KR20100034537A - 노즐 모듈 및 이를 구비하는 액체 토출 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 기판 상에 액체를 적하하는 액체 노즐 및 상기 액체 노즐의 외측에 마련되어 공기를 분사하는 공기 노즐을 포함하고, 상기 액체 노즐은 상기 공기 노즐보다 기판 방향으로 더욱 돌출되고, 상기 액체 노즐은 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지거나, 또는 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지다가 다시 커지도록 형성되는 노즐 모듈 및 이를 구비하는 액체 토출 장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명은 노즐 주위에 액상 물질이 맺혀 뭉치는 것을 방지함으로써, 노즐 주위에 맺힌 액상 물질을 닦아내기 위한 장비의 중단 시간 및 투입 인력을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
액정, 적하, 토출, 노즐, 주입

Description

노즐 모듈 및 이를 구비하는 액체 토출 장치{Nozzle module and Apparatus of vomiting liquid having the same}
본 발명은 노즐 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액상 물질을 정량으로 토출할 수 있는 노즐 모듈 및 이를 구비하는 액체 토출 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치(Liquid Crystal Display)는 액정 분자의 광학적 이방성 및 편광판의 편광 특성을 이용하여 광원으로부터 입사되는 광의 투과량을 조절하여 화상을 구현하는 디스플레이 소자로서, 경량박형, 고해상도, 대화면화를 실현할 수 있고, 소비전력이 작아 최근 그 응용범위가 급속도로 확대되고 있다.
이러한 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 등이 형성된 상부 기판과, 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor;TFT), 화소 전극 등이 형성된 하부 기판과, 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성되며, 상기 공통 전극과 화소 전극 사이에 형성된 전계에 의해 액정층이 구동되어 광의 투과율이 제어됨으로써 화상이 표시된다.
한편, 상부 기판과 하부 기판 사이에 액정을 개재하는 방법으로는 진공압을 이용한 진공 주입법과 중력을 이용한 액정 적하법이 있다. 상기 진공압을 이용한 액정 주입법에서는, 먼저 두 기판 중 하나의 가장자리에 실런트를 도포(sealant)하여 실라인을 형성한 후 실라인을 경화시켜 두 기판을 합착한다. 이때, 두 기판은 소정의 공간 즉, 셀갭(cell gap)이 유지되도록 합착된다. 이어, 합착된 두 기판의 일측을 액정이 담긴 용기에 담그고 타측을 통해 샐갭 내부에 진공을 형성하여, 상대적으로 압력이 낮은 샐갭 내부로 액정이 빨려들어가도록 하여 액정을 주입한다.
그러나, 상기 진공 주입법은 셀갭 내부에 원하는 액정량보다 더 많은 액정이 공급되거나 또는 합착된 두 기판의 외부면에 묻은 액정을 별도로 세정해야 하는 공정이 필요하다. 이를 해결하기 위해, 일측 기판에 액정을 적하한 후 두 기판을 합착시키는 액정 적하법이 제안되었다. 상기 액정 적하법에서는, 먼저 두 기판 중 하나의 가장자리에 실런트를 도포하여 실라인을 형성한 후 실라인에 의해 정의된 영역 내에 액정을 적하한다. 이어, 액정이 적하되지 않은 나머지 기판을 상부에 배치하여 정렬한 후 실라인을 경화시켜 두 기판을 합착한다.
상기 액정 적하법에서는 노즐을 통해 정량의 액정을 기판에 적하시키는 것이 중요한 관리 요소가 된다. 그러나, 종래의 액정 적하 장치는 노즐에서 토출된 액정의 일부가 노즐 주위에 맺혀 뭉치는 현상으로 인해 액정의 적하량이 변동되는 문제점이 있었다. 즉, 노즐에서 토출된 액정의 일부가 노즐 주위에 맺혀 적하되지 않음으로써 액정이 정량보다 적게 적하되거나, 또는 노즐 주위에 맺혀 있던 액정이 다음번에 토출되는 액정에 더해져서 적하됨으로써 액정이 정량보다 많이 적하될 수 있었다. 따라서, 종래에는 소정 횟수의 액정 토출이 끝나면 작업을 중단하고 노즐 주위에 맺힌 액정을 닦아줘야 했으므로, 생산성이 낮아지는 문제점이 있었다.
