KR20030069816A

KR20030069816A - 박막 형성 장치와 박막 형성 방법, 액정 장치의 제조장치와 액정 장치의 제조 방법과 액정 장치, 및 박막구조체의 제조 장치와 박막 구조체의 제조 방법과 박막구조체, 및 전자 기기

Info

Publication number: KR20030069816A
Application number: KR10-2003-0008171A
Authority: KR
Inventors: 사쿠라다가즈아키
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2002-02-22
Filing date: 2003-02-10
Publication date: 2003-08-27
Also published as: CN1212231C; US20030159651A1; CN1439517A; TW200304168A; JP2003245582A; KR100526931B1; US7335604B2; JP3985545B2; TWI224359B

Abstract

액체 방울 토출 헤드를 채용함으로써 재료의 낭비를 억제하며, 형성하는 막 전체의 두께를 균일하게 할 수 있도록 한 박막 형성 장치와 박막 형성 방법, 액정 장치의 제조 장치와 액정 장치의 제조 방법과 액정 장치, 및 박막 구조체의 제조 장치와 박막 구조체의 제조 방법과 박막 구조체를 제공한다.

용제 중에 막 재료가 용해 또는 분산되어 이루어지는 도포액(L)을 기판(SUB) 상에 도포하여 박막을 형성하는 박막 형성 장치(1)이다. 기판(SUB) 상에 도포액(L)을 토출하는 액체 방울 토출 헤드(2)를 갖는 토출 기구와, 액체 방울 토출 헤드(2)와 기판(SUB)과의 위치를 상대적으로 이동 가능하게 하는 이동 기구(4)와, 토출 기구 및 이동 기구(4)의 적어도 한쪽을 제어하는 제어부(C)를 구비한다. 기판(SUB) 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급하는 용제 증기 공급 기구(5)를 가진다.

Description

박막 형성 장치와 박막 형성 방법, 액정 장치의 제조 장치와 액정 장치의 제조 방법과 액정 장치, 및 박막 구조체의 제조 장치와 박막 구조체의 제조 방법과 박막 구조체, 및 전자 기기{FORMATION APPARATUS AND METHOD OF THIN FILM, MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD OF LIQUID CRYSTAL DEVICE, LIQUID CRYSTAL DEVICE, MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD OF THIN FILM STRUCTURE, THIN FILM STRUCTURE, AND ELECTRONIC EQUIPMENT}

본 발명은 용제 중에 막 재료가 용해 또는 분산되어 이루어지는 도포액을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 박막 형성 장치와 박막 형성 방법, 이들을 이용한 액정 장치의 제조 장치와 액정 장치의 제조 방법과 액정 장치, 및 박막 구조체의 제조 장치와 박막 구조체의 제조 방법과 박막 구조체, 및 전자 기기에 관한 것으로, 특히 막 두께를 균일하게 할 수 있도록 한 것에 관한 것이다.

종래, 박막 형성 기술로서는, 예를 들어, 박막 도포법의 하나인 스핀 코팅법이 일반적으로 이용되었다. 이 스핀 코팅법은, 도포액을 기판 상에 적하(滴下)한 후에, 기판을 회전시켜 원심력에 의해 기판 전면에 도포를 행하여 박막을 형성하는 방법이며, 회전 수 및 회전 유지 시간, 또는 도포액의 점도 등에 의해 막 두께를 제어하는 것이다. 이 스핀 코팅법은, 예를 들어, 반도체 제조 공정 등에 사용되는 포토레지스트막이나 SOG(Spin On Glass) 등의 층간절연막 형성, 액정 장치 제조 공정 등에서의 오버코트막(평탄화막)이나 배향막 형성, 광 디스크 등의 제조 공정에서의 보호막 형성 등에 널리 이용되었다.

그러나, 이 스핀 코팅법에서는, 공급된 도포액의 대부분이 비산되기 때문에, 많은 도포액을 공급할 필요가 있는 동시에 낭비가 심하여, 생산 비용이 증가한다는 결점이 있었다. 또한, 기판을 회전시키기 때문에, 원심력에 의해 도포액이 내측으로부터 외측으로 유동하여, 외주 영역의 막 두께가 내측보다도 두꺼워지는 경향이 있기 때문에, 막 두께가 불균일해진다는 결점도 있었다. 이들의 대책을 위해, 최근 소위 잉크젯법을 응용한 기술이 제안되었다.

예를 들면, 일본국 특개평8-250389호 공보 등에 잉크젯법을 응용하여 기판 상에 도포액을 도포하고, 박막을 형성하는 기술이 기재되어 있다. 이 기술은 상대 이동 수단에 의해 헤드를 기판에 대하여 직선적으로 상대 이동시키고, 이것에 의해 도포액을 각형 기판 상에 균일하게 도포할 수 있도록 한 것이다.

