部を含むことが可能となる。このため、基板の直交方向の端辺側に設けられた被吐出部全体に１回の走査で機能液を吐出することができるので、同じ被吐出部に２度、３度と吐出することは無い。したがって、１つの被吐出部に一度吐出してから走査を行い再度吐出するまでの時間差が発生することが無い。これにより、吐出の時間差に起因する機能液の乾燥ムラの発生を防ぐことができる。

また、前記被吐出部に前記機能液を吐出するときには、前記基板の前記直交方向の端辺側に設けられた被吐出部に最初に吐出することが好ましい。
基板の端辺側に設けられた被吐出部に最初に機能液を吐出することによって、その後他の被吐出部上を走査するときの吐出ヘッドの位置が調整しやすくなるので、効率的な走査を行うことができる。

本発明の別の観点に係る電気光学装置は、上記の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする。
本発明によれば、基板全体において機能液のムラを少なくすることが可能な液滴吐出方法により機能液の液滴が吐出されているため、表示が均一な良質の電気光学装置を得ることができる。

本発明の別の観点に係る電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
本発明によれば、表示が均一な良質の電気光学装置を搭載したので、表示性能の優れた電子機器を得ることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。
（電気光学装置）
図１は、本実施形態に係る液晶装置１の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、液晶装置１は、液晶パネル４０と、バックライト４１とを主体として構成されている。液晶パネル４０は、アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とがシール材２６を介して貼り合わされ、当該アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とシール材２６との間に液晶６が挟持された構成になっている。図中破線で表された表示領域２ａは、画像や動画等が表示される領域である。

なお、本実施形態の液晶装置１は、スイッチング素子として二端子型非線形素子である薄膜ダイオード（ＴＦＤ）素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置を採用しているが、例えばスイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子を用いた液晶装置や、パッシブマトリクス方式の液晶装置であっても勿論構わない。また、液晶パネル４０は、２枚の大判のマザー基板を張り合わせ、切断することにより形成される（多数個取り）。２枚のマザー基板としては、カラーフィルタ基板３を生成するカラーフィルタ側マザー基板と、アクティブマトリクス基板２を生成するアクティブマトリクス側マザー基板とがある。

図２は、カラーフィルタ基板３の構成を示す平面図である。図２（ａ）はカラーフィルタ基板３の全体構成を示す図であり、図２（ｂ）はカラーフィルタ基板３の一部を拡大して示す図である。
図２（ａ）に示すように、カラーフィルタ基板３は、例えばガラスやプラスチック等の透明な材料によって形成された矩形の基板である。カラーフィルタ基板３上には遮光層１３が設けられており、遮光層１３で囲まれた領域（画素）に対応して赤色層１６Ｒ、緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂを有するカラーフィルタ１６が設けられている。なお、カラーフィルタ基板３には、当該カラーフィルタ１６を覆うようにオーバーコート層（図示せず）が形成され、オーバーコート層上には配向膜（図示せず）が形成されている。当該配向膜は、例えばポリイミド等からなり、表面がラビング処理された水平配向膜である。

また、図２（ｂ）に示すように、１個の赤色層１６Ｒ（または緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂ）については、短辺の長さＳが例えば１７０μｍ程度、長辺の長さＬが例えば５１０μｍ程度の矩形に設けられている。また、隣接する層同士の間隔については、行方向の間隔Ｔ１は約２０μｍとなっており、列方向の間隔Ｔ２は約４０μｍとなっている。

（液滴吐出装置）
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置（以下、「吐出装置」と称呼する。）１００について説明する。
図３に示すように、吐出装置１００は、液体材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液体材料１１１が供給される吐出走査部１０２とを主体として構成されている。

液体材料１１１には、例えば上述した液晶装置１のカラーフィルタ１６の赤色層１６Ｒを構成する材料（以下、「赤色材料」という。）１１１Ｒと、緑色層１６Ｇを構成する材料（以下、「緑色材料」という。）１１１Ｇと、青色層１６Ｂを構成する材料（以下、「青色材料」という。）１１１Ｂとの３種類がある。

タンク１０１は、赤色材料１１１Ｒを保持する赤色材料タンク１０１Ｒと、緑色材料１１１Ｇを保持する緑色材料タンク１０１Ｇと、青色材料１１１Ｂを保持する青色材料タンク１０１Ｂとを有しており、上述した３種類の液体材料１１１を個別に保持するようになっている。各タンク１０１には、例えば図示しない圧力ポンプが取り付けられている。当該圧力ポンプが駆動してタンク１０１内部に圧力を加えることで、液体材料１１１がタンク１０１内から吐出走査部１０２へと供給されるようになっている。

