JP4609472B2 - 液滴吐出装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドは前記キャリッジにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
また、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の製造方法は、一列に配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが、前記複数のノズルの配列方向に複数配列されたキャリッジを備え、第1基板と第2基板との間に液晶が挟持されてなる液晶表示装置の前記第1基板に膜を形成するために用いられる液滴吐出装置の製造方法であって、前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を、複数の類型に分類する工程と、複数の前記液滴吐出ヘッドに対して、前記液滴の吐出量の分布を測定し、前記複数の類型の内、いずれの類型に属するかを判断する工程と、前記複数の類型の内、第1の類型に属する前記液滴吐出ヘッドを、複数の前記液滴吐出ヘッドの中から選択し、該選択した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに取り付ける工程と、を有し、前記第1の類型は、前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を最小二乗法を用いて1次近似式を演算した時に得られる近似式線を、右上がりの直線、略平行な直線および左上がりの直線からなる3つの類型に分類した際に、前記右上がりの直線または左上がりの直線のいずれかに属することを特徴とする。
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と第2ノズル群とに分類する分類工程と、前記第1ノズル群からなる第1ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群からなる第2ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第1ノズル構成体又は、前記第2ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第4ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第5ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第4ノズル構成体又は、前記第5ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第3ノズル群を分類する分類工程と、前記第3ノズル群からなる第3ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第3ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第6ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第6ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第1ノズル群の隣には、前記第1ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置され、前記第2ノズル群の隣には、前記第2ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置されることを特徴とする。
上記適用例にかかる吐出方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて1次近似式を演算し、前記第1の端部側と前記第2の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかる吐出方法において、前記分類工程では、前記第1の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第2の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とが対称に形成され、前記第2ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第1ノズル群として用い、又は、前記第1ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第2ノズル群として用いることを特徴とする。
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記ワークに前記液状体を塗布する領域の幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と第2ノズル群とに分類する分類工程と、前記第1ノズル群からなる第1ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群からなる第2ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第1ノズル構成体又は、前記第2ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第4ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第5ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第4ノズル構成体又は、前記第5ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第3ノズル群を分類する分類工程と、前記第3ノズル群からなる第3ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第3ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第6ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第6ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第1ノズル群の隣には、前記第1ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置され、前記第2ノズル群の隣には、前記第2ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置されることを特徴とする。
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と第2ノズル群とに分類する分類工程と、前記第1ノズル群からなる第1ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群からなる第2ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第1ノズル構成体又は、前記第2ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第4ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第5ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第4ノズル構成体又は、前記第5ノズル構成体を用いてワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第3ノズル群を分類する分類工程と、前記第3ノズル群からなる第3ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第3ノズル構成体を用いてワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第6ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第6ノズル構成体を用いてワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第1ノズル群の隣には、前記第1ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置され、前記第2ノズル群の隣には、前記第2ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置されることを特徴とする。
