TWI427440B - 用於校正影像化規則圖案的條帶之方法與裝置 - Google Patents

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Description

用於校正影像化規則圖案的條帶之方法與裝置 <相關申請案>
本案要請求2005年4月6日申請之No.60/668799美國專利申請案的優先權，其內容併此附送。在美國本申請係依35 U.S.C.§119之規定請求No.60/668799美國專利申請案的權益。
發明領域
本發明係有關顯像系統，以及用來評估和校正由規則圖案之顯像所造成之紋帶的方法。
 發明背景
一般用以製造顯示器和半導體電子裝置的技術會包含一些顯像步驟。通常，在各步驟中，一塗覆有光阻或其它敏感性材料的基材會透過一光罩工具來曝照輻射而造成某些變化。每一步驟皆會有些失敗的風險。在各步驟中之失敗的可能性將會減低整個製程的良率，而提高最終產品的成本。
有一實例即為平板顯示器譬如液晶顯示器之彩色濾光片的製造。彩色濾光片的製造乃是一非常昂貴的製程，因為其材料成本很高且製造良率很低。傳統的光微影法會包括以一塗敷技術例如旋塗、開隙及旋轉或不轉塗敷法等，來將阻色材料佈設於一基材上。該材料嗣會透過一光罩來曝光並被顯像。
直接顯像法曾被推薦用來製造顯示器，且尤其是彩色濾光片。一濾色基材，亦被稱為色彩接收元件，會被疊覆一色彩施體元件。該色彩施體元件會被影像式地加熱，以選擇性地將一色彩由該施體元件移轉至該接收元件。影像式地加熱典型是利用一雷射束來完成。而二極體雷射將會特別適用，因其較容易調制，且低成本又小尺寸。
“色彩移轉”程序係為一種特定的“熱移轉”方法。其它的熱移轉方法包括：雷射熔化移轉法，雷射熔銷移轉法，及雷射質量移轉法。所謂“熱移轉法”並不限於影像取向的色彩移轉。在此所述之該熱移轉法亦包括塗有顏料或其它色料成分之施體的影像式移轉。
直接顯像系統典型會使用數百個平行且被個別調制的光束以減少成像所須的時間。具有大量該等“通道”的顯像頭很容易取得。例如，一種由加拿大British Columbia之Kodak Graphic Communications Canada Company所生產的SQUAREspotR 熱顯像頭會具有960個獨立的顯像通道，而各通道具有超過25mW的功率。該顯像通道陣列可被控制以使一影像能呈一系列的行段(swath)來被寫入，該各行段會互相緊靠而形成一連續影像。
該多通道顯像系統會有一問題即是其極難以確保所有的通道皆具有相同的顯像特性。該等通道中之不同的顯像特性可能係由該等通道投射在顯像媒體上的輸出輻射量差異造成。而由該顯像通道陣列所發射之輸出輻射量的差異，可能是起源於各通道間的功率差異、射束尺寸、射束 形狀及/或焦點不同所致。這些差異將會形成一常見的投影假像，習稱為“紋帶”(banding)。該紋帶通常特別易於二連續影像行段之間的區域處。此主要乃因在前一顯像行段的末端與下一顯像行段的開頭通常是以在一多通道列陣之二相反端的通道來寫入者。因此，該等通道會較容易有不同的顯像特性。由一通道至另一通道逐漸增加的光點尺寸在該行段本身內可能會被或不能被看出，但當一行段緊靠另一行段時，在該行段邊界之光點尺寸的不連續性將會在該影像中造成一顯著的假像。紋帶可能是連續行段之任何重疊或分離，以及在各行段內之通道差異所造成的結果。
欲減少該紋帶乃須要精確的行段定位，但僅此尚不能完全地消除紋帶。因此，任何程度的殘留紋帶皆必須藉調整該行段本身內的通道而來減少或遮蔽。此乃須要小心地排列並校準該陣列中的各通道。人們可能會企圖在該顯像陣列中的所有通道構建均一的功率分佈，俾使原生的通道差異最小化。但是，由於先前所述之其它的相關因素(例如射束尺寸寸、射束形狀和焦點等)，故該陣列之所有顯像通道的功率均一性並不能保證一定會減少紋帶。
該紋帶並非僅歸因於顯像系統。顯像媒體亦可能造成紋帶。故各種測定紋帶的方法皆包含檢查該顯像媒體的特性。
當一熱移轉法被用來製造彩色濾光片時將會產生一些問題。有些普通的彩色濾光片會具有間隔分開的彩色元素線之重複圖案。該每一條線皆會對應於三種顏色中之一 種。該各線的寬度典型皆會小於顯像頭所顯像的行段。因此，將會造成在行段內的紋帶，其中不同的色彩移轉效率將會在不同彩色元素線之間，以及在個別的線之內來造成變異。因該等線會形成一重複圖案，故一肉眼容易感覺到的可見跳動將會產生，而致減低該彩色濾光片的品質。
某些習知的多通道顯像系統曾使用校正方法，企圖令該陣列中之全部顯像通道所發出的輸出輻射皆成一致，或者欲使由該陣列中全部的顯像通道所造成之影像中，歷經一行段的整個寬度皆能有一致的光學特性。本案發明人等已得知該等校正方法通常並不十分適用來顯像有行段間紋帶存在之形貌體的重複圖案，因為該各形貌體的寬度會比顯像行段的寬度更小。
在顯像領域中的專利及申請案包括：US 4965242 De Boer等人；US 4804975 Yip；US 6146792 Blanchard-Fincher等人；EP 434449 Sprague等人；US 6832552 Patten等人；US 5546165 Rushing等人；US 6618158 Brown等人；及US 5278578 Back等人。
但仍有需要一些能夠減少行段間及行段內之紋帶之可見性的方法(尤其是在規則圖案的顯像時)例如彩色濾光片 所需要者。
 發明概要
本發明之一態樣係在提供用以校正多通道顯像頭的方法和裝置。在本發明之一實施例的方法中，一多通道顯像頭係被用來顯像形貌體的規則圖案，其中有一或多數的行段會被該顯像頭所顯像。該等形貌體的規則圖案會至係沿一次掃描方向重複，並包含至少一第一形貌體會被該多顯像通道的第一部份所顯像，及一第二形貌體會被該多顯像通道的第二部份所顯像。該第一和第二形貌體皆會被顯像在一或多數行段中之同一行段內。一掃描器會判斷該各第一和第二形貌體的光學特性。一影像資料處理器會分析所掃描的資料，並至少部份依據該光學特性來提供修正指令。該等修正指令會被用來調整該等顯像通道的第一和第二部份之至少一者內的至少一顯像通道，而使該第一形貌體與該至少一第二形貌體各所賦具的光學特性，在該等形貌體之規則圖案被後續顯像時將會形成實質相同。
圖式簡單說明
