JP2010167370A - サブタンク装置およびこれを備えた液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な構造で、サブタンクの液位、実質的には機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力を適切に管理することができるサブタンク装置およびこれを備えた液滴吐出ヘッド装置を提供する。
【解決手段】流入流路44を介してメインタンクから機能液の圧力供給を受けると共に、下流側機能液流路38を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を重力供給するサブタンク装置36であって、サブタンク51と、サブタンク51の上流側近傍の流入流路44に介設され、メインタンクから圧力供給される機能液の流量を調整する流量調整弁52と、下流側機能液流路38に介設され、機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液の圧力を検出する圧力センサ53と、圧力センサ53の検出結果に基づいて、流量調整弁52を制御する制御装置54と、を備えたものである。
【選択図】図6
【解決手段】流入流路44を介してメインタンクから機能液の圧力供給を受けると共に、下流側機能液流路38を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を重力供給するサブタンク装置36であって、サブタンク51と、サブタンク51の上流側近傍の流入流路44に介設され、メインタンクから圧力供給される機能液の流量を調整する流量調整弁52と、下流側機能液流路38に介設され、機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液の圧力を検出する圧力センサ53と、圧力センサ53の検出結果に基づいて、流量調整弁52を制御する制御装置54と、を備えたものである。
【選択図】図6
Description
本発明は、メインタンクから機能液の圧力供給を受けると共に、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を重力供給するサブタンク装置およびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。
従来、この種のサブタンク(サブタンク装置)として、サブタンクの液位を一定に保つことにより、サブタンクに連なる機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力を一定に保つものが知られている(特許文献1参照)。このサブタンクでは、液位を検出すべく、上限検出センサ、下限検出センサおよび液位検出センサから成る液位検出機構が設けられている。機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力管理は、この液位検出センサの検出結果に基づいて、メインタンクからサブタンクに機能液を補給し、サブタンクの液位を常に一定に維持することで達成される。
しかしながら、このような従来のサブタンクでは、サブタンク内の機能液の液位を一定に保つために、サブタンクに液位検出センサおよび液位検出センサが臨む液柱パイプ(バイパスチューブ)を設ける必要があった。このため、サブタンクがコスト高になると共に、液柱パイプの内壁に付着して残った液滴により、液位検出センサが誤作動する問題があった。
本発明は、簡単な構造で、サブタンクの液位、実質的には機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力を適切に管理することができるサブタンク装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することをその課題としている。
本発明のサブタンク装置は、流入流路を介してメインタンクから機能液の圧力供給を受けると共に、流出流路を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を重力供給するサブタンク装置であって、サブタンクと、サブタンクの上流側近傍の流入流路に介設され、メインタンクから圧力供給される機能液の流量を調整する流量調整手段と、流出流路に介設され、機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液の圧力を検出する圧力検出手段と、圧力検出手段の検出結果に基づいて、流量調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、圧力検出手段により、流出流路を重力供給により流れる機能液の圧力を測定することで、サブタンク内の機能液の液面からの水頭圧を間接的に測定することができる。この水頭圧は、サブタンクに貯留してある機能液の液位によって変化するため、圧力検出手段の検出結果に基づいて、流量調整手段を制御することにより、サブタンクの液位が制御されることになる。したがって、圧力検出手段の検出結果に基づいて、サブタンクに供給する機能液の流量を調整(サブタンク内の機能液の液位を制御)することで、流出流路に接続された機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力を適切に管理することができる。また、サブタンクに液柱パイプおよび液位検出センサを設ける必要がないため、サブタンクの構造を単純化することができる。
この場合、制御手段は、流出流路の圧力が一定になるように流量調整手段を制御することが、好ましい。
この構成によれば、サブタンクに貯留した機能液の液位を一定に保つことができ、機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液の圧力を一定に保つことができる。
この場合、圧力検出手段は、機能液滴吐出ヘッド近傍の流出流路に介設されていることが、好ましい。
