KR20100015935A - 복수의 스캔으로 피쳐를 이미징하는 방법 - Google Patents

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코닥 그래픽 커뮤니케이션즈 캐나다 캄파니
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Abstract

셰브론 혹은 다른 불규칙힌 형상의 이미지와 같은, 이미지를 매체 상에 형성하는 방법이 제공된다. 이 방법은 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 1 스캔 동안, 제 1 스캔 경로를 따라서 매체를 스캐닝하면서, 매체 상에 이미지의 제 1 부분을 형성하는 단계와, 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 2 스캔 동안, 제 1 스캔 경로와 평행하지 않은 제 2 스캔 경로를 따라서 수용체 소자를 스캐닝하면서, 매체 상에 이미지의 제 2 부분을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

복수의 스캔으로 피쳐를 이미징하는 방법{IMAGING FEATURES WITH A PLURALITY OF SCANS}
본 발명은 이미징 시스템 및 피쳐 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명은 예컨대, 전자 디스플레이용 컬러 필터를 제조하는데 적용될 수 있다.
디스플레이 패널에 사용되는 컬러 필터는 전형적으로 복수의 컬러 피쳐를 포함한 패턴을 갖고 있다. 이 컬러 피쳐는 예컨대, 적색, 녹색 및/또는 청색 피쳐의 패턴을 포함할 수 있다. 컬러 필터는 다른 컬러의 컬러 피쳐로 이루어질 수도 있다. 컬러 피쳐는 여러가지 임의의 적절한 구성으로 배열될 수 있다. 종래의 스트라이프 구성에서는 도 1a에 도시된 바와 같은 적색, 녹색 및 청색 피쳐의 열이 교번하고 있다.
도 1a는, 각각이 수용체 소자(receiver element)(18)를 가로질러서 교번하는 열로 형성된 복수의 적색, 녹색 및 청색 컬러 피쳐(12, 14, 16)를 구비한, 종래의 "스트라이프 구성"의 컬러 필터(10)의 일부를 도시하고 있다. 컬러 피쳐(12, 14, 16)의 둘레는 컬러 필터 매트릭스(20)(이하 매트릭스(20)라고도 함)의 부분으로 형 성되어 있다. 이 열들은 긴 스트라이프로 이미지화될 수 있으며, 이 스트라이프는 매트릭스 셀(34)(이하 셀(34)이라고도 함)로 더 나누어져서 개개의 컬러 피쳐(12, 14, 16)가 된다. 매트릭스(20)의 영역(22)에 의해서 관련된 LCD 패널(도시 생략) 상의 TFT 트랜지스터가 마스킹될 수 있다.
디스플레이, 특히 컬러 필터의 제조에 레이저 유도 열 전사 처리의 사용이 제안되었다. 일부 제조 기법에서, 레이저 유도 열 전사 처리를 사용해서 컬러 필터를 제조할 때, 수용체 소자라고도 알려진 컬러 필터 기판 상에 공여체 소자(donor element)가 놓이고, 이후에, 공여체 소자가 이미지에 맞춰서 노출되어 공여체 소자로부터 수용체 소자로 착색제가 선택적으로 전사된다. 바람직한 노출 방법에는, 레이저 빔과 같은 방사 빔을 이용해서 수용체 소자로 착색제의 전사를 유도하는 것이 있다. 저비용 및 작은 크기 때문에 다이오드 레이저가 특히 선호된다.
레이저 유도 "열 전사" 처리는, 레이저 유도 "염료(dye) 전사" 처리, 레이저 유도 "용해(melt) 전사" 처리, 레이저 유도 "융제(ablation) 전사" 처리 및 레이저 유도 "매스(mass) 전사" 처리를 포함한다. 레이저 유도 열 전사 처리 동안 전사되는 착색제는 적절한 염료계 혹은 안료계 혼합물을 포함한다. 하나 이상의 결합제와 같은, 추가 성분이 전사될 수 있다.
일부 종래의 레이저 이미징 시스템은 제한된 수의 이미징 빔을 이용했다. 다른 종래의 시스템은 수백개의 개별적으로 변조된 빔을 동시에 이용함으로써, 이미지를 완성하는데 걸리는 시간을 단축했다. 많은 수의 "채널"을 구비한 이미징 헤드를 용이하게 입수할 수 있다. 예컨대, 캐나다 브리티시 컬럼비아 소재 코닥 그래픽 통신 캐나다 컴퍼니가 제조한 SQUAREspot® 모델 열 이미징 헤드는 수백개의 독립 채널을 갖고 있다. 각각의 채널은 25mW를 초과하는 전력을 갖는다. 이미징 채널의 어레이는 근접 배치된 일련의 이미지 스와스(image swath)로 이미지를 기록해서 연속 이미지를 형성하도록 제어될 수 있다.
도 1a에 도시된 스트라이프 구성은 컬러 필터 피쳐 구성의 일례를 나타내고 있다. 컬러 필터는 다른 구성을 가질 수도 있다. 모자이크 구성은, 양 방향으로(예컨대, 열 및 행을 따라서) 교번하는 컬러 피쳐를 갖고 있으며, 각각의 컬러 피쳐는 "섬형상"과 유사하다. 델타 구성(도시 생략)은 서로 삼각 관계로 배열된 적색, 녹색 및 청색 피쳐의 그룹을 갖고 있다. 모자이크 및 델타 구성은 '섬형상' 구성의 일례이다. 도 1b는, 컬러 피쳐(12, 14, 16)가 열로 배열되고, 이 열을 가로질러서, 그리고 열 방향으로 교번하는, 모자이크 구성으로 배열된 종래의 컬러 필터(10)의 일부를 도시하고 있다.
다른 컬러 필터 구성도 당업계에 공지되어 있다. 위에 설명된 예가 직사각형 형상의 컬러 필터 소자의 패턴을 개시하고 있지만, 다른 형상의 피쳐를 포함한 다른 패턴도 공지되어 있다.
도 1c는 삼각 형상의 컬러 피쳐(12A, 14A, 16A)의 구성을 가진 종래의 컬러 필터(10)의 일부를 도시하고 있다. 도 1c에 도시된 바와 같이, 각각의 컬러 피쳐는 열 방향으로 배열되고, 매트릭스(20)에 의해 나누어진다.
도 1d는 삼각 형상의 컬러 피처(12A, 14A, 16A)의 구성을 가진 종래의 컬러 필터(10)의 일부를 도시하고 있다. 도 1d에 도시된 바와 같이, 각각의 컬러 피쳐는 컬러 필터(10)의 열 및 행을 따라서 교번하고 있다. 도 1c 및 도 1d에 도시된 바와 같이, 컬러 피쳐(12A, 14A, 16A)는 주어진 행 및 열 내에서 다른 배향을 가질 수도 있다.
도 1e는 셰브론(chevron) 형상의 컬러 피쳐(12B, 14B, 16B)의 구성을 포함하는 종래의 컬러 필터(10)의 일부를 도시하고 있다. 도 1e에 도시된 바와 같이, 각각의 컬러 피쳐는 열을 따라서 배열되고, 매트릭스(20)에 의해 나누어진다. 컬러 피쳐(12B, 14B, 16B)는 "지그-재그" 컬러 스트라이프로 형성되고, 컬러 필터 매트릭스(20)의 부분으로 둘러싸여 있다.
도 1f는 셰브론 형상의 컬러 피쳐(12B, 14B, 16B)의 구성을 포함하는 종래의 컬러 필터(10)의 일부를 도시하고 있다. 도 1f에 도시된 바와 같이, 각각의 컬러 피쳐는 컬러 필터(10)의 열 및 행을 따라서 교번하고 있다.
컬러 필터 피쳐의 형상 및 구성은 더 양호한 컬러 혼합 혹은 개선된 시야각과 같은, 요구되는 컬러 필터 속성을 제공하도록 선택될 수 있다. 다양한 이미징 처리를 통해서 컬러 피쳐를 형성할 때, 피쳐의 형상 혹은 배향이 달라지면 또 다른 과제가 생길 수 있다.
일부 애플리케이션에서, 피쳐는 수용체 소자 상에 마련된 정합(registration) 영역과 실질적으로 정렬되어서 형성될 필요가 있다. 예컨대, 일부 컬러 필터 애플리케이션에서, 컬러 피쳐는 매트릭스(20)에 의해 제공되는 매트릭스 셀(34)의 패턴과 정렬되어야 한다. 컬러 피쳐는 매트릭스(20)와 중첩되어서 피쳐 사이에서의 백라이트의 누설을 줄일 수 있다. 컬러 필터와 같은 애플리케이션에서는, 최종 제품의 시각적인 품질은 피쳐의 반복 패턴이 정합 서브-영역(예컨대, 컬러 필터 매트릭스)의 반복 패턴(예컨대, 컬러 피쳐의 패턴)과 정합되는 정확성에 의존한다. 정합이 잘못되면, 바람직하지 않은 무색 보이드(colorless voids)의 형성 및/또는 인접 컬러 피쳐의 중첩이 발생해서, 원하지 않는 컬러 조합을 만들 수 있다.
매트릭스(20)를 중첩시키면, 컬러 피쳐가 매트릭스(20)와 정합되어야 하는 정밀도를 줄이는 데 도움을 줄 수 있다. 그러나, 전형적으로 매트릭스(20)가 중첩될 수 있는 범위에는 한계가 있다. 중첩(및 최종 정합)의 정도를 제한할 수 있는 요소로는, 컬러 필터의 각각의 구성, 매트릭스 라인의 폭, 매트릭스 라인의 거칠기, 백라이트 누설을 방지하는데 필요한 최소 중첩 및 어닐링 후의 컬러 피쳐 감소량을 들 수 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다.
피쳐를 형성하는데 이용되는 각각의 방법과 관련된 요소가 중첩 정도를 제한할 수 있다. 예컨대, 레이저 이미징 방법이 이용되는 경우에는, 레이저 이미저가 컬러 필터를 스캔할 수 있는 정밀도가 획득된 최종 정합에 영향을 미칠 것이다. 이미징 헤드의 이미징 채널과 관련된 어드레싱 가능성(addressability)은 피쳐가 이미징될 수 있는 해상도를 정의하며, 이는 최종 정합과 관련된다. 이미징 헤드의 이미징 채널과 관련된 어드레싱 가능성은 이미징 빔에 의해 이미징된 픽셀의 크기 특성을 정의한다. 이미징 헤드에 대한 컬러 필터의 배향도 정합과 관련될 수 있다.
고품질 피쳐 이미지를 만들 수 있는 효율적이고 실용적인 이미징 방법 및 시스템이 요구된다. 이들 피쳐의 각각의 부분은 스캔 경로에 대해 서로 다른 배향을 가질 수 있다. 이들 피쳐의 각각의 에지는 스캔 경로에 대해 서로 다른 배향을 가질 수 있다.
