KR101730506B1

KR101730506B1 - 액상의 막재료의 토출장치

Info

Publication number: KR101730506B1
Application number: KR1020140168741A
Authority: KR
Inventors: 쥰 니시마키
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2014-03-11
Filing date: 2014-11-28
Publication date: 2017-04-26
Also published as: CN104907222B; TW201534401A; JP2015170831A; CN104907222A; KR20150106323A; JP6436634B2; TWI558468B

Abstract

배관을 길게 하지 않고, 막재료를 충분히 가열할 수 있는 토출장치를 제공한다.
제1 탱크가, 그 중의 액면이 소정의 높이를 넘으면, 내부의 액상의 막재료가 흘러넘치도록 구성되어 있다. 제1 탱크 내에 히터가 배치되어 있고, 제1 탱크의 측면과 히터에 의하여 가열유로가 획정되어 있다. 제1 경로가, 가열유로의 하단으로부터 가열유로에 액상의 막재료를 공급한다. 노즐헤드에, 액상의 막재료를 토출하는 복수의 노즐구멍이 마련되어 있다. 제2 경로가, 제1 탱크로부터 흘러넘친 막재료를, 노즐헤드까지 수송한다.

Description

액상의 막재료의 토출장치{Discharging device of liquid film material}

본 출원은, 2014년 3월 11일에 출원된 일본 특허출원 제2014-047141호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.

본 발명은, 액상의 막재료를 노즐구멍으로부터 토출하는 토출장치에 관한 것이다.

노즐헤드로부터 막재료의 액적을 토출하여, 기판의 표면에, 소정의 패턴을 가지는 막을 형성하는 기술이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1). 막을 형성해야 하는 기판은, 예를 들면 프린트기판, 두꺼운 구리기판 등이다. 프린트기판에 형성되는 막은, 예를 들면 솔더레지스트이며, 두꺼운 구리기판에 형성되는 막은, 예를 들면 두꺼운 구리패턴의 사이에 배치되는 절연막이다.

액상의 막재료는, 순환장치로부터 재료공급용의 배관을 지나 노즐헤드에 공급되고, 여분의 막재료가, 재료회수용의 배관을 지나 순환장치에 회수된다. 노즐헤드로부터 액적을 안정적으로 토출하기 위하여, 막재료를 가열하여, 막재료의 점도를 저하시키는 것이 바람직하다. 하기의 특허문헌 2에, 막재료를 저장하고 있는 탱크로부터 노즐헤드까지의 배관을 가열함으로써, 막재료의 점도의 저하를 방지하는 기판제조장치가 개시되어 있다.

선행기술문헌

(특허문헌)

특허문헌 1: 일본공개특허공보 2004-104104호

특허문헌 2: 국제공개공보 제2013/015093호

탱크로부터 노즐헤드까지의 배관에서 액상의 막재료를 가열해도, 노즐헤드에 막재료가 장시간 체류하면, 막재료의 온도가 저하되어 버린다. 노즐헤드 내에서의 체류시간을 짧게 하기 위하여, 막재료의 유량을 많게 하는 것이 바람직하다. 그런데, 유량이 많아지면, 배관 내에서의 유속이 빨라져, 막재료가 배관 내에서 가열되는 시간이 짧아진다. 충분한 가열시간을 확보하기 위해서는, 배관을 길게 해야 한다.

본 발명의 목적은, 배관을 길게 하지 않고, 막재료를 충분히 가열할 수 있는 토출장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 관점에 의하면,

액면이 소정의 높이를 넘으면, 내부의 액상의 막재료가 흘러넘치도록 구성된 제1 탱크와,

상기 제1 탱크 내에 배치된 히터로서, 상기 제1 탱크의 측면과 상기 히터에 의하여 가열유로를 획정하는 상기 히터와,

상기 가열유로의 하단으로부터 상기 가열유로에 액상의 막재료를 공급하는 제1 경로와,

액상의 상기 막재료를 토출하는 복수의 노즐구멍이 마련된 노즐헤드와,

상기 제1 탱크로부터 흘러넘친 상기 막재료를, 상기 노즐헤드까지 수송하는 제2 경로를 가지는 토출장치가 제공된다.

제1 탱크 내에 히터를 배치하여 가열유로를 획정함으로써, 제1 탱크 내에서 막재료를 가열할 수 있다. 이로 인하여, 배관을 길게 하지 않고, 충분한 가열을 행하는 것이 가능해진다.

