JP3111024B2 - カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法 - Google Patents

カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光透過性の基板上
に、複数種類の色に着色された画素を多数形成すること
により製造されるカラーフィルタの製造装置及び製造方
法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用のパーソナルコンピュータの発達に伴い、液
晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需
要が増加する傾向にある。しかしながら、更なる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フィルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられいるが、いまだ全ての要求特性
を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれの
方法を説明する。
【０００３】第１の方法は、染色法である。染色法は、
ガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を
塗布し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の
形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴
に浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り
返すことによりＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ層を得る。
【０００４】第２の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って代わりつつある。この方法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得る。さらにこの工程
を３回繰り返すことにより、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィル
タ層を形成する。
【０００５】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ，Ｇ，Ｂを塗り
分けた後、樹脂を熱硬化させることにより表色層を形成
するものである。
【０００６】第４の方法としては、印刷法がある。この
方法は熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことによりＲ，Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。
【０００７】これらの方法に共通している点は、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また工程が
多いほど歩留まりが低下するという問題点を有してい
る。さらに、電着法においては、形成可能なパターン形
状が限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ方式のカラ
ー液晶ディスプレイには適用できない。また、印刷法
は、解像性、平滑性が悪いためファインピッチのパター
ンは形成できない。
【０００８】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報、特
開昭６３−２９４５０３号公報、あるいは、特開平１−
２１７３２０号公報等には、インクジェット方式を用い
てカラーフィルタを製造する方法が記載されている。
【０００９】その中で、インクジェット法でカラーフィ
ルタを作成する方法としては、透明基板上に所定の規則
性がある開口部を有するように遮光膜を設け、この開口
部にインクジェットヘッドからインクを吐出して着色を
行うなどの方法が記載されている。
【００１０】一般的にインクジェットヘッドの開発に
は、非常に多くの時間と費用を要するものである。従っ
て、カラーフィルタの製造装置のために、専用のインク
ジェットヘッドを開発しても、一般的に使用されている
プリンター等で用いられているインクジェットヘッドに
比較して、生産されるヘッド台数は少ないため、非常に
高価なものになり、製造装置が高額化し、カラーフィル
タのコストアップにつながる。
【００１１】また、一般のプリンタで用いられているイ
ンクジェットヘッドを、カラーフィルタの製造に適用し
ようとした場合、現存するほとんどのプリンタ用のイン
クジェットヘッドの分解能は３００ｄｐｉ、３６０ｄｐ
ｉ、４００ｄｐｉ、６００ｄｐｉ、７２０ｄｐｉのいず
れかである。一方、カラーフィルタの画素ピッチは、
９.４インチのＶＧＡタイプで３００μｍ（８４.７ｄｐ
ｉ相当）、１０.４インチのＸＧＡタイプと、１２.９イ
ンチのＥＷＳタイプで２０７μｍ（１２２.７ｄｐｉ相
当）、１２.１インチのＸＧＡタイプと１３.８インチの
ＥＷＳタイプと、１５.５インチのＥＷＳタイプで２４
０μｍ（１０５.８ｄｐｉ相当）などであり、何れの組
み合わせの場合であっても、インクジェットヘッドの分
解能とカラーフィルタの画素ピッチが一致したり、整数
倍になる組み合わせはない。また、これら以外のカラー
フィルタに対応する場合でも、インクジェットヘッドの
分解能とカラーフィルタの画素ピッチが一致したり、整
数倍になる場合は、ほとんど無いと考えられる。
【００１２】そこで、本願出願人は、一般のインクジェ
ット方式のプリンタ等で用いられているインクジェット
ヘッドを、カラーフィルタの製造装置に応用する際に
は、インクジェットヘッドの分解能とカラーフィルタの
画素ピッチを合わせるために、インクジェットヘッドを
カラーフィルタ基板に対して斜めに配置して、画素ピッ
チを合わせて用いることを検討した。
【００１３】また、一種類のインクジェットヘッドで、
種々のカラーフィルタの画素ピッチに対応可能なよう
に、インクジェットヘッドはカラーフィルタ基板に対し
て、角度を可変出来るように製造装置に取り付けること
を検討した。
【００１４】ところが、このようにインクジェットヘッ
ドをカラーフィルタ基板に対して斜めに配置して、イン
クジェットヘッドとカラーフィルタ基板を相対的に走査
させて着色を行う際、インクジェットヘッドが斜めに配
置されている分だけ余計に相対的に走査する必要ができ
てくる。これは、基板一枚あたりに要する着色時間を増
大させ、特に、カラーフィルタの有効画素エリアより短
いインクジェットヘッドを用いた場合には、複数回の相
対走査が必要となるので、ますます時間がかかってしま
うという問題があることがわかった。基板一枚当りの時
間が多くかかることは、単位時間当りのカラーフィルタ
の生産量を下げることになり、カラーフィルタ単体のコ
ストアップにもつながる。
【００１５】また、インクジェットヘッドを使用する場
合で、インクジェットヘッドを放置しておくと、インク
ジェットヘッドの吐出ノズル内にあるインクが空気に触
れて増粘したり固着したりして、インクを吐出させよう
とした場合にインクを吐出しない不吐出や、インクの吐
出方向が傾いてしまうヨレなどの現象を生じてしまう虞
があるため、ヘッドを使用しない時にはキャップ部材に
よりノズル面を覆っておくようにする。それでも、吐出
し始めには、増粘したインクの影響によって、最初の何
発かは吐出しなかったり、ヨレを生じたりする。この状
態のときに、紙などの被印字媒体に吐出を行うと、文字
の一部が抜けてしまったり、つぶれてしまったりするた
め、印字品位の低下を招いてしまう。この現象を防止す
るために、実際の印字を行う前に、キャップ部あるいは
その他の部分に予備吐出で生じたインクを受ける受け部
などを設けて、そこに何発かの予備のインク吐出（予備
吐出）の動作を行う。この動作自体は、インクジェット
方式のプリンタでは一般的に行われていることであり、
特別な動作ではない。
【００１６】カラーフィルタの製造装置に、インクジェ
ットヘッドを用いた場合では、通常のプリンタの場合と
異なり、前述したように所定の規則性がある開口部にイ
ンクジェットヘッドからインクを吐出して着色を行う方
法であるので、インクの着弾精度は一般のプリンタの場
合に比較してほぼ一桁高い値が要求される。従って、い
っそう予備吐出の動作は重要となり、ガラス基板にイン
クを吐出してカラーパターンの着色を行う前に、必ず予
備吐出の動作を行った方が望ましい。
【００１７】さらに、この予備吐出の動作の後に、一回
の走査でガラス基板全てを着色できるような長尺なヘッ
ドを用いた場合には、問題とならないが、複数回の走査
によってガラス基板一枚を着色するような長さの短いヘ
ッドを用いた場合には、走査と走査の間でヘッドと基板
の相対位置を変えるために、ヘッドの吐出を休止させる
時間が必要となり、この時間が長くなると、次の走査で
吐出するときに、不吐出や、ヨレを生じてしまう虞があ
る。
【００１８】また、複数回の走査で全面を着色するとき
に、一回の走査で使用可能な吐出ノズルの数と、カラー
フィルタを構成する画素数の関係で、毎回の走査で常に
同じノズルを使用するとは限らない。従って、前の走査
で使用しなかったノズルを使用する可能性がある。
【００１９】前の走査で使用しなかったノズルは、他の
ノズルに比較して、当然使用されないで空気に触れてい
る時間が長いために、吐出ノズル内にあるインクが増粘
したり固着したりして、インクを吐出させようとした場
合にインクを吐出しない不吐出や、インクの吐出方向が
傾いてしまうヨレなどの現象を生じてしまう可能性が高
くなり、カラーフィルタとしてみた場合、不良となる虞
がある。
【００２０】また、これを防止するために、一回の走査
を行うごとに、ヘッドをキャップ部あるいはその他の部
分の予備吐出のインク受け部に相対的に移動して、予備
の吐出動作を行うことも可能であるが、そのために、一
枚の基板を着色し終わるまでの時間が長くなり、単位時
間当りの生産量が低下してしまい、コストアップにつな
がってしまうため、望ましい方法ではないことを本願出
願人は見出した。
【００２１】また、上記の問題とは別に次のような問題
点もある。
【００２２】ここで、問題点について具体的に述べる前
に、一般のインクジェット方式のプリンタ等で用いられ
ているインクジェットヘッドを、カラーフィルタの製造
装置に応用する際に、インクジェットヘッドの分解能と
カラーフィルタの画素ピッチを合わせるために、インク
ジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対して斜めに配
置して、画素ピッチを合わせて用いる場合の本願出願人
が検討した一例について、図１を参照して説明する。
【００２３】図１はインクジェットヘッドによりカラー
フィルタの画素を着色している様子を上から見た図であ
り、インクジェットヘッドについては、ノズル列の位置
のみを示している。また、決められたパターンのうち赤
に着色されるべき部分を着色しているときの様子を示
す。なお、図１において各画素に描かれているＲ，Ｇ，
Ｂの文字はそれぞれの画素が赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、
青色（Ｂ）に着色されることを示している。
【００２４】１０１３はインクジェットヘッドに形成さ
れたノズル列であり、ここからインクが吐出され基板上
にインクドットが形成される。１０１４はカラーフィル
タの画素であり、基板上のインクドットが形成される部
分である。
【００２５】図１の例では、カラーフィルタの画素の間
隔とインクジェットヘッドのノズル間隔が一致していな
いことから、ヘッドを傾けて、Ｙ方向に３つ毎に並ぶ同
じ色の画素の位置と５個毎のノズルから吐出されるイン
クの位置を一致させ、インクジェットヘッドを図中のＸ
方向に相対的に動かしながらインクドットを画素１０１
４の中に形成することにより、画素内を着色する。これ
を赤、緑、青それぞれのインクを吐出するインクジェッ
トヘッドで行うことによりカラーフィルタを製造する。
このため、この図に示された赤の画素を着色するための
インクジェットヘッドでは右下から数えて２番目、７番
目、１２番目のノズルは吐出を行い、ほかのノズルは吐
出しない。
【００２６】なお、この例では、インクジェットヘッド
として、ノズルピッチ３６０ｄｐｉ（７０．５μｍ）の
一般的なインクジェット方式のヘッドを用いている。ま
た、カラーフィルタとして、画素間の間隔１００μｍの
ものを示している。
【００２７】このとき、インクジェット方式のヘッドに
は以下のような性質がある。 （１）インク中に存在する固形物によりノズルが詰まっ
たりすることにより、正常に吐出しなくなることがあ
る。この際、使用中のノズルが正常に吐出しなくなると
インクジェットヘッド全体を交換することになる。 （２）特に、熱現象を利用したインクジェット方式で
は、インクの焦げつきなどにより、一定数のインクを吐
出するとノズルが正常に吐出しなくなる特性を持つ、す
なわち、ノズルの寿命が吐出インク数に依存する。この
ため、インクジェットヘッドの交換は定期的に行うこと
が必要である。 （３）熱現象を利用したインクジェット方式では、吐出
をしているノズルに設けられたヒーターが発熱するた
め、吐出を繰り返すことにより、吐出しているノズル近
傍の温度が上昇する。その一方、吐出されるインクの量
が温度に依存する。このため、徐々にインクドットの大
きさが変化するとともに、インクジェットヘッドが膨張
し、ノズルピッチが変化するなどの変形が起こる。
【００２８】このように、カラーフィルタの製造装置で
は、特定のノズルのみ使用する場合、以下の問題点があ
る。 （１）正常に吐出しないノズルが発生した場合、その他
のノズルが使用可能であるにも拘らず、インクジェット
ヘッド全体を交換する必要がある。 （２）特に、熱現象を利用したインクジェット方式で
は、ノズルの寿命が吐出インク数に依存するため、定期
的なヘッド交換が必要であり、この交換の際、他の大多
数のノズルは使用可能であるにも拘らず、使用していた
一部のノズルの寿命がインクジェットヘッド全体の寿命
となる。 （３）特に、熱現象を利用したインクジェット方式で
は、吐出に伴い、ノズル近傍の温度が上昇し、それに伴
い吐出量が変動する。このため、基板に形成されるイン
クドットの大きさや色の濃さが変化し、カラーフィルタ
の均一性に悪影響を及ぼす。
【００２９】さらには、次のような問題点もある。即
ち、カラーフィルタに用いられるインクは、インクに含
まれる色材から発生する不純物が液晶層などに溶出し
て、表示品位の低下を招く虞があるために、高度に精製
して不純物を取り除いておく必要がある。そのために、
インクは高価であり、コストの面からインクの使用量の
削減は強く望まれている。
【００３０】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、カラーフィルタを製造
する際に用いるインクジェットヘッドを、一般のプリン
タに用いられているものを用いる、あるいは、簡単な改
造をして用いることによって、インクジェットヘッドの
コストを下げ、製造装置にかかるコストをより安くする
ことが出来るカラーフィルタの製造装置及び製造方法を
提供することである。
【００３１】また、本発明の他の目的は、１枚あたりに
使用されるカラーフィルタ用のインクの量を減らして、
より安価なカラーフィルタ及びこのカラーフィルタを用
いた表示装置及びこの表示装置を備えた装置を製造する
方法を提供することである。
【００３２】また、本発明のさらに他の目的は、複数回
の走査によってガラス基板一枚を着色する場合におい
て、インクジェットヘッドの吐出動作を安定させ、不良
の発生を少なくすることができ、かつ、一枚のガラス基
板に要する描画時間を短縮し、単位時間当たりの生産量
を増やすことによって、より低コストのカラーフィルタ
を生産可能なカラーフィルタの製造装置及び製造方法及
び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造
方法を提供することである。
【００３３】また、本発明のさらに他の目的は、吐出ノ
ズルが画素ピッチと一致するように配列されたインクジ
ェットヘッドを、複数回の相対走査によって基板一枚を
描画する場合において、走査の間におけるインクジェッ
トヘッドの吐出ノズルがインクを吐出しない休止時間を
短くして、インクジェットヘッドの吐出動作を安定さ
せ、不良の発生を少なくし、歩留まりの向上したカラー
フィルタの製造装置を提供することである。
【００３４】また、本発明のさらに他の目的は、使用す
るノズルを同じインクジェットヘッドの他のノズルに切
り替えられる様にすることである。
【００３５】また、本発明のさらに他の目的は、ノズル
の寿命によるインクジェットヘッドの交換頻度を減少さ
せることである。
【００３６】また、本発明のさらに他の目的は、インク
ドットの大きさや色の濃さを一定に保つことである。
【００３７】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造装置は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同
一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記Ｘ
軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異な
る色に着色された画素を周期的に多数個並べて形成する
ことにより製造されるカラーフィルタの製造装置であっ
て、各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に
並んだ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のイン
クジェットヘッドであって、前記複数のインク吐出ノズ
ルのＹ軸方向の間隔が、同一色の画素のＹ軸方向の間隔
と等しく設定された第１の吐出ノズル群と、該第１の吐
出ノズル群以外に前記Ｙ軸方向の画素間隔と等しく設定
された第２の吐出ノズル群を有する複数のインクジェッ
トヘッドと、該複数のインクジェットヘッドと前記基板
との相対位置を移動させるための移動手段と、前記移動
手段の動作と、前記複数のインクジェットヘッドのイン
