DE112007001769T5 - Verbesserte Abbildungen von Merkmalen - Google Patents

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Sylvia Hewitt Wilmington Stevenson
Valentin Vancouver Karasyuk
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Kodak Graphic Communications Canada Co
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Abstract

Verfahren zur Abbildung eines Merkmals durch laserinduzierte thermische Übertragung, wobei das Verfahren Folgendes vorsieht:
Abtasten oder Führen einer Vielzahl von unabhängig steuerbaren Lichtstrahlen entlang entsprechender Abtastlinien auf einem Substrat, welches ein Abgabeelement und ein Empfangselement aufweist, wobei jeder Lichtstrahl betätigbar ist, um ein entsprechendes Bildpixel auf dem Empfangselement zu formen;
Abbildung eines Merkmals durch Betrieb einer angrenzenden Gruppe der Strahlen zur Übertragung eines Bildformmaterials von dem Abgabeelement zum Empfangselement; und
Steuern der Intensitäten, während der Abbildung des Merkmals, einer ersten Kanten-Subgruppe von einem oder mehreren der Strahlen entsprechend einem ersten Teil des Merkmals, welches sich entlang einer ersten Kante des Merkmals erstreckt, und einer zweiten Kanten-Subgruppe von einem oder mehreren der Strahlen entsprechend einem zweiten Teil des Merkmals, welches sich längs einer zweiten Kante des Merkmals erstreckt, um Intensitäten vorzusehen, die sich unterscheiden von Intensitäten einer Innen-Subgruppe von einem oder mehreren der Strahlen entsprechend einem Innenteil des...

Description

  • Verwandte Anmeldungen
  • Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der U.S. Provisional Anm. Nr. 60/820,738 mit dem Titel „Verfahren und Vorrichtung zur verbesserten Abbildung von Mustern"; diese Anmeldung wurde am 28. Juli 2006 eingereicht.
  • Technisches Gebiet
  • Die Erfindung bezieht sich auf Abbildsysteme und auf Verfahren zum Abbilden von Merkmalen und Mustern von Merkmalen. Die Erfindung kann beispielsweise auf die Herstellung von Farbfiltern für elektronische Anzeige- bzw. Bildschirme verwendet werden.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Übliche Verfahrensweisen zur Herstellung von Anzeige- bzw. Bildschirmen und elektronischen Halbleitervorrichtungen umfassen mehrere Abbildschritte. Typischerweise wird in jedem Schritt ein Substrat, beschichtet mit einem Restist- oder einem anderen empfindlichen Material, der Strahlung durch eine Photowerkzeugmaske (photo-tool mask) ausgesetzt, um einige bzw. bestimmte Änderungen zur bewirken. Jeder Schritt hat ein begrenztes Ausfallrisiko. Die Möglichkeit des Ausfalls bei jedem Schritt reduziert die Gesamtverfahrensausbeute und erhöht die Kosten des fertigen Artikels.
  • Ein spezielles Beispiel ist die Herstellung von Farbfiltern für flache Anzeige- bzw. Bildschirme, wie beispielsweise Flüssigkristallanzeigen oder Bildschirme. Die Farbfilterherstellung kann ein sehr teures Verfahren sein, und zwar wegen der hohen Materialkosten und der typischerweise niedrigen Verfahrensausbeute. Traditionelle photolithographische Verarbeitungen umfassen das Auf bringen von Farbresistmaterialien auf einem Substrat unter Verwendung einer Beschichtungstechnik wie beispielsweise Spin- bzw. Drehbeschichtung, Schlitz- und Dreh- oder drehlose Beschichtung. Das Material wird sodann über eine Photowerkzeugmaske belichtet und entwickelt.
  • Laserinduzierte thermische Transfer-Prozesse wurden zur Verwendung bei der Herstellung von Anzeigepanelen oder Bildschirmen vorgeschlagen, und zwar insbesondere für die Herstellung von Farbfiltern. Bei derartigen Prozessen wird ein Farbfiltersubstrat, welches auch als ein Empfänger- oder Empfangselement bekannt ist, mit einem Donor oder Abgabeelement versehen, welches sodann bildweise belichtet wird, um selektiv ein Färbemittel vom Abgabeelement zum Empfangselement zu übertragen. Bevorzugte Belichtungsverfahren verwenden Laserstrahlen, um den Transfer des Farbmittels zu dem Empfängerelement zu induzieren. Diodenlaser sind besonders bevorzugt, da sie leicht zu modulieren sind, geringe Kosten besitzen und eine kleine Größe aufweisen.
  • Die laserinduzierten „thermischen Transfer"-Prozesse umfassen folgende: Laserinduzierte „Farbstoff-Transfer"-Prozesse, laserinduzierte „Schmelz-Transfer"-Prozesse, laserinduzierte „Ablations-Transfer"-Prozesse und laserinduzierte „Massen-Transfer"-Prozesse. Die während der laserindizierten thermischen Transfer-Prozesse transferierten oder übertragenen Farbmittel (colorants) umfassen Farbstoff- oder Dye-basierende oder pigmentbasierende Zusammensetzungen. Zusätzliche Elemente, wie beispielsweise ein oder mehrere Bindemittel, können transferiert oder übertragen werden.
  • Konventionelle Direktbildsysteme verwenden eine begrenzte Anzahl von Bildstrahlen. Konventionelle Direktbildsysteme (direct imaging systems) haben auch eine Gaußsche Intensitätsverteilung verwendet. U.S. Patent 6,242,140 , ausgegeben an Kwon et al, beschreibt die Verwendung eines Laserstrahls mit gleichförmiger Energieverteilung oder eines Laserstrahls, der durch „dithering" abtastet. Andere konventionelle System verwendeten Hunderte von individuell modulierten Strahlen parallel, um die Zeit zu reduzieren, die erforderlich ist, um Bilder zu vervollständigen. Bildköpfe mit großen Anzahlen von derartigen „Kanälen" sind ohne weiteres verfügbar. Beispielsweise hat ein thermischer SQUAREspot®-Modell Abbildungskopf, hergestellt von Kodak Graphic Communications Canada Company, British Columbia, Kanada mehrere hundert unabhängige Kanäle. Jeder Kanal kann eine Leistung oberhalb von 25 mW besitzen. Die Anordnung der Bildkanäle kann gesteuert werden, um ein Bild in Serie von Durchgängen („swaths") zu schreiben, die dicht aneinander liegen, um ein kontinuierliches Bild zu bilden.
  • Selbst sehr kleine Veränderungen in den auf das abgebildete oder bebilderte Medium auftreffenden Ausgangsstrahlungszuständen können Bildartefakte hervorrufen, wie beispielsweise Bandbildung und grobe Kanten, wobei dies für laserinduzierte thermische Transferprozesse gilt. Veränderungen der durch die Anordnung von Bildkanälen emittierten Ausgangs- oder Abgabestrahlung können ihren Ursprung haben in Leistungsvariationen von Kanal zu Kanal, der Strahlstöße, der Strahlform, der Brennweite und der Strahlkohärenz. Artefakte können nicht allein auf das Abbildsystem zurückzuführen sein. Das abgebildete Medium selbst kann zur Bandbildung und anderen Bild- oder Abbildartefakten beitragen.
  • Einige Mehrfachkanalabbildsysteme des Standes der Technik wenden Eichungs- oder Kalibrierungsverfahren an, die die Strahlungsausgangsgröße aller Kanäle in der Bildanordnung auf gleichen Wert einstellen. Andere Kalibrierungs- oder Kalibrierverfahren betätigen alle Kanäle eines Bildkopfes zugleich, um einen Durchgang abzubilden und zu versuchen, Gleichförmigkeit in den aufgezeichneten optischen Eigenschaften herzustellen, und zwar über den Durchgang hinweg und durch Einstellen der Ausgangsgrößen der Kanäle in der Anordnung. EP 434 449A2 und US 6,618,158 beschreiben Verfahren zum Vorsehen einer gleichförmigen Leistungsverteilung über eine Mehrfachkanalabbildanordnung hinweg oder reduzieren Veränderungen zwischen den Kanälen einer Abbildanordnung.
  • Die Bildqualität ist besonders wichtig bei der Herstellung von Farbfiltern. Farbfilter haben typischerweise ein Wiederholungsmuster von beabstandeten Farbelementen (die Elemente sind normalerweise dreifarbig, wie beispielsweise rot, grün und blau). Da die Farbelemente ein sich wiederholendes Muster bilden, können irgendwelche periodische Variationen oder Veränderungen, eingeführt durch einen Bild- oder Abbildprozess, dazu führen, dass ein visuelles „Beating" auftritt, welches für das menschliche Auge bemerkbar ist. Grobe Kanten entlang der Grenzen der Farbelemente können dazu führen, dass farblose Leerstellen auftreten, die weiter nachteilig die Qualität des Farbfilters beeinflussen.
  • Es bleibt die Notwendigkeit, kosteneffektive und praktikable Abbildverfahren und Systeme zu schaffen, die es gestatten, Bilder hoher Qualität aus Mustern von Merkmalen herzustellen. Es bleibt eine Notwendigkeit, Bildverfahren vorzusehen, welche die Sichtbarkeit von Bildartefakten reduzieren, die mit der Abbildung von wiederholten Mustern von Merkmalen assoziiert sind, wie beispielsweise den Mustern von Farbelementen in einem Farbfilter mit einem Mehrkanalabbildkopf.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Abbilden eines Merkmals durch laserinduzierten thermischen Transfer vorgesehen. Das Verfahren weist das Abtasten einer Vielzahl von unabhängig steuerbaren Lichtstrahlen auf, und zwar in einer Abtastrichtung entlang entsprechender Abtastlinien auf einem Substrat, wobei ein Donor- oder Abgabeelement und ein Empfangselement vorgesehen sind. Das Verfahren bildet ein Merkmal ab, und zwar durch Betrieb einer angrenzenden Gruppe der Strahlen zur Übertragung eines Materials vom Abgabeelement zum Empfangselement; und während das Merkmal abgebildet wird, werden die Intensitäten einer ersten Kanten-Sub- oder Untergruppe von einem oder mehreren der Strahlen gesteuert, und zwar entsprechend einem ersten Teil des Merkmals, welches sich entlang einer ersten Kante des Merkmals erstreckt, und einer zweiten Kanten-Sub- oder Untergruppe für einen oder mehreren der Strahlen entsprechend einem zweiten Teil des Merkmals, welches sich entlang einer zweiten Kante des Merkmals erstreckt, um Intensitäten zu besitzen, die sich von denjenigen in einer inneren Sub- oder Untergruppe von einem oder mehreren der Strahlen unterscheiden, und zwar entsprechend einem inneren Teil des Merkmals.
