CN101970240B - 一种用于在介质上形成图像的方法 - Google Patents
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Abstract
提供一种用于在介质上形成特征的图案的图像的方法,包括确定特征沿着第一方向和第二方向的间距以及至少基于特征沿着第一方向的间距确定第一像素的第一大小。至少基于特征沿着第二方向的间距确定第二像素的第二大小。至少基于倾斜角度和第一大小确定像素的第二扫描线与像素的第一扫描线之间沿着扫描方向的偏移。控制成像头以形成包括确定的第一大小的第一像素和包括确定的第二大小的第二像素。控制成像头以形成彼此偏移所确定的偏移的第一扫描线和第二扫描线。
Description
技术领域
本发明涉及成像系统以及用于形成特征的图案的方法,该特征具有相对于期望扫描方向倾斜的边缘。本发明可以应用于例如制造用于电子显示器的滤色器。
背景技术
在显示面板中使用的滤色器通常包括包含多个色彩特征的图案。所述色彩特征可以包括例如红色、绿色和/或蓝色色彩特征的图案。可以用其他颜色的色彩特征来制成滤色器。色彩特征可以以各种适合配置中的任一配置来布置。现有技术的“条带”配置具有红色、绿色和蓝色色彩特征的交替列,如图1A所示。
图1A示出了具有在接受器元件18上以交替列的形式分别形成的多个红色、绿色和蓝色色彩特征12、14和16的现有技术“条带”配置滤色器10的部分。色彩特征12、14和16由滤色器矩阵20(也称为矩阵20)的各部分描绘出轮廓。这些列可以以长条带被成像,所述条带被矩阵单元31(也称为单元31)细分成各个色彩特征12、14和16。相关联LCD面板(未示出)上的TFT晶体管可以被矩阵20的各区域22掩蔽。
各种成像方法在本领域是已知的并且可以用于在介质上形成各种特征。例如,激光导致的热转移过程已经被提出用于显示器的制造,并且尤其用于滤色器的制造。在一些制造技术中,当激光导致的热转移过程被用于生产滤色器时,也称为接受器元件的滤色器衬底被施主元件覆盖,该施主元件然后被逐图像地曝光以选择性地将着色剂从施主元件转移到接受器元件。优选曝光方法使用诸如激光束的辐射束来导致着色剂到接受器元件的转移。二极管激光器由于它们的低成本和小尺寸而尤为优选。
激光导致的“热转移”过程包括:激光导致的“来料转移”过程、激光导致的“熔融转移”过程、激光导致的“烧蚀转移”过程和激光导致的“质量转移”过程。在激光导致的热转移过程期间转移的着色剂包括适当的基于染料或基于颜料的合成物。诸如一种或多种粘合剂的附加元素也可以被转移。
某些常规的激光成像系统生成有限数目的辐射束。其他常规系统通过用许多单独调制的成像通道生成许多辐射束来减少完成图像所需的时间。具有大量此类“通道”的成像头是可获得的。例如,由加拿大不列颠哥伦比亚省的Kodak Graphic Communications Canada Company制造的型号的热成像头具有几百个独立的通道。每个通道可以具有超过25mW的功率。成像通道阵列可以被控制以便以一系列图像条片的形式写图像,所述一系列图像条片被布置为形成连续图像。
沿着扫描路径扫描辐射束以形成各个图像。所形成的图像的视觉质量可以是选择特定成像过程时的重要考虑。在诸如滤色器特征的此类激光导致的热转移的应用中,所形成的滤色器的质量取决于具有基本上相同的视觉特性的成像特征。例如,一个特定的视觉特性可以包括密度(例如光学密度或色彩密度)。被成像的色彩特征间的密度变化可以导致令人讨厌的图像伪影。图像伪影可以包括被成像的特征中的条纹或色彩变化。
图1A中示出的条带配置示出了滤色器特征的一个示例配置。滤色器可以具有其他配置。马赛克(mosaic)配置具有在两个方向(例如沿着列和行)上交替的色彩特征,使得每个色彩特征类似于“岛”。Δ(delta,三角形的)配置(未示出)具有彼此以三角关系布置的成组的红色、绿色和蓝色色彩特征。马赛克和Δ配置是“岛”配置的示例。图1B示出了以马赛克配置布置的现有技术滤色器10的一部分,其中色彩特征12、14和16布置成列并且既在横跨这些列的方向又在沿着这些列的方向交替。
其他滤色器配置在本领域也是已知的。虽然上面描述的举例说明的示例示出了矩形形状的滤色器元件的图案,但是包括其他形状的特征的其他图案也是已知的。
图1C示出了具有三角形形状的色彩特征12A、14A和16A的配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1C所示,每个相应的色彩特征沿着列布置并且与矩阵20对准。
图1D示出了具有三角形形状的色彩特征12A、14A和16A的配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1D所示,每个相应的色彩特征沿着滤色器10的列和行交替。如图1C和1D所示,色彩特征12A、14A和16A在给定行或列内可以具有不同的取向。
图1E示出了包括V形色彩特征12B、14B和16B的配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1E所示,每个相应的色彩特征沿着列布置并且与矩阵20对准。色彩特征12B、14B和16B由条带形成,所述条带从一侧向另一侧弯曲并且由滤色器矩阵20的各部分描绘出轮廓。
图1F示出了包括V形色彩特征12B、14B和16B的配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1F所示,每个相应的色彩特征沿着滤色器10的列和行交替。
可以选择滤色器特征的形状和配置以提供期望的滤色器属性,诸如更好的色彩混合或增强的观看角度。具有相对于期望的成像扫描方向倾斜的边缘的特征关于它们的制造可能产生附加的挑战。
在一些应用中,要求将特征形成为与介质上提供的配准区域基本对准。例如,在图1A中,各个色彩特征12、14和16要与矩阵20提供的矩阵单元34的图案对准。色彩特征12、14和16可以与矩阵20重叠以减少背光泄露效应。在诸如滤色器的一些应用中,最终产品的视觉质量可以取决于特征的图案(例如滤色器特征的图案)与配准子区域(例如滤色器矩阵)的图案对准的准确度。未对准可能导致形成不期望的无色空隙或者导致相邻特征的重叠,这可能导致不期望的色彩特性。
虽然在滤色器应用中与矩阵20相重叠可以帮助减小色彩特征必须与矩阵20配准的精确度,但是能够与矩阵20重叠的程度通常存在限制。可能限制重叠程度(以及最终对准)的因素可能包括但不限于:滤色器的特定配置、矩阵线的宽度、矩阵线的粗糙度、防止背光泄露所需的重叠以及后退火缩减。
与形成特征所采用的特定方法相关联的因素可以限制重叠程度。例如,当采用激光成像方法时,激光成像器可以扫描滤色器的准确度将对获得的最终配准有影响。在显示器行业中存在对于采用具有更细的线宽度的滤色器矩阵的期望。该期望可能进一步使得对准要求复杂化。
特征可以被成像的成像分辨率也对最终的对准有影响。成像分辨率与对应的辐射束在成像过程期间形成的图像像素的大小特性有关。更高的分辨率可以用于形成具有更小尺寸的像素。更小的像素可以被组合以更精确地形成被成像的特征。更高的分辨率然而并不总是可能的。例如,辐射束可以被发射以使辐射斑在介质上扫过,从而在其上形成像素。扫描方向上的像素的大小与沿着扫描方向的斑的大小和沿着扫描方向扫描的速度有关。斑本身的大小限制沿着扫描方向可以实现的成像分辨率。斑的大小可能与发射辐射束的切换频率有关。对切换频率的限制因此可能限制成像分辨率。更高的成像分辨率也可能受到成像介质本身的限制。介质的曝光特性可能限制形成的像素大小。例如,在一些热转移过程中,需要具有适当强度的辐射束来使得图像形成材料的区域与施主元件分开并且转移到接受器元件。与介质相关联的转移机制可能限制高分辨率像素的使用。然而,用相对较大的像素形成特征可能限制在特征和它们要与之对准的配准区域之间实现的对准。仍然需要导致形成特征图案的高质量图像的有效且实用的成像方法和系统。这些特征的各个部分相对于期望的扫描方向可以具有不同取向。这些特征的各个边缘可以相对于扫描路径的方向倾斜。
仍然需要可以形成与介质上提供的配准子区域图案基本对准的特征的有效且实用的成像方法和系统。这些特征的各个边缘可以相对于扫描路径的方向倾斜。这些特征可以是彩色显示器的一部分。
仍然需要可以形成具有与特征本身的大小相比或者和这些特征与介质上提供的配准子区域的图案之间的期望对准所需要的期望公差相比相对粗糙的成像分辨率的特征的有效且实用的成像方法和系统。这些特征的各个边缘可以相对于扫描路径的方向倾斜。这些特征可以是彩色显示器的一部分。