본 발명의 종래의 문제점을 해결하고자 제안된 것으로서, 노즐 주위에 액상 물질이 맺혀 뭉치는 것을 방지할 수 있도록 한 노즐 모듈 및 이를 구비하는 액체 토출 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 노즐 주위에 액상 물질이 맺혀 뭉치는 것을 방지함으로써, 노즐 주위에 맺힌 액상 물질을 닦아내기 위한 장비의 중단 시간 및 투입 인력을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 노즐 모듈 및 이를 구비하는 액체 토출 장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따른 노즐 모듈은, 기판 상에 액체를 적하하는 액체 노즐; 및 상기 액체 노즐의 외측에 마련되어 공기를 분사하는 공기 노즐; 을 포함하고, 상기 액체 노즐은 상기 공기 노즐보다 기판 방향으로 더욱 돌출되고, 상기 액체 노즐은 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지거나, 또는 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지다가 다시 커지도록 형성된다.
상기 공기 노즐은, 몸체의 상하를 관통하는 단일의 구멍이 둘레 방향을 따라 하나로 이어져서 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 공기 노즐은, 몸체의 상하를 관통하는 다수의 구멍이 둘레 방향을 따라 상호 이격되어 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 것이 바람직하 다.
상기의 본 발명은 기판이 놓여지는 기판 안착부; 상기 기판 상에 액체를 적하하는 액체 노즐; 및 상기 액체 노즐의 외측에 마련되어 공기를 분사하는 공기 노즐; 을 포함하고, 상기 액체 노즐은 상기 공기 노즐보다 기판 방향으로 더욱 돌출되고, 상기 액체 노즐은 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지거나, 또는 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지다가 다시 커지도록 형성되는 것이 바람직하다.
상기 공기 노즐은, 몸체의 상하를 관통하는 단일의 구멍이 둘레 방향을 따라 하나로 이어져서 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 공기 노즐은, 몸체의 상하를 관통하는 다수의 구멍이 둘레 방향을 따라 상호 이격되어 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 기판 안착부는, 상기 기판이 안착되는 플레이트; 및 상기 플레이트를 이동시키는 스테이지; 를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명은 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지게 노즐을 형성하여 노즐 끝단에서 토출된 액상 물질이 중력으로 인해 노즐 주위로 퍼지는 것을 막아주고, 노즐의 측벽을 타고 올라온 액상 물질은 공압을 이용하여 떨어뜨려 줌으로써, 노즐 주위에 액체가 맺혀 뭉치는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지다가 다시 커지도록 노 즐을 형성하여 노즐 끝단에서 토출된 액상 물질이 노즐의 측벽을 타고 쉽게 올라오는 것을 막아주고, 노즐의 측벽을 타고 올라온 액상 물질은 공압을 이용하여 떨어뜨려 줌으로써, 노즐 주위에 액체가 맺혀 뭉치는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 노즐 주위에 액상 물질이 맺혀 뭉치는 것을 방지함으로써, 노즐 주위에 맺힌 액상 물질을 닦아내기 위한 장비의 중단 시간 및 투입 인력을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
이후, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 더욱 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상의 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
<제 1 실시예>
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 적하 장치를 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 상기의 액정 적하 장치는 기판(미도시)이 놓여지는 기판 안착부(100)와, 상기 기판 상에 액정을 적하하는 노즐부(210,220,230,240;200)와, 상기 기판 안착부(100) 상부에 상기 노즐부(200)가 위치되도록 상기 노즐부(200)를 지지하는 프레임(300)을 포함한다. 여기서, 기판 안착부(100) 및 프레임(300)은 일체형 또는 분리형으로 제작될 수 있다. 그리고, 상기 기판은 상하면, 좌우측, 또는 전후측을 식별하기 위하여, 기판의 어느 하나의 모서리에는 직각을 이루는 다른 모서리와 구별되도록 사선 방향의 절개부가 있거나 또는 별도의 식별 마크가 형성되는 것이 바람직하다.
