KR20090034351A

KR20090034351A - 피쳐의 증진된 이미지화

Info

Publication number: KR20090034351A
Application number: KR1020097001406A
Authority: KR
Inventors: 실비아 해윗 스티븐슨; 발렌틴 카라슉
Original assignee: 코닥 그래픽 커뮤니케이션즈 캐나다 캄파니
Priority date: 2006-07-28
Filing date: 2007-07-11
Publication date: 2009-04-07
Also published as: WO2008015515A3; TW200812816A; CN101506735A; US8233020B2; WO2008015515A2; DE112007001769T5; TWI320362B; GB2453682A; US20100047701A1; CN101506735B; JP2009544998A; GB0823654D0

Abstract

열 이동에 의해 피쳐의 패턴을 이미지화하는 방법은 다수의 빔의 강도를 조절함을 포함한다. 피쳐의 가장자리 부분을 이미지화하는 빔의 강도는 피쳐의 내부 부분을 이미지화하는 빔의 강도와는 상이하도록 설정할 수 있다. 피쳐의 홈 가장자리 및 떨어져있는 가장자리를 이미지화하는 빔은 상이한 강도를 갖도록 조절할 수 있다. 피쳐의 패턴을 이미지화하는 장치는 다중-채널 이미지화 헤드의 채널에 대한 강도 정보를 유지하도록 형성된 제어기를 포함할 수 있다. 제어기는 강도 정보를 사용하여, 이미지화 헤드의 최근 스와쓰에서 이미지화된 피쳐의 가장자리 부분에 대응하는 채널의 강도를 설정한다.

피쳐, 이미지화, 제어기, 강도 정보, 다중-채널 이미지화 헤드.

Description

피쳐의 증진된 이미지화 {ENHANCED IMAGING OF FEATURES}

관련 출원

본 출원은 2006년 7월 28일자로 출원되고 발명의 명칭이 "패턴의 증진된 이이미지화를 위한 방법 및 장치"인 미국 가특허원 제60/820,738호를 우선권으로서 주장한다.

기술 분야

본 발명은 피쳐 및 피쳐의 패턴을 이미지화하기 위한 이미지화 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 예를 들면, 전자 디스플레이용 컬러 필터를 제조하는 데 적용될 수 있다.

디스플레이 및 반도체 전자 장치를 제작하는 일반적인 기술은 수 개의 이미지화 단계들을 포함한다. 전형적으로, 각각의 단계에서, 내식막 또는 기타 감광성 물질로 피복된 기판은 광-도구 마스크(photo-tool mask)를 통해 방사선에 노출시켜 일부 변화가 일어나도록 한다. 각각의 단계는 한정된 실패 위험을 지닌다. 각 단 계에서의 실패 가능성은 전체 공정 수율을 저하시키고 가공된 제품의 비용을 증가시킨다.

구체적인 예는 액정 디스플레이와 같은 평판 디스플레이를 위한 컬러 필터의 제작이다. 컬러 필터 제작은 고가의 재료 및 전형적으로 낮은 공정 수율 때문에 매우 고가의 공정일 수 있다. 전통적인 석판인쇄술적 공정은 스핀-코팅(spin-coating), 슬릿(slit) 및 스핀 또는 무-스핀(spin-less) 코팅과 같은 코팅 기술을 사용하여 컬러 내식막 물질을 기판에 도포함을 포함한다. 이 물질은 이후에 광-도구 마스크를 통해 노출되고 현상된다.

레이저-유도된 열 이동 공정이 디스플레이 및 특히 컬러 필터의 제작에 사용하기 위해 제안된 바 있다. 이러한 공정에서는, 수용체 소자(receiver element)로서 또한 공지된 컬러 필터 기판이 공여체 소자(donor element)와 겹치며, 그후 공여체 소자는 이미지-방식으로 노출되어 착색제를 공여체 소자에서 수용체 소자로 선택적으로 이동시킨다. 바람직한 노출 방법은 방사선 빔을 사용하여 수용체 소자로의 착색제의 이동을 유도한다. 다이오드 레이저가 변조 용이성, 낮은 비용 및 작은 크기로 인해 특히 바람직하다.

레이저-유도된 "열 이동" 공정은 레이저-유도된 "염료 이동" 공정, 레이저-유도된 "용융 이동" 공정, 레이저-유도된 "어블레이션 이동(ablation transfer)" 공정 및 레이저-유도된 "질량 이동" 공정을 포함한다. 레이저-유도된 열 이동 공정 동안 이동된 착색제는 적합한 염료계 또는 안료계 조성물을 포함한다. 추가의 요소, 예를 들면, 하나 이상의 결합제가 이동될 수 있다.

종래의 직접 이미지화 시스템은 제한된 수의 이미지화 빔을 사용하였다. 종래의 직접 이미지화 시스템은 또한 가우스 강도 분포(Gaussian intensity distribution)를 갖는 빔을 사용하였다. 권 등(Kwon et al.)의 미국 특허 제6,242,140호에서는 균일한 에너지 분포를 갖는 레이저 빔 또는 디저링(dithering)에 의해 스캐닝되는 레이저 빔의 사용을 기재하고 있다. 기타의 종래의 시스템은 이미지를 완성하는 데 소용되는 시간을 절감하기 위해 개별적으로 변조되는 빔 수백개를 병렬로 사용한다. 다수의 이러한 "채널"을 사용하는 이미지화 헤드는 쉽게 입수할 수 있다. 예를 들면, 캐나다 브리티쉬 컬럼비아 소재의 코닥 그래픽 커뮤니케이션즈 캐나다 캄파니(Kodak Graphic Communications Canada Company)에서 제조한 SQUAREspot^R 모델 열 이미지화 헤드는 수백개의 독립적인 채널을 갖는다. 각각의 채널은 25mW 초과의 전력을 가질 수 있다. 이미지화 채널의 어레이(array)는, 이미지가 근접하게 접하여 연속 이미지를 형성하는 일련의 스와쓰(swath)에 기록되도록 조절할 수 있다.

이미지화된 매체에 투영하는 출력 방사선 조건에서의 매우 작은 변화조차도 레이저-유도된 열 이동 공정에서 밴딩(banding) 및 거친 가장자리(rough edge)와 같은 이미지화 아티팩트(artifact)를 야기할 수 있다. 이미지화 채널의 어레이에 의해 방출되는 출력 방사선의 변화는 전력, 빔 크기, 빔 형상, 초점 및 빔 간섭성에서의 채널간 변화로부터 기원할 수 있다. 아티팩트는 단지 이미지화 시스템에만 기인하지 않을 수 있다. 이미지화된 매체 자체가 또한 밴딩 및 다른 이미지화 아 티팩트에 기여할 수 있다.

몇몇 선행 기술의 다중-채널 이미지화 시스템은 이미지화 어레이에서의 모든 채널의 방사선 출력을 동일하게 조정하는 교정방법(calibration method)을 사용한다. 기타의 교정방법은 이미지화 헤드의 모든 채널을 한번에 작동시켜 스와쓰를 이미지화하고, 어레이에서의 채널의 출력을 조정함으로써 스와쓰 전체에 기록된 광학 특성에 있어서의 균일성을 확립하고자 시도한다. 유럽 공개특허공보 제434,449A2호 및 미국 특허 제6,618,158호는 이미지화 어레이의 채널들 간의 변화를 감소시키거나 다중-채널 이미지화 어레이 전반에 걸쳐 균일한 전력 분포를 확립하기 위한 방법을 기재하고 있다.

이미지 품질은 컬러 필터의 제조시 특히 중요하다. 컬러 필터는 전형적으로 공간을 두고 떨어져 있는 컬러 소자(color element)의 반복 패턴을 갖는다(소자는 통상적으로 적색, 녹색 및 청색과 같은 세 가지 컬러로 이루어진다). 컬러 소자가 반복 패턴을 형성하기 때문에, 이미지화 공정에 의해 도입된 주기적 변화가 사람 눈으로 감지할 수 있는 가시적 비팅(visual beating)을 야기할 수 있다. 컬러 소자의 경계를 따라 있는 거친 가장자리는 컬러 필터의 품질에 더욱 불리한 영향을 미치는 무색 보이드(colorless void)를 야기할 수 있다.

피쳐의 패턴의 고품질 이미지를 만들 수 있도록 하는 비용 효율적이고 실용적인 이미지화 방법 및 시스템이 요구된다. 컬러 필터에서의 컬러 소자의 패턴과 같은 피쳐의 반복 패턴을 다중-채널 이미지화 헤드로 이미지화하는 것과 관련된 이미지화 아티팩트의 가시성을 줄이는 이미지화 방법이 요구된다.

발명의 요지

본 발명의 한 가지 국면은 레이저-유도된 열 이동에 의해 피쳐를 이미지화하는 방법을 제공한다. 상기 방법은 다수의 독립적으로-제어 가능한 광 빔을 공여체 소자와 수용체 소자를 포함하는 기판 위에 상응하는 스캔 라인을 따라 스캔 방향으로 스캐닝함을 포함한다. 상기 방법은 연속 그룹의 빔을 공여체 소자에서 수용체 소자로 물질을 이동시키도록 작동시킴으로써 피쳐를 이미지화하며, 피쳐를 이미지화하면서, 피쳐의 내부 부분에 상응하는 하나 이상의 빔의 내부 서브-그룹(sub-set)과는 상이한 강도를 갖도록 피쳐의 제1 가장자리를 따라 연장하는 피쳐의 제1 부분에 상응하는 하나 이상의 빔의 제1 가장자리 서브-그룹 및 피쳐의 제2 가장자리를 따라 연장하는 피쳐의 제2 부분에 상응하는 하나 이상의 빔의 제2 가장자리 서브-그룹의 강도를 조절한다.

