CN101925468B - 使用变化的分辨率对特征图案进行成像 - Google Patents
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Abstract
提供了一种方法用于在沿着扫描方向在介质上扫描的同时使用由成像头发射的辐射束在介质上形成特征图案的图像。所述方法包括:确定特征图案沿着第一方向的节距,控制成像头有选择地发射辐射束,以使用可以包括成像像素和非成像像素的多个像素在介质上形成特征图案。所述多个像素可以包括具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素以及具有沿着扫描方向的第二尺寸的第二像素。第二尺寸可以与第一尺寸不同并且至少基于特征沿着第一方向的节距以及第一尺寸来确定。
Description
技术领域
本发明涉及成像系统和用于形成图像的方法。本发明例如可以应用于制造电子显示器的滤色器。
背景技术
显示屏中使用的滤色器通常包括包含多个颜色特征的图案。颜色特征例如可以包括红色、绿色和/或蓝色颜色特征的图案。可以把滤色器制成具有其它颜色的颜色特征。颜色特征可以布置为各种合适配置中的任何一种。现有技术条状配置如图1A中所示具有交替的红色、绿色和蓝色颜色特征列。
图1A示出了现有技术“条状配置”滤色器10的一部分,具有分别形成为在受体部件18上的交替列的多个红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)颜色特征12、14和16。滤色器矩阵20(也称为矩阵20)的各个部分构建了颜色特征12、14和16的轮廓。列可以被成像为长形条,长形条被矩阵单元34(也称为单元34)细分成各个颜色特征12、14和16。
各种成像方法是本领域中已知的并且可以用来在介质上形成各种特征。例如,已经提出了激光诱导热转移处理以用于显示器(特别是滤色器)的制造中。当使用激光诱导热转移处理生产滤色器时,在滤色器基板(也称为受体部件)上覆盖施主部件,施主部件随后以成像方式曝光以有选择地把着色剂从施主部件转移给受体部件。优选的曝光方法使用辐射束(诸如激光束)诱导着色剂转移给受体部件。二极管激光器由于其成本低并且尺寸小所以是特别优选的。
激光诱导“热转移”处理包括:激光诱导“染料转移”处理、激光诱导“熔化转移”处理、激光诱导“烧蚀转移”处理以及激光诱导“质量转移”处理。在激光诱导热转移处理期间被转移的着色剂包括合适的基于染料或基于颜料的成分。可以转移另外的元素,诸如,一种或更多种粘合剂。
一些常规激光成像系统产生有限数量的辐射束。其它常规系统通过使用大量各自调制的成像通道产生许多辐射束来减少完成图像所需的时间。可获得具有大量这样的“通道”的成像头。例如,由加拿大不列颠哥伦比亚省的Kodak Graphic Communications Canada Company(柯达图形通信加拿大公司)制造的SQUAREspot型号的热成像头具有数百个独立通道。每个通道可以具有超过25mW的功率。可以控制成像通道的阵列以布置为形成连续图像的一系列图像条写图像。
图1A中所示的条形配置示例了滤色器特征的一个示例配置。滤色器可以具有其它配置。拼接(mosaic)配置具有在两个方向上(例如,沿着列和行)交替的颜色特征,以使得每个颜色特征类似于“岛形”。三角(delta)配置(未示出)具有彼此之间布置为三角形关系的红色、绿色和蓝色颜色特征的群组。拼接和三角配置是“岛形”配置的示例。图1B示出了布置为拼接配置(其中,颜色特征12、14和16被布置为列,并且既在列的方向也在与列交叉的方向交替)的现有技术滤色器10的一部分。
其它滤色器配置也是本领域中已知的。虽然上面描述的示例示出了矩形滤色器单元的图案,但也存在包括其它形状特征的其它图案。
图1C示出了具有三角形颜色特征12A、14A和16A配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1C所示,各颜色特征中的每个颜色特征沿着列布置并且与矩阵20对齐。
图1D示出了具有三角形颜色特征12A、14A和16A配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1D所示,各颜色特征中的每个颜色特征沿着滤色器10的列和行交替。如图1C和图1D中所示,颜色特征12A、14A和16A在给定的行或列内可以具有不同朝向。
图1E示出了包括人字形(chevron)颜色特征12B、14B和16B配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1E所示,各颜色特征中的每个颜色特征沿着列布置并且与矩阵20对齐。颜色特征12B、14B和16B由从一侧到另一侧弯曲的条形成,并且由滤色器矩阵20的各个部分形成轮廓。
图1F示出了包括人字形颜色特征12B、14B和16B配置的现有技术滤色器10的一部分。如图1F所示,各颜色特征中的每个颜色特征沿着滤色器10的列和行交替。
可以选择滤色器特征的形状和配置以提供期望的滤色器属性,诸如较好的颜色混合或者增强的视角。
在一些应用中,需要特征被形成为与介质上提供的配准区域基本对齐。例如,在图1A中,各种颜色特征12、14和16将会与由矩阵20提供的矩阵单元34的图案对齐。颜色特征12、14和16可以与矩阵20重叠以减少背光泄露效应。在诸如滤色器的一些应用中,最终产品的视觉质量可以取决于特征图案(例如,滤色器特征的图案)与配准子区域的图案(例如,滤色器矩阵)对齐的精度。配准不良可以导致形成不期望的无色空白或者导致相邻特征的重叠(这可以引起不期望的视觉伪影)。虽然使矩阵20重叠可以帮助在滤色器应用中减少颜色特征必须与矩阵20对齐的精度,但通常存在对矩阵20可以重叠的程度的限制。可以限制重叠(以及最终对齐)程度的因素可以包括但不限于:滤色器的特定配置、矩阵行的宽度、矩阵行的粗糙度、防止背光泄露所需的最小重叠以及退火后收缩。
成像处理本身对于所允许的重叠程度有影响。例如,激光诱导热转移处理中产生的图像的视觉质量通常对于施主部件与受体部件之间界面的均匀性是敏感的。不均匀的界面可以影响从施主部件向受体部件转移的图像形成材料的量。如果相邻特征在矩阵行上彼此重叠,则施主到受体部件的间隔可以在重叠区域中根据已经转移到这些区域中的附加材料而附加地变化。此附加的间隔会对使用另外的施主部件的后续成像期间形成的特征的视觉质量有不利影响。在此方面,相邻特征在矩阵部分上自身不重叠通常是优选的。此需求对重复颜色特征的图案与矩阵单元的重复图案之间所需的对齐提出了另外的约束。
当使用激光成像处理时,激光成像器可以在介质上扫描辐射束的成像分辨率通常对得到的最终对齐有影响。与成像处理相关联的分辨率与由成像通道发射的相应辐射束形成的像素的尺寸特性有关。假定由辐射束形成的图像像素的尺寸不同并且成像特征是由像素的各种布置形成的,则成像特征的尺寸或布局可以根据像素尺寸而相对于特征的期望尺寸或布局发生变化。虽然高分辨率(即,较小的像素尺寸)对于提供对特征尺寸的更精细控制通常是优选的,但给定介质的曝光要求也可以限制成像处理而使用相对较低的分辨率(即,相对“较大”像素)。
仍存在对能够形成高质量特征图像的有效且实用的成像方法和系统的需要。图像可以包括需要被形成为与介质上提供的配准区域的图案基本对齐的特征图案。