기판 안착부(100)는 기판 상면의 원하는 위치에 액정이 적하될 수 있도록 기판의 하면을 지지한 상태에서 기판을 원하는 위치로 이동시키는 역할을 한다. 이를 위해, 기판이 안착되는 플레이트(plate)(110)와, 상기 플레이트(110)를 이동시키는 스테이지(stage)(120) 및 상기 기판의 위치 정렬을 위한 정렬 기둥(130)과 정렬 센서(140)를 구비한다.
상기 스테이지(120)는 액정 노즐(220)들의 하측에 위치되도록 설치되며, 전후 및 좌우 이동이 가능하도록 이동부(150)를 구비한다. 본 실시예의 스테이지(120)는 고정된 바닥 스테이지(121)의 상부에 Y축 방향으로 이동이 가능한 하부 스테이지(122)가 설치되고, 하부 스테이지(122)의 상부에 X축 방향으로 이동이 가능한 상부 스테이지(123)가 설치된다. 또한, 본 실시예의 이동부(150)는 하부 스테이지(122)의 몸체를 Y축 방향으로 관통하여 설치되는 Y축 레일(151) 및 상부 스테이지(123)의 몸체를 X축 방향으로 관통하여 설치되는 X축 레일(152)를 포함하도록 구성된다. 이러한 스테이지(120)는 X축 레일(152) 및 Y축 레일(151)을 따라 전후 및 좌우로 이동되어 기판을 원하는 위치로 이동시킨다.
상기 플레이트(110)는 스테이지(120) 상부에 고정되도록 설치되어 스테이지(120)와 함께 이동된다. 이러한 플레이트(110)는 기판의 형상에 대응하도록 형성되는 것이 바람직한다. 예를 들어, 본 실시예의 플레이트(110)는 액정 표시 패널에 적합하도록 사각형의 형태를 갖는 유리 기판에 대응하여 사각 평면을 갖도록 제작된다. 또한, 상기 플레이트(110)에는 상하를 관통하며 일 측단에서부터 타 측단으로 연장되는 소정 길이의 절개부(111)가 형성되는 것이 바람직하다. 이때, 절개부(111)의 형상, 길이 및 개수는 상기 플레이트(110)로 기판을 이송하는 반송 수단 예를 들어, 로봇 팔(robot arm)(미도시)이 상기의 절개부(111)를 통해 출입될 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 도시되지는 않았지만, 기판의 정렬 수단(130,140)을 통해 기판을 미세 이동시키는 경우에 발생되는 기판과 플레이트(110)의 마찰력을 최소화시키기 위하여 플레이트(110)의 상면에 단차를 제공하는 홈부가 마련될 수 있다.
상기 플레이트(110)가 이루는 네 지점의 모서리에는 플레이트(110)의 상면에서 소정 높이로 돌출된 각기 한 쌍의 정렬 기둥(130)이 마련된다. 이때, 네 쌍의 정렬 기둥(131,132) 중 한 쌍(131)은 소정 위치에 고정되도록 설치되어 기판의 정렬 기준점을 아주는 고정 기둥(131)의 역할을 하고, 나머지 세 쌍(132)은 수평 방향으로 이동 가능하도록 설치되어 기판의 일측 모서리가 정렬 기준점에 위치되도록 기판의 측면을 밀어주는 이동 기둥(132)의 역할을 하는 것이 바람직하다. 따라서, 안착될 기판의 크기에 따라 고정 기둥(131)의 위치를 미리 설정하여 기판의 일측 모서리가 위치될 지점 즉, 정렬 기준점을 정해준 다음 기판의 일측 모서리를 이루는 측벽들이 고정 기둥(131)에 접하도록 이동 기둥(132)을 미세 이동시켜 기판을 원하는 위치에 안착시킬 수 있다. 이로 인해, 기판의 규격이 변경되더라도 플레이트(110)의 구조 변경 없이 사용할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 플레이트(110)가 이루는 네 지점의 모서리 중 사선 방향으로 대향된 두 지점에는 기판의 상하면, 좌우측, 또는 전후측을 식별하기 위하여 기판의 접촉 여부를 인식하는 두 개의 기판 센서(이하에서는 '제 1 및 제 2 기판 센서')(141,142)가 설치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 기판 센서(141)에 기판이 접촉되지 않아야 하는 데 그렇지 않은 경우, 즉 제 2 기판 센서(142)에 기판이 접촉되는 경우 또는 제 1 및 제 2 기판 센서(141,142)에 각각 기판이 접촉되는 경우에는, 기판의 안착이 잘못되었음을 알 수 있으므로, 기판이 잘못 안착된 상태에서 액정 주입 공정이 계속하여 진행되는 것을 방지할 수 있다. 만일, 기판(10)에 식별마크가 형성되어 있는 경우에는 식별마크를 인식하는 센서를 사용하는 것이 바람직할 것이다.
