JPH08179307A - 画像表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ガラス基板１２上の全面又はカラーフィルタ
として使用する部分全面にクロム系材料を蒸着し又は塗
布乾燥した後、カラー画素部分に対応するパターン部分
のクロム系材料をレーザ光にて照射して除去する。 【効果】 カラーフィルタのパターン部分の加工を、レ
ーザ光にて、簡単、安価かつ高精度で行うことができ
る。また、トライアングル配列、モザイク配列及びスト
ライプ配列等の各種のパターンにも容易に対応すること
ができる。したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネル或いは
撮像素子等のカラー表示に使用されるカラーフィルタを
備えるか又はカラー画素部分に対応するパターン部分に
透明画素電極としての透明導電材料が透光性基材に積層
されてなる画像表示パネルの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】画像表示パネルとしての液晶ディスプレ
イは、表示材料として電卓や時計等に使用されてきてい
る。そして、最近では、液晶ディスプレイは、高精細度
化及び大型化が進む一方、カラー化によりパソコン用デ
ィスプレイや車両搭載用ディスプレイ等の、ブラウン管
に代わるディスプレイとして利用されている。

【０００３】上記のカラー液晶ディスプレイには、カラ
ーフィルタが使用されている。このカラーフィルタ１５
は、本発明の説明図である図２に示すように、ガラス基
板１２上に形成され、このガラス基板１２と共通電極８
との間で保護膜層９を介して挟装されているもので、格
子状のブラックマトリックス（以下、「ＢＭ」と称す
る）１１とこのＢＭ１１の枡目内に形成されるレッド
（Ｒ）、グリーン（Ｇ）及びブルー（Ｂ）等の各カラー
フィルタ層１０…とからなっている。上記の各カラーフ
ィルタ層１０…は液晶層６を介して設けられた各画素電
極４…に対向する位置に配設されており、液晶層６を通
過したバックライト光１４がこれら各カラーフィルタ層
１０…を通過することにより、カラー表示されるように
なっている。

【０００４】上記ガラス基板１２は、大きさ３００ｍｍ
角程度で厚さ１ｍｍ前後のものが使用されている。ガラ
ス基板１２の材質は白板ガラスや青板ガラス等の透光性
ガラスである。前者は主にＴＦＴ方式用カラーフィルタ
に使用される。

【０００５】このような構成を有するカラー液晶表示パ
ネル１におけるカラーフィルタ１５の製造方法は、表示
性能やコストにも影響する重要な要素の１つになってい
る。

【０００６】従来のカラーフィルタの製造方法には、染
色法、分散法、印刷法及び電着法がある。各種の製造方
法を以下に示す。

【０００７】まず、染色法は、例えば、特開昭６１−７
７８０４号公報にも開示されているように、現在使用さ
れているカラーフィルタの製造方法の主流を占める方法
である。この染色法では、フォトリソグラフィにより形
成したゼラチンレリーフを染色してカラーフィルタ１５
を形成する。具体的には、図２０（ａ）〜（ｅ）に示す
ように、ガラス基板８１上のＢＭ８２にフォトレジスト
８３を塗布し、そのフォトレジスト８３にフォトマスク
８４を通して選択的に露光する。次いで、残存したフォ
トレジスト８３を現像しかつ例えばレッド（Ｒ）に染色
し、同じことをブルー（Ｂ）及びグリーン（Ｇ）につい
ても繰り返した後、その上に保護膜層９を形成してカラ
ーフィルタ１５を完成させる。

【０００８】この染色法は、ＴＮ（Twisted Nematic)型
液晶を使った薄層トランジスタ（ＴＦＴ：Thin Film Tr
ansistor）方式による小型ＴＶ等のディスプレイのカラ
ーフィルタに使用されており、分光特性に特に優れてい
る。しかしながら、耐熱特性においては１８０〜２００
℃程度までであり、またＳＴＮ（Super Twisted Nemati
c)型液晶に使用される場合にはさらに高い耐熱性が要求
されるので、その点が弱点となっている。また、フォト
リソグラフィによる工程は複雑であるため低価格化が困
難であると共に、大きな技術改良も望めない状況にあ
る。

【０００９】一方、分散法は、感光樹脂中に着色剤を分
散させる方法であり、着色剤としての染料を分散させる
染料分散法と着色剤としての顔料を分散させる顔料分散
法とがある。

【００１０】上記の染料分散法によるカラーフィルタの
製造工程では、図２１（ａ）（ｂ）に示すように、洗浄
したガラス基板８１に、感光樹脂中に染料を分散した着
色レジスト８５を塗布する。次いで、図２１（ｃ）〜
（ｆ）に示すように、ポジレジスト８６を塗布し、露光
し、現像し、エッチングによる剥膜を行い、最後に、図
２１（ｇ）に示すように、防染中間層８７を形成する。
この一連のレジスト処理をレッド（Ｒ）、グリーン
（Ｇ）及びブルー（Ｂ）について３回行うことにより、
カラーフィルタを形成する。

【００１１】また、顔料分散法では、図２２（ａ）〜
（ｆ）に示すように、感光樹脂中に顔料を分散して着色
レジスト８８を作る。この着色レジスト８８を用いて、
フォトリソグラフィによりレッド（Ｒ）、グリーン
（Ｇ）及びブルー（Ｂ）の各カラーフィルタ層１０を形
成する。必要に応じて各画素の間にＢＭ８２を形成す
る。

【００１２】この上に、図２３に示すように、透明樹脂
によるオーバーコート層、ＩＴＯによる透明電極層を形
成する。ＩＴＯ膜は、透過率で波長４００ｎｍにて約８
０％を有しており、この時のシート抵抗は約２００オー
ムとなる。

【００１３】具体的には、図２２（ａ）（ｂ）及び図２
３に示すように、ガラス基板８１を洗浄し、感光樹脂中
に顔料を分散した着色レジスト８８を塗布してベーク
（焼成）する。次いで、図２２（ｃ）〜（ｆ）に示すよ
うに、酸素遮断膜８９を塗布した後、露光し、現像し、
再度ベークする。この一連のレジスト処理をレッド
（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）について３回行
うことにより、カラーフィルタ１５を形成する。

【００１４】このような顔料分散法では、着色レジスト
塗布及び現像は水系の処理となり、各カラーフィルタ層
１０…間には、染料分散法で行う防染中間層８７の形成
のような操作は全く不要となるので、脱色及び混色とい
う問題が生じない。

【００１５】これら染料分散法及び顔料分散法等の分散
法は、染色法に比べて工程が簡略化でき、耐光性及び耐
熱性に優れた効果がある。

【００１６】しかしながら、上述した着色レジスト８５
・８８については、利点もあるが欠点もある。すなわ
ち、着色剤によって紫外線の吸収が生じ、本来感光性材
料の光反応に必要な紫外線が着色色素に吸収され、硬化
のための充分な光反応が起こらず、その結果として、レ
ジストとしての感度が得られないという問題点を有して
いる。

【００１７】一方、印刷法は、図２４（ａ）〜（ｄ）に
示すように、工程の複雑な上記フォトリソグラフィ方式
とは異なり、ロール状のブランケット９１にインクを付
着させガラス基板９２上に接触させながら、１色ずつイ
ンク９３を転写する方式である。従来のフォトリソグラ
フィ方式に対して低コスト化技術として注目されている
技術であるが、パターンの解像度、エッジのシャープ性
及び膜自身の均一性能が不十分であると共に、着色層に
ゴミが付着し易く、かつ白抜けや突起等の欠陥が多いと
いう製造上の問題から、大型かつ高精細度で画質を優先
するカラーＴＦＴパネルにはまだ利用できる程のもので
はない。

【００１８】また、電着法は、図２５（ａ）〜（ｄ）に
示すように、電着を行うためのＩＴＯ膜としての電着用
透明導電膜９５をガラス基板９６に先付けしなければな
らず、これによってＩＴＯ膜について電着用と図示しな
い電極用との２層が必要になるため、１層しかない顔料
分散法に比べて透過率の低下が生じる。