ここで、赤色材料１１１Ｒとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに赤色の無機顔料（例えば、赤色酸化鉄(III)やカドミウム赤等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、緑色材料１１１Ｇとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに緑色の無機顔料（例えば、酸化クロム緑やコバルト緑等）を分散させた後、溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、青色材料１１１Ｂとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに青色の無機顔料（例えば、群青や紺青等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。

吐出走査部１０２は、複数のヘッド１１４（図４参照）を保持するキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御するキャリッジ位置制御装置１０４と、カラーフィルタ側マザー基板を構成する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御するステージ位置制御装置１０８と、制御部１１２とを有している。なお、実際には、吐出装置１００には複数（例えば１０個）のキャリッジ１０３が設置されている。図３では、説明の簡単のため、１個のキャリッジ１０３を図示して説明することにした。

キャリッジ位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、キャリッジ１０３をＸ軸方向又はＺ軸方向に沿って移動させると共に、Ｚ軸を軸とする回転方向にキャリッジ１０３を回転させる機能も有している。ステージ位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、Ｙ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させると共に、Ｚ軸を軸とする回転方向にステージ１０６を回転させる機能も有している。

上述のように、キャリッジ１０３はキャリッジ位置制御装置１０４の制御によってＸ軸方向に移動するようになっている。一方、ステージ１０６はステージ位置制御装置１０８の制御によってＹ軸方向に移動するようになっている。つまり、キャリッジ位置制御装置１０４およびステージ位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対するヘッド１１４の相対位置が変わるようになっている。

つまり、キャリッジ１０３及びステージ１０６のうち双方若しくはいずれか一方を移動させることで、キャリッジ１０３がステージ１０６（あるいはステージ１０６に保持される基体１０Ａ）を走査することができるようになっている。以下、本実施形態では、キャリッジ１０３を静止させ、ステージ１０６を移動させることで走査を行う場合について説明する。

図４は、１個のキャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した図であり、図４の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、図４の紙面の左右方向がＸ軸方向であり、紙面の上下方向がＹ軸方向である。
同図に示すように、キャリッジ１０３は、それぞれ同じ構造・寸法を有する複数のヘッド１１４を保持している。ヘッド１１４には、液体材料１１１のうち赤色材料１１１Ｒを吐出するヘッド１１４Ｒ、緑色材料１１１Ｇを吐出するヘッド１１４Ｇ、青色材料１１１Ｂを吐出するヘッド１１４Ｂの３種類がある。

本実施例では、１個のキャリッジ１０３に、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ４個ずつ設けられており、ヘッド１１４の数は計１２個となっている。なお、ヘッド１１４同士の位置関係については後述する。なお、本明細書では、Ｙ軸方向に隣接する４つのヘッド１１４を「ヘッド群１１４Ｐ」と表記することもある。

図５は、ヘッド１１４の底面１１４ａを示した図である。底面１１４ａの形状は、対向する２つの長辺及び対向する２つの短辺を有する矩形である。当該底面１１４ａはステージ１０６側（図中Ｚ軸方向）を向いている。ヘッド１１４の長辺方向と図中Ｘ軸方向、また、ヘッド１１４の短辺方向と図中Ｙ軸方向については、それぞれ平行になっている。

また、当該底面１１４ａには、ノズル１１８がＸ軸方向に例えば９０個ずつ、２列（列１１６Ａと列１１６Ｂ）に配置されている。また、各ノズル１１８のノズル径ｒは、約３０μｍとなっている。列１１６Ａ側のノズル１１８及び列１１６Ｂ側のノズル１１８は、それぞれ各列において所定のピッチＬＮＰ（ＬＮＰ：約１４０μｍ）で配置されている。また、ノズル列１１６Ｂの各ノズル１１８の位置が、ノズル列１１６Ａの各ノズル１１８位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の負の方向（図５の下方向）にずれるように配置されている。なお、ヘッド１１４に設けられるノズル列は２列でなくても良い。例えば、３列、４列、・・・Ｍ列（Ｍは自然数）と列数を増やしても良いし、あるいは１列であっても構わない。

ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズルからなるため、１つのヘッド１１４には１８０個のノズルが設けられている。ただし、ノズル列１１６Ａの両端から５つ目までのノズルは、液体材料１１１が吐出されないようになっている（休止ノズル：図５中、破線で囲まれた部分）。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端から５つ目までのノズルも液体材料１１１が吐出されない休止ノズルとなっている（図５中、破線で囲まれた部分）。このため、ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、両端の２０個のノズルを除いた１６０個のノズル１１８が液体材料１１１を吐出するようになっている（吐出ノズル）。

本明細書では、ヘッド１１４の位置関係を説明する目的で、ノズル列１１６Ａに含まれる９０個のノズル１１８のうち、端部から６番目のノズル、例えば図中上端から６番目のノズル１１８をヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」と表記する。つまり、ノズル列１１６Ａにおける８０個の吐出ノズルのうち、図中最上部に位置する吐出ノズルがヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」である。なお、すべてのヘッド１１４に対して、「基準ノズル１１８Ｒ」の指定の仕方が同じであればよいので、「基準ノズル１１８Ｒ」の位置は、上記位置でなくてもよい。

次に、ヘッド群１１４Ｐにおける６つのヘッド１１４の位置関係について説明する。
図６は、ヘッド１１４の相対位置関係を示す図である。なお、本図において、図４に示す２組のヘッド１１４Ｒ、１１４Ｇ、１１４Ｂについては、それぞれヘッド１１４Ｒ_１、１１４Ｇ_１、１１４Ｂ_１及びヘッド１１４Ｒ_２、１１４Ｇ_２、１１４Ｂ_２と表記して区別するものとする。

図６に示すように、ヘッド群１１４Ｐは、隣接するヘッド１１４同士がＸ方向にずれるように配置されている。ヘッド１１４Ｒ_１に隣接するヘッド１１４Ｇ_１は、ヘッド１１４Ｒ_１に対して、例えば図中Ｘ方向下側にずれるように設けられている。また、ヘッドＧ_１に隣接するヘッドＢ_１についても同様に、隣接するヘッドＧ_１に対して、例えば図中Ｘ方向下側にずれるように設けられている。ヘッド１１４Ｂ_１に隣接するヘッド１１４Ｒ_２、また、当該ヘッド１１４Ｒ_２に隣接するヘッド１１４Ｇ_２、また、当該ヘッド１１４Ｇ_２に隣接するヘッド１１４Ｂ_２についても同様に、それぞれ隣接するヘッド１１４に対して図中Ｘ方向下側にずれるように設けられている。

また、図中において、ヘッド１１４Ｒ_１に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「１−ａ」及び「１−ｂ」（実線で示す）である。ヘッド１１４Ｇ_１に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「２−ａ」及び「２−ｂ」（破線で示す）である。ヘッド１１４Ｂ_１に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「３−ａ」及び「３−ｂ」（一点鎖線で示す）である。ヘッド１１４Ｒ_２に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「４−ａ」及び「４−ｂ」（実線で示す）である。ヘッド１１４Ｇ_２に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「５−ａ」及び「５−ｂ」（破線で示す）である。ヘッド１１４Ｂ_２に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「６−ａ」及び「６−ｂ」（一点鎖線で示す）である。

同じ構造である各ヘッド１１４同士がＸ方向にずれるように配置されていることで、自身に設けられる基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置（１−ａ）〜（６−ｂ）が互いにずれるようになっている。この結果、キャリッジ１０３が走査（スキャン）する際には、ノズル１１８の最端部である基準ノズル１１８Ｒから吐出される液体材料１１１のスジムラが重ならずに済むようになっている。

また、赤色材料１１１Ｒが吐出される領域（吐出領域）は、ヘッド１１４Ｒ_１及び１１４Ｒ_２のそれぞれに設けられる基準ノズル１１８Ｒ間の領域である。すなわち、実線（１−ａ）と実線（１−ｂ）とで挟まれた領域と、実線（４−ａ）と実線（４−ｂ）とで挟まれた領域とが該当する。また、緑色材料１１１Ｇの吐出領域は、ヘッド１１４Ｇ_１及び１１４Ｇ_２のそれぞれに設けられる基準ノズル１１８Ｒ間の領域である。すなわち、破線（２−ａ）と破線（２−ｂ）とで挟まれた領域と、破線（５−ａ）と破線（５−ｂ）とで挟まれた領域とが該当する。また、青色材料１１１Ｂの吐出領域は、ヘッド１１４Ｂ_１及び１１４Ｂ_２のそれぞれに設けられる基準ノズル１１８Ｒ間の領域である。すなわち、一点鎖線（３−ａ）と一点鎖線（３−ｂ）とで挟まれた領域と、一点鎖線（６−ａ）と一点鎖線（６−ｂ）とで挟まれた領域とが該当する。

