CN101428272B - 喷出方法、连续膜形成方法以及取向膜形成方法 - Google Patents

喷出方法、连续膜形成方法以及取向膜形成方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供在喷出液滴形成膜时，能够形成膜厚均匀的膜的喷出方法、连续膜形成方法、取向膜形成方法、液晶显示装置的形成方法、头组件、液滴喷出装置以及电子设备。本发明涉及一种从多个液滴喷出头向基板喷出功能液的方法。液滴喷出头的喷嘴从第一端部向第二端部排列形成。在分布运算工序中，测定喷嘴的喷出量，并运算其分布。在分类工序中，根据喷出量的分布，将液滴喷出头分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组。此时，第一喷嘴组的第二端部侧的喷出量比第一端部侧的喷出量大，第二喷嘴组的第一端部侧的喷出量比第二端部侧的喷出量大。在构成工序中，形成由第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体。在喷出工序中，利用第一喷嘴构成体的头组件向基板喷出。

Description

喷出方法、连续膜形成方法以及取向膜形成方法
技术领域
本发明涉及喷出方法、连续膜形成方法、取向膜形成方法、液晶显示装置的形成方法、头组件、液滴喷出装置及电子设备，尤其涉及减小膜厚离散(variance)的方法。 
背景技术
显示部具备液晶显示装置的电子设备被广泛应用。该液晶显示装置经由液晶粘合一对基板形成。在这些基板上形成有实施了取向处理的取向膜。而且，作为在基板上成膜取向膜的方式，例如，专利文献1公开了一种涂敷方法，该方法利用了喷墨方式。这是一种一边使排列了多个喷嘴的喷出头(以下，称作液滴喷出头)相对于基板相对移动，一边从各喷嘴将含有取向膜形成材料的取向膜溶液变成液滴喷出，由此在基板的表面上涂敷取向膜溶液的方法。 
由该喷嘴喷出的液滴的喷出量，因喷嘴的部位而不同。而且，专利文献2还公开了一种使该喷出量均匀化的方法。由此，通过控制驱动液滴喷出头的驱动信号，使喷出量均匀化。例如，减小喷出量大的部位的驱动电压，增大喷出量小的部位的驱动电压。另外，利用多个驱动信号驱动液滴喷出头，由此使喷出量均匀化。即，使液滴喷出头的各喷嘴的喷出量均匀地喷出，从而形成膜厚均匀的膜。 
专利文献1：(日本)特开2005-118633号公报 
专利文献2：(日本)特开2002-196127号公报 
但是，在现有的方法中，为了形成膜厚均匀的膜，需要向每个液滴喷出头供给多个驱动电压的驱动电路。而且，在没有供给多个驱动电压的驱动电路时，很难形成膜厚均匀的膜。 
发明内容
本发明是为解决所述课题的至少一部分而开发的，可作为以下的方式或应用例实现。 
[应用例1] 
本应用例的喷出方法为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该喷出方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类为第一喷嘴组和第二喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；喷出工序，其使用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。 
根据该喷出方法，运算喷出量的分布，分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组。而且，在第一喷嘴构成体中，相邻第一喷嘴组配置第一喷嘴组。另外，一个第一喷嘴组的第二端部和另外的第一喷嘴组的第一端部相邻配置。此时，第一喷嘴组中第二端部侧的喷出量大于第一端部侧的喷出量。即，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻配置。 
从第一喷嘴构成体的喷嘴喷出液状体。而且，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。使用第二喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。因此，涂敷后液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例2] 
本应用例的喷出方法为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该喷出方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出 量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类为第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；喷出工序，其使用所述第四喷嘴构成体或所述第五喷嘴构成体向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。 
根据该喷出方法，运算喷出量的分布，分类为第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组。而且，在第四喷嘴构成体中，相邻第一喷嘴组配置第一喷嘴组或第三喷嘴组。另外，一个第一喷嘴组的第二端部侧和另外的第一喷嘴组的第一端部侧、或所述第三喷嘴组的第一端部侧相邻配置。此时，第一喷嘴组中第二端部侧的喷出量比第一端部侧的喷出量大。另外，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻配置。 
从第四喷嘴构成体的喷嘴喷出液状体。而且，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。使用第五喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例3] 
本应用例的喷出方法为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该喷出方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷 嘴组分类出第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。 
根据该喷出方法，运算喷出量的分布，分类第三喷嘴组。而且，在第三喷嘴构成体中，相邻第三喷嘴组配置第三喷嘴组。此时，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，配置喷嘴组两端的喷出量大致同量的喷嘴组。因此，涂敷后的液状体的膜厚成为大致同量的厚度，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例4] 
本应用例的喷出方法为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该喷出方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量和所述第二端部侧的所述喷出量大致同量，在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置所述第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置所述第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。 
根据该喷出方法，运算喷出量的分布，分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组。而且，在第六喷嘴构成体中，相邻第一喷嘴组配置第一喷嘴组或第三喷嘴组。于是，一个第一喷嘴组的第二端部侧和另外的第一喷嘴组的第一端部侧、或所述第三喷嘴组的第一端部侧相邻配置。此时，第一喷嘴组中第二端部侧的喷出量比第一端部侧的喷出量大。而且，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，第一 喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻配置。另外，相邻第二喷嘴组配置第二喷嘴组或第三喷嘴组时，也同样进行配置。而且，在进行涂敷时，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例5] 
所述应用例的喷出方法的特征在于，在所述分类工序中，使用最小二乘法对所述分布进行一次近似式运算，并对所述第一端部侧和所述第二端部侧的所述喷出量进行比较。 
根据该喷出方法，使用最小二乘法，运算喷出量分布的一次近似式。最小二乘法能够高精度地运算一次近似式，因此能够高精度地对第一端部和第二端部的喷出量进行比较。 
[应用例6] 
所述应用例的喷出方法的特征在于，在所述分类工序中，对从所述第一端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量与从所述第二端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量进行比较。 
根据该喷出方法，运算从第一端部侧的多个喷嘴喷出的喷出量的和。同样，运算从第二端部侧的多个喷嘴喷出的喷出量的和。而且，将第一端部侧的喷出量与第二端部侧的喷出量进行比较。该运算为简便的方法，因此，能够在短时间内结束运算。其结果是，能够生产性良好地进行分类。 
[应用例7] 
所述应用例的喷出方法的特征在于，所述喷嘴组的所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。 
0022根据该喷出方法，液滴喷出头将第一端部侧和第二端部侧进行更换，由此能够将第一喷嘴组变更为第二喷嘴组。同样，能够将第二喷嘴组变更为第一喷嘴组。因此，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头全部作成由第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体。同样，能够将液滴喷出头全部作为由第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体。其结果是，能够简便 地形成第一喷嘴构成体、或第二喷嘴构成体。 
[应用例8] 
所述应用例的喷出方法的特征在于，所述喷嘴组形成于液滴喷出头， 
所述液滴喷出头在头组件配置多个，在更换所述液滴喷出头时，按每个所述头组件进行更换。 
根据该喷出方法，在更换液滴喷出头时，按每个头组件进行更换。因此，与对每一个液滴喷出头进行更换的方法相比，能够以少的次数更换液滴喷出头，因此，能够加工性良好地更换液滴喷出头。其结果是，能够生产性良好地进行维护。 
[应用例9] 
所述应用例的喷出方法的特征在于，由所述喷嘴组组成的喷嘴构成体形成为在所述工件上涂敷所述液状体的区域的宽度以上的长度。 
根据该喷出方法，操作者向一方向移动工件，从喷嘴组喷出液状体，由此，能够在涂敷液状体的预定区域进行涂敷。此时，喷出装置能够向排列了喷嘴的方向移动喷嘴组，且可不改行地向工件涂敷液状体。因此，能够防止因工件或喷嘴组改行导致的筋状条纹的发生。其结果是，能够形成品质优良的膜。 
[应用例10] 
所述应用例的喷出方法的特征在于，所述喷嘴组形成于液滴喷出头，所述液滴喷出头在所述头组件中交错状配置。 
根据该喷出方法，液滴喷出头交错状配置。即，液滴喷出头交替排列形成两列。设该排列为第一排列和第二排列。而且，使喷嘴和工件沿与喷嘴排列的方向大致正交方向或倾斜的方向相对移动地涂敷液状体。首先，第一排列的液滴喷出头喷出液滴形成线。接着，在由第一排列的液滴喷出头形成的线上，第二排列的液滴喷出头喷出液滴形成线。此时，在同一线上第一排列的液滴喷出头和第二排列的液滴喷出头喷出的时间间隔可设为短的间隔。因此，在第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体通过干燥等固化前，能够使第二排列的液滴喷出头涂敷液状体。而且，第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液状体混合。其结果是，在第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体的膜和第二排列的液 滴喷出头涂敷后液状体的膜相邻接的部位，能够成为膜厚离散少的膜。 
[应用例11] 
所述应用例的连续膜形成方法为为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该连续膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；固化工序，其将所述液状体进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。 
根据该连续膜形成方法，在第一喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液状体，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。使用第二喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，因此能够减小膜厚的离散。 
[应用例12] 
本应用例的连续膜形成方法为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该连续膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者由所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第四喷嘴构成体或所述第五喷嘴构成 体，向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；固化工序，其将所述液状体进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。 
根据该连续膜形成方法，在第四喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或第三喷嘴组的喷出量大致中间的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液状体，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。使用第五喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，因此能够减小膜厚的离散。 
[应用例13] 
本应用例的连续膜形成方法为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该连续膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；固化工序，其将所述液状体进行固化，其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量和所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。 