ク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、前記第１
の吐出ノズル群が前記画素の着色のために使用されると
きは前記第２の吐出ノズル群は前記画素の着色のために
使用されず、前記制御手段は、前記複数のインクジェッ
トヘッドの第１及び第２のインク吐出ノズル群のうち、
前記基板上の対応する色の画素を着色するノズル群のみ
インク吐出動作の制御を行うことを特徴としている。
【００３８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記複数のインク
ジェットヘッドが前記基板上の対応する色の画素を着色
する前に、予備の吐出動作を行うように制御することを
特徴としている。
【００３９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記複数のインク
ジェットヘッドの第１及び第２のインク吐出ノズル群の
うち、前記基板上の対応する色の画素に着色するノズル
群のみ、着色する直前に予備の吐出動作を行うように制
御することを特徴としている。
【００４０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記複数のインク
ジェットヘッドの第１及び第２のインク吐出ノズル群の
うち、前記基板上の対応する色の画素に着色するノズル
群のみ、着色する直前に予備の吐出動作を行う場合と、
着色に使用しないノズル群も含めた全てのノズル群で、
着色する直前に予備の吐出動作を行う場合とを、場合分
けして行うように制御することを特徴としている。
【００４１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記第１のノズル群とそれ以外の第
２のノズル群のノズル数が等しいインクジェットヘッド
を有することを特徴としている。
【００４２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記第１のノズル群とそれ以外の第
２のノズル群が一直線上に配列されたインクジェットヘ
ッドを有することを特徴としている。
【００４３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記第１のノズル群とそれ以外の第
２のノズル群の全てのノズルが、ノズル列方向に同じ間
隔をおいて配列されたインクジェットヘッドを有するこ
とを特徴としている。
【００４４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００４５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同一の
色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記Ｘ軸方
向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異なる色
に着色された画素を周期的に多数個並べて形成すること
により製造されるカラーフィルタの製造方法であって、
各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジ
ェットヘッドであって、前記複数のインク吐出ノズルの
Ｙ軸方向の間隔が、同一色の画素のＹ軸方向の間隔と等
しく設定された第１の吐出ノズル群と、該第１の吐出ノ
ズル群以外に前記Ｙ軸方向の画素間隔と等しく設定され
た第２の吐出ノズル群を有する複数のインクジェットヘ
ッドとを用い、前記複数のインクジェットヘッドの前記
第１及び第２の吐出ノズル群のうち、光透過性の基板上
の対応する色の画素に着色するノズル群のみインク吐出
動作を行い、前記インクジェットヘッドを前記Ｘ軸方向
に走査させながらインクを吐出させ、前記画素の全数を
１回あるいは複数回の前記Ｘ軸方向の走査により着色す
ることを特徴としている。
【００４６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記制御手段は、前記複数のインク
ジェットヘッドが前記基板上の対応する色の画素に着色
する前に、予備の吐出動作を行うように制御することを
特徴としている。
【００４７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記制御手段は、前記複数のインク
ジェットヘッドの第１及び第２の吐出ノズル群のうち、
前記基板上の対応する色の画素に着色するノズル群の
み、着色する直前に予備の吐出動作を行うように制御す
ることを特徴としている。
【００４８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記制御手段は、前記各インクジェ
ットヘッドが前記基板上の対応する色の画素に着色する
直前に、前記複数のインクジェットヘッドの第１及び第
２の吐出ノズル群のうち、前記基板上の対応する色の画
素に着色するノズル群のみ、予備吐出動作を行う場合
と、着色に使用しないノズル群も含めた全てのノズル群
で、予備の吐出動作を行う場合とを、場合わけして行う
ように制御することを特徴としている。
【００４９】
【００５０】また、本発明に係わる表示装置の製造方法
は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同一の色に着
色された画素を多数個並べて形成し、前記Ｘ軸方向と直
交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異なる色に着色
された画素を周期的に多数個並べて形成することにより
製造されるカラーフィルタを用いた表示装置の製造方法
であって、各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる
方向に並んだ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数
のインクジェットヘッドであって、前記複数のインク吐
出ノズルの前記Ｙ軸方向の間隔が、同一色の画素のＹ軸
方向の間隔と等しく設定された第１の吐出ノズル群と、
該第１の吐出ノズル群以外にＹ方向の画素間隔と等しく
設定された第２の吐出ノズル群を有する複数のインクジ
ェットヘッドとを用い、前記複数のインクジェットヘッ
ドの前記第１及び第２の吐出ノズル群のうち、光透過性
の基板上の対応する色の画素に着色するノズル群のみイ
ンク吐出動作を行い、前記インクジェットヘッドをＸ軸
方向に走査させながらインクを吐出させ、前記画素の全
数を１回あるいは複数回のＸ軸方向の走査により着色し
たカラーフィルタを製造する工程と、前記カラーフィル
タと、光量を可変とする光量可変手段とを一体化する工
程とを備えることを特徴としている。
【００５１】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置の製造方法は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に
同一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記
Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異
なる色に着色された画素を多数個周期的に並べて形成す
ることにより製造されるカラーフィルタを用いた、表示
装置を備えた装置の製造方法であって、各色毎に設けら
れ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並んだ複数のインク
吐出ノズルを夫々有する複数のインクジェットヘッドで
あって、前記複数のインク吐出ノズルの前記Ｙ軸方向の
間隔が、同一色の画素のＹ軸方向の間隔と等しく設定さ
れた第１の吐出ノズル群と、該第１の吐出ノズル群以外
にＹ方向の画素間隔と等しく設定された第２の吐出ノズ
ル群を有する複数のインクジェットヘッドとを用い、前
記複数のインクジェットヘッドの前記第１及び第２の吐
出ノズル群のうち、光透過性の基板上の対応する色の画
素に着色するノズル群のみインク吐出動作を行い、前記
インクジェットヘッドをＸ軸方向に走査させながらイン
クを吐出させ、前記画素の全数を１回あるいは複数回の
Ｘ軸方向の走査により着色されたカラーフィルタを製造
する工程と、光量を可変とする光量可変手段とを一体化
して表示装置を製造する工程と、該表示装置に画像信号
を供給する画像信号供給手段を設ける工程とを具備する
ことを特徴としている。
【００５２】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、第１のインク吐出ノズル群と、前記第１のイ
ンク吐出ノズル群に代わってインクを吐出可能な第２の
インク吐出ノズル群とを用いて基板に対してインクを吐
出することで基板上に着色された画素を形成することに
よりカラーフィルタを製造する装置であって、前記第１
のインク吐出ノズル群によりこれから着色しようとする
各基板の着色前に前記第１のインク吐出ノズル群のみに
予備のインク吐出動作を行なわせ、前記第１のインク吐
出ノズル群による所定数の前記基板の着色毎に、これか
ら着色しようとする基板の着色前に、前記第１のインク
吐出ノズル群と前記第２のインク吐出ノズル群の双方に
予備のインク吐出動作を行わせ、前記所定数よりも多い
数の前記基板の着色毎にインクに対して圧力を作用させ
ることで前記第１のインク吐出ノズル群と第２のインク
吐出ノズル群の双方からインクを排出させる動作を行わ
せる制御手段を備えることを特徴としている。
【００５３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に着色された画素を複数個並べて形成
することにより製造されるカラーフィルタの製造装置で
あって、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェッ
トヘッドと、該インクジェットヘッドと前記基板との相
対位置を移動させるための移動手段と、前記移動手段の
動作と前記インクジェットヘッドのインク吐出動作とを
制御する制御手段とを具備し、前記インクジェットヘッ
ドが複数回の走査によって前記基板を着色する際に、前
記制御手段は、各走査中に前記インクジェットヘッドの
複数のインク吐出ノズルのうち一部のインク吐出ノズル
からインク吐出動作を行ない、残りのインク吐出ノズル
からのインク吐出動作は行なわないように制御し、且つ
後の走査で使用するインク吐出ノズルは必ず前の走査で
使用したインク吐出ノズルまたはその一部であるように
インク吐出動作の制御を行うことを特徴としている。
【００５４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００５５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記インクジェッ
トヘッドが光透過性の基板上の対応する色の画素に着色
を開始する前に、予備の吐出動作を行うように制御する
ことを特徴としている。
【００５６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に着色された画素を複数個並べて形成
することにより製造されるカラーフィルタの製造装置で
あって、各色毎に設けられた複数のインク吐出ノズルを
夫々有する複数のインクジェットヘッドと、該複数のイ
ンクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移動させ
るための移動手段と、前記移動手段の動作と前記複数の
インクジェットヘッドのインク吐出動作とを制御する制
御手段とを具備し、前記複数のインクジェットヘッドが
複数回の走査によって前記基板の全域を着色する際に、
前記制御手段は、各走査中に前記インクジェットヘッド
の複数のインク吐出ノズルのうち一部のインク吐出ノズ
ルからインク吐出動作を行ない、残りのインク吐出ノズ
ルからのインク吐出動作は行なわないように制御し、且
つ後の走査で使用するインク吐出ノズルは必ず前の走査
で使用したインク吐出ノズルまたはその一部であるよう
にインク吐出動作の制御を行うことを特徴としている。
【００５７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００５８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記インクジェッ
トヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する
前に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴
としている。
【００５９】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同一の
色に着色された画素を複数個並べて形成し、前記Ｘ軸方
向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が違いに異なる色
に着色された画素を複数個並べて形成することにより製
造されるカラーフィルタの製造装置であって、各色毎に
設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並んだ複数の
インク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジェットヘ
ッドと、該複数のインクジェットヘッドと前記基板との
相対位置を移動させるための移動手段と、該移動手段の
動作と前記複数のインクジェットヘッドのインク吐出動
作とを制御する制御手段とを具備し、前記複数のインク
ジェットヘッドが複数回の走査によって前記基板の全域
を着色する際に、前記制御手段は、各走査中に前記イン
クジェットヘッドの複数のインク吐出ノズルのうち一部
のインク吐出ノズルからインク吐出動作を行ない、残り
のインク吐出ノズルからのインク吐出動作は行なわない
ように制御し、且つ後の走査で使用するインク吐出ノズ
ルは必ず前の走査で使用したインク吐出ノズルまたはそ
の一部であるようにインク吐出動作の制御を行うことを
特徴としている。
【００６０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００６１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記インクジェッ
トヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する
前に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴
としている。
【００６２】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同一の
色に着色された画素を複数個並べて形成し、前記Ｘ軸方
向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が違いに異なる色
に着色された画素を複数個並べて形成することにより製
造されるカラーフィルタの製造装置であって、各色毎に
設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並んだ複数の
インク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジェットヘ
ッドであって、同一走査で着色に用いる複数のインク吐
出ノズルの前記Ｙ軸方向のピッチ間隔が、同一色の画素
の前記Ｙ軸方向のピッチ間隔と等しい複数のインクジェ
ットヘッドと、該複数のインクジェットヘッドと前記基
板との相対位置を移動させるための移動手段と、該移動
手段の動作と、前記複数のインクジェットヘッドのイン
ク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、前記複数
のインクジェットヘッドが複数回の走査によって前記基
板の全域を着色する際に、前記制御手段は、各走査中に
前記インクジェットヘッドの複数のインク吐出ノズルの
うち一部のインク吐出ノズルからインク吐出動作を行な
い、残りのインク吐出ノズルからのインク吐出動作は行
なわないように制御し、且つ後の走査で使用するインク
吐出ノズルは必ず前の走査で使用したインク吐出ノズル
またはその一部であるようにインク吐出動作の制御を行
うことを特徴としている。
【００６３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００６４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記インクジェッ
トヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する
前に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴
としている。
【００６５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドと基板との相対位置を制御し、前記インクジ
ェットヘッドから前記基板に対してインクを吐出するこ
とで、基板上に着色された画素を複数個並べて形成する
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、前
記インクジェットヘッドが複数回の走査によって前記基
板の全域を着色する際に、各走査中に前記インクジェッ
トヘッドの複数のインク吐出ノズルのうち一部のインク
吐出ノズルからインク吐出動作を行ない、残りのインク
吐出ノズルからのインク吐出動作は行なわないように
し、且つ後の走査で使用するインク吐出ノズルは必ず前
の走査で使用したインク吐出ノズルあるいはその一部と
なるようにインク吐出動作を行うことを特徴としてい
る。
【００６６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴とする請求項２９に
記載のカラーフィルタの製造方法。
【００６７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記制御手段は、前記インクジェッ
トヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する
前に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴
としている。