도 1은 실시예에 의한 토출장치의 개략도이다.
도 2는 실시예에 의한 토출장치의, 막재료의 순환경로의 개략도이다.
도 3은 공급탱크의 평단면도이다.
도 4는, 도 3의 일점쇄선 4-4에 있어서의 단면도이다.
도 5는, 도 3의 일점쇄선 5-5에 있어서의 단면도이다.
도 6은, 다른 실시예에 의한 토출장치의, 막재료의 순환경로의 개략도이다.
도 7은, 또 다른 실시예에 의한 토출장치의, 막재료의 순환경로의 개략도이다.

도 1에, 실시예에 의한 토출장치의 개략도를 나타낸다. 기대(基臺)(10)에, 이동기구(11)에 의하여 스테이지(13)가 지지되어 있다. xy면을 수평면으로 하고, 연직상방을 z축의 플러스방향으로 하는 xyz직교좌표계를 정의한다. 스테이지(13)는, x방향 및 y방향으로 이동 가능하다. 스테이지(13) 상에, 막을 형성하는 대상물인 기판(15)이 지지된다. 기판(15)은, 예를 들면 솔더레지스트를 형성하는 대상의 프린트기판, 두꺼운 구리기판을 형성하기 위한 베이스가 되는 지지기판 등이다. 기판(15)이 스테이지(13)에 흡착된다.

노즐헤드(20)가, 지지 플레이트(21)에 의하여, 스테이지(13)의 상방에 지지되어 있다. 노즐헤드(20)는, 스테이지(13)에 지지된 기판(15)을 향하여, 액상의 막재료를 액적화하여 토출한다. 막재료에는, 예를 들면 광경화성의 수지가 이용된다. 도 1에는 나타나 있지 않지만, 지지 플레이트(21)에, 막재료를 경화시키기 위한 경화용 광원이 장착되어 있다. 막재료에, 자외선 경화성 수지가 이용되는 경우에는, 경화용 광원은, 기판(15)을 향하여 자외광을 방사한다.

제어장치(16)가, 형성해야 하는 막의 패턴을 정의하는 화상 데이터를 기억하고 있다. 제어장치(16)는, 이 화상 데이터에 근거하여, 이동기구(11)에 의한 기판(15)의 이동제어, 및 노즐헤드(20)로부터의 막재료의 토출의 타이밍 제어를 행한다. 이로써, 기판(15)에, 화상 데이터로 정의된 패턴을 가지는 막이 형성된다.

제1 경로(23), 공급탱크(30), 제2 경로(24), 노즐헤드(20), 제3 경로(25), 및 회수측 버퍼탱크(40)를 경유하여 제1 경로(23)로 돌아오는 순환경로가 형성되어 있다. 제1 경로(23)를 지나 공급탱크(30)에 액상의 막재료가 공급된다.

공급탱크(30)는, 제1 탱크(31), 제2 탱크(32), 및 제3 탱크(33)를 포함한다. 공급탱크(30)에 공급된 막재료는, 제1 탱크(31)의 하단으로부터 제1 탱크(31) 내에 도입된다. 막재료는, 제1 탱크(31) 내를 상방으로 수송되는 동안에 가열된다. 제1 탱크(31)로부터 흘러넘친 막재료가, 제2 탱크(32)에 유입된다. 제2 탱크(32) 내의 막재료가, 제2 경로(24)를 지나 노즐헤드(20)에 공급된다. 제2 탱크(32)로부터 흘러넘친 막재료가 제3 탱크(33)에 유입된다.

공급탱크(30)에 에어밸브(35)가 장착되어 있다. 에어밸브(35)를 개방하면, 공급탱크(30) 내가 대기압상태가 된다. 에어밸브(35)를 폐쇄하면, 공급탱크(30) 내가 밀폐상태가 된다. 이로써, 공급탱크(30) 내를 가감압하는 것이 가능해진다.