仍存在对以下有效且实用的成像方法和系统的需要:所述成像方法和系统可以形成特征图案以使得在配准子区域(例如,滤色器矩阵中的单元)的图案中特征(滤色器特征)的节距与子区域的节距相匹配。
仍存在对以下有效且实用的成像方法和系统的需要:所述成像方法和系统允许将特征或其一部分形成为特定尺寸,同时保持特征与另一特征之间的期望节距需求。
发明内容
本发明涉及一种用于在介质相对于辐射束移动的同时在介质上形成特征图案的图像的方法。介质可以包括配准子区域的图案,例如矩阵。图像可以包括特征(诸如,作为有机发光二极管显示器一部分的滤色器或有色照射源的颜色特征)的一个或更多个图案。特征的一个或更多个图案可以与配准子区域的图案相配准。特征可以是岛形特征,其中,第一颜色的第一多个特征中的每个特征通过不同颜色的特征相互分开。特征可以是可在一个或更多个方向上中断的条形。特征的边缘可以相对于成像头的成像通道的布置方向倾斜。
可以通过激光诱导热转移处理(诸如,激光诱导染料转移处理、激光诱导质量转移处理)或者通过把材料从施主部件转移到受体部件的其它方式来形成图像。
所述方法可以包括:在沿着扫描方向在介质上扫描的同时使用由成像头发射的辐射束在介质上形成特征图案的图像。图像可以包括:沿着第一方向规则地布置的特征的图案。所述方法可以包括:例如,确定特征沿着第一方向的节距以及控制成像头有选择地发射辐射束,以使用包括成像像素和非成像像素的多个像素在介质上形成特征图案的图像。像素的尺寸可以变化以适应特征图案的节距。例如,多个像素可以包括具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素以及具有沿着扫描方向的第二尺寸的第二像素。第二尺寸可以与第一尺寸不同并且至少基于特征沿着第一方向的节距以及第一尺寸被确定。
特征图案可以包括沿着第一方向重复的特征。在一个示例实施例中,特征沿着第一方向的节距不等于第一尺寸或者第二尺寸的整数倍。在另一示例实施例中,至少基于特征沿着第一方向的尺寸、特征的一部分或者特征图案中的相邻特征之间沿着第一方向的间隔来确定第一尺寸。至少基于特征图案中的特征沿着第一方向的尺寸来确定第二尺寸。
第一像素和第二像素中的每个像素可以是成像像素,可以使用第一像素和第二像素来形成特征图案中的特征的至少一部分。可以使用至少一个成像像素来形成特征图案中的特征以及使用至少一个非成像像素来形成特征图案中的该特征与相邻特征之间的间隔。成像像素中的一些成像像素沿着扫描方向的尺寸可以与第一尺寸和第二尺寸中的一个相等,非成像像素中的一些非成像像素沿着扫描方向的尺寸可以与第一尺寸和第二尺寸中的另一个相等。可以使用每一个都具有沿着扫描方向与第一尺寸相等的尺寸的一个或更多个像素来形成特征图案中的特征的第一部分,以及可以使用具有沿着扫描方向与第二尺寸相等的尺寸的一个或更多个像素来形成特征的第二部分。特征的第一部分可以至少在第一方向上与特征的第二部分的尺寸不同。特征沿着第一方向的节距可以等于或者可以不等于特征的第一部分沿着第一方向的尺寸或者特征的第二部分沿着第一方向的尺寸的整数倍。
可以沿着与第一方向相交叉的第二方向规则地布置特征图案中的特征。可以确定特征沿着第二方向的节距以及可以控制成像头使用沿着与扫描方向相交叉的方向的第三尺寸来形成第一像素和第二像素中的每一个。可以至少基于特征沿着第二方向的节距来确定第三尺寸。第三尺寸可以被确定为使得特征沿着第二方向的节距等于第三尺寸的整数倍。可以通过旋转成像头以改变成像头的分辨率或者通过改变光阀通道中的一个或更多个通道开启或关闭的时间长度来调整像素尺寸。
可以设计程序产品来承载包括指令的一套计算机可读信号,所述指令当被控制器执行时使控制器:控制成像头有选择地发射辐射束以如上所述形成像素。
附图说明
非限制性的附图示例了本发明的实施例和应用。附图用于示例出本发明概念的目的而并非按比例绘制。
图1A是现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1B是另一现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1C是包括三角形特征的现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1D是包括三角形特征的另一现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1E是包括人字形特征的现有技术滤色器的一部分的平面图;
图1F是包括人字形特征的另一现有技术滤色器的一部分的平面图;
图2A是滤色器特征的图案与矩阵单元的图案的期望对齐的表示图;
图2B示意性示出使用不正确的横向扫描分辨率的用来制造图2A的滤色器10的激光诱导热转移处理;
图3是示例现有技术多通道成像头的光学系统的示意性透视图;
图4A示意性示出了根据本发明一方面的图2A的滤色器的成像;
图4B示意性示出了根据本发明另一方面的图2A的滤色器的成像;
图5是本发明示例实施例使用的缩放系统70的示意图;
图6A是期望的“条形配置”滤色器的一部分的平面图;
图6B是图6A的条形特征的一部分的详细平面图;
图6C示意性示出使用尺寸基于特征的节距准则的像素来成像的图6B的条形特征部分。
图6D示意性示出使用尺寸基于特征的尺寸准则的像素来成像的图6B的条形特征部分;
图6E示意性示出通过扫描辐射束来形成的像素的现有技术网格式布置;
图7示意性示出了本发明示例实施例中使用的装置90;
图8是表示出了根据本发明示例实施例实施的方法的流程图;
图9A示意性示出根据本发明的示例实施例通过使用第一像素来形成的图6B的条形特征部分的一部分;
图9B示意性示出根据本发明的示例实施例通过使用与第一像素不同的第二像素来形成的图6B的条形特征部分的另一部分;
图9C示意性示出根据本发明的示例实施例通过使用图9A和图9B的第一和第二像素来形成的图6B的条形特征部分的多个部分;
图9D示意性示出根据本发明的另一示例实施例通过像素来成像的图6B的条形特征部分;
图10示出滤色器的一部分,其中,红色(R)颜色特征、绿色(G)颜色特征和蓝色(B)颜色特征规则地布置为拼接配置;以及
图11示出使用一致节距沿着第一方向布置的尺寸不相等的特征的图案。
具体实施方式
在以下描述中,给出了具体细节以向本领域技术人员提供较全面的理解。然而,可能不会示出或者详细描述公知元件,以避免不必要地使本公开不明显。因此,应当从示例性而非限制性的角度看待描述和附图。
图2A示出了特征的图案与包括配准子区域图案的配准区域的期望对齐的示例。在此示例中,每个特征沿着与主扫描轴42平行的方向延伸,并且特征沿着与副扫描轴44平行的方向规则地布置。在此示例中,滤色器10包括包含滤色器矩阵20(部分地以短划虚线示出)的配准区域47(以长划虚线示出)。滤色器矩阵(也称为矩阵20)继而包括在受体部件18上形成的均匀隔开的单元34的图案。在此情形中,期望红色(R)条形特征12、绿色(G)条形特征14和蓝色(B)条形特征16被形成为与矩阵20基本对齐,以形成“条形配置”滤色器。相应地,在此示例中,期望红色条形特征12、绿色条形特征14和蓝色条形特征16各自相应的图案的节距“Pf”与各配准子区域(即,单元34)的图案的节距“Pr”基本相等。可以把特征布置为不同图案。在一些图案中,特征被沿着一个或更多个方向规则地布置。在这些图案中,每个特征包括共同基准,诸如,特征边缘、特征边角、特征中心点或特征的其它部分。特征被布置为使得共同基准中的每一个都沿着特征图案的布置方向彼此分开相等距离。此相等距离称为“节距”。