피쳐의 이미지를 매체에 마련된 정합 서브 영역의 패턴과 실질적으로 정렬시켜서 형성할 수 있는 이미징 방법이 요구된다. 이들 피쳐의 각각의 부분은 스캔 경로에 대해 서로 다른 배향을 가질 수 있다. 이들 피쳐의 각각의 에지는 스캔 경로에 대해 서로 다른 배향을 가질 수 있다.
본 발명은 매체 상에 피쳐를 이미징하는 것과 관련되어 있다. 이 피쳐는 피쳐의 반복 패턴이 될 수 있다. 일 실시예에서, 피쳐의 반복 패턴은 섬형상 피쳐의 반복 패턴이 될 수 있으며, 이 반복 패턴은 다른 컬러의 피쳐에 의해서 서로 분할되어 있는 하나의 컬러의 피쳐의 패턴을 포함할 수 있다. 이미지는 셰브론 형상의 피쳐 혹은 불규칙한 형상의 피쳐를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 이미지는 레이저 유도 열 전사 처리, 레이저 유도 염료 전사 처리, 레이저 유도 매스 전사 처리에 의해 형성될 수도 있고, 공여체 소자로부터 수용체 소자로 이미지 형성 물질을 전사함으로써 형성될 수도 있다. 일 실시예에서, 이미지는 유기 발광 다이오드용 착색 조명원이 될 수도 있다.
본 발명은, 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 1 스캔 동안, 제 1 스캔 경로를 따라서 매체를 스캐닝하면서, 매체 상에 이미지의 제 1 부분을 형성하고, 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 2 스캔 동안, 제 2 스캔 경로를 따라서 수용체 소자를 스캐닝하면서, 매체 상에 이미지의 제 2 부분을 형성하는 방법을 제공한다. 제 1 스캔 경로는 제 2 스캔 경로와 평행하지 않을 수 있다. 이미지는 메인 스캔 방향에 대해서 어긋난 부분을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 이미지 데이터는 이미지의 제 1 부분 및 제 2 부분에 대응하는 부분들로 분할될 수 있다.
일부 실시예에서, 이미지의 제 1 부분은 피쳐의 일부를 가지는데, 이 피쳐의 일부는 제 1 스캔 경로와 평행하다. 다른 실시예에서, 이미지의 제 1 부분은 피쳐의 일부를 가지는데, 이 피쳐의 일부의 적어도 하나의 에지는 제 1 스캔 경로와 평행하다. 이미지의 제 2 부분은 제 2 스캔 경로와 평행한 피쳐의 추가 부분을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 이 피쳐의 추가 부분의 적어도 하나의 에지는 제 2 경로와 평행하다. 일 실시예에서, 피쳐의 제 1 및 제 2 부분은 서로 중첩될 수 있다.
스캔하는 동안, 이미징 헤드와 매체간의 상대적인 움직임이 설정될 수 있다. 이미징 헤드가 이동될 수도 있고, 매체가 이동될 수도 있다. 혹은 동시에 둘 다 이동할 수도 있다. 제 1 및 제 2 스캔의 스캔 경로는 서로 다를 수 있다. 이 경로의 방향 및 길이는 서로 다를 수 있다.
본 발명의 실시예 및 응용예가 첨부된 도면에 의해 도시되어 있으며, 도면은 한정하는 것은 아니다. 첨부된 도면은 본 발명의 개념을 설명하기 위한 것으로, 실축으로 도시된 것은 아니다.
도 1a는 종래의 컬러 필터의 일부를 나타내는 평면도,
도 1b는 다른 종래의 컬러 필터의 일부를 나타내는 평면도,
도 1c는 삼각 형상 피쳐를 포함한, 종래의 필터의 일부를 나타내는 평면도,
도 1d는 삼각 형상 피쳐를 포함한, 다른 종래의 필터의 일부를 나타내는 평면도,
도 1e는 셰브론 형상의 피쳐를 포함한, 종래의 필터의 일부를 나타내는 평면도,
도 1f는 셰브론 형상의 피쳐를 포함한, 다른 종래의 필터의 일부를 나타내는 평면도,
도 2는 이미징가능한 매체에 피쳐의 패턴을 이미징하는 멀티-채널 헤드의 개략도,
도 3은 예시적인 종래의 멀티-채널 이미징 헤드의 광학 시스템의 개략 사시도,
도 4a는 이미징 헤드를 이용해서 이미징가능 매체 상에 형성하고자 하는 바람직한 예시적인 피쳐 패턴의 개략도,
도 4b는 계단 형상 에지를 가진 이미징된 피쳐의 개략도,
도 5a는 2 컬러 피쳐 및 매트릭스 부분의 개략도,
도 5b는 계단 형상 에지 및 매트릭스 부분을 가진 2 컬러 피쳐의 개략도,
도 6은 이미징 가능한 매체와 관련되어 도시된 본 발명의 장치의 개략도,
도 7은 본 발명의 실시예의 이미징 방법의 흐름도,
도 8a는 본 발명의 실시예에 따라서 멀티-채널 헤드가 도 4a의 피쳐 패턴의 일부를 이미징 가능한 매체 상에 이미징하는 것을 도시한 개략도,
도 8b는 본 발명의 실시예에 따라서 멀티-채널 헤드가 도 4a의 피쳐 패턴의 다른 부분을 이미징 가능한 매체 상에 이미징하는 것을 도시한 개략도,
도 8c는 본 발명의 실시예에 따라서, 피쳐의 두 부분을 이미징 가능한 매체 상에 이미징하는 것을 도시한 개략도이다.
이하의 설명에서는, 당업자를 더 완전하게 이해시키기 위해서, 특정된 세부 사항이 제공된다. 그러나, 본 개시를 불필요하게 불분명하게 하지 않기 위해서 공지된 구성 요소는 도시하지 않았거나 상세하게 설명하지 않았다. 따라서, 상세한 설명 및 도면은 제한의 의미가 아닌 예시적인 것으로 간주되어야 할 것이다.
도 2는 종래의 레이저 열 유도 전사 처리가 컬러 필터(10)를 제조하는데 사용되는 것을 도시하고 있다. 공여체 소자(24)로부터 밑에 놓인 수용체 소자(18)로 이미지-형성 물질(도시 생략)을 전사하는 이미징 헤드(26)가 마련되어 있다. 분명하게 하기 위해서 공여체 소자(24)는 수용체 소자(18)보다 작게 도시되어 있다. 공여체 소자(24)는 필요에 따라서 수용체 소자(18)의 하나 이상의 부분과 중첩할 수 있다. 이미징 헤드(26)는 하나 이상의 이미징 채널을 포함할 수 있다. 이 경우에, 이미징 헤드는 개별적으로 어드레싱 가능한 채널(40)의 채널 어레이(43)를 포함한다. 일부 경우에, 채널 어레이(43)는 일차원 어레이가 될 수 있다. 일부 경우에, 채널 어레이(43)는 이차원 어레이가 될 수 있다.
수용체 소자(18)는 정합 영역을 포함할 수 있으며, 하나 이상의 피쳐의 이미지를 이 정합 영역과 실질적으로 정렬시켜서 형성하는 것이 바람직하다. 수용체 소자(18)는 정합 서브 영역의 패턴을 포함할 수 있으며, 하나 이상의 피쳐의 이미지를 이 정합 서브 영역의 패턴과 실질적으로 정렬시켜서 형성하는 것이 바람직하다. 이 경우에, 수용체 소자(18)는 정합 영역(47)(큰 점선으로 개략적으로 도시되어 있음)을 포함한다. 이 경우에, 정합 영역(47)은 매트릭스(20)를 포함한다. 매트릭스(20)는 정합 서브 영역의 패턴의 예이다. 수용체 소자(18) 상에 매트릭스(20)를 형성하는데 레이저 유도 열 전사 처리가 사용될 수도 있지만, 매트릭스(20)는 전형적으로 리소그래피 기법으로 형성된다.
공여체 소자(24)는, 이미징 헤드(26)가 방사한 이미징 빔이 공여체 소자(24)에 스캐닝될 때, 이미지에 맞춰서 수용체 소자(18) 상에 전사될 수 있는 이미지-형성 물질(도시 생략)을 포함한다. 필터(10)의 적색, 녹색 및 청색 부분은 개별적인 이미징 단계에서 일반적으로 이미징되며, 각각의 이미징 단계는 이미징될 컬러에 맞는 다른 컬러의 공여체 소자를 이용한다. 필터의 적색, 녹색 및 청색 피쳐가 일반적으로 수용체 소자(18)로 전사되므로 컬러 피쳐를 대응하는 매트릭스 셀(34)과 실질적으로 정렬하게 된다. 대응하는 이미징 단계가 완료되면 각각의 공여체 소 자(24)는 제거된다. 컬러 피쳐가 전사된 후에, 이미징된 컬러 피쳐의 하나 이상의 물리적인 특성(예컨대, 경도)을 바꾸도록, 이미징된 컬러 필터는, 예컨대, 어닐링 처리와 같은 하나 이상의 추가 처리 단계를 거칠 수 있다.
종래의 레이저 기반 멀티 채널 이미징 처리에 의해 사용되는 조명 시스템의 예가 도 3에 개략적으로 도시되어 있다. 복수의 이미징 채널을 생성하는 데 공간 광 변조기 혹은 광 밸브가 사용된다. 도시된 예에서, 선형 광 밸브 어레이(100)는 반도체 기판(102) 상에 제조된 복수의 변형 거울(deformable mirror) 소자(101)를 포함한다. 미러 소자(101)는 개별적으로 어드레싱 가능하다. 미러 소자(101)는 예컨대, 변형 미러 마이크로 소자와 같은 MEMS 소자가 될 수 있다. 레이저(104)는 원통형 렌즈(108, 110)를 포함하는 아나몰픽 빔 확산기를 이용해서 광 밸브(100) 상에 조명 라인(106)을 생성할 수 있다. 조명 라인(106)은 복수의 소자(101)에 걸쳐서 측방향으로 확산함으로써 미러 소자(101) 각각이 조명 라인(106)의 일부에 의해 조사되게 된다. Gelbart의 미국 특허 제 5,517,359 호는 조명 라인을 형성하는 방법을 개시하고 있다.