그러나, 상기의 종래 기술에서는, 아직 형성하는 박막의 막 두께를 충분히 균일하게 할 수 없다는 불만이 있다.

즉, 일반적으로 액체 방울 토출 헤드를 사용하여 도포되는 도포액은, 이것에 유동성을 부여하여 노즐까지의 공급이나 노즐로부터의 토출을 가능하게 하기 위해, 고형분인 막 재료가 용제에 용해 또는 분산되어 형성되어 있다. 따라서, 도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이 이러한 용제를 함유한 도포액이 기판(1) 상에 토출되어 박막 형상으로 도포되면, 도포액으로 이루어지는 막(2)은 도포 직후, 그 주변부(에지부)(2a)에 표면장력에 의해 도 8의 (a) 중 화살표 A로 나타낸 바와 같은 내측으로 수축되려고 하는 힘이 생긴다.

또한, 이러한 힘과는 별도로, 막(2) 표면의 근방에서는, 막(2)으로부터 증발한 용제 증기의 농도가 막(2)의 중앙부(2b) 바로 위에서 높고, 주변부(2a)의 바로 위에서 확산에 의해 낮게 되어 있다. 따라서, 표면 근방의 용제 증기 농도가 높은중앙부(2b)에서는 용제의 증발이 일어나기 어렵고, 용제 증기 농도가 낮은 주변부(2a)에서는 증발이 일어나기 쉽게 되어 있음으로써, 막(2) 내에서는 용제의 대류가 도 8의 (b) 중 화살표 B로 나타낸 바와 같이 중앙부(2b) 측으로부터 주변부(2a) 측을 향하여 일어난다.

결과적으로, 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이 도포액(막(2))이 노즐로부터의 착탄 위치보다 내측으로 끌어당겨지며, 용제의 대류에 의해 용질 또는 분산질이 주변부로 이동하기 때문에, 막 두께가 두꺼워진다. 그리고, 이렇게 하여 주변부(2a)의 막 두께가 중앙부의 막 두께보다 두꺼워지면, 경화 후에 얻어지는 막(2)은 그 전체의 막 두께의 균일성이 당연히 손상된다. 따라서, 이 막(2)을 액정 장치의 각 막, 예를 들어, 배향막이나 컬러 필터 상에 형성하는 오버코트막 등에 사용한 경우에, 특히 그 에지부(2a)에서 액정의 배향 불균일이나 색 불균일이 발생하는 경우가 있다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 안출된 것으로서, 액체 방울 토출 헤드를 이용함으로써 재료의 낭비를 억제하며, 형성하는 막 전체의 두께를 균일하게 할 수 있도록 한 박막 형성 장치와 박막 형성 방법, 이들을 이용한 액정 장치의 제조 장치와 액정 장치의 제조 방법과 액정 장치, 및 박막 구조체의 제조 장치와 박막 구조체의 제조 방법과 박막 구조체, 및 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 박막 형성 장치의 일례의 개략적인 구성을 설명하기 위한 측면도.

도 2는 도 1에 나타낸 박막 형성 장치의 요부의 개략적인 구성을 설명하기 위한 사시도.

도 3은 액체 방울 토출 헤드의 개략적인 구성을 설명하기 위한 도면으로서, (a)는 요부 사시도, (b)는 요부 측단면도.

도 4는 본 발명을 적용하여 형성하는 액정 장치의 일례의 개략적인 구성을 나타내는 측단면도.

도 5는 액체 방울 토출 헤드의 각도를 변화시킨 경우의 노즐 피치를 설명하는 도면.

도 6은 본 발명의 박막 형성 장치의 다른 예의 요부의 개략적인 구성을 설명하기 위한 사시도.

도 7은 표시 수단이 구비된 전자 기기의 구체적인 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 휴대 전화에 적용한 경우의 일례를 나타내는 사시도, (b)는 정보처리 장치에 적용한 경우의 일례를 나타내는 사시도, (c)는 손목 시계형 전자 기기에 적용한 경우의 일례를 나타내는 사시도.

도 8의 (a) 및 (b)는 종래의 도포법에서의 과제를 설명하기 위한 측면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 박막 형성 장치

2 : 액체 방울 토출 헤드

3, 51 : 토출 기구

4, 50 : 이동 기구

5 : 용제 증기 공급 기구

23 : 커버

24 : 공급 장치(공급 수단)

30 : 액정 장치

31, 32 : 유리 기판(기판)

33 : 액정

36 : 오버코트막

C : 제어부

L : 도포액

SUB : 기판

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 박막 형성 장치에서는, 용제 중에 막 재료가 용해 또는 분산되어 이루어지는 도포액을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 박막 형성 장치로서, 상기 기판 상에 상기 도포액을 토출하는 액체 방울 토출 헤드를 갖는 토출 기구와, 상기 액체 방울 토출 헤드와 상기 기판과의 위치를 상대적으로 이동 가능하게 하는 이동 기구와, 상기 토출 기구 및 상기 이동 기구의 적어도 한쪽을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급하는 용제 증기 공급 기구를 가진 것을 특징으로 한다.