【００１９】以上のように、従来の画像表示パネルにお
けるカラーフィルタ製造方法としては、フォトリソグラ
フィを用いた染色法、染料分散法及び顔料分散法等の分
散法、並びに印刷法及び電着法のいずれかである。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】このように、上記従来
の画像表示パネルの製造方法においては、フォトリソグ
ラフィ方式では、工程が複雑であるため低価格化への問
題がある。

【００２１】また、分散法では、本来感光性材料の光反
応に必要な紫外線が着色材に吸収され、硬化のための充
分な光反応が起こらず、その結果として、レジストとし
ての感度が得られないという性能面で問題点を有してい
る。

【００２２】さらに、工程を簡単にした印刷法について
は、パターンの解像度、エッジのシャープ性及び膜自体
の均一性能等の各種の性能面が不十分であるという問題
点を有している。

【００２３】また、電着法においても、透過率の低下等
において色純度を犠牲にしているので、顔料分散法に比
べて画質の低下があり、利用できる程のものではないと
いう問題点を有している。

【００２４】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たものであって、その目的は、生産性の向上を図り得る
と共に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を
提供することにある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の画
像表示パネルの製造方法は、上記課題を解決するため
に、枠状の黒色材料部材と、この黒色材料部材の枠内に
おける、カラー画素部分に対応するパターン部分に各種
の着色材料を含有したカラーフィルタ層とが透光性基材
に積層されてなるカラーフィルタを備えた画像表示パネ
ルの製造方法において、透光性基材上の全面又はカラー
フィルタとして使用する部分全面に黒色材料部材を蒸着
し又は塗布乾燥した後、パターン部分の黒色材料部材を
レーザ光にて照射して除去することによりカラーフィル
タを形成することを特徴としている。

【００２６】請求項２記載の発明の画像表示パネルの製
造方法は、上記課題を解決するために、枠状の黒色材料
部材と、この黒色材料部材の枠内における、カラー画素
部分に対応するパターン部分に各種の着色材料を含有し
たカラーフィルタ層とが透光性基材に積層されてなるカ
ラーフィルタを備えた画像表示パネルの製造方法におい
て、親水材料からなる透光性基材上の全面又はカラーフ
ィルタとして使用する部分全面に撥水性を有する黒色材
料部材を蒸着し又は塗布乾燥した後、上記パターン部分
の黒色材料部材を除去し、この除去部分にインクジェッ
トプリンタにて各種の着色部材を飛翔付着させてカラー
フィルタを形成することを特徴としている。

【００２７】請求項３記載の発明の画像表示パネルの製
造方法は、上記課題を解決するために、請求項２記載の
画像表示パネルの製造方法において、インクジェットプ
リンタにおけるインクの吐出量をインクジェットヘッド
の振動子に印加する電圧にて調整することを特徴として
いる。

【００２８】請求項４記載の発明の画像表示パネルの製
造方法は、上記課題を解決するために、請求項２記載の
画像表示パネルの製造方法において、インクジェットプ
リンタにおけるインクの吐出量をインクジェットヘッド
の振動子に印加する電圧の印加パルス幅にて調整するこ
とを特徴としている。

【００２９】請求項５記載の発明の画像表示パネルの製
造方法は、上記課題を解決するために、カラー画素部分
に対応するパターン部分に透明画素電極としての透明導
電材料が透光性基材に積層されてなる画像表示パネルの
製造方法において、上記透光性基材上の全面に透明導電
材料を蒸着又は塗布乾燥した後、カラー画素部分に対応
する透明画素電極のパターン部分以外をレーザ光にて照
射して除去することにより透明画素電極を形成すること
を特徴としている。

【００３０】

【作用】請求項１の方法によれば、画像表示パネルにお
けるカラーフィルタを製造するときには、例えばガラス
等の透光性基材の表面を乾燥後、黒色材料部材を蒸着し
又は塗布乾燥した後、カラー画素部分に対応するパター
ン部分の黒色材料部材をレーザ光にて照射して除去す
る。

【００３１】これにより、カラーフィルタのパターン部
分の加工を、レーザ光にて、簡単、安価、かつ高精度で
行うことができ、さらに各種のパターンにも容易に対応
することができる。

【００３２】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができる。

【００３３】また、請求項２の方法によれば、画像表示
パネルにおけるカラーフィルタを製造するときには、親
水材料からなる透光性基材上の全面又はカラーフィルタ
として使用する部分全面に撥水性を有する黒色材料部材
を蒸着し又は塗布乾燥した後、パターン部分の黒色材料
部材を除去し、この除去部分にインクジェットプリンタ
にて各種の着色部材を飛翔付着させて着色する。

【００３４】すなわち、従来の画像表示パネルの製造方
法では、各種の着色部材を有するカラーフィルタを形成
するときには、例えばレッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）及
びブルー（Ｂ）等の各種の着色部材毎に繰り返して着色
作業を行っており、工程が複雑で高価になっていた。

【００３５】しかし、本発明では、インクジェットプリ
ンタにて３色の着色部材を一度に着色することができる
ので、一回の着色作業でカラーフィルタを形成すること
ができる。

【００３６】また、インクジェットプリンタによる除去
部分への着色に際して、飛翔付着した着色部材は、透光
性基材が親水性であるので枠内にて滲み広がる。さら
に、枠部分は撥水性のため滲みが枠部分には広がらな
い。このため、確実に枠内で均一な着色ができる。

【００３７】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができる。

【００３８】また、請求項３の方法によれば、インクジ
ェットプリンタにおけるインクジェットヘッドの振動子
に印加する電圧を調整することによって、インクの吐出
量を変えることができる。この結果、一定の透過率を有
するカラーフィルタを容易に形成することができる一
方、塗布膜厚を変化させて異なる透過率を有するカラー
フィルタをも容易に形成することができる。

【００３９】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができる。

【００４０】また、請求項４の方法によれば、インクジ
ェットプリンタにおけるインクジェットヘッドの振動子
に印加する電圧の印加パルス幅を調整することによっ
て、インクの吐出量を変えることができる。この結果、
一定の透過率を有するカラーフィルタを容易に形成する
ことができる一方、塗布膜厚を変化させて異なる透過率
を有するカラーフィルタをも容易に形成することができ
る。

【００４１】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができる。

【００４２】また、請求項５の方法によれば、画像表示
パネルにおける透明画素電極を製造するときには、透光
性基材上の全面に透明導電材料を蒸着又は塗布乾燥した
後、カラー画素部分に対応する透明画素電極のパターン
部分以外をレーザ光にて照射して除去する。

【００４３】これにより、透明画素電極のパターン部分
の加工を、レーザ光にて、簡単、安価かつ高精度で行う
ことができ、さらに各種のパターンにも容易に対応する
ことができる。

【００４４】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができる。

【００４５】

【実施例】

〔実施例１〕本発明の一実施例について図１ないし図６
に基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００４６】本実施例の画像表示パネルとしての例えば
カラー液晶表示パネル１は、図２に示すように、偏向板
２、ガラス基板３、画素電極４、配向膜５、液晶層６、
配向膜７、共通電極８、保護膜層９、カラーフィルタ１
５、透光性基材としてのガラス基板１２及び偏向板１３
が順次積層されたものからなっている。

【００４７】上記のカラーフィルタ１５は、ガラス基板
１２上に形成されると共に、ガラス基板１２と共通電極
８との間で保護膜層９を介して挟装されており、枠とし
ての格子状のブラックマトリックス１１（以下、「Ｂ
Ｍ」と称する）とこのＢＭ１１の枡目内に形成されるレ
ッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）及びブルー（Ｂ）等の各カ
ラーフィルタ層１０…とからなっている。