可以通过各种处理来形成红色条形特征12、绿色条形特征14和蓝色条形特征16,所述各种处理包括使用在各种介质上扫描的辐射束的成像处理。在此情形中,将会使用激光诱导热转移处理来形成各种特征。图2B示意性示出了用来制造图2A的滤色器10的激光诱导热转移处理。提供了成像头26以把图像形成材料(未示出)从施主部件24转移到下方的受体部件18。施主部件24被示出为小于受体部件18只为清楚起见。施主部件24可以根据需要与受体部件18的一个或更多个部分重叠。成像头26可以包括各种数量成像通道的布置。在此情形中,成像头26包括尺寸一致并且沿着阵列的布置方向重复的各个可寻址通道40的通道阵列43。在此情形中,布置方向与副扫描轴44平行。当由成像头26发射的辐射束(未示出)扫描过施主部件24时,图像形成材料以图像方式从施主部件24转移到受体部件18上。通常在单独的成像步骤中对滤色器10的红色、绿色和蓝色部分分别进行成像;每个成像步骤涉及使用要被成像的下一颜色施主部件替换前一颜色施主部件。滤色器的红色、绿色和蓝色特征将会以与相应矩阵单元34基本对齐的方式转移到受体部件18。在图2B中,只示出了红色条形特征12D的成像。为清楚起见,未示出绿色条形特征和蓝色条形特征的成像。
在颜色特征转移了之后,所成像的滤色器可以受到一个或更多个另外的处理步骤,诸如,退火步骤,例如,以改变所成像的颜色特征的一个或更多个物理特性(例如,耐用性)。
图3中示意性示出了基于激光的多通道成像处理使用的照射系统的示例。使用空间光调制器或光阀来创建多个成像通道。在所示示例中,线性光阀阵列100包括半导体基板102上制造的多个可变形镜面元件101。镜面元件101是可单独寻址的。镜面元件101例如可以是微机电(MEMS)元件,诸如,可变形镜面微元件。激光器104可以使用包括柱状透镜108和110的变形光束扩展器来在光阀100上生成照射线106。照射线106在多个元件101上横向扩散,以使得照射线106的一部分照射镜面元件101中的每个镜面元件。Gelbart的美国专利5,517,359描述了用于形成照射线的方法。
通常当元件101处于其非激励状态时透镜112透过孔径光阑116中的孔径114会聚激光照射。孔径光阑116阻断来自激励元件的光。透镜118对光阀100进行成像以形成多个以图像方式调制的各个束120(其可以扫描过基板的区域以形成成像幅(像条,imaged swath))。这些束中的每个束都被元件101中的一个元件控制。每个元件101对应于多通道成像头的成像通道。
辐射束中的每个辐射束可以用于按照相应元件101的驱动状态对成像受体部件上的“像素”进行成像或者不进行成像。也就是说,当按照图像数据需要对像素进行成像时,给定元件101被驱动为产生具有适合于在基板上形成像素图像的强度量值和持续时间的相应辐射束。当按照图像数据不需要对像素进行成像时,给定元件101被驱动为不产生辐射束。如本文中所使用的,像素是指基板上图像的单个元素,区别于与组装后的显示设备上显示的图像的一部分相联系使用的词语“像素”。例如,如果使用本发明来创建彩色显示器的滤色器,则通过本发明创建的像素将会与相邻像素相结合,以形成显示设备上显示的图像的单个像素(也称为特征)。
图2B将成像通道40与被转移的图案之间的对应关系描绘为虚线41。特征(例如所成像的条形特征12D)的尺寸通常大于由成像通道40成像的像素的宽度并且因此由多个像素(未示出)成像。由成像头26生成的辐射束扫描过受体部件18,同时根据指定要被写入的特征图案的图像数据被以图像方式调制。在任何期望形成图案的地方,驱动通道组48产生辐射束。不对应于特征的通道40被驱动以便在相应区域上不形成图像。
受体部件18、成像头26或者二者的组合可以彼此相对移动,同时响应于图像数据控制成像通道40以创建图像幅。在一些情形中,成像头26是固定的,受体部件18移动。在另一些情形中,受体部件18是固定的,成像头26移动。在又一些情形中,成像头26和受体部件18都移动。
在成像头26的扫描期间可以激活成像通道40以形成图像幅。受体部件18可能会太大而无法在单个图像幅内被成像。因此,通常需要成像头26的多个扫描以完成受体部件18上的图像。
在沿着主扫描轴42完成每幅的成像之后可以出现成像头26沿着副扫描轴44的移动。或者,使用鼓形成像器,可以既沿着主扫描轴42也沿着副扫描轴44相对移动成像头26,从而把在鼓上螺旋延伸的图像幅写入。在图2B中,沿着与主扫描轴42对齐的路径提供成像头26与受体部件18之间的相对运动。
可以应用任何合适的机制以相对于受体部件18移动成像头26。通常使用平板成像器用于对采取在制造显示屏处理中常见的相对较严格和平坦的朝向的受体部件18进行成像。平板成像器具有确保受体部件18处于平坦朝向的支座。Gelbart的美国专利6,957,773描述了适合于显示屏成像的高速平板成像器。或者,可以将挠性的受体部件18固定到“鼓形”支座的外表面或内表面以影响图像幅的成像。
在图2B中,在形成与主扫描轴42基本平行的图像幅的扫描方向上扫描多个辐射束。然而此扫描方向可能不在所有情况下都适合,这是因为矩阵20可以使用相对于主扫描轴42和副扫描轴44而言的倾斜朝向。矩阵20的倾斜朝向可以由于大量原因(包括受体部件18在成像设备内的放置误差)而出现。倾斜朝向需要各种成像特征以倾斜方式形成,以与矩阵20正确地对齐。通过如下方式对倾斜特征或具有倾斜边缘的特征进行成像:在沿着扫描路径引导辐射束时建立受体部件18与成像头26之间受控的相对运动。在此情形中,子扫描运动按照倾斜的程度配合主扫描运动。在成像头26与受体部件18之间提供主扫描运动时,还提供两者之间的同步子扫描运动以创建称为“配合运动”的运动。与以螺旋方式(其中,通常独立于要被形成的图像来限定在每个鼓旋转期间子扫描运动的量)对图像幅进行成像的基于鼓的成像方法不同,当使用配合运动技术时,在每个扫描期间子扫描运动的量取决于要被形成的图像。配合运动可以用来形成具有基本平滑和连续的边缘(在一些要求严格的应用中可以用来便于对齐特征图案与配准子区域的图案)的特征。
图2B示意性示出了使用所示的成像技术对图2A中所示的特征的图案进行成像的困难。以试图对与相应单元34对齐的图2A的期望红色条形特征12进行成像的方式形成所成像的条形特征12D。在此示范性情形中,成像头26采取以下朝向:其中,成像通道40的布置方向与单元34的图案的布置方向基本平行。如图2B中所示,阵列43中成像通道40的分辨率无法使用与单元34的节距Pr相等的节距对红色条形特征12D的期望重复图案进行成像。实质上,横向扫描方向(即,与扫描方向相交的方向)上成像通道的分辨率使得使用与Pr不相等的初始节距Pi形成所成像的红色条形特征12D。在此情形中,横向扫描方向与副扫描轴44平行。
控制所成像的红色条形特征12D中每一个的尺寸和位置的能力是像素尺寸的函数。由成像头26生成的辐射束中每一个创建的像素沿着横向扫描方向的尺寸无法通过与红色条形特征12期望图案的节距相匹配的节距来形成所成像的红色条形特征12D的成像图案。也就是说,期望的节距不等于沿着横向扫描方向的像素尺寸的整数倍。虽然成像通道40的分辨率可以使得或可以不使得通过与期望红色条形特征12的相应尺寸相等的沿着横向扫描方向的尺寸对红色条形特征12D中的每一个进行成像,但分辨率使得不能与期望节距相匹配。