소자(101)가 비가동 상태일 때는, 전형적으로 렌즈(112)는 레이저 조명의 촛점을 개구 차단부(116) 내의 개구부(114)에 맞춘다. 가동된 소자로부터의 광은 개구 차단부(116)에 의해 차단된다. 렌즈(118)는 광 밸브(100)를 이미징해서 이미지에 맞게 변조된 복수의 빔(120) 각각을 형성하고, 이 빔이 기판 영역 상에 스캐닝되어서 이미징된 스와스를 형성할 수 있다. 각각의 빔은 소자(101) 중 하나에 의해 제어된다. 각각의 소자(101)는 멀티 채널 이미징 헤드의 채널을 제어한다.
각각의 빔은 대응하는 소자(101)의 구동 상태에 따라서 이미징된 수용체 소자 상에 "이미지 픽셀"을 이미징하도록, 혹은 이미징하지 않도록 동작할 수 있다. 즉, 픽셀을, 이미지 데이터에 따라 이미징해야 하는 경우에는, 주어진 소자(101)는, 기판 상에 픽셀 이미지를 전달하기에 적합한 활성 강도 레벨을 가진 대응하는 빔을 생성하도록 구동된다. 픽셀을, 이미지 데이터에 따라 이미징할 필요가 없는 경우에는, 주어진 소자(101)는 이미징 빔을 생성하지 않도록 구동된다. 이하 사용되는 바와 같이, 조립된 디스플레이 장치 상에 이미지의 일부가 표시되는 것에 관해서는 워드 픽셀을 사용하는 경우와는 구별되도록, 픽셀은 기판 상의 이미지의 하나의 요소를 의미한다. 예컨대, 본 발명이 컬러 디스플레이용 필터를 생성하는데 사용되는 경우에는, 본 발명에 의해 생성된 픽셀은 인접 픽셀과 결합되어서, 디스플레이 장치에 표시되는 이미지의 하나의 픽셀(피쳐라고도 함)을 형성할 것이다.
도 2는 복수의 적색 스트라이프(30)가 레이저 유도 열 전사 처리를 통해서 종래의 방식으로 패터닝된 컬러 필터 수용체 소자(18)의 일부를 도시하고 있다. 도 2는 이미징 채널(40)과, 점선(41)과 같이 전사된 패턴과의 사이의 대응 관계를 도시하고 있다. 스트라이프(30)와 같은 피쳐의 크기는 일반적으로 이미징 채널(40)에 의해 이미징되는 픽셀의 폭보다 크다. 이미징 헤드(26)에 의해 생성되는 이미징 빔은, 기록될 피쳐의 패턴을 나타내는 이미지 데이터에 따라서 이미지에 맞게 변조되어서 수용체 소자(18) 상에 스캐닝된다. 피쳐를 형성할 필요가 있는 곳에서, 채널의 그룹(48)은 활성 강도 레벨을 가진 이미징 빔을 생성하기에 적절하게 구동된다. 피쳐에 대응하지 않는 채널(40)은 대응 영역을 이미징하지 않도록 구동 된다. 채널 그룹(48)이 가동되어 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 피쳐를 형성하는데 사용되는 스캐닝 이미징 라인(49)을 형성한다.
이미징 헤드(26)의 채널(40)이 이미지 데이터에 응답해서 이미지 스와스를 생성하도록 제어되는 동안에, 수용체 소자(18), 이미징 헤드(26) 혹은 이들의 조합이 서로에 대해 상대적으로 이동된다. 어떤 경우에는, 이미징 헤드(26)는 정지되어 있고, 수용체 소자(18)가 이동된다. 다른 경우에는 수용체 소자(18)는 정지되어 있고, 이미징 헤드(26)가 이동된다. 또 다른 경우에는, 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18)가 모두 이동된다.
이미징 헤드(26)의 채널(40)은 첫번째 채널(46)에 의해 이미징된 첫번째 픽셀과 마지막 채널(45)에 의해 이미징된 마지막 픽셀 사이의 거리와 관련된 폭을 가진 이미지 스와스를 이미징할 수 있다. 수용체 소자(18)는 하나의 이미지 스와스 내로 이미징되기에는 너무 클 수 있다. 따라서, 수용체 소자(18) 상에 이미지를 완성하기 위해서는 전형적으로 이미징 헤드(26)의 멀티 스캔이 요구된다.
메인-스캔 축(42)에 따른 각각의 스와스의 이미징이 완료된 이후에, 서브-스캔 축(44)을 따라서 이미징 헤드(26)가 이동할 수 있다. 이와는 달리, 드럼 타입의 이미저를 사용하는 경우에, 메인-스캔 축(42)과 서브-스캔 축(44) 모두를 따라서 이미징 헤드(26)가 상대적으로 이동해서, 스와스가 드럼 상에서 나선형으로 연장하는 이미지를 기록할 수도 있다. 도 2에서, 메인-스캔 축(42)과 정렬된 경로를 따라서 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이의 상대적인 이동이 제공될 수 있다. 도 2에서, 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이의 상대적인 이동은, 서브 -스캔 축(44)과 정렬된 경로를 따라서 제공될 수 있다.
이미징 헤드(26)를 수용체 소자(18) 상에서 이동시키는데, 임의의 적절한 메커니즘이 적용될 수 있다. 비교적 단단한 수용체 소자(18)를 이미징하는데는 전형적으로 플랫 베드 이미저(flat bed imager)가 사용되고, 이는 디스플레이 패널 제조에 일반적인 것이다. 플랫 베드 이미저는 플랫 배향으로 수용체 소자(18)를 고정하는 지지부를 갖고 있다. Gelbart의 미국 특허 제 6,957,773 호는 디스플레이 패널 이미징에 적합한 고속 플랫 베드 이미저를 개시하고 있다. 다른 방안으로, 가요성 수용체 소자(18)가 "드럼-타입" 지지부의 외부 표면 혹은 내부 표면에 고정되어서 이미지 스와스의 이미징을 수행한다.
도 2에서, 정합 영역(47) 및 관련 매트릭스(20)는 서브-스캔 축(44)에 대해서 어긋나 있다. 정합 영역(47) 및 관련 매트릭스(20)는 채널(40)의 어레이의 축(50)에 대해서 어긋나 있다. 정합 영역(47) 및 관련 매트릭스(20)는 이미징 라인(49)에 대해서 어긋나 있다. 이미징 헤드(26)가 이미징 빔의 방향을 스캔 경로와 맞추는 방식으로, 수용체 소자(18)와 이미징 헤드(26) 사이의 상대적인 이동을 제어함으로써, 어긋난 피쳐 혹은 어긋난 에지를 가진 피쳐가 이미징되었다. 이 경우에, 어긋남 양에 따라서 서브-스캔 움직임이 메인-스캔 움직임과 조합된다(coordinated). 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이에 메인-스캔 움직임이 제공됨에 따라서, 동기화된 서브-스캔 움직임이 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이에도 제공되어서 움직임을 생성하고, 이를 조합형 움직임이라고도 한다. 전형적으로, 형성되는 이미지와는 무관하게, 각각의 회전 동안의 서브-스캔의 움직임 양이 정의되는 나선 방식으로 이미지 스와스가 이미징되는 드럼-기반 이미징 방법과는 달리, 조합형 움직임 기법이 사용되는 경우에는, 각각의 스캔 동안의 서브-움직임의 양은 형성되는 이미지에 따라 달라진다. 조합형 움직임은 스캔 경로를 피쳐 배향과 정렬시키는데 사용될 수 있다. 예컨대, 이미징 헤드(26)가 서브-스캔 축(44)과 정렬된 제 1 경로를 따라서 이동하는 반면, 수용체 소자(18)는 메인-스캔 축(42)과 정렬된 제 2 경로를 따라서 동기하여 이동된다. 제 1 및 제 2 경로를 따르는 이동은, 다양한 스캔 경로를 이미징될 피쳐의 배향과 정렬시키도록 제어된다. 조합형 움직임은 실질적으로 부드럽고 연속적인 에지를 갖는 피쳐를 형성하는데 사용될 수 있으며, 이는 일부 요구되는 애플리케이션에서는, 피처의 패턴과 정합 서브-영역과의 정렬을 용이하게 하는데 사용될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 적색 스트라이프(30)의 일부는 메인-스캔 축(42)과 정렬된 방향을 따라서 매트릭스(20)의 일부와 완전하게 중첩하고 있고, 서브-스캔 축(44)과 정렬된 방향을 따라서 매트릭스(20)의 다른 부분과 부분적으로 중첩하고 있다. 매트릭스(20)와 중첩함으로써 적색 스트라이프(30)가 매트릭스(20)와 정합되어야 하는 정밀도를 줄일 수 있다. 매트릭스(20)를 중첩시킴으로써 컬러 필터(10)의 품질에 악영향을 미칠 수 있는, 소자간의 백라이팅 효과도 줄일 수 있다.
도 4a는 복수의 스트라이프 피쳐(70)를 포함하는 컬러 필터(10)의 일부를 도시하고 있다. 분명하게 하기 위해서, 적색 스트라이프 컬러 피처만이 도시되었다. 당업자라면 다른 컬러 피쳐가 형성될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 피쳐(70)는 축(50)에 대해서 다양한 각도를 갖는 부분들을 포함한다. 스트라이프 피쳐(70)는 이미징 헤드를 이용하는 이미징 프로세스에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우에, 바람직한 이미징 프로세스는, 개별적으로 어드레싱 가능한 채널(40)의 채널 어레이(43)를 포함하는 이미징 헤드(26)를 포함한다. 이 경우, 이미징 헤드(26)는 공여체 소자(24)를 이미징해서 이미지 형성 물질(도시 생략)을 전사함으로써, 수용체 소자(18) 상에 지그재그 형상의 스트라이프 피쳐(70)를 형성하도록 제어될 것이다. 전사된 스트라이프 피쳐(70)에 대응하는 영역에서, 셰브론 형상을 포함하는 컬러 필터 피쳐의 윤곽이 매트릭스(20a)에 의해 형성된다.
이미지 형성 물질이 수용체 소자(18)에 전사되어서 각각 스트라이프 피쳐(70)의 다양한 각도를 갖는 부분을 형성한다. 이미징 처리 동안 종래의 조합형 움직임 기법을 이용해서 스트라이프 피쳐(70)를 형성할 수 있지만, 이 기법은 이미징 처리의 생산성을 감소시킬 수 있다. 지그재그 스트라이프 피쳐(70)와 같은 피쳐를 이미징하는 동안 사용되는 조합형 움직임 기법은 왕복 형태의 움직임을 필요로 할 것이다. 예컨대, 이미징 헤드(26)가 메인-스캔 축(42)을 따라서 수용체 소자(18)에 상대적으로 이동될 때, 이미징 헤드(26)가 수용체 소자(18)와 동기되어서 지그재그 형상의 피쳐 대로 서브-스캔 축(44)을 따라서 왕복할 필요가 있다. 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이에서 요구되는 서브-스캔과 메인-스캔의 상대적인 움직임을 성립시키기 위해서 사용되는 이동 메커니즘에서는, 각각의 스트라이프 피쳐(70)의 다양한 모서리(예컨대, 모서리부(55)) 주변을 이동할 때 필요한 높은, 감속력/가속력을 처리할 필요가 있다. 이러한 상황을 나타내기 위해서 이하의 식이 사용될 수 있다.