本發明的非限制性實施例將會參照所附圖式來說明於後；其中：第1A圖為一習知彩色濾光片結構的部份平面圖；第1B圖為另一習知彩色濾光片結構的部份平面圖；第2圖為一習知多通道顯像頭之光學系統的立體圖；第3圖為相對一顯像基材來示出的光閥示意圖，並示出 一習知的顯像方法；第4圖為本發明一實施例之顯像及校正系統的方塊示意圖；第5圖為一流程圖示出本發明一實施例之顯像及校正方法的順序；第6圖示出一掃描的彩色濾光片之一部份；第7圖示出一分開的掃描資料對應於第6圖之彩色濾光片的紅色形貌體；第8圖為一影像之第m條次掃描線空間能譜；第9A圖為有關於掃描線之所需移位的圖表；第9B圖為第9A圖的圖表之一部份詳圖；第10A圖為移位之前的掃描信號電平相對於第一和第M次掃描線的次掃描像元指標之圖表；第10B圖為移位之後已移變的掃描信號電平相對於第一和第M次掃描線的次掃描像元指標之圖表；第11圖為一主掃描平均線廓形的圖表；第12圖為第11圖的圖表中之一放大部份；及第13圖為在一顯像行段中之標記元素的平均反應與形貌體指標的函數關係圖。
 較佳實施例之詳細說明
一種方法和裝置可用來顯像由重複之形貌體例如條帶或格塊等所組成的圖案，而具有多通道顯像器能調整個別的通道減少紋帶。該等方法和裝置可被用來例如製造彩色 濾光片。該等通道會被依據顯像圖案的光學特性來調整。
LCD顯示面板的彩色濾光片會具有許多彩色元素，它們得以多種結構中的任一種來被排列。條帶結構具有紅、綠、藍色的交替行列。鑲嵌結構具有沿二方向交替輪設的彩色元素。三角形結構具有許多紅、綠、藍濾色元素排列成三角形圖案。
第1A圖示出一條帶結構之彩色濾光片10的一部份。該彩色濾光片10含有多數紅、綠、藍色的元素12、14、16等設在一基材18上之各交替直列中。各彩色元素12、14、16會被一黑色基質層20的部份所框圍，其會分離該各元素並防止任何背光洩露於該等元素之間。該各直列會被一起顯像成細長條帶，且嗣會被黑色基質20次分成個別的彩色元素12、14、16等。黑色基質20乃包括罩蔽驅動電晶體(未示出)的區域22。
第1B圖示出一具有鑲嵌結構的彩色濾光片24。在該二濾光片10與24之間的唯一差別是各彩色元素12、14、16的佈局，其顏色會沿該濾光片24中的各直列由上到下且由左至右地輪替更換。但彩色濾光片並不限於紅、綠和藍色。彩色濾光片亦可具有其它顏色的組合。
通常，當在製造彩色濾光片10時，各彩色元素12、14、16可以部份或完全地重疊該黑色基質20包圍各彩色元素的個別部份。其能與該黑色基質重疊將會大大減少定位的問題，此係在若欲將各彩色元素精確地顯像在該黑色基質20框圍該彩色元素的部份之邊界內時可能會遇到的。
假使一熱移轉法被用來製造彩色元素，則邊緣斷續(不連續)及各種瑕疵例如針孔等，將可能於對應的色彩施體在顯像後被移除時會發生。該等瑕疵典型會在如下情況時來發生，即當已在邊緣處被移轉的施體材料缺乏足以保持附著在接收元件上的黏附剝除強度而使該色彩施體剝離時。重疊該黑色基質20具有能夠掩蔽該等邊緣斷續的附加優點，並能協助減少該等彩色元素本身內部產生透明區域和空隙的機率，而來確保各彩色元素之間的所需對比。
在本發明之一實施例中，一彩色濾光片會以一雷射熱移轉法來製造。此方法包括直接頭顯像一緊密接觸一接收基材的色彩施體元素。該接收基材典型具有一黑色基質設於其上。雖該黑色基質本身亦可藉一熱移轉法來製造，但其典型會以光微影技術來製成，因後者能提供所需的精確性並能避免該黑色基質內的任何邊緣瑕疵和斷續。該色料會被使用一多通道而依據光值的顯像系統來影像式地移轉至該基材上。
該濾光片的紅、綠、藍部份會在個別的步驟中被顯像。各顯像步驟包括以下個要被顯像的色彩施體來更換前一個色彩施體。該濾光片的每一個紅、綠、藍部份皆會移轉至該接收基材，而使各色彩部份對準於該黑色彩基質框圍該各彩色元素的部份。在所有的彩色元素皆已移轉至該材基後，該彩色濾光片典型會進行一附加的退火步驟來硬化該等被移轉的彩色濾光元件。
第2圖示出一習知技術的光閥式顯像頭。一線狀光閥陣 列100含有多數可變形的鏡元件101而被製設在一矽基材102上。一雷射104會使用一包含筒狀透鏡108和110的漸變射束擴張器來產生一照明線106。Gelbart的No.5517359美國專利曾揭一種用以形成一照明線的方法。照明線106會橫向地擴展遍佈該各鏡元件101，因此該各元件101皆會被照明線106的一部份所照射。
一透鏡112會使該雷射光由各鏡元件101聚焦穿過一擋片116中的孔隙114。當某任一特定元件101不被作動時，該孔隙114即會透射來自該元件的光。而來自被作動之鏡元件的光將會被該擋片116所阻擋。有一透鏡118會顯像該光閥100來形成一顯像行段120。該顯像行段100包含多數個別的影像式調制射束，其可被照在一基材的表面上來形成一影像。
當要顯像硬質基材(如同一般用來製造顯示面板者)時，所使用的顯像器通常係為一平床顯像器，其能將一接收基材固定於一水平定向。該接收基材，或顯像射束陣列，或該兩者的組合物，會被移位來顯像該等行段。Gelbart的No.6957773美國專利曾揭述一種適用於顯示面板顯像的高速平床顯像器之例。或者，撓性基材亦可被固定於一鼓筒顯像器的外表面或內表面上來進行該等行段的顯像。即使是一傳統上被認為硬質的基材，例如玻璃，若其係充分地薄且該鼓筒的直徑夠大，則亦可在一鼓筒顯像器上來顯像。
一種彩色濾光片之直接顯像的習知方法係被概示於第3圖中。一濾色基材18的一部份已在一熱移轉製程中被圖案 化而具有許多紅色條帶30~36等。該各紅色條帶的寬度不僅須要如同彩色元素可見寬度，且亦可具有足夠的寬度來部份地重疊黑色基質的垂伸段(未示出)，它們會將各紅色元素囿限在各條帶內。一光閥100(例如設在一多通道顯像頭中者)具有許多可個別定址的顯像通道40等，並被設在一第一位置38。第3圖中以點線41示出該等顯像通道40與移轉圖案之間的對應情況。雖該光閥100在第3圖中係被以如同該顯像圖案的尺度來示出，但第3圖僅為概略示意。第3圖示出該等顯像通道40和被寫入圖案30~36之間的對應狀態，但不一定是為實體關係。在實務上，如第2圖所示，該光閥100可被以一透鏡118來顯像於該基材上，該透鏡能在該基材的平面上重現該顯像行段的大小和形狀。
由光閥100所產生的射束會沿一主掃描方向42來照射在該基材上，同時並會被依據所要寫入的圖案來被影像取向地調制。某些通道次組例如48會被適當地驅動俾在其需要形成一形貌體之處造成一或多數顯像射束，而其它未對應於該圖案的通道將會被切閉。假使所有的通道40全部被驅動來造成對應像元，則該光閥100將會造成一顯像行段，其具有一寬度係相當於該陣列中之第一通道所顯像的第一像元與最後通道所顯像的最末像元之間的距離。