  • In einigen beispielshaften Ausführungsbeispielen der Erfindung werden die Lichtstrahlen durch einen Mehrkanalbildkopf erzeugt. Die Lichtstrahlen sind nicht notwendigerweise sichtbare Lichtstrahlen, sondern können Infrarotstrahlen sein, sichtbare Strahlen oder Strahlen in irgendeinem anderen geeigneten Wellenlängenbereicht. Mehrfachmerkmale können während einer Abtastung des Mehrkanalbildkopfes abgebildet werden. In einigen Ausführungsbeispielen besitzen die Strahlen ein Intensitätsprofil, welches asymmetrisch ist.
  • Einige beispielhafte Ausführungsbeispiele der Erfindung besitzen eine oder mehrere der folgenden Eigenschaften:
    eine Vielzahl der Merkmale wird während einer Abtastung des Mehrfachkanalabbildkopfes abgebildet und der Abbildkopf wird derart gesteuert, dass eine „Home"-Kante eines ersten Merkmals durch Lichtstrahlen abgebildet wird, die Intensitäten besitzen, die sich von den Intensitäten der Lichtstrahlen unterscheiden, die verwendet werden, um eine „Home"-Kante eines zweiten Merkmals abzubilden;
    eine Vielzahl von Merkmalen wird während einer Abtastung des Mehrfachkanalbildkopfes abgetastet und der Bildkopf wird derart gesteuert, dass eine weg gelegene Kante eines ersten Merkmals durch Lichtstrahlen abgebildet wird, die hohe Intensitäten besitzen, die unterschiedlich sind von den Intensitäten der Lichtstrahlen, die verwendet werden, um eine weg gelegene Kante eines zweiten Merkmals abzubilden;
    eine Vielzahl von Merkmalen wird abgebildet und eine Vielzahl von Strahlen wird verwendet zur Abbildung eines der Merkmale, um ein Intensitätsprofil vorzusehen, das unterschiedlich ist von einem Intensitätsprofil, vorgesehen durch die Strahlen, die verwendet werden, um ein anderes der Merkmale abzubilden;
    ein Merkmal wird mit Intensitätsprofilen abgebildet, die asymmetrisch bezüglich des Merkmals sind;
    erste und zweite Merkmale werden mit ersten und zweiten Intensitätsprofilen abgebildet, die sich voneinander unterscheiden.
  • Weitere Aspekte der Erfindung sehen Programmprodukte vor zur Abbildung von Mustern von Merkmalen.
  • Weitere Aspekte der Erfindung und Merkmale von Ausführungsbeispielen der Erfindung sind im Folgenden beschrieben.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Ausführungsbeispiele und Anwendungen der Erfindung sind veranschaulicht, und zwar durch die beigefügten, nicht einschränkend zu verstehenden Zeichnungen. Die beigefügten Zeichnungen dienen zur Veranschaulichung der Konzepte der Erfindung und sind möglicherweise nicht maßstabsgetreu.
  • 1A ist eine Draufsicht auf einen Teil eines Farbfilters des Standes der Technik.
  • 1B ist eine Draufsicht auf einen Teil eines weiteren Farbfilters des Standes der Technik.
  • 2 ist eine teilschematische perspektivische Ansicht des optischen Systems eines Beispiels eines Mehrfachkanalabbild- oder Bildkopfes des Standes der Technik.
  • 3 ist eine schematische Ansicht eines Mehrkanalkopfes, der ein Muster von nicht angrenzenden Merkmalen auf einem Bildmedium (einem bebilderbaren Medium bzw. "imageable media").
  • 4 ist eine Fotografie von Kantendiskontinuitäten, die in einem Farbfilter vorhanden sind, hergestellt durch einen laserinduzierten thermischen Transferprozess.
  • 5 ist eine schematische Ansicht eines Mediums, abgebildet durch einen Mehrkanalbildkopf, entsprechend einem Aspekt der Erfindung
  • 6 ist eine detaillierte Ansicht eines Teils der 5.
  • 6A ist ein symmetrisches Energieintensitätsprofil gemäß einem beispielhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • 6B ist ein asymmetrisches Energieintensitätsprofil gemäß einem beispielhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • 7 ist eine Fotografie eines Teils eines Farbfilters, erzeugt gemäß einem beispielhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • 8 ist eine Fotografie eines weiteren Teils des Farbfilters gezeigt in 7.
  • 9A ist ein Querschnitt des Mediums der 5 vor einem Transfer von bildformendem Material von einem Abgabeelement zu dem Empfangselement.
  • 9B ist ein Querschnitt des Mediums der 5 während des Transfers von bildformendem Material von dem Abgabeelement zum Empfangselement.
  • 10 ist eine schematische Teilansicht eines Mediums, bebildert durch einen Mehrkanalabbildkopf gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • 11 ist ein System gemäß einem beispielhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • Detaillierte Beschreibung
  • In der gesamten folgenden Beschreibung werden spezielle Details angesprochen, um ein gründliches Verständnis für den Fachmann zu erreichen. Wohlbekannte Elemente können jedoch nicht dargestellt und auch nicht im Einzelnen beschrieben sein, um die Offenbarung nicht unnötigerweise unklar zu machen. Demgemäß sollen die Beschreibung sowie die Zeichnungen als veranschaulichend, aber nicht als einschränkend verstanden werden.
  • In Display-Panels, d. h. Bild- bzw. Anzeigeschirmen, typischerweise verwendete Farbfilter weisen eine Matrix auf, die aus einer Vielzahl von Farbelementen besteht. Die Farbelemente können beispielsweise Muster aus roten, grünen und/oder blauen Farbelementen aufweisen. Farbfilter können mit Farbelementen von anderen Farben hergestellt werden. Die Farbelemente können in irgendeiner Konfiguration, ausgewählt aus verschiedenen geeigneten Konfigurationen, angeordnet sein. Streifenkonfigurationen des Standes der Technik besitzen alternierend Spalten aus roten, grünen und blauen Farbelementen, wie dies in 1A gezeigt ist. Mosaikkonfigurationen des Standes der Technik besitzen Farbelemente, die in beiden Richtungen (beispielsweise längs Spalten und Zeilen) alternieren, wie dies in 1B gezeigt. Ist. Bekannte (nicht gezeigte) Deltakonfigurationen besitzen Gruppen von roten, grünen und blauen Farbelementen, und zwar angeordnet in einer dreieckigen Beziehung miteinander. Farbfilter können andere Konfigurationen besitzen.
  • 1A zeigt einen Teil eines „Streifenkonfigurations"-Farbfilters 10 des Standes der Technik mit einer Vielzahl von roten, grünen und blauen Farbelementen 12, 14 und 16, die in entsprechender Weise in abwechselnden oder alternierenden Spalten über ein Empfangselement 18 hinweg angeordnet sind. Farbelemente 12, 14 und 16 sind durch Teile einer schwarzen Matrix 20 begrenzt („outlined"). Die Matrix 20 kann das Leck von „Rücklicht" („backlight") zwischen den Elementen reduzieren. Die Spalten werden üblicherweise in lang gestreckten Streifen abgebildet, die durch Matrix 20 unterteilt sind, und zwar in einzelne Farbelemente 12, 14 und 16. TFT-Transistoren auf der (nicht gezeigten) zugehörigen LCD-Tafel oder Panele können durch Gebiete 22 der Matrix 20 maskiert sein.
  • 1B zeigt einen Teil eines bekannten Farbfilters 10, angeordnet in einer Mosaikkonfiguration, in der Farbelemente 12, 14 und 16 in Spalten und alternierend sowohl über und längs der Spalten angeordnet sind.
  • Jedes der Farbelemente 12, 14 und 16 kann angrenzende Teile der Matrix 20 überlappen. Das Überlappen der Farbelemente mit der Matrix 20 ist eine Möglichkeit, die Präzision, mit der die Farbelemente mit der Matrix ausgerichtet werden müssen, zu reduzieren. Farbelemente können durch laserinduzierte thermische Transferprozesse übertragen werden. Laserinduzierte thermische Transferprozesse umfassen die bildweise Übertragung oder den bildweisen Transfer von einem oder mehreren bildformenden Materialien. Die bildformenden Materialien können, ohne Einschränkung, Farbstoffe („dyes") oder andere geeignete bildformende Materialien umfassen, wie beispielsweise Pigmente oder andere Farbzusammensetzungen. Die laserinduzierten thermischen Transferprozesse umfassen Prozesse, die die Laserstrahlung verwenden, um den Transfer eines Farbmittels zu bewirken, und zwar mit oder ohne Bindemittel. Nicht einschränkende Beispiele von laserinduzierten thermischen Transferprozessen umfassen Folgendes: laserinduzierte „Farbstofftransfer"-Prozesse, laderinduzierte „Schmelztransfer"-Prozess, laserinduzierte „Ablationstransfer"-Prozesse und laserinduzierte „Massentransfer"-Prozesse.
  • 3 zeigt einen konventionellen laserinduzierten thermischen Transferprozess verwendet zur Herstellung eines Farbfilters 10. Ein Mehrkanalbildkopf 26 wird verwendet, um Bildformungsmaterial von einem Abgabeelement 24 zu einem darunter liegenden Empfangselement 18 zu übertragen. Das Empfangselement 18 besitzt typischerweise eine (nicht gezeigte) darauf ausgebildete Matrix 20. Obwohl ein thermischer Transferprozess zur Bildung einer Matrix auf dem Empfangselement 18 verwendet werden könnte, wird die Matrix 20 typischerweise durch lithographische Verfahren hergestellt oder geformt.
  • Das Abgabeelement 24 weist ein Bildformungsmaterial (nicht gezeigt) auf, das bildweise auf das Empfangselement 18 übertragen werden kann, wenn durch den Mehrkanalbildkopf 28 emittierte Strahlung über das Abgabeelement 24 abgetastet wird. Rote, grüne und blaue Teile des Filters werden typischerweise in gesonderten Stufen oder Schritten abgebildet, wobei jede Abbildstufe ein unterschiedliches Farb-Donor- oder Abgabeelement verwendet, und zwar entsprechend der abzubildenden Farbe. Die roten, grünen und blauen Elemente des Filters werden typischerweise auf das Empfangselement 18 derart übertragen, dass die Farbelemente jeweils ausgerichtet sind mit einer entsprechenden Öffnung in der Matrix 20. Jedes Donor- bzw. Abgabeelement 24 wird nach Vollendung des entsprechenden Abbildschrittes entfernt. Nachdem die Farbelemente übertragen oder transferiert wurden, kann das abgebildete Farbfilter einem oder mehreren zusätzlichen Verfahrensschritten ausgesetzt werden, wie beispielsweise einem Anlassschritt, um einen oder mehrere physikalische Eigenschaften (beispielsweise Härte) der abgebildeten Farbelemente zu verändern.