仍然需要可以形成与具有减小的线宽度的滤色器矩阵线对准的色彩特征的有效且实用的成像方法和系统。
发明内容
本发明涉及一种用于在介质相对于辐射束移动的同时在介质上形成图像的方法。该介质可以包括诸如例如矩阵的配准子区域的图案。该图像可以包括一个或多个特征图案,所述特征诸如作为有机发光二极管显示器的一部分的有色照明源或滤色器的色彩特征。该一个或多个特征图案可以与配准子区域的图案对准。这些特征可以是岛特征,其中第一色彩的第一多个特征的每个特征与第一色彩的每个其他特征由不同色彩的特征分隔开。这些特征可以是条带,其可以在一个或多个方向上中断或不中断。特征的边缘可以相对于成像头的成像通道的布置方向倾斜。这些特征可以是V形状。
可以通过诸如激光导致的染料转移过程的激光导致的热转移过程、激光导致的质量转移过程或通过将材料从施主元件转移到接受器元件的其他方式来形成图像。
在本发明的一个示例实施例中,利用由成像头发射的辐射束,在沿着扫描方向在介质上扫描的同时在介质上形成特征图案的图像。图案中的特征可以沿第一方向和与第一方向相交的第二方向规则地布置。第二方向可以平行于扫描方向。图案包括可以沿着第一和第二方向重复的特征。特征可以具有沿着相对于扫描方向倾斜一定倾斜角度的方向延伸的第一边缘部分。特征可以具有沿着与扫描方向平行的方向延伸的对称轴并且可以是V形的形状。
该方法包括确定特征沿着第一方向的间距并且至少基于特征沿着第一方向的间距确定要形成在介质上的第一像素的第一尺寸。第一尺寸沿着与扫描方向相交的方向。特征的间距可以等于第一尺寸的整数倍。确定特征沿着第二方向的间距。至少基于特征沿着第二方向的间距确定要在介质上形成的第二像素沿着扫描方向的第二尺寸。第一和第二尺寸可以是像素边缘或像素其他部分的大小。特征沿着第二方向的间距可以等于第二尺寸的整数倍。沿着扫描方向确定要在介质上形成的像素的第二扫描线与要在介质上形成的像素的第一扫描线之间的偏移,该偏移至少基于倾斜角和第一尺寸。在沿着扫描方向扫描时控制成像头发射辐射束以在介质上形成图像。在介质上扫描时控制成像头以形成具有确定的第一尺寸的第一像素和具有确定的第二尺寸的第二像素。在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第一扫描线和像素的第二扫描线。像素的第二扫描线从像素的第一扫描线偏移所确定的偏移。
在一个示例实施例中,像素的第一扫描线包括第一像素并且像素的第二扫描线包括第二像素。像素的第一扫描线和像素的第二扫描线中的每一个可以包括或可以不包括相同大小的像素。在一些实施例中,像素的第一扫描线从像素的第二扫描线沿着扫描方向偏移的量小于第二尺寸。在其他实施例中,像素的第一扫描线从像素的第二扫描线沿着扫描方向偏移的量大于第二尺寸。
在一个实施例中,可以至少基于以下关系来确定沿着扫描方向的偏移:Offset=(T*X)/Tan(θ),其中Offset是沿着扫描方向的偏移;X是第一尺寸;T是大于等于1的整数;并且θ是对应于倾斜角的角度。
特征可以包括沿着与第一边缘部分沿着其延伸的方向平行的方向延伸的第二边缘部分。第二边缘部分和第一边缘部分可以沿着扫描方向彼此偏移。
在一个实施例中,图案中的每个特征包括沿着与第一边缘部分沿着其延伸的方向平行的方向延伸的边缘部分,并且每个边缘部分沿着扫描方向规则地布置。
在另一实施例中,图案中的每个特征包括一组边缘部分。该组中的每个边缘部分延伸与第一边缘部分沿着其延伸的方向平行的方向延伸,并且每个组中的每个边缘部分沿着扫描方向从该组中的其他边缘部分偏移。
可以通过延迟对成像头的成像通道的激活而将像素的第二扫描线从像素的第一扫描线偏移确定的偏移。发射辐射束的持续时间可以被控制以在介质上形成沿着扫描方向的大小等于第二尺寸的像素。
成像头的光阀的通道被打开和关闭的时间长度可以被控制和改变,以便形成沿着扫描方向的大小等于第二尺寸的像素。成像头可以被控制以便发射辐射束从而通过旋转成像头或者通过将辐射斑定位成围绕和辐射束在其上扫描的介质表面相交的轴线成一定角度而在介质上形成辐射斑,从而在介质上形成跨扫描大小等于第一尺寸的像素。可选地,辐射斑可以被放大或缩小以在介质上形成跨扫描大小等于第一尺寸的像素。
在另一实施例中,利用由成像头发射的辐射束,在介质上沿着扫描方向扫描的同时在介质上形成包括多个特征的图像。所述多个特征可以包括特征的图案,其中每个特征沿着扫描方向以及沿着与扫描方向相交的方向规则地布置。每个特征可以沿着扫描方向以及沿着与扫描方向相交的方向重复。控制成像头发射辐射束以便在介质上形成具有一定取向的所述多个特征,其中每个特征的多个边缘相对于扫描方向倾斜一定的倾斜角度,并且所述多个边缘中的每一个彼此平行并且沿着扫描方向彼此偏移。在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第一扫描线。在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第二扫描线。像素的第二扫描线从像素的第一扫描线沿着扫描方向偏移至少基于倾斜角而确定的偏移距离,并且像素的第一扫描线和像素的第二扫描线中的每一个与每个特征的所述多个边缘中的每一个相交而不与每个特征的其他边缘相交。每个特征的其他边缘沿着与所述多个边缘中的每个边缘沿着其延伸的方向不同的方向延伸。
像素的第一扫描线的像素沿着跨扫描方向具有第一尺寸。每个特征可以沿着跨扫描方向规则地布置,并且特征沿着跨扫描方向的间距可以等于第一尺寸的整数倍。该方法可以包括至少基于第一尺寸确定偏移距离。像素的第一扫描线和像素的第二扫描线可以彼此邻近。
承载计算机可读信号集合的程序产品可以用于执行上述方法。
附图说明
通过所附的非限制性图形示出本发明的实施例和应用。附图的目的在于示出本发明的概念并且附图可能不按比例绘制。
图1A是现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1B是另一现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1C是包括三角形特征的现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1D是包括三角形特征的另一现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1E是包括V形特征的现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1F是包括V形特征的另一现有技术滤色器的一部分的平面图;
图2A是在常规热转移过程中将特征图案成像到可成像介质上的多通道头的示意表示;
图2B是色彩条带从一侧向另一侧弯曲的“条带配置”滤色器的一部分的平面图;
图2C示意性地示出了用于制造具有不正确的跨扫描分辨率的图2B的滤色器的激光导致的热转移过程;
图2D示意性地示出了用于制造具有不正确的扫描分辨率的图2B的滤色器的激光导致的热转移过程;
图3是示例的现有技术多通道成像头的光学系统的示意性透视图;
图4A示意性地示出了根据本发明的示例实施例的图2B的滤色器的成像;
图4B示意性地示出了根据本发明的另一示例实施例的图2B的滤色器的成像;
图5是本发明的示例实施例采用的缩放系统的示意表示;
图6示意性地示出了通过扫描辐射束形成的像素的网格状布置;
图7A示意性地示出了与接受器元件上多个特征部分的形成相关联的公差预算,所述接受器元件包括在相对于扫描方向倾斜的方向上延伸的矩阵线;
图7B示出了包括图7A的特征部分的特征图案的图示;
图7C示出了用具有更高扫描分辨率的像素形成的图7B的特征图案;
图8示意性地示出了本发明的示例实施例中使用的设备90;
图9示出了根据本发明的示例实施例的用于成像具有倾斜边缘的特征图案的流程图;
图10A示出了根据本发明的示例实施例的被形成为与矩阵对准的特征图案;
图10B示出了图10A的特征的各个部分的放大图;以及
图10C示出了根据本发明的另一示例实施例的被形成为与矩阵对准的特征图案,其中所述矩阵包括比图7A的矩阵更细的矩阵线。
具体实施方式
贯穿以下的详细说明给出了具体细节以向本领域技术人员提供更彻底的理解。然而,可能没有详细示出或描述公知的元件以避免不必要地使本公开模糊。相应地,该说明书和附图应当被认为是说明性的而不是限制性的意思。
图2A示意性地示出了用于制造与图1A所示的滤色器类似的条带配置滤色器10的常规的激光导致的热转移过程。在这种情况中,示出了红色条带特征30的成像。为了清楚起见将红色条带特征30稍微划上阴影线。提供成像头26以将图像形成材料(未示出)从施主元件24转移到下面的接受器元件18。仅为了清楚的目的而将施主元件24示出为比接受器元件18小。施主元件24可以按照需要与接受器元件18的一个或多个部分重叠。成像头26可以包括若干成像通道的布置。在这种情况下,成像头包括可单独寻址的通道40的通道阵列43。