由於接收基材18通常會太大而不能在單一行段內來被顯像，故將會需要多數行段來完成該顯像。於此情況下，在各行段被顯像之後，光閥100將會沿次掃描方向44來平移，因此一後續的顯像行段將會對齊於前一顯像行段的側 邊。如第3圖所示，光閥100沿次掃描方向44的移動會在各行段沿主掃描方向42的顯像完成之後才會發生。或者，接收基材18亦可沿主掃描方向相對於光閥100來移動。或者，該光閥亦可沿次掃描方向與主掃描方向同步地被移動，而來補償由該顯像系統所造成之主掃描方向與該影像相對於接收基材之所需位置之間的可能偏差。或者，對鼓筒式掃描器而言，其在顯像時乃可沿主掃描及次掃描方向來同時地掃描，而呈螺旋狀地寫入該影像。
有數種方法可用來將前一顯像行段對齊於一後續顯像行段。該等方法包括以一或數個通道寬度來重疊前後的顯像行段作為第一步驟以對抗行段邊緣效應。或者，該後續顯像行段的第一顯像通道得以一距離來相隔於前一顯像行段的最末顯像通道，而該距離係相當於光閥上之相鄰通道的間距。或者，針對某些顯像圖案，該後續顯像行段第一顯像通道亦得以一不同於光閥上之相鄰通道間隔的距離來與前一行段的最末顯像通道相隔離。
請參閱第3圖，紅色條帶30、32及條帶34的一部份34’，會在當射束顯像一第一行段，而將該等顯像射束相對於基材18沿主掃描方向42移動時來被寫入。當完成第一行段時，該光閥100會沿次掃描方向44由第一位置38被移至一新位置38’，如虛線所示。該次掃描位移乃對應於光閥100上可用的通道數目(在本例為35個通道)。在該次掃描移動後，該光閥100會在位置38’處，並使其第一通道46相鄰於其最末通道45的先前位置。該光閥100的射束嗣可顯像另一行 段，其會包括條帶34的一部份34”。其很難避免一可見的斷續外觀(如一線47所示)出現在條帶34之二部份34’與34”間的邊界處。即使是該等顯像通道的輸出功率只有很小的功率變化(例1%左右)，亦會由於改變被移轉的色彩量，或因在所移轉材料中含有小空隙或氣泡，而影響所移轉色彩的光密度。在相鄰的影像行段之間的可見斷續處即為“行段間”紋帶之一例。
當一規則圖案例如一彩色濾光片被以熱移轉法來製造時，該行段間紋帶將會更嚴重。所移轉色彩中的密度變異將會發生在顯像行段的外緣處，因為相對於該行段的中央區域，當顯像時典型會有較少的熱沈積在該行段邊緣附近區域處。通常，較少的色料會被移轉在接受較少熱的區域，而較多的色料則會被移轉在接受較多熱的區域中。其它可歸因於熱移轉法和媒體的現象(即無關熱能移轉量的因素)亦會造成各行段內的光密度變異。密度變異亦可在某些情況下被查覺，其中該行段緊靠前一顯像區域之邊緣處的展現會與該行段緊靠非顯像區的邊緣不同。
當有一第二色彩施體重疊在該接收基材上已被前一顯像彩色施體所顯像的圖案上時，亦會產生熱移轉的變異。此情況將會造成該第二色彩施體與接收基材之間隔的改變，而致影響移轉的程度。用來熱移轉製造彩色濾光片的典型色彩施體會有有限的顯像範圍，故被視為具有非線性的顯像性質。且，亦可能有非局部效應，其中在該顯像行段內之一指定形貌體的存在與否，將會影響該行段內之其 它形貌體的寬度。
紋帶亦可能會因在個別行段內之色彩移轉的變異而發生。色彩移轉的均一性在一顯像行段內可能會不一致，即使用來顯像該行段的通道陣列已先被校正來造成一行段，其在當所有通道導通時該行段的整體寬度皆含有均一的光學性質(例如光密度)。
請參閱第3圖，最外條帶30會被通道次組47顯像，而在內條帶32係被通道次組49所顯像。由該色彩施體移轉至接收基材18的色彩均一性在一指定的顯像行段內可能全由於顯像一指定條帶所造成的溫度變異，或可歸因於熱移轉法之非線性顯像特性的其它機制之故而不一致。
又，即使在該陣列中之各通道已被校正而令各通道中造成相同的輸出輻射狀態，但在該行段內的移轉色彩均一性亦可能會不一致。具言之，因條帶30係靠近行段的邊緣來被顯像，故由於其位置，其將會比在行段中央部份被顯像的條帶32接收較少的熱能。因此，該熱移轉程序本身亦會導致該行段內被顯像條帶的規則圖案之光密度差異。由於該等條帶係被顯像成一規則圖案，故在該等條帶中之光密度的變異將會導致視感跳動而減低該彩色濾光片的品質。在一行段內的該等視感跳動即為行段內部紋帶之一例。
光密度變異亦會在個別的顯像條帶內顯現出來。例如，條帶32係被對應的通道次組48所顯像。因該條帶32在兩側皆被非顯像區域所包圍，故該熱移轉法的非線性顯像特性將會更強化。較少量的色彩會被移轉至沿該條帶32 之邊緣32A和32B的顯像區域，因為該等區域不像被通道次組48之偏遠構件所加熱的那麼多。在通道次組48之內部構件典型將會移轉較多的色彩於該條帶32的內部，因為其會由附近的顯像通道來溢流加熱。因此，條帶32的光密度可能會在其寬度有變異。此變異結合該條狀圖案的規則週期性將會形成可見的跳動，其乃容易被肉眼所感知。這些瑕疵並不能以習知的方法來補救，它們僅能在該顯像陣列內的所有通道中造成均一的功率分佈。又，亦請瞭解，該熱移轉法的非線性顯像特性亦可能由無關顯像時之熱移轉量的其它現象來造成。
在本發明之一實施例中，一包含一顯像通道陣列(例如一雷射束陣列)的顯像頭會被依據一所要顯像的規則圖案來校準。該校準可被限定於所要顯像的規則圖案(其可例如為一彩色濾光片的色彩元素之圖案)。該要被顯像的規則圖案包括一規則重複的形貌體系列，其中該各形貌體(例如在一彩色濾光片中之條帶陣列中的每一條帶)之寬度係比被通道陣列所顯像之一行段的寬度更小。在該顯像通道陣列中之通道次組會被校準而來儘量減少相鄰行段之間的行段間紋帶，以及在行段內的紋帶，它們係由該規則圖案本身的顯像所造成者。
該等形貌體的規則圖案可包含被使用於一彩色濾光片中之一系列連續或中斷的條帶(例如在第1A及1B圖中所示的該種濾光片)。依據本發明的某些實施例，彩色濾光片會被以熱移轉法來造成，其包括將一色彩施體在一顯像頭以 光柵掃描方式掃過一接收基材來顯像時，於該接收基材上來進行影像式的移轉。多數的(例如紅、綠、藍色)色彩施體可被依序地顯像，而將它們之各色彩影像式地移轉至該接收基材上。個別的色彩元素可被一黑色基質框圍。一個別的色彩元素在被該黑色基質框圍時，係可例如大約為300μm長×100μm寬。
當彩色濾光片以一條帶結構來製造時，該等結構的規則圖案典型會包含一系列連續條帶或線條被顯像於該黑色彩基質上，而使一指定顏色之色彩元素的連續直排可被製成。當一鑲嵌或三角結構被使用時，該等形貌體的規則圖案典型會包含一系列不連續的條帶被顯像於該黑色基質上，而使各種顏色之色彩元素的斷續直排能被製成。