  • Ein Beispiel eines konventionellen auf einem Laser basierenden Mehrkanalbildkopfes, der einen räumlichen oder „spatialen" Lichtmodulator oder Lichtventil verwendet, um eine Vielzahl von Bild- oder Abbildkanälen zu schaffen, ist schematisch in 2 gezeigt. Im dargestellten Beispiel weist die lineare Lichtventilanordnung 100 eine Vielzahl von deformierbaren Spiegelelementen 101 auf, und zwar hergestellt auf einem Halbleitersubstrat 102. Spiegelelemente 101 sind individuell anadressierbar. Die Spiegelelemente 101 können mikroelektromechanische (MEMS) Elemente sein, wie beispielsweise deformierbare Spiegelmikroelemente. Ein Laser 104 kann eine Beleuchtungslinie oder Zeile 106 auf dem Lichtventil 100 erzeugen, und zwar unter Verwendung eines amorphischen Strahlexpanders, der zylindrische Linsen 108, 110 aufweist. Die Belichtungslinie 106 ist seitlich über die Vielzahl der Elemente 101 derart gespreizt, dass jedes der Spiegelelemente 101 durch einen Teil der Beleuchtungslinie oder Zeile 106 beleuchtet wird. U.S. Patent 5,517,359 , ausgegeben an Gelbart, beschreibt ein Verfahren zur Bildung oder Formung einer Beleuchtungslinie oder Zeile.
  • Eine Linse 112 fokussiert typischerweise die Laserbeleuchtung durch eine Apertur 114 in einer Aperturblende 116, wenn Elemente 101 in ihrem nicht betätigten Zustand sich befinden. Licht von den betätigten Elementen wird durch die Aperturblende 116 blockiert. Eine Linse 118 bildet Lichtventil 100 ab, um eine Vielzahl von individuellen bildweise modulierten Strahlen 120 zu erzeugen, die über ein Gebiet eines Substrats abgetastet werden können zur Bildung eines abgebildeten Durchgangs („swath"). Jeder der Strahlen wird durch eines der Elemente 101 gesteuert. Jeder der Strahlen ist betätigbar, und zwar zur Abbildung und zur Nichtabbildung eines „Bild-Pixels" („image pixel") auf dem abgebildeten Substrat entsprechend dem Betreibungszustand des entsprechenden Elements 101. Jedes der Elemente 101 steuert einen Kanal des Mehrkanalbildkopfes.
  • Wiederum auf 3 Bezug nehmend sei Folgendes bemerkt: Das Empfangselement 18 oder das Bild des Mehrkanalbildkopfes 26 oder eine Kombination von beiden werden bezüglich einander versetzt, während die Kanäle des Bild kopfes 26 gesteuert werden, und zwar ansprechend auf Bilddaten zur Erzeugung von abgebildeten Durchgängen. In einigen Ausführungsbeispielen ist das Bild des Bildkopfes 26 stationär und das Empfangselement 18 wird bewegt. In anderen Ausführungsbeispielen ist das Empfangselement 18 stationär und das Bild des Bildkopfes 26 wird bewegt. In noch weiteren Ausführungsbeispielen wird sowohl der Bildkopf 26 als auch das Empfangselement 18 bewegt, um die gewünschte Relativbewegung zwischen dem Bildkopf 26 und dem Empfangselement 18 entlang eines oder mehrerer der Abtastpfade zu erzeugen.
  • Irgendein geeigneter Mechanismus kann verwendet werden, um den Bildkopf 26 über ein Empfangselement 18 zu bewegen. Flachbettabbildvorrichtungen werden typischerweise zum Abbilden von Empfangselementen 18 verwendet, die relativ starr sind, wie dies bei der Herstellung von Anzeigetafeln oder Anzeigeschirmen üblich ist. Ein Flachbettabbilder besitzt einen Träger, der ein Empfangselement 18 in einer flachen Orientierung festlegt. U.S. Patent 6,957,773 , ausgegeben an Gelbart, beschreibt einen Hochgeschwindigkeits-Flachbettabbilder geeignet zur Anzeigeschirmabbildung. Alternativ können flexible Empfangselemente 18 entweder an der externen oder internen Oberfläche eines Trägers der Trommelbauart befestigt werden, um die Abbildung der Durchgänge zu bewirken. Selbst ein Empfangselement, das traditionellerweise als starr, wie beispielsweise aus Glas, angenommen werden kann, kann auf einem auf einer Trommel basierenden Abbilder abgebildet werden vorausgesetzt, dass das Substrat hinreichend dünn ist und der Durchmesser des Trägers hinreichend groß ist.
  • 3 zeigt einen Teil eines Farbfilterempfangselements 18, das mit einer Vielzahl von roten Streifen 30, 32, 34 und 36 gemustert wurde, und zwar in einem laserinduzierten thermischen Transferprozess. In diesem Prozess wird ein Abgabeelement 24 auf Empfangselement 18 positioniert und Gebiete oder Flächen entsprechend der Vielzahl von roten Streifen 30, 32, 24 und 36 werden auf dem Aufnahme- oder Empfangselement 18 abgebildet. Dies hat den Transfer des bildformenden Materials vom Abgabeelement 28 auf das Emp fangselement 18 zur Folge, und zwar zur Bildung von Streifen 30, 32, 34 und 36. In 3 ist das Donor-Element 24 als kleiner als das Empfangselement 18 dargestellt, und zwar lediglich aus Gründen der Klarheit. Das Donor- oder Abgabeelement 24 kann einen oder mehrere Teile des Aufnahmeelements 18, je nach Erfordernis, überlappen.
  • Jeder Satz von Farbfilterelementen bildet ein Muster von Merkmalen. In diesem Fall sind die Merkmale nicht angrenzend oder anstoßend. Streifen 30, 32, 34 und 36 sind ein Beispiel eines Musters aus solchen nicht angrenzenden Merkmalen. Die Streifen 30, 32, 34 und 36 sind räumlich voneinander getrennt, und zwar entlang der Sub-Scan- oder Abtastrichtung 44. Der Mehrkanalbildkopf 26 weist eine Vielzahl von individuell anadressierbaren Bildkanälen 40 auf. In 1 ist der Bildkopf 26 in einer ersten Position 38 positioniert. 3 zeigt die Entsprechung zwischen Bildkanälen 40 und dem transferierten oder übertragenen Muster als gestrichelte Linien 41. Die Merkmale, wie beispielsweise die Streifen, 30, 32, 34 und 36, besitzen im Allgemeinen Dimensionen in der Sub-Scan-Richtung 44, die größer als die durch die Bildkanäle 40 abgebildeten Pixels sind. Solche Merkmale können dadurch abgebildet werden, dass man eine Gruppe von Kanälen umdreht, eine Gruppe von Kanälen, die die Breite des Merkmals in Sub-Scan-Richtung 44 überbrückt, und zwar während die Kanäle in einer Richtung 42 entlang eines Abtastpfades abgetastet werden.
  • Obwohl in 3 ein Mehrkanalbildkopf 26 mit der gleichen Größe gezeigt ist wie das abgebildete Muster, sei bemerkt, dass dies nicht notwendig ist. Die durch den Bildkopf 26 emittierten Strahlen können durch ein geeignetes optisches System abgebildet werden, welches die Größe und/oder Form des Bilddurchgangs an der Ebene des Substrats modifizieren kann. Die durch den Mehrkanalbildkopf 26 erzeugten Bildstrahlen werden über das Empfangselement 18 in einer Hauptabtastrichtung 42 getastet, und zwar während sie bildweise moduliert werden gemäß den Bilddaten, die das Muster der Merkmale, die geschrieben werden sollen, spezifiziert. Gruppen 48 von Kanälen werden geeigneterweise betrieben, um aktive Bildstrahlen zu erzeugen wo immer es gewünscht wird, dass ein Merkmal gebildet wird. Die den Merkmalen nicht entsprechenden Kanäle 60 werden derart betrieben, dass sie keine entsprechenden Gebiete abbilden.
  • Kanäle 40 des Bildkopfes 26 können einen Durchgang abbilden mit einer Breite, die mit dem Abstand in Beziehung steht zwischen einem ersten Pixel, abgebildet durch einen ersten Kanal, und einem letzten Pixel, abgebildet einen letzten Kanal. Das Empfangselement 18 ist typischerweise zu groß, um innerhalb eines einzigen Durchgangs abgebildet zu werden. Daher sind typischerweise Mehrfachabtastungen des Bildkopfes 26 erforderlich, um ein Bild auf dem Empfangselement 18 zu vervollständigen.
  • Die Bewegung des Mehrkanalabbildkopfes 26 in Sub-Scan- oder Sub-Abtastrichtung 44 kann erfolgen nachdem die Abbildung jedes Durchgangs in der Hauptabtastrichtung 42 vollendet ist. Alternativ gilt Folgendes: Der Bildkopf 26 kann relativ zum Empfangselement 18 entlang der Sub-Abtastrichtung 44 einer Translationsbewegung ausgesetzt sein, und zwar synchron mit der Hauptabtastbewegung, um eine potentielle Schräge zwischen der Hauptabtastrichtung, bewirkt durch das Bildsystem, und der Soll-Anordnung des Bildes bezüglich des Empfangselements 18 zu kompensieren. Alternativ kann es bei dem Abbilder des Trommel-Typs möglich sein, gleichzeitig den Bildkopf 26 sowohl in der Hauptabtastrichtung 42 als auch in den Sub-Abtastrichtungen 44 zu bewegen, auf welche Weise das Bild in einem sich schraubenlinienförmig auf der Trommel erstreckenden Durchgang geschrieben wird. Der Fachmann erkennt, dass es andere mögliche Muster der Relativbewegung zwischen Bildkopf 26 und Empfangselement 18 gibt, die verwendet werden können, um die gewünschte Abbildfläche oder das gewünschte Abbildgebiet auf dem Empfangselement 18 abzubilden.
  • Es gibt verschiedene Möglichkeiten zur Ausrichtung der unterschiedlichen Durchgänge, und zwar einschließlich der Folgenden: Überlappen von benachbarten Durchgänge durch eine oder mehrere abgebildete Pixelbreiten und Beabstandung des ersten Kanals eines darauf folgend abgebildeten Durchgangs vom letzten Kanal eines benachbarten zuvor abgebildeten Durchgangs durch einen Abstand, der in Beziehung steht mit einem Steigungs- oder „Pitch"-Abstand zwischen abgebildeten Pixeln.
