JP2006175425A

JP2006175425A - 塗布方法及び装置

Info

Publication number: JP2006175425A
Application number: JP2005324154A
Authority: JP
Inventors: Yasuji Tsuruoka; 保次鶴岡; Akihiro Shigeyama; 昭宏重山
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2004-11-26
Filing date: 2005-11-08
Publication date: 2006-07-06
Also published as: TW200633790A; KR20060059206A; KR100951995B1

Abstract

【課題】相並ぶ複数のノズルからの吐出量を簡易に均等化すること。
【解決手段】相並ぶ複数のノズル２２から吐出される液体を基板１に塗布する塗布方法において、各ノズル２２の吐出孔２２Ａの孔径Ｄを互いに同一にし、孔長Ｌを互いに調整することにより、各ノズル２２の吐出量を均等にするもの。
【選択図】図７

Description

本発明は相並ぶ複数のノズルから吐出される液体を基板に塗布する塗布方法及び装置に関する。

液晶表示装置の製造工程においては、ガラス基板等の基板に回路パターンを形成するための成膜プロセスがある。この成膜プロセスでは、インクジェットヘッド等の相並ぶ複数のノズルから吐出される液体を基板に塗布し、この液体の基板上でのレベリング（広がり）によって配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する。

基板上に均一な膜厚の機能性薄膜を形成するためには、液体を各ノズルから均一な吐出量で吐出する必要がある。そのため、各ノズルからの吐出量をノズル毎に調整し、各ノズルからの吐出量を均等化することが考えられている。そして、ノズルからの吐出量を調整する技術としては以下のものがある。

各ノズルの吐出孔に連通する吐出室内の液体に吐出エネルギを与えるに際し、吐出エネルギを発生するピエゾ素子への印加電圧を調整する方法。

各ノズルに対応するピエゾ素子への印加電圧を調整し、各ノズルの吐出量を均等にするものでは、以下の問題点がある。

(a)同一ヘッド内のノズル間で生じている吐出量のばらつきをピエゾ素子への印加電圧の調整により均等化する場合には、各ノズル毎のピエゾ素子への印加電圧の調整範囲を広くする必要がある。そのためには、容量の大きな可変抵抗器を設けることが考えられるが、容量の大きな可変抵抗器は調整が粗になる傾向があり、微調整を行なうことができず吐出量の均等化が充分に行なえない。また、ノズル間の吐出量のバラツキに応じた抵抗器と微調整用の可変抵抗器とを組み合わせて各ピエゾ素子の給電回路に設けることが考えられるが、この場合には、抵抗器の容量が多様化し、多種類の抵抗器を用意する必要がある。このため、保守管理作業が煩雑化し、保守管理作業に要する時間の増大を招き、結果として、装置の稼働率低下をもたらす不都合を有する。

(b)同一ヘッド内での各ノズルの吐出量分布（例えば図７（Ｃ）の●印）のうち、最低吐出量のノズル（例えば図７（Ａ）の３番ノズル）において、当該ノズルに対応するピエゾ素子への印加電圧が既に当該素子に許容される最大印加電圧であるときには、他のノズル（例えば図７（Ａ）の１番、２番、４番、５番ノズル）に対応するピエゾ素子への印加電圧を下げ、全ノズルの吐出量を下げる（例えば図７（Ｃ）の×印）必要がある。これは塗布装置において一定の膜厚を塗布するに要する処理時間が長くなる不都合を招くことを意味する。

本発明の課題は、相並ぶ複数のノズルからの吐出量を簡易に均等化することにある。

請求項１の発明は、相並ぶ複数のノズルから吐出される液体を基板に塗布するインクジェット塗布方法において、各ノズルの吐出孔の孔径又は孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの前記液体の吐出量を均等にするようにしたものである。

請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、各ノズルの吐出孔の孔径を互いに同一にし、孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの液体の吐出量を均等にするようにしたものである。

請求項３の発明は、請求項２の発明において更に、前記相並ぶ複数のノズルをライン状に配列し、各ノズルのそれぞれを一端側から液体が供給される単一の主管の一端側から他端側に渡る長手方向の各位置に接続し、ライン状に配列されたノズルのうちで両端側のノズルの吐出孔の孔長を中央側のノズルの吐出孔の孔長より長く設定するようにしたものである。