目前該領域中的顯像頭譬如SQUAREspotR 熱顯像頭會包含眾多的顯像通道，其沿次掃描方向具有5μm的解析度及大約5mm的行段寬度。就包含條帶結構的典型彩色濾光片而言，該等顯像頭在每一行段中對每一色彩乃可顯像大約16條帶，而每一條帶係被以大約20個通道來顯像。應請注意，各不同的色彩施體可對其相對部份具有不同的色彩移轉特性。用來顯像一種顏色彩之條帶的通道數目稍微不同於用來顯像其它顏色之條帶的通道數目亦不罕見。
第4圖為本發明一實施例之顯像及校準系統的方塊示意圖。該系統可用來顯像規則圖案例如彩色濾光片。該系統能以一熱移轉法來進行顯像。該系統含有顯像裝置200，其則包含雷射104、光閥陣列100、及作動系統210。其它用 來產生多顯像通道的機構亦可被使用。尚有許多其它多通道顯像頭之設計。一依本發明的系統乃可與任何適當的多通道顯像系統來一起運作。
該作動系統210係能操作來至少沿主掃描方向42和次掃描方向44形成該接收基材18與光閥陣列100之間的可控相對運動，而使接收基材18能夠依據代表所要顯像之規則圖案的影像資料來以該規則圖案顯像。
該系統更包含一掃描系統220，其可操作來制定一要被顯像於接收基材18上之規則圖案的光學特性。此光學特性可包括被顯像在基材18上之規則圖案的光密度或反射率。測量該複製規則圖案的光密度可提供一重機制來辨認個別通道的輸出差異，以及可歸因於該熱移轉法本身之任何非線性顯像特性的變異。由整體顯像規則圖案測出的光密度差異可提供一機制來量化該規則圖案本身之顯像在各行段內所造成之行段內紋帶及相鄰行段間紋帶的程度。最好該系統能消除或最小化藉人力來解讀任何所造成紋帶的需求。倚賴肉眼來評估紋帶和其它瑕疵，在所須用途例如彩色濾光片中並不能提供令人滿意的結果。
在本發明之一實施例中，該掃描系統220包含一平床掃描器。於另一實施例中，該掃描系統220係併設在顯像裝置200內。雖其它的影像產生及測量裝置例如顯像密度計亦可適用來作為一掃描系統220，但仍以高解析度掃描器較佳，因其具有精確定位，一致的幾何尺度，照明均一性及大量平行段資料獲得能力。
在該掃描系統200之解析度的選擇須要折衷妥協。較高的解析度典型會增加掃描時間。較低的解析度通常會難以分開相鄰的形貌體。較好該掃描系統220在相鄰的掃描元件之間具有一間距，其係稍小於該等規則圖案之形貌體(例如彩色濾光片之條帶)的寬度。通常，一適當的掃描間距係大約為該等彩色濾光片形貌體之寬度的¼至。
對包含穿插的紅、綠、藍色規則圖案之彩色濾光片器材而言，該掃描系統200可包含紅、綠及藍色通道。由該掃描系統220所造成的掃描資料典型將會形成非常大的資料擋。
該掃描資料會被提供至一適當的影像資料處理器230，其包含一或多個系統控制器可操作來至少評估該掃描資料以判定任何光密度變異。該影像資料處理器230能夠至少部份依據該掃描資料來為該各顯像通道建立一修正參數。該影像資料處理器230的輸出典型係為光閥陣列100的調整後功率廓形。該掃描資料的處理會針對濾光片的每一種顏色來重複。
第5圖示出本發明一實施例的一序列步驟。在步驟300時，一熱移轉法會被用來顯像一或多數的測試片。各測試片皆含有一所需的規則圖案。該等測試片會被顯像系統200顯像在一“虛擬”的接收基材上。或者，該測試圖案亦可被顯像在一要被用來製造一彩色濾光片的接收基材之一未使用部份上。
在本發明之一實施例中，各測試片係大約為500mm寬(即沿次掃描方向)及50mm長(即沿主掃描方向)。這些尺寸 係被選來覆蓋一充分大的面積，其足以將在該顯像情況下由不定的變異所造成之雜訊的影響減低至一可接受的程度，並能涵蓋該試片中的至少若干顯像行段。當以一SQUAREspotR 熱顯像頭來顯像時，該等試片將會包含大約10行段。其它的尺寸亦可適用於本發明中。
該各試片會被依據一校準圖表來顯像。相同的顯像參數可被用於該試片內的每一顯像行段。其會有許多的顯像參數。一更重要之事即須為被該等顯像通道所顯像的行段建立一整體均一的曝光程度。該曝光係被定義為當顯像時，照射在錄製表面上之每單位面積的輻射能量。建立此均一曝光典型係可藉平衡該各通道的功率輸出來達成。
最好在校準之前，該各顯像通道會先被調整以提供大致相同的功率輸出。雖非一定必要，但避免太過極端的個別通道功率電平，將會有助於均調整體行段的平均輸出功率，並便於後續的校準。又，最好在校準之前，要被顯像的媒體應先被定性以便決定適當的曝光條件，俾免曝光不足或過度曝光。該各試片可被依據一校準圖表來顯像，其中該各顯像通道的輸出功率會被依各試片逐一地改變0.5%。於此情況下，一總共10%的功率變化將會需要21個試片。各行段之一小部份亦可在各試片中保持於一固定功率，而來提供一顯像反應的參考基準，其可用來供所造成之校準資料的正常化。
各試片並不必限定為包含單一顏色的形貌體之規則圖案。若為彩色濾光片，則各試片皆可包含所有使用於該濾 光片中之各種顏色的規則圖案。該各特定顏色之形貌體的規則圖案中最好係以將會被用來製造實際彩色濾光片的相同順序來與其它各顏色的規則圖案交替穿插。較好是，被用來顯像該等試片之各種色彩施體係以將會被用來顯像實際彩色濾光片的相同順序來顯像。藉著以相同於製造實際彩色濾光片的方式來顯像該等試片，則在不同顏色彩的規則圖案之間的視感密度差異將可被辨認。這些視感密度差異可能會發生，因為先前對該接收基材(即為一先顯像的色彩施體)的色彩移轉，將會施於由該接收基材來後續顯像之施體的更多空間部份。可變的間隔將會造成該熱移轉製程中的可變密度。一黑色基質亦最好設在各試片中，因該黑色基質本身的厚度可在連續顯像的色彩施體與接收基材之間造成不同的間隙。
用於顯像在各試片中之各種彩色規則圖案的特定校準圖表係可相同或不同。各圖表將會取決於所用之各種色彩施體的顯像範圍。用於第一試片中之各顏色的基本通道雷射功率係可互相不同。顯像於各試片中的每一種顏色彩會使用一特定的色彩施體在一個別的顯像步驟中來顯像，該施體會在該顏色的顯像步驟完成之後被除去，並以另一種色彩施體來取代。
用來顯像對應於各試片中之一特定顏色的規則圖案之通道次組，係可相同或不同於用來顯像該試片中之另一顏色的通道次組。顯然地，用來顯像該等試片中之特定顏色規則圖案的通道次組，應要相同於用來顯像實際彩色濾光 片中之該種顏色規則圖案的通道次組。
替代的方法亦可額外附加地顯像和修正替代的通道次組。該等替代次組可在意外或緊急情況下用來顯像該彩色濾光片。一意外情況可包括如在一主要校準的通道次組中之一特定通道失效而不能被迅速修復的情況。替代校準的通道次組將能使彩色濾光片的製造繼續進行，雖然可能產出會較慢。
在步驟310時，該掃描系統220會掃描每一試片。掃描器220會輸出代表各試片之二維(2D)影像的掃描資料，其可用來分析存在於該試片中之行段間及行段內的紋帶程度。