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と第2ノズル群とに分類する分類工程と、前記第1ノズル群からなる第1ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群からなる第2ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第1ノズル構成体又は、前記第2ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第4ノズル構成体、又は、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第5ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第4ノズル構成体又は、前記第5ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第3ノズル群を分類する分類工程と、前記第3ノズル群からなる第3ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第3ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第1ノズル群と、第2ノズル群と、第3ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第1ノズル群、前記第2ノズル群及び前記第3ノズル群からなる第6ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第6ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第1ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きく、前記第2ノズル群は、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きく、前記第3ノズル群は、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第1ノズル群の隣には、前記第1ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置され、前記第2ノズル群の隣には、前記第2ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置されることを特徴とする。
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きい第1ノズル群から構成される第1ノズル構成体と、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きい第2ノズル群から構成される第2ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きい第1ノズル群及び、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量の第3ノズル群、から構成される第4ノズル構成体と、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きい第2ノズル群及び、前記第3ノズル群、から構成される第5ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量の第3ノズル群から構成される第3ノズル構成体を用いて形成されていることを特徴とする。
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きい第1ノズル群と、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きい第2ノズル群と、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量の第3ノズル群と、から構成される第6ノズル構成体を用いて形成され、前記第1ノズル群の隣には、前記第1ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置され、前記第2ノズル群の隣には、前記第2ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置されていることを特徴とする。
上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とが対称に形成され、前記第2ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第1ノズル群として用い、又は、前記第1ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第2ノズル群として用いることを特徴とする。
上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは千鳥状に配置されていることを特徴とする。
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きい第1ノズル群から構成される第1ノズル構成体と、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きい第2ノズル群から構成される第2ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きい第1ノズル群及び、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量の第3ノズル群、から構成される第4ノズル構成体と、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きい第2ノズル群及び、前記第3ノズル群、から構成される第5ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量の第3ノズル群から構成される第3ノズル構成体を用いて形成されていることを特徴とする。
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第1の端部から第2の端部へ配列して形成され、前記第1の端部側の吐出量より前記第2の端部側の前記吐出量が大きい第1ノズル群と、前記第2の端部側の前記吐出量より前記第1の端部側の前記吐出量が大きい第2ノズル群と、前記第1の端部側の前記吐出量と前記第2の端部側の前記吐出量とが略同量の第3ノズル群と、から構成される第6ノズル構成体を用いて形成され、前記第1ノズル群の隣には、前記第1ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置され、前記第2ノズル群の隣には、前記第2ノズル群又は、前記第3ノズル群が配置されていることを特徴とする。
本適用例にかかる電子機器は、表示部を備える電子機器であって、前記表示部に上記適用例に記載の液晶表示装置の形成方法を用いて形成された液晶表示装置を備えることを特徴とする。
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて1次近似式を演算し、前記第1の端部側と前記第2の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記分類工程では、前記第1の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第2の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とが対称に形成され、前記第2ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第1ノズル群として用い、又は、前記第1ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第2ノズル群として用いることを特徴とする。
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記ワークの幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて1次近似式を演算し、前記第1の端部側と前記第2の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記分類工程では、前記第1の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第2の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とが対称に形成され、前記第2ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第1ノズル群として用い、又は、前記第1ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第2ノズル群として用いることを特徴とする。
