CN100514157C - 膜形成方法、膜形成装置及液晶装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种膜形成方法、膜形成装置及液晶装置的制造方法。膜形成装置(10)将液体材料作为液滴喷出，使该液滴在基板(20)上、以规定的节距(P1)着落并在基板(20)上形成涂膜。规定的节距(P1)根据液滴向基板(20)着落后的直径(L1)来决定。由此，可以实现滴下痕迹的减轻，在基板上形成均匀的涂膜。

Description

膜形成方法、膜形成装置及液晶装置的制造方法

本案是申请日为2004年3月9日、申请号为200410028375.5、发明名称为“膜形成方法、膜形成装置、液晶的配置方法、液晶的配置装置、液晶装置、液晶装置的制造方法、和电子设备”的申请案的分案申请。

技术领域

本发明涉及将液体材料作为液滴喷出、并在基板上配置该液体材料的技术，尤其涉及将液体材料作为液滴喷出并在基板上形成其薄膜的方法和装置，以及从喷出装置喷出液晶、在基板上配置液晶的配置方法及其装置。

背景技术

例如，在液晶装置中，作为液晶分子的取向用而在基板上形成取向膜。

这样的膜是在基板上形成液体材料的塗膜，并干燥该液体材料的塗膜而形成的。

作为在基板上形成液体材料膜的技术已知有，印刷法、旋转涂膜法等。而且，为了达到减少材料使用量等目的，将液体材料作为液滴喷出、在基板上以规定的节距着落、形成塗膜的技术。(例如，特开平9-138410号公报)。

并且例如，在液晶装置中，作为显示的控制装置的一部分，使用在基板上配置的液晶。

作为在基板上配置液晶的技术已知有，用分配器(Dispenser)等喷出装置将液晶按规定量逐次喷出的方法。而且，为了更高精度地进行液晶的配置，有用喷出装置把液晶呈液滴状喷出、配置在基板上的技术。(例如，特开平5-281562号公报)。

在将液体材料作为液滴喷出、在基板上形成膜的技术、在基板上以液滴状喷出液晶并配置的技术中，液滴的边缘部作为滴下痕迹容易形成斑纹并残留。此斑纹是膜厚均匀性降低的原因，在液晶装置等显示装置中，可能导致可视性降低。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而进行的，目的在于提供一种能实现滴下痕迹的减轻、在基板上形成均匀涂膜的膜形成方法和膜形成装置。

而且，本发明的另一目的是，提供一种能在基板上均匀配置液晶、而且减轻滴下痕迹的液晶配置方法及其装置。

本发明的目的并且，提供一种能提高可视性的液晶装置及其制造方法。

本发明的目的并且，提供一种能提高质量的电子设备。

本发明的膜形成方法是，将液体材料作为液滴喷出，而在基板上形成膜，其特征在于，具有：对着落后的所述液滴的直径预先进行测定的工序；基于测定的结果，对作为所述液滴的喷出间隔的节距进行设定的工序；以及使所述液滴在所述基板上以所述节距着落而在所述基板上形成涂膜的涂敷工序，所述节距，与所述液滴着落后的直径大致相同。。

在这里，所谓液滴向基板着落后的直径是指，经过着落规定时间(例如，0～300秒)后、在基板上留下的液滴直径。

在上述膜形成方法中，由于液体材料呈液滴状喷出，能精确控制在基板上配置的液体材料的量和位置，能形成均匀的塗膜。而且，由于在基板上液体材料呈液滴状细微分散配置，用肉眼很难看出斑纹。并且，此膜形成方法中，根据液体材料向基板的着落直径、来决定液滴在基板上的着落节距，能实现膜厚的均匀化。

例如，通过使上述规定的节距与上述液滴着落后的直径大致相同，能实现膜厚的均匀化。

在这里，上述液滴的配置节距优选，上述液滴着落后的直径(以下，根据需要称为“着落直径”)的50％以上、150％以下。并且，更优选为着落直径的80％以上、120％以下。若液滴的配置节距不足着落直径的50％，由于液滴之间产生的干涉等，可能造成明显的滴下痕迹，所以不好。如果超过150％，则液滴之间不相互结合，而以液滴的形状原样残留在基板上等，也可能造成明显的滴下痕迹，所以也不令人满意。通过使液晶的配置节距为着落直径80％以上、120％以下，能确实可靠地实现滴下痕迹的减轻。

在上述膜形成方法中，作为上述液体材料可以举出，例如取向膜的形成材料等。

在此情况下，取向膜的滴下痕迹减轻、该膜厚的均匀性提高。

并且，在此情况下，上述液体材料的粘度优选为2.0mPa·s以上、20mPa·s以下。

若液体材料的粘度不足2.0mPa·s或超过20mPa·s，则容易造成液滴的喷出不稳定，故不好。

并且，在此情况下，上述液体材料的表面张力优选为20mN/m以上、70mN/m以下。

若液体材料的表面张力低于20mN/m或超过70mN/m，则容易造成液滴的喷出不稳定，故不好。

而且，在上述的膜形成方法中优选，在上述基板上、排列多个像素区域，在上述多个像素区域的各个中心位置着落上述液滴。这样，使液滴之间的结合部分处于多个像素区域的边界，能抑制由在结合部分产生的滴下痕迹引起的像素的可视性降低。

在此情况下，通过上述液滴着落后的直径与上述多个像素区域的排列节距大致相同，液滴的配置节距与液滴的着落直径大致相同，如上上述，能实现滴下痕迹的减轻。

而且，在上述的膜形成方法中优选，在上述涂敷工序之前，具有使对上述液体材料具有亲液性地处理上述基板的表面的亲液化工序。

这样，能进一步实现膜厚均匀性的提高。

本发明的膜形成装置是，将液体材料作为液滴喷出、在基板上形成膜的装置，其特征在于：具有将上述液滴在上述基板上以规定的节距着落、在上述基板上形成塗膜的喷出头，上述规定的节距是根据、上述液滴向上述基板着落后的直径来决定的。

在上述的膜形成装置中，能够通过上述构成实施上述的膜形成方法，所以能精确控制配置在基板上的液体材料的量和位置等，能形成均匀的塗膜。根据液体材料向基板的着落直径来决定液滴向基板的着落节距，能实现膜厚的均匀化。

例如，由于上述规定的节距与液滴的着落直径大致相同，能实现膜厚的均匀化。

而且，在上述的膜形成装置中优选，在上述喷出头上，形成呈液滴状喷出上述液晶的喷嘴，上述喷出头的上述喷嘴周围、以使之对于上述液体材料呈规定的接触角的方式进行表面处理。