接受器元件18可以包括配准区域,期望与配准区域基本对准地形成一个或多个特征的图像。接受器元件18可以包括配准子区域的图案,期望与所述配准子区域基本对准地形成一个或多个特征的图像。接受器元件18包括配准区域47(以大的虚线示意性地示出)。在这种情况下,配准区域47包括滤色器矩阵20。矩阵20是配准子区域的图案的示例。虽然可以使用激光导致的热转移过程来在接受器元件18上形成矩阵20,但是矩阵20通常由光刻技术形成。
当成像头26发射的辐射束在施主元件24上扫描时图像形成材料可以被逐图像地转移到接受器元件18上。一般在分开的成像步骤中对滤色器10的红色、绿色和蓝色部分成像;每个成像步骤包括用要成像的下一色彩施主元件来替换之前的色彩施主元件。滤色器的红色、绿色和蓝色特征的每一个将被与对应的矩阵单元31基本对准地转移到接受器元件18。在转移了色彩特征之后,被成像的滤色器可以经受一个或多个附加的处理步骤,诸如退火步骤,以便例如改变被成像的色彩特征的一个或多个物理性质(例如硬度)。
常规的基于激光的多通道成像过程所采用的照明系统的示例在图3中被示意性地示出。使用空间光调制器或光阀来创建多个成像通道。在所示出的示例中,线性光阀阵列100包括制造在半导体衬底102上的多个可变形反射镜元件101。反射镜元件101可单独寻址。反射镜元件101可以是微机电(MEMS)元件,诸如例如可变形反射镜微型元件。激光器104可以使用包括柱面透镜108和110的变形束扩张器来在光阀100上产生照明线106。照明线106在多个元件101上横向展开使得每个反射镜元件101由一部分照明线106进行照明。Gelbart的美国专利5517359描述了形成照明线的方法。
在元件101处于其未致动状态时透镜112通常聚焦激光照明,使其通过孔径光阑116中的孔径114。来自被致动的元件的光被孔径光阑116阻挡。透镜118对光阀100成像以形成多个单独的逐图像调制的束120,所述束可以扫描衬底的区域以形成成像条片。每个束由元件101中的一个控制。每个元件101对应于多通道成像头的成像通道。
每个束在操作中用于根据对应的元件101的驱动状态在成像的接受器元件上成像或不成像“图像像素”。也就是说,当根据图像数据需要成像像素时,驱动给定元件101以生成强度幅度和持续时间适用于在衬底上形成像素图像的对应辐射束。当根据图像数据不需要成像像素时,驱动给定元件101以不生成辐射束。如这里所用的,像素指的是衬底上图像的单个单位元素,区别于该单词像素与在组装的显示装置上显示的图像的一部分有关的用法。例如,如果本发明用于创建用于彩色显示器的滤色器,则本发明创建的像素将与邻近的像素组合,以形成在显示装置上显示的图像的单个像素(也称为特征)。
图2A以虚线41描绘了成像通道40与转移图案之间的对应。诸如条带特征30的特征通常具有大于成像通道40所成像的像素的宽度的大小。成像头26产生的辐射束在根据指定要写的特征图案的图像数据被逐图像调制的同时在接受器元件18上扫描。各通道组48被驱动以在期望形成特征的任何位置生成辐射束。不对应于特征的通道40被驱动以便不对对应区域成像。因此,每次打开成像通道时发射辐射束。因此,随着成像通道的打开和关闭,每次打开通道时,从该通道发射新的辐射束。
在响应于图像数据控制成像通道40以创建图像的同时接受器元件18、成像头26或两者的组合彼此相对移动。在一些情况下,成像头26是静止的,而接受器元件18移动。在其他情况下,接受器元件18是静止的而成像头26移动。在其他情况下,成像头26和接受器元件18都移动。
成像通道40可以被激活以在成像头26的扫描期间形成图像条片。接受器元件18可能太大而不能被成像在单个图像条片中。因此,通常需要成像头26的多个扫描来完成接受器元件18上的图像。
成像头26沿着副扫描轴线44的移动可以发生在沿着主扫描轴线42完成了每个条片的成像之后。可选地,利用鼓状成像器,沿着主扫描轴线42和副扫描轴线44二者相对移动成像头26是可能的,从而写入在鼓上成螺旋形地延伸的图像条片。在图2A中,成像头26和接受器元件18之间的相对运动是沿着与主扫描轴线42对准的路径以及沿着与副扫描轴线44对准的路径提供的。
任何适当的机构可以用于相对于接受器元件18移动成像头26。平板成像器通常用于对相对刚硬的接受器元件18成像,如制造显示面板中所常见的。平板成像器具有将接受器元件18以平坦的取向固定的支撑件。Glebart的美国专利6957773描述了适用于显示面板成像的高速平板成像器。可选地,柔性接受器元件18可以被固定到“鼓状”支撑件的外部或内部表面以实现图像条片的成像。
在图2A中,矩阵20相对于主扫描轴线42和副扫描轴线44倾斜。矩阵20相对于成像通道40的布置方向倾斜。在这种情况下,需要以倾斜的方式形成条带特征30以与矩阵20正确对准。具有倾斜边缘的特征或倾斜特征常规地通过在沿着扫描路径引导辐射束的时候建立接受器元件18和成像头26之间的受控相对移动而被成像。在这种情况下,根据倾斜度来使副扫描运动与主扫描运动协调。当在成像头26和接受器元件18之间提供主扫描运动时,还提供这两者之间的同步副扫描运动以产生被称为“协调运动”的运动。与其中以螺旋方式成像图像条片的基于鼓的成像方法(其中在每次鼓旋转期间副扫描运动的量通常与要形成的图像无关地被定义)不同,当采用协调运动技术时每次扫描期间的副扫描运动的量取决于要形成的图像。协调运动可以用于形成具有基本平滑和连续的边缘的特征,其在某些要求很高的应用中可用于促进特征图案与配准子区域图案的对准。如图2A所示,每个条带特征30的各部分与矩阵20的各个线重叠。
图2B示意性地示出了类似于图1E中所示的滤色器的条带配置滤色器10。在这种情况下,期望红色(R)条带特征32包括相对于用于形成条带特征32的成像头26(未示出)的成像通道的布置方向倾斜的各个部分。期望的条带特征32为了清楚起见被划上阴影线。期望控制成像头26来成像施主元件24以将图像形成材料转移到接受器元件18从而形成z字形的条带特征32。在这种情况下,条带在沿着平行于扫描方向的方向延伸的时候从一侧向另一侧弯曲。包括V形形状的滤色器特征33由对应于转移的条带特征32的区域中的矩阵20A的每个矩阵单元31A来定义。在这种情况下,各个特征33相对于彼此是连续的。在有些情况下,条带特征可以是中断的并且所得到的特征33是非连续的。
虽然通过采用常规的协调运动技术来形成条带特征32是可能的,但是这些技术可能降低成像过程的生产率。在对诸如z字形的条带特征32的特征成像期间使用的协调运动技术将需要往复形式的运动。例如,当沿着与主扫描轴线42对准的路径相对于接受器元件18移动成像头26时,成像头26将需要沿着与副扫描轴线44对准的路径相对于接受器元件18同步地往复以遵循z字形形状的特征。用于建立所需的主扫描和副扫描相对运动的移动机构将需要处理绕每个条带特征32的各个拐角(例如拐角55)移动所需的高减速和加速。以下方程可以用于示出此:
(1)Vsubscan=Vmainscan*tanλ,其中:
Vsubscan是协调运动的相对副扫描速度,
Vmainscan是协调运动的相对主扫描速度,且λ是对应于相对于主扫描轴线42测量的特征部分的歪斜度的角度;
(2)t=Vsubscan/Asubscan
其中,t是在副扫描运动绕其往复的点(例如拐角55)处将Vsubscan减小至零所需的时间,且
Asubscan是在往复点处建立Vsubscan与零速度之间的变化所需的减速度,以及
(3)d=Vsubscan*t,其中
d是在时间t期间在主扫描方向行进的距离。
通过重新组合方程(1)、(2)和(3),距离d可以表示为:
(4)d=(Vmainscan 2*tanλ)/Asubscan。
对于Vmainscan=1米/秒,Asubscan=5米/秒2以及角度λ=30度的典型条件,将需要距离d=115.5mm来达到往复点。对于涉及包括“歪斜”特征部分的特征的某些要求很高的应用而言,往复协调运动是不实际的。例如,在滤色器应用中,V形的色彩特征可以包括长度为大约一百微米的歪斜部分。以毫米为单位测量的减速距离“d”将不适于这样的小特征的成像。
可用于对倾斜特征或具有倾斜边缘的特征成像的其他方法包括用像素的“阶梯”布置来近似形成的边缘。与采用协调运动技术的成像方法不同,这些技术可以导致形成具有不平滑而是在外观上呈锯齿状或阶梯状的边缘的特征。成像头26可以被控制以在接受器元件18上形成图像像素(图2B中未示出)的二维网格。近似地通过像素(其放置由网格决定)的阶梯布置来成像倾斜特征边缘。