根据该连续膜形成方法，在第三喷嘴构成体中，相邻第三喷嘴组配置第三喷嘴组。此时，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，配置喷出量大致同量的喷嘴组。因此，涂敷后的液状体的膜厚成为大致同量的厚度，因此能够减小膜厚的离散。 
[应用例14]
本应用例的连续膜形成方法为为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该连续膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体向所述工件进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；固化工序，其将所述液状体进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量和所述第二端部侧的所述喷出量大致同量，在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置所述第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置所述第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。 
根据该连续膜形成方法，在第六喷嘴构成体中，一个第一喷嘴组的第二端部侧和另外的第一喷嘴组的第一端部侧、或第三喷嘴组的第一端部侧相邻配置。第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻配置。另外，相邻第二喷嘴组配置第二喷嘴组或第三喷嘴组时，也同样进行配置。而且，在进行涂敷时，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例15] 
本应用例的取向膜形成方法为为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该取向膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；喷出工序，其利 用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。 
根据该取向膜形成方法，在第一喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液晶取向膜形成用组成物，被喷出来的液晶取向膜形成用组成物在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻时，液晶取向膜形成用组成物的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位流动。使用第二喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位流动。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例16] 
本应用例的取向膜形成方法为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该取向膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者由所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第四喷嘴构成体或第五喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。 
根据该取向膜形成方法，在第四喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量 大的部位和喷出量小的部位、或第三喷嘴组的喷出量大致中间的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液晶取向膜形成用组成物，被喷出来的液晶取向膜形成用组成物在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻时，液晶取向膜形成用组成物的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。使用第五喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例17] 
本应用例的取向膜形成方法为为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该取向膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。 
根据该取向膜形成方法，在第三喷嘴构成体中，相邻第三喷嘴组配置第三喷嘴组。此时，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，配置喷出量大致同量的喷嘴组。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚成为大致同量的厚度，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例18] 
本应用例的取向膜形成方法为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，该取向膜形成方法具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算； 分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量，在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置所述第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置所述第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。 
根据该取向膜形成方法，在第六喷嘴构成体中，一个第一喷嘴组的第二端部侧和另外的第一喷嘴组的第一端部侧、或第三喷嘴组的第一端部侧相邻配置。第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻配置。另外，相邻第二喷嘴组配置第二喷嘴组或第三喷嘴组时，也同样进行配置。而且，在进行涂敷时，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例19] 
本应用例的液晶显示装置的形成方法为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，所述取向膜形成工序具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用 组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。 
根据该液晶显示装置的形成方法，在第一喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液晶取向膜形成用组成物，被喷出来的液晶取向膜形成用组成物在基板上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻时，液晶取向膜形成用组成物的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位流动。使用第二喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位流动。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例20] 
本应用例的液晶显示装置的形成方法为为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，所述取向膜形成工序具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者由所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第四喷嘴构成体或所述第五喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。
根据该液晶显示装置的形成方法，在第四喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或第三喷嘴组的喷出量大致中间的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液晶取向膜形成用组成物，被喷出来的液晶取向膜形成用组成物在基板上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻时，液晶取向膜形成用组成物的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。使用第五喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例21] 
本应用例的液晶显示装置的形成方法为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，所述取向膜形成工序具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量。 
根据该液晶显示装置的形成方法，在第三喷嘴构成体中，相邻第三喷嘴组配置第三喷嘴组。此时，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，配置喷出量大致同量的喷嘴组。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚成为大致同量的厚度，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例22]
本应用例的液晶显示装置的形成方法为为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，所述取向膜形成工序具有：分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体向所述基板进行喷出；平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量，在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置所述第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置所述第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。 
根据该液晶显示装置的形成方法，在第六喷嘴构成体中，一个第一喷嘴组的第二端部侧和其他的第一喷嘴组的第一端部侧、或第三喷嘴组的第一端部侧相邻配置。第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻配置。另外，相邻第二喷嘴组配置第二喷嘴组或第三喷嘴组时，也同样进行配置。而且，在进行涂敷时，喷出量大地被涂敷后的液晶取向膜形成用组成物向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液晶取向膜形成用组成物的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例23] 
本应用例的头组件配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，头组件使用第一喷嘴构成体和第二喷嘴构成体的任一个形成，所述第一喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷 嘴组构成，所述第二喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组构成。 
根据该头组件，在第一喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液状体，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。使用第二喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例24] 
本应用例的头组件配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，头组件使用第四喷嘴构成体和第五喷嘴构成体的任一个形成，所述第四喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组以及所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量的第三喷嘴组构成，所述第五喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组以及所述第三喷嘴组构成。 
根据该头组件，在第四喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或第三喷嘴组的喷出量大致中间的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液状体，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。使用第五喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散 
[应用例25] 
本应用例的头组件配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，头组件利 用第三喷嘴构成体形成，该第三喷嘴构成体由所述第一端部侧的喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量的第三喷嘴组构成。 
根据该头组件，在第三喷嘴构成体中，相邻第三喷嘴组配置第三喷嘴组。此时，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，配置喷出量大致同量的喷嘴组。因此，涂敷后的液状体的膜厚成为大致同量的厚度，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例26] 
本应用例的头组件配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，头组件使用第六喷嘴构成体形成，该第六喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量的第三喷嘴组构成，相邻所述第一喷嘴组配置所述第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置所述第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。 