如图2B中所示,所成像的红色条形特征12D从相应单元34偏移变化的量。在此情形中,偏移中的一些偏移增大到以下位置处:其中,红色条形特征12DA在矩阵20的区域45中将与使用其它颜色施主部件成像的其它特征重叠。此外,在区域49中,一些矩阵单元34没有完全被红色条形特征12D覆盖,从而导致形成无色空白的可能。这两种作用都会导致最终滤色器中不期望的视觉特性。很明显,这些作用在使用大量成像通道40的布置来增强成像产率时会额外地结合起来。应当注意,为清楚起见,区域45和49以阴影方式示出。
图4A示意性示出了根据本发明一方面的在图2A中所示的受体部件18的成像。图4A中只示出了与图2A的期望红色条形特征12相关的成像处理。为清楚起见,没有考虑期望的绿色条形特征14和蓝色条形特征16,但可以按与期望的红色条形特征12的成像几乎一样的方式进行处理。使用与图2B中所示的成像处理中同样的成像头26对红色条形特征12E进行成像。按照本发明的此方面,成像头26旋转了在成像通道40的布置方向与副扫描轴44之间测得的角度θ。角度θ被选择为使得旋转后成像头26的分辨率的尺寸适于使得使用与单元34的节距Pr基本相等的节距Pf来形成红色条形特征12E的成像图案。期望的节距现在等于用来形成红色条形特征12E图案的像素(未示出)的横向扫描尺寸的整数倍。成像头26的旋转使得成像像素的尺寸改变。得出的成像像素尺寸可以使得或可以不使得通过与图2A中所示的期望红色条形特征12的相应横向扫描尺寸相等的横向扫描尺寸来形成成像红色条形特征12E。然而,通过把像素调整到适于所需节距的尺寸,基本避免了由不匹配的节距引起的前述伪影中的许多伪影。
虽然在图4A中,以副扫描轴44为参考,成像头26旋转了角度θ,但可以理解,也可以容易地使用其它参考。
可以使用其它方法来改变沿着与扫描方向相交叉的方向的成像像素的尺寸。图4B示意性示出了根据本发明另一方面的在图2A中示出的受体部件18的成像。为清楚起见,图4B只示出了与期望的红色条形特征12相关的成像处理。根据本发明的此方面,成像头26包括缩放机构70。缩放机构70调整由成像头26发射的辐射束的尺寸,以使得使用与单元34的节距Pr基本相等的节距Pf对所成像的红色条形特征12F的图案进行成像。
图5示意性示出了本发明各种实施例可以使用的缩放系统70。缩放系统70包括固定场光学部件71、两个或更多个可移动缩放光学部件72、孔径光阑73、固定光学部件74和可移动聚焦光学部件75。在此示例实施例中,孔径光阑73位于缩放光学部件72与固定光学部件74之间。缩放机构70在整个缩放调整范围中维持物体平面76和图像平面77的位置。缩放光学部件72的位置在各种位置之间移动以设置光学系统的放大率。光学部件中的每个光学部件可以包括一个或更多个透镜。光学部件中的一个或更多个光学部件可以变形。本发明也可以使用其它类型的缩放机构。
可以按各种方式确定所需节距。例如,可以通过直接测量来确定配准子区域(即,矩阵)图案的节距。可以使用各种光学传感器来检测各种配准子区域的位置,并且检测到的位置可以用来确定子区域之间的节距。像素、辐射束或图像幅本身的尺寸也可以通过直接测量来确定并且可以用来帮助使特征图案的节距与配准子区域图案的节距相匹配。可以在各种方向上(无需限制在与扫描方向相交叉的方向上)确定各种节距。特征图案可以包括以下特征图案:其中特征沿着不同方向规则地布置。这些图案会使成像处理进一步复杂化。
图2A示出了简化的“条形配置”滤色器,其中,通过形成与矩阵20对齐的沿着扫描方向延伸的条形特征来产生给定颜色的滤色器特征。如前所述,需要使用允许在条形特征与单元34之间在横向扫描方向上“节距匹配”的充分控制来形成各种条形特征12、14和16。在图2A中所示的简化情形中沿着扫描方向表现出不需要这种控制,这是由于条形特征实质上沿着此方向以不间断的方式延伸。
图6A示出了另一期望的条形配置滤色器10。在此情形中,红色(R)条形特征12G、绿色(G)条形特征14G和蓝色(B)条形特征16G中每一个都包括在此情形中与主扫描轴42平行的方向上延伸的各种边缘。这些边缘中的一些边缘中断。在此情形中,中断包括规则地布置在沿着条形的各种位置处的凹口80。可以由于不同原因而需要凹口80。在此情形中,需要凹口80容纳装配在受体部件18上的各种图案间隔物82的位置。
图案间隔物82用来控制受体部件18与形成组装后最终显示器的部分的薄膜晶体管阵列屏(TFT)(未示出)之间的间隙。在受体部件18与TFT面板之间放入液晶材料(也未示出)。按照允许启动或停用所选择的滤色器特征的各种电信号来改变液晶材料的特性。结合了滤色器的显示器的视觉质量取决于在受体部件18与TFT之间维持基本一致的间隔。此间隔的偏差可以使得产生令人反感的视觉伪影(例如,Mura(斑痕)缺陷)。使用各种图案间隔物82来建立此基本一致的间隔。优选地把各种图案间隔物82直接装配到受体部件18的基板上或者装配到矩阵20上,而非装配到在形成各种滤色器特征期间转移到了受体部件或矩阵行上的任何图像形成材料上。这样进行是为了避免可能与所转移的图像形成材料的厚度相关联的可变性。如图6A中所示,在矩阵20的各种区域上直接形成图案间隔物82。条形特征12G、14G和16G中的每一个在这些区域附近都有凹口。
凹口80中的每一个都受制于特定尺寸和布局约束。在此情形中,每个凹口80属于以下这种凹口80的图案:其中,按照节距Pn放置凹口80中的每个凹口。需要节距Pn以把凹口80中的每一个相对于矩阵20放置在期望地点,以容纳图案间隔物82的放置。不形成具有期望节距Pn的凹口80会使得沿着条形方向不正确地放置凹口80,这会影响图案间隔物82的所需放置。
每个凹口80具有受制于各种约束的沿着条形方向的尺寸A。在此情形中,凹口中的每一个都必须足够大以容纳相应图案间隔物82的尺寸。另外,每个凹口80的尺寸都必须被调整为处于矩阵20的行宽内,这是因为:如果在矩阵行的边界外部形成凹口,则在相邻单元34区域中会引起无色空白。如下这些因素通常要求矩阵行的边缘与凹口的边缘之间有一些额外的裕度:诸如,用来形成条形特征中的每一个的像素及其相关联凹口80位置容限。典型的滤色器矩阵行宽度通常约为20微米,并且存在使用较细行的强烈期望。较小行宽可以使得对使用传统成像技术来准确形成这些中断特征形成额外的显著挑战。
图6B、图6C和图6D示意性示出了匹配“节距”和匹配“尺寸”的要求之间的冲突。图6B示出了图6A中所示期望的条形特征12G的一部分的详细视图。期望的条形特征12G被示出为与矩阵20的一部分中形成的单元34(以虚线示出)相关。在此情形中,节距Pn在尺寸上不等于凹口80的尺寸A的整数倍。通常通过多个像素来形成凹口。必须找到比可以形成的最小像素尺寸大的像素尺寸。需要整数个像素以创建期望的凹口尺寸,整数个像素必须与节距Pn相匹配。
图6C和图6D示出了在使用根据图像数据来控制的成像头(未示出)的成像处理期间在受体部件18上形成的像素的布置。在辐射束沿着扫描线扫描过介质时在介质上定义各种像素,以形成成像区域中的成像像素84A和84C以及非成像区域中的非成像像素84B和84D(所有成像和非成像像素通称为像素84)。在这些示例中,所形成的条形特征12H和12J沿着与用来形成像素84的扫描方向平行的方向延伸。
