JPH09103727A - フローコータの温度制御装置 - Google Patents
フローコータの温度制御装置Info
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- JPH09103727A JPH09103727A JP7290669A JP29066995A JPH09103727A JP H09103727 A JPH09103727 A JP H09103727A JP 7290669 A JP7290669 A JP 7290669A JP 29066995 A JP29066995 A JP 29066995A JP H09103727 A JPH09103727 A JP H09103727A
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- Y10S118/04—Curtain coater
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリント基板等の板材にカーテンフロー方式
でコーティング液を付与するフローコータにおいて、コ
ーティング液の温度制御を、より迅速かつ正確に行うこ
と。 【解決手段】 コーティング液供給ヘッド（４）の下方
に、板材（２）の搬送路（３）を挟んで配置した回収ト
レー（５）内に、温度制御装置（１０）の熱交換部（１
３）が配置される。この熱交換部はコイル状に形成され
る。コーティング液はヘッドよりカーテン状に流下して
熱交換部に接触し、ここで熱交換を行う。コーティング
液は容量の少ない状態で熱交換部に接触するので、熱交
換の効率がよく、温度変化に迅速かつ正確に対応でき
る。又、コーティング液はヘッドから流下して回収トレ
ー内を自然流下して熱交換部に接触して流れるので、別
途の駆動手段を必要としない。
でコーティング液を付与するフローコータにおいて、コ
ーティング液の温度制御を、より迅速かつ正確に行うこ
と。 【解決手段】 コーティング液供給ヘッド（４）の下方
に、板材（２）の搬送路（３）を挟んで配置した回収ト
レー（５）内に、温度制御装置（１０）の熱交換部（１
３）が配置される。この熱交換部はコイル状に形成され
る。コーティング液はヘッドよりカーテン状に流下して
熱交換部に接触し、ここで熱交換を行う。コーティング
液は容量の少ない状態で熱交換部に接触するので、熱交
換の効率がよく、温度変化に迅速かつ正確に対応でき
る。又、コーティング液はヘッドから流下して回収トレ
ー内を自然流下して熱交換部に接触して流れるので、別
途の駆動手段を必要としない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板等の
板材の表面にレジスト液等のコーティング液をカーテン
状に流下させてコーティングするためのフローコータに
係り、特に、板材上のコーティング膜厚制御のためにコ
ーティング液の粘度等の性状変化を左右するコーティン
グ液の温度を制御する温度制御装置に関するものであ
る。
板材の表面にレジスト液等のコーティング液をカーテン
状に流下させてコーティングするためのフローコータに
係り、特に、板材上のコーティング膜厚制御のためにコ
ーティング液の粘度等の性状変化を左右するコーティン
グ液の温度を制御する温度制御装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】この種のフローコータは、いわゆる板材
を搬送しながら供給ヘッドのノズル間隙からコーティン
グ液をカーテン状に流下させてコーティングを施す、い
わゆるカーテンフロー方式の構成で、一般には、建材用
の板材の表面塗装等のコーティング処理に用いられてい
る。この場合、コーティング膜厚は、コーティング液の
粘度等の性状により左右され、特にこれはコーティング
液の温度変動により変化する。
を搬送しながら供給ヘッドのノズル間隙からコーティン
グ液をカーテン状に流下させてコーティングを施す、い
わゆるカーテンフロー方式の構成で、一般には、建材用
の板材の表面塗装等のコーティング処理に用いられてい
る。この場合、コーティング膜厚は、コーティング液の
粘度等の性状により左右され、特にこれはコーティング
液の温度変動により変化する。
【０００３】コーティング液の温度は季節により、ある
いは朝夕の周囲温度変化に応じて変動する以外にコーテ
ィング作業中においても変動する。特に、コーティング
液を循環させるポンプの作動中の発熱により、これが伝
達されてコーティング液の温度上昇をもたらす要因とな
っている。
いは朝夕の周囲温度変化に応じて変動する以外にコーテ
ィング作業中においても変動する。特に、コーティング
液を循環させるポンプの作動中の発熱により、これが伝
達されてコーティング液の温度上昇をもたらす要因とな
っている。
【０００４】液の温度上昇を抑えるために、供給タンク
に大型の攪拌器を設置して、絶えず液を攪拌しながら作