将特征图案与配准子区域图案对准对于用于用像素的布置形成特征的成像过程可能提出挑战。可以不同的图案来布置特征。在一些图案中,沿着一个或多个方向规则地布置特征。在这样的图案中,每个特征包括共同基准,并且将特征布置为使得每个共同基准沿着特征图案的布置方向彼此分隔开相等的距离。该相等距离称为“间距”。共同基准可以包括特征边缘、特征拐角、特征中心点等。
图2B示出了特征图案与包括配准子区域图案的配准区域的期望对准的示例。在这个示例中,单元31A(其中的一些以小虚线被部分地示出)沿着与主扫描轴线42平行的第一方向以及沿着与副扫描轴线44平行的第二方向规则地布置。在这种情况下,期望与矩阵20A基本对准地形成条带特征32(以及对应的色彩特征33),从而形成包括v形色彩特征的“条带配置”滤色器。每个条带特征32由单元31A描绘出以形成多个红色(R)滤色器特征33。相应地,期望:沿着第一方向,所得到的色彩特征33的图案的间距“PA”基本上等于对应单元31A的图案的间距“PRA”。相应地,期望:沿着第二方向,所得到的色彩特征的图案的间距“PB”基本上等于对应单元31A的图案的间距“PRB”。在这种情况下,第一方向基本平行于与期望的成像相关联的跨扫描方向,并且第二方向基本平行于与期望的成像相关联的扫描方向。要理解的是,滤色器10可能需要的其他颜色的其他特征(为了清楚起见未示出)可也由类似的对准要求决定。
图2C示意性地示出了试图对如图2B所要求的那样与单元31A正确对准的期望条带特征32成像而形成成像条带特征32A的成像过程。成像头26包括可单独寻址的通道40的通道阵列43,所述通道40大小均匀并且沿着阵列的布置方向重复。在这种情况下,布置方向平行于副扫描轴线44。每个通道可以发射辐射束,该辐射束形成沿着跨扫描方向(即在这种情况下平行于副扫描轴线44)具有第一尺寸并且沿着扫描方向(即在这种情况下平行于主扫描轴线)具有第二尺寸的图像像素(未示出)。
图2C示意性地示出了对所示出的沿跨扫描方向具有该第一像素大小的特征的图案进行成像的困难。适当的配准要求红色条带特征32A被形成为具有与单元31A的间距PRA相匹配的间距。图2C示出了该要求未被满足。实际上,成像通道40的第一跨扫描分辨率使得成像条带特征32A被形成为具有不等于PRA的初始间距PIA。
典型地,控制每个成像条带特征32A的大小和位置的能力与像素大小有关。成像头26产生的辐射束均沿着跨扫描方向产生像素大小,其不能形成间距与条带特征32的期望图案相匹配的成像条带特征32A的成像图案。虽然成像通道40的分辨率可能使得或可能不使得每个图像条带特征32A被成像为沿着跨扫描方向具有等于期望的红色条带特征32的对应大小的大小,但是该分辨率使得不能匹配期望的间距。
如图2C所示,一些成像条带特征32A从对应的单元31A偏移变化的量。在这种情况下,某些偏移增加到其中条带特征32A之一将被用矩阵20A的区域45中的其他色彩施主元件成像的其他特征所覆盖的点。而且,在区域49中,某些矩阵单元31A未被红色条带特征32A完全覆盖,从而导致可能存在无色空隙。这两种效应都可能导致最终滤色器中不期望的视觉特性。显而易见的是,这些效应在更大数目的成像通道40的布置被用于提高成像生产率时可能会被额外地加重。区域45和49为了清楚起见被划上阴影线。
图4A示意性地示出了根据本发明的示例实施例的对图2B中示出的特征的期望图案的成像。用图2C示出的成像过程中所示的相同成像头26来对红色条带特征32B成像。根据本发明的该示例实施例,成像头26绕着与辐射束在其上扫描的接受器元件18的平面相交的轴线旋转角度δ。角度δ被示出为是在副扫描轴线44和成像通道40的布置方向之间测量的。角度δ被选择为使得旋转后的成像头26的成像分辨率被适当地确定大小,以使得红色条带特征32B的成像图案是具有基本等于单元31A的间距PRA的间距PFA的图像。成像头26的旋转使得成像的像素(同样未示出)的跨扫描大小发生改变。所得到的成像的像素的大小可以使得或可以不使得成像的红色条带特征32B被形成为具有等于图2B中示出的期望的条带特征32A的对应跨扫描大小的跨扫描大小。然而,通过将像素调整到适用于所需的跨扫描间距的大小,许多先前描述的由于失配的间距而会产生的伪影基本上被避免。
虽然在图4A中成像头26在以副扫描轴线44作为基准时旋转了角度δ,但是要理解的是,可以容易地使用其他基准。
可以采用其他方法来改变与扫描方向相交的方向上成像像素的大小。图4B示意性地示出了根据本发明的另一示例实施例的对图2B中示出的特征的期望图案的成像。根据本发明的该方面,成像头26包括缩放机构80。缩放机构80调整由成像头26发射的辐射束的大小以使得成像的红色条带特征32C的图案被成像为具有基本上等于单元31A的间距PRA的间距PFA。
图5示意性地示出了可以由本发明的各个实施例使用的缩放系统80。缩放系统80包括固定场光学部件81、两个或更多可移动缩放光学部件82、孔径光阑83、固定光学部件84以及可移动聚焦光学部件85。在该示例实施例中,孔径光阑83位于缩放光学部件82与固定光学部件84之间。缩放机构80在缩放调整的整个范围上维持物平面86和像平面87的位置。缩放光学部件82的位置在各个位置之间移动以设置光学系统的放大率。每个光学部件可以包括一个或多个透镜。一个或多个光学部件可以是变形的。其他类型的缩放机构也可以被本发明采用。
以类似的方式,需要用以下这样的像素来形成期望的条带特征32A,所述像素的沿着扫描方向的大小被确定为使得满足滤色器特征33的沿着第二方向的期望间距。图2D示意性地示出了用成像的条带特征32D形成色彩特征33。在此方面,图2D示意性地示出了对沿着扫描方向具有不满足该要求的第二像素大小的特征33的图案进行成像的困难。实际上,所用的扫描分辨率使得色彩特征33被形成为具有不等于PRB的初始间距PIB。
如图2D所示,成像的红色条带特征32D的各部分从对应的单元31A偏移变化的量。以与图2C所示类似的方式,这些偏移可以导致诸如例如无色空隙49之类的各种成像伪影。因此,要求成像头的分辨率被调整为与沿着扫描方向的间距PRB相匹配。
可以通过各种技术来实现调整扫描分辨率以形成根据沿着扫描方向的期望图像间距调整其沿着扫描方向的大小的像素。例如,图6示出了通过在接受器元件18上扫描辐射束而形成的像素70的网格状布置。每个像素70的大小由沿着不同方向的各个尺寸来表征。每个像素70沿着与像素70的形成相关联的扫描方向具有等于大小“b”的尺寸,并且在跨扫描方向上具有等于大小“a”的尺寸。在该示例中,每个像素70的特定大小是通过在每个像素70的区域上扫描矩形辐射斑77而生成的。该扫描被实现为对图像的整体扫描的一部分。为了在像素区域上扫描斑77,需要速度为“V”的相对运动。该相对运动可以通过移动辐射斑77,或者通过移动接受器元件18,或者通过移动这二者来产生。在这种情况下,扫描方向平行于相对移动的方向并且在扫描方向上斑的大小是“w”。激光斑停留在介质的任何点上的时间由w/V限定。在这种情况下,每个像素70的在扫描方向上的大小是用于形成像素的辐射束的初始大小“w”和该束在接受器元件18上扫描的持续时间的函数。虽然扫描方向上的大小可以通过改变速度来调整,但这可以导致由辐射束产生的曝光的改变。一种用于对于给定的扫描速度改变沿着扫描方向的像素大小的方法包括调整成像通道被激活的时间长度。例如,在包括光阀的一些成像系统中,包括定时脉冲的模式的定时信号被提供给所有的光阀元件并且根据图像数据激活各个元件。定时脉冲之间的时间与每个光阀元件根据图像数据可被激活或不可被激活的时间长度有关,并且因此定义根据图像数据形成的像素沿着扫描方向的大小。在本发明的该示例实施例中,控制定时脉冲之间的时间以便根据成像特征沿着扫描方向的期望间距调整大小b。
可以通过各种方法(包括使用矩形孔径)来产生矩形辐射斑77。然而斑不需要是矩形的并且根据需要可以包括其他形状。在本发明的一些示例实施例中,通过在扫描辐射束以形成像素时调整对应的成像通道40被激活的时间量来改变沿着扫描方向的像素大小。本发明的其他示例实施例可以通过其他方法来改变沿着扫描方向的像素大小。
在本发明的一些示例实施例中,沿着跨扫描方向的像素大小被选择为使得特征的成像图案沿着第一方向具有期望的特征间距,其是沿着跨扫描方向的像素大小的整数倍。附加地或可选地,在本发明的一些示例实施例中,沿着扫描方向的像素大小被选择为使得特征的成像图案沿着第二方向具有期望的特征间距,其是沿着扫描方向的像素大小的整数倍。第一方向可以基本上平行于跨扫描方向并且第二方向可以基本上平行于扫描方向。