노즐헤드(20)로부터 토출되지 않았던 막재료가, 제3 경로(25)를 지나 회수측 버퍼탱크(40)에 회수된다. 제1 경로(23)는, 회수측 버퍼탱크(40) 내의 막재료를 공급탱크(30)로 되돌린다. 제1 경로(23)에, 회수측 버퍼탱크(40)로부터 공급탱크(30)를 향하여, 환류펌프(26), 제3 탱크(33), 및 오버플로우 펌프(27)가 이 순서로 삽입되어 있다. 회수측 버퍼탱크(40)는, 막재료를 수용하는 밀폐공간을 획정하고 있어, 밀폐공간 내에 막재료를 일시적으로 저장한다. 이로써, 회수측 버퍼탱크(40)는, 환류펌프(26)에 기인하는 맥동이 노즐헤드(20)까지 전반하는 것을 방지한다.

보급탱크(42)로부터, 삼방밸브(43)를 통하여 제1 경로(23)에, 막재료가 보급된다. 삼방밸브(43)는, 통상은, 보급탱크(42)로부터 제1 경로(23)에 막재료를 보급하는 경로를 차단하고 있다. 막재료의 보급 시에는, 보급탱크(42)로부터 제1 경로(23)에 막재료를 보급하는 경로를 개방한다.

도 2에, 막재료의 순환경로의 개략도를 나타낸다. 제1 경로(23)를 지나 공급탱크(30)에 공급된 막재료가, 공급탱크(30) 내의 제1 경로(23)를 지나 공급탱크(30)의 바닥부까지 수송된 후, 제1 탱크(31)의 하단으로부터 제1 탱크(31) 내에 도입된다. 제1 탱크(31) 내에 히터(34)가 수용되어 있다. 제1 탱크(31)의 측면과 히터(34)와의 사이에, 가열유로(36)가 획정되어 있다. 제1 탱크(31) 내의 막재료의 액면이 소정의 높이를 넘으면, 막재료가 제1 탱크(31)로부터 흘러넘친다.

제1 탱크(31) 내에 도입된 막재료는, 가열유로(36)를 하방으로부터 상방을 향하여 흐르는 동안에, 히터(34)에 의하여 가열된다. 가열된 후, 제1 탱크(31)로부터 흘러넘친 막재료가, 제2 탱크(32)에 유입된다.

제2 탱크(32)의 바닥면에, 제2 경로(24)의 상류단이 접속되어 있다. 제2 탱크(32) 내의 막재료가, 제2 경로(24)를 지나 노즐헤드(20)에 공급된다. 제2 경로(24)는, 단열커버(28)로 덮여 있다. 이로 인하여, 막재료가 제2 탱크(32)로부터 노즐헤드(20)에 수송될 때까지의 기간에 있어서의 온도의 저하를 억제할 수 있다. 다만, 단열커버(28)에 더하여, 또는 단열커버(28) 대신에, 히터를 배치해도 된다.

제2 탱크(32) 내의 막재료의 액면이 소정의 높이(유출높이)를 넘으면, 막재료가 제2 탱크(32)로부터 흘러넘친다. 제2 탱크(32)로부터 흘러넘친 막재료가 제3 탱크(33)에 유입된다.

공급탱크(30)의 상면에 에어밸브(35)가 장착되어 있다. 에어밸브(35)를 개방한 상태에서는, 제1 탱크(31), 제2 탱크(32), 및 제3 탱크(33) 내의 막재료의 액면에 대기압이 인가된다. 에어밸브(35)를 폐쇄하면, 공급탱크(30) 내가 밀폐된 상태가 된다. 이로 인하여, 오버플로우 펌프(27)와 환류펌프(26)와의 유량에 의하여, 공급탱크(30)의 내압이 변동한다. 본 실시예에서는, 에어밸브(35)가 개방되어 있어, 제1 탱크(31), 제2 탱크(32), 및 제3 탱크(33) 내의 막재료의 액면에 대기압이 인가되어 있다.

노즐헤드(20)의 바닥면에 복수의 노즐구멍(22)이 마련되어 있다. 노즐구멍(22)으로부터 막재료가 액적화되어 토출된다.

제2 탱크(32)로부터 노즐헤드(20)에 공급되는 막재료의 유량보다, 제1 경로(23)로부터 제1 탱크(31)에 공급되는 막재료의 유량이 많아지도록, 오버플로우 펌프(27) 및 환류펌프(26)가 유량제어되고 있다. 이로 인하여, 막재료가, 제2 탱크(32)로부터 제3 탱크(33)로 상시 흘러넘치고 있어, 제2 탱크(32) 내의 막재료의 액면의 높이가 일정하게 유지된다. 제2 탱크(32) 내의 막재료의 액면에는 대기압이 인가되어 있기 때문에, 노즐구멍(22)의 위치에, 노즐구멍(22)으로부터 제2 탱크(32) 내의 막재료의 액면까지의 고저차(h)에 의존하는 수두압이 더해진다. 고저차(h)를 조절함으로써, 노즐구멍(22)의 위치에 있어서의 막재료의 압력을 조정할 수 있다.