  • Wiederum auf 3 Bezug nehmend sei Folgendes ausgeführt: Rote Streifen 30, 32 und Teile 34' des Streifens 34 werden während einer ersten Abtastung des Bildkopfes 26 abgebildet. Nach Vollendung der ersten Abtastung wird der Bildkopf 26 aus seiner ersten Position 38 in der Sub-Abtastrichtung 44 in eine neue Position 38' (in gestrichelten Linien gezeigt) versetzt. In der neuen Position 38' ist ein erster Kanal 46 des Bildkopfes 26 benachbart zur vorherigen Position des letzten Kanals 45 des Bildkopfes 26 positioniert. In der Position 38' wird der Bildkopf in Hauptabtastrichtung 42 abgetastet, auf welche Weise der verbleibende Teil 34'' des Streifens 34 abgebildet wird. Es ist schwierig, das Auftreten einer sichtbaren Diskontinuität, die als Linie 47 gezeigt ist, an der Grenze zwischen den Teilen 34' und 34'' des Streifens 34 zu vermeiden. Diese sichtbare Diskontinuität zwischen benachbarten abgebildeten Durchgängen kann ein Bildartefakt bilden, der als „Banding" oder Bandbildung bezeichnet wird.
  • Die Bandbildung kann dann deutlicher werden, wenn ein reguläres Muster von Merkmalen erzeugt wird. Die Wiederholungsnatur des Musters kann zu einem „Beating"- oder Schlageffekt führen, der jedwede Bandbildung, erzeugt durch Dichtevariation in den abgebildeten Merkmalen, betont. Andere Bildartefakte können auch in den laserinduzierten thermischen Transferprozessen entstehen. Wenn beispielsweise ein laserinduzierter thermischer Transferprozess verwendet wird, um ein Muster von Merkmalen abzubilden, wie beispielsweise die Elemente eines Farbfilters, so treten grobe oder raue Kanten und verschiedene Kantendiskontinuitäten an den Kanten der Merkmale auf. Diese Kantendiskontinuitäten können aus einer Anzahl von Gründen entstehen, beispielsweise infolge kleiner Leistungsveränderungen in der Ausgangsleistung der Bild- oder Abbildkanäle des Bildkopfes. Selbst kleine Leistungsveränderungen oder Variationen können die Größe oder Menge des bildformenden Materials beeinflussen, welches von einem Abgabeelement zu dem Emp fangselement übertragen wird, und zwar gilt dies insbesondere dann, wenn die Abgabeelemente nicht lineare Abbildeigenschaften zeigen. Unterschiedliche thermische Effekte zwischen den abgebildeten außen liegenden und innen liegenden Teilen des Merkmals können zu rauen Kanten führen insbesondere dann, wenn das abgebildete Merkmal ein nicht angrenzenden oder anstoßendes Merkmal ist, welches getrennt von anderen Merkmalen durch nicht abgebildete Gebiete ist. Mechanische Effekte, wie beispielsweise eine hinreichende Abschälfestigkeit assoziiert mit dem Bildformungsmaterial transferiert zu den Kanten der Merkmale oder nicht ausreichende Steuerung der Abschälgeschwindigkeit, des Winkels oder der Richtung kann dazu führen, dass raue Kanten entstehen, wenn das abgebildete Donor- oder Abgabeelement weggezogen wird. Es ist möglich, diese Kantenartefakte zu maskieren, und zwar durch Überlappen der Matrix 20 mit dem übertragenen Bildformungsmaterial. Das Bildformungsmaterial kann jedoch nach dem Anlassen schrumpfen und Kantendiskontinuitäten freilegen. 4 ist eine Fotografie eines Teils eines Farbfilters, welches ein rotes Element 12, ein grünes Element 14 und ein blaues Element 16 aufweist. Kantendiskontinuitäten 49 können zwischen den drei Elementen beobachtet werden. Selbst Kantendiskontinuitäten 49, die relativ klein sind bezüglich der Elemente 12, 13 und 14, können in nachteiliger Weise die visuelle Gleichförmigkeit des Farbfilters insgesamt nachteilig beeinflussen und dessen Qualität vermindern. Kantendiskontinuitäten können Vorsprünge oder Nuten an einer Kante eines Merkmals aufweisen.
  • Die vorliegende Erfindung sieht Systeme und Verfahren vor, bei denen die Intensitäten der Bildstrahlen eingestellt werden und zwar derart, dass sich verbesserte Resultate ergeben. 5 zeigt schematisch einen Teil eines Empfangselements 18, bebildert in einem laserinduzierten thermischen Transferprozess, gemäß einem Aspekt der Erfindung. Ein sich wiederholendes Muster 50 von Merkmalen wird auf einem Teil des Empfangselements 18 abgebildet. Im dargestellten Ausführungsbeispiel besteht das Muster 50 aus sechzehn Merkmalen 51. In diesem Beispiel liegt das Muster 50 innerhalb eines einzigen Durchgangs, abgebildet durch Bildkopf 26. Anders ausgedrückt, die Mus ter der Merkmale 50 werden in einem einzigen Durchgang abgebildet und das Muster wird somit während einer einzigen Abtastung des Bildkopfes 26 abgebildet.
  • Das Muster 50 kann einen anderen Teil eines anderen Musters, wie beispielsweise eines Farbfilters, bilden. Aus Gründen der Klarheit ist ein Farb-Donor- oder Farbabgabeelement 24 (welches oben auf dem Empfangselement 18 positioniert würde) in 5 nicht gezeigt. Die Kanäle des Bildkopfes 26 werden gesteuert zur Übertragung von Bildformungsmaterial vom Abgabeelement 24 zum Empfangselement 18. Darauf folgende Abtastungen können durchgeführt werden. In diesen darauf folgenden Abtastungen können andere Merkmale in den Räumen abgebildet werden zwischen den Merkmalen 51, wie dies in 5 gezeigt ist. Die anderen Merkmale können Merkmale unterschiedlicher Farben umfassen. In dem Beispiel der 5 weist jedes der Merkmale 51 einen Streifen auf bzw. ist ein Streifen.
  • In diesem Beispiel besitzt der Bildkopf 26 mehrere hundert Bildkanäle 40. Jedes der Merkmale 51 wird durch eine Gruppe 48 von Bildkanälen 40 abgebildet. Aus Gründen der Klarheit sind die Bildkanäle 40 nicht individuell in 5 gezeigt. In diesem Beispiel besteht jede Gruppe 48 aus annähernd zwanzig benachbart positionierten Bildkanälen 40. Jeder Kanal 40 ist individuell steuerbar. Der Kanal 40 kann „ein"geschaltet werden, um Bildformmaterial vom Abgabeelement 24 zum Empfangselement 18 zu übertragen oder transferieren, und zwar entlang einer Abtastlinie entsprechend dem Kanal oder der Kanal kann „aus"geschaltet sein, so dass Bildformmaterial nicht in dem Teil der entsprechenden Abtastlinie, auf die der Kanal gerichtet ist, übertragen wird. Aus Gründen der Klarheit wird Folgendes ausgeführt: Die Kanäle 40, die ausgeschaltet sind, sind nicht gezeigt. Die Intensität des erzeugten Strahls, wenn der Kanal 40 „ein" ist, ist ebenfalls einstellbar. Die Einstellung der Intensität kann beispielsweise vorsehen, dass eine Leistung des Strahls eingestellt wird.
  • In einem speziellen Beispiel kann jeder individuelle oder Einzelbildkanal 40 in der Lage sein, Pixel, die annähernd 5 Mikron breit sind, abzubilden. Somit bil det jede Gruppe 48 ein Merkmal 51 ab, das annähernd 100 Mikron breit ist (entlang der Sub-Abtastrichtung 44). Die Merkmale 51 sind in Sub-Abtastrichtung 44 mit einer Steigung von annähern 300 Mikron beabstandet. In einigen Ausführungsbeispielen der Erfindung werden Merkmale mit einem laserinduzierten thermischen Transferprozess abgebildet, in dem die Kantenteile der abgebildeten Merkmale verstärkt sind, um Kantendiskontinuitäten zu reduzieren. Nicht einschränkende Beispiele der Aspekte der Erfindung werden unter Bezugnahme auf das Muster 50 veranschaulicht in 5 beschrieben.
  • 6 ist eine detaillierte schematische Ansicht eines Teils des abgebildeten Mediums und einer Kanalgruppe 48 (speziell als Kanalgruppe 48') bezeichnet, die verwendet wird, um ein einzelnes Merkmal 51 abzubilden. Jede der Kanäle in der Gruppe 48 ist individuell steuerbar, um einen Lichtstrahl zu emittieren. Die Intensitäten der Kanäle in der Gruppe 49 werden gesteuert, um ein Intensitätsprofil 57 vorzusehen.
  • Kanten-Kanal-Subgruppen 54' und 54'' (kollektiv als Subgruppe 54 bezeichnet) sind jeweils mit der Abbildung von Gebieten oder Flächen assoziiert, die entlang der Kanten 46' und 46'' des Merkmals 51 verlaufen. Bezug nehmend auf die Sub-Abtastrichtung 44 kann die Kante 56 als eine „Home Edge" oder „Heimkante" bezeichnet werden, wohingegen die Kante 56'' als eine „Away Edge" oder „weg gelegene Kante" bezeichnet werden kann. Jede Kanten-Kanal-Subgruppe 54 weist einen oder mehrere Kanäle auf (zwei Kanäle im Ausführungsbeispiel gemäß 6). Die Anzahl der Kanäle, die in jeder Subgruppe 54 umschlossen sein muss, kann bestimmt werden basierend auf Faktoren wie der Auflösung der Kanäle, der Anzahl der Kanäle in der Kanalgruppe 48 und der Mediencharakteristika.
  • Die Belichtung wird in der Optik definiert als das Integral der Lichtintensität über die Zeit. Viele Medien sprechen auf die Belichtung an. Die Belichtung steht in Beziehung mit einer Intensität eines Bild- oder Abbildstrahls und eine Belichtungszeit ist mit dem Bildstrahl assoziiert. Die Belichtung kann mit einer Abtastgeschwindigkeit des Bildstrahls in Beziehung stehen. In einigen Medien wird ein Bild dann geformt, wenn eine Belichtung erzeugt durch einen Abbildstrahl gleich einer mit dem Medium assoziierten Belichtungsschwelle ist oder diese überschreitet. Bei einigen Medien hängt die Belichtungsschwelle von der Intensität ab. In einigen Medien muss eine minimale Intensitätsschwelle erreicht oder überschritten werden, um ein Bild zu formen. In 6 werden die Intensitäten sämtlicher Kanäle in der Gruppe 48' gesteuert, und zwar auf Pegeln auf oder oberhalb (Ithresh) entsprechend den Belichtungsschwellenerfordernisses des Mediums. Der innen gelegene oder Innenteil 52' des abgebildeten Merkmals 51 wird durch Kanäle der Innenkanal-Subgruppe 58 abgebildet. Die Kantenkanal-Subgruppen 54 werden gesteuert, um Lichtstrahlen mit Intensitäten zu erzeugen, die unterschiedlich sind von den Intensitäten der Kanäle in der inneren Subgruppe 58. In diesem Beispiel werden die Kanäle der Subgruppen 54 derart betrieben, dass sie höhere Intensitäten vorsehen als für die Kanäle in der Innen-Subgruppe 58. Dies erzeugt erhöhte Belichtungspegel in Kantengebieten, die sich entlang den Kanten 56' und 56'' des Merkmals 51 erstrecken.