【００６８】
【００６９】また、本発明に係わる表示装置の製造方法
は、基板上に着色された画素を複数個並べて形成するこ
とにより製造されるカラーフィルタを用いた表示装置の
製造方法であって、複数のインク吐出ノズルを有するイ
ンクジェットヘッドを用い、前記インクジェットヘッド
が複数回の走査によって前記基板の全域を着色する際
に、各走査中に前記インクジェットヘッドの複数のイン
ク吐出ノズルのうち一部のインク吐出ノズルからインク
吐出動作を行ない、残りのインク吐出ノズルからのイン
ク吐出動作は行なわないようにし、且つ後の走査で使用
するインク吐出ノズルは必ず前の走査で使用したインク
吐出ノズルあるいはその一部となるようなインク吐出動
作により着色してカラーフィルタを製造する工程と、前
記カラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段と
を一体化する工程とを備えることを特徴としている。
【００７０】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置の製造方法は、基板上に着色された画素を複数個並べ
て形成することにより製造されるカラーフィルタを用い
た、表示装置を備えた装置の製造方法であって、複数の
インク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを用
い、前記インクジェットヘッドが複数回の走査によって
前記基板の全域を着色する際に、各走査中に前記インク
ジェットヘッドの複数のインク吐出ノズルのうち一部の
インク吐出ノズルからインク吐出動作を行ない、残りの
インク吐出ノズルからのインク吐出動作は行なわないよ
うにし、且つ後の走査で使用するインク吐出ノズルは必
ず前の走査で使用したインク吐出ノズルあるいはその一
部となるようなインク吐出動作により着色してカラーフ
ィルタを製造する工程と、光量を可変とする光量可変手
段とを一体化して表示装置を製造する工程と、該表示装
置に画像信号を出力する画像信号出力手段を設ける工程
とを具備することを特徴としている。
【００７１】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に着色された画素を多数個並べて形成
することにより製造されるカラーフィルタの製造装置で
あって、複数のインク吐出ノズルを有するインク吐出手
段と、前記インク吐出手段と前記基板との相対位置を移
動させるための移動手段と、前記移動手段の動作と、前
記インク吐出手段のインク吐出動作とを制御する制御手
段とを具備し、前記制御手段は、前記インク吐出手段が
複数回の走査によって前記基板を着色する際に、各走査
で着色に使用するノズル数が実質的に均等となるように
制御することを特徴としている。
【００７２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インク吐出手段は、熱エネルギ
ーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インク
に与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発
生体を備えていることを特徴としている。
【００７３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御することを特徴としている。
【００７４】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に着色された画素を多数個並べて形成
することにより製造されるカラーフィルタの製造装置で
あって、各色毎に設けられ複数のインク吐出ノズルを夫
々有する複数のインク吐出手段と、前記複数のインク吐
出手段と前記基板との相対位置を移動させるための移動
手段と、前記移動手段の動作と、前記複数のインク吐出
手段のインク吐出動作とを制御する制御手段とを具備
し、前記制御手段は、前記複数のインク吐出手段が複数
回の走査によって前記基板の全域を着色する際に、各走
査で着色に使用するノズル数が実質的に均等となるよう
に制御することを特徴としている。
【００７５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インク吐出手段は、熱エネルギ
ーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インク
に与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発
生体を備えていることを特徴としている。
【００７６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御することを特徴としている。
【００７７】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同一の
色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記Ｘ軸方
向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異なる色
に着色された画素を多数個並べて形成することにより製
造されるカラーフィルタの製造装置であって、各色毎に
設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並んだ複数の
インク吐出ノズルを夫々有する複数のインク吐出手段
と、前記複数のインク吐出手段と前記基板との相対位置
を移動させるための移動手段と、前記移動手段の動作
と、前記複数のインク吐出手段のインク吐出動作とを制
御する制御手段とを具備し、前記制御手段は、前記複数
のインク吐出手段が複数回の走査によって前記基板の全
域を着色する際に、各走査で着色に使用するノズル数が
実質的に均等となるように制御することを特徴としてい
る。
【００７８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インク吐出手段は、熱エネルギ
ーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インク
に与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発
生体を備えていることを特徴としている。
【００７９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御することを特徴としている。
【００８０】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同一の
色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記Ｘ軸方
向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異なる色
に着色された画素を多数個並べて形成することにより製
造されるカラーフィルタの製造装置であって、各色毎に
設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並んだ複数の
インク吐出ノズルを夫々有する複数のインク吐出手段で
あって、少なくとも前記複数のインク吐出ノズルのＹ軸
方向のピッチ間隔が、同一色の画素のＹ軸方向のピッチ
間隔と等しくなるように配列されたノズル列を有した複
数の吐出手段と、前記複数のインク吐出手段と前記基板
との相対位置を移動させるための移動手段と、前記移動
手段の動作と、前記複数のインク吐出手段のインク吐出
動作とを制御する制御手段とを具備し、前記制御手段
は、前記複数のインク吐出手段が複数回の走査によって
前記基板の全域を着色する際に、各走査で着色に使用す
るノズル数が実質的に均等となるように制御することを
特徴としている。
【００８１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インク吐出手段は、熱エネルギ
ーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インク
に与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発
生体を備えていることを特徴としている。
【００８２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御することを特徴としている。
【００８３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、基板上に着色された画素を多数個並べて形成
することにより製造されるカラーフィルタの製造方法で
あって、複数のインク吐出ノズルを有するインク吐出手
段と前記基板との相対位置を移動する複数回の走査によ
って前記基板の全域を着色する際に、各走査で着色に使
用するノズル数が実質的に均等となるようにして着色を
行うことを特徴としている。
【００８４】
【００８５】また、本発明に係わる表示装置の製造方法
は、基板上に着色された画素を多数個並べて形成するこ
とにより製造されるカラーフィルタを用いた表示装置の
製造方法であって、複数のインク吐出ノズルを有するイ
ンク吐出手段と前記基板との相対位置を移動する複数回
の走査によって前記基板の全域を着色する際に、各走査
で着色に使用するノズル数が実質的に均等となるように
して着色を行い、カラーフィルタを製造する工程と、前
記カラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段を
一体化する工程とを備えることを特徴としている。
【００８６】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置の製造方法は、基板上に着色された画素を多数個並べ
て形成することにより製造されるカラーフィルタを用い
た、表示装置を備えた装置の製造方法であって、複数の
インク吐出ノズルを有するインク吐出手段と前記基板と
の相対位置を移動する複数回の走査によって前記基板の
全域を着色する際に、各走査で着色に使用するノズル数
が実質的に均等となるようにして着色を行い、カラーフ
ィルタを製造する工程と、光量を可変とする光量可変手
段を一体化して表示装置を製造する工程と、該表示装置
に画像信号を出力する画像信号出力手段を設ける工程と
を具備することを特徴としている。
【００８７】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドの全ノズルを所定数ごとの複数のノズル群に
分け、該複数のノズル群を必要に応じて切り替えて基板
にインクを吐出し、カラーフィルタの各画素を着色する
カラーフィルタの製造方法であって、前記複数のノズル
群を切り替えるための切り替え工程と、前記切り替え工
程により使用するノズル群が切り替えられたときに、該
使用するノズル群と前記各画素との位置ズレを補償する
補償工程とを具備することを特徴としている。
【００８８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記切り替え工程は、現在使用して
いるノズル群の吐出不良を検出又は推定する工程と、該
検出又は推定結果に基づいて前記複数のノズル群を切り
替える工程とを備えることを特徴としている。
【００８９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記切り替え工程は、前記複数のノ
ズル群の温度を検出する工程と、該検出工程における検
出結果に基づいて前記複数のノズル群を切り替える工程
とを備えることを特徴としている。
【００９０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００９１】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドの全ノズルを所定数ごとの複数のノズル群に
分け、該複数のノズル群を必要に応じて切り替えて基板
にインクを吐出し、カラーフィルタの各画素を着色する
カラーフィルタの製造装置であって、前記複数のノズル
群を切り替えるための切り替え手段と、該切り替え手段
の切り替え動作を制御する制御手段と、前記切り替え手
段により使用するノズル群が切り替えられたときに、該
使用するノズル群と前記各画素との位置ズレを補償する
補償手段とを具備することを特徴としている。
【００９２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は現在使用しているノ
ズル群の吐出不良を検出又は推定し、該検出又は推定結
果に基づいて前記複数のノズル群を切り替えることを特
徴としている。
【００９３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記複数のノズル
群の温度を検出し、該検出結果に基づいて前記複数のノ
ズル群を切り替えることを特徴としている。
【００９４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００９５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００９６】（第１の実施形態）まず本発明の実施形態
に係わるカラーフィルタの製造装置による、カラーフィ
ルタの製造工程を図２に示す。
【００９７】本実施形態においては、基板１として一般
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度等の必要特性を有するもので
あればガラス基板に限定されるものではない。
【００９８】まず、カラーフィルタの各画素の区切りを
明確にして画像を鮮明にするためのブラックマトリクス
２が形成されたガラス基板１を用意する（図２
（ａ））。なお、ブラックマトリクスの形成方法として
は、スパッタもしくは蒸着により金属薄膜を形成し、フ
ォトリソ工程によりパターニングする方法がある。
【００９９】次に、図２（ｂ）に示すように、ブラック
マトリクス２の形成された基板１上に、コーティング材
料を塗布し、必要に応じてプリベークを行って、光照射
または光照射と熱処理により光照射部分のインク吸収性
が上昇する樹脂組成物層３を形成する。コーティング材
料としては、露光または露光と熱処理を併用することに
より露光部のインク吸収性が上昇する樹脂組成物を用い
る。これは、露光部と未露光部においてインク吸収性に
差が生じることを利用して、インクの混色及び必要以上
のインクの拡散を防止するようにするためである。
【０１００】次いで、ブラックマトリクス２により遮光
されていない部分のコーティング材料をマスク４を介し
て予めパターン露光を行うことにより親インク処理を行
い（図２（ｃ））、潜像を形成する（図２（ｄ））。
【０１０１】続いて、インクジェットヘッドを用いて、
Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクを親インク化さ
れた部分６に着色し（図２（ｅ））、必要に応じてイン
ク乾燥を行う。
【０１０２】次いで、光照射、熱処理あるいは光照射と
熱処理を行って、着色されたコーティング材料を硬化さ
せ、必要に応じて保護膜８を形成する（図２（ｆ））。
保護膜８としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるい
は光熱併用タイプの樹脂材料、または、蒸着、スパッタ
等によって形成された無機膜等を用いることができ、カ
ラーフィルタとした場合の透明性を有し、その後のＩＴ
Ｏ(Indium Tin Oxide)形成プロセス、配向膜形成プロセ
ス等に耐えうるものであれば使用できる。
【０１０３】次に、図３は、カラーフィルタの製造工程
の他の例を示した図である。
【０１０４】図３（ａ）は、光透過部７と遮光部である
ブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。ま
ず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照
射又は光照射と加熱により硬化可能であり且つインク受
容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベ
ークを行って樹脂層３’を形成する（図３（ｂ））。樹
脂層３’の形成には、スピンコート、ロールコート、バ
ーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方
法を用いることができ、特に限定されるものではない。
【０１０５】次に、ブラックマトリクス２により遮光さ
れる部分の樹脂層をフォトマスク４’を使用して予めパ
ターン露光を行うことにより樹脂層の一部を硬化させて
インクを吸収しない部位５’（非着色部位）を形成し
（図３（ｃ））、その後インクジェットヘッドを用いて
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図３（ｄ））、必要
に応じてインクの乾燥を行う。
【０１０６】パターン露光の際に使用されるフォトマス
ク４’としては、ブラックマトリクスによる遮光部分を
硬化させるための開口部を有するものを使用する。この
際、ブラックマトリクスに接する部分での着色剤の色抜
けを防止するために、比較的多くのインクを付与するこ
とが必要である。そのためにブラックマトリクスの（遮
光）幅よりも狭い開口部を有するマスクを用いることが
好ましい。
【０１０７】着色に用いるインクとしては、色素系、顔
料系共に用いることが可能であり、また液状インク、ソ
リッドインク共に使用可能である。
【０１０８】本発明で使用する硬化可能な樹脂組成物と
しては、インク受容性を有し、且つ光照射又は光照射と
加熱の少なくとも一方の処理により硬化し得るものであ
ればいずれでも使用可能であり、樹脂としては例えばア
クリル系樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキ
シプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、
メチルセルロース、カルボキシメチルセルロースなどの
セルロース誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。
【０１０９】これらの樹脂を光あるいは光と熱により架
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸
発生剤を架橋剤として併用することも可能である。な
お、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処
理を施してもよい。
【０１１０】これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐
熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温ある
いは洗浄工程に十分耐え得るものである。
【０１１１】本発明で使用するインクジェット方式とし
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いたピエ
ゾジェットタイプ等が使用可能であり、着色面積及び着
色パターンは任意に設定することができる。
【０１１２】また、本例では基板上にブラックマトリク
スが形成された例を示しているが、ブラックマトリクス
は、硬化可能な樹脂組成物層を形成後、あるいは着色後
に樹脂層上に形成されたものであっても特に問題はな
く、その形態は本例に限定されるものではない。また、
その形成方法としては、基板上にスパッタもしくは蒸着
により金属薄膜を形成し、フォトリソ工程によりパター
ニングすることが好ましいが、これに限定されるもので
はない。
【０１１３】次いで光照射のみ、熱処理のみ、又は光り
照射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化さ
せ（図３（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図３
（ｆ）する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理
の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。保護層８と
しては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用
タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるい
は無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成す
ることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス
等に十分耐えうるものであれば使用可能である。
【０１１４】図４及び図５に、本実施形態によるカラー
フィルタを組み込んだＴＦＴ(ThinFilm Transistor)カ
ラー液晶パネルの断面を示す。なお、その形態は本例に
限定されるものではない。
【０１１５】カラー液晶パネルは、一般的にカラーフィ
ルタ基板１と対向基板２５４を合わせこみ、液晶化合物
２５２を封入することにより形成される。液晶パネルの
一方の基板２５４の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transis
tor)（不図示）と透明な画素電極２５３がマトリックス
状に形成される。また、もう一方の基板１の内側には、
画素電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するよう
カラーフィルタ１０が設置され、その上に透明な対向電
極（共通電極）２５０が一面に形成される。ブラックマ
トリクス２は、通常カラーフィルタ基板１側に形成され
るが（図４参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンア
レイタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板
側に形成される（図５参照）。さらに、両基板の面内に
は配向膜２５１が形成されており、これをラビング処理
することにより液晶分子を一定方向に配列させることが
できる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板
２５５が接着されており、液晶化合物２５２は、これら
のガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。
また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板
（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液
晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャ
ッターとして機能させることにより表示を行う。
【０１１６】このような液晶パネルを情報処理装置に適
用した場合の例を図６乃至図８を参照して説明する。
【０１１７】図６は上記の液晶パネルをワードプロセッ
サ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写
装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場合
の概略構成を示すブロック図である。
【０１１８】図中、１８０１は装置全体の制御を行う制
御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポ
ートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力した
り各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を行
っている。１８０２はディスプレイ部で、この表示画面
には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ１８０
７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８０
３はディスプレイ部１８０２上に設けられた透明な感圧
式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧するこ
とにより、ディスプレイ部１８０２上での項目入力や座
標位置入力等を行うことができる。
【０１１９】１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ
変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気
信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。
プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。
【０１２０】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。
【０１２１】１８０８はイメージリーダ部１８０７で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（Ｆ
ＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース機能
を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能
等の各種電話機能を有する電話部である。
【０１２２】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外
部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含む
メモリ部である。
【０１２３】１８１１は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。
【０１２４】１８１２はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置１８１２には文書情報や音楽或は音声情報、ユー
ザのアプリケーションプログラム等が格納される。
【０１２５】図７は図６に示す情報処理装置の模式的外
観図である。
【０１２６】図中、１９０１は上記の液晶パネルを利用
したフラットパネルディスプレイで各種メニューや図形
情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ１９
０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押圧す
ることにより座標入力や項目指定入力を行うことができ
る。１９０２は装置が電話機として機能する時に使用さ
れているハンドセットである。キーボード１９０３は本
体と着脱可能にコードを介して接続されており、各種文
書機能や各種データ入力を行うことができる。また、こ
のキーボード１９０３には各種機能キー１９０４等が設
けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２へのフ
ロッピーディスクの挿入口である。
【０１２７】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。
【０１２８】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１
８０６に画像として出力される。
【０１２９】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。
【０１３０】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８
０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１
８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０
１により所定のプログラムに従って送信処理された後、
ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信され
る。
【０１３１】なお、上述した情報処理装置は、図８に示
すように、インクジェットプリンタを本体に内蔵した一
体型としても良く、この場合は、よりポータブル性を高
めることが可能となる。同図において、図７と同一機能
を有する部分には、対応する符号を付す。
【０１３２】次に、図９は、本実施形態のカラーフィル
タ製造装置により製造されたカラーフィルタのカラーパ
ターンを示す図である。夫々Ｒ，Ｇ，Ｂのインクにより
着色された着色部が一つの画素であり、ほぼ長方形をし
ている。一つの画素の長手方向をＸ方向、Ｘ方向と直角
な方向をＹ方向とすると、一つの画素の大きさは、全て
同じで、１５０μｍ×６０μｍであり、Ｘ方向のピッチ
が３００μｍ、Ｙ方向のピッチが１００μｍである。そ
して、Ｘ方向には同じ色の画素が一直線に配列され、Ｙ
方向には隣り合う画素の色が異なるようにそれぞれの画
素が配列されている。また、この図で示すパターンは、
図２（ａ）の工程で作成されたブラックマトリクスのパ
ターンに相当する。
【０１３３】画素の個数は、Ｘ方向に４８０個、Ｙ方向
に１９２０個（各色６４０個）で、図１０に示すよう
に、カラーフィルタの画面の大きさは、１４４ｍｍ×１
９２ｍｍで、対角線の長さが２４０ｍｍの９．４インチ
サイズの液晶パネル用に対応している。
【０１３４】次に、図１１は図９に示したカラーフィル
タを製造するための製造装置の構成を示した図である。
【０１３５】図１１において、製造装置２０は、不図示
の架台上に載置され、図中Ｘ方向及びＹ方向に移動可能
なＸＹテーブル２２と、このＸＹテーブル２２の上方に
不図示の支持部材を介して架台上に固定されたインクジ
ェットヘッドＩＪＨを備えている。ＸＹテーブル２２上
には、既に前述した方法によりブラックマトリクス２及
び樹脂組成物層３が形成されたガラス基板１が載置され
る。インクジェットヘッドＩＪＨには、赤色のインクを
吐出する赤色ヘッド１２０ａと、緑色のインクを吐出す
る緑色ヘッド１２０ｂと、青色のインクを吐出する青色
ヘッド１２０ｃが具えられており、これらの各ヘッド１
２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃは夫々独立にインクを吐出
することができるように構成されている。
【０１３６】また、ＸＹテーブル２２の端部には、イン
クジェットヘッドＩＪＨの、回復動作を行うための回復
ユニット３０が設けられ、ＸＹテーブル２２に対して、
Ｚ方向に移動可能なように配置されている。
【０１３７】この回復ユニット３０は、インクジェット
ヘッドＩＪＨのノズルのつまりを防止し、また、インク
ジェットヘッドＩＪＨのノズル面についたインク滴や、
ゴミを拭き取って、インクの吐出を常に正常に行なうよ
うにする役割と、ノズル面についたゴミがガラス基板に
着色中に落ちて、不良となることを防止する役割を果た
すもので、図１２にその構成を示す。
【０１３８】３１ａ，３１ｂ，３１ｃはインクジェット
ヘッドＩＪＨの、赤色ヘッド１２０ａ、緑色ヘッド１２
０ｂ、青色ヘッド１２０ｃにそれぞれ対応したキャップ
である。キャップ３１ａ，３１ｂ，３１ｃは、インクジ
ェットヘッド１２０ａ,１２０ｂ,１２０ｃが、ガラス基
板１にカラーフィルタの着色動作を行わない時に、図１
３に示すようにそれぞれ対応するインクジェットヘッド
１２０ａ,１２０ｂ,１２０ｃのノズル面をカバーするこ
とによって、インクが吐出不能になることを防止する。
また、一定時間吐出することを休止したインクジェット
ヘッド１２０ａ,１２０ｂ,１２０ｃが吐出を再開する
時、前述したキャップ３１ａ，３１ｂ，３１ｃを用いた
場合であっても、最初の何発かは、インクの増粘の影響
等によって、インクが吐出しなかったり、まっすぐに吐
出しないで曲がって吐出してしまうといった、不吐出や
ヨレを発生することがある。その場合一定以上のインク
を吐出した後には、正常状態に戻って、インクはまっす
ぐに吐出される。ガラス基板１の着色中にこのようなこ
とが起きてしまうと、画素をインクで着色できなかった
り、正しい位置にインクが着弾しないこととなり、不良
となってしまう。従って、このような現象を避けるため
に、ガラス基板１を着色する前に一定量のインクを吐出
させる、予備吐出を行う。
【０１３９】また、この予備吐出の動作は、本実施形態
では、キャップにより行うような構成としたが、それ以
外の部分に予備吐出専用の受け部分を設けて行っても良
い。
【０１４０】さらに、キャップ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ
は、各インクジェットヘッド１２０ａ,１２０ｂ,１２０
ｃにインクを供給する側から、図示しないインク加圧モ
ータによって定期的にインクを加圧あるいは循環させ、
不吐出の原因となるノズル内にたまった泡やゴミをノズ
ル外に強制的に排出して、インクジェットヘッド１２０
ａ,１２０ｂ,１２０ｃを常に正常な状態に保つための動
作（加圧回復動作）を行う時に、ノズルからインクを排
出しすぎてしまわないように、キャッピングし、また、
排出されたインクを受ける役割も果たしている。
【０１４１】３２ａ，３２ｂ，３２ｃはノズル面のワイ
ピング動作を行うブレードであり、吸水性のあるものが
好ましい。ブレード３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、図１４
に示すように、回復系ユニット３０のＸ方向の動作によ
り、それぞれインクジェットヘッド１２０ａ,１２０ｂ,
１２０ｃのノズル面についたインク滴や、インクを吐出
した際に発生するインクミストがノズル面に付着したも
のを拭き取るためのものである。
【０１４２】３３は回復桶で、キャップ３１ａ，３１
ｂ，３１ｃと、ブレード３２ａ，３２ｂ，３２ｃの下側
に配置され、キャップからもれ出たインクや、後述する
キャップ洗浄水とブレード洗浄水が装置内に漏れないよ
うにするためのものであり、回復桶３３内にたまったイ
ンクや洗浄水は、チューブによって排水槽３７へ導かれ
る。また、回復桶３３は、キャップ３１ａ，３１ｂ，３
１ｃと、ブレード３２ａ，３２ｂ，３２ｃと一体に動作
するように構成され、Ｚ方向のキャッピング動作時と、
Ｘ方向のワイピング動作時には、キャップ３１ａ，３１
ｂ，３１ｃと、ブレード３２ａ，３２ｂ，３２ｃと、同
じように動作する。
【０１４３】３４ａ，３４ｂ，３４ｃは大気開放弁で、
チューブによって一方は各キャップ３１ａ，３１ｂ，３
１ｃ内と連通しており、一方は大気圧となっている。こ
れは、キャップ３１ａ，３１ｂ，３１ｃはゴムでできて
おり、キャッピング動作時に各ヘッドに約１ｋｇｆ以上
の力で押しつけるため、キャップ内体積が減少し、キャ
ップ内の圧力が大気圧以上になることによって、ノズル
内のインクをインクジェットヘッド内に押し込んでしま
い、不吐出となることを防止するために、設けられてい
るものである。通常は閉じておき、キャッピング動作を
行う前に、大気開放弁を開き、キャッピング動作が終了
した後、閉じることによって、キャップ内を大気圧のま
まにしておく役割を果たす。
【０１４４】３５は前述したように、加圧回復動作時
に、キャップ内にたまったインクを吸引することと、予
備吐出のためにキャップ内に吐出されたインクを吸引す
るためのキャップ吸引ポンプである。キャップ吸引ポン
プ３５は、チューブによって各キャップに一つずつ接続
され、それぞれ、吸引したインクは排水槽３７へ排出さ
れる。
【０１４５】３６はブレード吸引ポンプで、吸水性材料
で構成されたブレード３２ａ，３２ｂ，３２ｃに吸水さ
れた水と、ワイピング動作時に吸収したインクを吸引す
るためのポンプで、各ブレードから１つずつチューブで
接続され、排水槽３７へ水とインクを排出する。一旦、
排水槽３７へ排出された水とインクは、まとめて装置外
へ排出される。
【０１４６】３８（図１２参照）はキャップ３１ａ，３
１ｂ，３１ｃと、ブレード３２ａ，３２ｂ，３２ｃを洗
浄するための洗浄水をためておくための洗浄水タンク
で、洗浄水供給弁３９を開閉することによって、各洗浄
水供給ノズル４０から、洗浄水を吹き付ける。これら洗
浄水供給ノズル４０は、図１１で、インクジェットヘッ
ドＩＪＨ（１２０ａ,１２０ｂ,１２０ｃ）が、ガラス基
板１を一枚着色し終わった時に、回復系ユニット３０が
来る位置の真上になるように配置されている。
【０１４７】４１（図１２参照）は、洗浄水タンク３８
に洗浄水を補給するための洗浄水補給弁で、洗浄水残量
検出センサ４２が、洗浄水タンク３８内の洗浄水が少な