도 3에, 공급탱크(30)의 평단면도를 나타낸다. 외측용기(50) 내에, 중간용기(51)가 수용되고, 중간용기(51) 내에, 내측용기(52)가 수용되어 있다. 외측용기(50)의 내측의 표면과, 중간용기(51)의 외측의 표면과의 사이에 공간이 확보되어 있다. 이 공간이 제3 탱크(33)에 상당한다. 중간용기(51)의 측면의 내측의 표면과, 내측용기(52)의 측면의 외측의 표면과의 사이에 공간이 확보되어 있다. 이 공간이, 제2 탱크(32)에 상당한다. 내측용기(52) 내의 공간이, 제1 탱크(31)(도 2)에 상당한다.

내측용기(52) 내에 히터(34) 및 관로부재(55)가 수용되어 있다. 관로부재(55) 내에, 제1 경로(23)(도 2)의 일부를 구성하는 유로가 마련되어 있다. 히터(34)는, 전열블록(37) 및 발열체(38)를 포함한다. 전열블록(37)은, 중심부재(37A), 및 중심부재(37A)로부터 측방으로 뻗는 복수의 방열핀(37B)을 포함한다. 중심부재(37A)에 복수의 발열체 수용부, 예를 들면 오목부가 형성되어 있고, 이 오목부에, 각각 발열체(38)가 삽입되어 있다.

방열핀(37B)의 선단이, 내측용기(52)의 측면에 접촉하고 있다. 서로 인접하는 방열핀(37B), 중심부재(37A), 및 내측용기(52)의 측면으로 둘러싸인 공간이, 가열유로(36)(도 2)에 상당한다.

도 4에, 도 3의 일점쇄선 4-4에 있어서의 단면도를 나타낸다. 외측용기(50) 내에 중간용기(51)가 수용되고, 중간용기(51) 내에 내측용기(52)가 수용되어 있다. 외측용기(50)와 중간용기(51)에 의하여, 제3 탱크(33)가 획정된다. 중간용기(51)와 내측용기(52)에 의하여, 제2 탱크(32)가 획정된다.

외측용기(50)의 바닥면에 배출구(57)가 마련되고, 측면에 유입구(58)가 마련되어 있다. 회수측 버퍼탱크(40)(도 2)로부터, 제1 경로(23), 환류펌프(26)(도 2), 및 유입구(58)를 지나, 제3 탱크(33)에 막재료가 회수된다. 제3 탱크(33) 내의 막재료가, 배출구(57), 제1 경로(23), 및 오버플로우 펌프(27)(도 2)를 지나, 공급탱크(30)로 되돌려진다.

중간용기(51)의 바닥면에 배출구(59)가 마련되어 있다. 배출구(59)는, 외측용기(50)의 바닥면을 관통하여, 공급탱크(30)의 외측까지 돌출되어 있다. 제2 탱크(32) 내의 막재료가, 배출구(59) 및 제2 경로(24)를 지나, 노즐헤드(20)(도 2)에 공급된다.

내측용기(52)의 적어도 1개의 측면 및 바닥면을 따라, 관로부재(55)가 배치되어 있다. 관로부재(55)의 내부에 형성된 유로가, 제1 경로(23)의 일부분을 구성한다. 내측용기(52) 내의 잔여 공간에, 제1 탱크(31)가 획정된다. 제1 탱크(31) 내에, 전열블록(37)이 수용되어 있다. 전열블록(37)에 형성된 복수의 발열체 수용부에, 각각 발열체(38)가 삽입되어 있다.

관로부재(55)의 내부에 형성된 제1 경로(23)가, 내측용기(52)의 측면을 따르는 부분의 상단으로부터, 내측용기(52)의 바닥면을 따르는 부분까지 뻗는다. 외측용기(50)의 상방의 개구부가, 덮개(53)로 막혀 있다. 덮개(53)에 도입구(60)가 형성되어 있다. 공급탱크(30)의 외측의 제1 경로(23)가, 도입구(60)를 통하여, 관로부재(55)의 내부의 제1 경로(23)에 연결된다.