可見於該試片中的任何紋帶圖案僅會沿次掃描方向呈週期性地出現，因為當該等規則圖案沿主掃描方向顯像時，其幾何和曝光特性係幾乎不變的。由於任何紋帶圖案皆會沿次掃描方向呈週期性，故代表該試片中之紋帶程度的相同數值資訊，將可由該次掃描方向所採之多數一維(1D)空間光譜的主掃描方向之總平均值來萃取出。被任何指定顯像通道所記錄的像元可被沿該主掃描方向來平均，而不會有任何適用資訊的損失，故能使該掃描器對試片的定位充分精確，而可確保該掃描器的資料輸出對應於被該指定的顯像通道沿主掃描方向所記錄的實際顯像像元。
步驟310包括以一掃描系統220來掃描各試片，其中的每一掃描皆沿次掃描方向來進行。該顯像試片的次掃描軸最好對準於該掃描系統220之掃描方向的5°範圍內。在該結構中，其取樣速率可藉該掃描器內的作動系統來控制。此 種定向將可最小化在照明及/或在該1維掃描感測器之檢測反應中的不一致性之影響。
在另一實施例中，該顯像試片的主掃描軸最好係對準該掃描系統220之掃描方向的5°範圍內。此形式使用於某些掃描器設計將會較有利，因其可提供不同的照明狀況。
該試片可包含一具有高空間頻率的規則圖案，如同一濾色圖案內含三種不同顏色之100μm穿插條帶的情況。該等試片可被放在掃描系統220的焦點外，而來將光解析度限制為大約該掃描系統220取樣速率的一半。此將能對包含高空間頻率的規則圖案形成一防止混疊的低通濾波器。失焦地來操作亦會摹擬肉眼的空間解析度，因此所造成的紋帶測量值將會與該紋帶的視感一致。
被該掃描系統220輸出的掃描資料可包含一2D的位元圖由M個掃描像元(即沿主掃描方向42)和N個掃描像元(即沿次掃描方向44)所組成。在本文中，掃描像元係指被該掃描器輸出的像元。假使一試片準備用於濾色用途，則該位元圖可為一彩色位元圖，其包含有代表所用之三種顏色的資料。沿著次掃描方向44互相鄰接的每一組N個掃描像元，在此將被稱為次掃描線。該等掃描資料包含M條次掃描線，它們會被標示序號m=1，2，...M，代表該等次掃描線在該掃描矩陣中的排序。在每一次掃描線中之相鄰掃描像元的間隔以mm測計係等於△=25.4/dpi，其中“dpi”代表掃描取樣率(點/吋)。該各掃描像元的次掃描座標係等於Xn =n*△，其中n=1，2，...N。
第6圖示出一彩色濾光片之掃描影像505的一部份，其包含紅、綠、藍色條帶之三種交替穿插的規則圖案。該黑色基質未被示出。掃描限制乃包括一無顯像邊緣510會沿主掃描方向42延伸而位在次掃描座標系統的起始處。該無顯像邊緣510可被用來作為參考基準，以使該試片中之一指定規則圖案的開頭能對準於顯像該指定條帶規則圖案的特定顯像通道次組。其它實施例亦可使用不同的參考系統，包括但不限於增加該等連續顯像形貌體中之一者的顯像曝光來造成一指標。以這些高曝光水準來操作之對應的顯像通道次組將可參照該指標，並可令其它的規則圖案定位於用來顯像它們的對應顯像通道次組。
請回參第5圖，在步驟320時該掃描資料會被送至影像資料處理器230以供分析。假使一彩色濾光片包含多數間隔穿插的形貌體組排列成規則圖案，則該各組形貌體會在步驟330時被分開並分別地分析。假使一彩色濾光片的試片包含三組穿插重複的彩色條帶，則代表任何特定彩色條帶的部份掃描資料會包含全部三種色彩成分(例如紅、綠及藍色)的各分量。人們將不能只看該掃描資料的單一彩色通道，而來完全地區分一特定彩色條帶之規則圖案的掃描影像。
不同的方法亦被用來辨認對應於該試片中之一特定顏色區域的掃描資料部份。例如，該等紅、綠、藍色條帶將會分別具有主要的紅、綠、藍色掃描通道優勢。以紅色條帶為例，存在其它顏色條帶影像中的紅色掃描通道成分將可藉如下方式來被濾除，即決定該紅色掃描通道對藍色和 綠色掃描通道的比率，並刪除部份的影像，其中該紅色掃描通道對綠色和藍色掃描通道的比率會低於一被設來辨認紅色條帶的預定臨界值。
該適當的臨界值可依據對應於紅、綠、藍色濾色元件的掃描輸出之詳細檢查而來選擇，例如，可藉分析在一三維彩色空間內之不同濾色元件的資料來選出。在此例中，對應於藍、綠和紅色掃描通道之不要部份的掃描資料之信號電平會被設為0，以提供各被掃描之規則圖案的掃描呈顯圖(如在本例中該分離的掃描資料係對應於紅色條帶)，如第7圖所示。此程序亦可針對該試片中之其它顏色的條帶來重複進行。
本發明之其它實施例可用不同的方法來由該掃描資料萃取該規則圖案的所需彩色影像。例如，該紅色條帶的紅、綠、藍色分量可先在上述之例中被測出，再將各分量除以該等紅、綠、藍色分量之平方和平方根來正常化。然後，相同的正常化可被實施於該影像資料中的每一像元，而該像元色彩投射在紅色條帶上的色彩乃可被計算為該顯像像元之對應正常化色彩成分和所測得之紅條帶色彩的和。在此情況下，對應於藍、綠色及紅色掃描通道之不要部份的掃描資料像元之信號電平會被設為0-假使上述投射係小於一預定臨界值。
針對只包含一單組的規則圖案之情況，則此分離步驟並不須要，而可使用單一通道的掃描器。又，假使該試片設有一黑色基質，則含有該等黑色基質交叉段之影像的部 份掃描資料將可依據平均掃描信號電平來被容易地檢出並刪除。
該掃描系統220很難完美地對準於該試片的次掃描方向，雖然可以容許5°的容差。任何太大的定位失誤皆應被校正，以確保對應於該規則圖案之每一形貌體的掃描資料皆能被參照於顯像該形貌體的特定顯像通道次組。其它的定位失誤作用亦會在該等規則圖案顯像時因該等銜接行段中的振盪而造成，其亦會使掃描影像沿次掃描方向前後往復擺動。
請參閱第5圖，在步驟340時該分離的掃描資料中之每一次掃描線皆會移轉至一基準位置。在本發明之一實施例中，此移轉係可將各次掃描線中的資料乘以一窗口函數而來達成，例如下列的Hanning窗口函數：H(n)=0.5(1-cos(2 π(n-1)/(N-1))。
一維的快速傅立葉轉換(1D FFT)嗣可就對應於一指定規則圖案(即例如一彩色濾光片中之一彩色條帶組)已分離的掃描資料中之每一次掃描線來被產生。
每一該1D FFT皆會包含N個複數代表對應的次掃描線空間光譜之複合傅立葉轉換振幅。最先的N/2複合振幅對應次正空間頻率，其係以mm-1 測計而等於(n-1)/(N×△)。一第m次掃描線空間能譜係被示於第8圖中，而等於該複合振幅之實數與虛數的平方之和。一“主尖峰”520會在空間頻率1/L的附近被找出，該L係等於該規則圖案的週期。若為彩色濾光片，則L將會等於各彩色條帶的空間週期。該第m次 掃描線的相位角Φm 會被算成該主尖峰之複合振幅的虛數與實數比值的反正切(tan-1 )。