業を進めているが十分とはいえない。従って、コーティ
ング液の温度管理をより積極的に行う必要があり、この
ためにコーティング液の温度変化に応じて該液を冷却又
は加熱する温度制御装置が設置される。該温度制御装置
は、この供給源より循環させた水等の温度制御媒体を熱
交換部を介してコーティング液と熱交換させることによ
りコーティング液の温度調整を行うが、従来において
は、該熱交換部をコーティング液の供給タンクに投入し
てタンク内の液温を監視しながら、該温度制御装置によ
り適宜、コーティング液の冷却・加熱を行っているのが
一般的な温度制御の方法である。
に大型の攪拌器を設置して、絶えず液を攪拌しながら作
業を進めているが十分とはいえない。従って、コーティ
ング液の温度管理をより積極的に行う必要があり、この
ためにコーティング液の温度変化に応じて該液を冷却又
は加熱する温度制御装置が設置される。該温度制御装置
は、この供給源より循環させた水等の温度制御媒体を熱
交換部を介してコーティング液と熱交換させることによ
りコーティング液の温度調整を行うが、従来において
は、該熱交換部をコーティング液の供給タンクに投入し
てタンク内の液温を監視しながら、該温度制御装置によ
り適宜、コーティング液の冷却・加熱を行っているのが
一般的な温度制御の方法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、供給タ
ンク内に熱交換部を投入させて温度制御を行う従来の方
法では、液温の変動に迅速かつ正確に対応した温度制御
ができない問題があった。これは、タンク内のコーティ
ング液の容量が大であるため、熱交換の応答性が悪く、
攪拌器によってタンク内の液を攪拌しても十分な改善が
得られないのであった。このため、供給ヘッドから板材
上に供給されるコーティング液の液温の変動に、該温度
制御装置の温度制御が十分に対応できず、従って、液の
粘度等の性状が安定せず、均一なコーティング膜厚を得
ることができなかった。
ンク内に熱交換部を投入させて温度制御を行う従来の方
法では、液温の変動に迅速かつ正確に対応した温度制御
ができない問題があった。これは、タンク内のコーティ
ング液の容量が大であるため、熱交換の応答性が悪く、
攪拌器によってタンク内の液を攪拌しても十分な改善が
得られないのであった。このため、供給ヘッドから板材
上に供給されるコーティング液の液温の変動に、該温度
制御装置の温度制御が十分に対応できず、従って、液の
粘度等の性状が安定せず、均一なコーティング膜厚を得
ることができなかった。
【０００６】特に、コーティング処理すべき板材がプリ
ント基板でこの上にコーティング液としてレジスト液を
付与するような場合には、高い膜厚精度が求められるた
めに、従来の温度制御では製品歩留りが悪く、高品質基
板の製造が困難であった。
ント基板でこの上にコーティング液としてレジスト液を
付与するような場合には、高い膜厚精度が求められるた
めに、従来の温度制御では製品歩留りが悪く、高品質基
板の製造が困難であった。
【０００７】従って、本発明は、上記従来の問題を解消
し、コーティング液の液温制御を、より迅速かつ正確に
行い得るフローコータの温度制御装置を提供することを
目的とするものである。
し、コーティング液の液温制御を、より迅速かつ正確に
行い得るフローコータの温度制御装置を提供することを
目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、プリント基板等の板材の表面にレジスト
液等のコーティング液をコーティングするためのフロー
コータであって、該板材の搬送路の上方において該搬送
路の幅方向に沿って配置されコーティング液を搬送路に
沿って送られる板材上にカーテン状に流下させるコーテ
ィング液供給ヘッドと、搬送路を挟んで該コーティング
液供給ヘッドの下方において該搬送路の幅方向に沿って
配置され該コーティング液供給ヘッドより流下したコー
ティング液を回収する回収トレーとを有するフローコー
タを前提として、温度制御媒体を供給する供給源と、該
供給源より温度制御媒体の循環供給を受けるとともにコ
ーティング液と熱交換を遂行する熱交換部とを備え、該
熱交換部を前記回収トレー内に配置し、前記コーティン
グ液供給ヘッドより流下するコーティング液に接するよ
うにした構成を特徴とするフローコータの温度制御装置
を提案するものである。
に、本発明は、プリント基板等の板材の表面にレジスト
液等のコーティング液をコーティングするためのフロー
コータであって、該板材の搬送路の上方において該搬送
路の幅方向に沿って配置されコーティング液を搬送路に
沿って送られる板材上にカーテン状に流下させるコーテ
ィング液供給ヘッドと、搬送路を挟んで該コーティング
液供給ヘッドの下方において該搬送路の幅方向に沿って
配置され該コーティング液供給ヘッドより流下したコー
ティング液を回収する回収トレーとを有するフローコー
