JP2015170831A - 液状の膜材料の吐出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
液面がある高さを越えると、内部の液状の膜材料が溢れるように構成された第1のタンクと、
前記第1のタンクの中に配置されたヒータであって、前記第1のタンクの側面と前記ヒータとによって加熱流路を画定する前記ヒータと、
前記加熱流路の下端から前記加熱流路に液状の膜材料を供給する第1の経路と、
液状の前記膜材料を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズルヘッドと、
前記第1のタンクから溢れた前記膜材料を、前記ノズルヘッドまで輸送する第2の経路と
を有する吐出装置が提供される。
ことが可能になる。
30に向かって、還流ポンプ26、第3のタンク33、及びオーバフローポンプ27がこの順番に挿入されている。回収側バッファタンク40は、膜材料を収容する密閉空間を画定しており、密閉空間内に膜材料を一時的に蓄える。これにより、回収側バッファタンク40は、還流ポンプ26に起因する脈動がノズルヘッド20まで伝搬することを防止する。
の位置における膜材料の圧力を調整することができる。
経路23に流入した膜部材が、噴出口29から第1のタンク31内に導入される。
11 移動機構
13 ステージ
15 基板
16 制御装置
20 ノズルヘッド
21 支持プレート
22 ノズル孔
23 第1の経路
24 第2の経路
25 第3の経路
26 還流ポンプ
27 オーバフローポンプ
28 断熱カバー
29 噴出口
30 供給タンク
31 第1のタンク
32 第2のタンク
33 第3のタンク
34 ヒータ
35 エアバルブ
36 加熱流路
37 伝熱ブロック
37A 中心部材
37B 放熱フィン
38 発熱体
40 回収側バッファタンク
42 補給タンク
43 三方弁
50 外側容器
51 中間容器
52 内側容器
53 蓋
55 管路部材
57 排出口
58 流入口
59 排出口
60 取入口
70 第1の圧力センサ
71 第2の圧力センサ
72 供給ポンプ
73 供給側バッファタンク
75 制御装置
Claims (6)
- 液面がある高さを越えると、内部の液状の膜材料が溢れるように構成された第1のタンクと、
前記第1のタンクの中に配置されたヒータであって、前記第1のタンクの側面と前記ヒータとによって加熱流路を画定する前記ヒータと、
前記加熱流路の下端から前記加熱流路に液状の膜材料を供給する第1の経路と、
液状の前記膜材料を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズルヘッドと、
前記第1のタンクから溢れた前記膜材料を、前記ノズルヘッドまで輸送する第2の経路と
を有する吐出装置。 - 前記ヒータは、
複数の放熱フィン及び発熱体収容部が設けられた伝熱ブロックと、
前記発熱体収容部に収容された発熱体と
を有し、
前記放熱フィンが、前記加熱流路の側面の一部を画定する請求項1に記載の吐出装置。 - さらに、
前記膜材料を一時的に蓄える回収側バッファタンクと、
前記ノズルヘッド内の前記膜材料を前記回収側バッファタンクまで輸送する第3の経路と
を有し、
前記第1の経路は、前記回収側バッファタンク内の前記膜材料を前記第1のタンクまで輸送する請求項1または2に記載の吐出装置。 - 前記第1のタンクから溢れた前記膜材料を収容し、収容された前記膜材料を前記第2の経路に送り出す第2のタンクを、さらに有し、
前記第2のタンクは、収容される前記膜材料の液面が流出高さを超えると、前記膜材料が前記第2のタンクから溢れるように構成されており、
前記ノズル孔から、前記第2のタンクの前記流出高さまでの高低差に依存する水頭圧が、前記ノズル孔の位置の前記膜材料に加わっている請求項1または2に記載の吐出装置。 - さらに、
内部が密閉され、密閉された空間に前記第1のタンク及び前記第2のタンクを収容する容器と、
前記第1の経路に、前記回収側バッファタンクから前記第1のタンクに向かって順番に挿入された還流ポンプ、第3のタンク、及びオーバフローポンプと、
前記第2の経路内の前記膜材料の圧力を測定する第1の圧力センサと、
前記第3の経路内の前記膜材料の圧力を測定する第2の圧力センサと、
前記第1の圧力センサの測定結果と、前記第2の圧力センサの測定結果との差に基づいて、前記差が許容範囲に収まるように、前記還流ポンプ及び前記オーバフローポンプの流量制御を行う制御装置と
を有する請求項3に記載の吐出装置。 - さらに、
前記第1の経路に挿入された還流ポンプと、
前記第2の経路に、前記第1のタンクから前記ノズルヘッドに向かって順番に挿入された供給ポンプ及び供給側バッファタンクと、
前記供給側バッファタンクと前記ノズルヘッドとの間の前記第2の経路内の前記膜材料
の圧力を測定する第1の圧力センサと、
前記第3の経路内の前記膜材料の圧力を測定する第2の圧力センサと、
前記第1の圧力センサの測定結果と、前記第2の圧力センサの測定結果との差に基づいて、前記差が許容範囲に収まるように、前記還流ポンプ及び前記供給ポンプの流量制御を行う制御装置と
を有する請求項3に記載の吐出装置。
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