  • Die Erhöhung der Ausgangsgröße der Kanäle in den Kanten-Subgruppen 54' und 54'' erzeugt einen Intensitätsgradienten zwischen den abgebildeten Gebieten an den Kanten 56' und 56'' und an umgebenden, nicht abgebildeten Gebieten 51, der steiler ist als dies der Fall wäre, wenn alle Kanäle in der Gruppe 48' betrieben würden zur Erzeugung von Niederenergie-Intensitätspegeln assoziiert mit den Innenkanälen in der Subgruppe 58.
  • Obwohl die Erfinder nicht durch eine spezielle Betriebstheorie eingeschränkt werden sollen, sind die Erfinder der Ansicht, dass dieser steilere Intensitätsgradient einen „saubereren" Transfer von Bildformmaterial zum Empfangselement in Kantengebieten längs der Kanten 56' und 56'' des Merkmals 51 zur Folge hat.
  • In 6 werden die Kanäle der Subgruppen 54' und 54'' gesteuert zur Erzeugung von Intensitäten, die im Wesentlichen gleich zueinander sind. In einigen Ausführungsbeispielen der Erfindung werden die Kanäle der Subgruppen 54' und 54'' gesteuert, um unterschiedliche Intensitäten zu besitzen.
  • Es ist nicht notwendig, dass sämtliche Kanäle in irgendeiner Subgruppe gesteuert werden, um die gleiche Intensität zu besitzen. Beispielsweise gilt Folgendes:
    Ausgewählte Kanäle innerhalb jeder oder beider Kantenkanal-Subgruppen 54' und 54'' können gesteuert werden, um Intensitäten unterschiedlich von denen anderer Kanäle zu besitzen.
    Ausgewählte Kanäle innerhalb der Innenkanal-Subgruppe 58 können gesteuert werden, um unterschiedliche Intensitäten gegenüber denjenigen anderer Kanäle zu besitzen.
    Ausgewählte Kanäle innerhalb der Innenkanal-Subgruppe 58 können gesteuert werden, um Intensitäten zu besitzen, die höher oder niedriger sind als die Intensitäten der Kanäle in der einen oder in beiden Kanal-Subgruppen 54' und 54''.
  • Kanäle innerhalb der Innen-Subgruppe 58 können gesteuert werden, um ein symmetrisches Intensitätsprofil 57, wie in 6A gezeigt, zu haben oder haben ein asymmetrisches Intensitätsprofil 57, wie in 6B gezeigt. Intensitätsprofile 57 von anderen Formen können innerhalb des Rahmens einiger Aspekte der Erfindung vorgesehen sein.
  • In einigen Fällen ist es notwendig oder erwünscht, eine Charakteristik zu erreichen, wie beispielsweise optische Dichte oder Farbdichte des Merkmals 51 und zwar innerhalb eines gewünschten Bereichs. Durch selektives Verstärken der Intensitäten der Kanäle in den Subgruppen 54' und 54'' kann man gewünschte Bildcharakteristika bewahren, während glättere Kanten beibehalten werden. Die Intensitätspegel und die Verteilung der Kanäle in der Innenkanal- Subgruppe 58 können gesteuert werden, um die erwünschte Gesamtdichte für Merkmal 51 zu erreichen.
  • Die gewünschte Beziehung zwischen den Intensitätspegeln der Kanäle in den Subgruppen 54 und 54'' und den Kanälen in der Innen-Subgruppe 58 kann von verschiedenen Faktoren abhängig sein, was aber nicht einschränkend verstanden werden soll, von Folgendem:
    Der Art des Typs des verwendeten laserinduzierten thermischen Transfermediums (beispielsweise laserinduziertes „Farbstoffübertragungs"-Medium, laserinduziertes „Schmelztransfer"-Medium, laserinduziertes „Ablationstransfer"-Medium, laserinduziertes „Massentransfer"-Medium, usw.);
    der speziellen Formel oder Formulierung des verwendeten Mediums (beispielsweise unterschiedliche Farbformulierungen);
    der Abgabe-zu-Empfangselement-Beabstandung, die sich verändern kann als eine Funktion der Matrix-20-Dicke und/oder des Vorhandenseins von Bildformungsmaterial transferiert zum Empfangselement 18 während einer vorausgegangenen Abbildung eines weiteren Abgabeelements 24; und
    den Charakteristika des Bildkopfes 26.
  • 7 ist eine Fotografie eines Teils eines Farbfilters einschließlich eines roten Farbelements 12, einen grünen Farbelements 14 und eines blauen Farbelements 16, und zwar erzeugt entsprechend einem beispielhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Abbildung jedes Elementes wurde ausgeführt mit einem laserinduzierten thermischen Transferprozess ausgeführt in ähnlicher Art und Weise zu den Verfahren wie sie unter Bezugnahme auf 6 beschrieben wurden. Jedes Element wurde in einem gesonderten Abbildschritt erzeugt, in dem ein entsprechend gefärbtes Donor- bzw. Abgabeelement abgebildet wurde zur Erzeugung eines der gefärbten Elemente. Ein Mehrkanalbildkopf 26 wurde verwendet, in dem Gruppen 48 von annähernd 20 Kanälen benutzt wurden, um jedes der Elemente 12, 14 und 16 abzubilden. Jeder Bildkanal erzeugte Pixel, die annähernd 5 Mikron breit waren. Die Kantenkanal-Subgruppen 54' und 54'' in jeder Gruppe 48 wurden dazu verwendet, um die Kanten 56' und 56'' jedes Merkmals abzubilden.
  • In diesem Beispiel wurden beide Kantenkanal-Subgruppen 54' und 54'' gesteuert, um Lichtstrahlen zu erzeugen mit Intensitäten, die annähernd 12% größer sind als die Intensitäten der Lichtstrahlen emittiert durch die Kanäle der inneren Subgruppen 58 jeder entsprechenden Gruppe 48. Wie in 7 gezeigt, besitzt jedes der Elemente 12, 14 und 16 im Wesentlichen glatte Kanten. Die Reduktion der Kantendiskontinuitäten, verglichen mit 4, ergibt, dass dieser Teil des Farbfilters verbesserte visuelle Charakteristika besitzen. In diesem Beispiel können die speziellen Belichtungseigenschaften des grünen Donor- oder Abgabeelements zur Bildung der Kantendiskontinuitäten 49 beitragen. Andere zusätzliche oder alternative Faktoren können zur Bildung der Kantenkontinuitäten 49 beitragen. In 8 erscheinen die Kantendiskontinuitäten 49 in erster Linie an der weg gelegenen Kante 56'' des Elements 14'. Die Heimkante 56' des Elements 14' scheint im Wesentlichen frei zu sein von Diskontinuitäten 49.
  • Die 9A und 9B veranschaulichen einen möglichen Grund für diesen Effekt. 9A und 9B sind schematische Teilquerschnittsansichten des Systems der 5, und zwar vor der Übertragung eines Bildformungsmaterials. Nur solche Bildkanäle 40 entsprechend Kanalgruppen 48 sind in den 9A und 9B gezeigt. Während des Abbildens wird das Abgabeelement 24 typischerweise am Empfangselement 18 befestigt, und zwar durch irgendwelche Mittel, die Vakuummittel umfassen können. Die Matrix 20 wird aus Gründen der Klarheit weggelassen. Die Matrix besitzt typischerweise eine bestimmte Dicke. Die Befestigungsmittel können bewirken, dass das Abgabeelement 24 sich in Hohlräume in der Matrix 20 formt.
  • Die Beabstandung zwischen dem Abgabeelement 24 und dem Empfangselement 18 kann die Charakteristika des zum Empfangselement 18 übertragenen Materials beeinflussen. Variationen oder Änderungen in der Beabstandung können Veränderungen in der Menge des übertragenen Bildformungsmaterials vom Abgabeelement 24 zum Empfangselement 18 bewirken. Während des laderinduzierten thermischen Transferabbildprozesses wird ein Teil des Bild formungsmaterials des Abgabeelements 24 möglicherweise nicht zu dem darunter liegenden Empfangselement übertragen, sondern vielmehr kann es eine Phasenänderung in einen gasförmigen Zustand erfahren.
  • 9B zeigt eine Deformation des Abgabeelements 24, die auftreten kann infolge einer „Gasblase" zwischen dem Abgabeelement 24 und dem Empfangselement 18. Die Deformation des Abgabeelements, erzeugt durch das Abbilden eines Teils des Abgabeelements 24, kann einen Anstieg eines variablen Abgabe-Empfangselementabstandes über den Durchgang hinweg hervorrufen. In diesem Beispiel werden sechzehn gesonderte Merkmale 51 abgebildet. Jedes Merkmal 51 kann eine unterschiedliche Abgabe-zu-Empfangselementbeabstandung besitzen.
  • Wie in 9B gezeigt, sind verschiedene Merkmale 51 variablen Abgabe-zu-Empfangsmerkmalen unterworfen. Wie in 9B gezeigt, kann ein variabler Abgabe-zu-Empfangselementabstand existieren zwischen den verschiedenen Merkmalen 51 und auch über ein gegebenes Merkmal 51 hinweg. Faktoren wie beispielsweise eine variable Abgabe-zu-Empfangselementbeabstandung kann erforderlich machen, dass verschiedene Merkmale unterschiedlich von anderen Merkmalen abgebildet werden. Für eine Kante eines Merkmals kann es erforderlich sein, unterschiedlich von einer anderen Kante des gleichen Merkmals abgebildet zu werden. In einigen Ausführungsbeispielen der Erfindung können Kanten-Subgruppen 54' und 54'' von unterschiedlichen Merkmalen 51 bei unterschiedlichen Intensitäten betrieben werden. In einigen Ausführungsbeispielen der Erfindung können Subgruppen 54' und 54'' des gleichen Merkmals bei unterschiedlichen Intensitäten betrieben werden.