タを前提として、温度制御媒体を供給する供給源と、該
供給源より温度制御媒体の循環供給を受けるとともにコ
ーティング液と熱交換を遂行する熱交換部とを備え、該
熱交換部を前記回収トレー内に配置し、前記コーティン
グ液供給ヘッドより流下するコーティング液に接するよ
うにした構成を特徴とするフローコータの温度制御装置
を提案するものである。
【０００９】又、本発明にあっては、前記熱交換部の構
成に関し、該熱交換部をコイル状に形成し、該コイル軸
線が前記回収トレーの長手方向に沿うように配置した構
成のフローコータの温度制御装置を提案するものであ
る。
成に関し、該熱交換部をコイル状に形成し、該コイル軸
線が前記回収トレーの長手方向に沿うように配置した構
成のフローコータの温度制御装置を提案するものであ
る。
【００１０】上記本発明に係るフローコータの温度制御
装置においては、熱交換部を回収トレー内に配置して、
コーティング液供給ヘッドより流下したコーティング液
に直接、接触させて該液との熱交換を行わせるように構
成したものである。これは、カーテン状に流下するコー
ティング液は、タンク内と異なり液容量が少ないため、
熱交換の効率が高くなる点に着目したものである。これ
によって、迅速かつ正確な温度制御を可能としたもので
ある。
装置においては、熱交換部を回収トレー内に配置して、
コーティング液供給ヘッドより流下したコーティング液
に直接、接触させて該液との熱交換を行わせるように構
成したものである。これは、カーテン状に流下するコー
ティング液は、タンク内と異なり液容量が少ないため、
熱交換の効率が高くなる点に着目したものである。これ
によって、迅速かつ正確な温度制御を可能としたもので
ある。
【００１１】又、回収トレー内に配置した熱交換部をコ
イル状に形成し、該コイル軸線が回収トレーの長手方向
に沿うようにした構成においては、コイル状に形成した
ことにより自然流下するコーティング液との接触面積が
大となり、より効率的な熱交換を果すことができるとと
もに細長い回収トレーの形状にもマッチして、該トレー
への取付け、ならびに取外しも容易にできる。更に、通
常、回収トレー内にはコーティング液が流下する時に泡
立つことを防止する目的で、じゃま板等を設置するが、
本発明で用いるコイル状の熱交換部がこの目的をも達成
し得、じゃま板等を不要とするものである。
イル状に形成し、該コイル軸線が回収トレーの長手方向
に沿うようにした構成においては、コイル状に形成した
ことにより自然流下するコーティング液との接触面積が
大となり、より効率的な熱交換を果すことができるとと
もに細長い回収トレーの形状にもマッチして、該トレー
への取付け、ならびに取外しも容易にできる。更に、通
常、回収トレー内にはコーティング液が流下する時に泡
立つことを防止する目的で、じゃま板等を設置するが、
本発明で用いるコイル状の熱交換部がこの目的をも達成
し得、じゃま板等を不要とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係るフローコータの温度制御装置の実施の形態を説明す
る。
係るフローコータの温度制御装置の実施の形態を説明す
る。
【００１３】図１は、本発明の温度制御装置を備えたフ
ローコータの全体構成の概要を示すもので、１ａ，１ｂ
はプリント基板等の板材２を矢印方向に搬送路３に沿っ
て搬送するローラ及びベルトでそれぞれ構成された送り
込み側及び送り出し側の搬送装置、４はこれら搬送装置
１ａ，１ｂの中間のコーティング位置Ａにおいて、搬送
路３の上方に該搬送路の幅方向に配置されたコーティン
グ液供給ヘッド、５は搬送路３を挟んで前記供給ヘッド
４の下方において搬送路の幅方向に配置された回収トレ
ーである。
ローコータの全体構成の概要を示すもので、１ａ，１ｂ
はプリント基板等の板材２を矢印方向に搬送路３に沿っ
て搬送するローラ及びベルトでそれぞれ構成された送り
込み側及び送り出し側の搬送装置、４はこれら搬送装置
１ａ，１ｂの中間のコーティング位置Ａにおいて、搬送
路３の上方に該搬送路の幅方向に配置されたコーティン
グ液供給ヘッド、５は搬送路３を挟んで前記供給ヘッド
４の下方において搬送路の幅方向に配置された回収トレ
ーである。
【００１４】前記コーティング液供給ヘッド４は、配管
６を介してコーティング液供給タンク７に接続され、該
配管６中に設置されたポンプ８により、該タンク７内の
コーティング液が矢印で示すように配管６を通って該ヘ
ッド４に供給される。該ヘッド４からは、コーティング
液が加圧された状態でノズル間隙４ａを介して図１に示
すように矢印で示すようにカーテン状に流下し、搬送路
３上を送られる板材２の表面にコーティング位置Ａで付
与され、板材表面のコーティング処理が施される。そし
て、残余のコーティング液は回収トレー５に回収され該
トレー内を自然流下して排出管９を介して矢印で示すよ
うに供給タンク７に戻される。このようにして、コーテ
ィング液が循環供給される。