請求項４の発明は、相並ぶ複数のノズルによってヘッドを構成し、各ノズルから吐出される液体を基板に塗布するインクジェット塗布装置において、各ノズルの吐出孔の孔径又は孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの前記液体の吐出量を均等にするようにしたものである。

請求項５の発明は、請求項４の発明において更に、各ノズルの吐出孔の孔径を互いに同一にし、孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの液体の吐出量を均等にするようにしたものである。

請求項６の発明は、請求項５の発明において更に、前記ヘッドの相並ぶ複数のノズルをライン状に配列し、各ノズルのそれぞれを一端側から液体が供給される単一の主管の一端側から他端側に渡る長手方向の各位置に接続し、ライン状に配列されたノズルのうちで両端側のノズルの吐出孔の孔長を中央側のノズルの吐出孔の孔長より長く設定するようにしたものである。

本発明によれば、相並ぶ複数のノズルからの吐出量を簡易に均等化することができる。

図１は塗布装置を示す正面図、図２は図１の側面図、図３はインクジェットヘッドを示す正面図、図４はインクジェットヘッドを示す断面図、図５は図４のＶ-Ｖ線に沿う矢視平面図、図６はノズルの吐出孔の孔長の変化に対する吐出量の増減の関係を示す線図、図７はインクジェットヘッドを示し、（Ａ）は従来ヘッドを示す正面図、（Ｂ）は本発明ヘッドを示す正面図、（Ｃ）は各ノズルの吐出量分布を示す線図、図８はノズルの吐出孔の孔長の調整手段の他の例を示す断面図である。

図１、図２に示した塗布装置１０は、水平に設置されたベース１１の両側に設けたガイドレール１２に矩形板状の搬送テーブル１３をスライド可能に支持している。ガラス基板等の基板１は、搬送テーブル１３の上面に保持されて搬送される。

塗布装置１０は、ベース１１上における基板１の搬送方向に沿う中間部に門型フレーム１４を立設し、門型フレーム１４に水平な取付部材１５を横架し、取付部材１５の一側面に複数のインクジェット方式のヘッド２０を並設している。複数のヘッド２０がなす寸法は、基板１の幅寸法より僅かに長く設定される。

ヘッド２０は、図３〜図５に示す如く、ヘッド本体２０Ａの一端側から他端側に渡り、単一の長溝状の主管２１を備える。供給タンク３０に連なる給液管３１が開閉バルブ３２を介して主管２１の一端部に接続される。供給タンク３０には、配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する液体のための液補給管３３、液充填用加圧ガス管３４が設けられている。また、回収タンク４０に連なる排液管４１が開閉バルブ４２を介して主管２１の他端部に接続される。

ヘッド２０は、相並ぶ複数、例えば１番〜５番の5孔（実機では例えば64孔）のノズル２２をライン状に配列して備える。各ノズル２２は、基板１に向けて液体を吐出する吐出孔２２Ａと、吐出孔２２Ａに連通する吐出室２２Ｂとをヘッド本体２０Ａに備え、各吐出室２２Ｂをヘッド本体２０Ａに設けた枝管２２Ｃにより主管２１の長手方向の各位置に接続している。

ヘッド２０は、加圧ガス管３４の例えばＮ_２ガスによって供給タンク３０内の液体を給液管３１から主管２１に圧送し、排液管４１から流出させて主管２１に液体を充填し、その後、排液管４１の開閉バルブ４２を閉じ、Ｎ_２ガスによって供給タンク３０内の液体を給液管３１から主管２１、枝管２２Ｃ経由で各ノズル２２の吐出室２２Ｂに圧送し、吐出孔２２Ａから流出させて各ノズル２２の吐出室２２Ｂ、枝管２２Ｃに液体を充填する。液体を吐出室２２Ｂ、枝管２２Ｃに充填し終えたら、吐出孔２２Ａからの液体の吐出にあたっての予備動作として、供給タンク３０内へのＮ_２ガス供給を停止するとともに不図示の大気開放弁を開き供給タンク３０内を大気圧とする。このとき、供給タンク３０内の液面高さは、液補給管３３からの液体の供給量の制御により、ヘッド本体２０Ａの下面の高さと同等若しくは僅かに高くなるように調整されている。これにより、供給タンク３０内の液体は、その液面とヘッド本体２０Ａ下面との高さの差による圧力差によって供給管３１に供給されるので、吐出に伴う吐出室２２Ｂ内の液体の減少に応じて吐出室２２Ｂに液体が補充される。