根据该头组件，在第六喷嘴构成体中，一个第一喷嘴组的第二端部侧和另外的第一喷嘴组的第一端部侧、或第三喷嘴组的第一端部侧相邻配置。第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻配置。另外，相邻第二喷嘴组配置第二喷嘴组或第三喷嘴组时也进行同样配置。而且，在进行涂敷时，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例27] 
本应用例的头组件，其特征在于，所述喷嘴组的所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。 
根据该头组件，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头全部作为由第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体。同样，能够将液滴喷出头全部作为由第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体。其结果是，能够简便地形成 第一喷嘴构成体或第二喷嘴构成体。 
[应用例28] 
所述应用例的头组件，其特征在于，所述喷嘴组形成于液滴喷出头，所述液滴喷出头被交错状配置。 
根据该头组件，液滴喷出头交替排列形成两列。设该排列为第一排列和第二排列。而且，将在同一线上第一排列的液滴喷出头和第二排列的液滴喷出头喷出的时间间隔设为短的间隔。此时，第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液状体进行混合。其结果是，在第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体形成的膜和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液状体形成的膜的相邻的部位，能够成为膜厚离散少的膜。 
[应用例29] 
本应用例的液滴喷出装置为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的液滴喷出装置，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，液滴喷出装置使用第一喷嘴构成体和第二喷嘴构成体的任一个形成，所述第一喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组构成，所述第二喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组构成。 
根据该液滴喷出装置，在第一喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液状体，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。使用第二喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，因此能够减小膜厚的离散。 
[应用例30] 
本应用例的液滴喷出装置为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的液滴喷出装置，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，液滴喷出装置使用第四喷嘴构成体和第五喷嘴构成体的任一个形成，所述第四喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧 的所述喷出量大的第一喷嘴组以及所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量的第三喷嘴组构成，所述第五喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组以及所述第三喷嘴组构成。 
根据该液滴喷出装置，在第四喷嘴构成体中，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或第三喷嘴组的喷出量大致中间的部位相邻配置。而且，由喷嘴喷出液状体，被喷出来的液状体在工件上扩散。在喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻时，液状体的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。使用第五喷嘴构成体进行涂敷的情况也一样，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，因此能够减小膜厚的离散。 
[应用例31] 
本应用例的液滴喷出装置为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的液滴喷出装置，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，液滴喷出装置使用第三喷嘴构成体形成，该第三喷嘴构成体由所述第一端部侧的喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量大致同量的第三喷嘴组构成。 
根据该液滴喷出装置，在第三喷嘴构成体中，相邻第三喷嘴组配置第三喷嘴组。此时，第三喷嘴组中第一端部侧的喷出量和第二端部侧的喷出量大致同量。即，配置喷出量大致同量的喷嘴组。因此，涂敷后的液状体的膜厚成为大致同量的厚度，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例32] 
本应用例的液滴喷出装置为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的液滴喷出装置，其特征在于，构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，液滴喷出装置使用第六喷嘴构成体形成，该第六喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量 大致同量的第三喷嘴组构成，相邻所述第一喷嘴组配置所述第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置所述第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。 
根据该液滴喷出装置，在第六喷嘴构成体中，一个第一喷嘴组的第二端部侧和另外的第一喷嘴组的第一端部侧、或第三喷嘴组的第一端部侧相邻配置。第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位、或喷出量大致中间的部位相邻配置。另外，相邻第二喷嘴组配置第二喷嘴组或第三喷嘴组时也进行同样配置。而且，在进行涂敷时，喷出量大地被涂敷后的液状体向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此，涂敷后的液状体的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
[应用例33] 
本应用例的电子设备为具备显示部的电子设备，其特征在于，所述显示部具备利用所述应用例所述的液晶显示装置的形成方法形成的液晶显示装置。 
根据该电子设备，电子设备在显示部具备所述的液晶显示装置。由于该液晶显示装置利用所述的方法制造，所以膜厚离散少。因此能够成为具备形成有膜厚离散少的膜的液晶显示装置的电子设备。 
[应用例34] 
所述应用例的连续膜形成方法的特征在于，在所述分类工序中，使用最小二乘法对所述分布运算一次近似式，并将所述第一端部侧和所述第二端部侧的所述喷出量进行比较。 
根据该连续膜形成方法，利用最小二乘法运算喷出量分布的一次近似式。最小二乘法能够高精度地运算一次近似式，因此能够高精度地对第一端部和第二端部的喷出量进行比较。 
[应用例35] 
所述应用例的连续膜形成方法的特征在于，在所述分类工序中，对从所述第一端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量和从所述第二端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量进行比较。 
根据该连续膜形成方法，该运算为简便的方法，因此可在短时间内结束运算。其结果是，能够生产性优良地进行分类。
[应用例36] 
所述应用例的连续膜形成方法的特征在于，所述喷嘴组中所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。 
根据该连续膜形成方法，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头全部作为由第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体。同样，能够将液滴喷出头全部作为由第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体。其结果是，能够简便地形成第一喷嘴构成体或第二喷嘴构成体。 
[应用例37] 
所述应用例的连续膜形成方法的特征在于，所述喷嘴组在液滴喷出头上形成，所述液滴喷出头在头组件上配置多个，在更换所述液滴喷出头时，按每个所述头组件进行更换。 
根据该连续膜形成方法，在更换液滴喷出头时，按每个头组件进行更换。因此，与对每一个液滴喷出头进行更换的方法相比，能够以少的次数更换液滴喷出头，故能够加工性良好地更换液滴喷出头。其结果是，能够加工性良好地进行维护。 
[应用例38] 
所述应用例的连续膜形成方法的特征在于，由所述喷嘴组组成的喷嘴构成体形成为所述工件的宽度以上的长度。 
根据该连续膜形成方法，操作者向一方向移动工件，能够从喷嘴组喷出液状体，由此在涂敷液状体的预定区域进行涂敷。此时，喷出装置能够使喷嘴组向喷嘴排列的方向移动，且不改行地向工件涂敷液状体。因此，能够防止因使工件或喷嘴组改行导致的筋状条纹的发生。其结果是，能够形成品质优良的膜。 
[应用例39] 
所述应用例的连续膜形成方法的特征在于，所述喷嘴组在液滴喷出头上形成，所述液滴喷出头在所述头组件中交错状配置。 
根据该连续膜形成方法，液滴喷出头交替排列形成两列。设该排列为 第一排列和第二排列。而且，能够设第一排列的液滴喷出头和第二排列的液滴喷出头在同一线上喷出的时间间隔为短的间隔。此时，第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液状体混合。其结果是，在第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体形成的膜和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液状体形成的膜相邻的部位，能够成为膜厚离散少的膜。 
[应用例40] 
所述应用例的取向膜形成方法的特征在于，在所述分类工序中，利用最小二乘法对所述分布运算一次近似式，并对第一端部侧和第二端部侧的所述喷出量进行比较。 
根据该连续膜形成方法，利用最小二乘法，运算喷出量分布的一次近似式。最小二乘法能够高精度地运算一次近似式，因此能够高精度地对第一端部和第二端部的喷出量进行比较。 
[应用例41] 
所述应用例的取向膜形成方法的特征在于，在所述分类工序中，将从所述第一端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量和所述第二端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量进行比较 
根据该连续膜形成方法，该运算为简便的方法，因此能够在短时间内结束运算。其结果是，能够生产性良好地进行分类。 
[应用例42] 
所述应用例的取向膜形成方法的特征在于，所述喷嘴组中所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。 
根据该连续膜形成方法，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头全部作为由第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体。同样，能够将液滴喷出头全部作为由第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体。其结果是，能够简便地形成第一喷嘴构成体或第二喷嘴构成体。 
[应用例43]
所述应用例的取向膜形成方法的特征在于，所述喷嘴组在液滴喷出头上形成，液滴喷出头在头组件配置多个，在更换所述液滴喷出头时，按每个所述头组件进行更换。 
根据该连续膜形成方法，在更换所述液滴喷出头时，按每个头组件进行更换。因此，与对每一个液滴喷出头进行更换的方法相比，能够以少的次数更换液滴喷出头，因此能够生产性良好地更换液滴喷出头。其结果是，能够生产性良好地进行维护。 
[应用例44] 
所述应用例的取向膜形成方法的特征在于，由所述喷嘴组组成的喷嘴构成体形成为所述基板的宽度以上的长度。 
根据该连续膜形成方法，操作者向一方向移动基板，由喷嘴组喷出液晶取向膜形成用组成物，由此，能够在涂敷液晶取向膜形成用组成物的预定区域进行涂敷。此时，喷出装置能够向喷嘴排列的方向移动喷嘴组，且不改行地向基板涂敷液晶取向膜形成用组成物。因此，能够防止因基板或喷嘴组改行导致的筋状条纹的发生。其结果是，能够形成品质优良的膜。 
[应用例45] 
所述应用例的取向膜形成方法的特征在于，所述喷嘴组形成于液滴喷出头，所述液滴喷出头在所述头组件中交错状配置。 
根据该取向膜形成方法，液滴喷出头交替排列形成两列。设该排列为第一排列和第二排列。而且，可将同一线上第一排列的液滴喷出头和第二排列的液滴喷出头喷出的时间间隔设为短的间隔。此时，第一排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物混合。其结果是，在第一排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物形成的膜和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物形成的膜相邻的部位，能够成为膜厚离散少的膜。 
[应用例46] 
所述应用例的液晶显示装置的形成方法的特征在于，将所述液晶取向膜形成用组成物换成电极形成材料，将取向膜形成工序换成电极形成工序，形成电极膜。
根据该液晶显示装置的形成方法，由于被涂敷后的电极形成材料的膜厚被平均化，所以能够减小电极膜的膜厚的离散。 
[应用例47] 
所述应用例的液晶显示装置的形成方法的特征在于，在所述分类工序中，利用最小二乘法，对所述分布运算一次近似式，并将所述第一端部侧和所述第二端部侧的所述喷出量进行比较。 
根据该液晶显示装置的形成方法，利用最小二乘法运算喷出量分布的一次近似式。最小二乘法能够高精度地运算一次近似式，因此能够高精度对第一端部和第二端部的喷出量进行比较。 
[应用例48] 
所述应用例的液晶显示装置的形成方法的特征在于，在所述分类工序中，对从所述第一端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量和从所述第二端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量进行比较。 