くなったことを検知すると一定時間開いて、洗浄水を洗
浄水タンク３８に補給する。また、この洗浄水は、水道
水から不純物等を取り除いた純水を用いる。
【０１４８】次に、図１５は樹脂組成物層３にインクを
吐出するためのインクジェットヘッドＩＪＨの構造を示
す図である。なお、３つのインクジェットヘッド１２０
ａ,１２０ｂ,１２０ｃは夫々同一の構造に構成されてい
るので、図１５はそれらのうちの１つを代表して示して
いる。
【０１４９】図１５において、インクジェットヘッドＩ
ＪＨは、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が
形成された基板であるヒータボード１０４と、このヒー
タボード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概
略構成されている。天板１０６には、複数のインク吐出
口１０８が形成されており、吐出口１０８の後方には、
この吐出口１０８に連結するトンネル状の液路１１０が
形成されている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣
の液路と隔絶されている。各液路１１０は、その後方に
おいて１つのインク液室１１４に共通に接続されてお
り、インク液室１１４にはインク供給口１１７を介して
インクが供給され、このインクはインク液室１１４から
夫々の液路１１０に供給される。
【０１５０】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図１５のような状態に組み立てられ
る。図１５においては、２つのヒータ１０２しか示され
ていないが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応
して１つずつ配置されている。そして、図１５の様に組
み立てられた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルス
を供給すると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡
を形成し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１
０８から押し出されて吐出される。
【０１５１】図１６は、本実施形態のカラーフィルタの
製造装置の構成を示すブロック図である。
【０１５２】図１６において、製造装置の全体動作を制
御するＣＰＵ５０には、ＸＹステージ２２をＸＹ方向に
駆動するためのＸ方向駆動モータ５６及びＹ方向駆動モ
ータ５８が、Ｘモータ駆動回路５２及びＹモータ駆動回
路５４を介して接続され、回復系ユニット３０をＺ方向
に駆動するためのＺ方向駆動モータ５９がＺモータ駆動
回路５５を介して接続されている。
【０１５３】また、ＣＰＵ５０には、ヘッド駆動回路６
０を介してインクジェットヘッドＩＪＨが接続されてい
る。さらにＣＰＵ５０には、ＸＹステージ２２の位置を
検出するためのＸエンコーダ６２及びＹエンコーダ６４
が接続されており、ＸＹステージ２２の位置情報が入力
される。また、プログラムメモリ６６内の制御プログラ
ムも入力される。ＣＰＵ５０は、この制御プログラムと
Ｘエンコーダ６２及びＹエンコーダ６４の位置情報に基
づいて、ＸＹステージ２２を移動させ、ガラス基板１上
の所望の格子枠（画素）をインクジェットヘッドＩＪＨ
の下方にもたらし、その画素内に所望の色のインクを吐
出して着色することによってガラス基板１を着色して行
く。これを各画素に対して行うことによりカラーフィル
タを製造する。また、ガラス基板１の着色が１枚終了す
る毎に、インクジェットヘッドＩＪＨの真下に、ＸＹス
テージ２２の端部に取り付けられた回復系ユニット３０
を移動させて、Ｘ方向駆動モータ５６によりブレード３
２ａ，３２ｂ，３２ｃをＸ方向に移動させてワイピング
動作を行う。また、Ｚ方向駆動モータ５９によってキャ
ップ３１ａ，３１ｂ，３１ｃをＺ方向に移動させて、予
備吐出動作を行う。この間に図示しない基板搬送装置に
より、着色し終わったガラス基板１と、着色前のガラス
基板１を交換する作業を行う。
【０１５４】次に、図１７を用いて本実施形態によるカ
ラーフィルタ製造装置の動作について説明する。
【０１５５】まず、ステップＳ１でガラス基板１にイン
クジェットヘッドＩＪＨからインクを吐出させて、一枚
のガラス基板１を着色する。一枚着色し終わると、ＸＹ
ステージ２２を動作させて、回復系ユニット３０を洗浄
水供給ノズル４０の位置に移動させ、ブレード３２ａ，
３２ｂ，３２ｃに洗浄水をかけて洗浄する（ステップＳ
２）。次に、回復ユニット３０がインクジェットヘッド
ＩＪＨの位置に来るようにＸＹステージ２２を移動する
（ステップＳ３）。ステップＳ４でその時の着色枚数が
ある一定数未満であると判断した場合は、ブレード３２
ａ，３２ｂ，３２ｃによって、ノズル面についたインク
ミストとを拭き取るために通常のワイピング動作を行う
（ステップＳ５）。ある一定枚数以上着色した場合に
は、ノズル内の増粘インクや、ヘッド液室内の泡をノズ
ル外に排出するために加圧回復動作を行う（ステップＳ
６）。本実施形態では、ガラス基板を３０枚着色するご
とに加圧回復動作を行う。この加圧回復動作は、インク
を着色に用いるのではなく、ただ捨ててしまうだけの動
作であり、また、工程数も多くなるためそれだけ時間を
有するので、なるべく行わない方が望ましい。
【０１５６】加圧回復動作を行うと、ノズル面にインク
滴が付着してしまうので、その後で、加圧時ワイピング
動作を行う（ステップＳ７）。加圧回復動作（ステップ
Ｓ６）時に、ノズルから出たインクがキャップに付着し
てしまうため、次にキャップ洗浄動作を行う（ステップ
Ｓ８）。装置のメンテナンス等のために着色動作を終了
させるかどうかを判断した後（ステップＳ９）、着色を
終了する場合には、キャッピングなどの終了動作を行っ
て（ステップＳ１２）動作を終了する。着色を続ける場
合には各インクジェットヘッド１２０ａ,１２０ｂ,１２
０ｃはキャップされ、一定数のインクの吐出である予備
吐出を行う（ステップＳ１０）。その後、予備吐出でキ
ャップに付着したインクを洗浄するために、キャップ洗
浄動作を行い（ステップＳ１１）。これらの回復動作を
行っている間に、着色済みの基板と着色前の基板とが入
れ換えられ、次の着色動作を行い、これを繰り返す。
【０１５７】次に、ガラス基板を着色する着色動作に際
しての、本発明の特徴的な部分について図１８，図１９
を用いて説明する。
【０１５８】図１８で示すインクジェットヘッドＩＪＨ
のそれぞれのヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃは、
各ヘッドとも、有効ノズル数が５１２個で、ノズルピッ
チが７０．５μｍ、すなわち３６０ｄｐｉの分解能を持
ったインクジェットヘッドである。本実施形態でのカラ
ーフィルタは、図９に示すように各色の画素が３００μ
ｍピッチで配列されたものであり、インクジェットヘッ
ドＩＪＨのノズルピッチと異なるため、インクジェット
ヘッドＩＪＨのノズルを５ノズルおきに使用するように
して、インクジェットヘッドＩＪＨを図１８で示すよう
に、５１２個のうち１０２個だけを使用する。その為、
インクジェットヘッドＩＪＨは、図１８で示すように、
３１．６７２°傾けて配置している。図１９に、各色の
画素の配置と、インクジェットヘッドＩＪＨのノズルと
の位置関係を示す。各インクジェットヘッド１２０ａ,
１２０ｂ,１２０ｃのノズル１０８のうち、実線で示す
５つおきのノズルのみが、各色とも対応する色の画素上
に位置するように配置されている。それ以外の破線で示
すノズルは、対応する色の画素以外の位置に存在する。
従って、実線で示すノズルは、実質上Ｙ方向のピッチが
３００μｍとなるように配置されている。また、各イン
クジェットヘッド１２０ａ,１２０ｂ,１２０ｃのノズル
は７０．５μｍの等間隔に配列されているため、破線で
示すノズルも、５ノズルおきに見ると、Ｙ方向には、３
００μｍピッチで配列されている。
【０１５９】次にこの様にノズル１０８が配列されたイ
ンクジェットヘッドＩＪＨを用いて、図１０で示すよう
な有効表示領域を有するカラーフィルタに、図９で示す
ような各色の画素を着色していく工程を説明する。前述
したように、インクジェットヘッドＩＪＨはガラス基板
１に対して図１８で示すように３１．６７２°の角度を
もたせて配置し、図１９に示すように、各インクジェッ
トヘッドＩＪＨの５つおきのノズルが、対応する色の画
素上に来るように、それぞれのインクジェットヘッド
は、Ｙ方向に１００μｍずつずらして配列してある。こ
こで、インクジェットヘッド１２０ａ,１２０ｂ,１２０
ｃは、色に関係なく全く同じ構造のものを使用する。ま
た、実際の製造装置内では、インクジェットヘッドは固
定されて、ガラス基板が移動するが、図１８では、ガラ
ス基板が固定されて、インクジェットヘッドが移動する
ように描いている。インクジェットヘッドとガラス基板
は相対的に移動するだけなので、実質的には同じであ
る。
【０１６０】図１８に示すように、各ヘッドの一回のス
キャンで着色できる幅は、５１２個ノズルがある内の１
／５の１０２画素分であり、両端の画素中心間の距離は
３０．３ｍｍである。従って、一回のＸ方向のスキャン
だけではガラス基板の有効表示領域内全体を着色するこ
とはできないので、図１８に示すようにインクジェット
ヘッドＩＪＨをガラス基板上で一回Ｘ方向にスキャンし
た後、Ｙ方向に３０．６ｍｍ相対移動させて、再度Ｘ方
向にスキャンさせ、さらにもう一回これを繰り返して、
ガラス基板の有効表示領域全体を着色する。この間、各
インクジェットヘッド１２０ａ,１２０ｂ,１２０ｃでは
常に５つおきの同じノズルのみを使用するように制御さ
れる。
【０１６１】このとき、一つの画素に対しては図２０に
示すように、ブラックマトリクス２で囲まれた枠内に、
インクの中心が入るようにして、また枠全体をインクが
覆うように同じノズルから複数のインクを連続して吐出
させる。
【０１６２】また、図１７のステップＳ１０で説明した
ガラス基板一枚を着色し始める前に行う予備吐出の動作
においても、通常は着色に使用するノズルのみ予備吐出
を行うように、インクジェットヘッドＩＪＨを制御す
る。ただし、本実施形態においては、全ノズルからイン
クを排出する加圧回復の動作は、３０枚のガラス基板を
着色する毎にしか行わないため、その間、着色に使用し
ないノズルは全く使用されない。ノズルを使用しないで
おくと、インクが固着してノズルを完全に塞いでしま
い、加圧回復によっても回復しない場合がある。そのた
め、本実施形態においては、基板を１０枚着色するごと
に、全ノズルを予備吐出動作させる。
【０１６３】このように動作させることにより、インク
を無駄に消費してしまう加圧回復の動作の間隔を長くす
ることが可能となり、また、通常時には使用するノズル
のみ吐出動作を行うので、回復動作でのインクの消費量
を最小限にとどめることが可能となり、また、加圧回復
動作が少なくなることによって、単位時間当たりの着色
枚数を増やすことが可能となる。また、この様に、使用
しないノズルも活かすことによって、５つおきに使用し
たノズルに寿命が来ても、それ以外のノズルを使用する
ように配置することによって、再度このインクジェット
ヘッドを使用することができる。
【０１６４】（第２の実施形態）図２１，図２２は、本
発明の第２の実施形態のカラーフィルタの製造装置にお
けるインクジェットヘッドＩＪＨのノズル配列を示す図
である。
【０１６５】図２１においては、ノズルの配列が２列に
なったものを示しており、ヘッドの長手方向にはノズル
が７０．５μｍピッチ、即ち３６０ｄｐｉの分解能で配
列されている。
【０１６６】このヘッドを、図９で示すような各色の画
素のピッチが３００μｍのカラーフィルタの着色に用い
る場合には、太い実線で示すような６個おきのノズルを
使用し、ヘッドを４４．８２９°傾けて配置する。
【０１６７】図２２においては、ノズルの配列が３列に
なったものを示しており、ヘッドの長手方向にはノズル
が７０．５μｍピッチ、すなわち３６０ｄｐｉの分解能
で配列されている。
【０１６８】このヘッドを、図９で示すような各色の画
素のピッチが３００μｍのカラーフィルタの着色に用い
る場合には、図２１の場合と同様に太い実線で示すよう
な６個おきのノズルを使用し、ヘッドを４４．８２９°
傾けて配置する。
【０１６９】このようにノズルが配列されたインクジェ
ットヘッドの場合であっても、前実施形態と同様な吐出
制御を行うことにより、同様な効果が得られる。
【０１７０】（第３の実施形態）この第３の実施形態で
は、カラーフィルタの製造装置の構成は第１の実施形態
と同様であり、その制御方法に特徴があるので、装置の
説明は省略すると共に、第１の実施形態の説明に用いた
図面を用いて説明を行う。
【０１７１】図１８に示すように、各ヘッドの一回のス
キャンで着色できる幅は、５１２個ノズルがある内の１
／５の１０２画素分であり、両端の画素中心間の距離は
３０.３ｍｍである。従って、一回のＸ方向のスキャン
だけではガラス基板の有効表示領域内全体を着色するこ
とはできないので、図１８に示すようにインクジェット
ヘッドＩＪＨをガラス基板上で一回Ｘ方向にスキャンし
た後、Ｙ方向に３０．６ｍｍ相対移動させて、前スキャ
ンで使用したノズルが対応する画素上に位置するように
配置し、前スキャンと同じノズルでインクの吐出を行い
ながら、再度Ｘ方向にスキャンさせる。２回目のスキャ
ンで着色しきれない部分が図１８に示すように各色２８
画素分残るので、インクジェットヘッドＩＪＨをＹ方向
に相対移動させ、前スキャンで使用したノズルが対応す
る画素上に位置するように配置し、前回のスキャンで用
いたノズルのうち各ヘッドとも２８ノズルを用いて再度
Ｘ方向にスキャンさせ、ガラス基板の有効表示領域全体
を着色する。各スキャンの間の、ヘッドとガラス基板の
相対位置を変えるためのＹ方向の移動は、１回のスキャ
ンで最後の画素に着色した直後に行うようにＸＹステー
ジ２２を移動させる。この間、各インクジェットヘッド
１２０ａ,１２０ｂ,１２０ｃでは常に５つおきの同じノ
ズルのみを使用するように制御される。
【０１７２】このとき、一つの画素に対しては図２０に
示すように、ブラックマトリクス２で囲まれた枠内に、
インクの中心が入るようにして、また枠全体をインクが
覆うように同じノズルから複数のインクを連続して吐出
させる。
【０１７３】このように、後ろのスキャンで使用するノ
ズルは、前のスキャンで使用しなかったノズルは使用し
ないで必ず前のスキャンで使用したノズルとすることに
より、着色のために使用する全てのノズルは、スキャン
とスキャンの間でわずかに休止するだけであるので、ヘ
ッドはインクを安定して吐出できる状態を保ったまま
で、常に高品位な着色が可能となる。また、各スキャン
の間に、キャップあるいは予備吐出受けの位置にヘッド
を相対移動させて、予備吐出動作を行う必要がないの
で、基板一枚あたりに要する時間が短縮され、単位時間
あたりの生産量が増すため、カラーフィルタのコストダ
ウンが可能となる。
【０１７４】また、図２１及び図２２に示したようにノ
ズルが配置されたインクジェットヘッドの場合であって
も、本実施形態と同様な吐出制御を行うことにより、同
様な効果が得られる。
【０１７５】また、本実施形態では、１回目〜６回目の
スキャンで使用可能な最大数のノズルを使用し、残りは
約１／４のノズルのみを使用するように着色を行った
が、この例以外にも後ろのスキャンで使用するノズルは
必ず前のスキャンで使用したノズルであって、使用する
ノズル数が少なくなる方法であればどんな組み合わせで
あっても同様な効果が得られる。
【０１７６】（第４の実施形態）この第４の実施形態で
は、カラーフィルタの製造装置の構成は第１の実施形態
とヘッドのノズル数が異なるのみで他は同様であるの
で、異なる部分のみ説明する。
【０１７７】図２３に示すように、各ヘッドの一回のス
キャンで着色できる最大の幅は、１３６０個ノズルがあ
る内の１／５の２７２画素分であり、両端の画素中心間
の距離は８１．６ｍｍである。したがって、一回のＸ方
向のスキャンだけではガラス基板の有効表示領域内全体
を着色することはできないので、図２３に示すようにイ
ンクジェットヘッドＩＪＨをガラス基板上で一回Ｘ方向
にスキャンした後（ｓｃａｎ１）、Ｙ方向に８１．６ｍ
ｍ相対移動させて（ｓｔｅｐ１）、前スキャンで使用し
たノズルが対応する画素上に位置するように配置し、前
スキャンと同じノズルでインクの吐出を行いながら、再
度Ｘ方向にスキャンさせる（ｓｃａｎ２）。２回目のス
キャン（ｓｃａｎ２）で着色しきれない部分が図２３で
示すように各色９６画素分残るので、インクジェットヘ
ッドＩＪＨをＹ方向に相対移動させ（ｓｔｅｐ２）、前
スキャン（ｓｃａｎ２）で使用したノズルが対応する画
素上に位置するように配置し、前回のスキャン（ｓｃａ
ｎ２）で用いたノズルのうち各ヘッドとも９６ノズルを
用いて再度Ｘ方向にスキャンさせ（ｓｃａｎ３）、ガラ
ス基板の有効表示領域全体を着色する。各スキャンの間
の、ヘッドとガラス基板の相対位置を変えるためのＹ方
向の移動は、一回のスキャンで最後の画素に着色した直
後に行うようにＸＹステージ２２を動作させる。
【０１７８】この間、各インクジェットヘッドＩＪＨで
は常に５つおきの同じノズルのみを使用するように制御
される。
【０１７９】ここで、図２３の場合で、インクジェット
ヘッド１２０ａの左端のノズル２００に着目してみる。
一回目のスキャン（ｓｃａｎ１）から二回目のスキャン
（ｓｃａｎ２）の間に、インクを吐出しないで移動した
距離を、太い実線２０１で示す。この太い実線の長さ
は、スキャン方向の両端のヘッドの間隔を４８ｍｍとし
た場合、次のように計算できる。
【０１８０】（９５．５９８×ｓｉｎ３１．６７２°＋
４８）×２＋８１．６＝２７７．９８９（ｍｍ） 次に、本発明による第４の実施形態を示す図２４につい
て説明する。
【０１８１】図２４では、各走査（最終回の走査を含め
て）で使用するノズル数をほぼ同じとなるように、すな
わち実質的に均等となるように分割し、一回目の走査
（ｓｃａｎ１）で２１４ノズル、二回目の走査（ｓｃａ
ｎ２）で２１３ノズル、三回目の走査（ｓｃａｎ３）で
２１３ノズルとしている。このとき、図２３で、計算し
た場合と同様に、インクジェットヘッド１２０ａのイン
ク吐出に使用する左端のノズル２０２に着目してみる。
一回目のスキャン（ｓｃａｎ１）から二回目のスキャン
（ｓｃａｎ２）の間に、インクを吐出しないで移動した
距離を、太い実線２０３で示すと、この太い実線の長さ