６を介してコーティング液供給タンク７に接続され、該
配管６中に設置されたポンプ８により、該タンク７内の
コーティング液が矢印で示すように配管６を通って該ヘ
ッド４に供給される。該ヘッド４からは、コーティング
液が加圧された状態でノズル間隙４ａを介して図１に示
すように矢印で示すようにカーテン状に流下し、搬送路
３上を送られる板材２の表面にコーティング位置Ａで付
与され、板材表面のコーティング処理が施される。そし
て、残余のコーティング液は回収トレー５に回収され該
トレー内を自然流下して排出管９を介して矢印で示すよ
うに供給タンク７に戻される。このようにして、コーテ
ィング液が循環供給される。
【００１５】１０は本発明の温度制御装置で、温度制御
媒体として、冷却あるいは加熱された水など媒体を供給
する供給源１１と、該供給源１１より配管１２ａ，１２
ｂを介して温度制御媒体の循環供給を受ける熱交換部１
３を備える。供給源１１は、媒体の冷却あるいは加熱を
行う構造のもので、クーラーやヒータを内蔵させた構
成、あるいはヒートポンプを用いた構成等、公知のもの
でよい。
媒体として、冷却あるいは加熱された水など媒体を供給
する供給源１１と、該供給源１１より配管１２ａ，１２
ｂを介して温度制御媒体の循環供給を受ける熱交換部１
３を備える。供給源１１は、媒体の冷却あるいは加熱を
行う構造のもので、クーラーやヒータを内蔵させた構
成、あるいはヒートポンプを用いた構成等、公知のもの
でよい。
【００１６】供給源１１より冷却又は加熱された温度制
御媒体は、矢印で示すように送り込み側の配管１２ａを
介して熱交換部１３に供給され、ここでコーティング液
との熱交換が行われ、送り出し側の配管１２ｂを介して
矢印で示すように供給源１１に戻される。
御媒体は、矢印で示すように送り込み側の配管１２ａを
介して熱交換部１３に供給され、ここでコーティング液
との熱交換が行われ、送り出し側の配管１２ｂを介して
矢印で示すように供給源１１に戻される。
【００１７】熱交換部１３は、回収トレー５内に配置さ
れる。従って、供給ヘッド４より流下したコーティング
液は回収トレー５に落下する際に、該熱交換部１３に直
接、接触して、ここで熱交換が行われる。コーティング
作業中の液の温度は、図示を省略したが、適宜の温度セ
ンサにより常時監視し、温度の変動に応じて温度制御装
置１０を適時に作動させ、液の温度が常に一定の許容範
囲に入るように制御する。尚、該温度センサと温度制御
装置１０との連動構成は公知に属するので、詳細を略す
る。
れる。従って、供給ヘッド４より流下したコーティング
液は回収トレー５に落下する際に、該熱交換部１３に直
接、接触して、ここで熱交換が行われる。コーティング
作業中の液の温度は、図示を省略したが、適宜の温度セ
ンサにより常時監視し、温度の変動に応じて温度制御装
置１０を適時に作動させ、液の温度が常に一定の許容範
囲に入るように制御する。尚、該温度センサと温度制御
装置１０との連動構成は公知に属するので、詳細を略す
る。
【００１８】上記のように回収トレー５内に配置した熱
交換部１３と、カーテン状に流下するコーティング液と
が熱交換を行うので、熱交換部１３に接するコーティン
グ液の容量が小さいため、効率の良い熱交換を果すこと
ができる。しかも、コーティング液はヘッド４からの流
下によって熱交換部に接するとともに順次回収トレー５
から自然流下してタンク７へと送り出されるので、ここ
ではコーティング液を流すための別途の駆動手段を必要
としない。又、回収トレー５内に配置した熱交換部１３
はじゃま板の機能も有し、コーティング液の泡立ち防止
の目的をも果すことができ、別途にじゃま板等を設ける
必要がない。
交換部１３と、カーテン状に流下するコーティング液と
が熱交換を行うので、熱交換部１３に接するコーティン
グ液の容量が小さいため、効率の良い熱交換を果すこと
ができる。しかも、コーティング液はヘッド４からの流
下によって熱交換部に接するとともに順次回収トレー５
から自然流下してタンク７へと送り出されるので、ここ
ではコーティング液を流すための別途の駆動手段を必要
としない。又、回収トレー５内に配置した熱交換部１３
はじゃま板の機能も有し、コーティング液の泡立ち防止
の目的をも果すことができ、別途にじゃま板等を設ける
必要がない。
【００１９】図２は、熱交換部１３の具体的構成を示す
もので、図示のように、熱交換部１３は、パイプをコイ
ル状に巻回して形成したものである。各コイル１３ａは
同径で近接状態に巻回し、該コイル軸線が回収トレー５
の長手方向に沿うようにトレー５内に配置され、トレー
５の底面５ａ上に単に置けばよい。従って、清掃等の際
に簡単に取外すことができる。トレー５の底面５ａは、
図示のようにコーティング液の流出方向に若干のテーパ
が施されている。これによりトレー５内でのコーティン
グ液の自然流下が促進される。このコイル状の熱交換部
１３の長さは、図示のように、供給ヘッド４より流下す