프레임(300)은 적어도 하나 이상의 액정 노즐(220)이 플레이트(110) 상부에 안착된 기판의 상부에 위치되도록 액정 노즐(220)을 지지하는 역할을 한다. 이를 위해, 소정 높이를 가지며 그 하단이 바닥 스테이지(121)에 고정되고, 그 상단이 노즐부(200)를 지지하는 4개의 프레임(300)에 제공된다. 물론, 상기의 프레임(300)은 기판 안착부(100) 상부 영역에 노즐부(200)를 안정적으로 지지할 수 있다면 어떠한 구조로도 변경될 수 있다.
노즐부(200)는 액정을 토출하는 적어도 하나의 액정 노즐(220)과, 상기 액체 노즐(220)을 이동시키는 이동 수단(210) 및 액정의 토출 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 수단(230)을 포함한다. 이때, 액정 주입 공정의 효율을 위하여 하나의 이동 수단(210)에는 복수의 액정 노즐(220)들이 설치되었지만, 단일의 노즐만이 설치 될 수도 있다.
상기 액정 노즐(220)들은 각각 외부에 마련된 액정 공급 장치(미도시)로부터 액정을 공급받으며, 원하는 위치까지 이동한 다음 원하는 위치에서 정량의 액정을 토출하도록 이동, 정지 및 토출을 반복한다. 이러한 액정 노즐(220)의 자세한 구성에 대해서는 후술한다.
상기 이동 수단(210)은 액정 노즐(220)들을 전후로 이동시키는 전후 이동 수단(211)과 액정 노즐(220)들을 각각 좌우로 이동시키는 각각의 좌우 이동 수단(212)과 액정 노즐(220)들을 상하로 이동시키는 수직 이동 수단(213)으로 이루어지며, 미리 입력된 프로그램에 따라 작동된다. 하나의 노즐부(200)에는 하나의 이동 수단(210)과 그 이동 수단에 설치되는 복수 개의 액정 노즐(220)들이 설치되므로 각각의 액정 노즐(220)들은 이동수단(210)에 의하여 동일한 궤적을 그리며 이동한다.
상기 모니터링 수단(230)은 CCD 센서로 구성될 수 있다. 상기 CCD 센서(230)들은 노즐(220)들에 각각 하나씩 설치되어 노즐(220)의 위치 및 액정 토출 여부를 각각 모니터링하여 별도로 구비된 제어부(미도시)로 전송한다.