【００４８】上記の各カラーフィルタ層１０…は液晶層
６を介して設けられた各画素電極４…に対向する位置に
配設されており、液晶層６を通過したバックライト光１
４がこれら各カラーフィルタ層１０…を通過することに
より、カラー表示されるようになっている。

【００４９】上記のガラス基板１２は、例えば大きさ３
００ｍｍ角、厚さ１ｍｍとなっており、材質は透光性か
つ親水性を有する例えばシリカガラスである。

【００５０】本実施例では、以下の方法でカラーフィル
タ１５を製造する。まず、上記ガラス基板１２における
表面の全面に撥水性を有する黒色材料部材としての例え
ばクロム系材料にて膜厚１０００〜１５００Åに蒸着す
る。蒸着層の反射濃度は４．０である。なお、上記クロ
ム系材料は、必ずしも蒸着する必要はなく、例えば塗布
乾燥しても良い。

【００５１】次いで、ＢＭ１１の枡目部分、つまりカラ
ーフィルタ層１０…となる部分における蒸着層の除去を
行う。この枡目部分における蒸着層の除去はレーザ光を
照射することにより行う。使用するレーザ光は高出力の
紫外レーザ光であり、レーザ光の発振はナノ秒レベルの
パルスを数１００ヘルツ繰り返して行われる。ビーム形
状は、断面長方形にて面積例えば１００ｍｍ² で出力さ
れる。

【００５２】本実施例では、レーザ発振器として、例え
ば浜松フォトニクス社製の商品名エキシマレーザ加工機
Ｌ６０００を使用した。このレーザ発振器２０にて、除
去加工を行う場合は、図１に示すように、レーザ発振器
２０からレーザ光を出射し、ミラー２１にて反射させて
金属加工マスク２２に通す。この金属加工マスク２２に
は、加工したい形状と相似形状の開口部が形成されてい
る。金属加工マスク２２によりパターン化されたレーザ
光の通過光は、光学集光レンズ２３により加工材料に最
適なエネルギーとなるように縮小されて加工テーブル２
４に載置されたガラス基板１２上のクロム蒸着層に照射
される。この状態で加工テーブル２４を移動させなが
ら、各枡目部分のクロム蒸着層を除去する。除去原理
は、クロム蒸着層が紫外線を吸収することによって、ク
ロム蒸着層の化学結合が切断され、容積が増大すること
により飛散して除去されるものである。

【００５３】上記のエキシマレーザ加工機による除去加
工の具体的な加工条件は以下の通りである。

【００５４】 〔加工条件〕 レーザ発振周波数 １００〔Ｈｚ〕 発振電圧 ３６．０〔ｋＶ〕 発振エネルギー ９４０〔ｍＪ／shot〕 照射ショット数 １００〔shot〕 エネルギー照射時間 １５〔ｎ秒／shot〕 加工面でのエネルギー密度 ２．５〔Ｊ／ｃｌ〕 マスク像の縮小率（Ｍ） Ｍ≒５ なお、上述の枡目部分におけるクロム蒸着層の除去加工
に際して、基材であるガラス基板１２自体に影響を及ぼ
すレーザ光の加工エネルギーは、上記クロム蒸着層の除
去エネルギーと比較して約１０倍大きい値であり、過照
射ショット数による加工でもガラス基板１２への影響は
全く無くない。したがって、上記の照射ショット数には
若干多い目のショット数が設定されており、確実にクロ
ム蒸着層の除去ができるようにしている。

【００５５】次に、上記クロム蒸着層を除去加工した枡
目部分に各色印刷を行う。この各色印刷はインクジェッ
トプリンタにより行う。

【００５６】ここで、インクジェットプリンタに供せら
れるインクジェットヘッドについて説明する。インクジ
ェットヘッド２６は、図３に示すように、インク流入室
２７と狭管部２８と圧力室２９とノズル３０とピエゾ素
子からなる振動子３１と電圧としてのノズル駆動電圧３
２とから構成されている。上記のインク流入室２７は、
インクの供給源である図示しないインクタンクに連通さ
れている。したがって、インクジェットヘッド２６の非
動作時においては、毛細管現象により、インク流入室２
７と狭管部２８と圧力室２９とノズル３０とはインクで
満たされている。

【００５７】次いで、図４に示すように、振動子３１に
ノズル駆動電圧３２が印加されると、振動子３１が縮
み、ノズル壁面とのバイモルフ現象により、振動子３１
が圧力室２９側に湾曲する。これにより、圧力室２９内
の体積が減少して圧力室２９内にインク吐出圧力が発生
し、かつ狭管部２８は、圧力室２９にて発生した圧力が
効率良くインク滴３４の吐出に作用し得るようにインク
流入室２７側への逃げ道を少なくする構造となっている
ので、ノズル３０からインク滴３４が吐出される。

【００５８】次いで、駆動電圧の印加が終了したときに
は圧力室２９の体積が元に戻り、負圧となった圧力室２
９へのインク供給がインク流入室２７からスムーズに行
われる。

【００５９】上記のインクジェットヘッド２６のインク
吐出量は、ノズル駆動電圧３２及び電圧印加のパルス幅
により変化する。また、インクジェットヘッド２６の構
造及びオリフィス径によっても吐出量は変化する。ここ
で、オリフィス径４０μｍのノズル３０を使用し、ノズ
ル駆動電圧３２を１２０Ｖ、及びパルス幅を８μｓｅｃ
に設定したときの駆動条件を基準にすると、ノズル駆動
電圧３２の変動によるインク吐出量の変化、及びパルス
幅の変動によるインク吐出量の変化は、それぞれ表１及
び表２のようになる。

【００６０】

【表１】

【００６１】

【表２】

【００６２】表１及び表２から分かるように、ノズル駆
動電圧３２及びパルス幅を変えることによってインク吐
出量は変化するため、逆に希望する透過率をもったカラ
ーフィルタ１５を簡単に形成することができる。

【００６３】上記のインクジェットヘッド２６を用い
て、図５に示すように、大きさ例えば６０μｍ×２００
μｍの枡目つまりカラーフィルタ層１０に対して、オリ
フィス径例えば３０μｍのノズル３０から１パルス駆動
当たり例えば５．５×１０^-7ｃｃのインクをドット状に
吐出する。

【００６４】このとき、インクの吐出位置は枡目におけ
る縦及び横方向の中心線上で例えば５０μｍ間隔に５個
のドットを飛翔させる。これによって、インクは自然に
枡目全体に滲み、そのまま乾燥させることにより、ＢＭ
１１内の枡目全体に対して均一にカラー印刷される。

【００６５】なお、本実施例では、インクの乾燥を自然
乾燥にて行っているが、必ずしもこれに限らず、例え
ば、６０℃に設定したクリーンブース内でインク付着面
を上向きにして水平に保ち、例えば３０分間の強制乾燥
を行った場合においても、同様に良好な結果が得られ
る。

【００６６】また、本実施例では、カラーフィルタ層１
０内におけるインクの飛翔位置を長方形の枡目に対して
縦及び横方向の中心線上に設定したが、必ずしもこれに
限らず、例えば、枡目から大きくはみ出さない限り飛翔
位置にはあまりこだわらない。この理由は、格子部分で
あるＢＭ１１の撥水性によりインクが弾かれると共に、
ＢＭ１１の内側においてガラス基板１２が親水性を有し
ているので、インクがガラス基板１２の表面上で滲みに
より自然に拡散し枡目内で均一に付着するためである。

【００６７】すなわち、インクジェットプリンタでの一
般的に行われる紙面への印刷においては、ノズル３０か
ら吐出したインク液滴が紙面に付着すると、インク液滴
は紙面に滲み込み１つのドットとなる。そして、複数の
ドットの集合体が文字又はイメージ出力となって表現さ
れる。