るコーティング液と全体に接触できるように、コーティ
ング液のカーテン幅のほぼ同一の長さに設定される。
もので、図示のように、熱交換部１３は、パイプをコイ
ル状に巻回して形成したものである。各コイル１３ａは
同径で近接状態に巻回し、該コイル軸線が回収トレー５
の長手方向に沿うようにトレー５内に配置され、トレー
５の底面５ａ上に単に置けばよい。従って、清掃等の際
に簡単に取外すことができる。トレー５の底面５ａは、
図示のようにコーティング液の流出方向に若干のテーパ
が施されている。これによりトレー５内でのコーティン
グ液の自然流下が促進される。このコイル状の熱交換部
１３の長さは、図示のように、供給ヘッド４より流下す
るコーティング液と全体に接触できるように、コーティ
ング液のカーテン幅のほぼ同一の長さに設定される。
【００２０】供給ヘッド４より流下したコーティング液
は、コイル状の熱交換部１３の各コイル１３ａの上端部
に接し、ここよりコイルの外周面に沿って、あるいはコ
イルの内側に流れ込み、各コイルの周面全体に接触して
熱交換を行い、順次、トレー底面５ａに流れ落ちて、該
底面５ａに沿って矢印で示すように流出する。
は、コイル状の熱交換部１３の各コイル１３ａの上端部
に接し、ここよりコイルの外周面に沿って、あるいはコ
イルの内側に流れ込み、各コイルの周面全体に接触して
熱交換を行い、順次、トレー底面５ａに流れ落ちて、該
底面５ａに沿って矢印で示すように流出する。
【００２１】従って、小容量のコーティング液が広い面
積部分で熱交換できるため、熱交換の効率が良好であ
り、温度制御媒体とコーティング液の温度勾配を小さく
設定することが可能となり、これが液温の安定をより一
層高める結果を得ることができる。又、コーティング液
を熱交換部のまわりに強制流動させるための別途の液の
駆動手段を要しない。
積部分で熱交換できるため、熱交換の効率が良好であ
り、温度制御媒体とコーティング液の温度勾配を小さく
設定することが可能となり、これが液温の安定をより一
層高める結果を得ることができる。又、コーティング液
を熱交換部のまわりに強制流動させるための別途の液の
駆動手段を要しない。
【００２２】コイル状の熱交換部１３の一端１３ｂは送
り込み側の配管１２ａに、又、他端１３ｃは送り出し側
の配管１２ｂに接続されているので、該送り込み側の配
管１２ａより矢印で示すように流入した温度制御媒体
は、外側のコイルの部分を流れるとともに、このコイル
の内側に軸方向に延出した戻り側のパイプ１３ｄを通っ
て送り出し側の配管１２ｂへと流出する。
り込み側の配管１２ａに、又、他端１３ｃは送り出し側
の配管１２ｂに接続されているので、該送り込み側の配
管１２ａより矢印で示すように流入した温度制御媒体
は、外側のコイルの部分を流れるとともに、このコイル
の内側に軸方向に延出した戻り側のパイプ１３ｄを通っ
て送り出し側の配管１２ｂへと流出する。
【００２３】このように、媒体の戻り側のパイプ１３ｄ
をコイル１３ａの内側に配置し、媒体の流入側をコイル
１３ａとして外側に配置したので、より一層効率的な熱
交換が遂行される。
をコイル１３ａの内側に配置し、媒体の流入側をコイル
１３ａとして外側に配置したので、より一層効率的な熱
交換が遂行される。
【００２４】以上、本発明の実施の態様を説明したが、
本発明は、プリント基板のコーティングを行うフローコ
ータ以外にも通常の建材等の表面塗装用のフローコータ
にも適用し得るものである。
本発明は、プリント基板のコーティングを行うフローコ
ータ以外にも通常の建材等の表面塗装用のフローコータ
にも適用し得るものである。
【００２５】又、熱交換部の構成は図２に示したごと
く、コイル状構成のものが望ましいが、これ以外にも、
例えば、パイプを蛇腹状に折り曲げた形状のもの等、他
の形状のものも可能である。又、パイプ外周に多数のフ
ィンを設けた構成のものも可能であり、本発明はこの実
施の形態に限定されるものではない。
く、コイル状構成のものが望ましいが、これ以外にも、
例えば、パイプを蛇腹状に折り曲げた形状のもの等、他
の形状のものも可能である。又、パイプ外周に多数のフ
ィンを設けた構成のものも可能であり、本発明はこの実
施の形態に限定されるものではない。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、温度制
御装置の熱交換部を回収トレー内に配置して、カーテン
状に流下するコーティング液と接触するようにしたの
で、コーティング液の容量が小さいところで熱交換を行
うため、熱交換が極めて効率的に行われ、コーティング
液の温度変化に迅速かつ正確に対応することができ、コ
ーティング液温の安定したコントロールが可能になる。
しかも、熱交換部に接して流れるコーティング液は回収
トレー内での自然流下を利用しているため、別途の駆動
手段を何等必要としないものであり、又、回収トレー内
に配置された熱交換部がコーティング液の望ましくない
泡立ち等の発生を防止するじゃま板の機能も果すので、