한편, 도 2는 도 1에 따른 액정 적하 장치에서 액정 노즐 및 공기 노즐을 수직으로 절취하여 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 1에 따른 액정 적하 장치에서 액체 노즐 및 공기 노즐을 수평으로 절취하여 나타낸 단면도이다. 또한, 도 4는 도 1에 따른 액정 적하 장치의 변형예에서 액정 노즐 및 공기 노즐을 수직으로 절취하여 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 1에 따른 액정 적하 장치의 변형예에서 액체 노 즐 및 공기 노즐을 수평으로 절취하여 나타낸 단면도이다. 또한, 도 6은 도 2에 따른 액정 노즐과 공기 노즐의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기의 노즐부(200)는 액정 노즐(220)의 주위에 액정이 맺혀 뭉치는 것을 방지하기 위하여, 액정 노즐(220)의 외측에 설치되어 공기를 분사하는 공기 노즐(240) 및 상기 공기 노즐(140)에 공기를 공급하는 공기 공급부(미도시)를 더 구비한다. 이때, 액정 노즐(220)의 끝단 측벽을 따라 공기가 흐르도록 액정 노즐(220)이 공기 노즐(240)보다 기판 방향 즉, 하부 방향으로 더욱 돌출되게 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 공기 노즐(240)에서 분사된 공기는 액정 노즐(220)의 측벽을 따라 진행하여 액정 노즐(220)의 주위 예를 들어, 하단 측벽에 맺혀 있는 액정을 하측으로 불어 떨어뜨릴 수 있다. 한편, 상기 공기 노즐(240)의 분사 유로는 도 2 및 도 3과 같이, 몸체의 상하를 관통하는 단일의 구멍(241)이 둘레 방향을 따라 하나로 이어져서 액정 노즐(220)의 외측을 연속적으로 둘러싸는 형상으로 형성되거나, 또는 도 4 및 도 5와 같이 몸체의 상하를 관통하는 다수의 구멍(242)이 둘레 방향을 따라 상호 이격되어 액정 노즐(220)의 외측을 부분적으로 둘러싸는 형상으로 형성될 수 있다.
특히, 액정 노즐(220)은 끝단으로 갈수록 직경(또는 단면적)이 점차 작아져서 끝단이 뽀족한 원추 형상으로 형성된다. 이로 인해, 액정 노즐(220)의 측벽은 끝단의 중심을 향해 하향 경사진 구조 즉, 역경사 구조를 갖게 됨으로써, 토출된 액정(L)이 중력에 의해 한 곳으로 모이게 되어 토출된 액정(L)이 액정 노즐(220)의 주위로 퍼지는 것을 막아준다. 그럼에도 불구하고, 액정 노즐(220)의 측벽을 타고 올라온 액정(L)의 일부는 도 6과 같이, 공압을 이용하여 떨어뜨려 줌으로써, 액체 노즐(220)의 주위에 액정(L)이 맺혀 뭉치는 것을 방지할 수 있다.
이처럼, 본 실시예에 따른 액정 적하 장치는 액정 노즐의 주위에 액정이 맺혀 뭉치는 것을 방지할 수 있기 때문에, 노즐 주위에 맺힌 액정을 닦아내기 위한 장비의 중단 시간 및 투입 인력을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 액정 노즐의 주위에 맺힌 액정으로 인해 액정의 적하량이 변동되지 않으므로, 언제나 정량의 액정을 기판에 적하시킬 수 있다.
<제 2 실시예>
한편, 도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 적하 장치에서 액체 노즐과 공기 노즐을 수직으로 절취하여 나타낸 사시도이고, 도 8은 도 7에 따른 액체 노즐과 공기 노즐의 동작을 설명하기 위한 모식도이다.
도 7을 참조하면, 상기 노즐부(500)는 액정을 토출하는 액정 노즐(520)의 외측에 공기를 분사하는 공기 노즐(540)이 마련된다. 이때, 액정 노즐(520)의 끝단 측벽을 따라 공기가 흐르도록 액정 노즐(520)이 공기 노즐(540)보다 기판 방향 즉, 하부 방향으로 더욱 돌출되게 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 공기 노즐(540)에서 분사된 공기는 액정 노즐(520)의 측벽을 따라 진행하여 액정 노즐(520)의 주위 예를 들어, 하단 측벽에 맺혀 있는 액정을 하측으로 불어 떨어뜨릴 수 있다.
특히, 상기 액정 노즐(520)은 끝단으로 갈수록 직경(또는 단면적)이 점차 작아지다가 다시 커져서 중앙이 잘록한 모래 시계 형상으로 형성되는 것이 바람직하 다. 이로 인해, 액정 노즐(520)의 끝단에서 토출된 액정이 액정 노즐(520)의 측벽을 타고 쉽게 올라오는 것을 막아준다. 그럼에도 불구하고, 액정 노즐(520)의 측벽을 타고 올라온 액정(L)의 일부는 도 8과 같이, 공압을 이용하여 떨어뜨려 줌으로써, 액정 노즐(520)의 주위에 액정(L)이 맺혀 뭉치는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 액정 노즐(520)의 끝단 측벽은 외측을 향해 하향 경사진 구조를 갖게 된다. 이로 인해, 도 8과 같이, 공기 노즐(540)에서 분사된 공기는 액체 노즐(520)의 끝단 측벽에 형성된 하향 경사면에 부딪히면서 액정 노즐(520)의 외측 방향으로 진행되므로, 액정 노즐(520)의 끝단에서 토출된 정상적인 액정(L)은 공압의 영향을 거의 받지 않는다. 따라서, 액정(L)의 적하 공정 중에도 수시로 공압을 이용하여 액정 노즐(520)의 주위에 액정이 맺혀 뭉치는 것을 방지할 수 있으므로, 언제나 정량의 액정(L)을 원하는 지점에 정확히 적하시킬 수 있다.