根据该液晶显示装置的形成方法，由于该运算为简便的方法，所以能够在短时间内结束运算。其结果是，能够生产性良好地进行分类。 
[应用例49] 
所述应用例的液晶显示装置的形成方法的特征在于，所述喷嘴组中所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。 
根据该液晶显示装置的形成方法，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头全部作为由第一喷嘴组构成的第一喷嘴构成体。同样，能够将液滴喷出头全部作为由第二喷嘴组构成的第二喷嘴构成体。其结果是，能够简便地形成第一喷嘴构成体或第二喷嘴构成体。 
[应用例50] 
所述应用例的液晶显示装置的形成方法的特征在于，所述喷嘴组在液滴喷出头上形成，所述液滴喷出头在头组件配置多个，在更换所述液滴喷出头时，按每个所述头组件进行更换。 
根据该液晶显示装置的形成方法，在更换所述液滴喷出头时，按每个 头组件进行更换。因此，与对每一个液滴喷出头进行更换的方法相比，能够以少的次数更换液滴喷出头，故能够生产性良好地更换液滴喷出头。其结果是，能够生产性良好地进行维护。 
[应用例51] 
所述应用例的液晶显示装置的形成方法的特征在于，由所述喷嘴组组成的喷嘴构成体形成为所述基板的宽度以上的长度。 
根据该液晶显示装置的形成方法，操作者向一方向移动基板，由喷嘴组喷出液晶取向膜形成用组成物或电极形成材料，由此能够在涂敷液晶取向膜形成用组成物或电极形成材料的预定区域进行涂敷。此时，喷出装置能够使喷嘴组向排列喷嘴的方向移动且不改行地向基板涂敷液状体。因此，能够防止因使基板或喷嘴组改行导致的筋状条纹的发生。其结果是，能够形成品质优良的膜。 
[应用例52] 
所述应用例的液晶显示装置的形成方法的特征在于，所述喷嘴组形成于液滴喷出头，所述液滴喷出头在所述头组件中交错状配置。 
根据该液晶显示装置的形成方法，液滴喷出头交替排列形成两列。设该排列为第一排列和第二排列。而且，能够将同一线上第一排列的液滴喷出头和第二排列的液滴喷出头喷出的时间间隔设为短的间隔。此时，第一排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物或电极形成材料和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物或电极形成材料混合。其结果是，在第一排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物或电极形成材料形成的膜和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液晶取向膜形成用组成物或电极形成材料形成的膜相邻的部位，能够成为膜厚离散少的膜。 
[应用例53] 
所述应用例的液滴喷出装置的特征在于，所述喷嘴组中所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。
根据该液滴喷出装置，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头全部作为由第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体。同样，能够将液滴喷出头全部作为由第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体。其结果是，能够简便地形成第一喷嘴构成体或第二喷嘴构成体。 
[应用例54] 
所述应用例的液滴喷出装置的特征在于，所述喷嘴组形成于液滴喷出头，所述液滴喷出头在头组件配置多个，在更换所述液滴喷出头时，按每个所述头组件进行更换。 
根据该液滴喷出装置，在更换液滴喷出头时，按每个头组件进行更换。因此，与对每一个液滴喷出头进行更换的方法相比，能够以少的次数更换液滴喷出头，因此能够生产性良好地更换液滴喷出头。其结果是，能够生产性良好地进行维护。 
[应用例55] 
所述应用例的液滴喷出装置的特征在于，由所述喷嘴组组成的喷嘴构成体形成为工件的宽度以上的长度。 
根据该液滴喷出装置，操作者向一方向移动工件，由喷嘴组喷出液状体，由此能够在涂敷液状体的预定区域进行涂敷。此时，喷出装置能够使喷嘴组向喷嘴排列的方向移动，且不改行地向工件涂敷液状体。因此，能够防止因使工件或喷嘴组改行导致的筋状条纹的发生。其结果是，能够品质优良地形成膜。 
[应用例56] 
所述应用例的液滴喷出装置的特征在于，所述喷嘴组形成于液滴喷出头，所述液滴喷出头在所述头组件中交错状配置。 
根据该液滴喷出装置，液滴喷出头交替排列形成两列。设该排列为第一排列和第二排列。而且，能够将同一线上第一排列的液滴喷出头和第二排列的液滴喷出头喷出的时间间隔设为短的间隔。此时，第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液状体混合。其结果是，在第一排列的液滴喷出头涂敷后的液状体形成的膜和第二排列的液滴喷出头涂敷后的液状体形成的膜相邻的部位，能够成为膜厚离散少的膜。
附图说明
图1是表示第一实施方式的液滴喷出装置的构成的概略立体图； 
图2的(a)是表示滑架的示意俯视图，(b)是表示滑架的示意侧视图，(c)是用于说明液滴喷出头结构的主要部分的示意截面图； 
图3是液滴喷出装置的电控制方框图； 
图4是表示通过向基板喷出并涂敷液滴而形成连续膜的制造工序的流程图； 
图5是用于说明测定液滴喷出头的喷出量的工序的图； 
图6是表示喷出量的分布的曲线图； 
图7的(a)是说明喷嘴构成工序的图，(b)是说明喷出工序的图； 
图8的(a)～(c)是表示涂敷于基板上的功能液的涂敷量的分布图，(d)是表示干燥装置的示意图； 
图9是说明比较例的喷出方法的图； 
图10是表示与第二实施方式的喷出量的分布近似的近似线的曲线图； 
图11是表示与第三实施方式的喷出量的分布近似的近似线的曲线图； 
图12是表示与第四实施方式的喷出量的分布近似的近似线的曲线图； 
图13是表示第五实施方式的喷出量的分布的曲线图； 
图14的(a)是表示第六实施方式的液滴喷出头构成的概略立体图，(b)是表示液滴喷出头的示意俯视图，(c)是表示液滴喷出头的示意侧视图； 
图15是表示第七实施方式的液滴喷出装置构成的概略立体图； 
图16是表示第八实施方式的液滴喷出装置结构的概略分解立体图； 
图17是表示个人计算机的概略立体图。 
附图说明
1、105  液滴喷出装置 
7       作为工件的基板 
14、94  液滴喷出头 
14e     第一端部 
14f     第二端部
26         喷嘴 
34、108    头组件 
34a        第一喷嘴构成体 
34b        第三喷嘴构成体 
34c        第四喷嘴构成体 
34d        第六喷嘴构成体 
88         连续膜 
120        液晶显示装置 
128、137   基板 
143        作为电极膜的对置电极 
150        作为电子设备的个人计算机 
具体实施方式
下面，参照附图对实施方式进行说明。 
另外，为了将各附图的各构件设成在各附图上能够识别的程度的大小，使每个构件缩小不同的比例进行图示。 
(第一实施方式) 
参照图1～9，对本实施方式中的液滴喷出装置和使用该液滴喷出装置将液状体变成液滴喷出时的特征的例子进行说明。 
(液滴喷出装置) 
首先，参照图1～图3，对向工件喷出并涂敷液滴的液滴喷出装置1进行说明。关于液滴喷出装置具有各种各样种类的装置，但优选使用喷墨法的装置。喷墨法能够喷出微小的液滴，因此适于微细加工。 
图1是表示液滴喷出装置构成的概略立体图。通过液滴喷出装置1喷出并涂敷功能液。如图1所示，液滴喷出装置1具有形成为正方体形状的基台2。在本实施方式中，设该基台2的长度方向为Y方向，设与该Y方向正交的方向为X方向。 
在基台2的上表面2a上，在Y方向上延伸的一对导轨3a、3b在该Y方向的整个宽度上凸设。在该基台2的上侧，安装有构成扫描装置的作为工作台的载物台4，该扫描装置具备与导轨3a、3b对应的未图示的直动机 构。该载物台4的直动机构例如为螺纹式直动机构，该螺纹式直动机构具备沿导轨3a、3b在Y方向上延伸的螺纹轴(驱动轴)、和与该螺纹轴进行螺合的滚珠螺母，该驱动轴接收规定的脉冲信号，与以步进单位正反旋转的Y轴电动机(未图示)连结。而且，当相当于规定步进数的驱动信号输入到Y轴电动机时，Y轴电动机进行正转或反转，载物台4沿Y方向以规定的速度进行相当于同步进数的量的往动或复动(在Y方向上进行扫描)。 
另外，在基台2的上表面2a上，还配置有与导轨3a、3b平行的主扫描位置检测装置5，其能够计测载物台4的位置。 
在该载物台4的上表面形成有载置面6，在该载置面6设有未图示的吸引式基板夹持机构。而且，当在载置面6上载置作为工件的基板7时，通过基板夹持机构，将该基板7定位固定在载置面6的规定位置。 
在基台2的X方向两侧立设有一对支持台8a、8b，在该一对支持台8a、8b上架设有沿Y方向延伸的导向构件9。 
在导向构件9的上侧配设有可供给并收容喷出的液体的收容箱10。另一方面，在该导向构件9的下侧，遍及X方向的整个宽度凸设有沿X方向延伸的导轨11。 
沿导轨11可移动地配设滑架12。该滑架12由第一滑架12a～第三滑架12c的三个滑架构成，各滑架12a～12c形成底面为大致平行四边形的棱柱形状。该各滑架12a～12c具备直动机构，能够分别移动。该直动机构为与载物台4具备的直动机构相同的螺纹式直动机构。该直动机构具备螺纹轴(驱动轴)、与该螺纹轴螺合的滚珠螺母、和驱动该滚珠螺母的步进式的未图示的X轴电动机。而且，当将相当于规定步进数的驱动信号输入到X轴电动机时，X轴电动机进行正转或反转，滑架12沿X方向进行相当于该步进数的量的往动或复动(在X方向上进行扫描)。在导向构件9和滑架12之间，配置有副扫描位置检测装置13，其能够计测各滑架12a～12c的位置。而且，在滑架12的下表面(载物台4一侧的面)凸设有液滴喷出头14。 
在基台2的上侧，即载物台4一方(图中右侧)的附近，配置有清洗组件15。清洗组件15由维护载物台16、配置于维护载物台16上的第一 冲洗组件17、第二冲洗组件18、压盖组件19、摩擦接触组件20、重量测定装置21等维护装置构成。 
维护载物台16位于导轨3a、3b上，具备与载物台4相同的直动机构。而且，利用主扫描位置检测装置5检测位置，且通过直动机构进行移动，由此能够使维护载物台16移动到所希望的部位并停止。另外，使维护载物台16沿导轨3a、3b移动，由此在与液滴喷出头14对置的部位配置第一冲洗组件17、第二冲洗组件18、压盖组件19、摩擦接触组件20、重量测定装置21中的任一个装置。 
在对液滴喷出头14内的流路进行清洗时，第一冲洗组件17及第二冲洗组件18为接收从液滴喷出头14喷出的液滴的装置。在液滴喷出头14内的功能液挥发时，功能液的粘度变高，因此液滴喷出头14难以喷出功能液。这种情况下，为了从液滴喷出头14排出粘度提高后的功能液，液滴喷出装置1从液滴喷出头14喷出液滴进行清洗。第一冲洗组件17及第二冲洗组件18发挥接收该液滴的功能。 
压盖组件19为具有盖住液滴喷出头14的功能和吸引液滴喷出头14的功能液的功能的装置。从液滴喷出头14喷出的液滴有时具有挥发性。另外，在存储于液滴喷出头14的功能液的溶剂从喷嘴挥发时，有时因功能液的粘度变化而堵塞喷嘴。通过在液滴喷出头14上加盖，压盖组件19防止喷嘴堵塞。 
还有，在固体物混入液滴喷出头14的内部而不能喷出液滴时，吸引并除去液滴喷出头14内部的功能液和固体物。从而消除喷嘴的堵塞。 
摩擦接触组件20为擦拭配置有液滴喷出头14的喷嘴的喷嘴板的装置。喷嘴板为在液滴喷出头14中配置于与基板7对置的一侧面的构件。在喷嘴板上附着有液滴时，附着于喷嘴板上的液滴和基板7发生接触，往往在基板7预定之外的部位附着上液滴。 
而且，在喷嘴周边附着有液滴时，附着于喷嘴板上的液滴和喷出的液滴发生接触，导致喷出液滴的轨道发生弯曲。往往造成涂敷的部位与涂敷预定部位不同。通过摩擦接触组件20擦拭喷嘴板，防止液滴附着在基板7的预定之外的部位。 
在重量测定装置21上交错状设置四台电子天平，在各电子天平上配 置有托盘。而且，液滴从液滴喷出头14向托盘喷出，电子天平测定液滴的重量。托盘具备海绵状的吸收体，喷出的液滴发生跳跃，但溅不到托盘之外。该电子天平在液滴喷出头14喷出液滴的前后，测定托盘的重量。而且，重量测定装置21运算托盘在喷出前后的重量的差值，由此能够测定喷出的液滴的重量。 
在重量测定装置21的两侧配置有第一冲洗组件17和第二冲洗组件18。而且，在对从一部分液滴喷出头14喷出的喷出量进行测定的期间，能够使其他的液滴喷出头14位于与第一冲洗组件17或第二冲洗组件18对置的部位，并喷出液滴。 
图2(a)是表示滑架的示意俯视图。如图2(a)所示，在一个滑架12上交错状配置有四个液滴喷出头14。将该液滴喷出头14从左侧起依次设为第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d。而且，设液滴喷出头14左侧的端部为第一端部14e，设液滴喷出头14右侧的端部为第二端部14f。而且，在液滴喷出头14的表面配置有喷嘴板25，在喷嘴板25上形成有多个喷嘴26。只要喷嘴26的数量设定为与喷出的图案和基板7的大小匹配即可。本实施方式中，例如在1个喷嘴板25上形成一列喷嘴26的排列，15个喷嘴26从第一端部14e到第二端部14f排列一列形成。 
形成于第二液滴喷出头14b和第四液滴喷出头14d的喷嘴26排列在同一线上，设该排列为第一排列26a。同样，形成于第一液滴喷出头14a和第三液滴喷出头14c的喷嘴26排列在同一线上，设该排列为第二排列26b。此时，第一排列26a和第二排列26b配置在近的部位。在基板7沿Y方向前进时，从第一排列26a的喷嘴26喷出液滴后，从第二排列26b的喷嘴26喷出液滴，由此能够相同直线状地涂敷液滴。而且，在由第一排列26a的喷嘴26喷出的液滴干燥前，从第二排列26b的喷嘴26喷出来的液滴喷落。而且，以从第一排列26a的喷嘴26喷出来的液滴和从第二排列26b的喷嘴26喷出来液滴混合的方式进行涂敷。 
图2(b)是表示滑架的示意侧视图，是从Y方向看到的图2(a)所示的滑架的图。如图2(b)所示，滑架12具备基板27。在基板27的上侧配置有移动机构28，且收纳有用于使滑架12沿导轨11移动的机构。 
在基板27的下侧，通过支承部29配置有驱动电路基板30。而且，在 驱动电路基板30的下侧配置有头驱动电路31。另外，在基板27上，通过支承部32配置有头安装板33，在头安装板33的下表面配置有液滴喷出头14。由头安装板33和液滴喷出头14等构成头组件34。头驱动电路31和液滴喷出头14通过未图示的电缆连接，头驱动电路31输出的驱动信号输入到液滴喷出头14。 
在基板27的下侧配置有供给装置35，在收容箱10和供给装置35之间以及供给装置35和液滴喷出头14之间通过未图示的管连接。而且，由收容箱10供给的功能液通过管从供给装置35向液滴喷出头14供给。 
图2(c)是用于说明液滴喷出头结构的主要部分的示意截面图。如图2(c)所示，液滴喷出头14具备喷嘴板25，在喷嘴板25上形成有喷嘴26。在喷嘴板25的上侧即与喷嘴26相对的位置形成有与喷嘴26连通的空腔36。另外，贮存于收容箱10的作为液状体的功能液37向液滴喷出头14的空腔36供给。 