这样，液滴的喷出状态稳定。

在此状态，通过使上述规定的接触角在30°以上、170°以下，能确实可靠地稳定液滴的喷出状态。

而且，在上述的膜形成装置中，最好具有：多个像素区域在上述基板上排列，使上述喷嘴和上述基板作相对移动、使上述液滴的着落位置与上述多个像素区域的各自位置一致的驱动系统。这样，液滴之间的结合部分就处于多个像素区域的边界，能抑制由在结合部分产生的滴下痕迹引起的像素的可视性降低。

本发明的液晶装置，其特征为，用上述的膜形成装置来形成取向膜。

该液晶装置，由于用上述的膜形成装置来形成取向膜，所以膜厚不均匀很少，液晶的取向不均匀减轻，能实现可视性的提高。

本发明的电子设备其特征为，具有上述的液晶装置。

在该电子设备中，由于具有可视性高的液晶装置，所以能实现质量的提高。

本发明的液晶的配置方法是，从喷出装置喷出液晶、在基板上配置液晶的方法，其特征为：上述喷出装置具有，能呈液滴状喷出上述液晶的多个喷嘴，根据上述液滴向上述基板着落后的直径、来决定上述液滴在上述基板的配置节距。

在这里，所谓液滴向基板着落后的直径是指，经过着落的规定时间(例如，0～300秒)后在基板上扩散的液滴直径。

在上述液晶的配置方法中，由于液晶呈液滴状喷出，能精确控制在基板上配置的液体材料的量和位置，能实现液晶的均匀配置。而且，由于在基板上、液体材料以液滴状细微分散配置，滴下痕迹也细小分散而不突出。因此，本发明也适用于具有液晶的装置的高精细化或小尺寸化。并且，在此配置方法中，根据液滴向基板着落后的直径来决定液滴在基板的配置节距，能实现滴下痕迹的减轻。

例如，由于上述液滴的配置节距与上述液滴着落后的直径大致相同，相邻液滴之间结合、在基板上形成液晶膜时，能减小该结合部分的尺寸、能实现滴下痕迹的减轻。

在这里，上述液滴的配置节距优选，为上述液滴着落后的直径(以下，根据需要称为“着落直径”)的50％以上、150％以下。并且，更优选为着落直径的80％以上、120％以下。若液滴的配置节距不足着落直径的50％，由于液滴之间产生的干涉等，可能造成滴下痕迹明显，所以不令人满意。如果超过150％，则液滴之间不相互结合而原样残留在基板上等，也可能造成滴下痕迹明显，也不令人满意。由于液晶的配置节距在着落直径的80％以上、120％以下，能确实可靠地实现减轻滴下痕迹。

而且，在上述液晶的配置方法中优选，在上述基板上形成多个由多个象素构成的像素区域的情况下，在上述多个像素区域分别涂敷上述液滴。这样，液滴之间的结合部分处于多个像素区域的边界，能抑制由在结合部分产生的滴下痕迹造成的像素的可视性降低。这时，作为像素区域，可以举出例如在母体基板上，1个芯片内的某特定像素区域等。

在此情况下，上述液滴着落后的直径与上述多个像素区域的排列节距大致相同，由此液滴的配置节距与液滴的着落直径大致相同。这样，能实现滴下痕迹的减轻。

本发明液晶的配置装置是，从喷出装置喷出液晶、在基板上配置上述液晶的装置，其特征为，上述的喷出装置具有，以液滴状喷出上述液晶的多个喷嘴，并根据向上述基板着落后的直径来决定上述多个喷嘴的间隔。

在上述的液晶的配置装置中，根据上述构成，能实施上述液晶的配置方法，能精确控制配置的液晶在基板上的量和位置，能实现液晶的均匀配置。而且，根据液滴向基板着落后的直径(着落直径)、来决定上述多个喷嘴的间隔，能实现滴下痕迹的减轻化。

例如，上述多个喷嘴的间隔与上述液滴着落后的直径大致相同，由此基板上的液滴的配置节距与液滴着落后的直径大致相同，相邻液滴之间结合、在基板上形成液晶膜时，能减小该结合部分的尺寸、能实现滴下痕迹的减轻。

而且，在上述液晶的配置装置中最好具有：在上述基板上，排列着多个像素区域、使上述多个喷嘴和上述基板作相对移动、使上述液滴的着落位置与上述多个像素区域的各个中心位置一致的驱动系统。这样，液滴之间的结合部分处于多个像素区域的边界，能抑制由在结合部分产生的滴下痕迹引起的像素的可视性降低。

在此状态，上述液滴着落后的直径与上述多个像素区域的排列节距大致相同，由此液滴的配置节距与液滴的着落直径大致相同。这样，能实现滴下痕迹的减轻。

本发明的液晶装置，其特征为，用上述的液晶的配置装置来配置液晶。

由于该液晶装置是用上述的液晶的配置装置来配置液晶，故滴下痕迹不明显，能实现可视性的提高。

本发明的电子设备，其特征为，具有上述的液晶装置。

在该电子设备中，由于具有可视性高的液晶装置，所以能实现质量的提高。

本发明液晶装置的制造方法，其特征在于，具有用喷墨工艺在基板上形成取向膜的工序，和在形成有上述取向膜的基板上、用喷墨工艺涂敷液晶的工序。

而且，本发明液晶装置的制造方法是，在一对基板间进行液晶配置的液晶装置的制造方法，其特征在于具有，在基板上、用喷墨工艺形成滤色器的工序，在形成有上述滤色器的基板上、用喷墨工艺形成取向膜的工序，和在上述一对基板中的一个基板、用喷墨工艺形成液晶的工序。

附图说明

图1为模式化表示本发明的膜形成装置(液晶的配置装置)实施方式的一例的图。

图2为说明由压电方式喷出液体材料的原理的图。

图3为表示用膜形成装置在基板上形成取向膜的例(或是配置液晶的例)的图。

图4为模式化表示液体喷出头的喷出面的图。

图5为表示在实际处理用的基板上、配置了取向膜的液体材料(或液晶)的外观图。

图6为表示液体喷出头的驱动电压Vh(V)变化时、液滴喷出速度(飞行速度)Vm(m/s)变化情形的一例的图。

图7为表示驱动频率变化时，驱动电压Vh(V)和液滴重量Iw(ng)的关系的变化情形一例的图。

图8为模式化表示液晶装置(液晶显示装置)的剖面结构一例的图。

图9为模式化表示液晶装置的制造方法的图，(a)和(b)表示在玻璃基板上定量配置液晶的工序，(c)和(d)表示液晶封固工序。

图10(a)表示把本发明的电子设备应用于手机的例，(b)表示把本发明的电子设备应用于携带型信息处理装置的例，(c)表示把本发明的电子设备应用于手表型电子设备的例的图。