Vsubscan=Vmainscan*sinθ, 여기서
Vsubscan은 조합형 움직임의 상대적인 서브-스캔 속도이고,
Vmainscan은 조합형 움직임의 메인-스캔 속도이며,
θ는 피쳐 부분의 경사도를 나타내는 각도이다.
t=Vsubscan/Asubscan, 여기서
t는 서브-스캔 움직임이 왕복하는 한 지점(예컨대, 모서리부(55))에서 Vsubscan을 제로로 감소시키는데 필요한 시간이고,
Asubscan은 왕복 지점에서 Vsubscan과 제로 속도 사이의 변화를 성립시키는데 필요한 가속 및 감속이며,
d=Vmainscan*t, 여기서
d는 시간 t 동안 메인-스캔 방향으로 이동하는 거리이다.
식 (1), (2) 및 (3)을 조합함으로써, 거리 d는 다음과 같이 표현될 수 있다.
d=(Vmainscan2*sinθ/Asubscan
Vmainscan=1m/sec, 감속 a=5m/sec2 및 각 θ=15도인 전형적인 상태에서, 왕복 지점까지 도달하기까지 거리 d=51.7㎜가 필요하다. 다양한 각도의 피쳐 부분을 가진 피쳐와 관련된 일부 요구되는 애플리케이션에서, 왕복 방식의 조합형 움직임은 실용적이지 않을 것이다. 예컨대, 컬러 필터 애플리케이션에서, 셰브론 형상 컬러 피쳐는 길이가 수백 미크론 이하인 경사부를 포함한다. 이러한 작은 피쳐를 이미징하는 경우에는 밀리미터 단위의 가속/감속 거리 d는 적합하지 않을 것이다.
어긋난 피쳐 혹은 어긋난 에지를 가진 피쳐를 이미징하는데 사용될 수 있는 다른 방법은, 어긋남 양을 반영한 이미지 데이터를 제공하거나 이미지 데이터를 수정하는 것을 포함한다. 조합형 움직임 기법을 사용하는 이미징 방법과는 달리, 이 기법은 불연속 혹은 중단된 형태의 에지를 갖는 피쳐를 형성할 수 있다. 예컨대, 이미징 헤드(26)의 채널(40)은, 도 4b에 도시된 바와 같이, 계단 형상으로 이미지 픽셀을 전사하도록 동작될 수 있다. 도 4b는 컬러 필터 매트릭스 라인부(60)와 중첩하는 스트라이프 피쳐(70)의 일부를 확대하여 도시하고 있다. 이 경우에, 계단 형상 에지를 갖고 형성된 스트라이프 피쳐(70)를 형성하는데, 조합형 움직임은 사용되지 않는다. 이런 식으로, 각각의 모서리부(55)의 형성을 포함해서, 각각의 피쳐가 개략적으로 형성될 수 있다.
어긋난 피쳐, 혹은 어긋난 에지를 가진 피쳐가 계단 형상 에지와 함께 형성될 때, 문제가 발생할 수 있다. 예컨대, 열 전사 처리에서, 수용체 소자(18)로부터 공여체 소자(24)를 벗겨낼 때, 계단 형상 에지를 따라서 다양한 응력 도출부(stress riser)가 생길 수 있다. 이들 응력 도출부는 전사된 이미지 형성 물질의 일부를 제거하는 바람직하지 않은 현상을 유발할 수 있다. 응력 도출부는 불연속 에지 부분이 형성되게 해서 형성된 이미지의 시각적인 품질을 저하시킬 수 있다. 이들 영역 중 하나 이상이 정합 서브-영역의 패턴과 실질적으로 정렬된 상태로 형성될 때에도 문제가 발생할 수 있다. 예컨대, 컬러 필터 애플리케이션에서, 각각의 컬러 피쳐는 컬러 필터 매트릭스 셀의 패턴에 속하는 셀과 실질적으로 정렬 되어서 형성되어야 한다.
매트릭스(20)의 중첩 부분은 컬러 피쳐가 매트릭스 셀의 패턴과 정렬되어야 하는 정밀도를 줄이는 것을 도울 수 있다. 그러나, 매트릭스가 중첩될 수 있는 범위에는 한계가 있다. 사용되는 이미징 처리에 따라서 중첩 가능한 정도가 달라질 수 있다. 예컨대, 레이저 유도 열 전사 처리로 생성된 이미지의 시각적인 품질은 전형적으로 공여체 소자(24)로부터 수용체 소자(18)로 전사되는 이미지 형성 물질의 양에 민감하다. 전사되는 이미지 형성 물질의 양은 전형적으로 공여체 소자(24)와 수용체 소자(18) 사이의 간격에 민감하다. 인접하는 서로 다른 컬러의 피쳐가 매트릭스(20)의 일부 위에서 서로 중첩되어 있으면, 후속하는 추가 공여체 소자의 이미징 시에 공여체 소자-수용체 소자의 간격이 더 달라질 수 있고, 이는 추가 공여체 소자를 이용해서 이미징되는 피쳐의 시각적인 품질에 영향을 미칠 수 있다. 그러므로, 인접하는 서로 다른 컬러의 피쳐는 매트릭스 부분 상에서 서로 중첩하지 않는 것이 바람직하다. 이러한 요구 조건 때문에, 반복 컬러 피쳐의 패턴과 매트릭스 셀의 반복 패턴 사이에 요구되는 정렬은 더 엄격해진다.
도 5a는 경사진 매트릭스 부분(60) 내의 2개의 이미징된 피쳐(62, 64)를 도시하고 있다. 피쳐(62, 64)는 이미징 빔을 이용해서 수용체 소자(18)를 스캐닝함으로써 형성되었다. 실질적으로 부드럽고 연속적인 에지를 갖고 있고, 매트릭스 부분(60) 상에 중첩하는 양이 실질적으로 동일한 피쳐(62, 64)를 형성하는데 조합형 움직임 기법이 사용되었다. 서로 중첩되지 않으면서, 매트릭스 부분(60)과 정렬되도록 컬러 필터 피쳐를 이미징할 때에는 다양한 요소들이 고려되어야 한다. 예컨대, 피쳐(62, 64) 각각이 특정 양만큼 매트릭스 부분(60)과 중첩되어서 형성됨으로써, 필요한 컬러 필터 품질 특성을 달성한다. 이 경우, 각각의 피쳐(62, 64)는 최소 요구 중첩(MRO:a minimum required overlap) 거리만큼 매트릭스 부분(60)과 중첩될 필요가 있다. 거리 MRO는 다양한 요소에 따라서 달라질 수 있다. 이러한 요소 중 하나는 피쳐(62, 64)를 이미징하는데 사용되는 이미징 시스템의 플로터의 정확성이다. 플로터의 정확성은, 이미징 처리 동안의 이미징 헤드(26)의 위치와 관련된 기계적인 반복 가능성, 이미징 빔 드리프트 및 형성되는 이미지의 에지 거칠기의 영향을 받을 수 있다. 다른 요인은 수용체 소자(18) 상에 형성되는 매트릭스 부분(60)의 수용체 소자(18)에 대한 위치의 변화를 나타내는 매트릭스 반복 가능성이다. 다른 요인은 다양한 이슈(예컨대, 어닐링 처리 동안의 피쳐의 축소)마다 요구되는 최소 요구 중첩의 절대값을 포함한다. 거리 MRO는 다른 요인에 따라서 달라질 수도 있다.
이 경우에, 각각의 피쳐(60, 62)는 최소 갭(MG)만큼 서로 이격되어 있다. 거리 MG는 전형적으로 각각의 피쳐(60, 62)의 이미징과 관련된 이미징 반복 가능성에 따라 좌우된다.
다른 요인은 이미징 헤드(26)의 어드레싱 가능성 A를 포함할 수 있다. 이미징되는 각각의 피쳐(60, 62)의 크기를 제어할 수 있는지는 픽셀 크기에 따라 달라진다. 예컨대, 각각의 피쳐(60, 62)의 크기를 한 픽셀씩 효율적으로 변경한다는 것은, 각각의 피쳐의 에지의 위치가 매트릭스 부분(60)의 대응하는 에지에 대해서 절반 픽셀만큼 변경한다는 것을 의미한다. 각각의 피쳐를 이미징할 때, 최소 갭(MG)과 최소 요구 중첩(MRO) 사이에 절반 픽셀의 여분이 필요하다. 따라서, 피쳐(62, 64)를 이미징할 때 요구되는 매트릭스 부분(60)의 최소 폭(W)은 다음 식에 의해서 산출될 수 있다.
폭(W)=어드레싱 가능성(A)+2×최소 요구 중첩(MRO)+최소 갭(MG)
일부 애플리케이션에서, 이미징 헤드는 5미크론 정도로 낮은 어드레싱 가능성(A)을 갖는다. 전형적인 최소 요구 중첩(MRO)은 대략 4미크론으로 산출될 수 있고, 반면에 전형적인 최소 갭(MG)은 약 5미크론으로 산출될 수 있다. 이들 전형적인 레벨을 이용해서, 최소 크기(W)는 약 18미크론으로 산출될 수 있다. 일부 종래의 컬러 필터는 20 내지 24 미크론의 매트릭스 라인 폭을 갖는다. 이러한 종래의 값보다 작은 매트릭스 라인 폭을 갖는 컬러 필터를 생성하는 것이 바람직하다. 도 5a는 매트릭스 부분이 MRO 및 MG 요구 조건에 맞는 적절한 크기의 폭(W)을 갖고 있는 것을 도시하고 있다. 이 경우에, W, MRO 및 MG는 서브-스캔 축(44)을 기준으로 하고 있다.
도 5b는 2개의 피쳐(66, 68)를 경사진 매트릭스 부분(60)과 함께 도시하고 있다. 피쳐(66, 68)는 이미징 빔을 이용해서 수용체 소자(18)를 스캐닝함으로써 형성되었다. 피쳐(66, 68)는 조합형 움직임 기법을 이용해서 형성된 것은 아니다. 피쳐(66, 68)에는 계단 형상 타입의 에지가 형성되었다. 이러한 이미징은 에지에 요구되는 어긋남 양을 근사화한 이미지 데이터를 이용해서 수행될 수 있다. 이러한 '계단 형상' 이미징 기법이 어긋난 피쳐, 혹은 셰브론 형상 피쳐를 포함한 어긋난 에지를 가진 피쳐를 개략적으로 형성하는데 이용될 수 있지만, 특히 이들 피쳐 가 복수의 정합 서브-영역과 실질적으로 정렬되어서 형성되어야 하는 경우에는, 문제가 발생할 수 있다.