また、図６では、キャリッジ１０３が走査（スキャン）する際に、赤色材料１１１Ｒの吐出領域、緑色材料１１１Ｇの吐出領域及び青色材料１１１Ｂの吐出領域の３つの領域がすべて重なった重複吐出領域Ｖが形成されるようになっている。具体的には、重複吐出領域Ｖは、一点鎖線（３−ａ）と実線（１−ｂ）とで挟まれた領域と、一点鎖線（６−ａ）と実線（４−ｂ）とで挟まれた領域とが該当する。重複吐出領域ＶのＸ方向における寸法Ｌ_Ｖは、被吐出部１８ＳのＸ方向における寸法Ｌ（図２（ｂ）参照）よりも大きくなっている。

次に、ヘッド１１４の内部の構成を説明する。図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、それぞれのヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液体材料１１１が常に充填される液たまり１２９が設けられている。

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が設けられている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０は、ノズル１１８ごとに設けられているおり、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に設けられた供給口１３０を介して、液たまり１２９から液体材料１１１が供給される。

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを有している。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液体材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。なお、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して液体材料１１１を吐出する構成を有していてもよい。

次に、図８をもとにして制御部１１２の構成を説明する。
制御部１１２は、液体材料１１１を吐出するタイミングや、キャリッジ１０３の固定位置、ステージ１０６の移動（移動速度、移動距離等）等、吐出装置１の動作に関して統括して制御する部位である。
図８に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えており、各部分同士が通信可能に接続されている。

入力バッファメモリ２００は、外部に接続される例えば情報処理装置等から液体材料１１１の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２としては、例えばＲＡＭ等が用いられている。

処理部２０４は、記憶手段２０２内に格納された吐出データにアクセスし、当該吐出データを基にして、走査駆動部２０６及びヘッド駆動部２０８に、必要な駆動信号を供給する。
走査駆動部２０６は駆動信号に基づいて、キャリッジ位置制御装置１０４およびステージ位置制御装置１０８に所定の位置制御信号を供給する。また、ヘッド駆動部２０８は駆動信号に基づいて、各ヘッド１１４に液体材料１１１を吐出する吐出信号を供給する。

ヘッド駆動部２０８は、図９（ａ）に示すように、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有している。アナログスイッチＡＳは、ヘッド１１４内の振動子１２４に接続されている（具体的には、電極１２４Ａに接続されている。ただし、電極１２４Ａは図９（ａ）には示されていない。）。当該アナログスイッチＡＳは、ノズル１１８のそれぞれに対応するように設けられており、ノズル１１８の個数と同数設けられている。

駆動信号生成部２０３は、図９（ｂ）に示すような駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に独立して供給される。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。すなわち、駆動信号ＤＳは、複数の吐出波形Ｐが吐出周期ＥＰで繰り返される信号である。吐出周期ＥＰは、例えば処理部２０４によって所望の値に調節されるようになっている。

駆動信号生成部２０３は、所定のアナログスイッチＡＳにのみ駆動信号ＤＳを出力することが可能になっており、液体材料１１１を吐出するノズル１１８のみを駆動することができるようになっている。また、この吐出周期ＥＰを適宜調節することが可能になっており、複数のノズル１１８から所定の順序で液体材料１１１が吐出されるように吐出信号を生成することができるようになっている。

（液晶装置の製造方法（液滴吐出方法））
次に、このように構成された液晶装置１の製造工程について説明する。
本実施形態では、大面積のマザー基板を用いて複数の液晶装置を一括して形成し、切断によって個々の液晶装置１に分離する方法を例に挙げて説明する。

まず、カラーフィルタ側マザー基板の形成工程について簡単に説明する。
吐出装置１００のステージ１０６に、基体１０Ａを保持させる。当該基体１０Ａには、カラーフィルタ１６を保持する被吐出部１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ：図１０等参照）が形成されている。被吐出部１８Ｒには赤色層１６Ｒが保持され、被吐出部１８Ｇには緑色層１６Ｇが保持され、被吐出部１８Ｂには青色層１６Ｂが保持されるようになっている。なお、基体１０Ａをステージ１０６に保持する際には、基体１０Ａの短辺方向がＸ軸方向に一致し、長辺方向がＹ軸方向に一致するように位置を調節する。