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記基板の幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記液晶配向膜形成用組成物を電極形成材料に換え、配向膜形成工程を電極形成工程に換えて、電極膜を形成することを特徴とする。
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて1次近似式を演算し、前記第1の端部側と前記第2の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記分類工程では、前記第1の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第2の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とが対称に形成され、前記第2ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第1ノズル群として用い、又は、前記第1ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第2ノズル群として用いることを特徴とする。
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記基板の幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とが対称に形成され、前記第2ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第1ノズル群として用い、又は、前記第1ノズル群は前記第1の端部側と前記第2の端部側とを交換して、前記第2ノズル群として用いることを特徴とする。
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記ワークの幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
(第1の実施形態)
本実施形態では液滴吐出装置とこの液滴吐出装置を用いて液状体を液滴にして吐出する場合の特徴的な例について図1〜図9に従って説明する。
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置1について図1〜図3に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
次に、上述した液滴吐出装置1を使って、基板7に機能液を吐出して塗布することによりベタ膜を形成する吐出方法について図4〜図9にて説明する。図4は、基板に液滴を吐出して塗布することによりベタ膜を形成する製造工程を示すフローチャートである。図5〜図9は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。
次に、第1ノズル群と第2ノズル群との液滴吐出ヘッド14を交互に配置して機能液37を塗布する場合の塗布量73の変化を説明する。図9(a)は第1の液滴吐出ヘッド14a及び第3の液滴吐出ヘッド14cに第1ノズル群の液滴吐出ヘッド14を配置して、第2の液滴吐出ヘッド14b及び第4の液滴吐出ヘッド14dに第2ノズル群の液滴吐出ヘッド14を配置した例を示している。
(1)本実施形態によれば、吐出量の分布を演算して、第1ノズル群〜第3ノズル群に分類している。そして、第1ノズル群の隣に第1ノズル群が配置されているヘッドユニット34が形成され、このヘッドユニット34が第1ノズル構成体34aとなっている。このとき、第1ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置されている。次に、第1ノズル構成体34aのノズル26から機能液37を吐出する。そして、吐出された機能液37は基板7上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、機能液37の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された機能液37は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された機能液37の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図10に従って説明する。図10は吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフである。この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、第2のノズル群に替えて、第3のノズル群を用いる点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、吐出量の分布を演算して、第3ノズル群を分類する。そして、第3ノズル構成体34bでは第3ノズル群の隣に第3ノズル群が配置される。このとき、第3ノズル群は第1の端部14e側の吐出量と第2の端部14f側の吐出量が略同量となっている。つまり、吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された機能液の膜厚は略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図11に従って説明する。図11は吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフである。この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、第1ノズル群に加えて第3ノズル群を用いる点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、第4ノズル構成体34cのノズル26から機能液37を吐出する。そして、吐出された機能液はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は吐出量が略中間の場所とが隣合うように液滴吐出ヘッド14が配置される。このとき、機能液37の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された機能液37は吐出量が小さく塗布された場所又は吐出量が平均に近い場所へ流動する。第4ノズル構成体34cを用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された機能液37は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が平均に近い場所へ流動する。従って、塗布された機能液37の膜厚は平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図12に従って説明する。図12は吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフである。この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、第1のノズル群に加えて、第2ノズル群及び第3のノズル群を用いる点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、第1ノズル群同士の液滴吐出ヘッド14が隣接する場合、第2ノズル群同士の液滴吐出ヘッド14が隣接する場合、第3ノズル群の液滴吐出ヘッド14の隣に第1ノズル群又は第2ノズル群の液滴吐出ヘッド14が配置される場合がある。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された機能液は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された機能液の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図13に従って説明する。図13は吐出量の分布を示すグラフである。この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、近似式を演算する方法に替えて吐出量の積分を演算する点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、第1の積分値91と第2の積分値92とを演算している。そして、第2の積分値92から第1の積分値91を引き算することにより、吐出差分指数を演算している。その後、吐出差分指数を用いて液滴吐出ヘッド14を第1ノズル群〜第3ノズル群とに分類している。この演算は簡便な方法である為、短時間で演算を終了することができる。その結果、生産性良く分類することができる。