이러한 문제의 일례가 도 5b에 도시되어 있다. 각각의 피쳐(66, 68)의 계단 형상 이미징을 통해서 스텝화된 에지를 생성하며, 여기서 각각의 스텝은 이미징 헤드(26)의 어드레싱 가능성 A의 배수와 같은 런(run)(즉, 런은 서브-스캔 축(44)과 정렬되어 있다)을 갖는다. 각각의 스텝의 크기를 제어할 수 있는지 여부는 픽셀 크기에 따라서 달라진다. 따라서 에지의 스테거 형상 부분의 위치는 픽셀 크기의 배수만큼씩 더 변경된다. 최소 중첩 요구량(MRO)과 최소 갭 요구량(MG)에 영향을 미치지 않기 위해서, 매트릭스 부분(60)의 최소 크기는 어드레싱 가능성과 거의 같은 양만큼 증가되어야 한다(예컨대, Wadj≒W+A). 어드레싱 가능성 값이 5미크론 정도로 낮은 경우에도, 최소 매트릭스 부분의 크기는 전술한 전형적인 값의 경우에, 23 미크론까지 증가된다(즉, 18미크론+5미크론의 어드레싱 가능성). 이는 컬러 필터 매트릭스 라인의 크기를 줄인다는 요구와는 맞지 않는다. 도 5b에서, W, MRO 및 MG는 서브-스캔 축(44)을 기준으로 하고 있다.
도 4a를 다시 참조하면, 지그재그 스트라이프 피쳐(70)의 패턴을 정합 영역(47)과 실질적으로 정렬시켜서 형성하는 것이 바람직하다. 각각의 스트라이프 피쳐(70)는, 제 1 경사를 갖는 제 1 부분(71)과 제 2 경사를 갖는 제 2 부분(72)을 포함한다. 이 경우, 제 1 경사는 제 2 경사와는 다르다. 이 경우에, 제 1 및 제 2 부분(71, 72)은 일련의 셰브론 형상 부분을 형성하도록 정렬된다. 각각의 셰브론 형상 부분은 정합 영역(47)의 정합 서브-영역의 패턴과 실질적으로 정렬되어서 형성되어야 한다. 이 경우, 정합 서브-영역의 패턴은, 스트라이프 피쳐(70) 각각의 윤곽을 복수의 피쳐(75)로 만드는 셰브론 형상 매트릭스 셀(34A)의 패턴으로 이루어진 컬러 필터 매트릭스(20A)를 포함할 수 있다. 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72)은 채널 어레이(43)의 축(50)에 대해서 경사져 있다. 수용체 소자(18)를 스캐닝할 때, 각각의 채널(40)은 이미징 라인(49)을 형성하도록 제어될 수 있다. 이 경우, 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72)은 이미징 라인(49)에 대해 경사져 있다. 이 경우에, 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72)은 서브-스캔 축(44)에 대해서 경사져 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에서 사용되는 장치(80)를 개략적으로 도시하고 있다. 장치(80)는 수용체 소자(18) 상에 이미지를 형성하도록 동작할 수 있다. 본 발명의 이 실시예에서, 수용체 소자(18)를 스캐닝하는 동안 이미징 헤드(26)를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 수용체 소자(18) 상에 이미지가 형성된다. 장치(80)는 메인-스캔 축(42)과 정렬된 경로를 따라서 수용체 소자(18)를 전달하도록 동작할 수 있는 반송부(52)를 포함한다. 반송부(52)는 왕복 방식으로 이동할 수 있다. 본 발명의 이 실시예에서, 반송부는 전방 방향(42A) 및 후방 방향(42B)을 따라서 이동할 수 있다. 이미징 헤드(26)는 반송부(52)에 걸쳐 있는 지지부(53) 상에 배치된다. 이미징 헤드(26)는 서브-스캔 방향(44)과 정렬된 경로를 따라서 이동하도록 제어된다. 본 발명의 실시예에서, 이미징 헤드(26)는 지지부(53)를 따라서 왕복하도록 제어될 수 있다. 이미징 헤드(26)는 멀어지는 방향(44A) 및 가까워지는 방향(44B)을 따라서 이동할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 레이저 유도 열 전사 처리가 사용된다. 이미징 헤드(26)는 복수의 이미징 빔으로 매체를 스캔해서, 이미지 형성 물질(도시 생략)을 공여체 소자(24)로부터 수용체 소자(18)로 전사하도록 제어된다. 이미징 전자 제품이 이미징 채널(40)의 가동 타이밍을 제어해서 이미징 빔의 방사를 균일하게 한다. 모션 시스템(59)(하나 이상의 모션 시스템을 포함할 수 있음)은 임의의 적절한 주요 이동부, 전송 부재 및/또는 가이드 부재를 갖고, 반송부(52)의 움직임을 야기한다. 본 발명의 실시예에서, 모션 시스템(59)은 이미징 헤드(26)의 움직임을 제어하고, 반송부(52)의 움직임을 제어한다. 당업자라면, 장치(80) 내의 다른 시스템을 동작시키는데 개별적인 모션 시스템이 이용될 수도 있다는 것을 쉽게 이해할 것이다.
반송부(52) 및 이미징 헤드(26)에 의해 이용되는 다양한 모션 시스템(59)을 포함하는(이에 한정되는 것은 아님), 장치(50)의 하나 이상의 시스템을 제어하기 위해서, 제어부(60)가 이용되며, 이 제어부(60)는 하나 이상의 제어부를 포함할 수 있다. 제어부(60)는 수용체 소자(18) 및 공여체 소자(24)의 로딩 및/또는 언로딩을 개시할 수 있는 매체 핸들링 매커니즘을 제어할 수도 있다. 제어부(60)는 이미징 헤드(26)에 이미지 데이터(240)를 제공해서, 이 데이터에 따라서 이미징 빔을 방사하도록 이미징 헤드(26)를 제어할 수 있다. 다양한 제어 신호 이용해서/이용하거나 다양한 방법을 구현함으로써 다양한 시스템이 제어될 수 있다. 제어부(60)는 적절한 소프트웨어를 구동하도록 구성될 수도 있고, 또한 액세스 가능한 메모리, 논리 회로, 드라이버, 증폭기, A/D 및 D/A 컨버터, 입출력 포트 등을 포함하 는(이에 한정되는 것은 아님) 적절한 하드웨어와 함께 하나 이상의 프로세서를 포함할 수도 있다. 제어부(60)는 마이크로프로세서, 컴퓨터-온-칩, 컴퓨터의 CPU 혹은 임의의 다른 적절한 마이크로컨트롤러를 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 제어부(60)는 물질 핸들링 시스템과 관련될 수 있지만, 노출 시스템의 동작을 제어하는 제어부와 반드시 같은 것은 아니다.
장치(80)는 정합 서브 영역의 패턴과 실질적으로 정렬시켜서 이미지를 형성한다. 본 발명의 실시예에서, 장치(80)는 다양한 컬러 필터 패턴을 형성한다. 단독의 혹은 결합된, 각각의 컬러 필터 피쳐 패턴의 시각적인 품질은, 형성되는 피쳐와 정합 서브 영역의 패턴 사이의 최종 정렬에 의존한다. 본 발명의 실시예에서, 시각적인 품질은 이미징된 컬러 피쳐와 매트릭스(20A)의 정합에 의존한다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따라서, 도 4a에 도시된 스트라이프 피쳐(70)와 같은 피쳐의 패턴을 이미징하는 흐름도를 도시하고 있다. 도 7의 흐름도가 도 6에 개략적으로 도시된 장치(80)를 기준으로 하고 있지만, 설명되는 처리에 따라서는 다른 장치도 적합하다는 것을 이해할 것이다. 단계(300)에서 이미지 데이터(240A, 240B)를 생성하는 것부터 처리가 시작된다. 스트라이프 피쳐(70)의 패턴을 나타내는 이미지 데이터(240)는 이미지 데이터(240A, 240B)로 나누어질 수 있다. 이미지 데이터(240A)는 각각의 스트라이프 피쳐(70)의 제 1 부분(71)을 나타내고, 이미지 데이터(240B)는 각각의 스트라이프 피쳐(70)의 제 2 부분(72)을 나타낸다. 피쳐는 2개 이상의 부분을 포함할 수 있고, 각각의 부분은 대응 이미지 데이터와 관련될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 이미지 데이터(240A, 240B)가 이미징 헤드(26)에 제공되어서 각각 제 1 및 제 2 부분(71, 72)을 형성한다. 본 발명의 일부 실시예에서, 이미지 데이터(240A, 240B) 각각은 이미징 헤드(26)에 전체적으로 혹은 부분적으로 제공될 수 있다. 예컨대, 각각의 이미지 데이터(240A, 240B)가 이미징 헤드(26)에 제공되거나 이미징 헤드(26)에 의해 사용되는데, 각각의 크기는, 수용체 소자(18)를 한 번 스캔하는 동안 이미지의 일부를 형성하는 데 필요한 데이터의 양으로 한정된다. 충분한 양의 이미지 데이터(240A)가 이미징 헤드(26)에 제공되어서, 수용체 소자(18)를 첫번째 스캔하는 동안 제 1 이미지 스와스를 이미징하고, 충분한 양의 이미지 데이터(240B)가 이미징 헤드(26)에 제공되어서 수용체 소자(18)를 두번째 스캔하는 동안 두번째 이미지 스와스를 이미징한다. 이미지 데이터(240)는 수용체 소자(18)를 각각 스캔하는 동안, 이미징 헤드(26)의 이미지 데이터 요구 조건에 일치하는 데이터의 밴드로 버퍼링될 수 있다. 본 발명의 일부 실시예에서, 이미지 데이터(240)는 이미징 이전에 나누어진다. 본 발명의 일부 실시예에서, 이미지 데이터(240)는 이미징 동안 나누어진다. 본 발명의 일부 실시예에서, 이미지 데이터(240)는 나누어진 형태로 제어부(60)에 제공된다.