別途にじゃま板等を設ける必要がなく、熱交換部の取付
け、取外しも容易である等、種々の効果を奏することが
できる。
御装置の熱交換部を回収トレー内に配置して、カーテン
状に流下するコーティング液と接触するようにしたの
で、コーティング液の容量が小さいところで熱交換を行
うため、熱交換が極めて効率的に行われ、コーティング
液の温度変化に迅速かつ正確に対応することができ、コ
ーティング液温の安定したコントロールが可能になる。
しかも、熱交換部に接して流れるコーティング液は回収
トレー内での自然流下を利用しているため、別途の駆動
手段を何等必要としないものであり、又、回収トレー内
に配置された熱交換部がコーティング液の望ましくない
泡立ち等の発生を防止するじゃま板の機能も果すので、
別途にじゃま板等を設ける必要がなく、熱交換部の取付
け、取外しも容易である等、種々の効果を奏することが
できる。
【図１】本発明に係る温度制御装置を備えたフローコー
タの実施の形態を示す全体概要図である。
タの実施の形態を示す全体概要図である。
【図２】図１におけるフローコータの回収トレー及びそ
こに配置したコイル状の熱交換部の態様を示す拡大概要
図である。
こに配置したコイル状の熱交換部の態様を示す拡大概要
図である。
２ 板材 ３ 搬送路 ４ コーティング液供給ヘッド ５ 回収トレー １０ 温度制御装置 １３ 熱交換部
Claims (2)
- 【請求項１】プリント基板等の板材の表面にレジスト液
等のコーティング液をコーティングするためのフローコ
ータであって、該板材の搬送路の上方において該搬送路
の幅方向に沿って配置されコーティング液を搬送路に沿
って送られる板材上にカーテン状に流下させるコーティ
ング液供給ヘッドと、搬送路を挟んで該コーティング液
供給ヘッドの下方において該搬送路の幅方向に沿って配
置され該コーティング液供給ヘッドより流下したコーテ
ィング液を回収する回収トレーとを有するものにおい
て、温度制御媒体を供給する供給源と、該供給源より温
度制御媒体の循環供給を受けるとともにコーティング液
と熱交換を遂行する熱交換部とを備え、該熱交換部を前
記回収トレー内に配置し、前記コーティング液供給ヘッ
ドより流下するコーティング液に接するようにしたこと
を特徴とするフローコータの温度制御装置。 - 【請求項２】前記熱交換部は、コイル状に形成され、該
コイル軸線が前記回収トレーの長手方向に沿ってなる請
求項１に記載のフローコータの温度制御装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7290669A JPH09103727A (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | フローコータの温度制御装置 |
| TW085112126A TW343163B (en) | 1995-10-13 | 1996-10-04 | Temperature controlling device for a flow coater |
| KR1019960043829A KR100204603B1 (ko) | 1995-10-13 | 1996-10-04 | 플로코터의 온도제어장치 |
| US08/725,817 US6027567A (en) | 1995-10-13 | 1996-10-07 | Flow coater with a temperature controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7290669A JPH09103727A (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | フローコータの温度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09103727A true JPH09103727A (ja) | 1997-04-22 |
Family
ID=17758969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7290669A Pending JPH09103727A (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | フローコータの温度制御装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6027567A (ja) |
| JP (1) | JPH09103727A (ja) |
| KR (1) | KR100204603B1 (ja) |
| TW (1) | TW343163B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010063984A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