第9A圖的表中係示出所須的第m次掃描線移轉dxm ，其會被算成dxm =L(Φm /2 π)，其中m=1，2，....M。在該掃描資料中的雜訊會造成某些如第9B圖所示的掃描結果。第9B圖係示出第9A圖中之圖表的一小部份。該第m次掃描線移轉dxm 的“最佳配位”可大約為一五次多項式p(m)=a0 +a1 ×m+a2 ×m2 +a3 ×m3 +a4 ×m4 +a5 ×m5 ，其中之各係數a0 、a1 、a2 、a3 、a4 、a5 係由適配於dxm 對m的最小平方來決定。本發明的其它實施例亦可使用其它的“最佳配位”算法。
假使各2D影像的空間光譜係被使用一二維快速傅立葉轉換(2D FFT)來計算，則該操作所須的運算時間就一N×M像元的影像將會增為(Nlog2 N)(Mlog2 M)。然而，進行段M 1D FFT規格所需的運算時間為M(N×log2 N)。此相較於使用2DFFT將可轉化成一log2 M係數的運算速度增進。因該M通常係在數千範圍內，故以本發明之此實施例所使用的1D FFT將能提供一比2D FFT方式更佳甚多的處理速度改善。
第10A圖示出第一和第M次掃描線的掃描信號電平與次掃描像元指標(即n=1至N)的函數關係。為了清楚之故，其它的次掃描線資料已被消除。一明顯的移位清楚地呈現。就每一次掃描線m，其掃描信號電平係依據公式：σξm(k)=s(xn )+s(xn+1 )(ξk -xn )/(xn+1 -xn )來被代入移轉座標ξk =k×△+p(m)上(k=1，2，...，N)；且其中之n會使xn 中之最大的x小於該ξk 。此代入一移轉座標上 將會達成影像剪切，而能沿主掃描軸來對齊排列濾色形貌體。第10B圖則示出修正後的第一和第M次掃描線的掃描信號電平。每一次掃描的移轉廓形皆會重疊其掃描信號電平，並呈顯出沿被掃描的規則圖案之每一構件在主掃描方向的信號密度變異。
請回參第5圖，來自各移轉的次掃描線之資料會在步驟350中被平均。以相同指數k來代入的信號電平會在該等掃描線中被平均： 其中k=1，2，...，N。其結果會成為第11圖所示的描點廓線，而代表沿被分析的特定規則圖案之主掃描線來平均的影像性質。其中由各非0信號之連續區域構成的廓形係對應於被0信號區域(對應於其它顏色的條帶區域)所分開的特定濾色形貌體(即對應於特定顏色的條帶)。該各非0信號區域乃示出該規則圖案之各構件之間的差異，如虛線525所示。這些差異可歸因於行段間和行段內紋帶或不均一性。尤其是在彩色濾光片時，該等差異將會導致不良的視感效果。
連續非0區域的總數係等於每一行段被顯像的特定規則圖案之形貌體數目Nf 乘以該圖表中之顯像行段的數目Ns 。在一指定行段中被顯像的規則圖案之每一形貌體將會在一後續行段中重複。每一非0連續區域可被指定二係數：nf =1，...，Nf ；及ns =1，...，Ns ；其中nf 代表在每一行段內的個別形貌體，而ns 代表個別的行段。
一標記元素sig(nf )會被算出作為所測出的平均信號電平之全部具有係數nf 的非0連續區域之平均數。該信號電平的平均數可僅由第12圖所示之各區域的中央部份530來算出，以使雜訊作用及/或瑕疵最少化。第12圖示出第11圖所示之一區域的詳函。若為彩色濾光片，則其已被實驗判定該等濾色線的邊緣將會由於光的漫射而容易造成瑕疵。藉著取樣各區域的中央部份，則將可避開邊緣資料而提升該標記元素的品質。
來自各行段之眾多標記元素的平均係被示於第13圖的“標記”540中。第13圖係示出記錄在光閥100所顯像之各行段內之一規則圖案的多數形貌體(在本例中為16個)之平均反應。
請參閱第5圖，在步驟360時，影像資料處理器230會輸出修正指令來調整該等顯像通道次組，以減少對應於被顯像之規則圖案中各構件的個別標記元素之間的差異。若為彩色濾光片，則此過程可針對該濾光片中的每一顏色來進行。一或更多額外的試片嗣可被製成以確認其結果。
藉著針對各標記元素來提供一範圍值而非一信號平均值，則將能使用更高的精確度。該數值範圍將會對應於該規則圖案被對應的通道次組內之一特定顯像通道所顯像的構件部份。
該等修正指令可調整該多通道顯像系統的鯆出輻射特性，尤其是對應於該規則圖案被顯像之特定形貌體的特定通道次組之功率。該等修正可藉在不同的顯像試片中找出 具有最平坦標記的試片而來產生。來自各試片的標記亦得與用來顯像各試片之輸出輻射特性的差異相關。此乃可使用某些技術來達成，例如評估輸出輻射特性對所測得光密度的轉換函數，此係為專業人士所習知者。
在本發明之一實施例中，一特定顯像通道次組的平均功率會被依據該對應的顯像形貌體部份之光密度的平均來調整。在本發明的另一實施例中，一第一次組顯像通道的平均功率會保持在一固定電平，另一第二次組的平均功率則為變動的，而使該第一次組可作為一基準。在本發明的又另一實施例中，在一指定試片內的光輻射特性係可沿主掃描方向週期性地改變，最好是在二功率電平之間，且對應的光密度會針對該二功率電平來平均，以便評估該功率電平與光密度之間的轉換函數。在一指定試片中使用此調制法，乃可增進轉換函數的評估精確度。因此，於該形貌體本身之光密度的任何變化皆能被修正。
應可瞭解如上所述的方法將能用以最佳化該等顯像通道次組之通道的設定，而來顯像一所須的形貌體規則圖案。各像元次組會對應於該規則圖案之一特定形貌體，並會被調整以確保該形貌體的光密度等同於該行段內的其它形貌體，而無關於該等形貌體在行段內之位置所造成的任何變異。假使是彩色濾光片，則該等彩色元素的均一性乃是確定的，故若該濾光片係被以一雷射陣列來顯像，且其已被校準而使該陣列中之所有的顯像通道皆能提供均一的輸出輻射電平，或能對該操作陣列中之全部的顯像通道來 顯像之一行段的整個寬度提供記錄影像的均一光學特性，則將能比以往所能達到者更進一步地達成較佳的視感特性。
本發明的其它實施例亦可使用上揭方法的變化方式，例如：
△步驟350亦可平均該整體M修次掃描線中之一較小的次組。該等較小次組應要夠大俾減少可能產生的雜訊效應。
△假使係為彩色濾光片用途，則該等規則圖案不須要限定為“條帶結構”。包含鑲嵌或三角結構的規則圖案亦可被使用作為試片。在此等實施例中，被分析的次掃描線數目可不必等於M(即該試片的整個長度)，而可對應於該指定彩色元素沿主掃描方向的長度。該分析可針對多數彩色元素來進行以平均其結果。此等結構因由於各元素的長度較短，故難免會受到雜訊的限制。
△不用直接分析試片，該等顯像的色彩施體亦可被分析。最好用來顯像該等試片的色彩施體係以將會用來實際製造該彩色濾光片者的相同順序來顯像。此方式將能有利地容許直接測試實際製成的彩色濾光片，故不必另行製造試片而致妨礙生產。分析色彩施體亦必須將在實際熱移轉製程中會發生的色彩損耗或蒸發所造成的影響納入考量。