한편, 전술한 제 1, 제 2 실시예에서는 기판에 액정을 적하시키기 위해 액정을 토출하는 액정 노즐을 예시하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 액정뿐만 아니라 다양한 액상 물질 즉, 액체(liquid)를 토출 또는 분사하는 노즐로도 사용될 수 있음은 물론이다.
이상, 본 발명에 대하여 전술한 실시예 및 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 다양하게 변형 및 수정될 수 있 음을 알 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 적하 장치를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 따른 액정 적하 장치에서 액정 노즐 및 공기 노즐을 수직으로 절취하여 나타낸 사시도.
도 3은 도 1에 따른 액정 적하 장치에서 액정 노즐 및 공기 노즐을 수평으로 절취하여 나타낸 단면도.
도 4는 도 1에 따른 액정 적하 장치의 변형예에서 액정 노즐 및 공기 노즐을 수직으로 절취하여 나타낸 사시도.
도 5는 도 1에 따른 액정 적하 장치의 변형예에서 액정 노즐 및 공기 노즐을 수평으로 절취하여 나타낸 단면도.
도 6은 도 2에 따른 액정 노즐과 공기 노즐의 동작을 설명하기 위한 모식도.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 적하 장치에서 액정 노즐과 공기 노즐을 수직으로 절취하여 나타낸 사시도.
도 8은 도 7에 따른 액정 노즐과 공기 노즐의 동작을 설명하기 위한 모식도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 기판 안착부 110: 플레이트
120: 스테이지 200: 노즐부
220: 액정 노즐 230: CCD 센서
240: 공기 노즐 300: 프레임

Claims (7)

  1. 기판 상에 액체를 적하하는 액체 노즐; 및
    상기 액체 노즐의 외측에 마련되어 공기를 분사하는 공기 노즐; 을 포함하고,
    상기 액체 노즐은 상기 공기 노즐보다 기판 방향으로 더욱 돌출되고,
    상기 액체 노즐은 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지거나, 또는 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지다가 다시 커지도록 형성되는 노즐 모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기 노즐은,
    몸체의 상하를 관통하는 단일의 구멍이 둘레 방향을 따라 하나로 이어져서 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 노즐 모듈.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기 노즐은,
    몸체의 상하를 관통하는 다수의 구멍이 둘레 방향을 따라 상호 이격되어 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 노즐 모듈.
  4. 기판이 놓여지는 기판 안착부;
    상기 기판 상에 액체를 적하하는 액체 노즐; 및
    상기 액체 노즐의 외측에 마련되어 공기를 분사하는 공기 노즐; 을 포함하고,
    상기 액체 노즐은 상기 공기 노즐보다 기판 방향으로 더욱 돌출되고,
    상기 액체 노즐은 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지거나, 또는 끝단으로 갈수록 직경이 점차 작아지다가 다시 커지도록 형성되는 액체 토출 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 공기 노즐은,
    몸체의 상하를 관통하는 단일의 구멍이 둘레 방향을 따라 하나로 이어져서 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 액체 토출 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 공기 노즐은,
    몸체의 상하를 관통하는 다수의 구멍이 둘레 방향을 따라 상호 이격되어 액체 노즐의 외측을 둘러싸는 분사 유로를 구비하는 액체 토출 장치.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 기판 안착부는,
    상기 기판이 안착되는 플레이트; 및
    상기 플레이트를 이동시키는 스테이지; 를 구비하는 액체 토출 장치.
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