본 발명의 일부 예시적인 양태에서, 광 빔은 다중-채널 이미지화 헤드에 의해 발생한다. 광 빔은 반드시 가시광선인 것은 아니며, 적외선 빔, 가시광선 빔, 또는 다른 적합한 파장 범위의 빔일 수 있다. 다수의 피쳐는 다중-채널 이미지화 헤드의 하나의 스캔 동안 이미지화될 수 있다. 일부 양태에서, 빔은 비대칭인 강도 프로파일을 제공한다.

본 발명의 일부 예시적인 양태는 다음의 특징들 중의 하나 이상을 갖는다:

ㆍ 다수의 피쳐가 다중-채널 이미지화 헤드의 하나의 스캔 동안 이미지화되며, 이미지화 헤드가, 제1 피쳐의 홈 가장자리(home edge)가 제2 피쳐의 홈 가장자 리를 이미지화하는 데 사용된 광 빔의 강도와는 상이한 강도를 갖는 광 빔에 의해 이미지화되도록 조절되고;

ㆍ 다수의 피쳐가 다중-채널 이미지화 헤드의 하나의 스캔 동안 이미지화되며, 이미지화 헤드가, 제1 피쳐의 떨어져있는 가장자리(away edge)가 제2 피쳐의 떨어져있는 가장자리를 이미지화하는 데 사용된 광 빔의 강도와는 상이한 강도를 갖는 광 빔에 의해 이미지화되도록 조절되고;

ㆍ 다수의 피쳐가 이미지화되며, 하나의 피쳐를 이미지화하는 데 사용되는 다수의 빔이 다른 하나의 피쳐를 이미지화하는 데 사용되는 빔에 의해 제공되는 강도 프로파일과는 상이한 강도 프로파일을 제공하고;

ㆍ 피쳐가, 피쳐에 대해 비대칭인 강도 프로파일로 이미지화되고;

ㆍ 제1 피쳐와 제2 피쳐가, 서로 상이한 제1 강도 프로파일 및 제2 강도 프로파일로 이미지화된다.

본 발명의 또 다른 국면은 피쳐의 패턴을 이미지화하기 위한 프로그램 제품을 제공한다.

본 발명의 추가의 국면 및 본 발명의 양태의 특성이 본원에 기재되어 있다.

본 발명의 양태 및 적용은 첨부된 비제한적인 도면에 의해 예시된다. 첨부된 도면은 본 발명의 개념을 예시하기 위한 목적이며 이에 제한되는 것은 아니다.

도 1A는 선행 기술의 컬러 필터의 일부의 평면도이다.

도 1B는 또 다른 선행 기술의 컬러 필터의 일부의 평면도이다.

도 2는 예시적인 선행 기술의 다중-채널 이미지화 헤드의 광학 시스템의 부분적으로 개략화된 사시도이다.

도 3은 비-연속 피쳐(non-contiguous feature)의 패턴을 이미지화 가능한 매체에 이미지화하는 다중-채널 이미지화 헤드의 개략도이다.

도 4는 레이저-유도된 열 이동 공정에 의해 제조된 컬러 필터에 존재하는 가장자리 불연속(edge discontinuity)의 사진이다.

도 5는 본 발명의 국면에 따라 다중-채널 이미지화 헤드에 의해 이미지화된 매체의 개략도이다.

도 6은 도 5의 일부의 상세도이다.

도 6A는 본 발명의 예시적인 양태에 따른 대칭 에너지 강도 프로파일이다.

도 6B는 본 발명의 예시적인 양태에 따른 비대칭 에너지 강도 프로파일이다.

도 7은 본 발명의 예시적인 양태에 따라 제조된 컬러 필터의 일부의 사진이다.

도 8은 도 7에 도시된 컬러 필터의 또 다른 일부의 사진이다.

도 9A는 이미지-형성 물질을 공여체 소자에서 수용체 소자를 이동시키기 전의 도 5의 매체의 단면도이다.

도 9B는 이미지-형성 물질을 공여체 소자에서 수용체 소자를 이동시키는 동안의 도 5의 매체의 단면도이다.

도 10은 본 발명의 예시적인 양태에 따라 다중-채널 이미지화 헤드에 의해 이미지화된 매체의 부분 개략도이다.

도 11은 본 발명의 예시적인 양태에 따르는 시스템이다.

도면 부호 목록

10 컬러 필터 46 제1 채널

12 (적색) 컬러 소자 47 가장자리 불연속

12' (적색) 컬러 소자 48 채널 그룹

14 (녹색) 컬러 소자 48' 채널 그룹

14' (녹색) 컬러 소자 49 가장자리 불연속

16 (청색) 컬러 소자 50 피쳐의 패턴

16' (청색) 컬러 소자 51 피쳐

18 수용체 소자 52' 내부 부분

20 검정색 매트릭스 54 채널 서브그룹

22 영역 54' 제1 가장자리 채널 서브-그룹

24 공여체 소자 54" 제2 가장자리 채널 서브-그룹

26 다중-채널 이미지화 헤드 56' 홈 외부 가장자리

30 적색 스프라이프 56" 떨어져있는 외부 가장자리

32 적색 스프라이프 57 강도 프로파일

34 스프라이프 58 내부 채널 그룹

34' 부분 60 이미지화되지 않은 영역

34" 부분 100 선형 광 밸브 어레이

36 적색 스프라이프 101 변형 가능한 미러 소자

38 제1 부분 102 반도체 기판

38' 새 부분 104 레이저

40 개별적으로 어드레싱 106 조명 라인

가능한 이미지화 채널

41 파선(broken line) 108 원통형 렌즈

42 주-스캔 방향 110 원통형 렌즈

44 부-스캔 방향 112 렌즈

45 마지막 채널 114 천공

116 천공 스톱(aperture stop) 250 프로그램 제품

118 렌즈

120 이미지-방식 변조된 빔

200 시스템

212 이미지화 가능한 매체

220 이동 단위(translation unit)

230 시스템 제어기

232 강도 정보

240 데이타

하기 설명부 전반에 걸쳐, 구체적인 설명은 당해 기술분야의 숙련가들에게 보다 완전한 이해를 제공하기 위해 나타낸 것이다. 그러나, 널리 공지된 소자에 대해서는 기재내용을 불필요하게 불명료하게 하는 것을 피하기 위해 상세하기 나타내거나 기재하지 않을 수 있다. 따라서, 상세한 설명 및 도면은 제한적인 의미라기 보다는 예시적인 것으로 간주되어야 한다.

디스플레이 패널에 사용되는 컬러 필터는 전형적으로 다수의 컬러 소자를 포함하는 매트릭스를 포함한다. 컬러 소자는, 예를 들면, 적색, 녹색 및/또는 청색 컬러 소자의 패턴을 포함할 수 있다. 컬러 필터는 또 다른 색상의 컬러 소자로 이루어질 수 있다. 컬러 소자는 각종 적합한 형상으로 배열될 수 있다. 선행 기술의 스프라이프 형상(stripe configuration)은 도 1A에 나타낸 바와 같이 적색, 녹색 및 청색 컬러 소자의 교호적인 행을 갖는다. 선행 기술의 모자이크 형상은 도 1B에 나타낸 바와 같이 두 가지 방향으로(예를 들면, 행 및 렬을 따라) 교차하는 컬러 소자를 갖는다. 선행 기술 델타 형상(도시되지 않음)은 서로 삼각 관계로 배열된 적색, 녹색 및 청색 컬러 소자의 그룹을 갖는다. 컬러 필터는 다른 형상을 가질 수 있다.

도 1A는 수용체 소자(18)를 가로질러 교호적인 행으로 형성된 다수의 적색, 녹색 및 청색 컬러 소자(12, 14, 16)를 갖는 선행 기술의 "스트라이프 형상" 컬러 필터(10)의 일부를 나타낸다. 컬러 소자(12, 14, 16)는 검정색 매트릭스(20)의 일부에 의해 윤곽이 그려진다. 매트릭스(20)는 소자들 간의 백라이트 누출(backlight leaking)을 감소시킬 수 있다. 행은 통상적으로 매트릭스(20)에 의해 개별적인 컬러 소자(12, 14, 16)로 세분되는 신장 스프라이프로 이미지화된다. 보조 LCD 패널(도시되어 있지 않음) 상의 TFT 트랜지스터는 매트릭스(20)의 영역(22)에 의해 마스킹될 수 있다.

도 1B는 컬러 소자(12, 14, 16)가 행으로 배열되고 행을 가로질러 그리고 행을 따라 교차하는 모자이크 형상으로 배열된 선행 기술의 컬러 필터(10)의 일부를 나타낸다.

각각의 컬러 소자(12, 14, 16)는 매트릭스(20)의 서로접한 부분과 중첩될 수 있다. 컬러 소자를 매트릭스(20)와 중첩시키는 것은, 컬러 소자가 매트릭스(20)와 정합되어야 하는 정밀도를 감소시키는 방법이다. 컬러 소자는 레이저-유도된 열 이동 공정에 의해 적용될 수 있다. 레이저-유도된 열 이동 공정은 하나 이상의 이미지-형성 물질의 이미지-방식 이동을 포함한다. 이미지-형성 물질은 염료 또는 기타의 적합한 이미지-형성 물질, 예를 들면, 안료 및 기타의 착색제 조성물을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 레이저-유도된 열 이동 공정은 결합제의 존재 또는 부재하에 레이저 방사선을 사용하여 착색제의 이동을 야기하는 공정을 포함한다. 레이저-유도된 열 이동 공정의 비제한적인 예는 레이저 유도된 "염료 이동" 공정, 레이저-유도된 "용융 이동" 공정, 레이저-유도된 "어블레이션 이동" 공정 및 레이저-유도된 "질량 이동" 공정을 포함한다.