단계 310에서, 이미징 헤드(26)는 수용체 소자(18)를 한번 이상 스캔하는 동안, 제 1 부분(71)의 일부 혹은 전부를 형성한다. 수용체 소자(18) 상에 제 1 부분(71)을 형성하는 것이 도 8a에 개략적으로 도시되어 있다. 제어부(60)는 이미징 헤드(26)를 제어해서 이미징 빔의 방향이 제 1 스캔 경로를 따르게 함으로써 수용체 소자(18) 상에 부분(71)을 형성한다. 본 발명의 실시예에서, 제 1 스캔 경로는 제 1 부분(71)과 정렬된다. 제 1 부분(71)은 제 1 스캔 경로와 평행하게 될 수 있 다. 본 발명의 실시예에서, 제 1 스캔 경로는 제 1 부분(71)의 적어도 하나의 에지(예컨대, 에지(73))와 정렬된다. 제 1 부분(71)의 적어도 하나의 에지는 제 1 스캔 경로와 평행하게 될 수 있다.
제어부(60)는 모션 시스템(59)을 제어해서 이미징 헤드(26)의 제 1 조합형 움직임 경로를 형성한다. 도 8a를 참조하면, 이미징 헤드(26) 및 수용체 소자(18)는 제 1 부분(71)이 형성되는 각각의 스캔 동안 서로 동기화되어서 이동된다. 본 발명의 실시예에서, 서브-스캔 움직임은 메인 스캔 움직임과 조합된다. 제어부(60)는 서브-스캔 서보 타겟 위치가 실시간으로 메인-스캔 움직임에 직접 맞춰지도록 모션 시스템(59)을 제어함으로써 제 1 조합형 움직임을 성립시킨다. 메인-스캔 움직임이 성립됨에 따라, 방향을 가진 이미지 스와스를 생성하는데 필요한 동기식 서브-스캔 움직임이 형성된다. 제 1 조합형 움직임 경로와 정렬된 제 1 부분(71)을 형성하는데 조합형 움직임 기법이 사용될 수 있다. 제 1 부분(71)은 제 1 조합형 움직임 경로와 평행할 수 있다. 제 1 조합형 움직임 경로와 정렬된 적어도 하나의 에지를 가진 제 1 부분(71)을 형성하는데 조합형 움직임 기법이 사용될 수 있다. 제 1 부분(71)의 적어도 하나의 에지는 제 1 조합형 움직임 경로와 평행할 수 있다. 부드럽고 연속적인 적어도 하나의 에지를 포함하는 제 1 부분(71)을 형성하는데 조합형 움직임 기법이 사용될 수 있다. 한번의 스캔 동안 복수의 제 1 부분(71)이 이미징되는 경우에, 이미징 헤드(26)는 서로 다른 제 1 부분(71)을 이미징할 때 서브-스캔 축(44)에 대한 서로 다른 위치를 취할 수도 있다. 서로 다른 제 1 부분(71)은 서로 다른 이미징 채널(40) 그룹에 의해서 이미징될 수 있다. 이 미징 헤드(26)는 스캔을 통해서 복수의 제 1 부분(71)을 이미징하는 스캔의 개시 위치에 적절하게 위치될 수 있다.
단계 320에서, 이미징 헤드(26)는 도 8b에 도시된 바와 같이, 수용체 소자(18)를 한번 이상 스캔하는 동안, 부분(72)의 일부 혹은 전체를 형성한다. 제어부(60)는 이미징 헤드(26)를 제어해서 이미징 빔의 방향이 제 2 스캔 경로를 따르게 함으로써 수용체 소자(18) 상에 제 2 부분(72)을 형성한다. 본 발명의 실시예에서, 제 2 스캔 경로는 제 2 부분(72)과 정렬된다. 제 2 부분(72)은 제 2 스캔 경로와 평행하게 될 수 있다. 본 발명의 실시예에서, 제 2 스캔 경로는 제 2 부분(72)의 적어도 하나의 에지(예컨대, 에지(75))와 정렬된다. 제 2 부분(72)의 적어도 하나의 에지는 제 2 스캔 경로와 평행하게 될 수 있다. 제 2 부분(72)을 형성하는 데 사용되는 제 2 스캔 경로는 제 1 부분(71)을 형성하는데 사용되는 제 1 스캔 경로와는 평행하지 않다. 일부 실시예에서, 스캐닝 시의 일시정지 혹은 중단을 통해서 제 1 스캔과 제 2 스캔 사이에 경계를 형성한다.
제어부(60)는 모션 시스템(59)을 제어해서 이미징 헤드(26)의 제 2 조합형 움직임 경로를 형성할 수 있다. 도 8b를 참조하면, 이미징 헤드(26) 및 수용체 소자(18)는 제 2 부분(72)이 형성되는 각각의 스캔 동안 서로 동기화되어서 이동된다. 본 발명의 실시예에서, 서브-스캔 움직임은 메인-스캔 움직임과 조합된다. 제어부(60)는 서브-스캔 서보 타겟 위치가 실시간으로 메인-스캔 움직임에 직접 맞춰지도록 모션 시스템(59)을 제어함으로써 제 2 조합형 움직임을 성립시킨다. 메인-스캔 움직임이 성립되면, 일정 방향으로의 이미지 스와스를 생성하는데 필요한 동기식 서브-스캔 움직임이 형성된다. 제 2 조합형 움직임 경로와 정렬된 제 2 부분(72)을 형성하는데 조합형 움직임 기법이 사용될 수 있다. 제 2 부분(72)은 제 2 조합형 움직임 경로와 평행할 수 있다. 제 2 조합형 움직임 경로와 정렬된 적어도 하나의 에지를 가진 제 2 부분(72)을 형성하는데 조합형 움직임 기법이 사용될 수 있다. 제 2 부분(72)의 적어도 하나의 에지는 제 2 조합형 움직임 경로와 평행할 수 있다. 부드럽고 연속적인 적어도 하나의 에지를 포함하는 제 2 부분(72)을 형성하는데 조합형 움직임 기법이 사용될 수 있다. 제 2 조합형 움직임 경로는 제 1 조합형 움직임 경로와는 다르다. 본 발명의 실시예에서, 제 2 조합형 움직임 경로와 제 1 조합형 움직임 경로는 서로 평행하지 않다. 한번의 스캔 동안 복수의 제 2 부분(72)이 이미징되는 경우에, 이미징 헤드(26)가 서로 다른 제 2 부분(72)을 이미징할 때, 서브-스캔 축(44)에 대한 서로 다른 위치를 취할 수 있다. 서로 다른 제 2 부분(72)은 서로 다른 이미징 채널(40) 그룹에 의해서 이미징될 수 있다. 이미징 헤드(26)는 스캔을 통해서 다수의 제 2 부분(72)을 이미징하는 스캔의 개시 위치에 적절하게 위치될 수 있다.
단계 330는 선택적인 단계이며, 따라서 점선으로 표시했다. 단계 330는 추가 피쳐 부분을 형성하는 것을 포함한다. 추가 피쳐 부분은 제 1 혹은 제 2 피쳐 부분(71, 72)과 같을 수도 있고, 다를 수도 있다.
본 발명의 일부 실시예에서, 이미징 헤드(26) 및 수용체 소자(18) 중 적어도 하나가 제 1 방향으로 이동함에 따라서, 제 1 부분(71)이 수용체 소자(18) 상에 형성되고, 이미징 헤드(26) 및 수용체 소자(18) 중 적어도 하나가 제 2 방향으로 이 동함에 따라서, 제 2 부분(72)이 수용체 소자(18) 상에 형성된다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 방향은 제 2 방향과 같지만, 본 발명의 다른 실시예에서, 제 1 방향은 제 2 방향과는 다르다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 방향은 제 2 방향과 평행하지 않다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 방향은 순방향이고, 제 2 방향은 역방향이다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72)이 각각 수용체 소자(18) 상에 형성될 때 수용체 소자(18)는 순방향 메인-스캔 방향(42A)으로 이동된다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72)이 각각 수용체 소자(18) 상에 형성될 때 수용체 소자(18)는 메인-스캔 방향(42B)과 반대로 이동된다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분(71)이 수용체 소자(18) 상에 형성될 때는 수용체 소자(18)는 순방향 메인-스캔 방향(42A)으로 이동되고, 제 2 부분(72)이 수용체 소자(18) 상에 형성될 때는 역방향(42B)으로 이동된다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72) 각각이 수용체 소자(18) 상에 형성될 때 이미징 헤드(26)는 멀어지는 방향(44A)으로 이동된다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72) 각각이 수용체 소자(18) 상에 형성될 때 이미징 헤드(26)는 가까워지는 방향(44B)으로 이동된다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분이 수용체 소자(18) 상에 형성될 때는 이미징 헤드(26)는 멀어지는 방향(44A)으로 이동되고, 제 2 부분(72)이 수용체 소자(18) 상에 형성될 때는 가까워지는 방향(44B)으로 이동된다.
본 발명의 일부 실시예에서, 이미징 헤드(26) 및 수용체 소자(18) 중 적어도 하나는 제 1 및 제 2 스캔 각각 동안 서로 다른 이동량만큼 이동한다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 스캔 경로를 따라 스캐닝하는 것은 제 1 방향으로 스캐닝하는 것을 포함하고, 제 2 스캔 경로를 따라 스캐닝하는 것은 제 2 방향을 따라 스캐닝하는 것을 포함한다. 이미지는, 제 1 방향에 따른 스캔 각각을 제 2 방향에 따른 스캔 각각과 번갈아서 수행하는 방식으로, 제 1 방향에 따른 스캐닝과 제 2 방향에 따른 스캐닝을 반복함으로써 형성될 수 있다.
도 8b에 도시된 바와 같이, 형성된 제 1 부분(71)은 형성된 제 2 부분(72)과 인접하는 관계로 형성된다. 본 발명의 다른 실시예에서, 형성된 제 1 부분(71)은 형성된 제 2 부분(72)과 중첩된다. 도 8c는 중첩된 제 1 및 제 2 부분(71, 72)의 예를 도시하고 있다. 이 예에서, 제 1 및 제 2 부분(71, 72)은 중첩된 부분(78)을 생성하도록 형성된다. 제 1 부분(71) 및 제 2 부분(72)을 중첩시킴으로써 이 두 부분 사이의 정합 에러를 줄일 수 있다. 당업자라면 다른 형태의 중첩이 사용될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분(71)이 제 2 부분(72)에 의해 덮여지게 되도록 이미지 데이터(240A, 240B)가 수정될 수 있다. 본 발명의 일부 실시예에서, 제 1 부분(71)을 형성하는 동안의 이미징 헤드(26)의 가동 타이밍은 제 2 부분(72)을 형성하는 동안의 이미징 헤드(26)의 가동 타이밍과는 다를 수 있다. 이미징 헤드(26)의 가동 타이밍은 제 2 부분(72)이 제 1 부분(72)과 중첩하도록 변화될 수 있다. 제 1 및 제 2 부분(71, 72) 각각은 복수의 정합 서브 영역과 일부 혹은 전체가 중첩되도록 형성될 수 있다. 복수의 정합 서브-영역이 정합 서브-영역의 패턴 혹은 정합 서브-영역의 반복 패턴을 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 정합 서브-영역의 패턴은 매트릭스를 포함할 수 있다.