は、スキャン方向の両端のヘッドの間隔を４８ｍｍと図
２３の場合と同じにした場合、次のように計算できる。
【０１８２】（７５．１５３×ｓｉｎ３１．６７２°＋
４８）×２＋６４．２＝２３９．１１９（ｍｍ） この計算から明らかなように、図２３の場合に比較し
て、図２４の場合は、走査の間のインク吐出ノズルのイ
ンクを吐出しないで移動する距離が短いことがわかる。
すなわちこれは、インクを吐出しないでいる時間が短く
なることを示している。吐出ノズルがインクを吐出しな
いときに、空気に触れたままでいると、インク内の揮発
性成分が蒸発して、インク粘度が増加し、インクを吐出
しない不吐出を生じたり、インクがまっすぐに吐出され
ないヨレを生じたりする。この現象を起こさせないため
には、吐出しない状態でインク吐出ノズルを空気中に放
置する時間を少しでも短くすることが重要である。
【０１８３】したがって、図２３の場合に比較して、図
２４の場合は、走査間でインク吐出ノズルが空気に触れ
る時間が短いため、不吐出やヨレを生じにくくなる。す
なわち、インクジェットヘッドの吐出動作を安定させ、
不良の発生を少なくし、歩留まりの向上したカラーフィ
ルタの製造装置を提供することができる。
【０１８４】また、図２１及び図２２に示したようにノ
ズルが配置されたインクジェットヘッドの場合であって
も、本実施形態と同様な吐出制御を行うことにより、同
様な効果が得られる。
【０１８５】また図２３及び図２４では３回走査するこ
とによって１画面を着色する場合であったが、これに限
定するものでなく４回以上であってもよい。特に１回の
走査で着色できる面積が１画面の整数分の１にわずかに
満たない場合で、特に３回以上の少ない走査で着色する
場合に有効である。
【０１８６】（第５の実施形態）この第５の実施形態で
使用するインクジェットヘッドは、７０.５μｍ間隔で
ノズルが配置されているものであり、走査方向にノズル
列を傾けて、例えば６ノズルおきのノズルで同一色の画
素を着色するものとする。また、この実施形態の装置で
製造するカラーフィルタのカラーパターンは、図９に示
したものと同様である。
【０１８７】図２５は第５の実施形態のカラーフィルタ
の製造装置の構成を示した図である。３０１は描画イメ
ージ（カラーフィルタの画素の配列パターン）であり、
基板１上に形成するべき各インクドットの相対位置関係
を示すデータである。３０２はノズル切り替え信号であ
り、カラーフィルタの画素の各点と対応するノズルの切
り替えを指示する。なお、ノズル群の切り替えの具体的
方法を図２５及び図１を用いて説明すると、はじめに右
から数えて２、７、１２番目のノズル群を使用している
とすると、その次は３、８、１３番目のノズル群、さら
にその次は４、９、１４番目のノズル群と順送りにする
のが容易であるが、他の方法によってもかまわない。ま
た、ノズル群の切り替えは、現在使用しているノズルの
寿命がきたときに順次行うものとする。ノズルの寿命
は、例えば１つのノズル群の使用時間に基づいて判定さ
れ、１つのノズル群の使用時間が所定時間に達した場合
に、寿命がきたと判定する。３０３は描画データ生成装
置であり、ノズル切り替え信号３０２に従い基板上の各
画素とノズルの関連付けを行うことにより、各インクド
ットの基板上の絶対位置のデータである描画データを生
成する。この際、ノズルが切り替えられると、それに伴
い、切り替え前後のノズルの位置の変化をノズル配置に
関する既知のデータから計算し、ノズル切り替え前後の
各インクドット形成時のステージ３０８の位置をその分
だけ変化させる。３０４はドライバーであり、描画デー
タに従い、インクジェットヘッド３０５、送り装置３０
６,３０７を駆動することにより描画データ通りのイン
クドットを基板１上に形成する。３０５はインクジェッ
トヘッドであり、赤色のインクを吐出する赤色ヘッド３
０５ａ、緑色のインクを吐出する緑色ヘッド３０５ｂ、
青色のインクを吐出する青色ヘッド３０５ｃを備えてい
る。３０６,３０７は送り装置でありドライバー３０４
からの信号に応じてステージ３０８の位置をそれぞれＸ
方向、Ｙ方向に動かす。３０８はステージであり、着色
される基板１を保持する。上記構成により、基板１上に
描画イメージ３０１に応じた描画パターン３１０が生成
される。
【０１８８】なお、本実施形態では、ノズル切り替えに
伴う、ノズル位置のずらし量に相当する基板と描画ヘッ
ドの位置関係の変化をノズルのノズル配置に関する既知
のデータから推定しているが、画像処理装置などによ
り、実際に各ノズルにより形成されるインクドットの位
置関係を測定しても良い。
【０１８９】また、実際の機器構成としては、ノズル切
り換え信号３０２、描画データ生成装置３０３は１台ま
たは互いに接続された複数のコンピュータの機能として
実現されることが多い。
【０１９０】この実施形態においては、使用するノズル
群を切り替える手段は、ノズル切り替え信号３０２と描
画データ生成装置３０３に相当し、そのずらし量に相当
する基板１（画素）とインクジェットヘッドのノズルの
位置関係の変化を推定または測定する手段は描画データ
生成装置３０３、また、基板１とインクジェットヘッド
（ノズル）の位置関係を変化させる手段は描画データ生
成装置３０３、ドライバー３０４、送り装置３０６,３
０７に相当する。
【０１９１】（第６の実施形態）次に、図２６は第６の
実施形態のカラーフィルタの製造装置の構成を示した図
である。第５の実施形態では、不良ノズルの検出および
ノズル切り替えを外部から行っていたのに対し、この実
施形態では、吐出回数計算装置３１１により、各ノズル
の吐出回数を使用時間と単位時間当たりの吐出回数から
計算することにより計算し不良ノズルを推定し、ノズル
の切り替えを行う。
【０１９２】なお、この実施形態では、不良ノズルを各
ノズルの吐出回数を使用時間と単位時間当たりの吐出回
数から計算する事により推定しているが、吐出回数を直
接測定する方法や、画像処理装置等によりインクドット
の状態から不良ノズルを検出する方法を用いてもかまわ
ない。
【０１９３】また、この実施形態では、第５の実施形態
と比較し、ノズルの切り替えが自動で行われるため省力
化が容易かつ連続運転可能な時間が長いという効果があ
る。 （第７の実施形態）次に、図２７は第７の実施形態のカ
ラーフィルタの製造装置の構成を示した図である。この
実施形態では、インクジェットヘッドヘッドの各ノズル
の温度分布を測定し、それに応じて、ノズルの切り替え
を行う。
【０１９４】なお、カラーフィルタの製造装置では描か
れるインクドットの配列が毎回同じであるため、使用中
のノズルの温度変化はほぼ一定のパターンとなるうえ、
外気温などの温度環境もほぼ一定であることが多い。そ
のため、使用開始からの時間により各ノズルの温度を推
定することが可能である。そこで、この実施形態では、
実際に各ノズルの温度を測定して、ノズルの切り替えを
行っているが、温度を直接測定せず、一定時間毎にノズ
ルの切り替えを行う方法でもほぼ同様の効果が得られ
る。
【０１９５】また、上記の実施形態では、各ノズルの温
度上昇が抑制されるので、インクの焦げつきなどによる
吐出不良を防止する効果や、各ノズルに関して、一定の
稼動時間の後に休止時間が与えられるため、寿命が延び
る効果がある。
【０１９６】なお、上記の実施形態においては、ブラッ
クマトリクス２がガラス基板１上に形成された場合につ
いて説明したが、ブラックマトリクス２は、ガラス基板
１上に形成される場合に限定されるものでなく、図３に
おいて、対向するもう一方の基板側に形成するものであ
ってもよい。この場合インクは、図１の親インク化され
ていない部分５の枠内に入るように吐出させる。
【０１９７】さらに、上記の実施形態において、インク
ジェットヘッドは、ヒータ１０２上のインクジェットが
沸騰して、気泡を発生し、この気泡の体積膨張によりイ
ンクが吐出口１０８から押し出されて吐出するバブルジ
ェット方式のインクジェットヘッドを用いたが、本発明
は、これに限定されるものではなく、ピエゾ素子を用い
たインクジェットヘッドであってもよい。
【０１９８】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。
【０１９９】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【０２００】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【０２０１】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。
【０２０２】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
【０２０３】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【０２０４】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。
【０２０５】以上説明した本発明実施形態においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化す
るものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが
液状をなすものであればよい。
【０２０６】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
【０２０７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カラーフィルタを製造する際に用いるインクジェットヘ
ッドを、一般のプリンタに用いられるものを用いる、あ
るいは、それを、簡単な改造をして用いることができる
ので、インクジェットヘッドのコストを下げ、製造装置
にかかるコストをより安くすることができ、さらに、カ
ラーフィルタ１枚当たりの製造コストを下げることがで
きる。
【０２０８】また、１枚当たりに使用されるカラーフィ
ルタ用のインクの量を減らすことができるので、より安
価なカラーフィルタ及びこのカラーフィルタを用いた表
示装置及びこの表示装置を備えた装置を提供することが
できる。
【０２０９】また、複数回の走査によってガラス基板一
枚を着色する場合において、インクジェットヘッドの吐
出動作を安定させ、不良の発生を少なくすることがで
き、かつ、一枚のガラス基板に要する着色時間を短縮
し、単位時間当たりの生産量を増すことによって、より
低コストのカラーフィルタを生産可能なカラーフィルタ
の製造装置及び製造方法を提供することができる。
【０２１０】また、吐出ノズルが画素ピッチと一致する
ように配列されたインクジェットヘッドを、複数回の相
対走査によって基板一枚を着色する場合において、走査
の間のインクジェットヘッドの吐出ノズルがインクを吐
出しない休止時間を短くすることで、インクジェットヘ
ッドの吐出動作を安定させ、不良の発生を少なくし、歩
留まりが向上したカラーフィルタの製造装置を提供する
ことができる。
【０２１１】また、インクジェットヘッドのなかで使用
するノズルを切り替えることが可能となり、使用中のノ
ズルに不具合が発生しても、他のノズルによりカラーフ
ィルターの製造を続けることが可能となる。
【０２１２】また、インクジェットヘッドの寿命が従来
のカラーフィルターよりも延びることより、インクジェ
ットヘッドの交換頻度が減少する。
【０２１３】また、インクドットの大きさや色の濃さが
一定に保たれる。また、本発明では、各ノズルの温度上
昇が抑制されることによる、インクの焦げつきなどによ
る吐出不良を防止する効果や、各ノズルに関して、一定
の稼動時間の後に休止時間が与えられることによるノズ
ル寿命が延びる効果がある。
【０２１４】
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルタ製造装置におけるカラーフィル
タとインクジェットヘッドの関係を示す図である。
【図２】カラーフィルタの製造工程を説明する図であ
る。
【図３】カラーフィルタの製造工程の他の例を示す図で
ある。
【図４】実施形態の製造装置により製造されるカラーフ
ィルタをＴＦＴ液晶パネルに組み込んだときの構造を示
す断面図である。
【図５】実施形態の製造装置により製造されるカラーフ
ィルタをＴＦＴ液晶パネルに組み込んだときの構造を示
す断面図である。
【図６】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
ブロック図である。
【図７】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図８】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図９】実施形態の製造装置により製造されるカラーフ
ィルタのパターンを示す図である。
【図１０】実施形態の製造装置により製造されるカラー
フィルタのＴＦＴ液晶パネルに組み込んだ時の表示部の
サイズを示す図である。
【図１１】インクジェットヘッドの構造を示す図であ
る。
【図１２】実施形態の製造装置の回復系ユニットの構成
を示す図である。
【図１３】実施形態の製造装置の回復系ユニットがキャ
ッピングしている状態を示す図である。
【図１４】実施形態の製造装置の回復系ユニットがワイ
ピングしている状態を示す図である。
【図１５】インクジェットヘッドの構造を示す図であ
る。
【図１６】実施形態の製造装置の概略構成を示すブロッ
ク図である。
【図１７】実施形態の製造装置の概略の動作を示すフロ
ーチャートである。
【図１８】実施形態の製造装置において、ガラス基板に
対するインクジェットヘッドの相対移動のさせかたを示
す図である。
【図１９】実施形態の製造装置において、画素と吐出ノ
ズルの位置関係を示した図である。
【図２０】インクジェットヘッドの吐出のしかたを示す
図である。
【図２１】インクジェットヘッドのノズル面の吐出ノズ
ルの配置を示す図である。
【図２２】インクジェットヘッドのノズル面の吐出ノズ
ルの配置を示す図である。
【図２３】実施形態の製造装置において、ガラス基板に
対するインクジェットの相対移動のさせ方を示す図であ
る。
【図２４】実施形態の製造装置において、ガラス基板に
対するインクジェットの相対移動のさせ方を示す図であ
る。
【図２５】第５の実施形態のカラーフィルタの製造装置
の構成を示した図である。
【図２６】第６の実施形態のカラーフィルタの製造装置
の構成を示した図である。
【図２７】第７の実施形態のカラーフィルタの製造装置
の構成を示した図である。
【符号の説明】
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリクス ３ 樹脂組成物 ４ マスク ５ 親インク化されていない部分 ６ 親インク化された部分 ７ インク ８ 保護膜 ２２ ＸＹステージ ３０ 回復系ユニット ３１ キャップ ３１ ブレード １０８ 吐出ノズル １２０ａ インクジェットヘッド（Ｒ） １２０ｂ インクジェットヘッド（Ｇ） １２０ｃ インクジェットヘッド（Ｂ） ＩＪＨ インクジェットヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平7−236781 (32)優先日 平成７年９月14日(1995．9．14) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (72)発明者 和田 聡 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 山口 敦人 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平７−146406（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−104338（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−104335（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−198916（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−262762（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−198916（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−336071（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−99590（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−201344（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−47669（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−25038（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−177835（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−127362（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−182981（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 5/20 - 5/28 G02F 1/3335 B41J 2/21

Claims (55)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同
    一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記Ｘ
    軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異な
    る色に着色された画素を周期的に多数個並べて形成する
    ことにより製造されるカラーフィルタの製造装置であっ
    て、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジ
    ェットヘッドであって、前記複数のインク吐出ノズルの
    Ｙ軸方向の間隔が、同一色の画素のＹ軸方向の間隔と等