每个像素84可以包括不同方向上的不同尺寸。在此情形中,成像像素84A和84C具有沿着扫描方向的不同尺寸。非成像像素84B和84D也具有沿着扫描方向的不同尺寸。可以按各种方式创建这些像素。例如,图6E示意性示出了通过在受体部件18上扫描辐射束(未示出)形成的像素84的现有技术网格式布置。像素84中的每个像素具有沿着与形成像素84相关联的扫描方向上的尺寸“a”以及横向扫描方向上的尺寸“b”。在此示例中,通过在每个像素84的区域上扫描矩形辐射斑点85来产生每个像素84的特定尺寸。该扫描被实现为图像整体扫描的一部分。为了扫描像素区域上的斑点,需要速度为“V”的相对运动。可以通过移动辐射斑点85、或者通过移动受体部件18、或者通过移动这二者来生成相对运动。在此情形中,扫描方向与相对运动的方向平行,斑点扫描方向上的尺寸为“w”。通过w/V来定义激光器斑点驻留在介质任何一点上的时间。在此情形中,包括成像像素的像素在扫描方向上的尺寸是用来形成像素的辐射束“w”的初始尺寸以及在受体部件18上扫描该束的持续时间的函数。相反,非成像像素沿着扫描方向的尺寸是在受体部件18上未扫描辐射束的持续时间的函数。虽然可以通过使速度变化来调整沿着扫描方向的尺寸,但这会引起由辐射束创建的曝光的改变。针对给定扫描速度沿着扫描方向改变像素尺寸的常见方法涉及调整激活成像通道的时间长度。例如,在包括光阀的一些成像系统中,向所有光阀元件提供包括定时脉冲模式的定时信号并且根据图像数据来激活各个元件。定时脉冲之间的时间与每个光阀元件根据图像数据可以被激活或禁止的时间长度相关并且因此限定沿着根据图像数据形成的像素的扫描方向的尺寸。
可以通过各种方法(包括使用矩形孔径)来创建矩形辐射斑点85。然而斑点无需是矩形的,根据需要可以包括其它形状。改变像素尺寸的其它方法也是本领域中已知的。
在图6C中,沿着扫描方向的像素84的尺寸被选择为使得:所成像的条形特征12H被成像为符合节距要求。也就是说,所成像的凹口80A的节距Pni与图6B中期望的凹口80的期望的节距Pn相匹配。在此情形中,在整个扫描中激活和禁止辐射束以形成成像像素84A和非成像像素84B,各自具有允许实现期望的节距的尺寸Yp。换言之,调整了成像系统在扫描方向上的分辨率以匹配“节距”,期望的节距Pn基本上等于尺寸Yp的整数倍。然而此分辨率无法形成在扫描方向上具有期望尺寸A的凹口80。如图6C中所示,所成像的凹口80A的尺寸Ap大于图6B中所示的期望尺寸A。此成像分辨率导致所成像的凹口80A延伸到单元区域34的区域83A中,这种效应可以导致不期望的视觉伪影。为清楚起见,区域83A以阴影方式示出。
图6D示出了在使用根据图像数据控制的成像头(未示出)的成像处理期间在受体部件18上形成的像素84的布置。与图6C不同,沿着图6D中扫描方向的像素84的尺寸被选择为形成具有如下凹口的成像条形特征12J:该凹口沿着扫描方向(也与条形特征延伸的方向平行)的尺寸As与图6B中所示的期望尺寸A基本相等。在此情形中,在整个扫描中激活和禁止辐射束以形成具有允许实现期望尺寸A的尺寸Ys的像素84。换言之,调整了扫描方向上成像系统的分辨率以匹配“尺寸”,这是由于尺寸Ys被选择为使得尺寸A是尺寸Ys的整数倍。然而此分辨率无法形成具有扫描方向上的期望节距Pn的凹口80B,这是由于所成像的凹口以不等于期望的节距Pn的节距Ps隔开。在此情形中,期望的节距Pn不等于像素尺寸Ys的整数倍。如图6D中所示,所成像的凹口80B从图6B中所示的目标位置偏移。这导致所成像的凹口80B部分地形成到单元区域34的区域83B中。这可以导致不期望的视觉伪影。为清楚起见,区域83B以阴影方式示出。本领域技术人员可以很快明白,随着沿扫描方向持续地形成另外的像素84,在所形成的凹口80B与单元34之间得到的偏移量可以变化,所以此问题进一步复杂化了。
图7示意性示出了本发明示例实施例中使用的装置90。装置90可以用于在受体部件18上形成图像。在本发明的此示例实施例中,通过操作成像头26以引导辐射束同时扫描过受体部件18来在受体部件18上形成图像。
装置90包括以下托架92:该托架92可以用于沿着与主扫描轴42对齐的路径传送受体部件18。托架92可以按往复方式移动。在本发明的该示例实施例中,托架可以在向前方向42A和相反方向42B上移动。成像头26可移动地布置于跨在托架92上的支座93上。成像头26被控制为沿着与副扫描轴44对齐的路径移动。在本发明的该示例实施例中,成像头26可以被控制为沿着支座93移动。成像头26可以在离去方向44A上以及在返回方向44B上移动。装置90通过对受体部件18双向扫描来形成图像。
在本发明的该示例实施例中,使用激光诱导热转移处理。成像头26被控制为使用多个辐射束来扫描介质以使得图像形成材料(未示出)从施主部件24转移到受体部件18。成像电子器件(未示出)控制成像通道40以调节辐射束的发射。成像通道40可以“开启”以发射辐射束。在此情形中,辐射束可以用来沿着与通道相对应的扫描线将材料从施主部件24转移到受体部件18。成像通道40还可以“关闭”以使得不发射辐射束。每束的强度从成像通道“关闭”的无效强度等级到通道“开启”的有效强度等级是可控的。无效强度等级可以包括等于零的强度等级或者表示各种泄露效应的一些较小强度等级。本发明的一些示例实施例(例如,使用独立调制的激光源的实施例)具有等于零的无效强度等级。
运动系统94(可以包括一个或更多个运动系统)包括任何合适的驱动器、传动组件和/或导向组件以引起托架92的运动。在本发明的此示例实施例中,运动系统94控制成像头26的运动并且控制托架92的运动。本领域技术人员将会认识到,也可以使用单独的运动系统来操作装置90内的不同系统。
控制器60(可以包括一个或更多个控制器)用来控制装置50的一个或更多个系统,这些系统包括但不限于:成像头26和托架92使用的运动系统94。控制器60还可以控制可以发起受体部件18和施主部件24的装载和/或卸载的介质处理机构。控制器60还可以向成像头26提供成像数据240并控制成像头26按照此数据发射辐射束。可以使用各种控制信号和/或通过实施各种方法来控制各种系统。控制器60可以被配置成执行合适的软件并且可以包括一个或更多个数据处理器以及合适的硬件,所述硬件以非限制性示例的方式包括:可存取的存储器、逻辑电路、驱动器、放大器、A/D和D/A转换器、输入/输出端口等。控制器60可以包括但不限于:微处理器、单片机、计算机的CPU或者任何其它合适的微控制器。
图8示出了根据本发明示例实施例的用于对特征(诸如,图6A中所示的条形特征12G、14G和16G)的图案进行成像的流程图。为清楚起见只考虑了条形特征12G,但应当理解可以通过按照本发明的方法或者通过其它方法对条形特征14G和16G的相应图案进行成像。图8流程图的以下描述是指如图7中示意性示出的装置90,但应当理解其它装置适用于所示出的处理。
处理开始于步骤300,其中,确定各种特征的节距。例如,参照图6B,可以把条形特征12G视为以下邻接特征的布置:所述邻接特征包括彼此均等隔开距离Pn的共同基准边缘86。
在步骤310中,选择沿着第一方向的特征尺寸特性。在本发明的该示例实施例中,第一方向与凹口80的布置方向平行。在本发明的该示例实施例中,第一方向与由成像头26发射的辐射束的扫描方向平行。特征尺寸特性可以包括沿着第一方向的特征的总体尺寸、沿着第一方向的特征的一部分的尺寸或者沿着第一方向的特征的元素的尺寸。例如,参照图6B,可以把凹口80看作每个特征的元素。沿着第一方向的相关尺寸特性是凹口80的尺寸A。