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッド近傍の機能液の圧力(水頭圧)に基づいて、サブタンク内の機能液の液位を制御するため、さらに機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力、すなわちヘッド内流路における機能液の圧力を精度よく管理することができる。
この場合、流入流路および流出流路は、サブタンクの底部に接続されていることが、好ましい。
この構成によれば、サブタンクに対する機能液の供給による液位の上昇および機能液滴吐出ヘッドによる吐出動作による液位の降下の際に、液面を波立てることがない。したがって、圧力検出手段による水頭圧(液位)の検出精度を高めることができ、さらに機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力を安定且つ精度よく管理することができる。
本発明の液滴吐出装置は、上記したサブタンク装置と、サブタンク装置から機能液の供給を受け、ワークに機能液を吐出して描画を行なう機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、単純な構造で、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の圧力を精度よく管理することができるため、ワークへの描画品質を損なうことなく、コストダウンを達成することができる。
以下、添付の図面を参照して、本発明に係るサブタンク装置を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を一定圧力で導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、石定盤に支持されたX軸支持ベース11上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在してワークWをX軸方向に移動させるX軸テーブル2と、複数本の支柱12を介してX軸テーブル2を跨ぐように架け渡された1対のY軸支持ベース13上に配設され、副走査方向となるY軸方向に延在するY軸テーブル3と、Y軸テーブル3に移動自在に吊設され、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド14が搭載された13個のキャリッジユニット4と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置1は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ5と、チャンバ5を貫通して、機能液滴吐出ヘッド14に機能液を供給する機能液供給ユニット6と、を備えている。また、チャンバ5の側壁の一部には、機能液を貯留するメインタンク39等を収納するタンクキャビネット7が設けられている。液滴吐出装置1は、X軸テーブル2およびY軸テーブル3の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド14を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット6から供給された機能液を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンを描画する。
また、液滴吐出装置1は、フラッシングユニット15、吸引ユニット16、ワイピングユニット17、吐出性能検査ユニット18から成るメンテナンス装置8を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド14の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド14の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置1では、X軸テーブル2とY軸テーブル3とが交わる部分にキャリッジユニット4を臨ませてワークWの描画を行い、Y軸テーブル3とメンテナンス装置8(吸引ユニット16、ワイピングユニット17)が交わる部分にキャリッジユニット4を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド14の機能維持・機能回復を行う。
図2ないし図4に示すように、X軸テーブル2は、ワークWを吸着セットすると共にθ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル21と、セットテーブル21をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第1スライダ22と、上記のフラッシングユニット15および吐出性能検査ユニット18をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第2スライダ23と、X軸方向に延在し、X軸第1スライダ22およびX軸第2スライダ23をX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモータ(図示省略)と、を備えている。
Y軸テーブル3は、13個のキャリッジユニット4をそれぞれ吊設した13個のブリッジプレート24と、各ブリッジプレート24を両持ちで支持する13組のY軸スライダ(図示省略)と、一対のY軸支持ベース13上に設置され、ブリッジプレート24をY軸方向に移動させる一対のY軸リニアモータ(図示省略)と、を備えている。また、Y軸テーブル3は、各キャリッジユニット4を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド14を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド14を吸引ユニット16およびワイピングユニット17に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット4を独立させて個別に移動させることも可能であるし、13個のキャリッジユニット4を一体として移動させることも可能である。