관로부재(55)의, 바닥면을 따르는 부분에, 제1 경로(23) 내의 막재료를 제1 탱크(31)에 유입시키는 분출구(29)가 형성되어 있다. 도입구(60)로부터, 관로부재(55)의 내부의 제1 경로(23)에 유입된 막재료가, 분출구(29)로부터 제1 탱크(31) 내에 도입된다.

도 5에, 도 3의 일점쇄선 5-5에 있어서의 단면도를 나타낸다. 외측용기(50) 내에 중간용기(51)가 수용되고, 중간용기(51) 내에 내측용기(52)가 수용되어 있다. 외측용기(50)와 중간용기(51)와의 사이에 제3 탱크(33)가 획정되어 있다. 중간용기(51)와 내측용기(52)와의 사이에 제2 탱크(32)가 획정되어 있다. 내측용기(52)의 바닥면에, 관로부재(55)가 배치되어 있다. 관로부재(55)의 내부에 형성된 제1 경로(23)로부터, 분출구(29)를 통하여 제1 탱크(31) 내에 막재료가 도입된다.

내측용기(52) 내에 히터(34)가 수용되어 있다. 히터(34)와 내측용기(52)와의 사이에, 가열유로(36)가 획정된다. 분출구(29)로부터 제1 탱크(31) 내에 도입된 막재료는, 가열유로(36)를 상방으로 향하여 흐른다. 이 때, 막재료가 히터(34)에 의하여 가열된다. 가열유로(36)를 상방으로 향하여 흐른 막재료는, 내측용기(52)의 측면의 상단으로부터 흘러넘쳐, 제2 탱크(32)에 유입된다.

제2 탱크(32) 내의 막재료는, 배출구(59)로부터 제2 경로(24)에 유출된다. 또한, 일부의 막재료는, 중간용기(51)의 측면의 상단으로부터 흘러넘쳐, 제3 탱크(33)에 유입된다. 중간용기(51)의 측면의 높이에 의하여, 제2 탱크(32) 내의 막재료의 액면의 높이가 규정된다. 제3 탱크(33)에 유입된 막재료는, 배출구(57)를 지나 제1 경로(23)에 유출된다.

도 1~도 5에 나타낸 실시예에서는, 가열유로(36)의 유로단면이, 제1 경로(23), 제2 경로(24)의 유로단면보다 크다. 이로 인하여, 가열유로(36) 내의 막재료의 유속이, 제1 경로(23) 및 제2 경로(24) 내의 막재료의 유속보다 늦어진다. 이로써, 막재료를 목표온도까지 가열하기 위한 충분한 시간을 확보할 수 있다. 튜브히터를 이용하여 동등한 가열시간을 확보하기 위해서는, 튜브히터를, 가열유로(36)보다 길게 해야 한다. 상기 실시예에서는, 가열유로(36)를 짧게 할 수 있기 때문에, 막재료를 가열하기 위한 가열기구의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 노즐구멍(22)(도 2)의 위치에 있어서의 막재료의 압력 중 수두압이, 노즐구멍(22)으로부터, 제2 탱크(32) 내의 막재료의 액면까지의 높이에 의존한다. 이로 인하여, 막재료가 제2 탱크(32)로부터 흘러넘치는 상태가 유지되고 있다는 조건하에서, 순환하는 막재료의 총량이 증감해도, 노즐구멍(22)의 위치에 있어서의 막재료의 압력 중 수두압을 일정하게 유지할 수 있다.

다음으로, 도 6을 참조하여, 다른 실시예에 대하여 설명한다. 이하, 도 1~도 5에 나타낸 실시예와의 차이점에 대하여 설명하고, 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.

도 6에, 막재료의 순환경로의 개략도를 나타낸다. 본 실시예에 있어서는, 에어밸브(35)가 폐쇄되어 있다. 이로 인하여, 공급탱크(30)가 밀폐되어 있다. 제1 압력센서(70)가 제2 경로(24) 내의 막재료의 압력을 측정한다. 제2 압력센서(71)가, 제3 경로(25) 내의 막재료의 압력을 측정한다. 제1 압력센서(70) 및 제2 압력센서(71)의 측정결과가 제어장치(75)에 입력된다.