【００６８】ところで、紙面にインク液滴が付着する
と、初期のドットの面積に対して紙面への滲み込みによ
り最終的には若干大きくなったドットとなる。このドッ
トの大きさはインクの表面張力と紙の吸水力とにより変
化する。一般的なインク及び印刷用紙では下記の関係に
なる。

【００６９】 インク表面張力 大 → 紙面での最終ドット径 小 インク表面張力 小 → 紙面での最終ドット径 大 印刷用紙吸水力 小 → 紙面での最終ドット径 小 印刷用紙吸水力 大 → 紙面での最終ドット径 大 次に、印刷用紙ではなく、全く吸水されない材料表面に
インク液滴を付着させた場合には、材料表面の親水性及
び撥水性によりドット径が変化する。すなわち、 撥水性 大 → 表面での最終ドット径 小 親水性 大 → 表面での最終ドット径 大 となり、撥水性表面では全く滲みがなく、付着したドッ
トの大きさに変化がないが、親水性表面では吸水性がな
いためドットは大きく滲み広がる。

【００７０】本実施例ではこの特性を利用して、予め印
刷したくない格子状のＢＭ１１を撥水状態、かつ印刷し
たい枡目部分を親水状態としておき、インクドットを印
刷したい親水状態の枡目内に付着させ、滲みを利用して
枡目内にインクを均一に隅々まで拡大させるという塗布
方法を採用している。

【００７１】ところで、インクドットの飛翔位置は上述
の例に限らず、例えば、図６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す
ものも考えられる。すなわち、１画素分へのインク粒子
数を例えば３個、６個、１２個、…と変化させ、同図の
飛翔位置に吐出することができる。このように、インク
粒子数を増加させることによって、塗布面が１粒子のみ
にて形成したカラーフィルタ層１０よりもさらにむら無
く、かつ均一な塗布面を持つカラーフィルタ層１０を形
成することができる。

【００７２】また、上記において、インク粒子数を増加
することにより１画素分のカラーフィルタ層１０の透過
率が減少した場合には、透過率を一定にするためにイン
ク粒子１ドット分のインク吐出量をノズル駆動電圧３２
又はパルス幅にて調整することによって簡単に同一の透
過率のカラーフィルタ層１０を形成することができる。

【００７３】すなわち、上述の大きさ６０μｍ×２００
μｍの枡目に対して、上述の条件では１パルス駆動当た
り例えば５．５×１０^-7ｃｃのインクをドット状態に吐
出している。このインクの吐出量を基準値として、±３
０％までインク吐出量を増減しても、枡目部分の均一な
広がりには問題がないことが実験により分かった。しか
し、インク量の違いにより印刷濃度が変化し、表３に示
すように、カラーフィルタ１５として使用したときの光
の透過率に変化が見られた。

【００７４】

【表３】

【００７５】この結果により、本実施例では、透過率の
ばらつき５％を満足するためにインク量を標準値±１０
％で管理すれば良いことが分かったが、実際には、イン
ク自体の濃度のばらつきもあるので、インク量として標
準値±５％で管理している。

【００７６】上述のようにして形成されたカラーフィル
タ１５には表面に保護膜層９が形成され、その後の製造
工程を経ることによって、図２に示すカラー液晶表示パ
ネル１が完成する。

【００７７】このように、本実施例のカラー液晶表示パ
ネル１におけるカラーフィルタ１５の製造方法では、ガ
ラス基板１２の表面を乾燥後、クロム系材料を蒸着し又
は塗布乾燥した後、カラー画素部分に対応するパターン
部分のクロム系材料をレーザ光にて照射して除去する。

【００７８】これにより、カラーフィルタ１５のパター
ン部分の加工を、レーザ光にて、簡単、安価かつ高精度
で行うことができ、さらに、後述するように、例えばト
ライアングル配列、モザイク配列及びストライプ配列の
各種のパターンにも容易に対応することができる。

【００７９】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができる。

【００８０】また、本実施例では、親水材料からなるガ
ラス基板１２上の全面又はカラーフィルタ１５として使
用する部分全面に撥水性を有するクロム系材料を蒸着し
又は塗布乾燥した後、パターン部分のクロム系材料を除
去し、この除去部分にインクジェットプリンタにて各種
の着色材料としての各カラーインクを飛翔付着させて着
色する。

【００８１】したがって、飛翔付着したカラーインク
は、ガラス基板１２が親水性であるのでＢＭ１１内にて
滲み広がる。また、枠としてのＢＭ１１部分は撥水性の
ため滲みが枠部分には広がらない。このため、確実にＢ
Ｍ１１内で均一な着色ができる。

【００８２】また、本実施例では、インクジェットプリ
ンタにおけるインクジェットヘッド２６の振動子３１に
印加するノズル駆動電圧３２を調整することによって、
インクの吐出量を変えることができる。この結果、一定
の透過率を有するカラーフィルタ１５を容易に形成する
ことができる一方、塗布膜厚を変化させて異なる透過率
を有するカラーフィルタ１５をも容易に形成することが
できる。

【００８３】さらに、本実施例では、インクジェットプ
リンタにおけるインクジェットヘッド２６の振動子３１
に印加するノズル駆動電圧３２の印加パルス幅を調整す
ることによって、インクの吐出量を変えることができ
る。この結果、一定の透過率を有するカラーフィルタ１
５を容易に形成することができる一方、塗布膜厚を変化
させて異なる透過率を有するカラーフィルタ１５をも容
易に形成することができる。

【００８４】また、本実施例では、インクジェットプリ
ンタにおけるインクジェットヘッド２６のインク吐出量
を標準値±５％で管理している。

【００８５】このため、カラーフィルタ１５の光の透過
率のばらつきを３％以内に抑えることができる。したが
って、高品質のカラー液晶表示パネル１の製造方法を提
供することができる。

【００８６】さらに、本実施例では、形成されたカラー
フィルタ１５の表面に保護膜層９が設けられる。したが
って、各カラーフィルタ層１０…のカラーインクと共通
電極８との物理的及び化学的反応を抑えると共に、互い
に保護膜層９を介在することによってそれぞれ独立した
特性の良い材質を選定することができる。この結果、低
価格で高品質のカラー液晶表示パネル１の製造方法を提
供することができる。

【００８７】また、本実施例では、各カラーフィルタ層
１０…に飛翔付着する各カラーインクの量を調整し得る
ようになっている。

【００８８】このため、一定の透過率を有するカラーフ
ィルタ１５を容易に形成することができる一方、塗布膜
厚を変化させて異なる透過率を有するカラーフィルタ１
５をも容易に形成することができる。

【００８９】さらに、本実施例では、各カラーフィルタ
層１０…に飛翔付着する各カラーインクの量を各カラー
フィルタ層１０…の面積によって調整し得るようになっ
ている。このため、一定の透過率を有するカラーフィル
タ１５を面積に応じて容易に形成することができる一
方、塗布膜厚を変化させて異なる透過率を有するカラー
フィルタ１５をも面積に応じて容易に形成することがで
きる。

【００９０】また、本実施例では、各カラーフィルタ層
１０…に飛翔付着する各カラーインクの量を複数のイン
ク粒子数にて調整し得るようになっている。

【００９１】このため、インク粒子数を１個とした場合
に比較して、インクの塗布膜厚を細かく制御することが
できると共に、各カラーフィルタ層１０…にインクを均
一に塗布することができる。また、異なる透過率を有す
るカラーフィルタ層１０の形成も容易になる。この結
果、高品質のカラー液晶表示パネル１の製造方法を提供
することができる。

【００９２】さらに、本実施例では、各カラーフィルタ
層１０…に飛翔付着する各カラーインクを複数のインク
粒子数にて吐出するに際して、そのインク粒子を分散し
て飛翔付着させている。