この状態で、図１０に示すようにステージ１０６を図中左側から右側へ移動させる。キャリッジ１０３は、例えば図中右側から左側に基体１０Ａ上を走査する。このとき、キャリッジ１０３が基体１０Ａ上を走査しながら、各ヘッド１１４からは液体材料１１１が吐出される。具体的には、まず、基体１０Ａの端辺１０Ｂに沿って設けられている被吐出部１８Ｓを中心に吐出を行う。被吐出部１８Ｓは、Ｘ方向において最も基板端辺側に設けられた被吐出部である。

この最初の走査に関して、図１１をもとにして具体的に説明する。図１１は、各ヘッド１１４から液体材料１１１が吐出される様子を模式的に示した図である。なお、同図においては、説明をわかりやすくするため、基準ノズル１１８Ｒがヘッド１１４の端部に位置するように示した。
同図に示すように、被吐出部１８Ｓへ吐出を行う際には、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ及びヘッド１１４Ｂの重複吐出領域Ｖが被吐出部１８Ｓを全部含むように走査し、被吐出部１８Ｓと対応する領域のノズル１１８から液体材料１１１（赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂ）を吐出する。重複吐出領域Ｖの図中上部に配置されたノズル１１８については、ここでは液体材料１１１を吐出しない。

２回目以降の走査においては、液体材料１１１の吐出されていない残りの被吐出部１８へ順にキャリッジ１０３を移動し、被吐出部１８上を往復しながら吐出を行う。図１２に示すように、すべての被吐出部１８に液体材料１１１が吐出されるまで走査を繰り返す。なお、端辺１０Ｂと対向する辺１０Ｃに沿って設けられる被吐出部１８Ｔについては、重複吐出領域Ｖ及びこの重複吐出領域Ｖの図中上部に配置されたノズル１１８を用いて吐出する。このとき、吐出領域は図１２中破線部で囲んだ領域Ｑのようになる。この被吐出部１８Ｔへの吐出は、一連の走査の最後に行っても良いし、途中で行っても良い。

これ以降の工程については簡単に説明する。カラーフィルタ１６が形成された基材１０Ａ上には、図示しない電極や配線等を形成し、平坦化膜を形成する。また、基材１０Ａの表面にギャップ制御用の図示しないスペーサ及び隔壁を形成する。この基材１０Ａに形成された配線やカラーフィルタを覆うように配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。配向膜は、例えばポリイミドを塗布又は印刷することによって形成することができる。また、エポキシ樹脂等からなるシール材を矩形環状に形成し、シール材で囲まれた領域に液晶を塗布する。

次に、アクティブマトリクス側マザー基板の形成については、ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる大判の基材に配線、電極等を形成し、当該配線、電極等が形成された領域に、平坦化膜を形成する。平坦化膜を形成したら、ポリイミド等からなる配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。

次に、カラーフィルタ側マザー基板とアクティブマトリクス側マザー基板とをパネル状に貼り合わせる。両基板を近接させ、アクティブマトリクス側マザー基板がカラーフィルタ側マザー基板上のシール材に接着させるようにする。その後、接着した両マザー基板にスクライブ線を形成し、当該スクライブ線に沿ってパネルを切断し、切断した各パネルの洗浄を行い、各パネルに駆動ドライバ等を実装する。各液晶パネルの外側表面に偏光板を貼着し、バックライト４１を取り付けて、液晶装置１が完成する。

このように、本実施形態によれば、個々のヘッド１１４におけるスジムラの発生しやすい位置、すなわち、各ヘッド１１４の基準ノズル１１８ＲのＸ方向上の位置を、ヘッド１１４毎にずらしているので、上記のようにキャリッジ１０３が基体１０Ａ上を走査しながら液体材料１１１を吐出する場合であっても、個々のヘッド１１４により吐出された液体材料１１１のスジムラの位置が重なることが無く、全体において液体材料のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。

ノズル１１８を上記のようにずらした場合、ヘッド１１４ごとに吐出領域がばらつき、特に基体１０Ａの端辺１０Ｂ側に設けられる被吐出部１８Ｓには、１種類あるいは一部の種類の液体材料１１１しか吐出されないことが多い。このため、１回の走査では吐出されない他の種類の液体材料１１１を吐出しようとするだけの目的で、走査を２回、３回と繰り返さなければならず、極めて非効率である。