各キャリッジユニット4は、R・G・B・C・M・Yの6色、各2個(計12個)の機能液滴吐出ヘッド14と、12個の機能液滴吐出ヘッド14を6個ずつ2群に分けて支持するヘッドプレート25と、から成るヘッドユニット26を備えている(図4参照)。また、各キャリッジユニット4は、ヘッドユニット26をθ補正(θ回転)可能に支持するθ回転機構27と、θ回転機構27を介して、ヘッドユニット26をブリッジプレート24に支持させる吊設部材28と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット4は、その上部に後述するサブタンク装置36が配設されており(実際には、ブリッジプレート24上に配設)、主にこのサブタンク装置36により、各機能液滴吐出ヘッド14に一定の圧力で機能液が重力供給されるようになっている。
次に、図5および図6を参照して機能液供給ユニット6について説明する。機能液供給ユニット6は、上記の6色に対応した6組の機能液供給装置31と、メインタンク39およびサブタンク装置36等に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備32と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備33と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備34と、を備えている。6組の機能液供給装置31は、それぞれ6色に対応した機能液滴吐出ヘッド14に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド14には対応する色の機能液が供給される。
各機能液供給装置31は、機能液の供給源を構成する2つのメインタンク39,39を有するメインタンクユニット35と、各キャリッジユニット4に対応した13個のサブタンク装置36と、メインタンクユニット35および各サブタンク装置36を接続する上流側機能液流路(流入流路)37と、各サブタンク装置36と各機能液滴吐出ヘッド14とを接続する13組の下流側機能液流路(流出流路)38と、を備えている。各メインタンク39内の機能液は、これに接続した窒素ガス供給設備32からの圧縮窒素ガスにより加圧され、13個のサブタンク装置36に選択的に供給される。また同時に、各サブタンク装置36は、ガス排気設備34を介して大気開放された状態で、必要量の機能液を受容する。
上流側機能液流路37は、上流端がメインタンクユニット35に接続されており、13分岐流路41を介して、下流端が後述するサブタンク装置36にそれぞれ接続されている。また、上流側機能液流路37には、上流側から、機能液中の気泡を除去する気泡除去ユニット42と、上流側の上流側機能液流路37内に混入した気泡を除去するエアー抜きユニット43と、が介設されている。メインタンクユニット35から供給された機能液は、13分岐流路41により13個に分流して各サブタンク装置36に供給される。なお、請求項にいう流入流路44は、上流側機能液流路37の下流側、すなわち、13分岐流路41およびサブタンク51を接続する流路を言う。
ここで、図5および図6を参照して、サブタンク装置36、すなわちサブタンク51廻りの構造について詳細に説明する。サブタンク装置36は、機能液を一時的に貯留するサブタンク51と、流入流路44に介設され、メインタンク39から圧力供給される機能液の流量を調整する圧空制御の流量調整弁(流量調整手段)52と、下流側機能液流路38に介設され、機能液滴吐出ヘッド14に重力供給する機能液の圧力を検出する圧力センサ(圧力検出手段)53と、圧力センサ53の検出結果に基づいて、流量調整弁52を制御する制御装置(制御手段)54と、を備えている。なお、この場合の制御装置54は、液滴吐出装置1全体を統括制御する制御装置54が兼ねている。
サブタンク51は、機能液を貯留するサブタンク本体55と、サブタンク本体55に落し蓋様に浮かした蓋体フロート56と、サブタンク本体55の側方に接続された液柱パイプ57と、液柱パイプ57に臨み、貯留された機能液の液位を検出する液位検出機構58と、を備えている。
サブタンク本体55は、ステンレス等の金属材料で、薄型直方体形状に形成されている。サブタンク本体55の上部空間に面する一方の側壁には、通気用チューブ61が接続されている。また、他方の側壁の上部空間に面する上部に液柱パイプ57の上端部が接続されており、貯留する機能液に面する下部に液柱パイプ57の下端部が接続されている。一方、サブタンク本体55の底部には、上記した流入流路44および下流側機能液流路38が、継手を介してそれぞれ接続されている。
通気用チューブ61は、リング状にループさせたループ配管部62と、ループ配管部62に連なり、窒素ガス供給設備32およびガス排気設備34と接続した主通気チューブ63と、から構成されている。また、主通気チューブ63のガス排気設備34側にはチューブ開閉弁64、主通気チューブ63の窒素ガス供給設備32側にはガス圧導入弁65がそれぞれ介設されており、チューブ開閉弁64が開放された状態で、サブタンク51への機能液の供給が実施されると共に、サブタンク51から機能液滴吐出ヘッド14への機能液の供給が行われる。
液位検出機構58は、液柱パイプ57に外側から臨んでおり、上限となる機能液のオーバーフロー液位を検出するオーバーフローセンサ66と、下限となる機能液の下限液位を検出する下限センサ67と、を備えている。オーバーフローセンサ66は、サブタンク51のオーバーフローを防止すべく設けられており、オーバーフローセンサ66がオーバーフロー液位を検出した場合には、メインタンク39からの送液が停止制御される。一方、下限センサ67は、サブタンク51が空になるのを防止すべく設けられており、下限センサ67が下限液位を検出した場合には、現時点のワークWの描画が終了したところで液滴吐出装置1が停止制御される。