在步骤320中,至少基于沿着第一方向确定的尺寸特性来确定沿着扫描方向的第一分辨率。例如,在图6B中所示的凹口80的情形中,选取第一分辨率以产生具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素88,第一尺寸可以形成具有期望的尺寸A的凹口80。图9A中示出了第一像素88的一个可能布置。该布置包括被布置成形成凹口80以及条形特征的相关联周边部分的成像像素88A和非成像像素88B。
在步骤330中,根据节距和第一分辨率来确定与沿着扫描方向的第一分辨率不同的沿着扫描方向的第二分辨率。例如,在图6B中所示的条形特征12G的情形中,选择第二分辨率以产生具有沿着扫描方向的第二尺寸的第二像素89,第二尺寸可以形成其余部分(即,在此示例实施例中,除了与凹口80相关联的部分以外的特征部分),以使得按其期望的尺寸形成这些部分并且保持特征的期望节距Pn。在此示例实施例中,基于特征12G的由节距Pn划界的其余部分的尺寸来确定第二尺寸。图9B中示出了第二像素89的一个可能布置。像素89可以包括成像像素和非成像像素。在此示例实施例中,第二像素89包括以下成像像素的合适布置并且保持期望的节距:所述成像像素沿着扫描方向的尺寸可以形成期望的条形特征12G的除了与凹口80相关联的部分以外的部分。优选地,条形特征12G被形成为使得通过与矩阵20的单元34的节距相匹配的节距来形成滤色器特征的图案并且每个特征的凹口80的尺寸正确。图9C示出了根据本发明的上述实施例进行了成像的条形特征12G。像素88和89沿着各种扫描线形成以形成条形特征12G。
通过如下方式在步骤340中形成特征:对成像头26进行操作以发射辐射束,以形成具有沿着扫描方向的第一尺寸的像素以及具有沿着扫描方向的第二尺寸的像素。在本发明的该示例实施例中,期望的节距Pn不等于第一尺寸或者第二尺寸的整数倍。在本发明的该示例实施例中,通过调整激活成像通道以发射这些束的持续时间来改变像素尺寸。本发明的其它示例实施例可以通过其它方法来改变沿着扫描方向的像素尺寸。可以理解,图8中所示步骤的顺序在性质上是示例性的,在本发明的其它实施例中可以使用这些步骤的其它顺序。
在本发明的一些示例实施例中,通过可以包括大于两个不同分辨率的多个分辨率来对特征的图案进行成像。在本发明的这些示例实施例的一些示例实施例中,特征的图案中特征的节距不等于多个扫描分辨率中至少一个分辨率(也就是说,沿着扫描方向的分辨率)的整数倍。在一些示例实施例中,可以通过以下像素对特征的另外的部分进行成像:所述像素沿着扫描方向的尺寸已经根据该特征的第一部分的尺寸特性被确定了。例如,图9D示出了用于对图9B中的条形特征12G进行成像的本发明示例实施例的变型。在图9D中,通过尺寸被如前所述确定了的像素88对与凹口80相对应的条形特征12G的部分进行成像。然而图9D示出了也通过像素88对条形特征12G的另外的部分87(为清楚起见,以阴影方式示出)进行成像。通过尺寸被根据像素88的尺寸和期望的节距Pn确定了的像素89A来对条形特征12G的其余部分进行成像。在本发明的该示例实施例中,期望的节距Pn不等于条形特征12G的成像部分中任何成像部分的整数倍。
在一些示例实施例中,可以使用与其它扫描分辨率(用来对给定特征与邻近特征(诸如,特征图案中的邻近特征)之间的间隔进行成像)不同的确定的扫描分辨率对给定特征的一个或更多个部分进行成像。然而,各种扫描分辨率被适当地确定以使得:它们结合以使得按照特征的图案的期望的节距对特征进行成像。在这些示例实施例的一些示例实施例中,节距可以不等于间隔尺寸的整数倍。期望的节距可以不等于使用这些分辨率中的一个分辨率进行成像的特征中至少一个特征的一部分的尺寸的整数倍。
在本发明的一些示例实施例中,特征的图案是特征的二维图案,其中,特征沿着第一方向以及与第一方向相交叉的第二方向规则地布置。在这些实施例中,可以使用以下像素对特征进行成像:在这些像素中,像素沿着扫描方向以及沿着与扫描方向相交叉的方向的尺寸被调整以使得沿着相应第一以及第二方向使用期望的节距形成特征。
已经从对条形特征进行成像的方面对本发明的各种示例实施例进行了描述。然而本发明不限于对条形进行成像而是可以用来对包括其它形状和配置的特征进行成像。本发明也可以用来对岛形特征进行成像。例如,图10示出了滤色器10的一部分,其中,红色(R)颜色特征30、绿色(G)颜色特征31和蓝色(B)颜色特征32规则地布置为拼接配置,在该拼接配置中,各种特征中每个特征的尺寸被调整为只部分地与周边矩阵20的行交叠。当使用热转移技术时,通常期望不同颜色的特征不在矩阵行上彼此重叠。施主部件到受体部件间隔的变化可以改变如何把图像形成材料转移到受体部件。图10以示例的方式示出了红色特征30需要具有特定尺寸B并且将要使用沿着图案的布置方向的特定节距Pm来布置。在此示例实施例中,节距Pm不等于尺寸B的整数倍。可以使用包括成像像素和非成像像素的多组尺寸不同的像素来形成红色特征30及其间的间隔。根据本发明的示例实施例,多组像素可以具有在每个组内或者在每个组之间尺寸变化的像素。
已经从以下图案方面对本发明的各种示例实施例进行了描述:在这些图案中,一个或更多个特征沿着图案的布置方向重复。然而本发明不限于对重复特征的图案进行成像并且可以用来形成特征的以下图案:在这些图案中,特征具有不同的尺寸或形状,但是其中,使用共同节距布置所有的特征。例如,图11示出了使用一致节距Pr(以从每个特征的最左边的边缘为基准)沿着第一方向布置的特征35的图案。特征35中的每个特征具有沿着第一方向的不同尺寸(示出为尺寸A1、A2、A3、A4和A5)。在此示例实施例中,节距Pr不等于尺寸A1、A2、A3、A4和A5中至少一个尺寸的整数倍。每个特征35可以使用其期望的尺寸来形成并同时根据本发明的各种示例实施例使用期望的节距Pr放置所有特征35。
已经参照以下特征对本发明的各种实施例进行了描述:所述特征的边缘在与扫描方向基本垂直的方向上延伸。本发明不限于这些实施例并且可以用来形成特征的以下图案:该图案所包括的特征的一个或更多个边缘沿着相对于扫描方向倾斜的方向延伸。图1C、1D、1E和1F示出了具有“倾斜”边缘的特征的示例图案。倾斜边缘可以使特征的各部分沿着扫描方向的尺寸在用来形成特征的像素的各种扫描线之间变化。在本发明的一些示例实施例中,至少基于特征部分沿着扫描线的尺寸来沿着扫描方向调整沿着扫描线形成的像素的尺寸。在本发明的一些示例实施例中,使用像素(包括具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素以及具有沿着扫描方向的第二尺寸的第二像素)的第一扫描线对图案中规则地布置的特征进行成像,所述第二尺寸至少基于特征部分沿着第一扫描线的节距以及第一尺寸确定。也可以使用以下像素的第二扫描行对特征进行成像:所述像素的至少一个像素沿着扫描方向的尺寸与第一尺寸和第二尺寸不同。第二扫描线可以包括至少一个以下像素:所述像素沿着扫描方向的尺寸是基于第二扫描线中另一像素的尺寸以及特征部分沿着第二扫描线的节距来确定的。
控制器60可以使用程序产品97来执行本文中描述的各种方法。控制器60可以使用程序产品97来执行装置90所需的各种功能。一个这样的功能可以包括:确定多个不同分辨率并且基于这些分辨率来控制成像头以发射辐射束,以沿着扫描方向使用变化的尺寸来形成像素。这些变化的分辨率被确定为在介质上形成特征的图案以使得:使用期望的节距沿着第一方向规则地布置特征并且沿着第一方向使用期望的尺寸来形成每个特征或特征部分或相邻特征之间的间隔。以非限制性的方式,程序产品97可以包括载有一套计算机可读信号(该套计算机可读信号包括指令)的任何介质,这些指令当由计算机处理器执行时使计算机处理器执行如本文中所述的方法。程序产品97可以是广泛的各种形式中的任一种形式。程序产品97可以包括例如物理介质,诸如:磁存储介质(包括:软盘、硬盘驱动器),光学数据存储介质(包括:CD ROM、DVD),电子数据存储介质(包括:ROM、闪存RAM)等。可以可选地在介质上对指令进行压缩和/或加密。