图11表示将TFT应用于开关元件的有源矩阵(Active matrix)型的液晶装置(液晶显示装置)一例的图，(a)为表示此例的液晶显示装置的整体结构的立体图，(b)为(a)中一个像素的放大图。

图12为表示用大型基板制作液晶装置用基板(Panel)的所谓多面处理例的模式图。

图13为表示有源矩阵型液晶装置(液晶显示装置)的剖面结构的图。

图14为说明滤色器的制造方法一例的图，(a)为在基板上已形成分隔墙的图，(b)为R的墨滴在基板上着落的图，(c)为对墨水进行预烧结、形成了着色层R的图，(d)为着色层G和B形成后的图，(e)为包覆各着色层和分隔墙的外涂层形成后的图。

具体实施方式

以下，结合附图说明有关本发明的实施方式。

图1为模式化表示本发明的膜形成装置的实施方式一例的图。

并且，图1的膜形成装置，如后面所述的那样，也适用于作为本发明的液晶的配置装置。

在图1中，膜形成装置10具有：底座112，在底座112上设置、支撑基板20的基板支撑台22，介于底座112和基板支撑台22之间、可移动地支撑基板支撑台22的第1移动装置(移动装置)114，可向被基板支撑台22支撑的基板20喷出处理液体的液体喷出头21，可移动地支撑液体喷出头21的第2移动装置116，和控制液体喷出头21的液滴喷出动作的控制装置23。并且，膜形成装置10具有：设置在底座112上的作为重量测量装置的电子天秤(未图示)，压盖(capping)单元25，清洗单元24。而且，包含第1移动装置114和第2移动装置116的膜形成装置10的动作是由控制装置23控制的。

第1移动装置114在底座112上设置、在沿Y方向被定位。第2移动装置116用支柱16A、16A竖立安装在底座112上、并装配在底座112后部12A。第2移动装置116的X方向(第2方向)为与第1移动装置114的Y方向(第1方向)垂直的方向。在这里，Y方向是沿底座112前部12B和后部12A的方向。相应地，X方向是沿底座112的左右方向的方向、各自呈水平。而且，Z方向是与X方向和Y方向垂直的方向。

第1移动装置114例如由直线电动机构成，具有导轨140、140，和能沿该导轨140移动地设置的滑块142。该直线电动机形式的第1移动装置114的滑块142能沿导轨140在Y方向移动定位。

而且，滑块142具有Z轴转动(θZ)用的电动机144。该电动机144例如为直接驱动电动机，电动机144的转子固定在基板支撑台22上。这样，通过对电动机144通电，转子和基板支撑台22能够沿θZ方向旋转、对基板支撑台22(旋转分度)进行分度。即，第1移动装置114能使基板支撑台22在Y方向(第1方向)和θZ方向移动。

基板支撑台22保持基板20、并将其定位于规定位置。而且，基板支撑台22还具有对未图示的吸附保持装置，根据吸附保持装置的动作、通过基板支撑22的孔46A将基板20在基板支撑台22上吸住并保持。

第2移动装置116由直线电动机构成，并具有在支柱16A，16A固定的立柱16B，由该立柱16B支撑的导轨62A，和可沿导轨62A在X方向移动支撑的滑块160。滑块160能沿导轨62A在X方向移动定位，液体喷出头21安装在滑块160上。

液体喷出头21具有，决定作为摇摆定位装置的电动机62、64、67、68。启动电动机62，则液体喷出头21能沿Z轴上下移动定位。该Z轴是与X轴和Y轴分别垂直的方向(上下方向)。启动电动机64，则液体喷出头21能沿着围绕Y轴的β方向摇摆并定位。启动电动机67，则液体喷出头21能沿着围绕X轴的γ方向摇摆并定位。启动电动机68，则液体喷出头21能沿着围绕Z轴的α方向摇摆并定位。也就是，第2移动装置116可向X方向(第1方向)和Z方向移动地支撑液体喷出头21的同时，可向θX方向、θY方向和θZ方向移动地支撑该液体喷出头21。

这样，图1的液体喷出头21，在滑块160上能在Z轴方向直线移动并定位，也能沿α，β，γ方向摇摆定位。液体喷出头21的液滴喷出面11P能对基板支撑台22一侧的基板20正确地进行位置或姿势的控制。并且，在液体喷出头21的液滴喷出面11P上设置有喷出液滴的多个喷嘴。

液体喷出头21是，由所谓液体喷出方式(液滴喷出方式)、从喷嘴喷出液体材料(抗蚀剂)的部件。作为液体喷出方式可以应用作为压电体元件的压电元件喷出墨水的压电方式，以加热液体材料而产生的泡(Bubble)喷出液体材料的方式等公知的各种技术。其中，压电方式由于不对液体材料加热，具有不影响材料组成等的优点。并且，本例使用了上述压电方式。

图2为说明基于压电方式的液体材料的喷出原理的图。在图2中，与容纳液体材料的储液室31相邻设置着压电元件32。通过包含容纳液体材料的材料箱的液体材料供给系统34向储液室31供给液体材料。压电元件32与驱动电路33连接、通过该驱动电路33向压电元件32加载电压。通过使压电元件32变形，储液室31变形，液体材料从喷嘴30喷出。此时，通过改变加载电压的值来控制压电元件32的变形量，通过改变加载电压的频率来控制压电元件32变形的速度。也就是，液体喷出头21是通过控制压电元件32的加载电压来控制从喷嘴30喷出的液体材料。

回到图1，为了测量、管理从液体喷出头21的喷嘴喷出的液滴每一滴的重量，电子天秤(未图示)例如从液体喷出头21的喷嘴接纳5000滴液滴。电子天秤通过将这5000滴液滴的重量除以5000，便能正确地测量出每一滴液滴的重量。基于该液滴的测定值，能最适宜地控制从液体喷出头21喷出的液滴量。

清洗单元24，在器件制造工序中和待机时、对液体喷出头21的喷嘴等进行定期的或随时清洗。压盖单元25，为了不使液体喷出头21的液滴喷出面11P变得干燥，而在不制造器件的待机状态、在该液滴喷出面11P上加盖。

通过液体喷出头21由第2移动装置116在X方向移动，能够使液体喷出头21在电子天秤、清洗单元24或压盖单元25的上部选择性地定位。也就是，即使在器件制造作业途中，若使液体喷出头21向例如电子天秤一侧移动，则也能够测量液滴的重量。并且，若液体喷出头21在清洗单元24上移动，则能对液体喷出头21进行清洗。若液体喷出头21在压盖单元25上移动，则液体喷出头21的液滴喷出面11P被盖上盖封住、从而防止干燥。