可以通过各种方式来确定所需要的间距。例如,配准子区域的图案(例如滤色器矩阵中单元的图案)的间距可以通过直接测量来确定。各种光学传感器可以用于检测各个配准子区域的位置并且所检测的位置可以用于确定子区域之间的间距。图像像素、辐射束或成像的条片本身的大小也可以通过直接测量来确定。可以通过不同的方式来确定各个间距。
当试图形成与配准子区域的图案基本对准的特征图案时其他因素也可能起作用。例如,在滤色器的制造中,滤色器特征可以被形成为使得它们覆盖矩阵线的各部分以帮助降低色彩特征必须与矩阵单元的图案对准的准确度。然而,通常存在对于矩阵可以重叠的程度的限制。成像过程本身对于允许的重叠程度可能具有影响。例如,在激光导致的热转移过程中生成的图像的视觉质量通常对于施主元件和接受器元件之间的界面的均匀性是敏感的。非均匀界面可能影响从施主元件转移到接受器元件的图像形成材料的量。如果邻近的特征在矩阵线上彼此重叠,则在重叠区域中由于已经转移到这些区域的附加材料,施主-接受器元件界面的均匀性可能受到影响。附加材料可能不利地影响在随后成像期间利用附加施主元件形成的特征的视觉质量。在这方面,通常优选的是使邻近特征在矩阵线上不彼此重叠。该要求对于重复色彩特征的图案与矩阵单元的重复图案之间的所需对准提出了附加的对准约束。
图7A示意性地示出了与第一特征部分33A和第二特征部分34A的形成相关联的公差预算,第一特征部分33A和第二特征部分34A与倾斜的矩阵线21A处于重叠的关系中,矩阵线21A的边缘56由大的虚线表示。为了清楚起见重叠的矩阵线21A被划上阴影线。边缘56以扫描方向为基准倾斜了等于θ的角度值,该扫描方向在这种情况下平行于主扫描轴线42。特征部分33A和34A是具有沿着相对于成像系统的期望扫描方向倾斜的方向延伸的边缘的不同特征的部分。图1C、1D、1E和1F示出了滤色器特征的示例,其可以具有各种边缘部分,所述边缘部分可以相对于用于形成特征的一个或多个辐射束的扫描方向而倾斜。在这个示例中,特征部分33A和34A是V形条带特征配置的滤色器(类似于图1E示出的滤色器)的一部分,并且特征部分33A对应于第一色彩(例如红色)而特征部分34A对应于另一色彩(例如绿色)。
用像素70A的各种阶梯布置形成特征部分33A和34A。像素70A具有沿着跨扫描方向的第一尺寸A并具有沿着扫描方向的第二尺寸B。在这种情况下,每个特征部分33A和34A属于色彩特征的对应二维规则图案,并且根据特征沿着图案的第一方向的期望间距PA来选择第一尺寸A(即色彩特征的每个对应图案具有沿着第一方向的相同间距)。在这种情况下,根据特征沿着图案的第二方向的期望间距PB来选择第二尺寸B(即色彩特征的每个对应图案具有沿着第二方向的相同间距)。在这种情况下第一方向平行于副扫描轴线44而第二方向平行于主扫描轴线42。
所示的公差预算考虑了在成像滤色器特征以使得它们与矩阵线21A对准而不彼此重叠时可以考虑的各种因素。例如,每个特征部分33A和34A被形成为使得它们与矩阵线21A重叠一定的量以实现滤色器的期望质量特性。在这种情况下,要求每个特征部分33A和34A与矩阵线21A重叠最小所需重叠(MRO)距离。距离MRO可取决于各种因素。一个可能的因素是用于成像特征部分33A和34A的成像系统的成像准确度。成像准确度可以受到与成像过程期间成像头(图7A中未示出)的定位相关联的机械可重复性、辐射束特性的变化以及形成的所得图像的边缘粗糙度的影响。另一可能的因素是矩阵线可重复性,其表示矩阵线21A相对于在其上已形成它的接受器元件18的位置变化。另一可能的因素包括各种附加问题(例如退火过程期间的特征缩减)所需的绝对最小所需重叠。距离MRO也可能取决于其他因素。相对于矩阵线21A的对应重叠边缘56示出了MRO边界线35。在这种情况下,MRO边界线35平行于边缘56。
图7A示出了每个特征部分33A和34A彼此分开最小间隙MG。预留最小间隙MG以防止特征部分33A和34A在它们的形成期间在矩阵线21A上彼此重叠。最小间隙MG通常由与每个特征部分33A和34A的成像相关联的成像可重复性来决定。成像可重复性可能取决于各种因素,其可包括成像系统的机械可重复性(例如介质和成像头定位系统的机械可重复性以及由热效应等产生的束漂移)。
图7A示出的公差预算也考虑了与建立像素70A的阶梯布置所需的“台阶大小”对应的扫描方向上的成像分辨率。像素的阶梯布置产生了台阶状边缘,其中每个台阶具有上升(即该上升与扫描方向对准),其是沿着扫描方向的成像分辨率的函数。如图7A所示,特征部分33A和34A的阶梯边缘被示出为彼此处于“嵌套”的关系中以建立等于MG要求的特征到特征间隙。
MRO边界线35(由小的虚线表示)定义每个特征部分33A和34A相对于每个矩阵线边缘56的最小所需重叠。如图7A所示,像素的阶梯布置造成各个位置处的各种重叠量。例如,参考特征部分34A,在位置57A处MRO要求基本都满足或超过。特征部分33A在位置57B处不完全与矩阵线21A重叠,从而导致形成非重叠区域36(为了清楚起见使其变暗)。这些非重叠区域在滤色器中可能造成视觉伪影。如图7A所示,矩阵线21的宽度WA不足以大得同时满足MG和MRO要求,并且从而导致不期望的非重叠区域36。处理非重叠区域36的可能选项是进一步增大矩阵线21A的线宽度,但是这与减小彩色显示器中的矩阵线宽度的工业期望是相反的。
图7B示出了与图7A的特征部分33A和34A以及矩阵线21A对应的各种特征图案的更大图示。在这种情况下,特征部分33A和34B是V形特征12D和14D的一部分。各种矩阵线边缘56相对于扫描方向倾斜了角度θ,其在这种情况下等于60度。图7B示出了布置成具有沿着第一方向的间距PC和沿着第二方向的间距PD的红色(R)特征12D的图案。要理解,绿色(G)特征14D和蓝色(B)特征部分16D也被布置成具有沿着第二方向的间距PD,其他特征包括相同的颜色(未示出)。在这种情况下,PC在大小上等于第一像素大小A的整数M倍,PD在大小上等于第二像素大小B的整数N倍。
图7B示出了不期望的非重叠区域36是如何通过形成每个特征12D、14D和16D的像素70A的各种布置被创建的。以各种阶梯布置来布置像素70A。在这种情况下,每个特征12D、14D和16D的边缘用若干像素图案71和像素图案72形成。每个像素图案71包括像素70A的阶梯布置,其像素边缘对于等于2*A的移动形成等于1*B的上升,而每个像素图案72包括像素70A的阶梯布置,其边缘对于等于1*A的移动形成等于1*B的上升。在这个示例中,“上升”指的是平行于主扫描轴线42的方向,而“移动”指的是平行于副扫描轴线44的方向。像素图案71和72在图7B的键(KEY)中被标识出。
为了适当地用对应的矩阵单元31A定位每个特征12D、14D和16D,像素大小A和B已经被选择为形成具有期望间距PC和PD的特征12D、14D和16D的对应图案的每一个,所述间距对应于各个矩阵单元31A的间距。像素图案71和72已被布置为使特征12D、14D和16D的边缘尽可能严密地对准到矩阵线21A的取向。也就是说,沿着试图匹配倾斜矩阵线的方向的方向布置像素图案71和72。然而,基于“匹配间距”选择的每个像素70A的大小已经导致不与矩阵线21A的各种所需倾斜取向精确匹配的对准。每个像素图案71和72的像素阶梯布置产生的台阶可以由各种间距角度来表征。例如,像素图案71中的像素被布置为生成间距角度α,并且图案72中的像素被布置为生成间距角度β。间距角度α和间距角度β都不等于所需的倾斜角度θ。
像素图案71和72已经被布置为试图尽可能严密地维持所需的最小重叠和最小间隙标准。如图7B所示,与特征部分33A和34A的边缘对应的像素图案在矩阵线21A上彼此嵌套以建立特征部分之间的不小于MG要求所限定的间隙的间隙。然而,由于像素图案71和72已经被布置成产生具有仅近似于矩阵线21A的对应的倾斜歪斜的歪斜的各个特征边缘,因此未完全维持最小所需重叠(MRO)标准。与矩阵线21A重叠的特征部分34A的阶梯边缘维持基本上等于或大于由对应的MRO边界线35限定的所需MRO值的重叠。然而,与矩阵线21A重叠的特征部分33A的阶梯边缘不完全维持基本上等于或大于由其对应的MRO边界线35限定的所需MRO值的重叠。具体而言,区域36示出了没有按照MRO值限定的最小要求被重叠的矩阵线21A的各个区域。在滤色器的情况下,不与周围的色彩特征适当重叠的矩阵线的部分可以导致减损显示器的质量的视觉伪影。