공급탱크(30)가 밀폐되어 있기 때문에, 오버플로우 펌프(27)에 의하여 공급탱크(30)에 이송되는 막재료의 양, 즉 제2 탱크(32)로부터 제3 탱크(33)로 흘러넘치는 막재료의 양과, 환류펌프(26)로부터 제3 탱크(33)에 이송되는 막재료의 양과의 합계에 근거하여, 제2 탱크(32)의 액면에 작용하는 압력(공급탱크(30)의 내압)이 결정된다. 이와 같이, 오버플로우 펌프(27)와 환류펌프(26)와의 유량을 제어함으로써, 공급탱크(30)의 내압을 조정할 수 있다.

제어장치(75)는, 제1 압력센서(70)의 측정결과와, 제2 압력센서(71)의 측정결과와의 차가 허용범위에 들어가도록, 오버플로우 펌프(27) 및 환류펌프(26)의 유량제어를 행한다. 제1 압력센서(70)의 측정결과와, 제2 압력센서(71)의 측정결과와의 차를 허용범위에 넣음으로써, 노즐구멍(22)의 위치에 있어서의 막재료의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.

도 6에 나타낸 실시예에서는, 노즐구멍(22)의 위치에 있어서의 막재료의 압력을 일정하게 하기 위하여, 도 2에 나타낸 노즐구멍(22)과, 제2 탱크(32) 내의 막재료의 액면과의 고저차(h)에 의존하는 수두압을 이용하고 있지 않다.

다음으로, 도 7을 참조하여, 또 다른 실시예에 대하여 설명한다. 이하, 도 1~도 5에 나타낸 실시예와의 차이점에 대하여 설명하고, 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략한다.

도 7에, 막재료의 순환경로의 개략도를 나타낸다. 본 실시예에 있어서는, 제2 경로(24)에, 제1 탱크(31)로부터 노즐헤드(20)를 향하여, 공급펌프(72) 및 공급측 버퍼탱크(73)가 이 순서로 삽입되어 있다. 제1 압력센서(70)가, 공급측 버퍼탱크(73)와 노즐헤드(20)와의 사이의 제2 경로(24) 내의 막재료의 압력을 측정한다. 제2 압력센서(71)가, 제3 경로(25) 내의 막재료의 압력을 측정한다. 제1 압력센서(70) 및 제2 압력센서(71)의 측정결과가 제어장치(75)에 입력된다. 공급측 버퍼탱크(73)는, 공급펌프(72)의 맥동이 노즐헤드(20)까지 전반하는 것을 방지한다.

제어장치(75)는, 제1 압력센서(70)의 측정결과와, 제2 압력센서(71)의 측정결과와의 차가 허용범위에 들어가도록, 환류펌프(26) 및 공급펌프(72)의 유량제어를 행한다. 제1 압력센서(70)의 측정결과와, 제2 압력센서(71)의 측정결과와의 차를 허용범위에 넣음으로써, 노즐구멍(22)의 위치에 있어서의 막재료의 압력을 일정하게 유지할 수 있다. 도 7에 나타낸 실시예에 있어서도, 도 6에 나타낸 실시예와 마찬가지로, 노즐구멍(22)의 위치에 있어서의 막재료의 압력을 일정하게 하기 위하여, 도 2에 나타낸 노즐구멍(22)과 막재료의 액면과의 고저차(h)에 의존하는 수두압을 이용하고 있지 않다. 이로 인하여, 막재료를 제2 탱크(32)로부터 흘러넘치게 할 필요는 없다. 도 7에 나타낸 실시예에서는, 노즐구멍(22)의 위치에 있어서의 막재료의 압력을 일정하게 하기 위하여, 공급탱크(30)의 내압을 이용하고 있지 않다. 이로 인하여, 에어밸브(35)는 개방되어 있다.

이상 실시예에 따라 본 발명을 설명했지만, 본 발명은 이들에 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 다양한 변경, 개량, 조합 등이 가능한 것은 당업자에게 자명할 것이다.