ヘッド２０は、ヘッド本体２０Ａの上面を可撓板２３により覆い、可撓板２３の上面に、各ノズル２２の吐出室２２Ｂに対向するピエゾ素子２４を固着している。ピエゾ素子２４は、不図示の給電回路に接続されて印加電圧を給電され、これによって駆動されるピエゾ素子２４に対応するノズル２２の吐出室２２Ｂに容積変化を生じさせて充填されている液体を吐出孔２２Ａから吐出させ、搬送テーブル１３に保持されて搬送されている基板１の上面にこの液体を塗布する。基板１に塗布された液体は、基板１上で自然なレベリング（広がり）によって配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成するものになる。

しかるに、塗布装置１０にあっては、ヘッド２０において相並ぶ複数のノズル２２から吐出される液体の吐出量を均等化するため、以下の構成を具備する。

(A)ヘッド２０を構成するノズル２２について、吐出孔２２Ａの孔長Ｌと吐出量Ｋの関係を実験により予め求める。吐出孔２２Ａの孔径Ｄを一定とし孔長Ｌを変化させた場合であってＬ／Ｄ＝１のときの吐出量を基準としたとき、Ｌ／Ｄの値と吐出量Ｋの増減値（基準吐出量に対して増減した割合）との関係は例えば図６の如くになる。吐出孔２２Ａの孔長Ｌが大きく、吐出孔２２Ａの流路抵抗が大きくなるに従い、吐出量Ｋは減少することが認められる。具体的には、図６において、吐出孔２２Ａの孔長ＬをＬ／Ｄ＝１のときの孔長に対して1.2倍の長さにしたとき、この吐出孔２２Ａからの吐出量はＬ／Ｄ＝１のときに得られる吐出量を10％程度減じた量の吐出量となる。また、吐出孔２２Ａの孔長ＬをＬ／Ｄ＝１のときの孔長に対して0.8倍の長さにしたとき、この吐出孔２２Ａからの吐出量はＬ／Ｄ＝１のときに得られる吐出量を10％程度増加した量の吐出量となる。

(B)ヘッド２０のライン状に相並ぶ複数のノズル２２それぞれの吐出量ＫのバラツキΔＫの傾向を把握する。即ち、各ノズル２２の吐出孔２２Ａの孔長Ｌが同一である図７（Ａ）に示したヘッドについて、各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量を個々に実測する。そして、各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量の平均値に最も近い吐出量が得られた吐出孔２２Ａからの吐出量を基準とし、この吐出孔２２Ａからの吐出量に対する他の吐出孔２２Ａからの吐出量のバラツキ（増減の割合）を求め、これに基づいて各ノズル２２の吐出量分布を得る。得られた吐出量分布は、図７（Ｃ）に●印で示した如くである。図７（Ｃ）の場合、２番、４番のノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量が同量で、これら２つの吐出孔２２Ａからの吐出量が各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量の平均値に最も近かったので、これらの吐出孔２２Ａからの吐出量を基準として選択した。従って、２番、４番のノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量は、バラツキΔＫ＝0％である。両端側の１番、５番のノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量は、基準とした２番、４番のノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量よりも10％多い（バラツキΔＫ＝10％）傾向を示す。中央の３番のノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量は、基準とした２番、４番のノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量よりも10％少ない（バラツキΔＫ＝−10％）傾向を示す。

尚、個々のノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量は、電子式重量計等の測定皿上に液体を吐出して測定した重量をもとに算出したり、吐出孔２２Ａから吐出された飛翔中の液体を側方から高速度カメラで撮像しその撮像画像から飛翔中の液体の直径を求め、この直径に基づいて吐出量を算出することができる。