【００９３】このため、各カラーフィルタ層１０…にイ
ンクを均一に塗布するのを容易に行うことができる。

【００９４】なお、本発明は、上記の実施例に限定され
るものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能で
ある。例えば、上記実施例では、ガラス基板１２上に蒸
着されたパターン部分のクロム系材料をレーザ光にて除
去し、その後にインクジェットプリンタにて各カラーイ
ンクを飛翔付着させて着色したが、特にこれに限定する
ものではなく、例えば、ガラス基板１２のＢＭ１１のパ
ターン形成をフォトリソグラフィ等の既知の技術で行
い、その後、カラーフィルタ画素部分に対応する枡目に
インクジェットプリンタにて各カラーインクを飛翔付着
させて着色することも可能である。

【００９５】すなわち、従来では、カラーフィルタ１５
の画素部分に対応する枡目の着色工程がフォトリソグラ
フィ等の方法にて煩雑な工程で行われていたが、この着
色工程だけでもインクジェットプリンタにてカラーイン
クを飛翔付着させて着色することによって、カラーフィ
ルタ１５の形成を少しでも簡単、安価かつ高精度で行う
ことができる。また、従来技術の適用も図ることができ
る。

【００９６】また、本実施例においては、保護膜層９を
インクジェットプリンタにて形成することも可能であ
る。この場合には、カラーインクの代わりに保護膜用塗
布液を使用し、形成されたカラーフィルタ１５上に保護
膜用塗布液を飛翔付着させれば良い。

【００９７】これによって、カラーフィルタ１５の形成
と保護膜層９の形成とを同一の装置を利用して行うこと
ができるので、操作性及び生産性の向上を図り得ると共
に、低価格のカラー液晶表示パネル１の製造方法を提供
することができる。

【００９８】さらに、本実施例においては、インクジェ
ットプリンタのカラーインクを顔料分散型とすることも
可能である。

【００９９】これによって、カラーフィルタ１５の要求
性能である耐熱性及び耐光性の向上を図ることができ、
高品質のカラー液晶表示パネル１の製造方法を提供する
ことができる。

【０１００】〔実施例２〕本発明の他の実施例は、以下
の通りである。なお、説明の便宜上、前記の実施例１の
図面に示した部材と同一の機能を有する部材について
は、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【０１０１】前記実施例１においては、ガラス基板１２
におけるＢＭ１１をクロム蒸着することにより形成した
が、他の材料でＢＭ１１を形成することも可能である。

【０１０２】すなわち、本実施例では、有機材料をガラ
ス基板１２の表面に全面塗布した後、エキシマレーザ加
工機にて、枡目部分の除去加工を行っている。

【０１０３】具体的には、ガラス基板１２として大きさ
５００ｍｍ角及び厚さ０．６ｍｍの基板を使用し、ガラ
ス材質にはシリカガラスを使用している。ＢＭ１１の材
質としては上述の有機材料として黒着色したポリイミド
系樹脂液を使用している。

【０１０４】カラーフィルタ１５の製造においては、ま
ず、黒着色ポリイミド系樹脂液をガラス基板１２上に回
転塗布法によって厚み１μｍ程度に全面に塗布する。そ
の後、塗布された黒着色ポリイミド系樹脂層を熱処理す
ることによって硬化状態にする。

【０１０５】次に、ガラス基板１２上の全面に塗布され
た黒着色ポリイミド系樹脂層における枡目部分をエキシ
マレーザ加工機にて除去する。除去加工の条件は実施例
１と同一条件にて行ったが、枡目部分の黒着色ポリイミ
ド系樹脂層を除去したときのガラス基板１２の表面は上
記加工による損傷等の悪影響はなく、その後のインクジ
ェットプリンタによる各色印刷に対しても実施例１と同
様に良好なＢＭ１１の特性を示した。

【０１０６】〔実施例３〕本発明の他の実施例を図２に
基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の
便宜上、前記の実施例１及び実施例２の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を
付し、その説明を省略する。

【０１０７】カラー液晶表示パネル１は、図２に示すよ
うに、液晶層６をガラス基板１２・３にて挟持した構成
であり、カラーフィルタ１５側とは反対側のガラス基板
３に透明画素電極としての透明の画素電極４が形成され
ている。これら各画素電極４…は、各カラーフィルタ層
１０…に対向する位置に形成されている。

【０１０８】本実施例では、この画素電極４について
も、実施例１及び実施例２と同様のエキシマレーザ加工
機により形成する。

【０１０９】すなわち、画素電極４を形成する場合に
は、ガラス基板３上の全面に透明導電材料としてのＩＴ
Ｏ（Indium Tin Oxide：インジウムすず酸化物）を蒸着
する。なお、ＩＴＯは塗布乾燥しても良い。

【０１１０】次いで、エキシマレーザ加工機にてレーザ
光を照射し、ＢＭ１１に対向する桝部分の蒸着層を除去
する。

【０１１１】これによって、ガラス基板３におけるＳｉ
Ｏ₂ 絶縁層に損傷を与えることなく、かつ切断面のエッ
ジ盛り上がりもなく、高精密な画素電極４を形成するこ
とができる。

【０１１２】このように、本実施例では、カラー液晶表
示パネル１における画素電極４を製造するときには、ガ
ラス基板１２上の全面にＩＴＯを蒸着又は塗布乾燥した
後、カラー画素部分に対応する画素電極４のパターン部
分以外をレーザ光にて照射して除去する。

【０１１３】これにより、画素電極４のパターン部分の
加工を、レーザ光にて、簡単、安価かつ高精度で行うこ
とができ、さらに、例えばトライアングル配列、モザイ
ク配列及びストライプ配列等の各種のパターンにも容易
に対応することができる。

【０１１４】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質のカラー液晶表示パネル１の製造方
法を提供することができる。

【０１１５】〔実施例４〕本発明の他の実施例を図２及
び図７ないし図１１に基づいて説明すれば、以下の通り
である。なお、説明の便宜上、前記の実施例１〜実施例
３の図面に示した部材と同一の機能を有する部材につい
ては、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【０１１６】一般に、図２に示すカラー液晶表示パネル
１のカラーフィルタ１５におけるレッド（Ｒ）、グリー
ン（Ｇ）及びブルー（Ｂ）のカラー画素、つまりカラー
フィルタ層１０…の配列には、図７〜図９に示すよう
に、トライアングル配列、モザイク配列及びストライプ
配列の３種類がある。

【０１１７】これら各配列の内、例えばモザイク配列を
拡大して示すと図１０のようになる。各配列は用途によ
って使い分けられており、例えばトライアングル配列は
ＴＶ用として使用されている。

【０１１８】本実施例では、トライアングル配列のカラ
ーフィルタ１５を形成する場合について具体的に説明す
る。なお、図７に示すカラーフィルタ１５におけるレッ
ド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）及びブルー（Ｂ）の各画素の
大きさは、図１０に示したモザイク配列での各画素の大
きさと同じ、例えば６０μｍ×２００μｍであり、枡目
間の格子部分の寸法は例えば１０μｍである。

【０１１９】図１１に示すように、インクジェットプリ
ンタのインクジェットヘッド４１における各ノズル４２
…は、そのカラーインクの順序として、先端から「ＲＧ
ＢＲＧＢ…」の順に１列に配列されている。また、イン
クジェットヘッド４１はガラス基板１２に対して所定水
平角度にして配置される。そして、ガラス基板１２に対
してインクジェットヘッド４１の吐出角度を相対的に変
化させる。なお、このとき、ガラス基板１２に対してイ
ンクジェットヘッド４１の吐出角度を相対的に変化させ
る代わりにインクジェットヘッド４１を平行移動しても
良く、或いはガラス基板１２を平行移動しても良い。次
いで、インクジェットヘッド４１における各カラーイン
クに対応する各ノズル４２…が各枡目部分に達した時
に、各ノズル４２…から枡目部分に向けて当該カラーイ
ンクが吐出される。