在空腔36的上侧配设有上下方向(Z方向)振动且扩大缩小空腔36内的容积的振动板38、和上下方向伸缩且使振动板38振动的压电元件39。压电元件39在上下方向伸缩，对振动板38进行加压使其振动，振动板38扩大缩小空腔36内的容积，从而加压空腔36。由此，空腔36内的压力发生变化，供给到空腔36内的功能液37通过喷嘴26喷出。 
另外，当液滴喷出头14接收用于制动驱动压电元件39的喷嘴驱动信号时，压电元件39伸展，振动板38缩小空腔36内的容积。其结果是，缩小了的容积部分的功能液37作为液滴40从液滴喷出头14的喷嘴26喷出。 
图3是液滴喷出装置的电控制方框图。图3中，液滴喷出装置1具有作为信息处理机进行各种运算处理的CPU(运算处理装置)43和储存各种信息的存储器44。 
主扫描驱动装置45、副扫描驱动装置46、主扫描位置检测装置5、副扫描位置检测装置13、驱动液滴喷出头14的驱动电路31通过输入输出接口47及数据总线48与CPU43连接。另外，输入装置49、显示装置50、重量测定装置21、第一冲洗组件17、第二冲洗组件18、压盖组件19、摩擦接触组件20也通过输入输出接口47及数据总线48与CPU43连接。同 样，清洗组件15中，驱动维护载物台16的维护载物台驱动装置51以及检测维护载物台16的位置的主扫描位置检测装置5也通过输入输出接口47及数据总线48与CPU43连接。 
主扫描驱动装置45为控制载物台4移动的装置，副扫描驱动装置46为控制滑架12移动的装置。通过主扫描位置检测装置5识别载物台4的位置，主扫描驱动装置45控制载物台4的移动，由此能够使载物台4移动及停止在所希望的位置。同样，通过副扫描位置检测装置13识别滑架12的位置，副扫描驱动装置46控制滑架12的移动，由此能够使滑架12移动及停止在所希望的位置。 
输入装置49为输入喷出液滴40的各种加工条件的装置，例如，为由未图示的外部装置接收并输入向基板7喷出液滴40的座标的装置。显示装置50为显示加工条件或作业状况的装置，操作者根据显示装置50所显示的信息，使用输入装置49进行操作。 
重量测定装置21具备电子天平及托盘，为测定液滴喷出头14喷出的液滴40和接收液滴40的托盘的重量的装置。重量测定装置21测定喷出液滴40前后的托盘的重量，并将测定值发送给CPU43。 
维护载物台驱动装置51为从第一冲洗组件17、第二冲洗组件18、压盖组件19、摩擦接触组件20、重量测定装置21中选择一种装置，移动维护载物台16使之位于与液滴喷出头14对置的位置。另外，在主扫描位置检测装置5检测出维护载物台16的位置后，维护载物台驱动装置51移动维护载物台16，由此能够可靠地将所希望的装置或组件移动到与液滴喷出头14对置的位置。 
存储器44为包含RAM、ROM等这样的半导体存储器、硬盘、CD—ROM这样的外部储存装置的概念。功能上设定储存程序软件52的储存区域，该程序软件52记述了液滴喷出装置1的动作的控制顺序。而且，也设定用于储存基板7内的喷出位置的座标数据即喷出位置数据53的储存区域。 
除此之外，也设定在测定从喷嘴26喷出的液滴40的重量时，用于储存驱动压电元件39的测定用驱动数据54的储存区域。另外，也设定用于储存重量测定装置21测定出的重量测定数据55的储存区域。还设定用于 储存使基板7向主扫描方向(Y方向)移动的主扫描移动量和使滑架12向副扫描方向(X方向)移动的副扫描移动量的储存区域、及作为用于CPU43的工作区或作为临时文件等起作用的储存区域及其他各种的储存区域。 
CPU43按照储存于存储器44内的程序软件52，进行用于在基板7的表面的规定位置使功能液变成液滴40并喷出的控制。作为具体的功能实现部，具有重量测定运算部56，该重量测定运算部56用于进行实现重量测定的运算。另外，还具有清洗运算部57，该清洗运算部57运算清洗液滴喷出头14的时刻。 
除此之外，还具有进行用于使液滴喷出头14喷出液滴40的运算的喷出运算部58等。如果将喷出运算部58详细地分割，则喷出运算部58具有主扫描控制运算部59，该主扫描控制运算部59对用于使基板7以规定的速度向主扫描方向(Y方向)扫描移动的控制进行运算。另外，喷出运算部58具有副扫描控制运算部60，该副扫描控制运算部60对用于使液滴喷出头14以规定的副扫描移动量向副扫描方向(X方向)移动的控制进行运算。喷出运算部58还具有喷出控制运算部61等这样的各种功能运算部，该喷出控制运算部61等对用于控制使液滴喷出头14内多个喷嘴中的哪一个喷嘴进行动作喷出功能液进行运算。 
(喷出方法) 
接着，参照图4～9，对使用上述的液滴喷出装置1向基板7喷出功能液并进行涂敷，由此形成连续膜的喷出方法进行说明。图4是表示向基板喷出液滴进行涂敷形成连续膜的制造工序的流程图。图5～9是说明使用液滴喷出装置的喷出方法的图。 
步骤S1相当于分布运算工序，测定液滴喷出头的每个喷嘴的喷出量。而且为运算喷嘴列的喷出量的分布的工序。接着，过渡到步骤S2。步骤S2相当于分类工序，为以相对于喷嘴列的喷出量的分布为基础，将液滴喷出头进行分类的工序。接着，过渡到步骤S3。步骤S3相当于喷嘴构成工序，为使用分类后的液滴喷出头形成头组件的工序。接着，过渡到步骤S4。步骤S4相当于头配置工序，为将头组件配置在液滴喷出装置的工序。接着，过渡到步骤S5。步骤S5相当于喷出工序，为向基板喷出液滴的工序。 接着，过渡到步骤S6。步骤S6相当于平坦化工序，为使通过步骤S5涂敷后的功能液在变平坦之前待机的工序。接着，过渡到步骤S7。步骤S7相当于固化工序，为使涂敷后的功能液干燥从而固化的工序。通过上述，向基板喷出功能液并进行涂敷，由此形成连续膜的制造工序结束。 
接着，参照图5～图8，对与图4所示的步骤相对应，对从液滴喷出头喷出而形成膜厚离散小的连续膜的制造方法进行详细说明。图5及图6是与步骤S1相对应的图，图5是用于说明测定液滴喷出头的喷出量的工序的图。另外，图6是表示喷出量分布的曲线图。如图5所示，重量测定装置21具备电子天平64，在电子天平64的上侧配置有托盘65。在托盘65的上部配置有吸收体66，在从液滴喷出头14喷出来的液滴40通过吸收体66后，功能液37积存于托盘65的内部。在滑架12上配置有四个液滴喷出头14，在维护载物台16上配置有四个重量测定装置21。另外，图5是为易于理解而简略记载的图，记载有每一个液滴喷出头14及重量测定装置21。 
通过使滑架12和维护载物台16工作，喷出运算部58将液滴喷出头14及托盘65移动到液滴喷出头14与托盘65对置的位置。电子天平64测定托盘65的重量。接着，由一个喷嘴26进行规定次数的喷出。只要设定相当于电子天平64能够高精度地测定的喷出量的喷出次数即可，例如，本实施方式采用了100次。 
接着，电子天平64测定托盘65的重量。而且，在运算出了喷出前托盘65的重量和喷出后托盘65的重量的差值后，以喷出次数除该运算值，由此算出每次的喷出量。对液滴喷出头14全部的喷嘴26依次进行液滴40的喷出和运算。由于在一个维护载物台16上配置有四个重量测定装置21，所以同时测定并运算四个液滴喷出头14的各喷嘴26的喷出量。 
图6(a)～图6(c)表示喷出量的分布。图6(a)～图6(c)中，纵轴表示喷出量69，上侧比下侧喷出量大。横轴利用喷嘴编号表示喷嘴位置70。喷嘴编号从第一端部14e侧向第二端部14f侧进行编号。图6(a)中，描绘了相对于1号～15号的各喷嘴位置70的喷出量69的测定值71。另外，重量测定运算部56运算相对于测定值71的一次近似式。在该运算中，使用最小二乘法。而且，运算出的一次近似式表示的线为近似式线72。
在1号～4号的喷嘴位置70，1号侧的喷嘴位置70一方喷出量大。另外，在5号～15号的喷嘴位置70，15号侧的喷嘴位置70一方喷出量大。因此，近似式线72通过右上的直线表示。 
图6(b)表示喷出量69的分布大致左右对称的例子。此时，运算出的一次近似式表示的线为近似式线72。喷出量69的分布大致左右对称，因此近似式线72为与横轴大致平行的直线。 
图6(c)表示左侧的喷出量69大的分布的例子。在1号～11号的喷嘴位置70，1号侧的喷嘴位置70一方喷出量大。另外，在12号～15号的喷嘴位置70，15号侧的喷嘴位置70一方喷出量大。因此，近似式线72通过左上的直线表示。 
将图6(a)～图6(c)所示的喷出量69分布的类型分类成第一喷嘴组～第三喷嘴组。在喷出量69的分布中，第一喷嘴组的液滴喷出头14为第二端部14f侧的喷出量69比第一端部14e侧大的液滴喷出头14。第一喷嘴组相当于图6(a)的分布的液滴喷出头14。第二喷嘴组的液滴喷出头14为第一端部14e侧的喷出量69比第二端部14f侧大的液滴喷出头14。第二喷嘴组相当于图6(c)的分布的液滴喷出头14。第三喷嘴组的液滴喷出头14为第二端部14f侧与第一端部14e侧的喷出量69大致同量的液滴喷出头14。第三喷嘴组相当于图6(b)的分布的液滴喷出头14。 
在步骤S2中，将液滴喷出头14分类成第一喷嘴组～第三喷嘴组。此时，利用近似式72的倾斜度进行分类。在分类为第一喷嘴组～第三喷嘴组时，预先确定近似式72的倾斜度的阈值。设分类为第一喷嘴组和第三喷嘴组的阈值为第一阈值，设分类为第二喷嘴组和第三喷嘴组的阈值为第二阈值。而且，将各液滴喷出头14的近似式线72的倾斜度与阈值进行比较，将近似式72的倾斜度比第一阈值大的液滴喷出头14分类为第一喷嘴组。同样，将近似式线72的倾斜度比第二阈值小的液滴喷出头14分类为第二喷嘴组，将近似式线72的倾斜度为第一阈值和第二阈值之间的液滴喷出头14分类成第三喷嘴组。 
图7(a)是与步骤S3相对应的图，是说明喷嘴构成工序的图。操作人员排列属于第一喷嘴组的液滴喷出头14，配置在图2(b)所示的头安装板33上。设通过属于第一喷嘴组的液滴喷出头14构成的头组件34为 第一喷嘴构成体34a。图7(a)中，纵轴表示喷出量69，上侧比下侧喷出量大。横轴表示喷嘴位置70，右侧为X方向。另外，第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的近似式线72用右上的直线表示。此时，近似式线72在第一液滴喷出头14a和第二液滴喷出头14b之间产生喷出量69的差。同样，近似式线72在第二液滴喷出头14b和第三液滴喷出头14c之间以及第三液滴喷出头14c和第四液滴喷出头14d之间产生喷出量69的差。即，近似式线72形成为锯齿状的形状。 
在步骤S4中，如图2(b)所示，操作人员将配置有液滴喷出头14的头安装板33配置在滑架12上。然后，供给功能液37的管以及传递驱动压电元件39的驱动信号的电缆与液滴喷出头14连接。 
图7(b)是与步骤S5相对应的图，是说明喷出工序的图。如图7(b)所示，喷出运算部58通过使滑架12和载物台4相对移动，使液滴喷出头14移动到与基板7对置的部位。接着，喷出运算部58一边在载物台4上扫描，一边从液滴喷出头14喷出液滴，从而在基板7上涂敷功能液。 
图8(a)～图8(c)是与步骤S6相对应的图，是表示涂敷于基板7上的功能液37的涂敷量的分布图。纵轴表示涂敷量73，上侧比下侧涂敷量73大。横轴表示基板的X方向的位置74。另外，分布曲线75～分布曲线77表示相对于X方向位置74的涂敷量73的分布。 
图8(a)的分布曲线75表示在基板7上涂敷功能液37之后的分布。另外，图8(b)的分布曲线76表示涂敷功能液37且暂时经过一段时间后的分布。图8(c)的分布曲线77还表示经过一段时间后的分布。 
如图8(a)所示，在分布曲线75上形成有凸部75a和凹部75b。而且凸部75a和凹部75b邻接，因此，凸部75a的功能液通过功能液37的重力以及表面张力的作用向凹部75b流动。 
如图8(b)所示，其结果是，分布曲线76上的凸部76a及凹部76b的涂敷量73的差变小。另外，当进一步经过一段时间时，如图8(c)所示，分布曲线77上的凸部77a及凹部77b的涂敷量73的差变小。 
图8(d)是与步骤S7相对应的图，是表示干燥装置的示意图。如图8(d)所示，操作人员将基板7配置在干燥装置78的内部。干燥装置78具备上侧开放的矩形主体部79。在主体部79的内部通过支承部80配置载 置台81，在载置台81的上面配置基板7。在主体部79的上侧具备通过合页82能够开闭配置的盖部83，通过主体部79及盖部83形成空间84。在盖部83上形成有把手85，操作人员利用把手85能够开闭盖部83。 
在盖部83上形成有供给口86，供给口86与未图示的干燥气体供给装置连接。在主体部79上形成有排气口87。另外，干燥气体供给装置通过供给口86向空间84内供给对温度、湿度、气压进行控制后的气体。供给来的气体使基板7在空间84内干燥后，从排气口87排出。涂敷在基板7上的功能液37在空间84内进行干燥，由此固化并形成连续膜88。通过以上的工序，通过向基板喷出功能液并进行涂敷，由此形成连续膜88的制造工序结束。 
(比较例) 
下面，对交替配置第一喷嘴组和第二喷嘴组的液滴喷出头14并涂敷功能液37时的涂敷量73的变化进行说明。图9(a)表示在第一液滴喷出头14a及第三液滴喷出头14c上配置了第一喷嘴组的液滴喷出头14、在第二液滴喷出头14b及第四液滴喷出头14d上配置了第二喷嘴组的液滴喷出头14的例子。 
在第一液滴喷出头14a和第二液滴喷出头14b相邻的部位以及第三液滴喷出头14c和第四液滴喷出头14d相邻的部位，配置有液滴喷出头14，以使喷出量69增大。而且，在第二液滴喷出头14b和第三液滴喷出头14c相邻的部位，配置有液滴喷出头14，以使喷出量69减小。 
图9(a)的分布曲线89表示使用这样配置的液滴喷出头14，通过步骤S5在基板7上涂敷功能液37时的涂敷量73的分布。而且，图9(c)的分布曲线90表示涂敷功能液37且经过短暂时间后的分布。 
如图9(b)所示，分布曲线89上形成有凸部89a和凹部89b。而且，凸部89a和凹部89b分离，因此功能液37的重力及表面张力的作用不容易影响到凸部89a及凹部89b。其结果是，如图9(c)所示，在涂敷功能液37且经过短暂时间后，分布曲线90也难于变平坦。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，运算喷出量的分布，分类第一喷嘴组～第三喷嘴组。而且，相邻第一喷嘴组形成配置有第一喷嘴组的头组件34，该头 组件34成为第一喷嘴构成体34a。此时，第一喷嘴组的喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻配置。接着，从第一喷嘴构成体34a的喷嘴26喷出功能液37。然后，被喷出来的功能液37在基板7上扩散。当喷出量大的部位和喷出量小的部位相邻时，功能液37的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的功能液37向喷出量小地被涂敷后的部位流动。因此涂敷后的功能液37的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
(2)根据本实施方式，在步骤S1中，利用最小二乘法运算喷出量分布的一次近似式。由于最小二乘法能够高精度地运算一次近似式，所以能够高精度地对第一端部14e和第二端部14f的喷出量进行比较。 
(3)根据本实施方式，在更换液滴喷出头14时，按每个头组件进行更换。因此，与对每个液滴喷出头14进行更换的方法相比，能够以少的次数更换液滴喷出头14，因此能够生产性良好地更换液滴喷出头14。其结果是，能够生产性良好地进行维护。 
(第二实施方式) 
接着，参照图10，对在本实施方式中利用液滴喷出装置进行涂敷的特征的例子进行说明。图10是表示与喷出量的分布近似的近似线的曲线图。该实施方式与第一实施方式的不同点在于，代替第二喷嘴组，使用第三喷嘴组。另外，有关与第一实施方式的相同点，省略其说明。 