现在对于本领域技术人员显而易见的是,所示的未对准是由于用于形成各种像素图案的像素70A的大小。虽然像素70A的大小允许特征12D、14D和16D的图案被形成为具有它们的期望间距PC和PD,但是特征的边缘不能被形成为使得它们以等于θ的期望倾斜角度被定向。
图8示意性地示出了在本发明的示例实施例中使用的设备90。设备90在工作中用于在接受器元件18上形成图像。在本发明的该示例实施例中,通过操作成像头26以在接受器元件18上扫描时引导辐射束来在接受器元件18上形成图像。设备90包括托架92,其在工作中用于沿着与主扫描轴线42对准的路径运送接受器元件18。托架92可以往复的方式移动。在本发明的该示例实施例中,托架可以在正方向42A和反方向42B上移动。成像头26可移动地布置在支撑件93上,支撑件93横跨在托架92上。控制成像头26以沿着与副扫描轴线44对准的路径移动。在本发明的该示例实施例中,可以控制成像头26以沿着支撑件93移动。成像头26可沿着离开方向44A和回家方向44B移动。设备90通过双向扫描接受器元件18而形成图像。
在本发明的该示例实施例中,采用激光导致的热转移过程。成像头26被控制为用多个辐射束扫描介质以使得图像形成材料(未示出)从施主元件24转移到接受器元件18。成像电子器件(未示出)控制成像通道40以控制辐射束的发射。运动系统94(其可以包括一个或多个运动系统)包括任何合适的驱动器、传动构件和/或引导构件以导致托架92的运动。在本发明的该示例实施例中,运动系统94控制成像头26的运动并且控制托架92的运动。相关领域技术人员将认识到,也可以使用分别的运动系统来操作设备90内的不同系统。
可以包括一个或多个控制器的控制器60用于控制设备90的一个或多个系统,包括但不限于托架92和成像头26使用的运动系统94。控制器60还可以控制介质处理机构,介质处理机构可以启动接受器元件18和施主元件24的加载和/或卸载。控制器60也可以提供图像数据240到成像头26并且控制成像头26根据该数据发射辐射束。可以使用各种控制信号和/或通过实施各种方法来控制各种系统。控制器60可以被配置为执行适当的软件并且可以包括一个或多个数据处理器以及适当的硬件,作为非限制示例数据处理器包括:可访问存储器、逻辑电路、驱动器、放大器、A/D和D/A转换器、输入/输出端口等。控制器60可以包括但不限于微处理器、芯片上计算机、计算机的CPU或任何其他适当的微控制器。
图8示意性地示出了滤色器10的形成,滤色器10包括红色(R)色彩特征12E、绿色(G)色彩特征14E以及蓝色(B)色彩特征16E的图案,这些色彩特征按照本发明的示例实施例与矩阵20A对准地被形成。矩阵20A对应于图7B示出的相同矩阵。
图9示出了根据本发明的示例实施例的用于通过在沿着扫描方向扫描时控制成像头26发射辐射束以对特征的一个或多个图案成像的流程图。特征的该一个或多个图案的每一个包括包含相对于扫描方向倾斜的一个或多个边缘部分的特征。在该示例实施例中,特征12E、14E和16E(如图10A所示)的每个对应图案用像素70B的图案形成。期望所形成的色彩特征12E、14E和16E的间距基本上等于对应矩阵单元31A的间距。还期望每个色彩特征12E、14E和16E被形成为使得它们比图7B中的对应成像特征色彩特征12D、14D和16D更准确地与矩阵线21A对准。对图9流程图的以下描述参考图8示意性地示出的设备90,不过要理解的是,其他设备也适于与所示过程一起使用。
该过程开始于步骤300,其中确定要在接受器元件18上形成的多个像素70B的第一尺寸C。每个像素的大小被定为沿着跨扫描方向具有第一尺寸C以及沿着扫描方向具有第二尺寸D。在该示例实施例中,跨扫描方向基本上垂直于扫描方向。在该示例实施例中,跨扫描方向平行于副扫描轴线44。第一尺寸C对应于跨扫描方向上成像头26的分辨率。在本发明的该示例实施例中,第一尺寸C沿着像素的边缘。在本发明的其他示例实施例中,第一尺寸可以对应于像素的其他尺寸。
在步骤310,基于各种参数确定要形成的像素的第二尺寸D。在该示例实施例中,第二尺寸D对应于沿着扫描方向的成像头26的分辨率。在该示例实施例中,扫描方向平行于主扫描轴线42。在本发明的该示例实施例中,第二尺寸沿着像素的边缘。
在本发明的该示例实施例中,第一尺寸C和第二尺寸D被确定为使得色彩特征12E、14E和16E的每个图案被形成为沿着多个方向具有它们的所需的间距,非常类似于图7B中像素70A的大小被定为使得色彩特征12D、14D和16D的每个图案被形成为具有它们的期望间距。在该示例实施例中,像素70B的第一像素大小C和第二像素大小D在大小上等于图7B中所示的像素70A的对应的第一像素大小A和第二像素大小B。如图10A所示,要形成的特征的每个图案的间距PC等于第一尺寸C的整数M倍,并且要形成的特征的每个图案的间距PD等于第二尺寸D的整数N倍。在该示例实施例中,色彩特征12E、14E和16E的每个图案在成像头26的不同扫描期间形成。在该示例实施例中,色彩特征12E、14E和16E的每个图案被形成为具有相同的间距并且用相同大小的像素70B成像。在本发明的其他示例实施例中,用不同大小的像素成像不同的特征图案。在本发明的一些示例实施例中,不同图案特征沿着一个或多个方向可以具有不同的间距。
在步骤320,至少基于所需的倾斜角度为像素70B确定布置。每个色彩特征12E、14E和16E包括在各个方向上延伸的各个边缘。这些方向中的一些相对于期望的扫描方向将倾斜各种倾斜角度。在该示出的实施例中,期望每个色彩特征12E、14E和16E被形成为使得它们的边缘中的一些沿着相对于扫描方向倾斜期望的倾斜角度的方向延伸。在该示例实施例中,期望的倾斜角度等于θ,在这种情况下该角度表示矩阵线21A的取向。在本发明的该示例实施例中,要形成像素70B的扫描线并且至少基于期望的倾斜角度的量来确定像素70B的各个扫描线之间的偏移。特别地,在该示例实施例中,至少基于扫描线中像素70B的第一尺寸C和倾斜角度来确定像素70B的第一扫描线74A和像素70B的第二扫描线74B之间的偏移。在控制成像头26的成像通道40以便在沿着扫描路径扫描时选择性地发射辐射束时形成像素的扫描线。沿着扫描线形成一系列像素,每个像素由辐射束之一形成。控制不同的成像通道40来形成对应的像素扫描线。在本发明的该示例实施例中,通过用于形成扫描线的成像通道40的激活中的定时延迟来产生扫描线之间的偏移。给定成像通道40的激活相对于另一成像通道40的激活的延迟将导致通过给定成像通道40形成的像素的扫描线沿着扫描方向从通过另一个成像通道40形成的像素的扫描线发生偏移。如图10A所示,每个特征12E的各部分由扫描线74A和74B在扫描期间形成。特征14E和16E的各部分由其他扫描线在其他扫描期间形成。
图10A示出了包括用于形成色彩特征12E、14E和16E的确定的第一尺寸C和确定的第二尺寸D的像素70B的扫描线的示例。将像素70B沿着每个色彩特征12E、14E和16E的各个边缘部分布置在像素图案73中。同样,在该示例实施例中,在不同的扫描期间形成不同色彩的特征,并且因此通过不同的像素扫描线来形成不同色彩的特征。各个扫描线沿着共同的扫描方向延伸并且每个色彩特征12E、14E和16E的各个边缘沿着相对于扫描方向倾斜等于θ的倾斜角度的方向延伸。
采用成像通道定时延迟来将像素图案73形成为像素70B的阶梯布置。在本发明的该示例实施例中,阶梯图案73沿着相对于扫描方向倾斜期望的倾斜角度(在该情况下即θ)的方向重复。
图10B示出了像素70B的图案73的详细视图。特别地,图10B示出了特征部分33B和34B的详细视图。图10B示出了倾斜矩阵线21A与每个特征部分33B和34B之间的一致最小所需重叠(MRO)被维持。有利地,非重叠区域36不存在。图10B还示出了特征部分33B和34B在矩阵线21A上彼此分开距离S,该距离大于最小间隙MG要求,同时维持了最小重叠要求。
在本发明的该示例实施例中,像素70B的各个扫描线之间的偏移通过以下关系来确定:
(6)Offset=(T*X)/Tan(θ),其中
Offset是扫描线之间沿着扫描方向的偏移;
X是第一尺寸;
θ是与以扫描方向为基准的倾斜角度对应的角度;以及
T是大于或等于1的整数。
在该示例实施例中,θ表示矩阵线21A的取向,但不限于此,并且可以表示特征边缘的相对于扫描方向的其他期望的取向。
在本发明的该示例实施例中,T=1,θ=60度且X=C。第一扫描线和第二扫描线可以是邻近的扫描线。在该示例实施例中,在每个像素图案73的阶梯布置中产生台阶,使得每个台阶小于第二尺寸D。在一些示例实施例中,台阶可以大于第二尺寸D。如图10A中的键所示,通过每个像素图案73的阶梯布置产生的台阶可以通过等于倾斜角度(在该情况下即θ)的间距角度ω来表征。特征12E、14E和16E的每个图案因此被形成为具有它们的所需的间距并且与倾斜的特征边缘相关联的对准问题也被解决。图7A和7B中示出的非重叠区域36不存在,并且获得了具有改进的视觉质量的滤色器。另外,矩阵线21A的宽度不需要如在采用常规成像技术时所需的那样增加。