也就是，此电子天秤、清洗单元24、和压盖单元25，在底座112的后端一侧，在液体喷出21的移动路线正下方，与基板支撑台22离开配置。对于基板支撑台22、基板20的给料作业和排料作业在底座112的前端进行，所以该电子天秤，清洗单元24或压盖单元25不会对作业造成障碍。

如图1所示，在基板支撑台22内支撑基板20以外的部分，液体喷出头21进行液滴遗弃喷出或者试喷出(预备喷出)用的预备喷出区域(预备喷出区域)152与清洗单24分开设置。该预备喷出区域152如图1所示，在基板支撑台22的后端部一侧沿X方向设置。该预备喷出区域152由固定在基板支撑台22上、并设置有上方开口的剖面呈凹字状的受液部件，和可自由更换地设置在受液部件的凹部、吸收喷出的液滴的吸收部件构成。

作为基板20可使用：玻璃基板、硅基板、石英基板、陶瓷基板、金属基板、塑料基板、塑料薄膜基板等各种材料基板。而且，也包含在这些各种材料基板表面作为基底层而形成有半导体膜、金属膜、介质膜、有机膜等的基板。而且，作为上述塑料可使用：例如，聚烯烃、聚酯、聚丙烯酸酯、聚碳酸酯、聚醚砜和聚醚酮等。

下面，对本发明的膜形成方法进行说明。

图3(a)～(c)表示用上述构成的膜形成装置10、在上述基板20上形成取向膜的方法的一例。

首先，使对取向膜的液体材料具有亲液性地处理基板20的表面(亲液化工序)。

作为亲液化处理的有，例如，常压等离子体法、UV处理法、和有机薄膜法(癸烷膜、聚乙烯膜)等。在等离子体法中，通过在对象物体的表面、照射等离子态氧使该表面亲液化或活化。这样，使基板20表面的浸润性提高(基板20表面的接触角在处理前为70°左右，处理后例如变成20°以下)，能够提高后述的塗膜均匀性。

下面，把取向膜的液体材料作为液滴、在基板20上以规定的节距着落，在基板20上形成塗膜(涂敷工序)。

作为取向材料的液体材料可使用含有，例如，固形成分的聚酰亚胺(固形成分浓度3～5％)和，γ-丁内酯(γ-Butyrolactone)等有机溶剂。

并且，在此状态下，取向膜液体材料的粘度优选2.0mPa·s以上、20mPa·s以下。若液体材料的粘度不足2.0mPa·s，则液滴喷出头喷嘴内的液体材料的弯液面(Meniscus)不稳定、容易造成液滴喷出不稳定，因此不理想。而且，若液体材料的粘度超过20mPa·s，则液体喷出头向储液室供给材料不能顺利进行，也容易造成液滴喷出不稳定，因此不理想。

并且，在此状态下，取向膜液体材料的表面张力优选20mN/m以上、70mN/m以下。若液体材料的表面张力低于20mN/m，液体喷出头的喷出面液体材料的浸润性增加，更容易产生飞行弯曲、容易造成液滴喷出不稳定，因此不理想。而且，若液体材料的表面张力超过70mN/m，则液滴喷出头喷嘴内的液体材料的弯液面不稳定、容易造成液滴喷出不稳定，因此不理想。

本例的膜形成方法，如图3(b)和(c)所示，取向膜的液体材料从液体喷出头21上设置的喷嘴呈液滴状喷出、液滴着落在基板20上。这样，通过反复此液滴喷出动作，在基板20上形成取向膜的塗膜。

此时，液滴的配置节距，预先根据液滴向基板20着落后的直径来决定。也就是，如图3(a)所示，在液滴配置前，测量液滴向基板20着落后的直径(着落直径)，并根据其测量结果来决定液滴的配置节距。

在这里，液滴着落直径的测量，不只限于使用该实际处理用的基板20的方法。作为测量对象，也可以使用具有至少表面一部分与该实际处理基板20相同的材料和特性的物质、间接地进行。在此状态，例如，如图3(a)所示，在该实际处理基板20和具相同特性的基板20b的表面，从液体喷出头21液体材料呈液滴状喷出，在经过着落规定时间(例如，0～300秒)后、对在该基板20b上扩散的液滴直径(着落直径L1)进行测量也可以。

而且，在本例中，如图3(b)和(c)所示，以配置在基板20上的液滴之间的间隔(配置节距P1)与上述液滴的着落直径L1大致相同的方式，液体材料从液体喷出头21呈液滴状向基板20上喷出。

此时，能够根据液体喷出头21的喷出喷嘴的间隔、及液体喷出头21和基板20的相对移动距离等，对液滴的配置节距P1进行控制。

例如，如图3(b)所示，由于液体喷出头21的喷出喷嘴的间隔L2与液滴的着落直径L1大致相同，则以与上述着落直径L1大致相同的节距P1在基板20上配置液滴。

而且，如图3(c)所示，每次从液体喷出头21向基板20喷出液滴时、液体喷出头21与基板20仅相对移动与上述着落直径L1大致相同的距离(L3)，以与上述着落直径L1大致相同的节距P1在基板20上配置液滴。

在这里，例如，根据从在液体喷出头21形成的多个喷嘴中选择使用喷嘴来对液体喷出头21喷出喷嘴的间隔L2进行控制。

图4(a)～(c)为表示液体喷出头21的喷出面的模式图。

如图4(a)所示，在液体喷出头21，排列形成多个喷嘴30，由于全部的喷嘴30都被使用，液滴喷出喷嘴的间隔最小。

针对这这种情况，如图4(b)或图4(c)所示，通过在多个喷嘴30中，将使用的喷嘴(使用的喷嘴用30a表示，未使用的喷嘴用30b表示)为每隔1个或每隔2个(或2个以上)，能改变喷出液滴的喷嘴的间隔。并且，由于在多个喷嘴中使用的喷嘴数量不同而造成喷出精度不同的情况下，可以考虑该喷出精度而选择使用的喷嘴数量。

而且，液体喷出头21喷嘴的周围优选，进行表面处理使其对液体材料规定的接触角在30°以上、170°以下的范围。此表面处理可以对液体喷出头21的喷出面进行疏液化处理或亲液化处理。作为疏液化处理的方法可以采用例如等离子处理法(等离子聚合法)、共析镀层法等，以及用金硫醇疏液化法，或利用FAS(烷基氟硅烷)进行疏液处理的方法等，各种公知的方法。其中，等离子处理法，具有根据原料的选择等，能在处理对象表面赋予各种特性，并且容易进行控制的优点。而且，关于亲液化处理与上述的同样。