  • 10 zeigt eine Kanalgruppe 48', die zur Abbildung eines einzigen Merkmals 51 verwendet wird. Ein Intensitätsprofil 57 ist ebenfalls gezeigt. Jeder der Kanäle in der Gruppe 48' besitzt eine Intensität, die unabhängig steuerbar ist, und zwar von anderen Kanälen in der Gruppe 48'. Das Intensitätsprofil 57 der Kanalgruppe 48' wurde eingestellt, um Kantendiskontinuitäten in dem abgebildeten Merkmal 51 zu reduzieren. Die erste Kantenkanal-Subgruppe 54' ist verantwortlich für die Abbildung einer ersten Kantenfläche oder eines ersten Kantengebietes, welches sich entlang der Heimkante 56' erstreckt. Die zweite Kantenkanal-Subgruppe 54'' ist verantwortlich für die Abbildung einer zweiten Kantenfläche oder eines Kantengebietes, welches sich entlang der weg gelegenen Kante 56'' erstreckt. In diesem nicht einschränkenden Beispiel weist jede Kanten-Subgruppe 54' und 54'' zwei Kanäle auf. In anderen Ausführungsbeispielen der Erfindung weisen die Kanten-Subgruppen 54' und 54'' andere geeignete Anzahlen von Kanälen auf. In einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung besteht jede Subgruppe 54' aus einer unterschiedlichen Anzahl von Kanälen als dies für die Subgruppe 54'' gilt.
  • In 10 werden beide Kanten-Subgruppen 54' und 54'' gesteuert zur Erzeugung von Lichtstrahlen mit Intensitätspegeln unterschiedlich von denjenigen der Kanäle der inneren Subgruppe 58. Im dargestellten Ausführungsbeispiel werden beide Kanten-Subgruppen 54' und 54'' gesteuert, um höhere Intensitätspegel nahe den Kanten 56' und 56'' des Merkmals 51 vorzusehen als diese vorgesehen werden in Gebieten oder Flächen des Merkmals 51, abgebildet durch die Kanäle der inneren Subgruppe 58. Jede Kanten-Subgruppe 54'' wird gesteuert zur Emission von Lichtstrahlen mit Intensitäten höher als denjenigen der Lichtstrahlen emittiert durch die Kanten-Subgruppe 54'. Im dargestellten Ausführungsbeispiel unterscheidet sich die Intensität entsprechend der Kanten-Subgruppe 54'' von der Intensität entsprechend der Kanten-Subgruppe 54' durch eine Intensitätsdifferenz ΔI. Diese Intensitätsdifferenz ergibt, dass das Intensitätsprofil 57 asymmetrisch ist.
  • Asymmetrische Intensitätsverteilungen können auch nützlich sein zur Reduktion von Artefakten, die sich aus der Bewegung in Sub-Abtastrichtung 44 ergeben (oder durch diese verstärkt werden). In einigen Ausführungsbeispielen tritt die relative Bewegung zwischen dem Bildkopf 26 und dem Abgabeelement 24 auf, und zwar in Sub-Abtastrichtung während der Abbildung eines Merkmals 51. Eine solche relative Bewegung kann bewirken, dass die ersten und zweiten Kanten des Merkmals 51 unterschiedliche Bildcharakteristika besitzen. In solchen Fällen können die Artefakte reduziert werden durch Abbil den von Teilen des Merkmals 51, die entlang der Kante 56' liegen, mit einer Subgruppe von Kanälen 54', die Strahlen erzeugen mit Intensitäten unterschiedlich von den Strahlen in der Subgruppe 54, die Teile des Merkmals 51 abbilden, und zwar längs der zweiten Kante 56'' liegend. In solchen Fällen ist das Intensitätsprofil 57 asymmetrisch.
  • In weiteren beispielhaften Ausführungsbeispielen der Erfindung werden unterschiedliche Intensitätsprofile 57 zur Abbildung unterschiedlicher Abgabeelemente 24 verwendet.
  • 11 zeigt schematisch ein Abbild- bzw. Bildsystem 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Das System 200 weist einen Mehrkanalbildkopf 26 auf, ferner eine Translationseinheit 220, die eine relative Bewegung zwischen einem abbildbaren Medium 212 und dem Bildkopf 26 während des Abbilden des abbildbaren Mediums 212 durch den Bildkopf 26 vorsieht. Diese Relativbewegung kann entlang einer Sub-Abtastrichtung 44 und/oder einer Hauptabtastrichtung 42 erfolgen, und zwar assoziiert mit der Abbildung. Die Relativbewegung entlang der Sub-Scan- oder Sub-Abtastrichtung 44 zwischen Bildkopf 26 und abbildbarem Medium 212 kann zwischen der aufeinander folgenden Abtastung des Bildkopfes 26 vorgesehen sein oder aber auch nicht.
  • Der Bildkopf 26 kann irgendein geeigneter Mehrkanalbildkopf sein mit individuell anadressierbaren Kanälen, wobei jeder Kanal in der Lage ist, einen Bild- oder Abbildstrahl zu erzeugen, und zwar mit einer Intensität, die gesteuert werden kann. Der Bildkopf 26 kann eine eindimensionale oder eine zweidimensionale Anordnung von Bildkanälen vorsehen. Irgendein Mechanismus kann verwendet werden, um Bildstrahlen zu erzeugen. Die Bildstrahlen können in irgendeiner geeigneten Art und Weise angeordnet sein.
  • Einige Ausführungsbeispiele der Erfindung verwenden Infrarotlaser. Infrarotdioden-Laseranordnungen verwenden 150 μm-Emitter mit ungefähr 50 W-Gesamtausgangsleistung bei einer Wellenlänge von 830 Nanometer, wobei diese Anordnungen in der vorliegenden Erfindung erfolgreich verwandt wurden. Alternative Laser umfassen Laser mit sichtbarem Licht, um die Erfindung auszuführen. Die Wahl der verwendeten Laserquelle kann auf den Eigenschaften des abzubildenden Mediums beruhen.
  • Das abbildbare Medium 212 kann ein Abgabeelement 24 und ein Empfangselement 18 (beide nicht gezeigt) aufweisen. Das System 200 weist auch die Systemsteuervorrichtung 230 auf. Die Steuervorrichtung 230 kann ein Mikrocomputer, ein Mikroprozessor, ein Mikrokontroller oder irgendeine andere geeignete Anordnung elektrischer, elektromechanischer oder elektrooptischer Schaltungen und System umfassen, die in zuverlässiger Weise Signale an Mehrkanalbildkopf 26 und Translationseinheit 220 zum Bildmedium 212 übertragen, und zwar entsprechend verschiedener Dateneingangsgröße an der Steuervorrichtung 230. Die Steuervorrichtung 230 kann eine einzige Steuervorrichtung oder eine Vielzahl von Steuervorrichtungen umfassen.
  • Wie in 11 gezeigt, werden Daten 240, die ein Muster 50 von Merkmalen 51 (nicht in 11 gezeigt) repräsentieren, in die Systemsteuervorrichtung 230 eingegeben. Das Muster 50 kann ein Muster von Farbmerkmalen darstellen, die einen Teil eines Farbfilters bilden, wobei dies aber nicht einschränkend zu verstehen ist.
  • Ein Programmprodukt 250 kann durch die Systemsteuervorrichtung 230 verwendet werden, um verschiedene vom System 200 angeforderte Funktionen auszuführen. Eine Funktion umfasst die Einstellung von Steuerparametern für den Bildkopf 26, um Kantendiskontinuitäten der Merkmale 51 des Musters 50, wie beschrieben, zu reduzieren. Ohne Einschränkung sei Folgendes festgestellt: Das Programmprodukt 250 kann irgendein Medium aufweisen, welches einen Satz von computerlesbaren Signalen trägt und Befehle umfasst, die dann, wenn sie durch einen Computerprozessor ausgeführt werden, bewirken, dass der Computerprozessor ein Verfahren, wie es hier beschrieben ist, ausführt. Das Programmprodukt 250 kann in irgendeiner großen Verschiedenheit von Formen vorliegen. Die Programmprodukt 250 kann beispielsweise Fol gendes aufweisen: Ein körperliches Medium, wie beispielsweise ein Magnetspeichermedium einschließlich Floppy Disks, Hark Disks Drive, optische Datenspeichermedien einschließlich CD ROMS, DVDs, elektronische Datenspeichermedien einschließlich ROMs, Flash RAM oder dergleichen. Die Befehle können wahlweise komprimiert und/oder auf dem Medium verschlüsselt sein.
  • In einem beispielhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung konfiguriert das Programmprodukt 250 die Systemsteuervorrichtung 230 zur Analysierung der Daten 240 zur Identifizierung einer speziellen Gruppe 48 von Kanälen 40, die verwendet werden soll, um ein gegebenes Merkmal 51 abzubilden. Die Systemsteuervorrichtung 230 wählt auch Subgruppen 54' und 54'' aus, die verwendet werden sollen, um Bildkantenteile des Merkmals 51 abzubilden. Die Identifikation von Gruppen 48 und Subgruppen 54', 54'' und 58 kann automatisch durch die Systemsteuervorrichtung 230 ausgeführt werden. Alternativ oder zusätzlich kann die Steuervorrichtung 230 die manuelle Auswahl von Kanalgruppen 48 (einschließlich Subgruppen 54', 54'' und 58) gestatten, und zwar unter der Führung eines Operators, der mit der Systemsteuervorrichtung 230 durch eine geeignete Benutzer-Interface kommuniziert.
  • Die Steuervorrichtung 230 stellt die Steuerparameter ein, einschließlich von Parametern, die die Intensitäten für Kanäle in Subgruppen 54' und 54'' und Kanälen in der inneren Subgruppe 58 einstellen. Die Intensitäten werden derart ausgewählt, dass die mindestens gleich Ithresh oder Ischwelle sind, und zwar assoziiert mit dem abzubildenden Abgabeelement 24. Die Intensität für jeden Kanal wird basierend darauf, ob der Kanal in einer Kanten-Subgruppe 54 ist, bestimmt oder nicht bestimmt. In einigen Fällen wird die Intensität zusätzlich basierend auf anderen Faktoren bestimmt, wie beispielsweise den Folgenden:
    Wo sich der Kanal im Bildkopf 26 befindet (beispielsweise, was die Kanalnummer ist);
    welche Kanten-Subgruppe (54' oder 54'') der Innenkanal ist;
    wenn die Subgruppe mehr als einen Kanal aufweist, wo der Kanal innerhalb der Subgruppe angeordnet ist;
    die Größe und Position des Merkmals 51, wie es innerhalb des Musters 50 abgebildet wird;
    die Sequenz der Abbildung unterschiedlicher Abgabeelemente; und zusätzliche Betrachtungen.
  • Die Intensitäten können automatisch durch die Steuervorrichtung 230 eingestellt oder festgelegt werden, und zwar basierend auf einigen oder allen obigen Faktoren. Die Bestimmung der Kanalsteuerparameter kann auf der Basis geeigneter Algorithmen und/oder in die Steuervorrichtung eingegebener Daten vorgenommen werden oder aber im Programmprodukt 250 einprogrammiert sein. Die Steuerparameter können vor der Abbildung bestimmt werden oder sie können „im Fluge" bestimmt werden, während die Abbildung fortschreitet.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Steuervorrichtung 230 die manuelle Abstimmung der Kanalintensitäten gestatten, und zwar unter der Leitung eines Operators, der mit der Systemsteuervorrichtung (systems controller) 230 durch ein geeignetes Benutzer-Interface arbeitet.