即，在本实施方式中，操作人员在步骤S3中排列属于第三喷嘴组的液滴喷出头14，配置在图2(b)所示的头安装板33上。设通过属于第三喷嘴组的液滴喷出头14构成的头组件34为第三喷嘴构成体34b。图10中，纵轴表示喷出量69，上侧比下侧喷出量大。横轴表示喷嘴位置70，右侧为X方向。另外，第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的近似式线72用大致与横轴平行的直线表示。此时，近似式线72在第一液滴喷出头14a和第二液滴喷出头14b之间喷出量69的差减小。同样，近似式线72在第二液滴喷出头14b和第三液滴喷出头14c之间以及第三液滴喷出头14c和第四液滴喷出头14d之间喷出量69的差减小。即，近似式线72形成为与横轴大致平行的形状，从而喷出量69的离散减小。 
在步骤S5中，利用该第三喷嘴构成体34b涂敷功能液37。第三喷嘴构成体34b喷出量离散小地形成，因此利用第三喷嘴构成体34b涂敷后的 功能液37的膜厚的离散减小。另外，通过步骤S7固化后的膜的膜厚的离散也减小。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，运算喷出量的分布，分类第三喷嘴组。另外，相邻第三构成体34b的第三喷嘴组配置第三喷嘴组。此时，第三喷嘴组的第一端部14e侧的喷出量和第二端部14f侧的喷出量大致同量。即，配置喷出量大致同量的喷嘴组。因此，涂敷后的功能液的膜厚成为大致同量的厚度，故能够减小膜厚的离散。 
(第三实施方式) 
接着，参照图11，对在本实施方式中利用液滴喷出装置进行涂敷的特征的例子进行说明。图11是表示与喷出量的分布近似的近似线的曲线图。该实施方式与第一实施方式的不同点在于，不仅使用第一喷嘴组，还使用第三喷嘴组。另外，有关与第一实施方式的相同点，省略其说明。 
即，在本实施方式中，操作人员在步骤S3中排列属于第一喷嘴组及第三喷嘴组的液滴喷出头14，配置在图2(b)所示的头安装板33上。设通过属于第一喷嘴组及第三喷嘴组的液滴喷出头14构成的头组件34为第四喷嘴构成体34c。图11中，纵轴表示喷出量69，上侧比下侧喷出量大。横轴表示喷嘴位置70，右侧为X方向。另外，第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的近似式线72通过右上的直线及与X轴大致平行的直线构成。此时，近似式线72有时在第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的各液滴喷出头之间产生喷出量69的差。 
在步骤S5中，利用该第四喷嘴构成体34c涂敷功能液37。有时在第四喷嘴构成体34c中第一喷嘴组的液滴喷出头14和第一喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置。此时，与第一实施方式相同，在喷出量69大的部位和小的部位相邻的部位流动功能液37，因此涂敷量被均匀化。同样，有时第一喷嘴组的液滴喷出头14和第三喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置。此时，喷出量69大的部位和喷出量69接近平均的部位相邻的部位也流动功能液37，因此涂敷量被均匀化。喷出量69小的部位和喷出量69接近平均的部位相邻的部位也流动功能液37，因此涂敷量被均匀化。有时第三喷嘴组的液滴喷出头14和第三喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置。此时，与第二实 施方式相同，涂敷量的离散减小。因此，涂敷量被均匀化，故膜厚的离散减小。而且，通过步骤S7固化后的膜的膜厚的离散也减小。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，从第四喷嘴构成体34c的喷嘴26喷出功能液37。然后，被喷出来的功能液在工件上扩散。配置液滴喷出头14，以使喷出量大的部位和喷出量小的部位或喷出量大致中间的部位相邻。此时，功能液37的表面张力起作用，由此，喷出量大地被涂敷后的功能液37向喷出量小地被涂敷后的部位或喷出量接近平均的部位流动。也与利用第四喷嘴构成体34c进行涂敷的情况一样，喷出量大地被涂敷后的功能液37向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量接近平均的部位流动。因此涂敷后的功能液37的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
(第四实施方式) 
接着，参照图12，对本实施方式中利用液滴喷出装置进行涂敷的特征的例子进行说明。图12是表示与喷出量的分布近似的近似线的曲线图。该实施方式与第一实施方式的不同点在于，不仅使用第一喷嘴组，还使用第二喷嘴组及第三喷嘴组。另外，有关与第一实施方式的相同点，省略其说明。 
即，在本实施方式中，操作人员在步骤S3中排列属于第一喷嘴组、第二喷嘴组及第三喷嘴组的液滴喷出头14，配置在图2(b)所示的头安装板33上。设通过属于第一喷嘴组、第二喷嘴组及第三喷嘴组的液滴喷出头14构成的头组件34为第六喷嘴构成体34d。在图12(a)～图12(c)中，纵轴表示喷出量69，上侧比下侧喷出量大。横轴表示喷嘴位置70，右侧为X方向。 
图12(a)中，在第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的各液滴喷出头14上配置属于第一喷嘴组、第三喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组的液滴喷出头14。在利用该第六喷嘴构成体34d进行涂敷时，由于属于第一喷嘴组的液滴喷出头14和属于第三喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置，所以与第三实施方式一样，涂敷后的功能液37的膜厚被平均化。同样，在属于第二喷嘴组的液滴喷出头14和属于第三喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置的情况下，也与第三实施方式一样，涂敷后的功能液37的膜 厚被平均化。因此，在利用该第六喷嘴构成体34d进行涂敷时，由于涂敷量被均匀化，所以膜厚的离散减小。 
图12(b)中，在第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的各液滴喷出头14上配置着属于第二喷嘴组、第三喷嘴组、第一喷嘴组、第一喷嘴组的液滴喷出头14。在利用该第六喷嘴构成体34d进行涂敷时，由于属于第一喷嘴组的液滴喷出头14和属于第一喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置，所以与第一实施方式相同，涂敷后的功能液37的膜厚被平均化。在属于第一喷嘴组及第二喷嘴组的液滴喷出头14和属于第三喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置的情况下，也与第三实施方式一样，涂敷后的功能液37的膜厚被平均化。因此，在利用该第六喷嘴构成体34d进行涂敷时，由于涂敷量被均匀化，所以膜厚的离散减小。 
图12(c)中，在第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的各液滴喷出头14上配置着属于第二喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组、第一喷嘴组的液滴喷出头14。在利用该第六喷嘴构成体34d进行涂敷时，属于第二喷嘴组的液滴喷出头14和属于第二喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置。此时也与第一实施方式一样，涂敷后的功能液37的膜厚被平均化。在属于第一喷嘴组及第二喷嘴组的液滴喷出头14和属于第三喷嘴组的液滴喷出头14相邻配置的情况下，也与第三实施方式一样，涂敷后的功能液37的膜厚被平均化。因此，在利用该第六喷嘴构成体34d进行涂敷时，由于涂敷量被均匀化，所以膜厚的离散减小。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，有时第一喷嘴组彼此的液滴喷出头14相邻，有时第二喷嘴组彼此的液滴喷出头14相邻，有时相邻第三喷嘴组的液滴喷出头14配置第一喷嘴或第二喷嘴组的液滴喷出头14。而且，在进行涂敷时，喷出量大地被涂敷后的功能液向喷出量小地被涂敷后的部位、或喷出量大致中间的部位流动。因此涂敷后的功能液的膜厚被平均化，故能够减小膜厚的离散。 
(第五实施方式) 
接着，参照图13，对本实施方式中利用液滴喷出装置进行涂敷的特征的例子进行说明。图13是表示与喷出量分布的曲线图。该实施方式与第 一实施方式的不同点在于，代替运算近似式的方法，运算喷出量的积分。另外，有关与第一实施方式的相同点，省略其说明。 
即，在本实施方式中，操作人员在步骤S1中测定喷出量的分布。图13(a)～图13(c)表示喷出量的分布的例子。在图13(a)～图13(c)中，纵轴表示喷出量69，上侧比下侧喷出量大。横轴利用喷嘴编号表示喷嘴位置70。喷嘴编号从第一端部14e侧向第二端部14f侧进行编号。而且，描绘相对于喷嘴编号1号～15号的各喷嘴位置70的喷出量69的测定值71。设积分相对于喷嘴编号1号～7号的各喷嘴位置的喷出量69的运算值作为第一积分值91。同样，设积分相对于喷嘴编号9号～15号的各喷嘴位置的喷出量69的运算值作为第二积分值92。另外，设从第二积分值92减去第一积分值91的值为喷出差分指数。 
在步骤S2中，在将液滴喷出头14分类成第一喷嘴组～第三喷嘴组时，CPU43利用喷出差分指数进行分类。图13(a)中，由于第二积分值92比第一积分值91的喷出量69大，所以喷出差分指数为正值。将该液滴喷出头14分类为第一喷嘴组。图13(b)中，由于第一积分值91和第二积分值92的喷出量69大致同等，所以喷出差分指数为接近零的值。将该液滴喷出头14分类为第三喷嘴组。图13(c)中，由于第一积分值91比第二积分值92的喷出量69大，所以喷出差分指数为负值。将该液滴喷出头14分类为第二喷嘴组。 
在分类第一喷嘴组～第三喷嘴组时，预先确定喷出差分指数的阈值。设分类第一喷嘴组和第三喷嘴组的阈值为第一阈值，设分类第二喷嘴组和第三喷嘴组的阈值为第二阈值。而且，将各液滴喷出头14的喷出差分指数与阈值进行比较，将喷出差分指数比第一阈值大的液滴喷出头14分类为第一喷嘴组。同样，将喷出差分指数比第二阈值小的液滴喷出头14分类为第二喷嘴组，将喷出差分指数为第一阈值和第二阈值之间的液滴喷出头14分类为第三喷嘴组。步骤S3以后的步骤与第一实施方式相同地进行。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，运算第一积分值91和第二积分值92。而且，从第二积分值92减去第一积分值91，由此运算喷出差分指数。其后，利用喷出差分指数，将液滴喷出头14分类为第一喷嘴组～第三喷嘴组。由 于该运算为简便的方法，所以能够在短时间内结束运算。其结果是，能够生产性良好地进行分类。 
(第六实施方式) 
接着，参照图14，对本实施方式中利用液滴喷出装置进行涂敷的特征的例子进行说明。图14(a)是表示液滴喷出头构成的概略立体图，图14(b)是表示液滴喷出头的示意俯视图。图14(c)是表示液滴喷出头的示意侧视图。该实施方式与第一实施方式的不同点在于，液滴喷出头14左右对称形成。另外，有关与第一实施方式的相同点，省略其说明。 
即，图14(a)所示，在本实施方式中，液滴喷出头94具备形成有喷嘴26的喷嘴板25。在喷嘴板25的下侧形成有第一箱95，在第一箱95的内部形成有图2(c)所示的空腔36。在第一箱95的下侧形成有第二箱96，在第二箱的96的内部形成有与空腔36连通的流路和压电元件39等。在第二箱96的上面形成有安装孔96a，在安装孔96a中形成有内螺纹。 
在第二箱96的中段配置有电路基板97，从第二箱96的两侧侧面向X方向延伸形成。在电路基板97的下表面配置有一对接线柱98，接线柱98和压电元件39通过形成于电路基板97上的配线电连接。 
在第二箱96的下侧，突出形成有一对供给口99。在将未图示的管与供给口99连接后，通过管供给的功能液37通过形成于第二箱96内部的流路向空腔36供给。而且，液滴喷出头94在X方向及Y方向左右对称形成，并且能够以Z方向的中心线94a为中心旋转180度使用。 
图14(b)及图14(c)表示在头安装板33上配置有液滴喷出头94的状态。液滴喷出头94通过第一支承板100及第二支承板101固定在头安装板33上。该液滴喷出头94、第一支承板100、第二支承板101、头安装板33通过螺丝102固定，因此，可以通过拆下螺丝102来拆装液滴喷出头94。在头安装板33上形成有孔部33a，孔部33a形成为能够配置电路基板97的大小。而且，能够以中心线94a为中心旋转180度配置液滴喷出头94。 
在第一实施方式的步骤S3中，被分类的液滴喷出头94以中心线94a为中心旋转，由此能够变更喷出量的分布。例如，将第一端部侧的1号喷嘴26和第二端部侧的15号喷嘴26进行调换，由此能够将分类成第一喷 嘴组的液滴喷出头94切换为第二喷嘴组。同样，能够将分类成第二喷嘴组的液滴喷出头94切换为第一喷嘴组。于是，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头94集合于第一喷嘴组。之后，可以进行步骤S4以后的步骤。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，能够将第一喷嘴组和第二喷嘴组混合的液滴喷出头94全部作为由第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体34a。同样，能够将液滴喷出头94全部作为由第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体。其结果是，能够简便地形成第一喷嘴构成体34a或第二喷嘴构成体。 
(第七实施方式) 
接着，参照图15，对本实施方式中液滴喷出装置的特征的例子进行说明。图15是表示液滴喷出装置构成的概略立体图。该实施方式与第一实施方式的不同点在于，液滴喷出头14遍及基板7的宽度以上的长度配置。另外，有关与第一实施方式的相同点，省略其说明。 
即，如图15所示，本实施方式中，液滴喷出装置105具备基台2。而且，在基台2的上侧配置有可沿Y方向移动的载物台4。 
在基台2的X方向两侧立设有一对支承台106a、106b，在该一对支承台106a、106b上架设有沿X方向延伸的架桥构件107。在架桥构件107的下侧配置有头组件108，在头组件108的下表面配置有多个液滴喷出头14。该液滴喷出头14遍及头组件108的全宽度交错状配置。而且，配置成从液滴喷出头14喷出并能够涂敷的宽度比基板7的宽度长。因此，载物台4在Y方向上移动，从液滴喷出头14喷出液滴40，由此能够在基板7的整面上涂敷功能液37。 
在基台2的上面配置有可沿Y方向移动的维护载物台109。而且，在维护载物台109的上表面具备由冲洗组件110、重量测定装置111、压盖组件112、摩擦接触组件113等构成的清洗组件114。由于该清洗组件114与液滴喷出头14对应配置，所以能够不使液滴喷出头14在X方向移动地维护液滴喷出头14。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，液滴喷出装置105使载物台4在Y方向上移 动，从液滴喷出头14的喷嘴26喷出功能液37，由此，能够在涂敷功能液37的预定区域进行涂敷。因此，液滴喷出装置105能够使喷嘴26不在X方向上移动地在基板7上涂敷功能液37。而且，能够使基板7或液滴喷出头14以少的移动次数在基板7上进行涂敷。其结果是，能够生产性良好地进行涂敷。 