도 3은 컬러 필터(10)를 제조하는 데 사용되는 통상의 레이저-유도된 열 이동 공정을 나타낸다. 이미지-형성 물질을 공여체 소자(24)로부터 아래에 놓여있는 수용체 소자(18)로 이동시키는 데 다중-채널 이미지화 헤드(26)가 사용된다. 수용체 소자(18)는 전형적으로 그 위에 형성된 매트릭스(20)(도시되지 않음)를 갖는다. 열 이동 공정을 사용하여 매트릭스(20)를 수용체 소자(18) 위에 형성할 수 있지만, 매트릭스(20)는 전형적으로 리소그래피 기술에 의해 형성된다.

공여체 소자(24)는 다중-채널 이미지화 헤드(26)에 의해 방출된 방사선이 공여체 소자(24)를 가로질러 스캐닝되는 경우에 수용체 소자(18)로 이미지-방식 이동될 수 있는 이미지-형성 물질(도시되지 않음)을 포함한다. 필터(10)의 적색, 녹색 및 청색 부분은 전형적으로 별도의 이미지화 단계에서 이미지화되며, 이때 각각의 이미지화 단계는 이미지화하고자 하는 색상에 적합한 상이한 컬러 공여체 소자를 사용한다. 필터의 적색, 녹색 및 청색 소자는 전형적으로, 컬러 소자가 각각 매트릭스(20)에 있는 상응하는 개구와 정합하도록 수용체 소자(18)로 이동된다. 각각의 공여체 소자(24)는 상응하는 이미지화 단계가 완료되면 제거된다. 컬러 소자가 이동된 후, 예를 들면, 이미지화된 컬러 소자의 하나 이상의 물리적 특성(예를 들면, 경도)을 변화시키기 위해, 이미지화된 컬러 필터는 하나 이상의 추가의 공정 단계, 예를 들면, 어닐링 단계(annealing step)를 거칠 수 있다.

다수의 이미지화 채널을 생성하는 데 공간적 광 변조기 또는 광 밸브를 사용하는 종래의 레이저-기본 다중-채널 이미지화 헤드의 예가 도 2에 개략적으로 도시되어 있다. 예시된 예에서, 선형 광 밸브 어레이(linear light valve array; 100)는 반도체 기판(102) 위에 제작된 다수의 변형 가능한 미러 소자(deformable mirror element; 101)를 포함한다. 미러 소자(101)는 개별적으로 어드레싱 가능하다. 미러 소자(101)는 마이크로-전자-기계(MEMS; micro-electro-mechanical) 소자, 예를 들면, 변형 가능한 미러 마이크로-소자일 수 있다. 레이저(104)는 원통형 렌즈(108, 110)를 포함하는 왜상 빔 확장기(anamorphic beam expander)를 사용하여 광 밸브(100) 위에 조명 라인(106)을 발생시킬 수 있다. 조명 라인(106)은 다수의 소자(101)를 가로질러 측방향으로 확산되어 각각의 미러 소자(101)가 조명 라인(106)의 일부에 의해 조명되도록 한다. 겔바트(Gelbart)에게 허여된 미국 특허 제5,517,359호에는 조명 라인을 형성시키기 위한 방법이 기재되어 있다.

렌즈(112)는 전형적으로 소자(101)가 비-가동 상태인 경우에 천공 스톱(116) 속의 천공(114)을 통해 레이저 조명에 초점을 맞춘다. 가동된 소자로부터 광이 천공 스톱(116)에 의해 차단된다. 렌즈(118)는 광 밸브(100)를 이미지화하여, 기판의 영역에 걸쳐 스캐닝되어 이미지화된 스와쓰를 형성할 수 있는 다수의 개별 이미지-방식 변조된 빔(120)을 형성한다. 각각의 빔은 소자(101) 중의 하나에 의해 제어된다. 각각의 빔은 상응하는 소자(101)의 구동 상태에 따라 이미지화된 기판 위에 "이미지 화소"를 이미지화하거나 이미지화하지 않도록 작동할 수 있다. 각각의 소자(101)는 다중-채널 이미지화 헤드의 하나의 채널을 제어한다.

다시 도 3을 참조하면, 수용체 소자(18), 또는 다중-채널 이미지화 헤드(26)의 이미지, 또는 이들 둘 다의 조합은 서로에 대해 변위되지만, 이미지화 헤드(26)의 채널은 이미지 데이타에 대한 반응으로 제어되어 이미지화된 스와쓰를 생성한다. 몇가지 양태에서, 이미지화 헤드(26)의 이미지는 고정되어 있고 수용체 소자(18)는 이동한다. 또 다른 양태에서, 수용체 소자(18)는 고정되어 있고 이미지화 헤드(26)의 이미지는 이동한다. 여전히 또 다른 양태에서, 이미지화 헤드(26)와 수용체 소자(18) 둘 다는 하나 이상의 스캔 경로를 따라 이미지화 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이의 목적하는 상대적 이동을 생성하도록 이동한다.

적합한 메카니즘을 적용하여 수용체 소자(18) 위에 이미지화 헤드(26)를 이동시킬 수 있다. 디스플레이 패널을 제조하는 데 있어서 통상적인 바와 같이, 비교적 경질인 수용체 소자(18)를 이미지화하는 데에는 전형적으로 평판 이미지화기(flatbed imager)가 사용된다. 평판 이미지화기는 평편 배향으로 수용체 소자(18)를 고정하는 지지대를 갖는다. 겔바트에게 허여된 미국 특허 제6,957,773호에는 디스플레이 패널 이미지화에 적합한 고속 평판 이미지화기가 기재되어 있다. 대안적으로, 가요성 수용체 소자(18)가 스와쓰의 이미지화를 수행하기 위해 "드럼형" 지지대의 외부 또는 내부 표면에 고정될 수 있다. 유리와 같이 전형적으로 경질이라고 생각되는 수용체 소자라도, 기판이 충분히 얇고 지지대의 직경이 충분히 크다면, 드럼형 이미지화기에서 이미지화할 수 있다.

도 3은 레이저-유도된 열 이동 공정에서 다수의 적색 스트라이프(30, 32, 34, 36)로 패턴화된 컬러 필터 수용체 소자(18)의 일부를 나타낸다. 이 공정에서, 공여체 소자(24)가 수용체 소자(18) 위에 배치되며, 다수의 적색 스트라이프(30, 32, 34, 36)에 상응하는 영역이 수용체 소자(18) 위에 이미지화된다. 이로써 이미지-형성 물질이 공여체 소자(24)로부터 수용체 소자(18)로 이동되어 스트라이프(30, 32, 34, 36)를 형성한다. 도 3에서, 공여체 소자(24)는, 단지 명료하게 할 목적으로, 수용체 소자(18)보다 작게 도시되어 있다. 필요에 따라, 공여체 소자(24)가 수용체 소자(18)의 하나 이상의 부분과 중첩될 수 있다.

컬러 필터 소자의 각각의 세트가 피쳐의 패턴을 구성한다. 이 경우, 피쳐는 비-연속이다. 스트라이프(30, 32, 34, 36)는 이러한 비-연속 피쳐의 패턴의 예이다. 스트라이프(30, 32, 34, 36)는 부-스캔 방향(44)을 따라 서로 공간적으로 분리된다. 다중-채널 이미지화 헤드(26)는 다수의 개별적으로-어드레싱 가능한 이미지화 채널(40)을 포함한다. 도 3에서, 이미지화 헤드(26)는 제1 위치(38)에 위치한다. 도 3은 이미지화 채널(40)과 이동된 패턴 사이의 대응을 파선(41)으로 나타낸다. 피쳐, 예를 들면, 스트라이프(3, 32, 34, 36)는 일반적으로, 이미지화 채널(40)에 의해 이미지화된 화소의 폭보다 큰 부-스캔 방향으로의 치수를 갖는다. 이러한 피쳐는 스캔 경로를 따르는 방향(42)으로 채널을 스캐닝하면서 부-스캔 방향(44)으로 피쳐의 폭을 스패닝하는 채널의 그룹을 조정함으로서 이미지화될 수 있다.

다중-채널 이미지화 헤드(26)가 이미지화된 패턴과 동일한 크기로 도 3에 도시되어 있지만, 이것이 필수적인 것은 아니다. 이미지화 헤드(26)에 의해 방출된 이미지화 빔은 기판의 평면에서 이미지화 스와쓰의 크기 및/또는 형상을 개질시킬 수 있는 적합한 광학 시스템에 의해 이미지화될 수 있다. 다중-채널 이미지화 헤드(26)에 의해 발생된 이미지화 빔은 기록하고자 하는 피쳐의 패턴을 명시하는 이미지 데이타에 따라 이미지-방식 변조되면서 주-스캔 방향(42)으로 수용체 소자(18) 위에서 스캐닝된다. 채널의 그룹(48)은 피쳐를 형성하고자 하는 곳은 어디라도 활성 이미지화 빔을 생성하도록 적절하게 구동된다. 피쳐에 상응하지 않는 채널(40)은 상응하는 영역을 이미지화하지 않도록 구동된다.

이미지화 헤드(26)의 채널(40)은 제1 채널에 의해 이미지화된 제1 화소와 마지막 채널에 의해 이미지화된 마지막 화소 사이의 거리와 관련된 폭을 갖는 스와쓰를 이미지화할 수 있다. 수용체 소자(18)는 전형적으로 너무 커서 단일 스와쓰 내에 이미지화되지 못한다. 따라서, 수용체 소자(18)에서 이미지를 완성하기 위해서는 전형적으로 이미지화 헤드(26)의 다수의 스캔이 필요하다.