  • In einigen Ausführungsbeispielen hält die Steuervorrichtung 230 die Intensitätsinformation 232 ausreicht, die eine Intensität (oder äquivalent eine Größe der Verstärkung der Intensität) für jeden Kanal 40 eines Bildkopfes 26 spezifiziert. Die Intensitätsinformation kann sich über die Kanäle des Bildkopfes 26 hinweg ändern. Wenn ein Kanal in eine Kanten-Subgruppe 54' und 54'' für ein spezielles Merkmal 51 (d. h. wo dieser Kanal 40 einen Kantenteil des Merkmals abbildet) bestimmt ist, so kann die Steuervorrichtung 230 automatisch die Intensität für den Kanal einstellen, und zwar auf den durch die Intensitätsinformation spezifizierten Wert.
  • In einigen Ausführungsbeispielen behält die Steuervorrichtung 230 gesonderte Intensitätsinformation für die heimseitige Kanten-Subgruppe 54' und die weg gelegene Seiten-Kanten-Subgruppe 54''. In derartigen Ausführungsbeispielen bestimmt die Steuervorrichtung 230, ob ein Kanal in einer Subgruppen 54' und 54'' sich befindet. Wenn dies der Fall ist, so entnimmt die Steuervorrichtung 230 die Intensitätsinformation, geeignet für diese Subgruppe und Kanal, und stellt die Intensität des Kanals entsprechend der Intensitätsinformation ein.
  • Die Steuervorrichtung 230 betätigt dann den Bildkopf 26 und die Translationseinheit 220 zur Bildung des Mediums 212 unter Verwendung der Intensität wie sie für jeden Kanal bestimmt wurde. In einigen Ausführungsbeispielen übersteigt die Intensität der Kanäle in mindestens einer der (und in einigen Ausführungsbeispielen in beiden der) Kanten-Subgruppen 54' und 54'', die die Kantenteile entlang Kanten 56' und 56'' eines Merkmals 51 abbilden, die Intensität der Kanäle in der Innen-Subgruppe 56 des gleichen Rahmens 51 um mindestens 3%.
  • Für die hier beschriebenen Verfahren ist es zweckmäßig, wenn die Merkmale 51 die Form von Streifen besitzen mit Kanten, die sich parallel zur Hauptabtastrichtung 42 erstrecken. Die Streifen können kontinuierlich oder unterbrochen sein. In solchen Fällen werden die Kantenteile der Merkmale durch die gleichen Kanäle 40 entlang der Merkmale abgebildet. Es ist besonders zweckmäßig, wenn mehrere solche Streifenmerkmale in einem einzigen Durchgang des Bildkopfes 26 abgebildet werden können. Die Erfindung ist jedoch nicht auf die Abbildung von Streifen beschränkt.
  • In einigen beispielhaften Ausführungsbeispielen der Erfindung wird ein Merkmal 51 während einer oder mehreren Abtastungen des Bildkopfes 26 abgebildet. Ein Merkmal 51 kann mit einem weiteren Merkmal angrenzend oder nicht angrenzend sein.
  • Die Merkmale 51 können entsprechend Bilddaten abgebildet werden, die Halbton-Abtastdaten umfassen. Bei der Halbtonabbildung weisen die Merkmale Halbtonpunkte auf. Die Halbtonpunkte („halftone dots") variieren in ihrer Größe gemäß der gewünschten Helligkeit der Dunkelheit des abgebildeten Merkmals. Jeder Halbtonpunkt ist typischerweise größer als durch Bildkopf 26 abgebildete Pixel und besteht typischerweise aus einer Matrix von Pixeln abgebildet durch eine Vielzahl von Bildkanälen. Halbtonpunkte sind typischerweise abgebildet mit einer gewählten „Screen Ruling", typischerweise definiert durch die Anzahl von Halbtonpunkten pro Einheitslänge und eines gewählten „Screen Angles", typischerweise definiert durch einen Winkel, mit dem die Halbtonpunkte orientiert sind. In beispielhaften Ausführungsbeispielen der Erfindung kann ein Merkmal 51 mit einer „Screen Density" entsprechend den ausgewählten Halbton-„Screen Data” abgebildet werden zur Abbildung dieses Merkmals.
  • In anderen beispielhaften Ausführungsbeispielen der Erfindung kann ein Merkmal 51 mit einer „Stochastic Screen" abgebildet werden, und zwar gebildet durch gleichgroße Punkte mit unterschiedlicher Raumfrequenz. In weiteren Ausführungsbeispielen der Erfindung kann ein nicht angrenzendes Merkmal mit einer kombinierten Halbton- und stochastischen „Screen" (üblicherweise als „Hybrid"-Screen bezeichnet) abgebildet werden.
  • Die Erfindung wurde unter Verwendung von beispielhaften Anwendungen bei der Anzeige und elektronischen Vorrichtungsherstellung beschrieben, wobei die beschriebenen Verfahren direkt auf die Abbildung von irgendwelchen Mustern von Merkmalen gerichtet sind, und zwar einschließlich von Merkmalen wie sie in der biomedizinischen Abbildung für „Lab-on-a-chip" (LOC)-Fabrikation verwendet werden. LOC-Vorrichtungen können mehrere sich wiederholende Muster von Merkmalen aufweisen. Die Erfindung kann auch bei anderen Technologien eingesetzt werden, wie beispielsweise bei der Medizintechnik, der Drucktechnik und bei elektronischen Herstellungstechnologien.
  • Die beispielhaften Ausführungsbeispiele sind lediglich veranschaulichend für die vorliegende Erfindung und der Fachmann kann viele Abwandlungen der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele, ohne de Rahmen der Erfindung zu verlassen, erkennen.
  • Zusammenfassung
  • Verfahren zur Abbildung von Mustern von Merkmalen durch thermischen Transfer, umfassend die Steuerung der Intensitäten einer Vielzahl von Strahlen. Die Intensitäten der Strahlen, die Bildkantenteile eines Merkmals abbilden, können unterschiedlich eingestellt werden gegenüber Intensitäten von Strahlen, die innere Teile des Merkmals abbilden. Strahlen, die nahe gelegene oder Heimkanten und weg gelegene Kanten eines Merkmals abbilden, können so gesteuert werden, dass sie unterschiedliche Intensitäten besitzen. Eine Vorrichtung zur Abbildung von Mustern von Merkmalen kann eine Steuervorrichtung aufweisen, die konfiguriert ist zur Aufrechterhaltung der Intensitätsinformation für Kanäle eines Mehrkanalbildkopfes. Die Steuervorrichtung verwendet die Intensitätsinformation, um die Intensitäten derjenigen Kanäle einzustellen, die den Kantenteilen der Merkmale entsprechen, die einem laufenden Durchgang des Bildkopfes abgebildet werden.
  • 10
    Farbfilter
    12
    (rotes) Farbelement
    12'
    (rotes) Farbelement
    14
    (grünes) Farbelement
    14'
    (grünes) Farbelement
    16
    (blaues) Farbelement
    16'
    (blaues) Farbelement
    18
    Empfangselement
    20
    schwarze Matrix
    22
    Gebiete
    24
    Donor- oder Abgabeelement
    26
    Mehrkanalabbildkopf
    30'
    roter Streifen
    32
    roter Streifen
    34
    Streifen
    34'
    Teil
    34''
    Teil
    36
    roter Streifen
    38
    erste Position
    38'
    neue Position
    40
    individuell anadressierbare Bildkanäle
    41
    gestrichelte Linien
    42
    Hauptabtastrichtung
    44
    Sub- oder Unterabtast-Richtung
    45
    letzter Kanal
    46
    erster Kanal
    47
    Kantendiskontinuität
    48
    Kanalgruppe
    48'
    Kanalgruppe
    49
    Kantendiskontinuität
    50
    Muster von Merkmalen
    51
    Merkmal
    52'
    unterer Teil
    54
    Kanal-Sub- oder Untergruppe
    54'
    erste Kanten-Kanal-Sub- oder Untergruppe
    54''
    zweite Kanten-Kanal-Sub- oder Untergruppe
    56'
    „Home"-Aussenkante
    56''
    weg gelegene Außenkante
    57
    Intensitätsprofil
    58
    innere Kanal-Gruppe
    60
    nicht abgebildete Gebiete
    100
    lineare Lichtventilanordnung
    101
    deformierbare Spiegel-Elemente
    102
    Halbleitersubstrat
    104
    Laser
    106
    Beleuchtungslinie
    108
    zylindrische Linse
    110
    zylindrische Linse
    112
    Linse
    114
    Apertur, Öffnung
    116
    Apertur-Stop
    118
    Linse
    120
    bildweiser Modulationsstrahl
    200
    System
    212
    abbildbare Medien, „imageable media"
    220
    Translationseinheit
    230
    Systemsteuervorrichtung
    232
    Intensitätsinformation.
    240
    Daten
    250
    programmiertes Produkt
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Claims (29)

  1. Verfahren zur Abbildung eines Merkmals durch laserinduzierte thermische Übertragung, wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Abtasten oder Führen einer Vielzahl von unabhängig steuerbaren Lichtstrahlen entlang entsprechender Abtastlinien auf einem Substrat, welches ein Abgabeelement und ein Empfangselement aufweist, wobei jeder Lichtstrahl betätigbar ist, um ein entsprechendes Bildpixel auf dem Empfangselement zu formen; Abbildung eines Merkmals durch Betrieb einer angrenzenden Gruppe der Strahlen zur Übertragung eines Bildformmaterials von dem Abgabeelement zum Empfangselement; und Steuern der Intensitäten, während der Abbildung des Merkmals, einer ersten Kanten-Subgruppe von einem oder mehreren der Strahlen entsprechend einem ersten Teil des Merkmals, welches sich entlang einer ersten Kante des Merkmals erstreckt, und einer zweiten Kanten-Subgruppe von einem oder mehreren der Strahlen entsprechend einem zweiten Teil des Merkmals, welches sich längs einer zweiten Kante des Merkmals erstreckt, um Intensitäten vorzusehen, die sich unterscheiden von Intensitäten einer Innen-Subgruppe von einem oder mehreren der Strahlen entsprechend einem Innenteil des Merkmals.