10 기대
11 이동기구
13 스테이지
15 기판
16 제어장치
20 노즐헤드
21 지지 플레이트
22 노즐구멍
23 제1 경로
24 제2 경로
25 제3 경로
26 환류펌프
27 오버플로우 펌프
28 단열커버
29 분출구
30 공급탱크
31 제1 탱크
32 제2 탱크
33 제3 탱크
34 히터
35 에어밸브
36 가열유로
37 전열블록
37A 중심부재
37B 방열핀
38 발열체
40 회수측 버퍼탱크
42 보급탱크
43 삼방밸브
50 외측용기
51 중간용기
52 내측용기
53 덮개
55 관로부재
57 배출구
58 유입구
59 배출구
60 도입구
70 제1 압력센서
71 제2 압력센서
72 공급펌프
73 공급측 버퍼탱크
75 제어장치

Claims

액면이 소정의 높이를 넘으면, 내부의 액상의 막재료가 흘러넘치도록 구성된 제1 탱크와,
상기 제1 탱크 내에 배치된 히터로서, 상기 제1 탱크의 측면과 상기 히터에 의하여 가열유로를 획정하는 상기 히터와,
상기 가열유로의 하단으로부터 상기 가열유로에 액상의 막재료를 공급하는 제1 경로와,
액상의 상기 막재료를 토출하는 복수의 노즐구멍이 마련된 노즐헤드와,
상기 제1 탱크로부터 흘러넘친 상기 막재료를, 상기 노즐헤드까지 수송하는 제2 경로를 가지는 토출장치.
제 1 항에 있어서,
상기 히터는,
복수의 방열핀 및 발열체 수용부가 마련된 전열블록과,
상기 발열체 수용부에 수용된 발열체를 가지고,
상기 방열핀이, 상기 가열유로의 측면의 일부를 획정하는 토출장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 막재료를 일시적으로 저장하는 회수측 버퍼탱크와,
상기 노즐헤드 내의 상기 막재료를 상기 회수측 버퍼탱크까지 수송하는 제3 경로를 더욱 가지고,
상기 제1 경로는, 상기 회수측 버퍼탱크 내의 상기 막재료를 상기 제1 탱크까지 수송하는 토출장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제1 탱크로부터 흘러넘친 상기 막재료를 수용하고, 수용된 상기 막재료를 상기 제2 경로로 보내는 제2 탱크를, 더욱 가지고,
상기 제2 탱크는, 수용되는 상기 막재료의 액면이 유출높이를 넘으면, 상기 막재료가 상기 제2 탱크로부터 흘러넘치도록 구성되어 있으며,
상기 노즐구멍으로부터, 상기 제2 탱크의 상기 유출높이까지의 고저차에 의존하는 수두압이, 상기 노즐구멍의 위치의 상기 막재료에 가해져 있는 토출장치.
제 3 항에 있어서,
상기 제1 탱크로부터 흘러넘친 상기 막재료를 수용하고, 수용된 상기 막재료를 상기 제2 경로로 보내는 제2 탱크와,
내부가 밀폐되고, 밀폐된 공간에 상기 제1 탱크 및 상기 제2 탱크를 수용하는 용기와,
상기 제1 경로에, 상기 회수측 버퍼탱크로부터 상기 제1 탱크를 향하여 차례로 삽입된 환류펌프, 제3 탱크, 및 오버플로우 펌프와,
상기 제2 경로 내의 상기 막재료의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와,
상기 제3 경로 내의 상기 막재료의 압력을 측정하는 제2 압력 센서와,
상기 제1 압력 센서의 측정결과와, 상기 제2 압력 센서의 측정결과와의 차에 근거하여, 상기 차가 허용범위에 들어가도록, 상기 환류펌프 및 상기 오버플로우 펌프의 유량제어를 행하는 제어장치를 더욱 가지는 토출장치.
제 3 항에 있어서,
상기 제1 경로에 삽입된 환류펌프와,
상기 제2 경로에, 상기 제1 탱크로부터 상기 노즐헤드를 향하여 차례로 삽입된 공급펌프 및 공급측 버퍼탱크와,
상기 공급측 버퍼탱크와 상기 노즐헤드와의 사이의 상기 제2 경로 내의 상기 막재료의 압력을 측정하는 제1 압력 센서와,
상기 제3 경로 내의 상기 막재료의 압력을 측정하는 제2 압력 센서와,
상기 제1 압력 센서의 측정결과와, 상기 제2 압력 센서의 측정결과와의 차에 근거하여, 상기 차가 허용범위에 들어가도록, 상기 환류펌프 및 상기 공급펌프의 유량제어를 행하는 제어장치를 더욱 가지는 토출장치.
삭제