在本发明的该示例实施例中,控制成像以从被定向为沿着跨扫描方向延伸的色彩条带形成色彩特征12E、14E和16E的各种图案。色彩条带在其沿着跨扫描方向延伸的时候从一侧向另一侧弯曲。在本发明的该示例实施例中,特征12E、14E和16E的图案被定向为使得扫描线之间的偏移产生用于正确地形成每个图案中每个特征的多个边缘的像素图案73。成像通道定时延迟通常不导致给定扫描线的像素的局部变化,但是全局地移位像素的整个扫描线的位置。在一些情况下,虽然扫描线偏移可能造成特征的第一边缘部分被形成为具有期望的取向,但是这些相同的偏移可能造成第二边缘部分不被形成为具有期望的取向。当第一和第二边缘部分相对于扫描方向具有不同的取向时发生该效应。
在该示例实施例中,特征12E、14E和16E的图案的取向被选择为使得每个特征12E、14E和16E具有对称轴线500,该对称轴线基本平行于扫描方向。在该示例实施例中,每个特征12E、14E和16E被定向为使得每个特征具有至少两个边缘部分,该至少两个边缘部分相对于扫描方向倾斜并且彼此平行和偏移。在该示例实施例中,平行边缘部分沿着扫描方向彼此偏移。每个特征12E、14E和16E被定向为使得这些平行边缘部分与像素70B的多个相关联扫描线相交,所述扫描线沿着扫描方向彼此偏移。例如,扫描线74A和74B是与特征12E的平行且沿着扫描方向彼此偏移的各个边缘部分相交的偏移扫描线。在该示出的实施例中,偏移扫描线74A和74B与这些平行且偏移的边缘部分相交而不与特征12E的可以沿着其他方向延伸的其他边缘部分相交,所述其他方向与相交的边缘部分延伸的方向不同。相应地,像素70B的各个扫描线的每一个之间确定的偏移允许平行的边缘部分中的每个被形成为具有它们的期望取向。多个特征12E被形成为具有其中每个特征12E的各个边缘相对于扫描方向倾斜相同的倾斜角度的取向。附加地且有利地,由于像素70B包括基于“间距”确定的第一和第二尺寸,特征12E的每个图案可被形成为沿着第一和第二方向具有它们的期望的间距。这对于特征14E和16E的图案同样成立。
在步骤330,通过在接受器元件18上扫描时控制成像头26的成像通道40发射辐射束来形成特征12E、14E和16E的每个图案。像素70B的扫描线被形成为具有允许特征的每个图案被形成为具有它们的需要的间距的大小。例如可以根据这里教导的技术来确定每个像素70B的大小。根据每个特征12E、14E和16E的各个边缘部分的倾斜而使像素70B的各个扫描线从其他扫描线偏移。
图7C示出了图7B示出的特征12D、14D和16D的图案的变型例成像。图7C试图通过使用比图7B中所用的像素更小的像素来改进成像特征12D、14D和16D之间的对准。类似于图7B,用沿着跨扫描方向具有第一尺寸A的像素70C形成每个特征,根据特征沿着第一方向的间距而确定第一尺寸A的大小。像素70C还具有沿着扫描方向的第二尺寸E,根据沿着第二方向的特征间距来确定第二尺寸E。然而,在这种情况下,第二尺寸E对应于高分辨率(即更小的像素大小)。特征沿着第二方向的间距同样等于像素大小E的整数Q倍。
沿着扫描方向的较高分辨率创建了基本上满足最小重叠(MRO)要求的像素70C的布置。图7C相应地示出了不存在图7B示出的不期望的非重叠区域。然而,如图7C所示,与给定矩阵线21A重叠的邻近特征仍然以等于最小间隙(MG)要求的间隔而彼此分开。图7C表明即使在利用更高的成像分辨率的情况下依然没有提供使用更细的矩阵线的机会。
图10A和10B示出了每个特征12E、14E和16E之间沿着扫描方向的距离S大于图7B中示出的最小间隙间隔MG。有利地,与根据所需的特征间距确定了大小的像素70C相结合的扫描线偏移可以提供减小邻近的特征之间的间隔的机会,并且从而适应在显示器工业中所期望的更细的矩阵线宽度。图10C示出了根据本发明的示例实施例形成的特征12F、14F和16F,使得邻近的特征之间的间隔S等于最小间隙MG,从而允许在滤色器中使用更细的矩阵线21B(即矩阵线21B具有比矩阵线21A的宽度WA更细的宽度WB)。每个特征12F、14F和16F由像素70D的图案形成。每个像素70D具有等于C的沿着跨扫描方向的第一尺寸。在该实施例中像素的第一尺寸等同于图10A示出的像素70B的第一尺寸,因为这两个第一尺寸都是基于沿着第一方向的相同特征间距确定的。每个像素70D具有等于F的沿着扫描方向的第二尺寸。基于特征12F、14F和16F的每个相应图案的期望间距PE来确定第二尺寸F。由于间距PE不同于图10A示出的示例实施例的间距PD(即由于更细的矩阵线21B这些特征沿着第二方向间隔得更紧密),所以第二尺寸F不同于第二尺寸D。在该示例实施例中,间距PE等于第二尺寸F的整数R倍。如在本发明的其他类似示例实施例中,基于每个特征12F、14F和16F的各个边缘的期望倾斜角度以及第一尺寸C来形成像素70D的扫描线之间的偏移。如图10C的键中所示,确定的偏移产生具有等于期望的倾斜角度(在该情况下即θ)的间距角度α的像素图案75。确定扫描线之间的偏移以维持期望的最小重叠MRO要求和基本上等于最小间隙MG要求的间隙大小S,从而允许减小的矩阵线宽度。另外,不期望的非重叠区域不存在。
图10C示出了更细的矩阵线宽度可以有利地供本发明的示例实施例使用。还明显的是,根据本发明的示例实施例的基于特征图案的各个间距确定像素的大小以及偏移像素的扫描线可以提供色彩特征和滤色器矩阵之间的更好对准。这两个效应都导致具有更高视觉质量的滤色器。根据本发明的示例实施例,像素70D附加地且有利地包括比图7C所示的不偏移的较高分辨率像素70C更大的大小。更粗糙的分辨率可以用于提高成像生产率。例如,图像像素沿着扫描方向的大小可以取决于扫描速度和成像通道切换频率(即定义辐射斑在介质上扫描的时间量的频率)。该切换频率通常具有实际的上限并且在这些极限处像素沿着扫描方向的大小将由扫描速度限定。因此,在这些极限处,更高的分辨率(即沿着扫描方向的更小的像素大小)可以要求更慢的扫描速度,因为在允许辐射斑在介质上扫描的时间期间需要更小的扫描距离以形成沿着扫描方向的更小的像素大小。更低的分辨率(即沿着扫描方向的更大的像素大小)有利地允许更快的扫描速度,因为在辐射斑在介质上扫描的时间期间需要更大的扫描距离以形成沿着扫描方向的更大的像素大小。成像头26可以包括多通道成像头,其具有可单独寻址的各成像通道,每个通道能够生成用于形成图像像素的辐射束。成像头26可以包括成像通道40的各种布置,包括成像通道40的一维或二维阵列。可以使用任何适当的机构来产生辐射束。辐射束可以任何适当的方式布置。
本发明的一些实施例采用红外激光器。本发明人已经使用采用在波长830nm处总功率输出大约为50W的150μm发射器的红外二极管激光器阵列用于激光导致的热转移过程。包括可见光激光器的可选激光器也可以用于实现本发明。对所用的激光源的选择可以根据要成像的介质的性质。
已经就激光导致的热转移过程描述了本发明的各种示例实施例,在所述激光导致的热转移过程中图像形成材料被转移到接受器元件。可以采用本发明的其他示例实施例用于其他成像方法和介质。在不脱离本发明的范围的情况下图像可以通过不同的方法形成在介质上。例如,介质可以包括图像可修改表面,其中可修改表面的性质或特性在被辐射束照射时发生改变以形成图像。辐射束可用来烧蚀介质表面以形成图像。本领域技术人员将认识到可以容易地采用不同的成像方法。
程序产品97可以由控制器60用来执行设备90所需的各种功能。在本发明的一个示例实施例中,一个这样的功能可以包括根据要形成的特征图案的沿第一方向的期望间距来设置沿着跨扫描方向的第一像素大小。另一这样的功能可以包括根据要形成的特征图案的沿第二方向的期望间距来设置沿着扫描方向的第二像素大小,其中第二方向与第一方向相交。又一这样的功能可以包括基于要成像的特征边缘的期望倾斜角度和第一尺寸沿着扫描方向使像素的扫描线彼此偏移。程序产品97可以用于将控制器60配置为确定要在介质上形成的多个像素的至少一个大小,使得每个像素具有沿着跨扫描方向的第一尺寸和沿着扫描方向的第二尺寸。第二尺寸可以不同于第一尺寸。第一尺寸、第二尺寸和各个扫描线之间的偏移量可以根据程序产品97的程序指令来确定。在可选方案中,或附加地,控制器60可以允许在通过适当的用户接口与控制器60通信的操作员的引导下人工地指定或调整像素大小和扫描线偏移。可以基于输入到控制器60或编程到程序产品97内的适当的算法和/或数据来进行像素大小和扫描线偏移的确定。像素大小和扫描线偏移参数可以在成像之前确定或可以随着成像的进行而“实时(on the fly)”地确定。