피쳐(70)는 단지 예시의 목적으로, 지그재그 부분 혹은 셰브론 형상 부분을 포함하는 것으로 도시되어 있지만, 당업자라면 본 발명의 다양한 실시예에 따라서 다른 형상의 피쳐가 형성될 수도 있다는 것을 이해할 것이다.
이미징 헤드(26)는 개별적으로 어드레싱 가능한 채널을 가진, 임의의 적절한 멀티-채널 이미징 헤드를 포함할 수 있으며, 각각의 채널은 제어 가능한 강도 혹은 파워를 가진 이미징 빔을 생성할 수 있다. 이미징 헤드(26)는 이미징 채널의 1차원 어레이 혹은 2차원 어레이를 제공할 수 있다. 이미징 빔을 생성하기 위해서 임의의 적절한 메커니즘이 사용될 수 있다. 이미징 빔은 임의의 적절한 방식으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예는 적외선 레이저를 이용한다. 830㎚ 파장에서 약 50W의 전체 파워 출력을 가진 150㎛ 에미터를 이용하는 적외선 다이오드 레이저 어레이가 사용될 수 있다. 본 발명을 실시하는데 가시광 레이저를 포함한 다른 레이저가 사용될 수도 있다. 사용될 레이저원을 선택하는 것은 이미징될 매체의 특성에 따라 달라질 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예가, 이미지 형성 물질이 수용체 소자에 전사되는 레이저 유도 열 전사 처리를 기초로 설명되었다. 본 발명의 다른 실시예에서는 다른 이미징 방법 및 매체를 이용할 수도 있다. 이미지는, 본 발명의 범주를 벗어나지 않고 다른 방법으로 매체 상에 형성될 수 있다. 예컨대, 매체는 이미지 수정 가능한 표면을 포함할 수 있으며, 여기서 수정 가능한 표면의 특성 혹은 특징은, 이미 지를 형성하도록 이미징 빔이 조사될 때 변경된다. 이미징 빔은 매체의 표면을 용제해서 이미지를 형성하는데 사용될 수 있다. 당업자라면 다른 이미징 방법이 용이하게 사용될 수 있다는 것을 이해할 것이다.
제어부(60)는 프로그램 제품(67)을 이용해서, 장치(50)가 요구하는 다양한 기능을 수행할 수 있다. 이러한 기능 중 하나는 이미지 데이터(240)를 분리하는 것을 포함할 수 있다. 이러한 기능 중 하나는 피쳐의 제 1 부분(71)을 이미징하는 동안과, 피쳐의 제 2 부분(72)을 이미징하는 동안에, 이미징 헤드(26)의 가동 타이밍을 다르게 하는 것을 포함할 수 있다. 이러한 기능 중 하나는 피쳐의 제 1 부분이 피쳐의 제 2 부분(72)과 중첩되도록 이미지 데이터(240)를 수정하는 것을 포함할 수 있다. 이미징 헤드(26)가 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 1 스캔시에, 제 1 스캔 경로를 따라서 수용체 소자(18)를 스캐닝하는 동안 수용체 소자(18) 상에 이미지의 일부를 형성하게 하고, 이미징 헤드(26)가 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 2 스캔시에, 제 1 스캔 경로와는 평행하지 않은 제 2 스캔 경로를 따라서 수용체 소자(18) 상에 이미지의 추가 부분을 형성하게 하는데 프로그램 제품(67)이 사용될 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 이미징 헤드(26)가, 제 1 스캔시에 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이에 제 1 조합형 움직임 경로를 성립시키면서, 수용체 소자(18) 상에 이미지의 일부를 형성하게 하고, 제 2 스캔시에 이미징 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이에, 제 1 조합형 움직임 경로와는 평행하지 않은 제 2 조합형 움직임 경로를 성립시키면서, 수용체 소자(18) 상에 이미지의 추가 부분을 형성하게 하는데, 프로그램 제품(67)이 사용될 수 있다. 프로그램 제품(67)은, 컴퓨터 프로세서에 의해 수행될 때, 컴퓨터 프로세서로 하여금 여기서 설명된 방법을 수행하게 하는 인스트럭션을 포함하는 컴퓨터-판독가능 신호의 세트를 전달하는 임의의 매체를 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 프로그램 제품(67)은 예컨대, 플로피 디스켓 및 하드 디스크 드라이브를 포함하는 자기 저장 매체, CD ROM, DVD를 포함하는 광 데이터 저장 매체 및 ROM, 플래시 RAM을 포함하는 전자 데이터 저장 매체 등을 포함하는 물리적 매체를 포함할 수 있다. 인스트럭션은 매체 상에서 선택적으로 압축 및/또는 암호화될 수 있다.
피쳐(70)는 하프톤 스크리닝 데이터를 포함한 이미지 데이터(240)에 따라서 이미징될 수 있다. 하프톤 이미징시에, 피쳐는 엘리먼트가 알려진 하프톤 도트의 패턴을 포함한다. 하프톤 도트의 크기는 이미징되는 피쳐에 요구되는 휘도 혹은 암도(darkness)에 따라서 달라진다. 각각의 하프톤 도트는 이미징 헤드(26)에 의해 이미징되는 픽셀보다 크고 전형적으로 복수의 이미징 채널에 의해 이미징되는 픽셀의 매트릭스로 이루어진다. 하프톤 도트는, 전형적으로 단위 길이당 하프톤 도트의 수로 정의되는 선택된 스크린 규칙 및 전형적으로 하프톤 도트가 배향되는 각도에 의해 형성되는 선택된 스크린 각으로 이미징된다. 본 발명의 실시예에서, 피쳐(70)는, 이 피쳐를 이미징하도록 선택된 대응 하프톤 스크린 데이터에 따른 스크린 강도를 갖고 이미징될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서, 피쳐(70)는, 동일한 크기 도트의 다양한 공간 주파수로 이루어진 스토캐스틱 스크린(stochastic screen)을 이용해서 이미징될 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에서, 하프톤 스크린과 스토캐스틱 스크린이 결합 된 스크린(통상적으로 '하이브리드' 스크린이라고 함)을 이용해서 비-연속 피쳐가 이미징될 수 있다.
피쳐의 패턴이 디스플레이의 컬러 피쳐의 패턴을 기초로 설명되었다. 본 발명의 일부 실시예에서, 피쳐는 LCD 디스플레이의 일부가 될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에서, 피쳐는 유기 발광 다이오드(OLED) 디스플레이의 일부가 될 수 있다. OLED 디스플레이는 다른 구성을 포함할 수 있다. 예컨대, LCD 디스플레이와 유사한 방식으로, 다른 컬러 피쳐가 백색 OLED 소스와 관련되어 사용되는 컬러 필터 내에 형성될 수도 있다. 다른 방안으로, 디스플레이 내의 다른 컬러 조명원이 본 발명의 다양한 실시예에 따라서 다양한 OLED 물질로 형성될 수 있다. 이들 실시예에서, OLED 기반 조명원은 자체적으로 착색 광의 발광을 제어하지만, 이 때 반드시 수동형 컬러 필터를 필요로 하는 것은 아니다. OLED 물질은 적절한 매체로 전사될 수 있다. OLED 물질은 레이저 유도 열 전사 기법을 이용해서 수용체 소자로 전사될 수 있다.
본 발명이 디스플레이 및 전자 장치 제조의 애플리케이션을 예로 해서 설명되었지만, 여기 설명된 방법은 LOC(lab-on-a-chip) 제조를 위한 생물 의학적인 이미징에 사용되는 패턴을 포함한, 피쳐의 임의의 패턴을 이미징하는데도 직접 적용할 수 있다. LOC 장치는 피쳐의 여러가지 반복 패턴을 포함할 수 있다. 본 발명은, 의학, 인쇄 및 전자 기기 제조 기법과 같은 다른 기법에도 적용될 수 있다.
예시적인 실시예는 본 발명을 단지 예시적인 것으로, 위에 설명된 실시예의 많은 변형예가 본 발명의 범주를 벗어나지 않고 당업자에 의해서 고안될 수 있다는 것을 이해할 것이다.