(C)前述(A)、(B)に基づき、ヘッド２０を構成する各ノズル２２の吐出孔２２Ａの孔長Ｌを互いに調整することにより、各ノズル２２の吐出量の均等化を図る。

即ち、ヘッド２０の各ノズル２２について得た前述(B)の吐出量のバラツキ結果に対し、前述(A)ではノズル２２の吐出孔２２Ａの孔長Ｌが長いときには吐出量を減じ、短いときには吐出量を増す関係があることが認められている。そこで、ライン状に配列された１番〜５番のノズル２２のうちで、両端側の１番、５番のノズル２２の吐出孔２２Ａの孔長Ｌを図７（Ａ）に示した孔長の1.2倍に長く（図６より、吐出量Ｋを10％減ずる調整）、中央の３番のノズル２２の吐出孔２２Ａの孔長Ｌを図７（Ａ）に示した孔長の0.8倍に短く（図６より、吐出量Ｋを10％増す調整）設定する。これにより、両端側の１番、５番のノズル２２の吐出量を押し下げて減じ、中央の３番のノズル２２の吐出量を引き上げて増し、１番〜５番の全ノズル２２の吐出量を概ね均等化できる（図７（Ｃ）の○印）。

例えば、この調整は、ヘッド２０のヘッド本体２０Ａを、図４に示したＶ−Ｖ線を境に上下に分割できるように構成し、ノズル２２が形成された下側のヘッド本体２０Ａを交換することで行なうと良い。即ち、下側のヘッド本体２０Ａを、図７（Ａ）に示した各ノズル２２の吐出孔２２Ａの孔長Ｌが同一に形成されたものから図７（Ｂ）に示した吐出孔２２Ａの孔長Ｌをノズル２２の位置に応じて違えて形成したものに交換する。

図７（Ａ）の従来のヘッド２０にあっては、全ノズル２２の間の吐出量のバラツキが±10％であったのに対し、図７（Ｂ）の本発明のヘッド２０によりそれらの全ノズル２２の間の吐出量のバラツキを±1％程度に概ね均等化できる。この±1％程度の吐出量のバラツキは各ノズル２２のピエゾ素子２４への印加電圧の調整によって均等化する。この印加電圧の調整は、比較的容量の小さな可変抵抗器によって行なうことができる。

尚、ここで、各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量分布を得るに際し、各吐出孔２２Ａからの吐出量の平均値に最も近い吐出量が得られた吐出孔２２Ａからの吐出量を基準として選択したが、各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量のうち最も多い吐出量が得られた吐出孔２２Ａからの吐出量を基準（基準吐出量）とし、他の吐出孔２２Ａからの吐出量が基準吐出量となるように他の吐出孔２２Ａの孔長Ｌを調整するようにしても良い。このようにした場合、各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量を上記実施例によって調整されたノズル２２の吐出孔２２Ａに比べて多くすることができるので、基板に一定の膜厚を塗布するに要する処理時間を短縮することができる。

また上述の他、各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量のうち最大値と最小値の中央の値の吐出量に最も近い吐出量が得られた吐出孔２２Ａからの吐出量を基準として選択しても良く、或いは、各ノズル２２の吐出孔２２Ａから吐出されるべき吐出量を予め設定しておきそれを基準吐出量としたり、各吐出孔２２Ａからの吐出量の平均値を基準吐出量としたり、更には各ノズル２２の吐出孔２２Ａからの吐出量のうち最大値と最小値の中央の値の吐出量を基準吐出量としても良い。

本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)ノズル２２の吐出孔２２Ａの孔長Ｌと吐出量Ｋの間には予め取得できる一定の関係（例えば図６）がある。そこで、相並ぶ複数のノズル２２それぞれの吐出量Ｋのバラツキ傾向を事前に把握し、このバラツキを各ノズル２２における吐出孔２２Ａの孔長Ｌを変えることで概ね均等化できる。従って、処理時間が増大することを防止しつつ塗布精度を向上させることができる。

(b)孔長Ｌは穿孔機の工具の追い込み量（切削深さ）で決まるから、単一の工具によりノズル２２の吐出孔２２Ａにあらゆる孔長Ｌを形成できる。従って、複数のノズル２２の吐出孔２２Ａの加工を容易に行なうことができる。

(c)同一ヘッド２０内の各ノズル２２の吐出孔２２Ａについてそれらの孔長Ｌを互いに変更するとき、同一の工具によって対応できるから、工作機械への工具の付け替えがない。このため、各ノズル２２の吐出孔２２Ａの加工位置精度（孔間隔等）が低下することが防止できる。これにより、吐出孔２２Ａの孔間隔のばらつきを極力抑えることができるので、液体を基板１上に所定のピッチ間隔で精度良く塗布することができ、例えば液晶表示装置のガラス基板上に配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する場合、膜厚を均一にでき基板１上に形成される機能性薄膜の品質を向上させることができる。よって、液晶表示装置の色ムラや明るさムラ等の表示ムラが防止でき表示品質を向上させることができる。