在本发明的一个示例实施例中,程序产品97可以用来配置控制器60以控制成像头有选择地发射辐射束,以在沿着扫描方向在介质上扫描的同时在介质上形成沿着第一方向规则地布置的特征的图案。成像头被控制为形成多个像素(可以包括成像像素和非成像像素)。多个像素包括具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素以及具有沿着扫描方向的第二不同尺寸的第二像素。程序产品97确定或使控制器60确定特征沿着第一方向的节距,并且至少基于特征沿着第一方向的节距以及第一像素的第一尺寸来确定第二像素的第二尺寸。另外,程序产品97可以确定或使控制器60至少基于至少一个另外的像素沿着扫描方向的尺寸来确定第二像素的第二尺寸。所述至少一个另外的像素中的每个像素可以具有与第一尺寸和第二尺寸不同的沿着扫描方向的尺寸。
在替代方案中,或者附加地,控制器60可以准许在通过适当的用户接口与控制器60通信的操作员的引导下手动调整像素尺寸。可以基于向控制器60输入的、或者在程序产品97内编程的合适数据和/或算法来确定各种像素尺寸。控制参数可以在成像以前确定或者可以随着成像进展“在线地”确定。
成像头26可以包括具有可单独寻址的成像通道的多通道成像头,每个通道能够产生可以操作用于形成图像像素的辐射束。成像头26可以包括成像通道40的各种布置,包括成像通道40的一维或二维阵列。可以使用任何合适机制生成辐射束。辐射束可以布置为任何合适方式。
本发明的一些实施例使用红外激光器。本发明人在激光诱导热转移处理中使用了以下红外二极管激光器阵列:使用在波长830nm上总功率输出大约为50W的150μm发射器。在实施本发明时也可以使用包括可见光激光器的替选激光器。可以根据要被成像的介质的属性来选择所使用的激光源。
已经从以下激光诱导热转移处理方面描述了本发明的各种示例实施例:在该激光诱导热转移处理中,将图像形成材料转移到受体部件。本发明的其它示例实施例可以用于其它的成像方法和介质。可以在不脱离本发明范围的情况下通过不同方法在介质上形成图像。例如,介质可以包括图像可修改表面,其中,当被辐射束辐射时可修改表面的特性或属性改变以形成图像。辐射束可以用来侵蚀介质的表面以形成图像。本领域技术人员将会认识到,可以容易使用不同的成像方法。
已经从显示器中颜色特征的图案方面描述了特征的图案。在本发明的一些示例实施例中,特征可以是LCD显示器的一部分。在本发明的其它示例实施例中,特征可以是有机发光二极管(OLED)显示器的一部分。OLED显示器可以包括不同配置。例如,以与LCD显示器类似的方式,可以把不同颜色特征形成到与白色OLED源相结合使用的滤色器中。或者,可以通过本发明的各种实施例使用不同OLED材料形成显示器中的不同颜色照射源。在这些实施例中,基于OLED的照射源本身控制发射有色光而不必需要无源滤色器。可以把OLED材料转移到合适的介质。可以使用激光诱导热转移技术把OLED材料转移到受体部件。
虽然使用电子设备制造和显示器中的应用作为示例描述了本发明,但本文中描述的方法可直接应用于其它应用,包括在用于芯片实验室(LOC)制造的生物医学成像中使用的应用。本发明可以应用于其它技术,诸如,医学、印刷和电子制造技术。
将会理解,示范性实施例仅用于示例本发明,本领域技术人员可以在不脱离本发明范围的情况下设计出上述实施例的许多改变。
Claims (50)
1.一种用于在沿着扫描方向在介质上扫描的同时使用由成像头发射的辐射束来在介质上形成特征图案的图像的方法,其中,所述图案中的特征沿着第一方向规则地布置;所述方法包括:
确定所述特征沿着所述第一方向的节距;以及
控制所述成像头有选择地发射所述辐射束以使用多个像素在介质上形成图像,所述多个像素包括具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素以及具有沿着扫描方向的第二尺寸的第二像素,其中,所述第二尺寸与所述第一尺寸不同并且至少基于特征沿着第一方向的节距以及所述第一尺寸被确定。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述特征沿着所述第一方向的节距不等于所述第一尺寸或者所述第二尺寸的整数倍。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述特征图案包括沿着所述第一方向重复的特征。
4.根据权利要求1所述的方法,其中,至少基于所述特征图案中的特征沿着所述第一方向的尺寸来确定所述第一尺寸。
5.根据权利要求1所述的方法,其中,至少基于所述特征图案中的特征沿着所述第一方向的尺寸来确定所述第二尺寸。
6.根据权利要求1所述的方法,其中,至少基于所述特征图案中的特征的第一部分沿着所述第一方向的尺寸确定所述第一尺寸,其中,所述特征的所述第一部分小于所述特征的整体。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,至少基于所述特征图案中的两个相邻特征之间沿着所述第一方向的间隔来确定所述第一尺寸。
8.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一像素和所述第二像素中的每个像素是成像像素,所述方法包括使用所述第一像素和所述第二像素中的每个像素来形成所述特征图案中的特征的至少一部分。
9.根据权利要求1所述的方法,其中,所述多个像素包括成像像素和非成像像素,所述方法包括:使用所述成像像素中的至少一个成像像素形成所述特征图案中的特征,以及使用所述非成像像素中的至少一个非成像像素形成所述特征图案中的该特征与相邻特征之间的间隔,其中,所述成像像素中的至少一个成像像素中的每一个沿着所述扫描方向的尺寸都与所述第一尺寸和所述第二尺寸中的一个相等,所述非成像像素中的至少一个或更多个非成像像素中每一个沿着所述扫描方向的尺寸都与所述第一尺寸和所述第二尺寸中的另一个相等。
10.根据权利要求1所述的方法,包括:使用每个都具有沿着扫描方向与所述第一尺寸相等的尺寸的一个或更多个像素来形成所述特征图案中的特征的第一部分,以及使用具有沿着扫描方向与所述第二尺寸相等的尺寸的一个或更多个像素来形成所述特征的第二部分,其中,所述特征的第一部分至少在所述第一方向上与所述特征的第二部分的尺寸不同。
11.根据权利要求10所述的方法,其中,所述特征的第一部分在与所述第一方向相交叉的第二方向上与所述特征的第二部分的尺寸不同。
12.根据权利要求10所述的方法,其中,所述特征沿着所述第一方向的节距不等于所述特征的第一部分沿着所述第一方向的尺寸或者所述特征的第二部分沿着所述第一方向的尺寸的整数倍。
13.根据权利要求10所述的方法,其中,所述特征的第一部分和所述特征的第二部分中的一个是所述特征的边缘中的凹口的一部分。
14.根据权利要求1所述的方法,其中,所述特征图案中的特征沿着与所述第一方向相交叉的第二方向规则地布置,所述方法包括:
确定所述特征沿着所述第二方向的节距;以及
控制所述成像头以使用沿着与所述扫描方向相交叉的方向的第三尺寸来形成所述第一像素和所述第二像素中的每一个,其中,至少基于所述特征沿着所述第二方向的节距来确定所述第三尺寸。
15.根据权利要求14所述的方法,其中,所述特征图案包括沿着所述第二方向重复的特征。
16.根据权利要求14所述的方法,其中,所述第三尺寸被确定为使得所述特征沿着所述第二方向的节距等于所述第三尺寸的整数倍。
17.根据权利要求14所述的方法,其中,控制所述成像头以使用所述第三尺寸来形成所述第一像素和所述第二像素中的每一个包括:旋转所述成像头以改变成像头的分辨率。
18.根据权利要求1所述的方法,其中,所述成像头包括光阀,所述方法包括:通过改变所述光阀的一个或更多个通道开启或关闭的时间长度来使所述第二尺寸与所述第一尺寸不同。
19.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一方向与所述扫描方向平行。
20.根据权利要求1所述的方法,包括:使用热转移处理在介质上形成图像。
21.根据权利要求1所述的方法,其中,所述特征图案包括多个不同有色特征,每种颜色的特征被单独成像。
22.根据权利要求1所述的方法,其中,所述特征图案包括滤色器特征的图案。
23.根据权利要求1所述的方法,其中,所述特征图案是相同特征的图案。
24.一种用于在沿着在扫描方向上延伸的扫描线在介质上扫描的同时使用由成像头发射的辐射束在介质上形成特征图案的图像的方法,其中,所述图案的特征沿着第一方向规则地布置;所述方法包括:
确定所述特征沿着所述第一方向的节距;
控制所述成像头有选择地发射辐射束以使用像素在介质上形成图像;以及
控制所述成像头形成包括一组像素的扫描线,其中,所述一组像素包括具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素以及具有沿着扫描方向的第二尺寸的第二像素,其中,所述第二尺寸与所述第一尺寸不同并且所述一组像素中的所有像素沿着扫描方向的组合尺寸等于所述特征沿着第一方向被确定出的节距。
25.根据权利要求24所述的方法,其中,所述特征沿着所述第一方向的节距不等于所述第一尺寸或者所述第二尺寸的整数倍。
26.根据权利要求24所述的方法,其中,所述特征图案包括沿着所述第一方向重复的特征。
27.根据权利要求24所述的方法,其中,所述一组像素包括成像像素和非成像像素。
28.根据权利要求24所述的方法,包括:使用所述第一像素和所述第二像素中的至少一个来形成所述特征图案中的特征的一部分。
29.根据权利要求24所述的方法,其中,使用所述第一像素和所述第二像素中的至少一个来形成所述特征图案中的两个相邻特征之间的间隔的一部分。
30.根据权利要求24所述的方法,包括:使用包括所述第一像素和所述第二像素中一个的一个或更多个像素来形成所述特征图案中的特征的一部分,其中,所述特征沿着所述第一方向的节距不等于所述特征的所述一部分沿着第一方向的尺寸的整数倍。
31.根据权利要求24所述的方法,包括:使用包括所述第一像素和所述第二像素中一个的一个或更多个像素来形成所述特征图案中两个相邻特征之间的间隔的一部分,其中,所述特征沿着所述第一方向的节距不等于所述间隔的所述部分沿着所述第一方向的尺寸的整数倍。
32.根据权利要求24所述的方法,包括:使用所述第一像素和所述第二像素中的一个来形成所述特征图案中的特征的边缘中凹口的一部分。
33.根据权利要求32所述的方法,其中,所述凹口沿着所述第一方向重复。
34.根据权利要求24所述的方法,其中,所述特征图案中的特征沿着与所述第一方向相交叉的第二方向规则地布置,所述方法包括:
确定所述特征沿着所述第二方向的节距;以及
使用沿着与所述扫描方向相交叉的方向的第三尺寸来形成所述第一像素和所述第二像素中的至少一个,其中,所述特征沿着所述第二方向的节距是所述第三尺寸的整数倍。
35.根据权利要求34所述的方法,其中,所述特征图案包括沿着所述第二方向重复的特征。
36.根据权利要求24所述的方法,其中,所述第一方向与所述扫描方向平行。
37.一种用于在沿着扫描方向在介质上扫描的同时使用由成像头发射的辐射束在介质上形成特征图案的图像的方法,其中,所述图案的特征沿着第一方向规则地布置;所述方法包括:
确定所述特征沿着所述第一方向的节距;
确定所述特征图案的特征的一部分沿着所述第一方向的第一尺寸,其中,所述特征沿着第一方向的节距不等于所述第一尺寸的整数倍;
控制所述成像头有选择地发射辐射束以使用尺寸变化的多个像素在介质上形成图像;
控制所述成像头在介质上形成第一像素的排列,所述第一像素的排列沿着所述扫描方向的组合尺寸等于确定出的第一尺寸;以及
控制所述成像头在介质上形成一个或更多个另外的像素,其中,所述一个或更多个另外的像素中每一个的尺寸与所述第一像素中的每个像素不同。
38.根据权利要求37所述的方法,其中,所述一个或更多个另外的像素中的每一个沿着所述扫描方向的尺寸与所述第一像素中的每一个沿着所述扫描方向的尺寸不同。
39.根据权利要求37所述的方法,其中,所述特征沿着所述扫描方向的节距不等于所述一个或更多个另外的像素中的每一个沿着所述扫描方向的尺寸的整数倍。
40.根据权利要求37所述的方法,其中,所述第一方向与所述扫描方向平行。
41.一种用于在沿着扫描方向在介质上扫描的同时使用由成像头发射的辐射束在介质上形成特征图案的图像的方法,其中,所述图案的特征沿着第一方向规则地布置;所述方法包括:
确定所述特征沿着所述第一方向的节距;
确定所述特征图案的特征的一部分沿着所述第一方向的尺寸,其中,所述特征沿着所述第一方向的节距不等于所述尺寸的整数倍;
控制所述成像头有选择地发射辐射束以使用不同尺寸的多个像素在介质上形成图像,其中,所述多个像素包括具有沿着扫描方向的第一尺寸的第一像素,所述第一尺寸是至少基于所述特征沿着第一方向的节距以及所述特征的所述一部分沿着第一方向被确定出的尺寸来确定的。
42.根据权利要求41所述的方法,其中,所述多个像素包括第二像素,所述第二像素沿着所述扫描方向的尺寸与所述第一尺寸不同。
43.根据权利要求41所述的方法,其中,所述多个像素包括第二像素,其中,所述特征的所述一部分沿着第一方向被确定出的尺寸是所述第二像素沿着所述扫描方向的尺寸的整数倍。
44.根据权利要求41所述的方法,其中,所述多个像素包括第二像素,其中,所述特征沿着所述扫描方向的节距不是所述第二像素沿着所述扫描方向的尺寸的整数倍。
45.根据权利要求41所述的方法,其中,所述第一方向与所述扫描方向平行。
46.根据权利要求24所述的方法,其中,所述特征沿着所述第一方向的节距不等于所述一组像素中的至少一个像素沿着所述扫描方向的尺寸的整数倍。
47.根据权利要求1所述的方法,其中,所述特征图案包括以下特征:该特征包括沿着相对于所述扫描方向倾斜的方向延伸的一个或更多个边缘。
48.根据权利要求24所述的方法,包括:控制所述成像头以形成第二扫描线,所述第二扫描线包括至少一个以下像素:该像素沿着所述扫描方向的尺寸与所述第一尺寸和所述第二尺寸中的每一个不同。
49.根据权利要求14所述的方法,其中,所述第二方向与所述第一方向基本垂直。
50.根据权利要求14所述的方法,其中,与所述扫描方向相交叉的方向与所述扫描方向基本垂直。
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