    しく設定された第１の吐出ノズル群と、該第１の吐出ノ
    ズル群以外に前記Ｙ軸方向の画素間隔と等しく設定され
    た第２の吐出ノズル群を有する複数のインクジェットヘ
    ッドと、 該複数のインクジェットヘッドと前記基板との相対位置
    を移動させるための移動手段と、 前記移動手段の動作と、前記複数のインクジェットヘッ
    ドのインク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記第１の吐出ノズル群が前記画素の着色のために使用
    されるときは前記第２の吐出ノズル群は前記画素の着色
    のために使用されず、前記制御手段は、前記複数のイン
    クジェットヘッドの第１及び第２のインク吐出ノズル群
    のうち、前記基板上の対応する色の画素を着色するノズ
    ル群のみインク吐出動作の制御を行うことを特徴とする
    カラーフィルタの製造装置。
  2. 【請求項２】 前記制御手段は、前記複数のインクジェ
    ットヘッドが前記基板上の対応する色の画素を着色する
    前に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴
    とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造装置。
  3. 【請求項３】 前記制御手段は、前記複数のインクジェ
    ットヘッドの第１及び第２のインク吐出ノズル群のう
    ち、前記基板上の対応する色の画素に着色するノズル群
    のみ、着色する直前に予備の吐出動作を行うように制御
    することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ
    の製造装置。
  4. 【請求項４】 前記制御手段は、前記複数のインクジェ
    ットヘッドの第１及び第２のインク吐出ノズル群のう
    ち、前記基板上の対応する色の画素に着色するノズル群
    のみ、着色する直前に予備の吐出動作を行う場合と、着
    色に使用しないノズル群も含めた全てのノズル群で、着
    色する直前に予備の吐出動作を行う場合とを、場合分け
    して行うように制御することを特徴とする請求項１に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  5. 【請求項５】 前記第１のノズル群とそれ以外の第２の
    ノズル群のノズル数が等しいインクジェットヘッドを有
    することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ
    の製造装置。
  6. 【請求項６】 前記第１のノズル群とそれ以外の第２の
    ノズル群が一直線上に配列されたインクジェットヘッド
    を有することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィ
    ルタ製造装置。
  7. 【請求項７】 前記第１のノズル群とそれ以外の第２の
    ノズル群の全てのノズルが、ノズル列方向に同じ間隔を
    おいて配列されたインクジェットヘッドを有することを
    特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造装
    置。
  8. 【請求項８】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
    ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
    クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
    発生体を備えていることを特徴とする請求項１に記載の
    カラーフィルタの製造装置。
  9. 【請求項９】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に同
    一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記Ｘ
    軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異な
    る色に着色された画素を周期的に多数個並べて形成する
    ことにより製造されるカラーフィルタの製造方法であっ
    て、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジ
    ェットヘッドであって、前記複数のインク吐出ノズルの
    Ｙ軸方向の間隔が、同一色の画素のＹ軸方向の間隔と等
    しく設定された第１の吐出ノズル群と、該第１の吐出ノ
    ズル群以外に前記Ｙ軸方向の画素間隔と等しく設定され
    た第２の吐出ノズル群を有する複数のインクジェットヘ
    ッドとを用い、 前記複数のインクジェットヘッドの前記第１及び第２の
    吐出ノズル群のうち、光透過性の基板上の対応する色の
    画素に着色するノズル群のみインク吐出動作を行い、 前記インクジェットヘッドを前記Ｘ軸方向に走査させな
    がらインクを吐出させ、前記画素の全数を１回あるいは
    複数回の前記Ｘ軸方向の走査により着色することを特徴
    とするカラーフィルタの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記制御手段は、前記複数のインクジ
    ェットヘッドが前記基板上の対応する色の画素に着色す
    る前に、予備の吐出動作を行うように制御することを特
    徴とする請求項９に記載のカラーフィルタの製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記制御手段は、前記複数のインクジ
    ェットヘッドの第１及び第２の吐出ノズル群のうち、前
    記基板上の対応する色の画素に着色するノズル群のみ、
    着色する直前に予備の吐出動作を行うように制御するこ
    とを特徴とする請求項９に記載のカラーフィルタの製造
    方法。
  12. 【請求項１２】 前記制御手段は、前記各インクジェッ
    トヘッドが前記基板上の対応する色の画素に着色する直
    前に、前記複数のインクジェットヘッドの第１及び第２
    の吐出ノズル群のうち、前記基板上の対応する色の画素
    に着色するノズル群のみ、予備吐出動作を行う場合と、
    着色に使用しないノズル群も含めた全てのノズル群で、
    予備の吐出動作を行う場合とを、場合分けして行うよう
    に制御することを特徴とする請求項９に記載のカラーフ
    ィルタの製造方法。
  13. 【請求項１３】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に
    同一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記
    Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異
    なる色に着色された画素を周期的に多数個並べて形成す
    ることにより製造されるカラーフィルタを用いた表示装
    置の製造方法であって、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジ
    ェットヘッドであって、前記複数のインク吐出ノズルの
    前記Ｙ軸方向の間隔が、同一色の画素のＹ軸方向の間隔
    と等しく設定された第１の吐出ノズル群と、該第１の吐
    出ノズル群以外にＹ方向の画素間隔と等しく設定された
    第２の吐出ノズル群を有する複数のインクジェットヘッ
    ドとを用い、前記複数のインクジェットヘッドの前記第
    １及び第２の吐出ノズル群のうち、光透過性の基板上の
    対応する色の画素に着色するノズル群のみインク吐出動
    作を行い、前記インクジェットヘッドをＸ軸方向に走査
    させながらインクを吐出させ、前記画素の全数を１回あ
    るいは複数回のＸ軸方向の走査により着色したカラーフ
    ィルタを製造する工程と、前記カラーフィルタと、 光量を可変とする光量可変手段
    とを一体化する工程とを備えることを特徴とする表示装
    置の製造方法。
  14. 【請求項１４】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に
    同一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記
    Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異
    なる色に着色された画素を多数個周期的に並べて形成す
    ることにより製造されるカラーフィルタを用いた、表示
    装置を備えた装置の製造方法であって、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジ
    ェットヘッドであって、前記複数のインク吐出ノズルの
    前記Ｙ軸方向の間隔が、同一色の画素のＹ軸方向の間隔
    と等しく設定された第１の吐出ノズル群と、該第１の吐
    出ノズル群以外にＹ方向の画素間隔と等しく設定された
    第２の吐出ノズル群を有する複数のインクジェットヘッ
    ドとを用い、前記複数のインクジェットヘッドの前記第
    １及び第２の吐出ノズル群のうち、光透過性の基板上の
    対応する色の画素に着色するノズル群のみインク吐出動
    作を行い、前記インクジェットヘッドをＸ軸方向に走査
    させながらインクを吐出させ、前記画素の全数を１回あ
    るいは複数回のＸ軸方向の走査により着色されたカラー
    フィルタを製造する工程と、 光量を可変とする光量可変手段とを一体化して表示装置
    を製造する工程と、 該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段を設
    ける工程とを具備することを特徴とする、表示装置を備
    えた装置の製造方法。
  15. 【請求項１５】 第１のインク吐出ノズル群と、前記第
    １のインク吐出ノズル群に代わってインクを吐出可能な
    第２のインク吐出ノズル群とを用いて基板に対してイン
    クを吐出することで基板上に着色された画素を形成する
    ことによりカラーフィルタを製造する装置であって、前記第１のインク吐出ノズル群によりこれから着色しよ
    うとする各基板の着色前に前記第１のインク吐出ノズル
    群のみに予備のインク吐出動作を行なわせ、 前記第１の
    インク吐出ノズル群による所定数の前記基板の着色毎
    に、これから着色しようとする基板の着色前に、前記第
    １のインク吐出ノズル群と前記第２のイン ク吐出ノズル
    群の双方に予備のインク吐出動作を行わせ、前記所定数
    よりも多い数の前記基板の着色毎にインクに対して圧力
    を作用させることで前記第１のインク吐出ノズル群と第
    ２のインク吐出ノズル群の双方からインクを排出させる
    動作を行わせる制御手段を備えることを特徴とするカラ
    ーフィルタの製造装置。
  16. 【請求項１６】 基板上に着色された画素を複数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタの製造
    装置であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッド
    と、 該インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移動
    させるための移動手段と、 前記移動手段の動作と前記インクジェットヘッドのイン
    ク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記インクジェットヘッドが複数回の走査によって前記
    基板を着色する際に、前記制御手段は、各走査中に前記
    インクジェットヘッドの複数のインク吐出ノズルのうち
    一部のインク吐出ノズルからインク吐出動作を行ない、
    残りのインク吐出ノズルからのインク吐出動作は行なわ
    ないように制御し、且つ後の走査で使用するインク吐出
    ノズルは必ず前の走査で使用したインク吐出ノズルまた
    はその一部であるようにインク吐出動作の制御を行うこ
    とを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  17. 【請求項１７】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項１６に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  18. 【請求項１８】 前記制御手段は、前記インクジェット
    ヘッドが光透過性の基板上の対応する色の画素に着色を
    開始する前に、予備の吐出動作を行うように制御するこ
    とを特徴とする請求項１６に記載のカラーフィルタの製
    造装置。
  19. 【請求項１９】 基板上に着色された画素を複数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタの製造
    装置であって、 各色毎に設けられた複数のインク吐出ノズルを夫々有す
    る複数のインクジェットヘッドと、 該複数のインクジェットヘッドと前記基板との相対位置
    を移動させるための移動手段と、 前記移動手段の動作と前記複数のインクジェットヘッド
    のインク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記複数のインクジェットヘッドが複数回の走査によっ
    て前記基板の全域を着色する際に、前記制御手段は、各
    走査中に前記インクジェットヘッドの複数のインク吐出
    ノズルのうち一部のインク吐出ノズルからインク吐出動
    作を行ない、残りのインク吐出ノズルからのインク吐出
    動作は行なわないように制御し、且つ後の走査で使用す
    るインク吐出ノズルは必ず前の走査で使用したインク吐
    出ノズルまたはその一部であるようにインク吐出動作の
    制御を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造装
    置。
  20. 【請求項２０】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項１９に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  21. 【請求項２１】 前記制御手段は、前記インクジェット
    ヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する前
    に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴と
    する請求項１９に記載のカラーフィルタの製造装置。
  22. 【請求項２２】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に
    同一の色に着色された画素を複数個並べて形成し、前記
    Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が違いに異
    なる色に着色された画素を複数個並べて形成することに
    より製造されるカラーフィルタの製造装置であって、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジ
    ェットヘッドと、 該複数のインクジェットヘッドと前記基板との相対位置
    を移動させるための移動手段と、 該移動手段の動作と前記複数のインクジェットヘッドの
    インク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記複数のインクジェットヘッドが複数回の走査によっ
    て前記基板の全域を着色する際に、前記制御手段は、各
    走査中に前記インクジェットヘッドの複数のインク吐出
    ノズルのうち一部のインク吐出ノズルからインク吐出動
    作を行ない、残りのインク吐出ノズルからのインク吐出
    動作は行なわないように制御し、且つ後の走査で使用す
    るインク吐出ノズルは必ず前の走査で使用したインク吐
    出ノズルまたはその一部であるようにインク吐出動作の
    制御を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造装
    置。
  23. 【請求項２３】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項２２に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  24. 【請求項２４】 前記制御手段は、前記インクジェット
    ヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する前
    に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴と
    する請求項２２に記載のカラーフィルタの製造装置。
  25. 【請求項２５】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に
    同一の色に着色された画素を複数個並べて形成し、前記
    Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が違いに異
    なる色に着色された画素を複数個並べて形成することに
    より製造されるカラーフィルタの製造装置であって、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインクジ
    ェットヘッドであって、同一走査で着色に用いる複数の
    インク吐出ノズルの前記Ｙ軸方向のピッチ間隔が、同一
    色の画素の前記Ｙ軸方向のピッチ間隔と等しい複数のイ
    ンクジェットヘッドと、 該複数のインクジェットヘッドと前記基板との相対位置