(d)同一ヘッド２０内のノズル２２間で生じている吐出量Ｋの大きなバラツキを上述(a)の如くに概ね均等化できるから、バラツキの微調整だけをピエゾ素子２４への印加電圧の調整により対応できる。各ノズル２２毎のピエゾ素子２４への印加電圧の調整範囲は狭くて足り、各ピエゾ素子２４の給電回路に設けるべき可変抵抗器は容量の小さい微調整が行なえるものを用いることができ、かつ単一仕様化でき、多種類の抵抗器を用意する必要がなくなる。このように抵抗器の容量を単一仕様化できることから、ヘッドの保守管理作業の効率向上が図ることができ、ひいては装置の稼働率を向上させることができる。

(e)ノズル２２の吐出量Ｋの均等化をピエゾ素子２４への印加電圧の調整のみによって行なうものでないから、ピエゾ素子２４への許容最大印加電圧に制約されずに、吐出孔２２Ａの孔長Ｌの調整によってノズル２２の吐出量Ｋを増減することができる。全ノズル２２の吐出量Ｋを簡易に上げることができ、塗布装置１０において一定の膜厚を塗布するに必要な処理時間を短くできる。

(f)インクジェットヘッド２０において上述(a)〜(e)を実現できる。尚、エネルギ発生素子としては、ピエゾ素子２４の他、ヒータボード（発熱抵抗体）等であっても良い。

以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、上記実施例では、ノズルを一列のライン状に配列した例を示したが、これに限らず、複数列或いは千鳥状に配置するものであっても良い。

また、ライン状に配列した複数のノズルにおける吐出孔の孔長を中央側から端側にいくにつれて次第に長くなるように調整した例で説明したが、要は、各ノズルの吐出孔からの吐出量が均一になるように吐出孔の孔長を調整すれば良い。従って、ライン状に配列された複数のノズルを所定数ずつのブロックに分け、ブロック毎に吐出孔の孔長を変えるように調整しても良い。

また、ライン状に配列されたノズルを単一の主管に接続し、この主管を介して供給タンクから供給される液体を各ノズルの吐出室に供給する例を示したが、液体を供給タンクから各ノズルの吐出室に個別に供給するようにしても良い。

また、ライン状に配列されたノズルを単一の主管に接続し、この主管の一端側から供給される液体を各ノズルの吐出室に供給する構造のヘッドにおいては、各ノズルから吐出される液体の吐出量が、図７（Ｃ）に●印で示すように、両端側のノズルに比べ中央側のノズルで少なくなる傾向を示すことが実験の結果から得られている。

そこで、このような構造のヘッドを用いるときには、図７（Ｂ）に示すように、ライン状に配列されたノズルのうちで両端側のノズルの吐出孔の孔長を中央側のノズルの吐出孔の孔長よりも長くなるように予め形成しておくと良い。

このようにした場合にも、ヘッドにおける複数のノズルそれぞれからの吐出量を概ね均等化できる。従って、例えば、液晶表示装置のガラス基板上に配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する場合には、その表示品質を向上させることができる。

また、ノズルの吐出孔の孔長の調整を工具による加工で行なう例で説明したが、他の手段を用いて調整するようにしても良い。

例えば、図８に示すように、孔長ＬがＬ1、Ｌ2、Ｌ3の吐出孔２２Ａを備えた同一外形状の円筒形をした３種類の駒２５を用意する。一方、ヘッド本体２０Ａには、駒２５を嵌め込むための凹部２０Ｂを駒２５に対応する形状で形成しておく。そして、この凹部２０Ｂに３種類の駒２５を選択的に嵌め込むことで、吐出孔２２Ａの孔長を調整する。

また、凹部２０Ｂに対する駒２５の固定は、凹部２０Ｂの内側面に雌ねじ部を形成するとともに駒２５の外側面に前記雌ねじ部に対応する雄ねじ部を形成することで駒２５をねじ込み式にしておけば、単に嵌め込み式とするよりも、固定を確実にすることができるとともに着脱を容易に行なうことが可能となる。