在此状态，若接触角低于30°，对喷嘴面的浸润性增加、容易造成液滴喷出不稳定，因此不理想。而且，若接触角超过170°，液滴喷出头的喷嘴内的液体材料的弯液面(Meniscus)不稳定、也容易造成液滴喷出不稳定，因此不理想。

图5(a)和(b)分别表示基于上述的膜形成方法，在实际处理用的基板20上配置取向膜的液体材料的情形，图5(a)表示刚配置液滴之后，图(b)表示在经过规定时间后的情形。

如图5(a)和(b)所示，向基板20着落后，液滴在基板20上扩散，相邻液滴之间互相结合，这样在基板20上形成取向膜。

在本例中，如上述那样，以液滴的着落直径L1大致相同的配置节距P1在基板20上配置液滴。因此，液滴之间结合时，该结合部分的尺寸变小。即，由于液滴的着落直径与液滴的配置节距大致相同，结合后液滴扩散少、结合部分很难变大。与之相对，若液滴的着落直径比液滴的配置节距过大，结合后液滴进一步扩散、相邻液滴之间的材料混合，结合部分的尺寸变大。而且，若液滴的着落直径比液滴的配置节距过小，液滴之间不结合，液滴的边缘部作为滴下痕迹而容易照原样残留。根据本例，由于液滴之间的结合、较小地控制该部分的尺寸，能实现滴下痕迹的减轻。这样，用该膜形成方法能实现膜厚的均匀化。

在这里，根据上述膜形成方法、在基板上形成取向膜。

喷出条件为着落直径：96μm，液滴量：13ng/dot。

此时，使液滴的配置节距以40μm、55μm、96μm、110μm、141μm变化，对塗膜的膜厚的均匀性进行了考察。

其结果是，液滴的配置节距为40m时±34％，55μm时±25％，96μm时±4％，110μm时±10％，114μm时±14％。

从这个结果可看出，液滴的配置节距优选，在液滴的着落直径的50％以上、150％以下。并且，更优选为着落直径的80％以上、120％以下。若液滴的配置节距是着落直径的50％以下，由于液滴之间产生的干涉等、有可能会产生明显滴下痕迹。但若超过150％，则有可能液滴之间不结合而仍以液滴状态原样残留在基板上，滴下痕迹明显，所以不理想。通过使液晶的配置节距为着落直径的80％以上、120％以下，可以确实可靠地实现减轻滴下痕迹。

而且，在本例中，在基板20上排列多个像素区域PX、使液滴着落在该多个像素区域PX的各个中心位置。因此，液滴之间的结合部分位于多个像素区域PX的边界(例如，围堰部分)、能抑制由结合部分产生的滴下痕迹引起的像素的可视性降低。也就是，即使在结合部分产生液滴的滴下痕迹，由于其位于非显示区域，所以也能抑制可视性的降低。

在此状态下，液滴着落后的直径L1与多个像素区域PX的排列节距P2大致相同，则液滴的配置节距P1与液滴的着落直径L1大致相同。由于上述理由，能确实实现减轻滴下痕迹。

下面，对有关本发明液晶的配置方法进行说明。

在本例液晶的配置方法中，使用上述构成的膜形成装置10作为液晶的配置装置，在基板20上定量配置规定量的液晶。

以下，参照前面所示的图3(a)～(c)、图4(a)～(c)、图5(a)，(b)等，对有关在基板20上定量配置规定量的液晶的方法的一例进行说明。

在本例中，图3(a)～(c)表示用上述构成的膜形成装置(液晶的配置装置)10，在基板20上定量配置规定量的液晶的方法的一例。

在本例的液晶的配置方法中，如图3(b)和(c)所示，从在液体喷出头21设置的喷嘴以液滴状喷出液晶、液滴在基板20着落。然后，通过重复该液滴喷出动作、在基板20上配置规定量的液晶。

此时，液滴的配置节距是预先根据液滴向基板20着落后的直径来决定的。也就是，如图3(a)所示，在配置液晶之前，测量液滴向基板20着落后的直径(着落直径)，并根据其测量结果来决定液滴的配置节距。

在这里，液滴着落直径的测量，不只限于使用该实际处理用的基板20的方法，作为测量对象，使用具有至少表面部分与该实际处理基板20相同的材料和特性的物体，间接地进行也可以。在此状态下，例如，如图3(a)所示，在该实际处理基20和具相同特性的基板20b的表面，从液体喷出头21液体材料呈液滴状喷出，在经过着落规定时间(例如，0～300秒)后、对在该基板20b上扩散的液滴直径(着落直径L1)进行测量也可以。

然后，在本例中，如图3(b)和(c)所示，在基板20上配置液滴之间的间隔(配置节距P1)使之与上述液滴的着落直径L1大致相同，在基板20上、液体材料从液体喷出头21呈液滴状喷出。

此时，根据液体喷出头21的喷出喷嘴的间隔及液体喷出头21和基板20的相对移动距离等，对液滴的配置节距P1进行控制。

例如，如图3(b)所示，通过使液体喷出头21的喷出喷嘴的间隔L2与液滴的着落直径L1大致相同，以与上述着落直径L1大致相同的节距P1在基板20上配置液滴。

而且，如图3(c)所示，每次从液体喷出头21向基板20喷出液滴时、液体喷出头21与基板20仅相对移动与上述着落直径L1大致相同的距离(L3)，由此以与上述着落直径L1大致相同的节距P1在基板20上配置液滴。

在这里，例如，根据从在液体喷出头21形成的多个喷嘴中选择使用的喷嘴来对液体喷出头21喷出喷嘴的间隔L2进行控制。

如前面所述，图4(a)～(c)为表示液体喷出头21的喷出面的模式图。

如图4(a)所示，在液体喷出头21上排列形成多个喷嘴30，通过使用全部的喷嘴30，液滴喷出喷嘴的间隔最小。

针对这这种情况，如图4(b)或图4(c)所示，通过在多个喷嘴30中，将使用的喷嘴(使用的喷嘴用30a表示，未使用的喷嘴用30b表示)为每隔1个或每隔2个(或2个以上)，能改变液滴喷出喷嘴的间隔。并且，由于在多个喷嘴中使用的喷嘴数量不同而造成喷出精度不同的情况下，可以考虑其喷出精度而选择喷嘴数量。