부-스캔 방향(44)으로의 다중-채널 이미지화 헤드(26)의 이동은 각각의 스와쓰의 이미지화가 주 스캔 방향(42)으로 완료된 후에 일어날 수 있다. 대안적으로, 이미지화 헤드(26)는, 이미지화 시스템에 의해 이루어지는 주-스캔 방향과, 수용체 소자(18)에 대한 이미지의 목적하는 위치 사이의 잠재적 사륜(skew)을 보상하기 위해 주-스캔 이동과 동시에 수용체 소자(18)에 대해 부-스캔 방향(44)으로 이동될 수 있다. 대안적으로, 드럼형 이미지화기에서, 주-스캔 방향(42)과 부-스캔 방향(44) 둘 다로 동시에 이미지화 헤드(26)를 이동시킬 수 있어 이미지를 드럼에서 나선형으로 연장하는 스와쓰에 기록할 수 있다. 당해 기술분야의 숙련가들은 수용체 소자(18) 위에 목적하는 이미지화 영역을 이미지화하는 데 사용될 수 있는, 이미지화 헤드(26)와 수용체 소자(18) 사이의 상대적 이동의 가능한 또 다른 패턴이 있음을 인지할 것이다.

하나 이상의 이미지화된 화소 폭만큼 인접 스와쓰를 중첩시키고 이후에-이미지화된 스와쓰의 제1 채널을 이미지화된 화소 사이의 피치 거리와 관련된 거리만큼 인접한 이전에-이미지화된 스와쓰의 마지막 채널로부터 떨어져 있도록 함을 포함하여 상이한 스와쓰를 정렬하는 몇가지 옵션이 있다.

다시 도 3을 참조하면, 적색 스트라이프(30, 32), 및 스트라이프(34)의 부분(34')은 이미지화 헤드(26)의 제1 스캔 동안 이미지화된다. 제1 스캔의 완료시, 이미지화 헤드(26)는 제1 위치(38)로부터 부-스캔 방향(44)으로 새 위치(38')(파선으로 나타냄)로 변위된다. 새 위치(38')에서, 이미지화 헤드(26)의 제1 채널(46)은 이미지화 헤드(26)의 마지막 채널(45)의 이전 위치에 인접하여 위치한다. 위치(38')에서, 이미지화 헤드는 주 스캔 방향(42)으로 스캐닝되어 스트라이프(34)의 잔여 부분(34")을 이미지화한다. 스트라이프(34)의 부분(34') 및 부분(34") 사이의 경계에서 선(47)으로 나타낸 가시적 불연속의 출현을 피하기는 어렵다. 인접한 이미지화된 스와쓰 사이의 이러한 가시적 불연속은 밴딩이라고 불리는 이미지 아티팩트의 한 가지 형태를 야기할 수 있다.

밴딩은 피쳐의 정규 패턴(regular pattern)이 생성되는 경우에 더욱 심해질 수 있다. 패턴의 반복 성질은 이미지화된 피쳐의 밀도 변화에 의해 야기되는 밴딩을 두드러지게 하는 비팅 효과(beating effect)를 야기할 수 있다. 또 다른 이미지화 아티팩트는 또한 레이저-유도된 열 이동 공정에서 야기될 수 있다. 예를 들면, 레이저-유도된 열 이동 공정이 피쳐의 패턴, 예를 들면, 컬러 필터의 소자를 이미지화하는 데 사용되는 경우, 피쳐의 가장자리에서 거친 가장자리 및 다양한 가장자리 불연속이 야기될 수 있다. 이러한 가장자리 불연속은 여러 가지 이유로, 예를 들면, 이미지화 헤드의 이미지화 채널의 출력에 있어서의 작은 전력 변화로 일어날 수 있다. 매우 작은 전력 변화조차도, 특히 공여체 소자가 비선형 이미지화 특성을 나타내는 경우에, 공여체 소자에서 수용체 소자로 이동되는 이미지-형성 물질의 양에 영향을 미칠 수 있다. 피쳐의 이미지화된 외측(outboard) 및 내측(inboard) 부분 사이의 상이한 열 효과는, 특히 이미지화된 피쳐가 이미지화되지 않은 영역에 의해 다른 피쳐들로부터 분리되는 비-연속 피쳐인 경우에 거친 가장자리를 야기할 수 있다. 기계적 효과, 예를 들면, 피쳐의 가장자리로 이동되는 이미지-형성 물질과 관련된 불충분한 박리 강도 또는 박리 속도, 각도 또는 방향의 불충분한 조절이, 이미지화된 공여체 소자를 박리하는 경우, 거친 가장자리를 야기할 수 있다. 매트릭스(20)를 이동된 이미지-형성 물질과 중첩시킴으로써 이러한 가장자리 아티팩트를 마스킹할 수 있다. 그러나, 이미지-형성 물질은 어닐링 및 노출후 가장자리 불연속을 축소시킬 수 있다. 도 4는 적색 소자(12), 녹색 소자(14) 및 청색 소자(16)를 갖는 컬러 필터의 일부의 사진이다. 가장자리 불연속(49)은 세 개의 소자 사이에서 관찰될 수 있다. 소자(12, 14, 16)에 대해 매우 작은 가장자리 불연속조차도 전체적으로 컬러 필터의 가시적 균일성에 불리한 영향을 미쳐 이의 품질을 저하시킬 수 있다. 가장자리 불연속은 피쳐의 가장자리에서의 돌출부 또는 노치를 포함할 수 있다.

본 발명은 이미지화 빔의 강도가 증진된 결과를 야기할 수 있는 방식으로 조절되는 시스템 및 방법을 제공한다. 도 5는 본 발명의 한 가지 국면에 따라 레이저-유도된 열 이동 공정으로 이미지화된 수용체 소자(18)의 일부를 개략적으로 나타낸다. 피쳐의 반복 패턴(50)이 수용체 소자(18)의 일부 위에 이미지화된다. 예시된 예에서, 패턴(50)은 16개의 피쳐(51)로 이루어진다. 이러한 예에서, 패턴(50)은 이미지화 헤드(26)에 의해 이미지화된 단일 스와쓰내에 있다. 즉, 피쳐의 패턴(50)은 단일 스와쓰로 이미지화되며, 이에 따라 이미지화 헤드(26)의 단일 스캔 동안 이미지화될 수 있다.

패턴(50)은 컬러 필터와 같은 또 다른 패턴의 또 다른 일부를 형성할 수 있다. 명료함을 위해, 컬러 공여체 소자(24)(이것은 수용체 소자(18)의 상부에 위치한다)은 도 5에 도시되어 있지 않다. 이미지화 헤드(26)의 채널은 이미지-형성 물질을 공여체 소자(24)에서 수용체 소자(18)로 이동시키도록 제어된다. 이후에 스캔이 수행될 수 있다. 이러한 순차적인 스캔에서, 다른 피쳐는 도 5에 도시된 피쳐(51) 사이의 공간에 이미지화될 수 있다. 다른 피쳐는 다른 색상의 피쳐를 포함할 수 있다. 도 5의 예에서, 각각의 피쳐(51)는 스프라이프를 포함한다.

이러한 예에서, 이미지화 헤드(26)는 수백개의 이미지화 채널(40)을 갖는다. 각각의 피쳐(51)는 이미지화 채널(40)의 그룹(48)에 의해 이미지화된다. 명료함을 위해, 이미지화 채널(40)은 도 5에 개별적으로 도시되어 있지 않다. 이러한 예에서, 각각의 그룹(48)은 대략 20개의 인접하게-위치한 이미지화 채널(40)로 이루어진다. 각각의 채널(40)은 개별적으로 제어 가능하다. 채널(40)은 채널에 상응하는 스캔 라인을 따라 공여체 소자(24)에서 수용체 소자(18)로 이미지-형성 물질을 이동시키도록 "on"으로 켜질 수 있거나, 또는 이미지-형성 물질이 채널이 지시되는 상응하는 스캔 라인의 부분에서 이동되지 않도록 "off"로 꺼질 수 있다. 명료함을 위해, "off"로 꺼진 채널(40)은 도시하지 않는다. 채널(40)이 "on"인 경우에 생성된 빔의 강도 또한 조절 가능하다. 강도의 조절은, 예를 들면, 빔의 전력을 조절함을 포함할 수 있다.

한 가지 특정 예에서, 각각의 개별 이미지화 채널(40)은 대략 5μ 폭인 화소를 이미지화할 수 있다. 따라서, 각각의 그룹(48)은 대략 폭이 100μ(부-스캔 방향(44)을 따라)인 피쳐(51)를 이미지화한다. 피쳐(51)는 대략 300μ의 피치로 부-스캔 방향(44)으로 거리를 두고 떨어져 있다. 본 발명의 일부 양태에서, 피쳐는 가장자리 불연속을 감소시키도록 이미지화된 피쳐의 가장자리 부분이 증진되는 레이저-유도된 열 이동 공정으로 이미지화된다. 본 발명의 국면의 비제한적인 예가 도 5에 예시된 패턴(50)을 참고로 하여 설명될 것이다.

도 6은 단일 피쳐(51)를 이미지화하는 데 사용되는 하나의 채널 그룹(48)(구체적으로 채널 그룹(48')라고 함)과 이미지화된 매체의 일부의 상세 개략도이다. 그룹(48')에서 각각의 채널은 광 빔을 방출하도록 개별적으로 제어 가능하다. 그룹(49)에서 채널의 강도는 강도 프로파일(57)을 제공하도록 제어된다.

각각의 채널 서브-그룹(54' 및 54")(총칭하여, 서브-그룹(54))은 각각 피쳐(51)의 가장자리(56' 및 56")를 따라 놓여있는 영역의 이미지화와 관련된다. 부-스캔 방향(44)과 관련하여, 가장자리(56')를 "홈 가장자리"라고 할 수 있고, 반면에 가장자리(56")를 "떨어져있는 가장자리"라고 할 수 있다. 각각의 가장자리 채널 서브-그룹(54)은 하나 이상의 채널(도 6에 도시된 양태에서는 2개의 채널)을 포함한다. 각각의 서브-그룹(54)에 포함되는 채널의 수는 채널의 해상도, 채널 그룹(48') 중의 채널의 수 및 매체 특성과 같은 요인을 기초로 하여 결정할 수 있다.