雖本發明已藉製造顯示器來說明如上，但所述之方法亦可直接應用於任何規則圖案的顯像，包括電子元件陣列(譬如聚合物半導體陣列)及“晶片上實驗裝置”(LOC) 等。該LOC科技係為一種在儀器及保健工業中快速成長的研發課題。其原理係製造一自動的微尺寸實驗室，而使樣本製備、流體傳送、分析和檢測步驟等皆能在單一微晶片的範圍內來進行。該等LOC晶片亦會具有一些重複的紋路形貌體。
熟習該技術之專業人士在參閱如上揭露之後將可得知，許多變化修正亦可實施本發明而不超出其精神或範圍。
10，24‧‧‧彩色濾光片
12‧‧‧紅色元素
14‧‧‧綠色元素
16‧‧‧藍色元素
18‧‧‧基材
20‧‧‧黑色基質
22‧‧‧驅動電晶體區域
30~36‧‧‧紅色條帶
32A，B‧‧‧條帶邊緣
38‧‧‧第一位置
38’‧‧‧第二位置
40‧‧‧顯像通道
42‧‧‧主掃描方向
44‧‧‧次掃描方向
45‧‧‧最末通道
46‧‧‧第一通道
47‧‧‧斷續線
48，49‧‧‧通道次組
100‧‧‧光閥陣列
101‧‧‧鏡元件
102‧‧‧矽基材
104‧‧‧雷射
106‧‧‧照明線
108，110，112，118‧‧‧透鏡
114‧‧‧孔隙
116‧‧‧擋片
120‧‧‧顯像行段
200‧‧‧顯像裝置
210‧‧‧作動系統
220‧‧‧掃描系統
230‧‧‧影像資料處理器
300~360‧‧‧各步驟
505‧‧‧掃描影像
510‧‧‧無顯像邊緣
520‧‧‧主尖峰
530‧‧‧中央部份
540‧‧‧標記
第1A圖為一習知彩色濾光片結構的部份平面圖；第1B圖為另一習知彩色濾光片結構的部份平面圖；第2圖為一習知多通道顯像頭之光學系統的立體圖；第3圖為相對一顯像基材來示出的光閥示意圖，並示出一習知的顯像方法；第4圖為本發明一實施例之顯像及校正系統的方塊示意圖；第5圖為一流程圖示出本發明一實施例之顯像及校正方法的順序；第6圖示出一掃描的彩色濾光片之一部份；第7圖示出一分開的掃描資料對應於第6圖之彩色濾光片的紅色形貌體；第8圖為一影像之第m條次掃描線空間能譜；第9A圖為有關於掃描線之所需移位的圖表；第9B圖為第9A圖的圖表之一部份詳圖；第10A圖為移位之前的掃描信號電平相對於第一和第 M次掃描線的次掃描像元指標之圖表；第10B圖為移位之後已移變的掃描信號電平相對於第一和第M次掃描線的次掃描像元指標之圖表；第11圖為一主掃描平均線廓形的圖表；第12圖為第11圖的圖表中之一放大部份；及第13圖為在一顯像行段中之標記元素的平均反應與形貌體指標的函數關係圖。
100‧‧‧光閥陣列
104‧‧‧雷射
200‧‧‧顯像裝置
210‧‧‧作動系統
220‧‧‧掃描系統
230‧‧‧影像資料處理器

Claims (40)

  1. 一種用以校正含有多數顯像通道之顯像頭的方法，包含：在一或多數由該顯像頭所顯像的行段內顯像多數形貌體的一規則圖案，其中該等形貌體的該規則圖案會沿至少一次掃描方向來重複，並包含至少一藉由該等多數顯像通道的一第一部份所顯像的第一形貌體，及一藉由該等多數顯像通道的一第二部份所顯像的第二形貌體，該等第一和第二部份皆少於全部的顯像通道，且該等第一和第二形貌體皆顯像在該一或多數行段中之一相同行段內；測量該等第一和第二形貌體中之每一者之一光學性質；及至少部份依據所測得的該光學性質來調整該等多數顯像通道的該等第一和第二部份中之至少一者的一或多數顯像通道；其中在該等形貌體之該規則圖案的後續顯像時，該等第一和第二形貌體的該光學性質會調成實質相同。
  2. 如申請專利範圍第1項之方法，其中顯像該規則圖案包含在一熱移轉製程中來顯像該規則圖案。
  3. 如申請專利範圍第1項之方法，其中測量該等第一和第二形貌體中之每一者的一光學性質包含測量該等第一和第二形貌體中之每一者的一光密度。
  4. 如申請專利範圍第3項之方法，其中測量該等第一和第 二形貌體中之每一者的該光密度包含測量在一第一主掃描位置之該等第一和第二形貌體中之每一者的該光密度。
  5. 如申請專利範圍第4項之方法，包含測量在至少一第二主掃描位置之該等第一和第二形貌體中之每一者的該光密度。
  6. 如申請專利範圍第5項之方法，其中測量該等第一和第二形貌體中之每一者的該光密度包含以一掃描系統來掃描該等第一和第二形貌體。
  7. 如申請專利範圍第6項之方法，包含沿該次掃描方向來掃描該等第一和第二形貌體。
  8. 如申請專利範圍第6項之方法，包含失焦地掃描該等第一和第二形貌體。
  9. 如申請專利範圍第7項之方法，包含由該掃描系統輸出掃描資料，而該掃描資料至少包含：對應於該第一主掃描位置的一第一次掃描線；及對應於該第二主掃描位置的一第二次掃描線。
  10. 如申請專利範圍第9項之方法，包含掃描一區域，其代表該等形貌體之該規則圖案沿該次掃描方向的一起始位置。
  11. 如申請專利範圍第9項之方法，其中：該規則圖案的每一構件皆含有多種顏色之至少一者，且該等第一和第二形貌體皆含有相同顏色；及該方法更包含分離該掃描資料來排除對應於至少 一第三形貌體的資料，該至少一第三形貌體具有與該等第一和第二形貌體不同的顏色。
  12. 如申請專利範圍第9項之方法，其中形貌體的該規則圖案包含一彩色濾光片形貌體的圖案，且該方法包含分離該掃描資料來排除對應於至少一第四形貌體的資料，該至少一第四形貌體係對應於一黑色基質的一部份。
  13. 如申請專利範圍第9項之方法，乃包含對準該第二次掃描線與該第一次掃描線，其中對應於該第一次掃描線中之該等第一和第二形貌體的資料會沿該次掃描方向來與對應於該第二次掃描線中之該等第一和第二形貌體的資料對準。
  14. 如申請專利範圍第13項之方法，乃包括針對各第一和第二次掃描線來產生一維快速傅立葉轉換(1D FFT)，以造成對應的第一和第二次掃描線空間光譜。
  15. 如申請專利範圍第14項之方法，其中對準該第二次掃描線與該第一次掃描線包含：至少部份依據該光譜中之一尖峰的一相位角，而以一適當量沿該次掃描方向來相對於第一次掃描線移轉第二次掃描線。
  16. 如申請專利範圍第14項之方法，包含將對應於該等第一和第二次掃描線之至少一者的該掃描資料乘以一漢寧窗口函數(Hanning window function)。
  17. 如申請專利範圍第14項之方法，包含：辨認各光譜中之一主尖峰；決定各該主尖峰的一相位角；及 依據該等對應的相位角來對準該等次掃描線。