(2)根据本实施方式，液滴喷出装置105能够使喷嘴26不在X方向移动地在基板7上涂敷功能液37。 
此时，液滴喷出装置105能够使液滴喷出头14在排列有喷嘴26的方向移动且不改行地在基板7上涂敷功能液37。因此，能够防止因基板7或液滴喷出头14换行引起的筋状条纹的发生。其结果是，能够形成品质优良的膜。 
(第八实施方式) 
接着，参照图16，对应用上述的喷出方法制造液晶显示装置的一实施方式进行说明。 
首先，对具备滤色器的电光学装置之一的液晶显示装置进行说明。图16是表示液晶显示装置结构的概略分解立体图。 
如图16所示，作为电光学装置的液晶显示装置120具备透过型的液晶显示面板121、和照明液晶显示面板121的照明装置123。液晶显示面板121以作为基板的元件基板124和作为基板的对置基板125夹持液晶122配置而成。而且，在元件基板124下侧的表面配置下偏光板126，在对置基板125上侧的表面配置上偏光板127。 
元件基板124具备由具有透光性的材料构成的基板128，在基板128的上侧形成有绝缘膜129。在绝缘膜129上矩阵状形成像素电极130，在各像素电极130上形成有具有开关功能的TFT(Thin Film Transistor)元件131。而且，像素电极130与TFT元件131的漏极端子连接。 
围住各像素电极130及TFT元件131，格子状形成扫描线132及数据线133。另外，扫描线132与TFT元件131的栅极端子连接，数据线133与TFT元件131的源极端子连接。 
另外，在像素电极130、TFT元件131、扫描线132、数据线133等构成的元件层134的液晶122侧，形成有取向膜135。
对置基板125具备由具有透光性的材料构成的基板137。在基板137的下侧，格子状形成有由具有遮光性的材料构成的下层触排面138，在下层触排面138的下侧，形成有由有机化合物等组成的上层触排面139。另外，由下层触排面138和上层触排面139构成隔壁部140。 
在被隔壁部140分成矩阵状的凹部，作为着色层141，形成有红(R)、绿(G)、蓝(B)的滤色器141R、141G、141B。而且形成有覆盖隔壁部140和滤色器141R、141G、141B的覆盖层142。形成有作为由ITO(IndiumTin Oxide)等透明导电膜构成的电极膜的对置电极143，以使之覆盖该覆盖层142。另外，还在对置电极143的液晶122侧，形成有取向膜144。在取向膜144和取向膜135上，排列形成槽状的凹凸，液晶122沿凹凸排列形成。 
液晶122具有当对夹持该液晶122的像素电极130和对置电极143施加电压时，液晶122的倾斜角度发生变化的性质，通过TFT元件131的开关动作，控制液晶122的电压，控制液晶122的倾斜角度，从而对每个像素进行透过光或遮蔽光的动作。另外，自然光不会入射到光被液晶122遮蔽的像素，因此成为黑色。这样，通过TFT的开关动作，使液晶122作为快门进行动作，由此对每个像素控制光的透过，使像素发生闪烁，由此能够显示图像。 
像素电极130与TFT元件131的漏极端子电连接，设TFT只在一定期间成为接通状态，由此，由数据线133供给的像素信号以规定的定时向各像素电极130供给。这样供给到像素电极130的规定大小的像素信号的电压水平被保持在对置基板125的对置电极143和像素电极130之间，根据像素信号的电压水平，改变液晶122的光透过量。 
照明装置123具备光源，具备能够将来自该光源的光向液晶显示面板121射出的导光板或扩散板、反射板等。光源可以使用白色的LED、EL、冷阴极管等，在本实施方式中采用冷阴极管。 
另外，下偏光板126及上偏光板127也可以与用于改善视角依存性等的相位差薄膜等光学功能性薄膜组合。液晶显示面板121作为有源元件不限于TFT元件131，可以具有TFD(Thin Film Diode)元件，也可以是构成像素的电极以相互交叉的方式配置的无源型的液晶显示装置。
作为制造液晶显示装置120的工序，进行在基板128上形成像素电极130或TFT元件131等元件层134的元件形成工序。接着，进行形成取向膜135的取向膜形成工序，元件基板124完成。另一方面，进行在基板137上形成着色层141及覆盖层142的滤色器形成工序。接着，进行在覆盖层142的下表面形成对置电极143的电极形成工序。接着，进行在对置电极143的下表面形成取向膜144的取向膜形成工序，从而对置基板125完成。接着，进行在元件基板124上涂敷液晶122的液晶配置工序。接着，在元件基板124或对置基板125上涂敷粘着剂后，进行粘接元件基板124和对置基板125的组装工序。接着，进行粘贴下偏光板126和上偏光板127的偏光板粘贴工程，液晶显示面板121完成。 
在对置基板125的覆盖层142的下侧形成对置电极143的电极形成工序中，使用第一实施方式～第七实施方式的喷出方法。具体而言，使对置电极143的材料在溶剂中溶解或分散于分散剂，由此，制造作为电极形成材料的电极膜的材料液。接着，使用液滴喷出装置1，将该电极膜的材料液向覆盖层142的表面喷出进行涂敷。 
此时，通过与第一实施方式～第七实施方式的分布运算工序、分类工序、喷嘴构成工序相同的工序，在使液滴喷出头14或液滴喷出头94的喷出分布一致后，喷出电极膜的材料液进行涂敷。其后，加热干燥并固化被涂敷的电极膜的材料液，由此形成对置电极143。 
另外，在对置基板125的对置电极143的下侧形成取向膜144的取向膜形成工序中，使用第一实施方式～第七实施方式的喷出方法。具体而言，使取向膜144的材料在溶剂中溶解或分散于分散剂，由此，制造作为液晶取向膜形成用组成物的取向膜的材料液。接着，使用液滴喷出装置1，将该取向膜的材料液向对置电极143的下侧喷出进行涂敷。 
此时，通过与第一实施方式～第七实施方式的分布运算工序、分类工序、喷嘴构成工序相同的工序，在使液滴喷出头14或液滴喷出头94的喷出分布一致后，喷出电极膜的材料液进行涂敷。其后，加热干燥并固化被涂敷的电极膜的材料液，由此形成取向膜144。 
另外，在元件基板124的元件层134的上侧形成取向膜135的取向膜形成工序中，使用第一实施方式～第七实施方式的喷出方法。具体而言， 使取向膜135的材料在溶剂中溶解或分散于分散剂，由此，制造作为液晶取向膜形成用组成物的取向膜的材料液。接着，使用液滴喷出装置1，将该取向膜的材料液向元件层134的上侧喷出进行涂敷。 
此时，通过与第一实施方式～第七实施方式的分布运算工序、分类工序、喷嘴构成工序相同的工序，在使液滴喷出头14或液滴喷出头94的喷出分布一致后，喷出电极膜的材料液进行涂敷。其后，加热干燥并固化被涂敷的电极膜的材料液，由此形成取向膜135。 
如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。 
(1)根据本实施方式，在制造取向膜135、144的工序中，通过使用第一实施方式～第七实施方式的喷出方法，减小涂敷了取向膜材料的膜厚的离散。因此，能够制造膜厚离散小的取向膜135、144。 
(2)根据本实施方式，在制造对置电极143的工序中，通过使用第一实施方式～第七实施方式的喷出方法，减小涂敷了电极材料的膜厚的离散。因此，能够制造膜厚离散小的对置电极143。 
(3)根据本实施方式，取向膜135、144及对置电极143的膜厚离散小。因此，液晶122相对于驱动信号能够忠实地进行动作，能够形成容易看清的液晶画面。 
(第九实施方式) 
接着，对具备第八实施方式的液晶显示装置120的电子设备进行说明。图17是表示在个人计算机上装载有液晶显示装置的例子的概略立体图。如图17所示，作为电子设备的个人计算机150的主体在显示信息的显示部具备显示装置151。在该显示装置151上配设有通过第八实施方式制造成的液晶显示装置120。配置于个人计算机150上的显示装置151通过上述的实施方式进行制造，显示装置151的取向膜135、144及对置电极143膜厚离散小。因此，个人计算机150为在显示部具备液晶122相对于驱动信号忠实地进行动作，成为容易看清的液晶画面的显示装置151的电子设备。 
另外，不限定于上述实施方式，也可以进行各种各样的变更或改良。以下，说明变形例。 
(变形例1)
在上述第一实施方式中，利用第一喷嘴组的液滴喷出头14构成了第一喷嘴构成体34a。同样，也可以利用由第二喷嘴组的液滴喷出头14构成的第二喷嘴构成体进行涂敷。由于第一喷嘴构成体34a和第二喷嘴构成体在喷出量分布方面只是锯齿状的方向不同，所以能够得到相同的效果。另外，也可以通过使用第二喷嘴组的液滴喷出头14的方法，应用上述第五实施方式～上述第八实施方式。能够得到相同的效果。 
(变形例2) 
在上述第二实施方式中，利用由第一喷嘴组和第三喷嘴组的液滴喷出头14构成的第四喷嘴构成体34c喷出功能液37进行涂敷。同样，也可以利用由第二喷嘴组和第三喷嘴组的液滴喷出头14构成的第五喷嘴构成体喷出功能液37进行涂敷。在该情况下，也可以通过进行与上述的第一实施方式相同的工序而得到相同的效果。另外，也可以使该变形例应用上述第四实施方式～上述第八实施方式。能够得到相同的效果。 
(变形例3) 
在上述第一实施方式中，接着步骤S5的喷出工序进行了步骤S6的平坦化工序。步骤S5和步骤S6也可以同时进行。例如，在功能液37的粘度低且容易扩散时，功能液37的喷出和喷出来的功能液37扩散的工序同时进行。此时，步骤S6与步骤S5同时进行。而且，与另外进行步骤S6的情况相比，能够在短时间内进行制造，因此能够生产性良好地进行制造。另外，也可以使该变形例应用上述第二实施方式～上述第八实施方式、上述变形例1、上述变形例2。能够得到相同的效果。 
(变形例4) 
在上述第一实施方式中，喷嘴26在液滴喷出头14上排列一列形成。喷嘴26的排列也可以是二列以上的排列。该情况下，也能够将二列喷嘴列的喷嘴作为喷嘴组掌握，分类为第一喷嘴组～第三喷嘴组。该情况下，也可以通过进行与上述第一实施方式相同的工序而得到相同的效果。另外，也可以使该变形例应用上述第二实施方式～上述第八实施方式、上述变形例1、上述变形例2。能够得到相同的效果。 
(变形例5) 
上述第五实施方式说明了与上述第一实施方式的不同点。上述第五实 施方式也可以应用于上述第二实施方式～上述第四实施方式、上述变形例1、上述变形例2。能够得到相同的效果。 
(变形例6) 
上述第六实施方式说明了与上述第一实施方式的不同点。上述第六实施方式也可以应用于上述第二实施方式、上述第四实施方式、上述变形例1、上述变形例2。能够得到相同的效果。 
(变形例7) 
上述第七实施方式说明了与上述第一实施方式的不同点。上述第七实施方式也可以应用于上述第二实施方式、上述第四实施方式、上述变形例1、上述变形例2。能够得到相同的效果。 
(变形例8) 
上述第八实施方式说明了使用上述第一实施方式～上述第七实施方式的方法。上述第八实施方式也可应用于上述变形例1、上述变形例2。能够得到相同的效果。 
(变形例9) 
在上述第三实施方式中，以第一液滴喷出头14a～第四液滴喷出头14d的顺序排列第一喷嘴组、第三喷嘴组、第一喷嘴组、第三喷嘴组的液滴喷出头14，但不限于此。既可以是第一喷嘴组、第一喷嘴组、第三喷嘴组、第三喷嘴组的顺序，也可以是第三喷嘴组、第三喷嘴组、第三喷嘴组、第一喷嘴组的顺序。只要是第一喷嘴组及第三喷嘴组的组合即可。能够得到同样的效果。 
(变形例10) 
在上述第一实施方式～上述第五实施方式中，在头组件34上配置有四个液滴喷出头14，但只要具有两个以上的头组件34即可。 
(变形例11) 
在上述第一实施方式～上述第五实施方式中，在加压空腔36的加压装置上使用了压电元件39，但也可以是其他的方法。例如，也可以使用绕阻和磁铁使振动板38发生变形而进行加压。除此之外，也可以在空腔36内配置加热配线，并对加热配线进行加热，由此使功能液37气化，或使含于功能液37中的气体膨胀而进行加压。除此之外，也可以利用静电的 引力及斥力使振动板38变形而进行加压。 
(变形例12) 
在上述第九实施方式中，在个人计算机150的显示部使用了液晶显示装置120，但不限于此。例如，作为电子书、手机、数码照相机、液晶电视、寻像器型或监听直视型的磁带录像机、导航装置、寻呼机电子记事本、电子计算器、文字处理器、工作站、电视电话、POS终端、触摸面板等电子设备的图像显示装置能够优选使用。在任何情况下，都能够提供一种电子设备，该电子设备在显示部具备膜厚离散小的液晶显示装置120。

Claims (33)

1.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该喷出方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类为第一喷嘴组和第二喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；
喷出工序，其使用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。
2.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该喷出方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类为第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；
喷出工序，其使用所述第四喷嘴构成体或所述第五喷嘴构成体向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。
3.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该喷出方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，
其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。
4.一种喷出方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体的喷出方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该喷出方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量和所述第二端部侧的所述喷出量同量，
在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置另一第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置另一第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。
5.如权利要求1～4中任一项所述的喷出方法，其特征在于，
在所述分类工序中，使用最小二乘法对所述分布进行一次近似式运算，
对所述第一端部侧和所述第二端部侧的所述喷出量进行比较。
6.如权利要求1～4中任一项所述的喷出方法，其特征在于，
在所述分类工序中，对从所述第一端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量与从所述第二端部侧的多个所述喷嘴喷出的所述喷出量进行比较。