  2. Verfahren nach Anspruch, wobei Folgendes vorgesehen ist: Einstellen der Intensitäten der Strahlen von mindestens einer der ersten und zweiten Subgruppen derart, dass diese die Intensitäten von mindestens einigen der Strahlen der inneren Subgruppe um 3% oder mehr übersteigen.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Folgendes vorgesehen ist: Einstellen der Intensitäten der Strahlen der ersten Kanten-Subgruppe unterschiedlich von den Intensitäten der Strahlen der zweiten Kanten-Subgruppe.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei Folgendes vorgesehen ist: Einstellen der Intensitäten der Gruppen der Strahlen, um ein Intensitätsprofil vorzusehen, das symmetrisch über das Merkmal hinweg verlauft.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei Folgendes vorgesehen ist: Einstellen der Intensitäten der Strahlen der inneren Subgruppe zum Vorsehen eines asymmetrischen Intensitätsprofils in dem Innenteil des Merkmals.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei Folgendes vorgesehen ist: Beibehaltung der Intensitätsinformation assoziiert mit jedem der Strahlen, wobei die Intensitätsinformation eine Intensität spezifiziert, die für den Strahl eingestellt ist im Fall, dass der Strahl einer der ersten und zweiten Subgruppen für irgendein Merkmal ist; Bestimmen, welche Strahlen in der ersten Kanten-Subgruppe für das Merkmal stehen; und Einstellen der Intensitäten der Strahlen der ersten Kanten-Subgruppe entsprechend der Intensitätsinformation entsprechend den Strahlen.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei Folgendes vorgesehen ist: Beibehaltung der ersten Intensitätsinformation assoziiert mit jedem der Strahlen, wobei die ersten Intensitätsinformation eine für den Strahl einzustellende Intensität spezifiziert, wenn der Strahl in der ersten Kanten-Subgruppe für irgendein Merkmal sich befindet; Aufrechterhaltung der zweiten Intensitätsinformation assoziiert mit jedem der Strahlen, wobei die zweite Intensitätsinformation eine Intensität spezifiziert, die für den Strahl eingestellt wird, wenn der Strahl sich in der zweiten Subgruppe für irgendein Merkmal befindet; Bestimmen, welche Strahlen sich in der ersten Subgruppe für ein Merkmal befinden; Einstellen der Intensitäten der Strahlen der ersten Kante-Subgruppe entsprechend der ersten Intensitätsinformation entsprechend den Strahlen; Bestimmen, welche Strahlen in der zweiten Kanten-Subgruppe für das Merkmal sind; und Einstellen der Intensitäten für die Strahlen der zweiten Kanten-Subgruppe entsprechend der zweiten Intensitätsinformation entsprechend den Strahlen.
  8. Verfahren zur Formung eines Merkmals auf einem Empfangselement, wobei das Merkmal einen ersten Kantenteil und einen zweiten Kantenteil aufweist, und wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Betrieb eines Bildkopfes, der eine Vielzahl von individuell anadressierbaren Kanälen aufweist, um Lichtstrahlen entsprechend den Kanälen zu leiten, und zwar zur Abtastung entlang entsprechender Abtastpfade oder Bahnen auf einem Abgabeelement und zum Transfer von Material von dem Abgabeelement zu dem Empfangselement durch einen laserinduzierten thermischen Transferprozess, während die Intensitäten der Strahlen gesteuert werden und zwar entsprechend den Kanälen, so dass die Strahlen entsprechend einem ersten Kantenteil des Merkmals mit einer ersten Intensität betrieben werden und die Strahlen entsprechend einem zweiten Kantenteil des Merkmals mit einer zweiten von der ersten Intensität unterschiedlichen Intensität betrieben werden.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei Folgendes vorgesehen ist: Betrieb der Strahlen entsprechend einem Innenteil des Merkmals mit einer dritten Intensität, die unterschiedlich ist von der ersten und/oder zweiten Intensität.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei die dritte Intensität unterschiedlich von beiden, den ersten und zweiten Intensitäten ist.
  11. Verfahren nach Anspruch 9, wobei Folgendes vorgesehen ist: die dritte Intensität ist niedriger als mindestens eine der ersten und zweiten Intensitäten.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei die dritte Intensität mindestens 3% niedriger ist als entweder die erste oder die zweite Intensität.
  13. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der ersten Kantenteil und der zweite Kantenteil räumlich voneinander in einer Sub-Abtastrichtung betrennt sind.
  14. Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Merkmal einen Streifen aufweist, der in einer Richtung parallel zu den Abtastpfaden kontinuierlich ist.
  15. Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Merkmal einen Streifen aufweist, der in einer Richtung parallel zu den Abtastpfaden unterbrochen ist.
  16. Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Merkmal ein Merkmal eines Musters ist, welches eine Vielzahl von Merkmalen aufweist, und wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Betrieb des Bildkopfes zur gleichzeitigen Formung des Merkmals und mindestens eines weiteren Merkmals des Musters.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, wobei der erste Kantenteil einer Heimkante des Merkmals entspricht und wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Einstellen der Intensitäten der Strahlen entsprechend dem Heimkantenteil des Merkmals, und zwar unterschiedlich von Intensitäten der Strahlen entsprechend einem Heimkantenteil des mindestens einen weiteren Merkmals.
  18. Verfahren nach Anspruch 16, wobei der zweiten Kantenteil einer weg gelegenen Kante des Merkmals entspricht und wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Einstellen der Intensitäten der Strahlen entsprechend dem weg gelegenen Teil des Merkmals, und zwar unterschiedlich von den Intensitäten der Strahlen entsprechend einem weg gelegenen Kantenteil des mindestens einen weiteren Merkmals.
  19. Verfahren nach Anspruch 16, wobei Folgendes vorgesehen ist: Einstellen der Intensitäten der Kanäle entsprechend der ersten und zweiten Kantenteilen des mindestens einen weiteren Merkmals, und zwar unterschiedlich von den Intensitäten eingestellt für die Kanäle entsprechend den ersten zweiten Kantenteilen des Merkmals.
  20. Verfahren nach Anspruch 16, wobei das Muster der Merkmale ein sich wiederholendes Muster ist.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, wobei das Muster der Merkmale ein sich wiederholendes Muster von Streifen ist, die sich parallel zu den Abtastpfaden erstrecken.
  22. Verfahren nach Anspruch 16, wobei das Muster der Merkmale ein Muster von Farbmerkmalen aufweist, die einen Teil eines Farbfilters bilden.
  23. Verfahren zur Formung einer Vielzahl von Merkmalen, wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Vorschub eines Bildkopfes relativ zu einem Empfangselement entlang einem Abtastpfad zum Transfer der Vielzahl von Merkmalen von einem Donor-Element oder Abgabeelement zu dem Empfangselement, und zwar durch einen laserinduzierten thermischen Transferprozess, wobei der Bildkopf ein Lichtventil aufweist, und zwar betreibbar zur individuellen Steuerung einer Vielzahl von Lichtstrahlen, wobei jeder Lichtstrahl in der Lage ist, ein Bildformmaterial vom Abgabeelement zum Empfangselement zu übertragen; und Betrieb des Lichtventils zur Steuerung der Vielzahl von Strahlen, wobei die Strahlen, die die Kantenteile eines Merkmals übertragen, unterschiedliche Intensitäten von den Strahlen besitzen, die die Innenteile des Merkmals übertragen.
  24. Verfahren nach Anspruch 23, wobei Folgendes vorgesehen ist: Modulieren der Vielzahl von Strahlen zur Übertragung der Innenteile des Merkmals mit Lichtstrahlen von niedrigerer Intensität als der Intensität der Lichtstrahlen, die verwendet werden zur Übertragung der Kantenteile des Merkmals.
  25. Verfahren zur Formung einer Vielzahl von Merkmalen durch einen laserinduzierten thermischen Transferprozess, wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Vorschub eines Bildkopfes relativ zu einem Empfangselement längs einem Abtastpfad zum Übertragen der Vielzahl von Merkmalen von einem Donor- oder Abgabeelement zum Empfangselement, wobei der Bildkopf eine Anordnung aus benachbart positionierten Bildkanälen aufweist, wobei jeder Bildkanal betreibbar ist zur Formung eines individuell steuerbaren Lichtstrahls und wobei jeder Lichtstrahl in der Lage ist, ein Bildformungsmaterial vom Abgabeelement zum Empfangselement zu übertragen; Betrieb des Bildkopfes zum selektiven Modulieren jedes Strahls wobei die Kantenteile jedes Merkmals mit Lichtstrahlen von unterschiedlichen oder sich variierenden Energieintensitäten übertragen werden.
  26. Verfahren zur Formung eines Merkmals durch einen laserinduzierten thermischen Transferprozess, wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Vorschub eines Bildkopfes relativ zu einem Empfangselement entlang eines Abtastpfades; und Steuern des Bildkopfes zur Formung einer Vielzahl von Lichtstrahlen mit einem asymmetrischen Intensitätsprofil zur Formung des Merkmals durch Transfer eines Bildformmaterials von einem Abgabeelement zu einem Empfangselement.
  27. Verfahren nach Anspruch 26, wobei Folgendes vorgesehen ist: Steuern des Bildkopfes selektiv zur Modulation der Vielzahl von Lichtstrahlen zum Transfer von Kantenteilen des Merkmals mit Lichtstrahlen von unterschiedlichen Intensitäten.
  28. Verfahren zur Formung einer Vielzahl von Merkmalen durch einen laserinduzierten thermischen Transferprozess, wobei das Verfahren Folgendes vorsieht: Vorschub eines Bildkopfes relativ zu einem Empfangselement entlang einem Abtastpfad zum Übertragen der Vielzahl von Merkmalen von einem Abgabeelement zum Empfangselement, und Steuern des Bildkopfes zum Transfer eines ersten Merkmals von dem Abgabeelement zum Empfangselement mit einer ersten Vielzahl von Bildstrahlen; und zum Transfer eines zweiten Merkmals vom Abgabeelement zum Empfangselement mit einer zweiten Vielzahl von Bildstrahlen; wobei die erste Vielzahl von Bildstrahlen und die zweite Vielzahl von Bildstrahlen unterschiedliche Intensitätsprofile besitzen.
  29. Ein Programmprodukt, welches einen Satz von computerlesbaren Signalen trägt, die Befehle umfassen, die, wenn sie durch eine Systemsteuervorrichtung ausgeführt werden, die Systemsteuervorrichtung zu Folgendem veranlassen: Betrieb eines Bildkopfes, der eine Vielzahl von individuell steuerbaren Kanälen aufweist, um entlang eines Abtastpfades ein Merkmal oder mehrere Merkmale von einem Abgabeelement zu einem Empfangselement in einem laserinduzierten thermischen Transferprozess zu übertragen; und selektive Aktivierung der Kanäle der Vielzahl von individuell steuerbaren Kanälen zur Übertragung eines ersten Kantenteils von einem oder mehreren der Merkmale mit einer ersten Intensität und eines zweiten Kantenteils von einem oder mehreren der Merkmale mit einer zweiten Intensität, wobei die zweite Intensität sich von der ersten Intensität unterscheidet.
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