【０１２０】上記のインクジェットヘッド４１には、例
えば、約４０ｃｍの長さに対して７０μｍ間隔で５１２
個分のノズル４２…が１列に並べられている。したがっ
て、これら５１２個のノズル４２…をガラス基板１２に
対して相対的に１回移動させることによって、マトリッ
クス状のカラーフィルタ１５が形成される。

【０１２１】また、インクジェットヘッド４１を１列で
なく、例えば、多数列配置することも可能である。これ
によって、ガラス基板１２への塗布時間をさらに短縮す
ることができる。

【０１２２】このように、本実施例の画像表示パネルの
製造方法では、除去部分にインクジェットプリンタにて
各種の着色材料としての各カラーインクを飛翔付着させ
て着色する。

【０１２３】すなわち、従来のカラー液晶表示パネル１
の製造方法では、レッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）及びブ
ルー（Ｂ）等の各種のカラーを有するカラーフィルタを
形成するときには、各カラー毎に繰り返して着色作業を
行っており、工程が複雑で高価になっていた。

【０１２４】しかし、本実施例では、インクジェットプ
リンタにて３色のカラーインクを一度に着色することが
できるので、一回の着色作業でカラーフィルタ１５を形
成することができる。

【０１２５】このため、カラーフィルタ１５の着色工程
において、３分の１以上の時間短縮が図れる。

【０１２６】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格の画像表示パネルの製造方法を提供すること
ができる。

【０１２７】〔実施例５〕本発明の他の実施例を図１２
に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明
の便宜上、前記の実施例１〜実施例４の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を
付し、その説明を省略する。

【０１２８】本実施例のカラーフィルタ製造方法は、図
１２に示すように、前記実施例４と同じく、カラー画素
としてトライアングル配列に形成するものであり、前記
実施例４におけるインクジェットヘッド４１の変形例を
示している。

【０１２９】すなわち、本実施例では、インクジェット
ヘッド４５は、前記インクジェットヘッド４１の長さを
約半分にしたものからなっている。そして、インクを吐
出するときには、インクジェットヘッド４５を吐出方向
とは直角に平行移動させることによって、実施例４と比
較して約２倍の所要時間を費やしてカラーフィルタを形
成するものである。これによって、ノズル４６…の数を
少なくすることができるので、コストの低減を図ること
ができる。

【０１３０】〔実施例６〕本発明の他の実施例を図１３
に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明
の便宜上、前記の実施例１〜実施例５の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を
付し、その説明を省略する。

【０１３１】本実施例では、モザイク配列のカラーフィ
ルタ製造方法を説明する。

【０１３２】図１３に示すように、インクジェットヘッ
ド５１におけるノズル５２…の各カラーインクの配列が
先端から「ＢＧＲＢＧＲＢ…」となっている。そして、
インクジェットヘッド５１の各ノズル５２…をガラス基
板１２に対して所定の水平角度になるように配置し、イ
ンクジェットヘッド５１に対してガラス基板１２を相対
的に平行移動させ、ノズル５２…が各枡目部分に到達し
たときに、対応するカラーインクを枡目部分に向けて吐
出する。この結果、インクジェットヘッド５１とガラス
基板１２とを相対的に１回だけ平行移動させることによ
ってカラーフィルタ１５を形成することができる。

【０１３３】なお、カラーインクは、本実施例のように
３色を同時に吐出するだけに限らず、例えば、１色毎に
３回に分けて順に吐出しても良い。

【０１３４】これによって、時間はかかるが、１色の着
色工程が終了する毎に製品の品質を途中で検査及び確認
することができ、万一の不良品の発生においては以後の
着色工程を停止したり、フィードバッグをかけることが
できる。したがって、万一の不良品の発生時には、１回
で３色全てを着色する場合に比較して、不要インク量を
節約することができ、低価格のカラー液晶表示パネル１
の製造方法を提供することができる。

【０１３５】〔実施例７〕本発明の他の実施例を図１４
に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明
の便宜上、前記の実施例１〜実施例６の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を
付し、その説明を省略する。

【０１３６】本実施例のカラーフィルタ製造方法は、図
１４に示すように、前記実施例６と同じく、カラー画素
としてモザイク配列に形成するものであり、前記実施例
６におけるインクジェットヘッド５１の変形例を示して
いる。

【０１３７】すなわち、本実施例では、前記実施例６の
インクジェットヘッド５１のようにノズル５２…を「Ｂ
ＧＲＢＧＲＢ…」に配列する方法とは異なり、図１４に
示すように、３色それぞれのカラーインクに対応するイ
ンクジェットヘッド５５・５６・５７を並べて使用し、
各インクジェットヘッド５５・５６・５７をガラス基板
１２に対して相対的に平行移動させる。そして、ガラス
基板１２の各色の枡目部分が各インクジェットヘッド５
５・５６・５７の各色に対応する位置にきたとき、各ノ
ズル５５ａ・５６ａ・５７ａからインクを吐出し１回の
平行移動でカラーフィルタ１５を形成する。

【０１３８】このように、本実施例では、３色それぞれ
のカラーインクに対応する互いに独立したインクジェッ
トヘッド５５・５６・５７が配列されている。

【０１３９】これによって、各カラーインクに対応する
ノズル５５ａ・５６ａ・５７ａ相互間の混色、及び飛翔
付着後の各カラーフィルタ層１０…相互間の混色を防止
することができる。

【０１４０】したがって、高品質のカラー液晶表示パネ
ル１の製造方法を提供することができる。

【０１４１】〔実施例８〕本発明の他の実施例を図１５
及び図１６に基づいて説明すれば、以下の通りである。
なお、説明の便宜上、前記の実施例１〜実施例７の図面
に示した部材と同一の機能を有する部材については、同
一の符号を付し、その説明を省略する。

【０１４２】本実施例では、ストライプ配列のカラーフ
ィルタ製造方法を説明する。

【０１４３】図１５に示すように、インクジェットヘッ
ド６１の一端を回転軸６２として他端を任意に回転させ
ることによって、画素のピッチを簡単に変えることがで
きる。すなわち、図１６に示すように、回転角を小さく
することによって、インクジェットヘッド６１の縦方向
の長さを相対的に長めに設定することができ、これによ
って、画素のピッチを長く、すなわち縦長のカラーフィ
ルタ１５を形成することができる。

【０１４４】このインクジェットヘッド６１におけるジ
ェットノズル６３…の各カラーインクの配列は、モザイ
ク配列と同様、「ＢＧＲＢＧＲ…」となっており、ノズ
ル６３に対してガラス基板１２又はインクジェットヘッ
ド６１を相対的に１回だけ移動させることによって、カ
ラーフィルタ１５が実現される。なお、この方法におい
ても、各色の形成において別々に３回同じ工程を繰り返
してもよい。

【０１４５】このように、本実施例では、インクジェッ
トヘッド６１の一端に回転軸６２を設けてインクジェッ
トヘッド６１が回転可能になっている。

【０１４６】この結果、ガラス基板１２とインクジェッ
トヘッド６１とのなす水平角度を変化させることができ
る。

【０１４７】したがって、カラーフィルタ層１０のピッ
チ、つまり幅が変化した場合においても容易に対応する
ことができ、また、トライアングル配列、モザイク配列
及びストライプ配列等の各配列にも容易に対応すること
ができる。したがって、操作性及び生産性の向上を図る
ことができる。

【０１４８】また、本実施例では、インクジェットヘッ
ド６１におけるジェットノズル６３…の各カラーインク
の配列は、一列に「ＢＧＲＢＧＲ…」の順になってい
る。

【０１４９】この結果、トライアングル配列、モザイク
配列及びストライプ配列に関わりなく、各カラーフィル
タ層１０…へのカラーインクの飛翔付着を行うことがで
きる。