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図14に従って説明する。図14(a)は液滴吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図であり、図14(b)は液滴吐出ヘッドを示す模式平面図である。図14(c)は液滴吐出ヘッドを示す模式側面図である。この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッド14が左右対称に形成されている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、第1ノズル群と第2ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッド94を、総て、第1ノズル群からなる第1ノズル構成体34aとすることができる。同様に、液滴吐出ヘッド94を、総て、第2ノズル群からなる第2ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第1ノズル構成体34a又は、第2ノズル構成体を形成することができる。
次に、本実施形態では、液滴吐出装置の特徴的な例について図15に従って説明する。図15は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッド14が基板7の幅以上の長さに渡って配置されている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、液滴吐出装置105はステージ4をY方向に移動して、液滴吐出ヘッド14のノズル26から機能液37を吐出することにより、機能液37を塗布する予定の領域に塗布することができる。従って、液滴吐出装置105はノズル26をX方向に移動することなく、基板7に機能液37を塗布することができる。そして、基板7又は液滴吐出ヘッド14の移動回数は少ない回数で、基板7に塗布することができる。その結果、生産性良く塗布することができる。
このとき、液滴吐出装置105は液滴吐出ヘッド14をノズル26が配列されている方向に移動して改行することなく、基板7に機能液37を塗布することができる。従って、基板7又は液滴吐出ヘッド14を改行することによるスジ模様の発生を防止することができる。その結果、品質良く膜を形成することができる。
次に、上記の吐出方法を応用して液晶表示装置を製造する一実施形態について図16を用いて説明する。
(1)本実施形態によれば、配向膜135,144を製造する工程において、第1の実施形態〜第7の実施形態における吐出方法を用いることにより、配向膜の材料が塗布された膜厚の分散を小さくしている。従って、膜厚の分散の小さい配向膜135,144を製造することができる。
次に、第8の実施形態の液晶表示装置120を備えた電子機器について説明する。図17は、パーソナルコンピュータに液晶表示装置を搭載した例を示す概略斜視図である。図17に示すように、電子機器としてのパーソナルコンピュータ150の本体は情報を表示する表示部に表示装置151を備えている。この表示装置151に、第8の実施形態により製造された液晶表示装置120が配設されている。パーソナルコンピュータ150に配置されている表示装置151は上記の実施形態により製造され、表示装置151における配向膜135,144及び対向電極143の膜厚の分散が小さく形成されている。従って、パーソナルコンピュータ150は、液晶122が駆動信号に対して忠実に動作し、見易い液晶画面となっている表示装置151を、表示部に備えた電子機器となっている。
(変形例1)
前記第1の実施形態では、第1ノズル群の液滴吐出ヘッド14を用いて第1ノズル構成体34aを構成した。同様に、第2ノズル群の液滴吐出ヘッド14から構成される第2ノズル構成体を用いて塗布してもよい。第1ノズル構成体34aと第2ノズル構成体とは吐出量の分布において鋸歯状の向きが異なるだけであるので、同様な効果を得ることができる。そして、第2ノズル群の液滴吐出ヘッド14を用いる方法にて、前記第5の実施形態〜前記第8の実施形態を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第3の実施形態においては、第1ノズル群と第3ノズル群との液滴吐出ヘッド14から構成される第4ノズル構成体34cを用いて機能液37を吐出して塗布した。同様に、第2ノズル群と第3ノズル群との液滴吐出ヘッド14から構成される第5ノズル構成体を用いて機能液37を吐出して塗布しても良い。この場合にも、前記第1の実施形態と同様な工程を行うことにより、同様な効果を得ることができる。尚、この変形例を前記第4の実施形態〜前記第8の実施形態を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第1の実施形態において、ステップS5の吐出工程の次にステップS6の平坦化工程を行った。ステップS5とステップS6とは同時に行っても良い。例えば、機能液37の粘度が低くて広がり易いとき、機能液37の吐出と、吐出された機能液37が広がる工程とが同時に進行する。このとき、ステップS6はステップS5と同時に行われる。そして、ステップS6を別に行う場合に比べて、短い時間で製造することができる為、生産性良く製造することができる。尚、この変形例を前記第2の実施形態〜前記第8の実施形態、前記変形例1、前記変形例2を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第1の実施形態において、液滴吐出ヘッド14にノズル26が1列に配列して形成されていた。ノズル26の配列は2列以上の配列でも良い。この場合にも2列のノズル列のノズルをノズル群として捉え、第1ノズル群〜第3ノズル群に分類して構成することができる。この場合にも、前記第1の実施形態と同様な工程を行うことにより、同様な効果を得ることができる。尚、この変形例を前記第2の実施形態〜前記第8の実施形態、前記変形例1、前記変形例2を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第5の実施形態は、前記第1の実施形態と異なる点を説明した。前記第5の実施形態は、前記第2の実施形態〜前記第4の実施形態、前記変形例1、前記変形例2にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第6の実施形態は、前記第1の実施形態と異なる点を説明した。前記第6の実施形態は、前記第2の実施形態、前記第4の実施形態、前記変形例1、前記変形例2にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第7の実施形態は、前記第1の実施形態と異なる点を説明した。前記第7の実施形態は、前記第2の実施形態、前記第4の実施形態、前記変形例1、前記変形例2にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第8の実施形態は、前記第1の実施形態〜前記第7の実施形態を用いる方法を説明した。前記第8の実施形態は、前記変形例1、前記変形例2にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
前記第3の実施形態では、第1の液滴吐出ヘッド14a〜第4の液滴吐出ヘッド14dの順に第1ノズル群、第3ノズル群、第1ノズル群、第3ノズル群の液滴吐出ヘッド14を並べたが、これに限らない。第1ノズル群、第1ノズル群、第3ノズル群、第3ノズル群の順番でも良く、第3ノズル群、第3ノズル群、第3ノズル群、第1ノズル群の順番でも良い。第1ノズル群及び第3ノズル群の組合せであれば良い。同様な効果を得ることができる。
前記第1の実施形態〜前記第5の実施形態では、ヘッドユニット34に4個の液滴吐出ヘッド14が配置されていたが、2個以上のヘッドユニット34で有ればよい。
前記第1の実施形態〜前記第5の実施形態では、キャビティ36を加圧する加圧手段に、圧電素子39を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板38を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ36内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液37を気化させたり、機能液37に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板38を変形させて、加圧しても良い。