    を移動させるための移動手段と、 該移動手段の動作と、前記複数のインクジェットヘッド
    のインク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記複数のインクジェットヘッドが複数回の走査によっ
    て前記基板の全域を着色する際に、前記制御手段は、各
    走査中に前記インクジェットヘッドの複数のインク吐出
    ノズルのうち一部のインク吐出ノズルからインク吐出動
    作を行ない、残りのインク吐出ノズルからのインク吐出
    動作は行なわないように制御し、且つ後の走査で使用す
    るインク吐出ノズルは必ず前の走査で使用したインク吐
    出ノズルまたはその一部であるようにインク吐出動作の
    制御を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造装
    置。
  26. 【請求項２６】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項２５に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  27. 【請求項２７】 前記制御手段は、前記インクジェット
    ヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する前
    に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴と
    する請求項２５に記載のカラーフィルタの製造装置。
  28. 【請求項２８】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドと基板との相対位置を制御し、前記イ
    ンクジェットヘッドから前記基板に対してインクを吐出
    することで、基板上に着色された画素を複数個並べて形
    成することによりカラーフィルタを製造する方法であっ
    て、 前記インクジェットヘッドが複数回の走査によって前記
    基板の全域を着色する際に、各走査中に前記インクジェ
    ットヘッドの複数のインク吐出ノズルのうち一部のイン
    ク吐出ノズルからインク吐出動作を行ない、残りのイン
    ク吐出ノズルからのインク吐出動作は行なわないように
    し、且つ後の走査で使用するインク吐出ノズルは必ず前
    の走査で使用したインク吐出ノズルあるいはその一部と
    なるようにインク吐出動作を行うことを特徴とするカラ
    ーフィルタの製造方法。
  29. 【請求項２９】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項２８に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  30. 【請求項３０】 前記制御手段は、前記インクジェット
    ヘッドが基板上の対応する色の画素に着色を開始する前
    に、予備の吐出動作を行うように制御することを特徴と
    する請求項２８に記載のカラーフィルタの製造方法。
  31. 【請求項３１】 基板上に着色された画素を複数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタを用い
    た表示装置の製造方法であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッド
    を用い、前記インクジェットヘッドが複数回の走査によ
    って前記基板の全域を着色する際に、各走査中に前記イ
    ンクジェットヘッドの複数のインク吐出ノズルのうち一
    部のインク吐出ノズルからインク吐出動作を行ない、残
    りのインク吐出ノズルからのインク吐出動作は行なわな
    いようにし、且つ後の走査で使用するインク吐出ノズル
    は必ず前の走査で使用したインク吐出ノズルあるいはそ
    の一部となるようなインク吐出動作により着色してカラ
    ーフィルタを製造する工程と、前記カラーフィルタと、 光量を可変とする光量可変手段
    とを一体化する工程とを備えることを特徴とする表示装
    置の製造方法。
  32. 【請求項３２】 基板上に着色された画素を複数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタを用い
    た、表示装置を備えた装置の製造方法であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッド
    を用い、前記インクジェットヘッドが複数回の走査によ
    って前記基板の全域を着色する際に、各走査中に前記イ
    ンクジェットヘッドの複数のインク吐出ノズルのうち一
    部のインク吐出ノズルからインク吐出動作を行ない、残
    りのインク吐出ノズルからのインク吐出動作は行なわな
    いようにし、且つ後の走査で使用するインク吐出ノズル
    は必ず前の走査で使用したインク吐出ノズルあるいはそ
    の一部となるようなインク吐出動作により着色してカラ
    ーフィルタを製造する工程と、 光量を可変とする光量可変手段とを一体化して表示装置
    を製造する工程と、 該表示装置に画像信号を出力する画像信号出力手段を設
    ける工程とを具備することを特徴とする、表示装置を備
    えた装置の製造方法。
  33. 【請求項３３】 基板上に着色された画素を多数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタの製造
    装置であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインク吐出手段と、 前記インク吐出手段と前記基板との相対位置を移動させ
    るための移動手段と、 前記移動手段の動作と、前記インク吐出手段のインク吐
    出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記制御手段は、前記インク吐出手段が複数回の走査に
    よって前記基板を着色する際に、各走査で着色に使用す
    るノズル数が実質的に均等となるように制御することを
    特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  34. 【請求項３４】 前記インク吐出手段は、熱エネルギー
    を利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに
    与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生
    体を備えていることを特徴とする請求項３３に記載のカ
    ラーフィルタの製造装置。
  35. 【請求項３５】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御することを特徴とする請求項３４に記載の
    カラーフィルタの製造装置。
  36. 【請求項３６】 基板上に着色された画素を多数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタの製造
    装置であって、 各色毎に設けられ複数のインク吐出ノズルを夫々有する
    複数のインク吐出手段と、 前記複数のインク吐出手段と前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、 前記移動手段の動作と、前記複数のインク吐出手段のイ
    ンク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記制御手段は、前記複数のインク吐出手段が複数回の
    走査によって前記基板の全域を着色する際に、各走査で
    着色に使用するノズル数が実質的に均等となるように制
    御することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  37. 【請求項３７】 前記インク吐出手段は、熱エネルギー
    を利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに
    与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生
    体を備えていることを特徴とする請求項３６に記載のカ
    ラーフィルタの製造装置。
  38. 【請求項３８】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御することを特徴とする請求項３７に記載の
    カラーフィルタの製造装置。
  39. 【請求項３９】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に
    同一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記
    Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異
    なる色に着色された画素を多数個並べて形成することに
    より製造されるカラーフィルタの製造装置であって、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインク吐
    出手段と、 前記複数のインク吐出手段と前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、 前記移動手段の動作と、前記複数のインク吐出手段のイ
    ンク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記制御手段は、前記複数のインク吐出手段が複数回の
    走査によって前記基板の全域を着色する際に、各走査で
    着色に使用するノズル数が実質的に均等となるように制
    御することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  40. 【請求項４０】 前記インク吐出手段は、熱エネルギー
    を利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに
    与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生
    体を備えていることを特徴とする請求項３９に記載のカ
    ラーフィルタの製造装置。
  41. 【請求項４１】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御することを特徴とする請求項４０に記載の
    カラーフィルタの製造装置。
  42. 【請求項４２】 基板上に１つの方向であるＸ軸方向に
    同一の色に着色された画素を多数個並べて形成し、前記
    Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に隣り合う画素が互いに異
    なる色に着色された画素を多数個並べて形成することに
    より製造されるカラーフィルタの製造装置であって、 各色毎に設けられ、前記Ｘ軸方向とは異なる方向に並ん
    だ複数のインク吐出ノズルを夫々有する複数のインク吐
    出手段であって、少なくとも前記複数のインク吐出ノズ
    ルのＹ軸方向のピッチ間隔が、同一色の画素のＹ軸方向
    のピッチ間隔と等しくなるように配列されたノズル列を
    有した複数の吐出手段と、 前記複数のインク吐出手段と前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、 前記移動手段の動作と、前記複数のインク吐出手段のイ
    ンク吐出動作とを制御する制御手段とを具備し、 前記制御手段は、前記複数のインク吐出手段が複数回の
    走査によって前記基板の全域を着色する際に、各走査で
    着色に使用するノズル数が実質的に均等となるように制
    御することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  43. 【請求項４３】 前記インク吐出手段は、熱エネルギー
    を利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに
    与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生
    体を備えていることを特徴とする請求項４２に記載のカ
    ラーフィルタの製造装置。
  44. 【請求項４４】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御することを特徴とする請求項４３に記載の
    カラーフィルタの製造装置。
  45. 【請求項４５】 基板上に着色された画素を多数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタの製造
    方法であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインク吐出手段と前記
    基板との相対位置を移動する複数回の走査によって前記
    基板の全域を着色する際に、各走査で着色に使用するノ
    ズル数が実質的に均等となるようにして着色を行うこと
    を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  46. 【請求項４６】 基板上に着色された画素を多数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタを用い
    た表示装置の製造方法であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインク吐出手段と前記
    基板との相対位置を移動する複数回の走査によって前記
    基板の全域を着色する際に、各走査で着色に使用するノ
    ズル数が実質的に均等となるようにして着色を行い、カ
    ラーフィルタを製造する工程と、前記カラーフィルタと、 光量を可変とする光量可変手段
    を一体化する工程とを備えることを特徴とする表示装置
    の製造方法。
  47. 【請求項４７】 基板上に着色された画素を多数個並べ
    て形成することにより製造されるカラーフィルタを用い
    た、表示装置を備えた装置の製造方法であって、 複数のインク吐出ノズルを有するインク吐出手段と前記
    基板との相対位置を移動する複数回の走査によって前記
    基板の全域を着色する際に、各走査で着色に使用するノ
    ズル数が実質的に均等となるようにして着色を行い、カ
    ラーフィルタを製造する工程と、 光量を可変とする光量可変手段を一体化して表示装置を
    製造する工程と、 該表示装置に画像信号を出力する画像信号出力手段を設
    ける工程とを具備することを特徴とする、表示装置を備
    えた装置の製造方法。
  48. 【請求項４８】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドの全ノズルを所定数ごとの複数のノズ
    ル群に分け、該複数のノズル群を必要に応じて切り替え
    て基板にインクを吐出し、カラーフィルタの各画素を着
    色するカラーフィルタの製造方法であって、 前記複数のノズル群を切り替えるための切り替え工程
    と、 前記切り替え工程により使用するノズル群が切り替えら
    れたときに、該使用するノズル群と前記各画素との位置
    ズレを補償する補償工程とを具備することを特徴とする
    カラーフィルタの製造方法。
  49. 【請求項４９】 前記切り替え工程は、現在使用してい
    るノズル群の吐出不良を検出又は推定する工程と、該検
    出又は推定結果に基づいて前記複数のノズル群を切り替
    える工程とを備えることを特徴とする請求項４８に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  50. 【請求項５０】 前記切り替え工程は、前記複数のノズ
    ル群の温度を検出する工程と、該検出工程における検出
    結果に基づいて前記複数のノズル群を切り替える工程と
    を備えることを特徴とする請求項４８に記載のカラーフ
    ィルタの製造方法。
  51. 【請求項５１】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項４８に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  52. 【請求項５２】 複数のインク吐出ノズルを有するイン
    クジェットヘッドの全ノズルを所定数ごとの複数のノズ
    ル群に分け、該複数のノズル群を必要に応じて切り替え
    て基板にインクを吐出し、カラーフィルタの各画素を着
    色するカラーフィルタの製造装置であって、 前記複数のノズル群を切り替えるための切り替え手段
    と、 該切り替え手段の切り替え動作を制御する制御手段と、 前記切り替え手段により使用するノズル群が切り替えら
    れたときに、該使用するノズル群と前記各画素との位置
    ズレを補償する補償手段とを具備することを特徴とする
    カラーフィルタの製造装置。
  53. 【請求項５３】 前記制御手段は現在使用しているノズ
    ル群の吐出不良を検出又は推定し、該検出又は推定結果
    に基づいて前記複数のノズル群を切り替えることを特徴
    とする請求項５２に記載のカラーフィルタの製造装置。
  54. 【請求項５４】 前記制御手段は、前記複数のノズル群
    の温度を検出し、該検出結果に基づいて前記複数のノズ
    ル群を切り替えることを特徴とする請求項５２に記載の
    カラーフィルタの製造装置。
  55. 【請求項５５】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項５２に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
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