而且，从液体喷出头21喷出液晶时优选，实现如前面图2所示的压电元件32的驱动电压、驱动频率的最优化。

图6所示的图表示液体喷出头21的驱动电压Vh(V)变化时、其液滴喷出速度(飞行速度)Vm(m/s)变化的情况一例。

在图6所示的例中，优选驱动电压在20V以上、32V以下。若驱动电压低于20V、则喷出速度慢、液滴的飞行状态变得不稳定，因此不理想。而且，若驱动电压高于32V、喷出速度稍微加快、液滴的飞行状态也变得不稳定，因此不理想。并且，通过改变驱动电压值，每1点的喷出量、墨水速度变化。

图7所示的图为表示将驱动频率分别变化为1kHz、3kHz、5kHz时、驱动电压Vh(V)与液滴重量Iw(ng)之间的关系变化的情况的一例。

在图7所示的例中，优选驱动频率低于5kHz。驱动频率为1kHz、3kHz的情况下，液滴重量随驱动电压的升高而成比例增加。而与之对照，驱动频率若在5kHz以上，可以看出状态变得不稳定，因此不理想。

从液体喷出头21喷出液晶时，通过实现驱动电压、驱动频率的最优化，能实现液滴喷出量和喷出位置的精度的提高。并且，在上述例中，驱动电压为20V以上、低于32V，且驱动频率低于5kHz的状态下，喷出的一滴液滴的重量为8ng～16ng。

在本例中，图5(a)和(b)为分别表示，根据上述液晶的配置方法，在实际处理用的基板20上配置液晶的情形。图5(a)为液滴刚配置后，(b)为经过规定时间后。

如图5(a)和(b)所示，液滴在基板20着落后、在基板20上扩散，相邻液滴之间互相结合，由此在基板20上形成液晶的膜。

在本例中，如前面所述，以与液滴着落直径L1大致相同的配置节距P1在基板20上配置液滴。因此，在液滴之间结合时，该结合部分的尺寸变小。即，由于液滴的着落直径与液滴的配置节距大致相同，结合后液滴扩散少、结合部分很难变大。与之相对，若液滴的着落直径比液滴的配置节距过大，结合后液滴进一步扩散、相邻液滴之间的材料混合，结合部分的尺寸变大。而且，若液滴的着落直径比液滴的配置节距过小，液滴之间不结合，液滴的边缘部作为滴下痕迹而容易照原样残留。根据本例，液滴之间结合、对该部分的尺寸进行控制，能实现滴下痕迹的减轻。

在这里，液滴的配置节距优选，在液滴的着落直径的50％以上、150％以下，并且更优选为着落直径的80％以上、120％以下。若液滴的配置节距低于着落直径的50％，由于液滴之间产生的干涉等，会产生明显滴下痕迹。但若超过150％，液滴之间不结合，而以液滴的状态原样残留在基板上，也会产生明显滴下痕迹，所以不理想。由于液晶的配置节距为着落直径的80％以上、120％以下，能够确实实现减轻滴下痕迹。

而且，在本例中，在基板20上排列多个像素区域PX、液滴着落在该多个像素区域PX的各个中心位置。因此，液滴之间的结合部分位于多个像素区域PX的边界(例如，围堰部分)，能抑制由结合部分产生的滴下痕迹引起的像素的可视性降低。也就是，即使在结合部分产生液滴的滴下痕迹，由于其位于非显示区域，所以能抑制可视性的降低。

在此状态下，液滴着落后的直径L1与多个像素区域PX的排列节距P2大致相同，由此液滴的配置节距P1与液滴的着落直径L1大致相同。由于上述理由，能确实实现减轻滴下痕迹。

下面，对将上述膜形成方法和液晶的配置方法用于液晶装置的制造过程的例进行说明。首先，对有关液晶装置的构成例进行说明。

图8为模式化表示无源矩阵(Passive Matrix)型液晶装置(液晶显示装置)的剖面构造的图。液晶装置200为透过型的结构、由在一对玻璃基板201，202之间夹持由STN(Super Twisted Nematic，超扭曲向列型)液晶等构成的液晶层203的结构形成。此外，还具有向液晶层供给驱动信号的驱动器IC213，和作为光源的背面光214。

在玻璃基板201上，在其内面设置有滤色器204。滤色器204由红色(R)，绿色(G)，蓝色(B)等各颜色构成的着色层204R、204G、204B等规则地排列而形成。并且，在这些着色层204R(204G、204B)之间，形成由黑底和围堰等构成的分隔墙205。而且，在滤色器204和分隔墙205上，设置着外涂层206以消除滤色器204、分隔墙205等形成的台阶、达到平坦化。

在外涂层206上，多个电极207呈条纹状形成、并且在其上形成取向膜208。

在另一玻璃基板202上，在其内面以与上述滤色器204一侧的电极直交的方式，以条纹状形成多个电极209，在这些电极209上形成取向膜210。并且，上述滤色器204的各着色层204R，204G，204B分别在玻璃基板202的电极209与上述玻璃基板201的电极207的交叉位置相对应的位置进行配置。而且，电极207、209是由ITO(Indium Tin Oxide)等透明半导体材料形成的。在玻璃基板202和滤色器204的外面侧分别设置着各种偏转板(未图示)。在玻璃基板201，202相互之间设置有用于保持这些基板201、202之间的间隔(Cell Gap)的未图示的间隔体，和将液晶203与大气隔绝的密封材料212。作为密封材料212例如采用热硬化型或光硬化型树脂。

在该液晶装置200中，利用上述膜形成方法、在玻璃基板上形成上述取向膜208，210。而且，用上述配置方法、在玻璃基板上配置上述液晶层203。因此，在该液晶装置200中，在取向膜208、210和液晶层203中，滴下痕迹不明显，能实现可视性的提高。

图9(a)～(d)为模式化地表示上述液晶装置200的制造方法的图。图9(a)和(b)表示在玻璃基板上定量配置液晶的工序，图9(c)和(d)为表示封固液晶的工序。并且，在图9(a)～(d)中，为了简化，上述玻璃基板上的电极、滤色器间隔体等图示被省略。

在图9(a)和(b)中，在配置液晶的工序中，用上述配置方法，在玻璃基板201上定量配置规定量的液晶。

即，如图9(a)所示，使液滴喷出头21一边相对于玻璃基板201作相对移动，一边从液滴喷出头21的喷嘴将液晶作为液滴Ln喷出，并在玻璃基板201上配置该液滴Ln。然后，如图9(b)所示，一直到在玻璃基板201上配置的液晶达到规定量为止，多次重复该液滴Ln的配置动作。在玻璃基板201上配置的液晶的规定量与封固后在玻璃基板之间形成的空间的容量几乎一样。

液晶的定量配置时，控制液滴Ln的体积及其配置位置等液滴Ln的喷出条件。在本例中，由于使液晶作为液滴Ln在玻璃基板201上配置，所以能对玻璃基板201上配置液晶的量、位置等进行精确控制，从而能在玻璃基板201上均匀配置液晶203。