  18. 如申請專利範圍第13項之方法，包含：將對應於該第一次掃描線中之該第一形貌體的該資料與對應於該第二次掃描線中之該第一形貌體的該資料平均以造成一第一標記元素；及將對應於該第一次掃描線中之該第二形貌體的該資料與對應於該第二次掃描線中之該第二形貌體的該資料平均以造成一第二標記元素。
  19. 如申請專利範圍第18項之方法，其中該一或多數行段包含一第一行段與至少一第二行段，而該方法更包含：顯像該各第一和第二行段的該等第一和第二形貌體；將對應於該第一行段的該第一標記元素與對應於該第二行段的該第一標記元素平均來造成一平均的第一標記元素；及將對應於該第一行段的該第二標記元素與對應於該第二行段的該第二標記元素平均來造成一平均的第二標記元素。
  20. 如申請專利範圍第18項之方法，更包含藉調整該至少一顯像通道來修正該第一標記元素和該第二標記元素之間的任何差異。
  21. 如申請專利範圍第19項之方法，更包含藉調整該一或多數顯像通道來修正該平均的第一標記元素與該平均的第二標記元素之間的任何差異。
  22. 如申請專利範圍第1項之方法，包含使用該顯像頭來顯像至少二不同的規則圖案，並對該等至少二不同的規則圖案中之每一者進行校正。
  23. 如申請專利範圍第1項之方法，其中形貌體的該等規則圖案包括一彩色濾光片形貌體圖案。
  24. 如申請專利範圍第23項之方法，其中該等彩色濾光片形貌體包含多數不同顏色的細長條帶，且該各顏色的該等細長條帶係分開地顯像。
  25. 如申請專利範圍第23項之方法，其中該彩色濾光片形貌體圖案包含多數不同顏色的形貌體，且該各顏色的該等形貌體係分開地顯像。
  26. 如申請專利範圍第25項之方法，包含：提供一彩色濾光片接收基材；在該接收基材上形成一黑色基質；對各圖案顏色提供一色彩施體元素，及依序重疊形成在該基材上的該黑色基質與各色彩施體元素，並顯像對應於該施體顏色的該等圖案彩色形貌體，再除去已顯像的該色彩施體元素。
  27. 如申請專利範圍第26項之方法，其中：該等第一和第二形貌體皆包含相同顏色，及測量該各第一和第二形貌體的一光學性質，包含測出顯像在該接收基材上之該等第一和第二形貌體中之每一者的一光密度。
  28. 如申請專利範圍第25項之方法，其中： 該等第一和第二形貌體係由一第一色彩施體元素來顯像；及測量該等第一和第二形貌體中之每一者之一光學性質，包含測出對應於該等第一和第二形貌體中之每一者之該第一色彩施體元素上的一影像之一光密度。
  29. 如申請專利範圍第1項之方法，包含將形貌體的該規則圖案顯像在一試片上。
  30. 如申請專利範圍第1項之方法，其中形貌體的該規則圖案包含代表一或多數聚合物半導體元件的形貌體。
  31. 如申請專利範圍第1項之方法，其中形貌體的該規則圖案包含代表一晶片上設實驗裝置的元件的形貌體。
  32. 一種用以校正可顯像形貌體的規則圖案之多通道顯像頭的裝置，其中形貌體之該規則圖案係：顯像在由該顯像頭所顯像的一或多數行段內；且至少沿一次掃描方向重複；並包含由該等多通道的一第一部份所顯像的一第一形貌體，及由該等多通道的一第二部份所顯像的一第二形貌體，該等第一和第二部份皆少於全部的通道，且該等第一和第二形貌體皆顯像在該一或多數行段中之同一行段內；而該裝置包含：一掃描器係可操作來：沿該次掃描方向掃描該第一形貌體和該第二形貌體；並輸出掃描資料，其包含對應於一第一主掃描位置的 一第一次掃描線，和對應於至少一第二主掃描位置的一第二次掃描線；及一影像資料處理器，包含一或多個系統控制器，該影像資料處理器可操作來：沿該次掃描方向對準該第一次掃描線與該第二次掃描線；將對應於該第一次掃描線中之該第一形貌體的資料與對應於該第二次掃描線中之該第一形貌體的資料平均以造成一第一標記元素；以及將對應於該第一次掃描中之該第二形貌體的資料與對應於該第二次掃描線中之該第二形貌體的資料平均以造成一第二標記元素；及藉著輸出可操作調整該等多通道中之該第一部份和該第二部份中的至少一者之至少一顯像通道的修正指令來修正該第一標記元素與該第二標記元素之間的任何差異。
  33. 如申請專利範圍第32項之裝置，其中該影像資料處理器更可操作如下：針對該各第一和第二次掃描線來產生一1D FFT，以造成一對應的第一次掃描線空間光譜及一對應的第二次掃描線空間光譜。
  34. 如申請專利範圍第33項之裝置，其中該影像資料處理器更可操作如下：將該等第一和第二次掃描線的至少一者乘以一漢 寧窗口函數(Hanning window function)。
  35. 如申請專利範圍第33項之裝置，其中該影像資料處理器更可操作如下：辨認該各第一和第二次掃描線空間光譜中之一主尖峰；決定該各主尖峰的一相位角；及依據該各相位角來對準該第一次掃描線與該第二次掃描線。
  36. 如申請專利範圍第32項之裝置，其中該一或多數行段包含一第一行段與一第二行段，而該等第一和第二形貌體係顯像在各該第一和第二行段內；且其中該影像資料處理器更可操作如下：將對應於該第一行段的該第一標記元素與對應於該第二行段的該第一標記元素平均來造成一平均的第一標記元素；及將對應於該第一行段的該第二標記元素與對應於該第二行段的該第二標記元素平均來造成一平均的第二標記元素。
  37. 如申請專利範圍第36項之裝置，其中該影像資料處理器係可操作如下：藉輸出可操作調整該至少一顯像通道的附加修正指令來修正該平均的第一標記元素與該平均的第二標記元素之間的任何差異。
  38. 一種由熱移轉程序所製成的彩色濾光片，該熱移轉程序包含申請專利範圍第1項的方法。
  39. 一種多通道顯像頭，其係可顯像一由申請專利範圍第1項的方法來校正的形貌體的規則圖案。
  40. 一種用以校正多射束顯像系統的方法，該系統可造成各包含一沿一次掃描方向具有一預定間隔的形貌體的規則圖案的影像，而該方法包含：提供指定一測試圖案的測試影像資料，該測試圖案包含多數的形貌體，該等形貌體沿該次掃描方向具有該預定間隔；依據該測試影像資料操作該顯像系統來將該測試圖案顯像在一基材上，而使該測試圖案的該等多數的形貌體被顯像於該顯像系統之一單一行段內；光學掃描該測試圖案之該行段，辨認該行段內的該等多數形貌體，並獲得代表該等多數形貌體中之光學性質差異的差異資料；及至少部份依據該差異資料來調整至少一對應於一顯像形貌體中之一者之射束中的至少一者的一或多數性質，俾減少該等多數形貌體中之光學性質的差異。
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