노출은 시간 경과에 따른 광 강도의 인테그럴(integral)로서 광학적으로 정의된다. 다수의 매체가 노출에 반응한다. 노출은 이미지화 빔의 강도 및 이미지화 빔과 관련된 노출 시간과 관련된다. 노출은 이미지화 빔의 스캐닝 속도와 관련될 수 있다. 몇몇 매체에서, 이미지는 이미지화 빔에 의해 생긴 노출이 매체와 관련된 노출 역치와 같거나 초과하는 경우에 형성된다. 몇몇 매체에서, 노출 역치(exposure threshold)는 강도에 따라 좌우된다. 몇몇 양태에서, 이미지를 형성하기 위해서는 최소 강도 역치 이상이어야 한다. 도 6에서, 그룹(48')의 모든 채널의 강도는 매체의 노출 역치 요건에 상응하는 수준 또는 그 이상(I_thresh)으로 제어된다. 이미지화된 피쳐(51)의 내측 또는 내부 부분(52')은 내부 채널 서브-그룹(58)의 채널에 의해 이미지화된다. 가장자리 채널 서브-그룹(54)은 내부 서브-그룹(58)의 채널의 강도와는 상이한 강도를 갖는 광 빔을 발생하도록 제어된다. 이러한 예에서, 서브-그룹(54)의 채널은 내부 서브-그룹(58)의 채널보다 높은 강도를 제공하도록 구동된다. 이것은 피쳐(51)의 가장자리(56' 및 56")를 따라 연장되는 가장자리 영역에서 증가된 노출 수준을 생성한다.

가장자리 서브-그룹(54' 및 54")에서의 채널의 출력의 증가는 가장자리(56' 및 56")에 있는 이미지화된 영역과 둘러싸고 있는 이미지화되지 않은 영역(60) 사이에 강도 구배를 생성하며, 이러한 강도 구배는 그룹(48')에서 모든 채널이 서브-그룹(58)의 내부 채널과 관련된 저에너지 강도 수준을 생성하도록 구동되는 경우보다 더 가파르다.

작동의 특정 이론에 결부시키고자 하는 것은 아니지만, 발명자들은 이러한 보다 가파른 강도 구배로 인해 이미지-형성 물질이 피쳐(51)의 가자자리(56' 및 56")를 따라 가장자리 영역에서 수용체 소자로 "보다 깨끗하게" 이동된다고 여긴다.

도 6에서, 서브-그룹(54' 및 54")의 채널은 서로 실질적으로 동일한 강도를 생성하도록 제어된다. 본 발명의 일부 양태에서, 서브-그룹(54' 및 54")의 채널은 상이한 강도를 갖도록 제어된다.

서브-그룹의 모든 채널이 동일한 강도를 갖도록 제어될 필요는 없다. 예를 들면:

ㆍ 가장자리 채널 서브-그룹(54' 및 54") 중의 하나 또는 둘 다 내의 선택된 채널은 다른 채널과는 상이한 강도를 갖도록 제어될 수 있다.

ㆍ 내부 채널 서브-그룹(58) 내의 선택된 채널은 다른 채널과는 상이한 강도를 갖도록 제어될 수 있다.

ㆍ 내부 채널 서브-그룹(58) 내의 선택된 채널은 가장자리 채널 서브-그룹(54' 및 54") 중의 하나 또는 둘 다에서의 채널의 강도보다 높거나 낮은 강도를 갖도록 제어될 수 있다.

ㆍ 내부 서브-그룹(58) 내의 채널은 도 6A에 나타낸 바와 같이 대칭 강도 프로파일(57)을 갖거나 도 6B에 나타낸 바와 같이 비대칭 강도 프로파일(57)을 갖도록 제어될 수 있다. 다른 형상의 강도 프로파일(57)이 본 발명의 몇몇 국면의 범위내에 제공될 수 있다.

몇몇 경우에, 피쳐(51)의 광학 밀도 또는 색 밀도와 같은 특성을 목적하는 범위내에서 달성하는 것이 필요하거나 바람직하다. 서브-그룹(54' 및 54")에서 채널의 강도를 선택적으로 증가시킴으로써, 보다 매끄러운 가장자리를 유지하면서 목적하는 이미지 특성을 보존할 수 있다. 내부 채널 서브-그룹(58)에서 채널의 강도 수준 및 분포는 피쳐(51)에 대해 목적하는 전반적인 밀도를 달성하도록 제어될 수 있다.

서브-그룹(54' 및 54")에서의 채널과 내부 서브-그룹(58)에서의 채널의 강도 수준간의 목적하는 관계는 다음을 포함하지만, 이에 제한되지 않는 다양한 요인에 따라 좌우될 수 있다:

ㆍ 사용되는 레이저-유도된 열 이동 매체의 유형(예를 들면, 레이저 유도된 "염료 이동" 매체, 레이저-유도된 "용융 이동" 매체, 레이저-유도된 "어블레이션 이동" 매체, 레이저-유도된 "질량 이동" 매체 등);

ㆍ 사용되는 매체의 특정 제형(예를 들면, 상이한 컬러 제형);

ㆍ 매트릭스(20) 두께 및/또는 또 다른 공여체 소자(24)의 이전 이미지화 동안 수용체 소자(18)로 이동된 이미지-형성 물질의 존재의 함수로서 변할 수 있는 공여체-대-수용체 소자 간격;

ㆍ 이미지화 헤드(26)의 특징.

도 7은 본 발명의 예시적인 양태에 따라 제조된, 적색 컬러 소자(12), 녹색 컬러 소자(14) 및 청색 컬러 소자(16)를 포함하는 컬러 필터의 일부의 사진이다. 각각의 소자의 이미지화는 도 6을 참조하여 기재된 방법과 유사한 방식으로 수행되는 레이저-유도된 열 이동 공정으로 수행된다. 각각의 소자는 별도의 이미지화 단계에서 생성되며, 여기서, 적절하게 착색된 공여체는 착색된 소자 중의 하나를 생성하도록 이미지화된다. 다중-채널 이미지화 헤드(26)가 사용되는데, 여기서, 대략 20개의 채널의 그룹(48)이 각각의 소자(12, 14, 16)를 이미지화하는 데 사용된다. 각각의 이미지화 채널은 폭이 대략 5μ인 화소를 생성한다. 각 그룹(48)에서의 가장자리 채널 서브-그룹(54' 및 54")이 각 피쳐의 가장자리(56' 및 56")를 이미지화하는 데 사용된다.

이러한 예에서, 가장자리 채널 서브-그룹(54' 및 54") 둘 다는 각각의 상응하는 그룹(48)의 내측 서브-그룹(58)의 채널에 의해 방출된 광 빔의 강도보다 대략 12% 큰 강도를 갖는 광 빔을 생성하도록 제어된다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 각각의 소자(12, 14, 16)는 실질적으로 매끄러운 가장자리를 갖는다. 도 4와 비교하여 가장자리 불연속의 감소로 인해 컬러 필터의 이 부분의 가시적 특성이 개선된다.

도 8은 도 7에 나타낸 동일한 컬러 필터의 상이한 일부의 사진이다. 도 8은 상기한 바와 같이 제조된 적색 컬러 소자(12'), 녹색 컬러 소자(14') 및 청색 컬러 소자(16')를 나타낸다. 각각의 컬러 소자(12', 14', 16')는, 도 7에 나타낸 소자(12, 14, 16) 중의 하나의 상응하는 것과 동일한 스와쓰에 동시에 이미지화된다. 소자(12, 12')는 적색 공여체 소자 위에 이미지화 헤드의 단일 스캔 동안 형성되고; 소자(13, 13')는 녹색 공여체 소자 위에 이미지화 헤드의 단일 스캔 동안 형성되고; 소자(14, 14')는 청색 공여체 소자 위에 이미지화 헤드의 단일 스캔 동안 형성된다. 각각의 소자(12', 14', 16')는 소자(12, 14, 16)의 상응하는 것을 이미지화하는 데 사용되는 동일한 가장자리 증진 상태로 이미지화된다.

몇몇 가장자리 불연속(49)이 도 8에 도시된 컬러 필터의 일부에 존재한다. 이러한 예에서, 가장자리 불연속(49)은 주로 녹색 컬러 소자(14)에 있는 것으로 보인다. 레이저-유도된 열 이동 매체는 비-선형 특성을 가질 수 있다. 이러한 예에서, 녹색 공여체에 특이적인 노출 특성이 가장자리 불연속(49)의 형성에 기여할 수 있다. 또 다른 부가적인 또는 대안적인 요인이 가장자리 불연속(49)의 형성에 기여할 수 있다. 도 8에서, 가장자리 불연속(49)은 소자(14')의 떨어져있는 가장자리(56")에서 주로 보인다. 소자(14')의 홈 가장자리(56')는 실질적으로 불연속(49)이 없는 것으로 보인다.

도 9A 및 도 9B는 이러한 효과에 대한 가능한 원인을 예시한다. 도 9A 및 도 9B는 이미지-형성 물질의 이동 전의 도 5에 나타낸 시스템의 부분 개략적인 단면도이다. 채널 그룹(48)에 상응하는 채널(40)을 이미지화하는 것만 도 9A 및 도 9B에 나타내어져 있다. 이미지화 동안, 공여체 소자(24)는 전형적으로 진공 수단을 포함할 수 있는 몇가지 수단에 의해 수용체 소자(18)에 고정된다. 매트릭스(20)는 명료함을 위해 생략한다. 매트릭스(20)는 전형적으로 독특한 두께를 갖는다. 고정 수단은 공여체 소자(24)가 매트릭스(20)의 캐비티에 형성되도록 할 수 있다.