【０１５０】したがって、操作性及び生産性の向上を図
り得ると共に、低価格のカラー液晶表示パネル１の製造
方法を提供することができる。

【０１５１】〔実施例９〕本発明の他の実施例を図１７
ないし図１９に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。なお、説明の便宜上、前記の実施例１〜実施例８の
図面に示した部材と同一の機能を有する部材について
は、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【０１５２】本実施例では、前記トライアングル配列、
モザイク配列及びストライプ配列における、単独ＢＲＧ
インクジェットヘッドにて各カラーフィルタ配列を形成
する場合のタイミング例を、図１７〜図１９に基づいて
説明する。

【０１５３】図１７（ａ）（ｂ）（ｃ）及び図１８
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、トライアングル配列
及びモザイク配列例では、各カラーインクを各ＢＲＧヘ
ッド７１・７２・７３から同時に吐出させている。な
お、同図においては、理解を容易にするため、各ノズル
７１ａ・７２ａ・７３ａに番号を付け、図との対応を図
っている。

【０１５４】一方、ストライプ配列例では、図１９
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、上記トライアングル
配列及びモザイク配列とは異なり、各ＢＲＧヘッド７１
・７２・７３における各ノズル７１ａ・７２ａ・７３ａ
の全部を使用しないで、ブルー（Ｂ）ヘッド７１ではＢ
３・Ｂ６…、レッド（Ｒ）ヘッド７２ではＲ１・Ｒ４
…、及びグリーン（Ｇ）ヘッド７３ではＧ２・Ｇ５…の
各ノズル７１ａ・７２ａ・７３ａから吐出させている。
もちろん、ストライプ配列の場合も上記トライアングル
配列及びモザイク配列の場合と同様に、各ＢＲＧヘッド
７１・７２・７３の全てのノズル７１ａ・７２ａ・７３
ａを用いてカラーインクを吐出しても良い。その場合に
は、各カラーインク単独のＢＲＧヘッド７１・７２・７
３の配置方向と相対的に移動するガラス基板１２の対向
角度を、形成しようとするストライプ配列に合致するよ
うに設定することによって、簡単にＢＲＧヘッド７１・
７２・７３の同時吐出方式で行うことができる。

【０１５５】このように、本実施例では、単独のＢＲＧ
ヘッド７１・７２・７３の各ノズル７１ａ・７２ａ・７
３ａの吐出タイミングを設定変更することによって、簡
単に３種類のカラーフィルタ１５の画素配列を変更する
ことができる。

【０１５６】すなわち、従来では、カラーフィルタ１５
の画素部分に対応する枡目の着色工程がフォトリソグラ
フィ等の方法にて煩雑な工程で行われており、さらにフ
ォトリソグラフィ等の方法では、トライアングル配列、
モザイク配列及びストライプ配列等の各種のパターンに
応じた型が必要となり、各配列の変更も容易ではなかっ
た。

【０１５７】しかしながら、本実施例では、上述のよう
に、各ノズル７１ａ・７２ａ・７３ａの吐出タイミング
を設定変更することによって、簡単に３種類のカラーフ
ィルタ１５の画素配列を容易に変更することができる。

【０１５８】したがって、操作性及び生産性の向上を図
り得ると共に、低価格のカラー液晶表示パネル１の製造
方法を提供することができる。

【０１５９】また、本実施例では、図１７（ｂ）及び図
１８（ｂ）に示すように、ＢＲＧヘッド７１・７２・７
３において、各ノズル７１ａ・７２ａ・７３ａの隣接す
るノズルの吐出タイミングをずらしている。

【０１６０】すなわち、各ノズル７１ａ・７２ａ・７３
ａの隣接するノズル間では混色が生じがちとなる。しか
し、吐出タイミングをずらすことによって、混色が生じ
るのを防止することができる。

【０１６１】したがって、操作性及び生産性の向上を図
り得ると共に、高品質のカラー液晶表示パネル１の製造
方法を提供することができる。

【０１６２】

【発明の効果】請求項１の発明の画像表示パネルの製造
方法は、以上のように、透光性基材上の全面又はカラー
フィルタとして使用する部分全面に黒色材料部材を蒸着
し又は塗布乾燥した後、パターン部分の黒色材料部材を
レーザ光にて照射して除去することによりカラーフィル
タを形成する方法である。

【０１６３】これにより、カラーフィルタのパターン部
分の加工を、レーザ光にて、簡単、安価かつ高精度で行
うことができ、さらに各種のパターンにも容易に対応す
ることができる。

【０１６４】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができるという効果を奏する。

【０１６５】請求項２の発明の画像表示パネルの製造方
法は、以上のように、親水材料からなる透光性基材上の
全面又はカラーフィルタとして使用する部分全面に撥水
性を有する黒色材料部材を蒸着し又は塗布乾燥した後、
上記パターン部分の黒色材料部材を除去し、この除去部
分にインクジェットプリンタにて各種の着色部材を飛翔
付着させてカラーフィルタを形成する方法である。

【０１６６】これにより、インクジェットプリンタにて
３色の着色部材を一度に着色することができるので、一
回の着色作業でカラーフィルタを形成することができ
る。

【０１６７】また、インクジェットプリンタによる除去
部分への着色に際して、飛翔付着した着色部材は、透光
性基材が親水性であるので枠内にて滲み広がる。さら
に、枠部分は撥水性のため滲みが枠部分には広がらな
い。このため、確実に枠内で均一な着色ができる。

【０１６８】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができるという効果を奏する。

【０１６９】請求項３の発明の画像表示パネルの製造方
法は、以上のように、請求項２の画像表示パネルの製造
方法において、インクジェットプリンタにおけるインク
の吐出量をインクジェットヘッドの振動子に印加する電
圧にて調整する方法である。

【０１７０】これにより、インクジェットプリンタにお
けるインクジェットヘッドの振動子に印加する電圧を調
整することによって、インクの吐出量を変えることがで
きる。この結果、一定の透過率を有するカラーフィルタ
を容易に形成することができる一方、塗布膜厚を変化さ
せて異なる透過率を有するカラーフィルタをも容易に形
成することができる。

【０１７１】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができるという効果を奏する。

【０１７２】請求項４の発明の画像表示パネルの製造方
法は、以上のように、請求項２の画像表示パネルの製造
方法において、インクジェットプリンタにおけるインク
の吐出量をインクジェットヘッドの振動子に印加する電
圧の印加パルス幅にて調整する方法である。

【０１７３】これにより、インクジェットプリンタにお
けるインクジェットヘッドの振動子に印加する電圧の印
加パルス幅を調整することによって、インクの吐出量を
変えることができる。この結果、一定の透過率を有する
カラーフィルタを容易に形成することができる一方、塗
布膜厚を変化させて異なる透過率を有するカラーフィル
タをも容易に形成することができる。

【０１７４】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができるという効果を奏する。

【０１７５】請求項５の発明の画像表示パネルの製造方
法は、以上のように、透光性基材上の全面に透明導電材
料を蒸着又は塗布乾燥した後、カラー画素部分に対応す
る透明画素電極のパターン部分以外をレーザ光にて照射
して除去することにより透明画素電極を形成する方法で
ある。

【０１７６】これにより、透明画素電極のパターン部分
の加工を、レーザ光にて、簡単、安価かつ高精度で行う
ことができ、さらに各種のパターンにも容易に対応する
ことができる。

【０１７７】したがって、生産性の向上を図り得ると共
に、低価格で高品質の画像表示パネルの製造方法を提供
することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のカラー液晶表示パネルの製
造方法を示すものであり、レーザ光にてガラス基板に蒸
着されたクロム材料の枡目部分を除去する状態を示す説
明図である。

【図２】上記カラー液晶表示パネルの構造を拡大して示
す要部模式図である。

【図３】上記カラー液晶表示パネルの製造方法に使用さ
れるインクジェットヘッドの構造図である。

【図４】上記インクジェットヘッドにおける動作時の状
態を示す説明図である。

【図５】上記カラー液晶表示パネルにおけるカラーフィ
ルタ層へのインクドットの飛翔位置を示す平面図であ
る。

【図６】上記カラー液晶表示パネルにおけるカラーフィ
ルタ層への他のインクドットの飛翔位置を示す平面図で
あり、（ａ）はインクドット３個、（ｂ）はインクドッ
ト６個、（ｃ）はインクドット１２個の飛翔位置を示す
ものである。