前記第9の実施形態では、液晶表示装置120をパーソナルコンピュータ150の表示部に用いたが、これに限定されない。例えば、電子ブック、携帯電話、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネル等の電子機器の画像表示手段として好適に用いることができる。いずれの場合でも、表示部に膜厚の分散が小さく形成された液晶表示装置120を備えた電子機器を提供することができる。
Claims (3)
- 第1基板と第2基板との間に液晶が挟持されてなる液晶表示装置の前記第1基板に膜を形成するために用いられる液滴吐出装置であって、
一列に配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが、前記複数のノズルの配列方向に複数配列されたキャリッジを有し、
前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を最小二乗法を用いて1次近似式を演算した時に得られる近似式線を、右上がりの直線、略平行な直線および左上がりの直線からなる3つの類型に分類した場合に、前記キャリッジに配列された複数の前記液滴吐出ヘッドはいずれも同じ類型に属し、かつ、該同じ類型は前記右上がりの直線または左上がりの直線のいずれかであることを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記液滴吐出ヘッドは前記キャリッジにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 一列に配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが、前記複数のノズルの配列方向に複数配列されたキャリッジを備え、
第1基板と第2基板との間に液晶が挟持されてなる液晶表示装置の前記第1基板に膜を形成するために用いられる液滴吐出装置の製造方法であって、
前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を、複数の類型に分類する工程と、
複数の前記液滴吐出ヘッドに対して、前記液滴の吐出量の分布を測定し、前記複数の類型の内、いずれの類型に属するかを判断する工程と、
前記複数の類型の内、第1の類型に属する前記液滴吐出ヘッドを、複数の前記液滴吐出ヘッドの中から選択し、該選択した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに取り付ける工程と、
を有し、
前記第1の類型は、前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を最小二乗法を用いて1次近似式を演算した時に得られる近似式線を、右上がりの直線、略平行な直線および左上がりの直線からなる3つの類型に分類した際に、前記右上がりの直線または左上がりの直線のいずれかに属することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
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CN103676226B (zh) * | 2012-08-31 | 2016-08-10 | 细美事有限公司 | 液晶排放量测量单元、排放量测量方法以及基板处理装置 |
KR101430743B1 (ko) * | 2012-08-31 | 2014-08-14 | 세메스 주식회사 | 액정 토출량 측정 유닛, 토출량 측정 방법 및 기판 처리 장치 |
CN103676329B (zh) * | 2013-12-20 | 2016-03-30 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶光配向设备 |
CN104096657A (zh) * | 2014-07-15 | 2014-10-15 | 无锡飞翎电子有限公司 | 一种便于印刷线路板板底涂覆的设备及其方法 |
DE102016109025A1 (de) * | 2016-05-17 | 2017-11-23 | Océ Holding B.V. | Verfahren und Steuereinheit zur Druckqualitätsverbesserung eines Tintenstrahl-Drucksystems |
CN106040535B (zh) * | 2016-07-29 | 2019-05-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种喷头、喷头系统及喷涂方法 |
CN109765730B (zh) * | 2019-03-18 | 2020-08-04 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 配向膜的制作方法及配向膜 |
CN114779533A (zh) * | 2022-04-11 | 2022-07-22 | Tcl华星光电技术有限公司 | 配向膜及其制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002178488A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 記録装置 |
JP2002196127A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-07-10 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録装置および機能性液体付与基板の製造方法 |
JP2006082047A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置及び方法、液滴吐出装置の製造方法、並びにデバイス製造方法及びデバイス |
JP2006159588A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 印字ヘッドの製造方法 |
JP2006175425A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-07-06 | Shibaura Mechatronics Corp | 塗布方法及び装置 |
Family Cites Families (8)
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---|---|---|---|---|
JP3111024B2 (ja) * | 1995-07-19 | 2000-11-20 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法 |
JP2003084125A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-03-19 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、el発光層配設基板の製造方法及び製造装置、el発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
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US7278699B2 (en) * | 2005-03-31 | 2007-10-09 | Xerox Corporation | Enhanced printer reliability using extra print module |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002196127A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-07-10 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録装置および機能性液体付与基板の製造方法 |
JP2002178488A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Olympus Optical Co Ltd | 記録装置 |
JP2006082047A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置及び方法、液滴吐出装置の製造方法、並びにデバイス製造方法及びデバイス |
JP2006175425A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-07-06 | Shibaura Mechatronics Corp | 塗布方法及び装置 |
JP2006159588A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 印字ヘッドの製造方法 |
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