Claims (56)

  1. 매체 상에 이미지를 형성하는 방법에 있어서,
    개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 어레이를 포함하는 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 1 스캔 동안, 제 1 스캔 경로를 따라서 상기 매체를 스캐닝하면서, 상기 매체 상에 상기 이미지의 제 1 부분을 형성하는 단계와,
    상기 이미징 헤드를 조작해서 상기 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 2 스캔 동안, 상기 제 1 스캔 경로와 평행하지 않은 제 2 스캔 경로를 따라서 수용체 소자를 스캐닝하면서, 상기 매체 상에 상기 이미지의 제 2 부분을 형성하는 단계
    를 포함하는 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 1 부분은 피쳐의 일부를 포함하고, 상기 피쳐의 상기 일부는 상기 제 1 스캔 경로와 평행한, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 1 부분은 피쳐의 일부를 포함하고, 상기 피쳐의 상기 일부의 적어도 하나의 에지는 상기 제 1 스캔 경로와 평행한, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 2 부분은 상기 피쳐의 추가 부분을 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 피쳐의 상기 추가 부분은 상기 제 2 스캔 경로와 평행한, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 피쳐의 상기 추가 부분의 적어도 하나의 에지는 상기 제 2 스캔 경로와 평행한, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 1 부분은 피쳐의 일부를 포함하고, 상기 이미지의 상기 제 2 부분은 상기 피쳐의 추가 부분을 포함하며,
    상기 피쳐의 상기 일부를 상기 피쳐의 상기 추가 부분과 중첩시키는 단계를 더 포함하는
    매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 스캔 중 적어도 하나 동안, 상기 이미징 헤드와 상기 매체 사이의 상대적인 움직임을 성립시키는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스캔 동안, 제 1 경로를 따라서, 상기 이미징 헤드와 상기 매체 사이의 상대적인 움직임을 성립시키는 단계와,
    상기 제 2 스캔 동안, 상기 제 1 경로와는 다른 제 2 경로를 따라서, 상기 이미징 헤드와 상기 매체 사이의 상대적인 움직임을 성립시키는 단계
    를 더 포함하는 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스캔 동안, 상기 매체와 상기 이미징 헤드 중 적어도 하나를 제 1 방향으로 이동시키는 단계와,
    상기 제 2 스캔 동안, 상기 매체와 상기 이미징 헤드 중 적어도 하나를 상기 제 1 방향과는 다른 제 2 방향으로 이동시키는 단계
    를 더 포함하는 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 방향은 상기 제 1 방향의 역방향인, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 방향은 순방향이고, 상기 제 2 방향은 역방향인, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 방향은 멀어지는 방향이고, 상기 제 2 방향은 가까워지는 방향인, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 매체와 상기 이미징 헤드 중 적어도 하나를 상기 제 1 및 제 2 스캔 각각 동안 서로 다른 이동량만큼 이동시키는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미징 헤드에 제공되는 이미지 데이터에 따라서 상기 이미징 헤드를 조작하는 단계와,
    상기 이미지 데이터를 상기 이미지의 상기 제 1 부분과 상기 이미지의 상기 제 2 부분에 대응하는 이미지 데이터 부분으로 나누는 단계
    를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  16. 제 7 항에 있어서,
    상기 이미징 헤드에 제공되는 이미지 데이터에 따라서 상기 이미징 헤드를 조작하는 단계와,
    상기 피쳐의 상기 일부를 상기 피쳐의 상기 추가 부분과 중첩시키도록, 상기 이미지 데이터를 수정하는 단계
    를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 매체는 복수의 정합 서브-영역을 포함하고,
    상기 이미지의 상기 제 1 부분을 제 1 정합(registration) 서브-영역과 실질적으로 정합시켜서 형성하도록 상기 제 1 스캔 경로를 정렬시키는 단계
    를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 매체는 하나 이상의 정합 서브-영역을 포함하고,
    메인 스캔 방향과 서브 스캔 방향 모두로의 상대적인 움직임을 발생시켜서, 상기 이미지의 상기 제 1 부분을 제 1 정합 서브-영역과 실질적으로 정합시켜서 형성하도록 상기 제 1 스캔 경로를 정렬시키는 단계
    를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 2 부분을 복수의 정합 서브-영역 중 하나와 실질적으로 정합시켜서 형성하도록 상기 제 2 스캔 경로를 정렬시키는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  20. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미지는 피쳐의 반복 패턴을 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 피쳐의 반복 패턴은 섬형상 피쳐의 반복 패턴을 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  22. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미지는 셰브론 형상(chevron shaped) 피쳐를 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  23. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미지는 피쳐를 포함하고, 상기 피쳐의 일부는 메인-스캔 방향에 대해서 어긋나 있는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  24. 제 1 항에 있어서,
    상기 매체는 정합 서브-영역의 패턴을 포함하고,
    상기 이미지는 피쳐의 하나 이상의 패턴을 포함하며,
    상기 피쳐의 하나 이상의 패턴을 상기 정합 서브-영역의 패턴과 정합시키는 단계
    를 더 포함하는 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 정합 서브-영역의 패턴은 매트릭스를 포함하고,
    상기 피쳐의 하나 이상의 패턴은 컬러 피쳐의 패턴을 포함하는
    매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 컬러 피쳐의 패턴은 컬러 필터의 일부를 형성하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  27. 제 25 항에 있어서,
    상기 컬러 피쳐의 패턴은 착색된 조명원의 패턴을 형성하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 착색된 조명원은 OLED 물질을 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  29. 제 25 항에 있어서,
    상기 피쳐의 하나 이상의 패턴은 컬러 피쳐의 복수의 패턴을 포함하고,
    상기 컬러 피쳐의 각각의 패턴은 주어진 컬러에 대응하며,
    상기 컬러 피쳐의 패턴 각각을 개별적으로 이미징하는 단계
    를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  30. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 1 부분과 상기 이미지의 상기 제 2 부분 중 적어도 하나를 레이저 유도 열 전사 처리(laser-induced thermal transfer process)로 형성하는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 레이저 유도 열 전사 처리는 레이저 유도 염료(dye) 전사 처리를 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  32. 제 30 항에 있어서,
    상기 레이저 유도 열 전사 처리는 레이저 유도 매스(mass) 전사 처리를 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  33. 제 30 항에 있어서,
    상기 레이저 유도 열 전사 처리는 공여체 소자(donor element)로부터 수용체 소자(receiver element)로 이미지 형성 물질을 전사하는 단계를 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 이미지 형성 물질은 OLED 물질을 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  35. 제 21 항에 있어서,
    상기 섬형상 피쳐의 반복 패턴은 제 1 컬러의 제 1 복수의 피쳐를 포함하고,
    상기 제 1 복수의 피쳐의 각각의 피쳐는 다른 컬러의 피쳐에 의해서 상기 제 1 컬러의 다른 피쳐 각각과 이격되어 있는
    매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  36. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 경로는 상기 제 2 경로와 평행하지 않은, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  37. 매체 상에 이미지를 형성하는 방법에 있어서,
    개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 어레이를 포함하는 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 복수의 스캔 동안 상기 매체 상에 상기 이미지를 형성하는 단계와,
    제 1 스캔 동안 제 1 경로를 따라서 상기 매체에 상대적으로 상기 이미징 헤드를 이동시키는 단계와,
    제 2 스캔 동안, 상기 제 1 경로와는 평행하지 않은 제 2 경로를 따라서 상기 매체에 상대적으로 상기 이미징 헤드를 이동시키는 단계
    를 포함하는 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  38. 제 37 항에 있어서,
    상기 제 1 경로는 제 1 조합형(coordinated) 움직임 경로를 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  39. 제 38 항에 있어서,
    상기 제 2 경로는 제 2 조합형 움직임 경로를 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  40. 제 37 항에 있어서,
    상기 제 1 스캔과 상기 제 2 스캔 중 적어도 하나 동안 상기 이미징 헤드와 상기 매체 모두를 이동시키는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  41. 제 40 항에 있어서,
    상기 이미징 헤드와 상기 매체 모두를 이동시키는 단계는 상기 이미징 헤드와 상기 매체를 동기화시켜서 이동시키는 단계를 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  42. 제 37 항에 있어서,
    상기 제 1 스캔 동안, 제 1 방향을 따라서 상기 매체와 상기 이미징 헤드 중 적어도 하나를 이동시키는 단계와,
    상기 제 2 스캔 동안, 상기 제 1 방향과는 다른 제 2 방향을 따라서 상기 매체와 상기 이미징 헤드 중 적어도 하나를 이동시키는 단계
    를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  43. 제 42 항에 있어서,
    상기 제 2 방향은 상기 제 1 방향의 역방향인, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  44. 제 37 항에 있어서,
    상기 매체와 상기 이미징 헤드 중 적어도 하나를, 상기 제 1 스캔 및 제 2 스캔 각각 동안 서로 다른 이동량만큼 이동시키는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  45. 제 37 항에 있어서,
    상기 매체는 정합 서브-영역의 패턴을 포함하고,
    상기 이미지는 피쳐의 하나 이상의 패턴을 포함하며,
    상기 피쳐의 하나 이상의 패턴을 상기 정합 서브-영역의 패턴과 정합시키는 단계를 더 포함하는
    매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  46. 제 45 항에 있어서,
    상기 정합 서브-영역의 패턴은 매트릭스를 포함하고,
    상기 피쳐의 하나 이상의 패턴은 컬러 피쳐의 패턴을 포함하는
    매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  47. 제 37 항에 있어서,
    상기 이미지를 레이저 유도 열 전사 처리로 형성하는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  48. 제어부에 의해 실행될 때, 상기 제어부로 하여금
    개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 어레이를 포함하는 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 1 스캔 동안, 제 1 스캔 경로를 따라서 매체를 스캐닝하면서, 상기 매체 상에 이미지의 제 1 부분을 형성하게 하고,
    상기 이미징 헤드를 조작해서 상기 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 제 2 스캔 동안, 상기 제 1 스캔 경로와 평행하지 않은 제 2 스캔 경로를 따라서 상기 매체를 스캐닝하면서, 상기 매체 상에 상기 이미지의 제 2 부분을 형성하게 하는
    인스트럭션을 포함하는, 컴퓨터-판독 가능 신호의 세트를 포함하는 프로그램 제품.
  49. 제어부에 의해 실행될 때, 상기 제어부로 하여금
    개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 어레이를 포함하는 이미징 헤드를 조작해서 이미징 빔의 방향을 조정함으로써, 복수의 스캔 동안 매체 상에 이미지를 형성하게 하고,
    제 1 스캔 동안 제 1 조합형 움직임 경로를 따라서 상기 매체에 상대적으로 상기 이미징 헤드를 이동시키게 하며,
    제 2 스캔 동안, 상기 제 1 조합형 움직임 경로와는 평행하지 않은 제 2 조합형 움직임 경로를 따라서 상기 매체에 상대적으로 상기 이미징 헤드를 이동시키게 하는
    인스트럭션을 포함하는 컴퓨터-판독 가능 신호의 세트를 포함하는 프로그램 제품.
  50. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스캔과 상기 제 2 스캔 사이에, 상기 스캐닝을 중단시키는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  51. 제 37 항에 있어서,
    상기 제 1 스캔과 상기 제 2 스캔 사이에 상기 매체에 상대적인 상기 이미징 헤드의 움직임을 중단시키는 단계를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  52. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 스캔 경로를 따라서 스캐닝하는 단계는 제 1 방향으로 스캐닝하는 단계를 포함하고,
    상기 제 2 스캔 경로를 따라서 스캐닝하는 단계는 제 2 방향으로 스캐닝하는 단계를 포함하며,
    상기 제 1 방향을 따르는 각각의 스캔이 상기 제 2 방향을 따르는 각각의 스캔과 번갈아 행해지는 방식으로, 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향을 따라서 반복적으로 스캐닝하는 단계
    를 더 포함하는, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  53. 제 2 항에 있어서,
    상기 피쳐의 상기 일부는 상기 개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 어레이의 축과는 평행하지 않은, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  54. 제 3 항에 있어서,
    상기 피쳐의 상기 일부의 적어도 하나의 에지는 상기 개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 어레이의 축과는 평행하지 않은, 매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  55. 제 53 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 2 부분은 상기 피쳐의 추가 부분을 포함하고,
    상기 피쳐의 상기 추가 부분은 상기 제 2 스캔 경로와는 평행하고, 상기 개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 상기 어레이의 상기 축과는 평행하지 않은
    매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
  56. 제 53 항에 있어서,
    상기 이미지의 상기 제 2 부분은 상기 피쳐의 추가 부분을 포함하고,
    상기 피쳐의 상기 추가 부분의 적어도 하나의 에지는 상기 제 2 스캔 경로와는 평행하고, 상기 개별적으로 어드레싱 가능한 채널의 상기 어레이의 상기 축과는 평행하지 않은
    매체 상에 이미지를 형성하는 방법.
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