공여체 소자(24)와 수용체 소자(18) 사이의 간격은 수용체 소자(18)로 이동되는 물질의 특성에 영향을 미칠 수 있다. 간격의 변화는 공여체 소자(24)에서 수용체 소자(18)로 이동되는 이미지-형성 물질의 양의 변화를 야기할 수 있다. 레이저-유도된 열 이동 이미지화 공정 동안, 공여체 소자(24)의 이미지-형성 물질의 일부가 아래에 놓여있는 수용체 소자로 이동되지 않을 수 있으며, 기상 상태(gaseous state)로 상 변화될 수 있다.

도 9B는 공여체 소자(24)와 수용체 소자(18) 사이의 "기상 버블"로 인해 야기될 수 있는 공여체 소자(24)의 변형을 나타낸다. 공여체 소자(24)의 일부의 이미지화에 의해 생긴 공여체 소자의 변형은 스와쓰를 가로지르는 변하기 쉬운 공여체-수용체 소자 간격을 야기할 수 있다. 이러한 예에서, 16개의 별도의 피쳐(51)가 이미지화된다. 각각의 피쳐(51)는 상이한 공여체-대-수용체 소자 간격을 가질 수 있다.

도 9B에 나타낸 바와 같이, 각종 피쳐(51)는 변하기 쉬운 공여체-대-수용체 피쳐에 영향을 받기 쉽다. 도 9B에 나타낸 바와 같이, 변하기 쉬운 공여체-대-수용체 간격은 각종 피쳐(51) 사이 뿐만 아니라 소정의 피쳐(51)를 가로질러 존재할 수 있다. 변하기 쉬운 공여체-대-수용체 간격과 같은 요인은 다른 피쳐들과는 상이하게 이미지화되는 각종 피쳐들을 필요로 할 수 있다. 피쳐의 한쪽 가장자리는 동일한 피쳐의 다른 가장자리와는 상이하게 이미지화될 필요가 있을 수 있다. 본 발명의 일부 양태에서, 상이한 피쳐(51)의 가장자리 서브-그룹(54' 및 54")은 상이한 강도로 작동할 수 있다. 본 발명의 일부 양태에서, 동일한 피쳐(51)의 가장자리 서브-그룹(54' 및 54")은 상이한 강도로 작동할 수 있다.

도 10은 단일 피쳐(51)를 이미지화하는 데 사용되는 채널 그룹(48')을 나타낸다. 강도 프로파일(57)이 또한 도시되어 있다. 그룹(48')에서 각각의 채널은 그룹(48')의 다른 채널과는 무관하게 제어할 수 있는 강도를 갖는다. 채널 그룹(48')의 강도 프로파일(57)은 이미지화된 피쳐(51)의 가장자리 불연속을 감소시키도록 조절된다. 제1 가장자리 채널 서브-그룹(54')이 홈 가장자리(56')를 따라 연장되는 제1 가장자리 영역의 이미지화를 책임진다. 제2 가장자리 채널 서브-그룹(54")은 떨어져있는 가장자리(56")를 따라 연장되는 제2 가장자리 영역의 이미지화를 책임진다. 이러한 비제한적인 예에서, 각각의 가장자리 서브-그룹(54' 및 54")은 두 개의 채널을 포함한다. 본 발명의 또 다른 예시적인 양태에서, 가장자리 서브-그룹(54' 및 54")은 또 다른 적합한 수의 채널을 포함한다. 본 발명의 또 다른 예시적인 양태에서, 가장자리 서브-그룹(54')은 가장자리 서브-그룹(54")과는 상이한 수의 채널로 이루어진다.

도 10에서, 가장자리 서브-그룹(54' 및 54") 둘 다는 내부 서브-그룹(58)의 채널과는 상이한 강도 수준을 갖는 광 빔을 발생하도록 제어된다. 예시된 양태에서, 가장자리 서브-그룹(54' 및 54") 둘 다는 내부 서브-그룹(58)의 채널에 의해 이미지화된 채널(51)의 영역에 제공된 것보다 더 높은 강도 수준을 가장자리(56' 및 56") 근처에 제공하도록 제어된다. 가장자리 서브-그룹(54")은 가장자리 서브-그룹(54')에 의해 방출된 광 빔보다 높은 강도로 광 빔을 방출하도록 제어된다. 예시된 양태에서, 가장자리 서브-그룹(54")에 상응하는 강도는 가장자리 서브-그룹(54')에 상응하는 강도와는 강도 차이 △I만큼 상이하다. 이러한 강도 차이로 인해 비대칭인 강도 프로파일(57)이 야기된다.

비대칭 강도 분포는 또한 부-스캔 방향(44)으로의 이동으로부터 야기된(또는 증진된) 아티팩트를 감소시키는 데 유용할 수 있다. 일부 양태에서, 이미지화 헤드(26)와 공여체 소자(24) 사이의 상대적 이동은 피쳐(51)의 이미지화 동안 부-스캔 방향(44)으로 일어난다. 이러한 상대적 이동은 피쳐(51)의 제1 가장자리와 제2 가장자리가 상이한 이미지 특성을 갖도록 할 수 있다. 이러한 경우에, 아티팩트는 가장자리(56')를 따라 놓여있는 피쳐(51)의 일부를 제2 가장자리(56")를 따라 놓여있는 피쳐(51)의 일부를 이미지화하는 서브-그룹(54")에서의 빔과는 상이한 강도를 갖는 빔을 생성하는 채널의 서브-그룹(54')으로 이미지화함으로써 감소될 수 있다. 이러한 경우에, 강도 프로파일(57)은 비대칭이다.

본 발명의 추가의 예시적인 양태에서, 상이한 강도 프로파일(57)은 상이한 공여체 소자(24)를 이미지화하는 데 사용된다.

도 11은 본 발명의 예시적인 양태에 따르는 이미지화 시스템(200)을 개략적으로 나타낸다. 시스템(200)은 다중-채널 이미지화 헤드(26), 및 이미지화 헤드(26)에 의한 이미지화 가능한 매체(212)의 이미지화 동안 이미지화 가능한 매체(212)와 다중-채널 이미지화 헤드(26) 사이의 상대적 이동을 확립하는 이동 단위(220)를 포함한다. 이러한 상대적 이동은 이미지화와 관련된 부-스캔 방향(44) 및/또는 주-스캔 방향(42)을 따라 일어날 수 있다. 이미지화 헤드(26)와 이미지화 가능한 매체(212) 사이의 부-스캔 방향(44)을 따른 상대적 이동은 이미지화 헤드(26)의 각각의 연속 스캔 사이에서 일어나거나 일어나지 않을 수 있다.

이미지화 헤드(26)는 개별적으로-어드레싱 가능한 채널을 갖는 적합한 다중-채널 이미지화 헤드를 포함할 수 있으며, 여기서, 각각의 채널은 제어될 수 있는 강도를 갖는 이미지화 빔을 생성할 수 있다. 이미지화 헤드(26)는 이미지화 채널의 1차원 또는 2차원 어레이를 제공할 수 있다. 적합한 메카니즘을 사용하여 이미지화 빔을 발생시킬 수 있다. 이미지화 빔은 적합한 방식으로 배열될 수 있다.

본 발명의 일부 양태는 적외선 레이저를 사용한다. 830nm 파장에서 총 약 50W의 출력을 갖는 150㎛ 이미터(emitter)를 사용하는 적외선 다이오드 레이저 어레이가 본 발명을 수행하는 데 성공적으로 사용되었다. 가시광선 레이저를 포함한 또 다른 레이저가 또한 본 발명을 실시하는 데 사용될 수 있다. 사용되는 레이저원의 선택은 이미지화하고자 하는 매체의 특성에 의해 이루어질 수 있다.

이미지화 가능한 매체(212)는 공여체 소자(24) 및 수용체 소자(18)를 포함할 수 있다(둘 다 도시되지 않음). 시스템(200)은 또한 시스템 제어기(230)를 포함한다. 제어기(230)는 마이크로-컴퓨터, 마이크로-프로세서, 마이크로-제어기, 또는 시그널을 신뢰성있게 다중-채널 이미지화 헤드(26) 및 이동 단위(220)에 전송하여 제어기(230)로의 다양한 데이타 입력에 따라 매체(212)를 이미지화할 수 있는 전기적, 전자기계적 및 전자-광학 회로 및 시스템의 기타의 공지된 배열을 포함할 수 있다. 제어기(230)는 단일 제어기를 포함하거나 다수의 제어기를 포함할 수 있다.

도 11에 도시된 바와 같이, 피쳐(51)(도 11에 도시되지 않음)의 패턴(50)을 나타내는 데이타(240)가 시스템 제어기(230)에 입력된다. 제한하는 것은 아니지만, 패턴(50)은 컬러 피쳐의 일부를 형성하는 컬러 피쳐의 패턴을 나타낸다.

프로그램 제품(250)은, 시스템 제어기(230)에 의해 시스템(200)에 의해 요구되는 다양한 기능을 수행하도록 사용될 수 있다. 한 가지 기능은 본원에 기재된 바와 같이 패턴(50)의 피쳐(51)에서의 가장자리 불연속을 감소시키도록 이미지화 헤드에 대한 제어 파라미터를 설정하는 것을 포함한다. 제한하는 것은 아니지만, 프로그램 제품(250)은, 컴퓨터 프로세서에 의해 실행되는 경우, 컴퓨터 프로세서가 본원에 기재된 바와 같은 방법을 실행하도록 하는 명령(instruction)을 포함하는 컴퓨터-판독 가능한 시그널 세트를 갖는 매체를 포함할 수 있다. 프로그램 제품(250)은 어떠한 광범위하게 다양한 형태라도 가능하다. 프로그램 제품(250)은, 예를 들면, 플로피 디스켓을 포함한 자기 저장 매체, 하드 디스크 드라이브, CD ROM, DVD를 포함한 광학 데이타 저장 매체, ROM, 플래쉬 RAM 등을 포함하는 전자 데이타 저장 매체와 같은 물리적 매체를 포함할 수 있다. 명령은 매체에서 임의로 압축 및/또는 암호화될 수 있다.