【図７】本発明の他の実施例におけるカラー液晶表示パ
ネルの製造方法を示すものであり、上記カラー液晶表示
パネルにおけるトライアングル配列のカラーフィルタを
示す平面図である。

【図８】上記カラー液晶表示パネルにおけるモザイク配
列のカラーフィルタを示す平面図である。

【図９】上記カラー液晶表示パネルにおけるストライプ
配列のカラーフィルタを示す平面図である。

【図１０】上記カラー液晶表示パネルにおけるストライ
プ配列のカラーフィルタを拡大して示す平面図である。

【図１１】上記インクジェットヘッドにてトライアング
ル配列のカラーフィルタにカラーインクを飛翔付着させ
る方法を示す平面図である。

【図１２】本発明のさらに他の実施例のカラー液晶表示
パネルの製造方法を示すものであり、インクジェットヘ
ッドを縦に平行移動してトライアングル配列のカラーフ
ィルタにカラーインクを飛翔付着させる方法を示す平面
図である。

【図１３】本発明のさらに他の実施例のカラー液晶表示
パネルの製造方法を示すものであり、インクジェットヘ
ッドにてモザイク配列のカラーフィルタにカラーインク
を飛翔付着させる方法を示す平面図である。

【図１４】本発明のさらに他の実施例のカラー液晶表示
パネルの製造方法を示すものであり、各カラーインク用
の３個のインクジェットヘッドにてモザイク配列のカラ
ーフィルタにカラーインクを飛翔付着させる方法を示す
平面図である。

【図１５】本発明のさらに他の実施例のカラー液晶表示
パネルの製造方法を示すものであり、回転可能なインク
ジェットヘッドにてストライプ配列のカラーフィルタに
カラーインクを飛翔付着させる方法を示す平面図であ
る。

【図１６】上記回転可能なインクジェットヘッドにて、
縦方向のピッチの異なるストライプ配列のカラーフィル
タにカラーインクを飛翔付着させる方法を示す平面図で
ある。

【図１７】本発明のさらに他の実施例のカラー液晶表示
パネルの製造方法おけるトライアングル配列のカラーフ
ィルタを形成する場合を示すものであり、（ａ）はイン
クジェットヘッド及びノズルを示す構成図、（ｂ）は吐
出タイミングを示すタイミングチャート、（ｃ）はこの
吐出タイミングによって形成されるトライアングル配列
のカラーフィルタを示す平面図である。

【図１８】上記カラー液晶表示パネルの製造方法におけ
るモザイク配列のカラーフィルタを形成する場合を示す
ものであり、（ａ）はインクジェットヘッド及びノズル
を示す構成図、（ｂ）は吐出タイミングを示すタイミン
グチャート、（ｃ）はこの吐出タイミングによって形成
されるモザイク配列のカラーフィルタを示す平面図であ
る。

【図１９】上記カラー液晶表示パネルの製造方法におけ
るストライプ配列のカラーフィルタを形成する場合を示
すものであり、（ａ）はインクジェットヘッド及びノズ
ルを示す構成図、（ｂ）は吐出タイミングを示すタイミ
ングチャート、（ｃ）はこの吐出タイミングによって形
成されるストライプ配列のカラーフィルタを示す平面図
である。

【図２０】従来例を示すものであり、染色法による画像
表示パネルの製造方法を示す説明図であり、（ａ）はＢ
Ｍ形成工程、（ｂ）はレジストコート工程、（ｃ）は露
光工程、（ｄ）は現像及び染色工程、（ｅ）は保護膜層
形成工程である。

【図２１】他の従来例を示すものであり、染色分散法に
よる画像表示パネルの製造方法を示す説明図である。
（ａ）はＢＭ形成工程、（ｂ）は着色レジスト塗布工
程、（ｃ）はポジレジスト塗布工程、（ｄ）は露光工
程、（ｅ）は現像工程、（ｆ）はエンチング剥膜工程、
（ｇ）は中間層形成工程である。

【図２２】さらに他の従来例を示すものであり、顔料分
散法による画像表示パネルの製造方法を示す説明図であ
る。（ａ）はＢＭ形成工程、（ｂ）は着色レジスト塗布
工程、（ｃ）は酸素遮断膜塗布工程、（ｄ）は露光工
程、（ｅ）は現像工程、（ｆ）は３色形成工程である。

【図２３】上記顔料分散法による画像表示パネルの製造
方法を示す工程図である。

【図２４】さらに他の従来例を示すものであり、印刷法
による画像表示パネルの製造方法を示す説明図である。
（ａ）は初期状態、（ｂ）は印刷工程、（ｃ）はＢＭ形
成工程、（ｄ）は３色形成工程である。

【図２５】さらに他の従来例を示すものであり、電着法
による画像表示パネルの製造方法を示す説明図である。
（ａ）は初期状態、（ｂ）は電着工程、（ｃ）は３色形
成工程、（ｄ）は保護膜形成工程である。

【符号の説明】

１ カラー液晶表示パネル（画像表示パネル） ４ 画素電極（透明画素電極） ６ 液晶層 ８ 共通電極 ９ 保護膜層 １０ カラーフィルタ層 １１ ブラックマトリックス〔ＢＭ〕（枠） １２ ガラス基板（透光性基材） １５ カラーフィルタ ２０ レーザ発振器 ２６ インクジェットヘッド ３０ ノズル ３１ 振動子 ３２ ノズル駆動電圧（電圧）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】枠状の黒色材料部材と、この黒色材料部材
   の枠内における、カラー画素部分に対応するパターン部
   分に各種の着色材料を含有したカラーフィルタ層とが透
   光性基材に積層されてなるカラーフィルタを備えた画像
   表示パネルの製造方法において、 透光性基材上の全面又はカラーフィルタとして使用する
   部分全面に黒色材料部材を蒸着し又は塗布乾燥した後、
   パターン部分の黒色材料部材をレーザ光にて照射して除
   去することによりカラーフィルタを形成することを特徴
   とする画像表示パネルの製造方法。
2. 【請求項２】枠状の黒色材料部材と、この黒色材料部材
   の枠内における、カラー画素部分に対応するパターン部
   分に各種の着色材料を含有したカラーフィルタ層とが透
   光性基材に積層されてなるカラーフィルタを備えた画像
   表示パネルの製造方法において、 親水材料からなる透光性基材上の全面又はカラーフィル
   タとして使用する部分全面に撥水性を有する黒色材料部
   材を蒸着し又は塗布乾燥した後、上記パターン部分の黒
   色材料部材を除去し、この除去部分にインクジェットプ
   リンタにて各種の着色部材を飛翔付着させてカラーフィ
   ルタを形成することを特徴とする画像表示パネルの製造
   方法。
3. 【請求項３】インクジェットプリンタにおけるインクの
   吐出量をインクジェットヘッドの振動子に印加する電圧
   にて調整することを特徴とする請求項２記載の画像表示
   パネルの製造方法。
4. 【請求項４】インクジェットプリンタにおけるインクの
   吐出量をインクジェットヘッドの振動子に印加する電圧
   の印加パルス幅にて調整することを特徴とする請求項２
   記載の画像表示パネルの製造方法。
5. 【請求項５】カラー画素部分に対応するパターン部分に
   透明画素電極としての透明導電材料が透光性基材に積層
   されてなる画像表示パネルの製造方法において、 上記透光性基材上の全面に透明導電材料を蒸着又は塗布
   乾燥した後、カラー画素部分に対応する透明画素電極の
   パターン部分以外をレーザ光にて照射して除去すること
   により透明画素電極を形成することを特徴とする画像表
   示パネルの製造方法。