不作为限制,程序产品97可以包括承载计算机可读信号集合的任何介质,所述信号包括指令,该指令在由计算机处理器执行时使计算机处理器执行如本文所述的方法。程序产品97的形式可以是各种各样。程序产品97可以包括例如物理介质,诸如包括软盘、硬盘驱动器的磁存储介质、包括CD ROM、DVD的光学数据存储介质、包括ROM、闪速RAM的电子数据存储介质等。这些指令在介质上可选地可以被压缩和/或加密。
已经就显示器中的色彩特征的图案而言描述了特征图案。在本发明的一些示例实施例中,特征可以是LCD显示器的一部分。在本发明的其他示例实施例中,特征可以是有机发光二极管(OLED)显示器的一部分。OLED显示器可以包括不同的配置。例如,以类似于LCD显示器的方式,不同的色彩特征可以被形成到与白色OLED源结合使用的滤色器中。可选地,显示器中的不同颜色照明源可以利用本发明的各个实施例由不同的OLED材料形成。在这些实施例中,基于OLED的照明源本身控制有色光的发射而不必需要无源滤色器。OLED材料可以用激光导致的热转移技术而被转移到接受器元件。
已经就对v形特征成像而言描述了本发明的各个示例实施例。然而本发明不限于对V形特征进行成像,而是可以用于对各种特征成像,所述各种特征包括具有相对于期望的扫描方向倾斜的边缘的其他形状。本发明也可以用于对岛状特征成像。
虽然使用显示器和电子设备制造中的应用作为示例描述了本发明,但是本文描述的方法可直接应用于其他应用,包括那些用于芯片上实验室(LOC)制造的生物医疗成像中所使用的应用。LOC设备可以包括各种特征图案。本发明可以应用于其他技术,诸如医疗、打印和电子制造技术。
要理解的是,示例性实施例仅举例说明本发明并且上述实施例的许多变型可以由本领域技术人员在不脱离本发明范围的情况下设计出来。
Claims (37)
1.一种用于利用由成像头发射的辐射束在沿着扫描方向在介质上扫描的同时在所述介质上形成特征的图案的图像的方法,其中图案中的特征沿第一方向和与第一方向相交的第二方向规则地布置,并且所述图案包括具有沿着相对于扫描方向倾斜一定倾斜角度的方向延伸的第一边缘部分的特征,该方法包括:
确定特征沿着第一方向的间距;
至少基于特征沿着第一方向的间距确定要形成在介质上的第一像素的第一尺寸,其中第一尺寸沿着与扫描方向相交的方向;
确定特征沿着第二方向的间距;
至少基于特征沿着第二方向的间距确定要在介质上形成的第二像素的第二尺寸;其中第二尺寸沿着扫描方向;
确定要在介质上形成的像素的第二扫描线与要在介质上形成的像素的第一扫描线之间沿着扫描方向的偏移,该偏移至少基于所述倾斜角度和第一尺寸而确定;
在沿着扫描方向扫描时控制成像头发射辐射束以在介质上形成图像;
在介质上扫描时控制成像头以形成包括确定的第一尺寸的第一像素和包括确定的第二尺寸的第二像素;以及
在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第一扫描线和像素的第二扫描线,其中像素的第二扫描线从像素的第一扫描线偏移所确定的偏移。
2.权利要求1的方法,其中特征沿着第一方向的间距等于第一尺寸的整数倍。
3.权利要求2的方法,其中特征沿着第二方向的间距等于第二尺寸的整数倍。
4.权利要求1的方法,其中像素的第一扫描线包括第一像素并且像素的第二扫描线包括第二像素。
5.权利要求1的方法,其中像素的第一扫描线和像素的第二扫描线中的每一个包括相同大小的像素。
6.权利要求1的方法,其中像素的第一扫描线从像素的第二扫描线沿着扫描方向偏移的量小于第二尺寸。
7.权利要求1的方法,其中像素的第一扫描线从像素的第二扫描线沿着扫描方向偏移的量大于第二尺寸。
8.权利要求1的方法,包括至少基于以下关系来确定沿着扫描方向的偏移:
Offset=(T*X)/Tan(θ),其中:
Offset是沿着扫描方向的偏移;
X是第一尺寸;
T是大于或等于1的整数;并且
θ是对应于所述倾斜角度的角度。
9.权利要求1的方法,其中所述特征包括沿着与第一边缘部分延伸的方向平行的方向延伸的第二边缘部分。
10.权利要求9的方法,其中第二边缘部分和第一边缘部分彼此偏移。
11.权利要求9的方法,其中第二边缘部分和第一边缘部分沿着扫描方向彼此偏移。
12.权利要求1的方法,其中图案中的每个特征包括沿着与第一边缘部分延伸的方向平行的方向延伸的边缘部分,并且其中每个边缘部分沿着扫描方向被规则地布置。
13.权利要求1的方法,其中图案中的每个特征包括一组边缘部分,其中每个组中的每个边缘部分沿着与第一边缘部分延伸的方向平行的方向延伸,并且每个组中的每个边缘部分沿着扫描方向从该组中的其他边缘部分偏移。
14.权利要求1的方法,其中特征沿着第一方向以及沿着第二方向重复。
15.权利要求1的方法,其中特征包括v形形状。
16.权利要求1的方法,其中特征包括具有沿着与扫描方向平行的方向延伸的对称轴线的形状。
17.权利要求16的方法,其中特征包括V形形状。
18.权利要求1的方法,其中第二方向平行于扫描方向。
19.权利要求1的方法,包括通过延迟对成像头的成像通道的激活来将第二扫描线从第一扫描线偏移所确定的偏移。
20.权利要求1的方法,包括控制发射辐射束的持续时间以在介质上形成沿着扫描方向具有等于第二尺寸的大小的像素。
21.权利要求1的方法,包括控制成像头发射辐射束以在介质上形成辐射斑,所述方法包括控制辐射斑在介质上扫描的持续时间以在介质上形成沿着扫描方向具有等于第二尺寸的大小的像素。
22.权利要求1的方法,其中成像头包括光阀,该方法包括改变光阀的通道被打开和关闭期间的时间长度以形成沿着扫描方向具有等于第二尺寸的大小的像素。
23.权利要求1的方法,包括控制成像头发射辐射束以在介质上形成辐射斑,所述方法包括将辐射斑定位成围绕和辐射束在其上扫描的介质表面相交的轴线成一定角度从而在介质上形成跨扫描大小等于第一尺寸的像素。
24.权利要求1的方法,包括旋转成像头以在介质上形成跨扫描大小等于第一尺寸的像素。
25.权利要求1的方法,包括控制成像头发射辐射束以在介质上形成辐射斑,所述方法包括放大或缩小辐射斑以在介质上形成跨扫描大小等于第一尺寸的像素。
26.权利要求1的方法,其中成像头可控制用以与沿着与扫描方向相交的方向的像素大小不同地调整沿着扫描方向的像素大小。
27.权利要求1的方法,包括用热转移过程在介质上形成图像。
28.权利要求1的方法,其中图案包括多个不同色彩的特征并且每个色彩的特征被分别成像。
29.权利要求1的方法,其中图案包括滤色器特征的图案。
30.权利要求1的方法,其中第二尺寸对应于第二像素的边缘的尺寸且第一尺寸对应于第一像素的边缘的尺寸。
31.一种用于利用成像头发射的辐射束在介质上沿着扫描方向扫描的同时在介质上形成图像的方法,其中该图像包括多个特征,该方法包括:
控制成像头发射辐射束以在介质上形成具有一定取向的所述多个特征,其中每个特征的多个边缘相对于扫描方向倾斜一定的倾斜角度,并且所述多个边缘中的每一个彼此平行并且沿着扫描方向彼此偏移;
在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第一扫描线;以及
在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第二扫描线,其中第二扫描线从第一扫描线沿着扫描方向偏移至少基于所述倾斜角而确定的偏移距离,并且像素的第一扫描线和像素的第二扫描线中的每一个与每个特征的所述多个边缘的每一个相交而不与每个特征的其他边缘相交。
32.权利要求31的方法,其中所述多个特征包括所述特征的图案,并且每个特征沿着扫描方向以及沿着与扫描方向相交的方向被规则地布置。
33.权利要求32的方法,其中每个特征沿着扫描方向以及沿着与扫描方向相交的方向重复。
34.权利要求31的方法,其中像素的第一扫描线中的像素包括沿着跨扫描方向的第一尺寸,所述方法还包括至少基于第一尺寸确定所述偏移距离。
35.权利要求34的方法,其中所述多个特征包括所述特征的图案,并且每个特征沿着跨扫描方向被规则地布置,并且其中特征沿着跨扫描方向的间距等于第一尺寸的整数倍。
36.权利要求31的方法,其中像素的第一扫描线和像素的第二扫描线彼此邻近。
37.权利要求31的方法,其中每个特征的其他边缘沿着与所述多个边缘中的每个边缘延伸的方向不同的方向延伸。
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