本実施形態によれば、基体１０Ａの端辺１０Ｂ側に設けられた被吐出部１８Ｓに液体材料１１１の液滴を吐出するときには、重複吐出領域Ｖが、その被吐出部１８Ｓのうち少なくとも一部を含むように走査するので、１回の走査で被吐出部１８Ｓに３種類の液体材料１１１を吐出することができる。これにより、非効率な走査を行わなくても済むという利点がある。

なお、上記実施形態においては、重複吐出領域ＶのＸ方向における寸法Ｌ_Ｖが、被吐出部１８ＳのＸ方向における寸法Ｌよりも大きくなっている。これにより、被吐出部１８ＳのＸ方向全体に１回の走査で液体材料１１１を吐出することができるので、同じ被吐出部１８Ｓに２度、３度と吐出することは無い。したがって、１つの被吐出部１８Ｓに一度吐出してから往復走査を行い再度吐出するまでの時間差が発生することも無い。このため、時間差に起因する液体材料１１１の乾燥ムラの発生を防ぐことができる。

また、上記実施形態においては、例えば図１０に示すように全被吐出部１８のうち被吐出部１８Ｓに、液体材料１１１を最初に吐出することにより、その後他の被吐出部１８上を走査するときのヘッド１１４の位置の調整がしやすくなるので、効率的な走査を行うことができる。

（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器について、携帯電話を例に挙げて説明する。
図１３は、携帯電話３００の全体構成を示す斜視図である。
携帯電話３００は、筺体３０１、複数の操作ボタンが設けられた操作部３０２、画像や動画、文字等を表示する表示部３０３を有する。表示部３０３には、本発明に係る液晶装置１が搭載される。
このように、表示が均一な良質の液晶装置１を搭載したので、表示性能の優れた電子機器（携帯電話３００）を得ることができる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
また、上記実施形態の説明は、本発明を液晶装置１のカラーフィルタ基板３にカラーフィルタ層１６を形成する場合の例であるが、この例に限られることは無く、例えば本発明を有機ＥＬ装置用基板に有機層（発光層等）を形成する場合にも適用することが可能である。

本発明の実施形態に係る液晶装置の構成を示す斜視図である。本実施形態に係るカラーフィルタ基板の構成を示す平面図である。本実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。本実施形態に係る液滴吐出装置のキャリッジの構成を示す平面図である。本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの外部構成を示す平面図である。本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの内部構成を示す図である。本実施形態に係る液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッド駆動部の構成を示す図である。本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの配置を示す図である。本実施形態に係る液滴吐出方法を示す図（その１）である。本実施形態に係る液滴吐出方法を示す図（その２）である。本実施形態に係る液滴吐出方法を示す図（その３）である。本発明に係る電子機器の構成を示す斜視図である。

符号の説明

１…液晶装置２…アクティブマトリクス基板３…カラーフィルタ基板１０Ａ…基体１６…カラーフィルタ１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）…被吐出部１００…液滴吐出装置（吐出装置）１０３…キャリッジ１０６…ステージ１１１（１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ）…液体材料１１４（１１４Ｒ、１１４Ｇ、１１４Ｂ）…ヘッド１１４Ｐ…ヘッド群１１４Ｇ…ヘッド１１８…ノズル３００…携帯電話

Claims

基板に設けられた被吐出部上を複数の吐出ヘッドが相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記被吐出部に複数種類の機能液を吐出する液滴吐出方法であって、
前記各吐出ヘッドは前記複数種類の機能液のうち何れか１種類の機能液を吐出し、前記走査方向に略直交する直交方向の両端部に設けられる前記ノズルの前記直交方向における位置を前記吐出ヘッドごとにずらすと共に、１回の走査で、前記基板の前記直交方向の端部に位置し前記走査方向に延在する辺に沿って設けられた被吐出部に吐出する全ての種類の前記機能液の吐出領域が重なる重複吐出領域が形成されるように前記吐出ヘッドを配置し、
前記基板の前記直交方向の端部に位置し前記走査方向に延在する辺に沿って設けられた被吐出部の少なくとも端部が前記重複吐出領域に含まれるように前記吐出ヘッドを走査することを特徴とする液滴吐出方法。
前記重複吐出領域の前記直交方向における寸法が、前記被吐出部の前記直交方向における寸法よりも大きくなっていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
前記被吐出部に前記機能液を吐出するときには、前記基板の前記直交方向の端辺側に設けられた被吐出部に最初に吐出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出方法。