下面，在图9(c)和(d)中，通过密封材料212、在配置有规定量的液晶203的玻璃基板201上、在减压环境下粘合另一玻璃基板202。

具体地，首先如图9(c)所示，压力主要加在配置了密封材料212的玻璃基板201、202的边缘部位，使密封材料212与玻璃基板201，202粘结在一起。之后，经过规定时间后，待密封材料212干燥到一定程度后，在玻璃基板201，202的整个外面加上压力，使液晶203充满两基板201，201之间包夹的整个空间。

在此状态，由于液晶203与密封材料212接触时，密封材料212已经干燥到一定程度，所以很少有由与液晶203的接触引起的密封材料212的性能降低或液晶203的恶化。

玻璃基板201、202之间粘合后，用热、光等处理密封材料212、使密封材料212硬化。这样，液晶被封固在玻璃基板201，202之间。

像这样制造的液晶装置，液晶消耗量少、成本低。而且，由液晶滴下痕迹引起的显示质量的降低也少。

图10(a)～(c)为表示本发明的电子设备的实施的方式例。

本例的电子设备具有本发明的液晶装置作为显示装置。

图10(a)为表示手机的一例的立体图。在图10(a)中，符号1000表示手机本体，符号1001表示使用上述液晶装置的显示部。

图10(b)为表示手表型电子设备的一例的立体图。在图10(b)中，符号1100表示表本体，符号1101表示使用上述液晶装置的显示部。

图10(c)为表示文字处理机、个人计算机等携带型处理装置的一例的立体图。在图10(c)中，符号1200表示信息处理装置，符号1202表示键盘等输入部，符号1204表示信息处理装置本体，符号1206表示使用上述液晶装置的显示部。

图10(a)～(c)所示的各电子设备具有本发明的液晶装置作为显示装置，能实现高可视性、提高质量。

并且，本实施方式为无源矩阵型的液晶装置，但也可以为将TFD(ThinFilm Diode：薄膜二极管)、TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)作为开关元件使用的有源矩阵型的液晶装置。

图11为表示将TFT用于开关元件的有源矩阵型液晶装置(液晶显示装置)的一例的图，(a)为表示该例的液晶显示装置的整体结构的立体图，(b)为在(a)一个像素的放大图。

在图11中，本例的液晶装置580，形成有TFT元件的元件基板(第1基板)574和对向基板(第2基板)575相向配置，在这些基板间、密封材料573呈画框型被配置，在基板间的密封材料573围成的区域装入液晶层(图示省略)。

在这里，图12为表示用大型基板(例如，1500mm×1800mm)制作液晶装置用的上述元件基板(第1基板)或对向基板(第2基板)的所谓多面处理例的模式图。在图12的例中，从1个大型基板作成多个(在本例为6个)面板(例如，元件基板574)，在各元件基板574上分别形成如前面的图11所示的TFT元件。并且，前面的图11所示的对向基板575也同样，也可用1个大型基板形成多个。

回到图11，在元件基板574的液晶侧表面上，多个源极线576(数据线)和多个栅极线577(扫描线)设置成互相交叉的格状。TFT元件578在各源极线576和各栅极线577交叉点附近形成，通过各TFT元件578连接像素电极579，多个像素电极579平面视呈矩阵状配置。另一方面，在对向基板575的液晶层一侧的表面上，对应于显示区域形成由IT0等透明导电材料制成的共用电极585。

如图11(b)所示，TFT元件578具有，从栅极线577延伸的栅电极581、包覆栅电极581的绝缘膜(图示省略)、在绝缘膜上形成的半导体层582、从与半导体层582中的源区域连接的源极线576延伸的源电极583、和与半导体层582中的漏区域连接的漏电极584。而且，TFT元件578的漏电极584与像素电极579连接。

图13为表示有源矩阵型液晶装置(液晶显示装置)的剖面结构的图。

液晶装置580主要由具有互相对向配置的元件基板574和对向基板575、被挟持其间的液晶层702、在对向基板575附设的相位差板715a，偏光板716a、在元件基板574附设的相位差板715b、和偏光板716b的液晶面板构成。通过在该液晶面板上安装液晶驱动用驱动芯片、传输电信号的配线、支撑体等附带要件等，制成最终产品液晶装置。

对向基板575主要由透光性基板742、和在该基板742上形成的滤色器751构成。滤色器751由分隔墙706、作为滤波元件的着色层703R、703G、703B、分隔墙706、和覆盖着色层703R、703B、703G的保护膜704形成。

分隔墙706是将作为形成各着色层703R、703G、703B的着色层形成区域的滤波元件形成区域707各自包围、形成的格状的分隔物，在基板742的一个面742a上形成。

而且，分隔墙706例如由黑色感光性树脂膜构成。作为此黑颜色感光性树脂膜，例如可以使用如通常使用的光致抗蚀剂那样的正性(Positive)型或负性(Negative)型感光性树脂，和至少含有碳黑等黑色无机颜料或黑色有机颜料的膜。该分隔墙706含有黑色无机颜料或有机颜料，由于在除着色层703R、703G、703B的形成位置之外的部分形成，故能够遮挡光在着色层703R、703G、703B之间透过，所以该分隔墙706也有作为遮光膜的功能。

着色层703R、703G、703B，通过在从分隔墙706的内壁到基板742设置的滤波元件形成区域707，以喷墨方式导入、即喷出红色(R)，绿(G)，蓝(B)的各滤波元件材料，之后干燥而形成。

并且，由ITO(Indium Tin Oxide)等透明导电材料构成的液晶驱动用电极层705在保护膜704的大致整个面上形成。并且，设置有包覆该液晶驱动用电极层705的取向膜719a。而且，元件基板574一侧的像素电极579上也设置有取向膜719b。

元件基板574，在透光性基板714上形成未图示的绝缘层。并且，在该绝缘层上形成TFT元件578和像素电极579。而且，在基板714上形成的绝缘层上，如前面的图11所示，以矩阵状形成多个扫描线和多个信号线，在每个被该扫描线和信号线包围的区域、设置有前面的像素电极579。在各像素电极579、扫描线和信号线的电连接位置、组装有TFT元件578。通过对扫描线、信号线加载信号、来接通/断开TFT元件578，从而进行对像素电极579的通电控制。而且，在对向基板575一侧形成的电极层705，在此实施方式中为覆盖整个像素区域的全面电极。并且，在TFT的配线电路、像素电极中，能够应用各种结构。