尚、駒２５は３種類、即ち、吐出孔２２Ａの孔長は３種類に限らず、それ以上であっても良い。

また、各ノズル間での吐出孔からの吐出量のバラツキは、許容値内にあれば良いので、基準吐出量に対して吐出量が許容値内にある吐出孔については孔長を調整する必要はない。

また、一のヘッドの複数のノズルについて吐出孔の孔長を調整する例で説明したが、複数のヘッドの全てのノズルの吐出孔からの吐出量が均一になるように各吐出孔の孔長を調整するようにしても良い。即ち、ヘッドが複数ある場合、全てのヘッドの各ノズルの吐出孔からの吐出量を実測し、その平均値をもとに各ノズルの吐出孔の孔長を調整し、全てのヘッドの各ノズルの吐出孔からの吐出量が許容されるバラツキの範囲に収まるようにする。

また、ノズルの吐出孔の孔長を調整することにより、各ノズルからの液体の吐出量を均等にする例で説明したが、吐出孔の孔径を調整することにより、各ノズルからの液体の吐出量を均等にするようにしても良い。

ここで、吐出孔からの液体の吐出量は、吐出孔の孔長を一定とすれば、孔径の大きさに比例して増減する傾向を有する。従って、吐出孔の孔径を調整することにより、各ノズルからの液体の吐出量を均等にする場合には、吐出量が少ないノズルの吐出孔の孔径を大きく、吐出量が多いノズルの吐出孔の孔径を小さくするように調整すれば良い。例えば、図７（Ｃ）に●印で示した吐出量分布を示すヘッドにおいては、１番、５番のノズルの吐出孔の孔径を２番、４番のノズルの吐出孔の孔径よりも小さく調整し、３番のノズルの吐出孔の孔径を２番、４番のノズルの吐出孔の孔径よりも大きく調整することで、１〜５番のノズルからの液体の吐出量を均等化することができる。

また、一つのヘッドのノズル数は説明上５つとしたがそれ以上であっても構わない。

図１は塗布装置を示す正面図である。図２は図１の側面図である。図３はインクジェットヘッドを示す正面図である。図４はインクジェットヘッドを示す断面図である。図５は図４のＶ-Ｖ線に沿う矢視平面図である。図６はノズルの吐出孔の孔長の変化に対する吐出量の増減の関係を示す線図である。図７はインクジェットヘッドを示し、（Ａ）は従来ヘッドを示す正面図、（Ｂ）は本発明ヘッドを示す正面図、（Ｃ）は各ノズルの吐出量分布を示す線図である。図８はノズルの吐出孔の孔長の調整手段の他の例を示す断面図である。

符号の説明

１基板
１０塗布装置
２０ヘッド
２１主管
２２ノズル
２２Ａ吐出孔
２２Ｂ吐出室
２４ピエゾ素子（エネルギ発生素子）

Claims

相並ぶ複数のノズルから吐出される液体を基板に塗布するインクジェット塗布方法において、
各ノズルの吐出孔の孔径又は孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの前記液体の吐出量を均等にすることを特徴とするインクジェット塗布方法。
各ノズルの吐出孔の孔径を互いに同一にし、孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの液体の吐出量を均等にする請求項１に記載のインクジェット塗布方法。
前記相並ぶ複数のノズルをライン状に配列し、各ノズルのそれぞれを一端側から液体が供給される単一の主管の一端側から他端側に渡る長手方向の各位置に接続し、ライン状に配列されたノズルのうちで両端側のノズルの吐出孔の孔長を中央側のノズルの吐出孔の孔長より長く設定する請求項２に記載のインクジェット塗布方法。
相並ぶ複数のノズルによってヘッドを構成し、各ノズルから吐出される液体を基板に塗布するインクジェット塗布装置において、
各ノズルの吐出孔の孔径又は孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの前記液体の吐出量を均等にすることを特徴とするインクジェット塗布装置。
各ノズルの吐出孔の孔径を互いに同一にし、孔長を互いに調整することにより、各ノズルからの液体の吐出量を均等にする請求項４に記載のインクジェット塗布装置。
前記ヘッドの相並ぶ複数のノズルをライン状に配列し、各ノズルのそれぞれを一端側から液体が供給される単一の主管の一端側から他端側に渡る長手方向の各位置に接続し、ライン状に配列されたノズルのうちで両端側のノズルの吐出孔の孔長を中央側のノズルの吐出孔の孔長より長く設定する請求項５に記載のインクジェット塗布装置。