본 발명의 한 가지 예시적인 양태에서, 프로그램 제품(250)은 시스템 제어기(230)가 데이타(240)를 분석하여 소정의 피쳐(51)를 이미지화하는 데 사용되는 채널(40)의 특정 그룹(48)을 확인하도록 형성된다. 시스템 제어기(230)는 또한 피쳐(51)의 가장자리 부분을 이미지화하는 데 사용되는 서브-그룹(54' 및 54")을 선택한다. 그룹(48) 및 서브-그룹(54', 54", 58)의 확인은 시스템 제어기(230)에 의해 자동으로 수행될 수 있다. 대안적으로 또는 추가로, 제어기(230)는 적합한 사용자 인터페이스를 통해 시스템 제어기(230)와 통신하는 작동기의 안내하에서 채널 그룹(48)(서브-그룹(54', 54", 58) 포함)을 수동으로 선택할 수 있도록 한다.

제어기(230)는 서브-그룹(54' 및 54")의 채널 및 내부 서브-그룹(58)의 채널에 대한 강도를 설정하는 파라미터를 포함한 제어 파라미터를 설정한다. 강도는 이미지화되는 공여체 소자(24)와 관련된 I_thresh 이상으로 되도록 선택된다. 각각의 채널에 대한 강도는 채널이 가장자리 서브-그룹(54)에 있는지의 여부를 기초로 하여 결정된다. 몇몇 경우에, 강도는 추가로, 다음과 같은 다른 요인을 기초로 하여 결정된다:

ㆍ 채널이 이미지화 헤드(26)의 어디에 있는지(예를 들면, 채널 수가 얼마인지);

ㆍ 채널이 어느 가장자리 서브-그룹(54' 또는 54")에 있는지;

ㆍ 서브-그룹이 하나 이상의 채널을 포함하는 경우, 채널이 서브-그룹 내에 어디에 위치하는지;

ㆍ 패턴(50)내에 이미지화되는 피쳐(51)의 크기 및 위치;

ㆍ 상이한 공여체 소자의 이미지화의 순서; 및 추가의 고려사항.

강도는 상기한 요인들 중의 일부 또는 전부를 기초로 하여 제어기(230)에 의해 자동으로 설정될 수 있다. 채널 제어 파라미터의 결정은 제어기(230)에 입력되거나 프로그램 제품(250)내에 프로그램된 적합한 알고리즘 및/또는 데이타를 기초로 하여 이루어질 수 있다. 제어 파라미터는 이미지화하기 전에 결정되거나 이미지화 공정 수행 중에 결정될 수 있다.

대안적으로 또는 추가로, 제어기(230)는 적합한 사용자 인터페이스를 통해 시스템 제어기(230)와 통신하는 작동기의 안내하에서 채널 강도를 수동으로 조정하도록 할 수 있다.

일부 양태에서, 제어기(230)는 이미지화 헤드(26)의 각각의 채널(40)에 대한 강도(또는 상응하게, 강도 증가량)를 명시하는 강도 정보(232)를 보유한다. 강도 정보는 이미지화 헤드(26)의 채널을 가로질러 변할 수 있다. 채널이 특정 피쳐(51)에 대해 가장자리 서브-그룹(54' 또는 54")내에 포함되는 것으로 결정되면(즉, 채널(40)이 피쳐의 가장자리 부분을 이미지화하는 경우), 제어기(230)는 채널에 대한 강도를 강도 정보에 의해 명시된 값으로 자동으로 설정할 수 있다.

일부 양태에서, 제어기(230)는 홈 면 가장자리 서브-그룹(54') 및 떨어져있는 면 가장자리 서브-그룹(54")에 대해 별도의 강도 정보를 보유한다. 이러한 양태에서, 제어기(230)는 채널이 서브-그룹(54' 및 54") 중의 하나에 있는지 여부를 결정한다. 그렇다면, 제어기(230)는 서브-그룹 및 채널에 적합한 강도 정보를 검색하고 강도 정보에 따라 채널의 강도를 설정한다.

이후 제어기(230)는 이미지화 헤드(26)와 이동 단위(220)가 각각의 채널에 대해 결정된 바와 같은 강도를 사용하여 매체(212)를 이미지화하도록 작동된다. 일부 양태에서, 피쳐(51)의 가장자리(56' 및 56")를 따라 가장자리 부분을 이미지화하는 가장자리 서브-그룹(54' 및 54") 중의 적어도 하나(일부 양태에서는 둘 다)에서의 채널의 강도는 동일한 피쳐(51)의 내부 서브-그룹(56)에서의 채널의 강도를 3% 이상 초과한다.

본원에 기재된 방법에 대해, 피쳐(51)가 주 스캔 방향(42)에 평행하게 연장되는 가장자리를 갖는 스트라이프 형태를 갖는 경우가 편리하다. 스트라이프는 연속적이거나 중단되어 있을 수 있다. 이러한 경우에, 피쳐의 가장자리 부분은 피쳐 전체를 따라 동일한 채널(40)에 의해 이미지화된다. 이러한 수개의 스트라이프 피쳐가 이미지화 헤드(26)의 단일 스와쓰에 이미지될 수 있는 경우가 특히 편리하다. 그러나, 본 발명은 스트라이프를 이미지화하는 것에 제한되지 않는다.

본 발명의 일부 예시적인 양태에서, 피쳐(51)는 이미지화 헤드(26)의 하나 이상의 스캔 동안 이미지화된다. 피쳐(51)는 또 다른 피쳐와 인접하거나 인접하지 않을 수 있다.

피쳐(51)는 하프톤 스크리닝 데이타(halftone screening data)를 포함하는 이미지 데이타에 따라 이미지화될 수 있다. 하프톤 이미지화에서, 피쳐는 하프톤 도트(halftone dot)를 포함한다. 하프톤 도트는 이미지화된 피쳐의 목적하는 밝기 또는 어둡기에 따라 크기가 다양하다. 각각의 하프톤 도트는 전형적으로 이미지화 헤드(26)에 의해 이미지화되는 화소보다 크며, 전형적으로 다수의 이미지화 채널에 의해 이미지화된 화소의 매트릭스로 이루어진다. 하프톤 도트는 전형적으로, 단위 길이당 하프톤 도트의 수에 의해 전형적으로 정의된 선택된 스크린 규칙 및 하프톤 도트가 배향되는 각도에 의해 전형적으로 정의된 선택된 스크린 각도에서 이미지화된다. 본 발명의 예시적인 양태에서, 피쳐(51)는 해당 피쳐를 이미지화하도록 선택된 상응하는 하프톤 스크린 데이타에 따르는 스크린 밀도로 이미지화될 수 있다.

본 발명의 또 다른 예시적인 양태에서, 피쳐(51)는 동일한 크기의 도트의 다양한 공간적 빈도로 이루어진 확률 스크린(stochastic screen)으로 이미지화될 수 있다. 본 발명의 또 다른 예시적인 양태에서, 비-연속 피쳐는 조합된 하프톤 및 확률 스크린(통상적으로 "하이브리드(hybrid)" 스크린이라고 함)으로 이미지화될 수 있다.

본 발명은 디스플레이 및 전자 장치 제조에서의 예시된 용도를 사용하여 기재되어 있지만, 본원에 기재된 방법은 랩-온-어-칩(lab-on-a-chip; LOC) 제조를 위한 생의학 이미지화에 사용되는 것을 포함한 피쳐의 패턴을 이미지화하는 데에 직접 적용할 수 있다. LOC 장치는 피쳐의 수개의 반복 패턴을 포함할 수 있다. 본 발명은 기타의 기술, 예를 들면, 의료, 인쇄 및 전자 제작 기술에 적용할 수 있다.

예시적인 양태는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 상기한 양태의 다수의 변화가 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 당해 분야의 숙련가들에 의해 유도될 수 있음을 이해해야 한다.

Claims

공여체 소자와 수용체 소자를 포함하는 기판 위에서, 다수의 독립적으로-제어 가능한 광 빔을 상응하는 스캔 라인을 따라 스캔 방향으로 스캐닝하는 단계(여기서, 각각의 광 빔은 수용체 소자 위에 상응하는 이미지 화소를 형성하도록 작동할 수 있다),

연속 그룹의 빔을, 공여체 소자에서 수용체 소자로 이미지-형성 물질을 이동시키도록 작동시킴으로써 피쳐를 이미지화하는 단계 및

피쳐를 이미지화하면서, 피쳐의 내부 부분에 상응하는 하나 이상의 빔의 내부 서브-그룹(sub-group)의 강도와는 상이한 강도를 갖도록, 피쳐의 제1 가장자리를 따라 연장하는 피쳐의 제1 부분에 상응하는 하나 이상의 빔의 제1 가장자리 서브-그룹 및 피쳐의 제2 가장자리를 따라 연장하는 피쳐의 제2 부분에 상응하는 하나 이상의 빔의 제2 가장자리 서브-그룹의 강도를 조절하는 단계를 포함하여, 레이저-유도된 열 이동에 의해 피쳐를 이미지화하는 방법.
제1항에 있어서, 제1 및 제2 가장자리 서브-그룹 중의 하나 이상의 빔의 강도를, 내부 서브-그룹의 빔의 적어도 일부의 강도를 3% 이상 초과하도록 설정함을 포함하는 방법.
제1항에 있어서, 제1 가장자리 서브-그룹의 빔의 강도를, 제2 가장자리 서브 -그룹의 빔의 강도와는 상이하게 설정함을 포함하는 방법.
제1항에 있어서, 빔의 그룹의 강도를, 피쳐를 가로질러 비대칭인 강도 프로파일을 제공하도록 설정함을 포함하는 방법.
제4항에 있어서, 내부 서브-그룹의 빔의 강도를, 피쳐의 내부 부분에서 비대칭인 강도 프로파일을 제공하도록 설정함을 포함하는 방법.
제1항에 있어서,