| JP2010063981A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
| JP2010063982A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
| JP2010063983A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1315600B1 (it) * | 2000-02-25 | 2003-03-14 | Eurotecnica Srl | Smaltatrice per piastrelle ceramiche |
| JP3985858B2 (ja) * | 2001-10-17 | 2007-10-03 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置 |
| JP6436634B2 (ja) * | 2014-03-11 | 2018-12-12 | 住友重機械工業株式会社 | 液状の膜材料の吐出装置 |
| CN104668150B (zh) * | 2015-03-09 | 2017-07-07 | 浙江长兴森大竹木制品有限公司 | 一种自动淋幕机的淋幕装置 |
| DE102016209336B4 (de) * | 2016-05-30 | 2021-08-05 | Voith Patent Gmbh | Vorhangauftragswerk |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3602193A (en) * | 1969-04-10 | 1971-08-31 | John R Adams | Apparatus for preparing coatings with extrusions |
| US3875899A (en) * | 1969-07-14 | 1975-04-08 | John W Clements | Sprayer apparatus |
| DE2140154A1 (de) * | 1971-08-11 | 1973-02-22 | Ludwig Ruettgers | Verfahren und vorrichtung zum beschichten von flaechengebilden |
| US4402332A (en) * | 1980-12-19 | 1983-09-06 | Haden Schweitzer Corporation | Apparatus for heat energy recovery from escaping steam |
| GB8334078D0 (en) * | 1983-12-21 | 1984-02-01 | Laporte Industries Ltd | Heat exchanger |
-
1995
- 1995-10-13 JP JP7290669A patent/JPH09103727A/ja active Pending
-
1996
- 1996-10-04 KR KR1019960043829A patent/KR100204603B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-10-04 TW TW085112126A patent/TW343163B/zh active
- 1996-10-07 US US08/725,817 patent/US6027567A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010063984A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
| JP2010063981A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
| JP2010063982A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
| JP2010063983A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Nichiha Corp | 建築板の塗装方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6027567A (en) | 2000-02-22 |
| KR100204603B1 (ko) | 1999-06-15 |
| TW343163B (en) | 1998-10-21 |
| KR970020213A (ko) | 1997-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020522 |