圧力センサ53は、下流側機能液流路38に介設された圧力調整弁71より上流側に位置して機能液滴吐出ヘッド14近傍に介設されており、流出弁72を開放した状態で、サブタンク本体55から機能液滴吐出ヘッド14に重力供給される機能液の圧力を測定する。上記したようにサブタンク51は、機能液滴吐出ヘッド14より上方に配設されているため、サブタンク51と機能液滴吐出ヘッド14との間に位置する圧力センサ53による機能液の圧力の検出結果は、サブタンク51に貯留してある機能液の液面からの水頭圧に相当する。この水頭圧は、サブタンク51に貯留してある機能液の液位によって変化するため、圧力センサ53は、サブタンク51内に貯留している機能液の液位、すなわち機能液滴吐出ヘッド14への機能液の圧力を間接的に検出していることになる。なお、流出弁72および後述する流入弁73は、予備的なものであり、主としてサブタンク51を交換するときに閉弁される。
流量調整弁52は、流入流路44のサブタンク51近傍に介設されており、流入弁73を開放した状態でサブタンク51に機能液を供給する。なお、流量調整弁52は、流量調整弁52に組み込まれた図外の弁体の弁開度を微調整することができるようになっていれば、電気による駆動のもの、圧空による駆動のもの等、その形態を問うものではない。上述のようにメインタンクユニット35の機能液は、加圧された状態でこの流量調整弁52まで供給されてきており、流量調整弁52の弁開度に応じた量の機能液がサブタンク51に補給される。そして、この機能液の補給によりサブタンク51の液位(液面)は上昇するが、一方で機能液滴吐出ヘッド14の駆動(液滴吐出)により、サブタンク51の液位(液面)は下降する。そこで、制御装置54は、このサブタンク51の液位が一定になるように制御を実施する。
すなわち、制御装置54は、圧力センサ53による検出結果に基づいて、流量調整弁52を制御することで、サブタンク51の液位が一定になるように制御する。具体的には、圧力センサ53により検出した機能液の圧力と、設定圧力と、を比較して、その圧力差に応じて流量調整弁52の弁開度を調整する。この場合の設定圧力は、機能液滴吐出ヘッド14の吐出ノズルの位置における水頭圧が所定の圧力(実施形態においては、−25mmHg)となるように、圧力センサ53の位置における目標圧力として設定される。
そして、制御装置54は、圧力センサ53による機能液の圧力のモニタリングをしながら、圧力センサ53の測定圧力が設定圧力となるように、流量調整弁52の弁開度をリアルタイムで調整する。すなわち、圧力センサ53により、その機能液の圧力をモニタリングしながら、流量調整弁52の弁開度を調整することで、サブタンク51内の機能液の液位、すなわち機能液滴吐出ヘッド14への機能液の圧力が一定になるように制御する。なお、圧力センサ53の下流側に位置する上記の圧力調整弁71は、主として、流量調整弁52の弁開度の調整に伴う微小な圧力変動を吸収し、この部分の制御系の追従性を補完する。
ところで、本実施形態において、圧力センサ53を、サブタンク51および圧力調整弁71の間に設けたが、圧力調整弁71を省略し、圧力センサ53を機能液滴吐出ヘッド14の直近に設けてもよく、さらには、小型の圧力センサ53を機能液滴吐出ヘッド14内に組み込むようにしてもよい。これにより、下流側機能液流路38の圧力損失の影響を受けることなく、機能液滴吐出ヘッド14における機能液の圧力を測定することができ、機能液滴吐出ヘッド14に供給する機能液の圧力をさらに一定に保つことができる。
以上の構成によれば、圧力センサ53の検出結果に基づいて、サブタンク51に供給する機能液量を調整することで、機能液滴吐出ヘッド14への機能液の圧力を管理することができる。すなわち、簡単な構造で、機能液滴吐出ヘッド14への機能液の圧力を一定に維持することができ、機能液滴吐出ヘッド14の吐出性能を損なうことなく、コストダウンを達成することができる。
14…機能液滴吐出ヘッド 36…サブタンク装置 38…下流側機能液流路 39…メインタンク 44…流入流路 51…サブタンク 52…流量調整弁 53…圧力センサ 54…制御装置
Claims (5)
- 流入流路を介してメインタンクから機能液の圧力供給を受けると共に、流出流路を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を重力供給するサブタンク装置であって、
サブタンクと、
前記サブタンクの上流側近傍の前記流入流路に介設され、前記メインタンクから圧力供給される機能液の流量を調整する流量調整手段と、
前記流出流路に介設され、前記機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段の検出結果に基づいて、前記流量調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするサブタンク装置。 - 前記制御手段は、前記流出流路の圧力が一定になるように前記流量調整手段を制御することを特徴とする請求項1に記載のサブタンク装置。
- 前記圧力検出手段は、前記機能液滴吐出ヘッド近傍の前記流出流路に介設されていることを特徴とする請求項1または2に記載のサブタンク装置。
- 前記流入流路および前記流出流路は、前記サブタンクの底部に接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のサブタンク装置。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載のサブタンク装置と、
前記サブタンク装置から機能液の供給を受け、ワークに機能液を吐出して描画を行なう前記機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
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