元件基板574和对向基板575通过在沿对向基板575的外周边形成的密封材料573、通过规定的空隙粘合而成。并且，符号756为用于在基板面内将两基板间的间隔(Cell Gap)保持固定的间隔体。在元件基板574和对向基板575之间，用平面看大致呈画框状的密封材料573划分形成矩形的液晶封入区域，在此液晶封入区域内、封入液晶。

图14为说明滤色器751的制造方法的一例的图。

首先，如图14(a)所示，在透明基板742的一个面上形成分隔墙706(黑底)。在形成该分隔墙706时，用旋转涂膜等方法以规定的厚度(例如2μm程度)涂敷非透光性树脂(优选黑色树脂)，用光蚀刻技术形成图案。或者，也可以用喷墨工艺。关于该分隔墙706的格子围成的最小显示要素，即滤波元件形成区域707，例如，X轴方向的宽度为30μm，Y轴方向的长度为100μm左右。

下面，如图14(b)所示，喷出R的墨滴790R(液状体)，并在基板742上着落。喷出的墨滴790R的量为考虑到加热工序中墨水的体积减少的充分的量。随后，对墨水进行预烧结，制成如图14(c)所示的R着色层703R。在R，G，B的各颜色中、重复以上工序，如图14(d)所示，依次形成着色层703G、703B。待着色层703R、703G、703B全部形成后，将着色层703R、703G、703B一起烧结。

下面，为了使基板742平坦化，并且保护着色层703R，703G，703B，如图14(e)所示，形成覆盖各着色层703R、703G、703B和分隔墙706的外涂层(保护膜704)。在该保护膜704的形成中，可以采用旋转涂膜法，辊涂法，剥层(Ripping)法等方法，也可以与着色层703R、703G、703B的场合同样地采用喷墨工艺。

并且，作为本发明的液晶装置，除了透过型面板外，还适用于反射型面板，半透过反射型面板。

以上，参照附图对本发明的适宜的实施方式进行了说明，但是当然不仅限于本发明的实施例。在上述例中所示的各构成部件的各种形状或组合等仅为一例，在不脱离本发明主旨的范围内、可根据设计要求等进行各种变更。

Claims (21)

1.一种膜形成方法，将液体材料作为液滴喷出，而在基板上形成膜，其特征在于，具有：

对着落后的所述液滴的直径预先进行测定的工序；

基于测定的结果，对作为所述液滴的喷出间隔的节距进行设定的工序；以及

使所述液滴在所述基板上以所述节距着落而在所述基板上形成涂膜的涂敷工序，

所述节距，与所述液滴着落后的直径大致相同。

2.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

所述液体材料是取向膜的形成材料。

3.根据权利要求2所述的膜形成方法，其特征在于，

所述液体材料的粘度为2.0mPa·s以上、20mPa·s以下。

4.根据权利要求2所述的膜形成方法，其特征在于，

所述液体材料的表面张力为20mN/m以上、70mN/m以下。

5.根据权利要求3所述的膜形成方法，其特征在于，

所述液体材料的表面张力为20mN/m以上、70mN/m以下。

6.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

在所述基板上，排列着多个像素区域，

使所述液滴着落在所述多个像素区域的各自的中心位置。

7.根据权利要求6所述的膜形成方法，其特征在于，

所述液滴着落后的直径与所述多个像素区域的排列节距大致相同。

8.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于，

在所述涂敷工序之前，具有使之对于所述液体材料具亲液性地处理所述基板的表面的亲液化工序，由此控制所述基板表面的润湿性。

9.一种膜形成装置，将液体材料作为液滴喷出，而在基板上形成膜，其特征在于，

具有：

喷出头，其使所述液滴在所述基板上以规定节距着落而在所述基板上形成涂膜，

在所述液滴的配置之前，对喷出到所述基板上后的所述液滴的着落后的直径进行测定，并基于该结果，对作为所述液滴的喷出间隔的节距进行设定，使所述液滴在所述基板上以所述节距着落，而在所述基板上形成涂膜，

所述规定的节距与所述液滴的着落后的直径大致相同。

10.根据权利要求9所述的膜形成装置，其特征在于，

在所述喷出头上，形成将所述液晶以液滴状喷出的喷嘴，

在所述喷出头的所述喷嘴周围，以使之对于所述液体材料呈规定的接触角的方式进行表面处理。

11.根据权利要求10所述的膜形成装置，其特征在于，

所述规定的接触为30°以上、170°以下。

12.根据权利要求9所述的膜形成装置，其特征在于，

在所述基板上，排列着多个像素区域，

具有使所述喷嘴与所述基板相对移动、使所述液滴的着落位置与所述多个像素区域的各个位置一致的驱动系统。

13.根据权利要求10所述的膜形成装置，其特征在于，

在所述基板上，排列着多个像素区域，

具有使所述喷嘴与所述基板相对移动、使所述液滴的着落位置与所述多个像素区域的各个位置一致的驱动系统。

14、根据权利要求9所述的膜形成装置，其特征在于，

所述液体材料，是取向膜的形成材料。

15.一种液晶装置，其特征在于，利用权利要求9所述的膜形成装置，形成取向膜。

16.一种液晶的配置方法，从喷出装置喷出液晶，并在基板上配置所述液晶，其特征在于，

具有：

对着落后的所述液滴的直径预先进行测定的工序；

基于测定的结果，对作为所述的液滴的喷出间隔的节距进行设定的工序，

所述液滴喷出装置，具有以液滴状喷出所述液晶的多个喷嘴，

使所述液晶在所述基板上以所述节距着落，

所述节距与所述液滴的着落后的直径相同。

17.根据权利要求16所述的液晶的配置方法，其特征在于，

在所述基板上形成多个由多个像素构成的像素区域，在所述多个像素区域分别涂敷所述液滴。

18.根据权利要求17所述的液晶的配置方法，其特征在于，所述液滴的着落后的直径与所述多个像素区域的排列节距大致相同。

19.一种液晶的配置装置，将液晶作为液滴喷出，并在基板上配置液晶，其特征在于，

备有：

喷出装置，其具有将所述液晶以液滴状喷出的多个喷嘴；

其在所述液滴的配置之前对喷出到所述基板上的所述液滴的着落后的直径进行测定，并基于该测定结果，设定作为所述液晶的喷出间隔的节距，将所述液晶在所述基板上以所述节距配置，

所述节距的间隔，与所述液滴的着落后的直径大致相同。

20.根据权利要求19所述的液晶的配置装置，其特征在于，

在所述基板上排列多个像素区域，

具有驱动系统，其使所述多个喷嘴与所述基板相对移动，并使所述液滴的着落位置与所述多个像素区域的各个位置一致。

21.一种液晶装置，其特征在于，利用权利要求19所述的液晶的配置装置来配置液晶。

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