각각의 빔과 관련된 강도 정보를 보유하는 단계(여기서, 강도 정보는, 빔이 피쳐의 제1 및 제2 가장자리 서브 그룹 중의 하나에 있는 경우에 빔에 대해 설정되는 강도를 명시한다),

빔이 피쳐에 대해 제1 가장자리 서브-그룹에 있는지를 결정하는 단계 및

제1 가장자리 서브-그룹의 빔의 강도를 빔에 상응하는 강도 정보에 따라 설정하는 단계를 포함하는 방법.
제1항에 있어서,

각각의 빔과 관련된 제1 강도 정보를 보유하는 단계(여기서, 제1 강도 정보는, 빔이 피쳐의 제1 가장자리 서브 그룹에 있는 경우에 빔에 대해 설정되는 강도를 명시한다),

각각의 빔과 관련된 제2 강도 정보를 보유하는 단계(여기서, 제2 강도 정보는, 빔이 피쳐의 제2 가장자리 서브 그룹에 있는 경우에 빔에 대해 설정되는 강도를 명시한다),

빔이 피쳐에 대해 제1 가장자리 서브-그룹에 있는지를 결정하는 단계,

제1 가장자리 서브-그룹의 빔의 강도를 빔에 상응하는 제1 강도 정보에 따라 설정하는 단계,

빔이 피쳐에 대해 제2 가장자리 서브-그룹에 있는지를 결정하는 단계 및

제2 가장자리 서브-그룹의 빔의 강도를 빔에 상응하는 제2 강도 정보에 따라 설정하는 단계를 포함하는 방법.
피쳐의 제1 가장자리 부분에 상응하는 빔은 제1 강도에서 작동하고 피쳐의 제2 가장자리 부분에 상응하는 빔은 제1 강도와는 상이한 제2 강도에서 작동하도록 채널에 상응하는 빔의 강도를 조절하면서, 다수의 개별적으로-어드레싱 가능한 채널을 포함하는 이미지화 헤드를 채널에 상응하는 광 빔을 직사하여 공여체 소자 위에서 상응하는 스캔 경로를 따라 스캐닝시키고 물질이 레이저-유도된 열 이동 공정에 의해 공여체 소자에서 수용체 소자로 이동하도록 작동시키는 단계를 포함하여, 제1 가장자리 부분과 제2 가장자리 부분을 포함하는 피쳐를 수용체 소자 위에 형성하는 방법.
제8항에 있어서, 피쳐의 내부 부분에 상응하는 빔을, 제1 강도 및 제2 강도 중의 하나 이상과는 상이한 제3 강도에서 작동시킴을 포함하는 방법.
제9항에 있어서, 제3 강도가 제1 강도 및 제2 강도 둘 다와는 상이한 방법.
제9항에 있어서, 제3 강도가 제1 강도 및 제2 강도 중의 하나 이상보다 낮은 방법.
제11항에 있어서, 제3 강도가 제1 강도 및 제2 강도 중의 하나 이상보다 3% 이상 낮은 방법.
제8항에 있어서, 제1 가장자리 부분과 제2 가장자리 부분이 부-스캔 방향으로 서로 공간적으로 분리되어 있는 방법.
제8항에 있어서, 피쳐가 스캔 경로에 평행한 방향으로 연속된 스트라이프(stripe)를 포함하는 방법.
제8항에 있어서, 피쳐가 스캔 경로에 평행한 방향으로 중단된 스트라이프를 포함하는 방법.
제8항에 있어서, 피쳐가 다수의 피쳐를 포함하는 패턴의 하나의 피쳐이고, 방법이 이미지화 헤드를 피쳐 및 패턴의 하나 이상의 다른 피쳐를 동시에 형성하도록 작동시킴을 포함하는 방법.
제16항에 있어서, 제1 가장자리 부분이 피쳐의 홈 가장자리(home edge)에 상응하고, 방법이 피쳐의 홈 가장자리 부분에 상응하는 빔의 강도를 하나 이상의 다른 피쳐의 홈 가장자리 부분에 상응하는 빔의 강도와는 상이하게 설정함을 포함하는 방법.
제16항에 있어서, 제2 가장자리 부분이 피쳐의 떨어져있는 가장자리(away edge)에 상응하고, 방법이 피쳐의 떨어져있는 가장자리 부분에 상응하는 빔의 강도를 하나 이상의 다른 피쳐의 떨어져있는 가장자리 부분에 상응하는 빔의 강도와는 상이하게 설정함을 포함하는 방법.
제16항에 있어서, 하나 이상의 다른 피쳐의 제1 및 제2 가장자리 부분에 상응하는 채널의 강도를 피쳐의 제1 및 제2 가장자리 부분에 상응하는 채널에 대해 설정된 강도와는 상이하게 설정함을 포함하는 방법.
제16항에 있어서, 피쳐의 패턴이 반복 패턴인 방법.
제20항에 있어서, 피쳐의 패턴이 스캔 경로에 평행하게 연장되는 스트라이프 의 반복 패턴인 방법.
제16항에 있어서, 피쳐의 패턴이 컬러 필터의 일부를 형성하는 컬러 피쳐의 패턴을 포함하는 방법.
다수의 광 빔을 개별적으로 제어하도록 작동될 수 있는 광 밸브를 포함하는 이미지화 헤드(여기서, 각각의 광 빔은 이미지-형성 물질을 공여체 소자로부터 수용체 소자로 이동시킬 수 있다)를 수용체 소자에 대해 스캔 경로를 따라 전진시켜 레이저-유도된 열 이동 공정에 의해 다수의 피쳐를 공여체 소자로부터 수용체 소자로 이동시키는 단계 및

광 밸브를 다수의 빔을 조절하도록 작동시키는 단계(여기서, 피쳐의 가장자리 부분을 이동시키는 빔은 피쳐의 내부 부분을 이동시키는 빔과는 상이한 강도를 갖는다)를 포함하여, 다수의 피쳐를 형성하는 방법.
제23항에 있어서, 다수의 빔을, 피쳐의 가장자리 부분을 이동시키는 데 사용되는 광 빔보다 낮은 강도의 광 빔을 사용하여 피쳐의 내부 부분을 이동시키도록 변조함을 포함하는 방법.
인접하게-위치한 이미지화 채널의 어레이를 포함하는 이미지화 헤드(여기서, 각각의 이미지화 채널은 개별적으로-제어 가능한 광 빔을 형성하도록 작동할 수 있 으며, 각각의 광 빔은 이미지-형성 물질을 공여체 소자로부터 수용체 소자로 이동시킬 수 있다)를 수용체 소자에 대해 스캔 경로를 따라 전진시켜 다수의 피쳐를 공여체 소자로부터 수용체 소자로 이동시키는 단계 및

이미지화 헤드를 각각의 빔을 선택적으로 변조하도록 작동시키는 단계(여기서, 각각의 피쳐의 가장자리 부분은 다양한 에너지 강도의 광 빔을 사용하여 이동된다)를 포함하여, 레이저-유도된 열 이동 공정에 의해 다수의 피쳐를 형성하는 방법.
이미지화 헤드를 수용체 소자에 대해 스캔 경로를 따라 전진시키는 단계 및

이미지화 헤드를, 이미지-형성 물질을 공여체 소자에서 수용체 소자로 이동시킴으로써 피쳐를 형성하는 비대칭 강도 프로파일을 갖는 다수의 광 빔을 형성하도록 제어하는 단계를 포함하여, 레이저-유도된 열 이동 공정에 의해 피쳐를 형성하는 방법.
제26항에 있어서, 이미지화 헤드를 다수의 광 빔을 선택적으로 변조하도록 제어하여 다양한 강도를 갖는 광 빔을 사용하여 피쳐의 가장자리 부분을 이동시킴을 포함하는 방법.
이미지화 헤드를 수용체 소자에 대해 스캔 경로를 따라 전진시켜 다수의 피쳐를 공여체 소자에서 수용체 소자로 이동시키는 단계 및

이미지화 헤드를, 제1 피쳐를 다수의 제1 이미지화 빔을 사용하여 공여체 소자에서 수용체 소자로 이동시키고 제2 피쳐를 다수의 제2 이미지화 빔을 사용하여 공여체 소자에서 수용체 소자로 이동시키도록 제어하는 단계(여기서, 다수의 제1 이미지화 빔 및 다수의 제2 이미지화 빔은 상이한 강도 프로파일을 갖는다)를 포함하여, 레이저-유도된 열 이동 공정에 의해 피쳐를 형성하는 방법.
시스템 제어기에 의해 실행되는 경우, 시스템 제어기가,

다수의 개별적으로-제어 가능한 채널을 포함하는 이미지화 헤드를 스캔 경로를 따라 하나 이상의 피쳐를 레이저-유도된 열 이동 공정에서 공여체 소자로부터 수용체 소자로 이동하도록 작동시키고,

다수의 개별적으로-제어 가능한 채널의 채널을 하나 이상의 피쳐의 제1 가장자리 부분을 제1 강도에서 이동시키고 하나 이상의 피쳐의 제2 가장자리 부분을 제2 강도에서 이동시키도록 선택적으로 활성화시키는(여기서, 제2 강도는 제1 강도와는 상이하다) 명령을 포함하는 컴퓨터-판독 가능한 시그널의 세트를 갖는 프로그램 제품.