7.如权利要求1、2、4中任一项所述的喷出方法，其特征在于，
所述喷嘴组的所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，
所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。
8.如权利要求1～4中任一项所述的喷出方法，其特征在于，
所述喷嘴组形成于液滴喷出头，
所述液滴喷出头在头组件配置多个，
在更换所述液滴喷出头时，按每个所述头组件进行更换。
9.如权利要求1～4中任一项所述的喷出方法，其特征在于，
由所述喷嘴组组成的喷嘴构成体形成为在所述工件上涂敷所述液状体的区域的宽度以上的长度。
10.如权利要求8所述的喷出方法，其特征在于，
所述喷嘴组形成于液滴喷出头，
所述液滴喷出头在所述头组件中交错状配置。
11.一种连续膜形成方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该连续膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；
固化工序，其将所述液状体进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。
12.一种连续膜形成方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该连续膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者由所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第四喷嘴构成体或所述第五喷嘴构成体，向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；
固化工序，其将所述液状体进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。
13.一种连续膜形成方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该连续膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；
固化工序，其将所述液状体进行固化，
其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量和所述第二端部侧的所述喷出量同量。
14.一种连续膜形成方法，其为由多个喷嘴组向工件喷出液状体而形成连续膜的连续膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该连续膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体向所述工件进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液状体；
固化工序，其将所述液状体进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量和所述第二端部侧的所述喷出量同量，
在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置另一第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置另一第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。
15.一种取向膜形成方法，其为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该取向膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。
16.一种取向膜形成方法，其为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该取向膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者由所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第四喷嘴构成体或第五喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。
17.一种取向膜形成方法，其为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该取向膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。
18.一种取向膜形成方法，其为由多个喷嘴组向基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成方法，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
该取向膜形成方法具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量，
在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置另一第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置另一第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。
19.一种液晶显示装置的形成方法，其为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，
该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
所述取向膜形成工序具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组和第二喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组组成的第一喷嘴构成体或由所述第二喷嘴组组成的第二喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第一喷嘴构成体或所述第二喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大。
20.一种液晶显示装置的形成方法，其为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，
该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
所述取向膜形成工序具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第四喷嘴构成体、或者由所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第五喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第四喷嘴构成体或所述第五喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。
21.一种液晶显示装置的形成方法，其为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，
该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
所述取向膜形成工序具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其利用所述喷出量的所述分布，从所述喷嘴组分类出第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第三喷嘴组组成的第三喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第三喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量。
22.一种液晶显示装置的形成方法，其为一对基板夹住液晶而成的液晶显示装置的形成方法，其特征在于，
该液晶显示装置的形成方法具有由多个喷嘴组向所述基板喷出液晶取向膜形成用组成物而形成取向膜的取向膜形成工序，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
所述取向膜形成工序具有：
分布运算工序，其测定所述喷嘴的喷出量，对所述喷出量的分布进行运算；
分类工序，其根据所述喷出量的所述分布，将所述喷嘴组分类成第一喷嘴组、第二喷嘴组、第三喷嘴组；
构成工序，其形成由所述第一喷嘴组、所述第二喷嘴组及所述第三喷嘴组组成的第六喷嘴构成体；
喷出工序，其利用所述第六喷嘴构成体向所述基板进行喷出；
平坦化工序，其放置被喷出的所述液晶取向膜形成用组成物；
固化工序，其将所述液晶取向膜形成用组成物进行固化，
其中，所述第一喷嘴组中所述第二端部侧的所述喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大，所述第二喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大，所述第三喷嘴组中所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量，
在所述构成工序中，相邻所述第一喷嘴组配置另一第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置另一第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。
23.一种头组件，其配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
头组件使用第一喷嘴构成体和第二喷嘴构成体的任一个形成，
所述第一喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组构成，
所述第二喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组构成。
24.一种头组件，其配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
头组件使用第四喷嘴构成体和第五喷嘴构成体的任一个形成，
所述第四喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组以及所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量的第三喷嘴组构成，
所述第五喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组以及所述第三喷嘴组构成。
25.一种头组件，其配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
头组件利用第三喷嘴构成体形成，该第三喷嘴构成体由所述第一端部侧的喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量的第三喷嘴组构成。
26.一种头组件，其配置有向工件喷出液状体的多个喷嘴组，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
头组件使用第六喷嘴构成体形成，该第六喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量的第三喷嘴组构成，
相邻所述第一喷嘴组配置另一第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置另一第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。
27.如权利要求23、24、26中任一项所述的头组件，其特征在于，
所述喷嘴组的所述第一端部侧和所述第二端部侧对称形成，
所述第二喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第一喷嘴组使用，或者，所述第一喷嘴组将所述第一端部侧和所述第二端部侧进行更换，作为所述第二喷嘴组使用。
28.如权利要求23～26中任一项所述的头组件，其特征在于，
所述喷嘴组形成于液滴喷出头，
所述液滴喷出头被交错状配置。
29.一种液滴喷出装置，其由多个喷嘴组向工件喷出液状体，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
液滴喷出装置使用第一喷嘴构成体和第二喷嘴构成体的任一个形成，
所述第一喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组构成，
所述第二喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组构成。
30.一种液滴喷出装置，其由多个喷嘴组向工件喷出液状体，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
液滴喷出装置使用第四喷嘴构成体和第五喷嘴构成体的任一个形成，
所述第四喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组以及所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量的第三喷嘴组构成，
所述第五喷嘴构成体由所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组以及所述第三喷嘴组构成。
31.一种液滴喷出装置，其由多个喷嘴组向工件喷出液状体，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
液滴喷出装置使用第三喷嘴构成体形成，该第三喷嘴构成体由所述第一端部侧的喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量的第三喷嘴组构成。
32.一种液滴喷出装置，其由多个喷嘴组向工件喷出液状体，其特征在于，
构成所述喷嘴组的喷嘴从第一端部向第二端部排列而形成，
液滴喷出装置使用第六喷嘴构成体形成，该第六喷嘴构成体由所述第二端部侧的喷出量比所述第一端部侧的所述喷出量大的第一喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量比所述第二端部侧的所述喷出量大的第二喷嘴组、所述第一端部侧的所述喷出量与所述第二端部侧的所述喷出量同量的第三喷嘴组构成，
相邻所述第一喷嘴组配置另一第一喷嘴组或所述第三喷嘴组，相邻所述第二喷嘴组配置另一第二喷嘴组或所述第三喷嘴组。
33.一种电子设备，其具备显示部，其特征在于，
所述显示部具备利用权利要求19～22中任一项所述的液晶显示装置的形成方法形成的液晶显示装置。
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