이 박막 형성 장치에 의하면, 용제 증기 공급 기구를 갖고 있기 때문에, 이것에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 도포액으로 이루어지는 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차를 적게 할 수 있고, 따라서, 이 용제 증기 농도의 차에 기인하여 주변부의 막 두께가 중앙부의 막 두께보다 두꺼워져, 얻어지는 막 전체의 두께의 균일성이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 이 박막 형성 장치에서는, 용제 증기 공급 기구를, 그 공급한 용제 증기의 농도가 기판 상에 도포된 도포액의 중앙부보다 주변부에서 높아지도록 용제 증기를 공급하는 것인 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 도포액으로 이루어지는 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차를 보다 적게 할 수 있고, 따라서, 얻어지는 막의 전체의 두께를 보다 균일하게 할 수 있다.

또한, 이 박막 형성 장치에서는, 용제 증기 공급 기구를, 적어도 기판의 표면측을 덮는 커버와 이 커버 내에 용제 증기를 공급하는 공급 수단을 구비하여 구성하는 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 커버로 기판 표면의 근방을 덮은 상태에서, 이 커버 내에, 예를 들어, 충분히 고농도의 용제 증기를 공급함으로써, 기판 상에 도포된 도포액의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차를 거의 무시할 수 있을 정도로 적게 할 수 있고, 따라서, 얻어지는 막의 전체의 두께를 균일하게 할 수 있다.

또한, 이 박막 형성 장치에서는, 제어부를, 토출 기구에 의한 토출 동작 및 이동 기구에 의한 이동 동작의 적어도 한쪽을 제어하여 도포액의 도포 조건을 변경하여, 박막의 막 두께를 제어하도록 구성하는 것이 바람직하다.

이렇게 하면, 제어부에 의해 토출 기구에 의한 토출 동작 및 이동 기구에 의한 이동 동작의 적어도 한쪽을 제어하여, 도포액의 도포 조건을 변경하여 박막의 막 두께를 제어하기 때문에, 용이하게 고정밀도로 박막의 막 두께 제어를 행할 수 있는 동시에, 장치의 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있다.

본 발명의 박막 형성 방법에서는, 용제 중에 막 재료가 용해 또는 분산되어 이루어지는 도포액을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 박막 형성 방법으로서, 상기 박막 형성 장치를 이용하여, 액체 방울 토출 헤드로부터 기판 상에 상기 도포액을 토출한 후, 상기 용제 증기 공급 기구로부터 토출한 도포액의 근방에 용제 증기를 공급하는 것을 특징으로 한다.

이 박막 형성 방법에 의하면, 상기 박막 형성 장치의 용제 증기 공급 기구에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 도포액으로 이루어지는 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차를적게 할 수 있고, 따라서, 이 용제 증기 농도의 차에 기인하여 주변부의 막 두께가 중앙부의 막 두께보다 두꺼워져, 얻어지는 막 전체의 두께의 균일성이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명의 액정 장치의 제조 장치에서는, 한 쌍의 기판 사이에 액정이 협지되어 이루어지는 액정 장치의 제조 장치로서, 상기 박막 형성 장치를 구비하고, 상기 박막 형성 장치가 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 액정 장치의 제조 방법에서는, 한 쌍의 기판 사이에 액정이 협지되어 이루어지는 액정 장치의 제조 방법으로서, 상기 박막 형성 방법을 이용하여, 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것을 특징으로 한다.

이들 액정 장치의 제조 장치 및 액정 장치의 제조 방법에 의하면, 상기 박막 형성 장치의 용제 증기 공급 기구에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 도포액으로 이루어지는 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차를 적게 할 수 있고, 따라서, 이 도포막으로부터 얻어지는 박막의 막 두께를 균일화하여, 예를 들어, 액정의 배향 불균일이나 색 불균일과 같은 결점을 방지할 수 있다.

본 발명의 액정 장치에서는, 상기 액정 장치의 제조 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 한다.

이 액정 장치에 의하면, 상술한 바와 같이 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차가 적어짐으로써 얻어지는 박막의 막 두께가 균일화되기 때문에, 예를 들어, 액정의 배향 불균일이나 색 불균일과 같은 결점이 방지된 것으로 된다.

본 발명의 박막 구조체의 제조 장치에서는, 기판 상에 박막이 형성된 박막 구조체의 제조 장치로서, 상기 박막 형성 장치를 구비하고, 상기 박막 형성 장치가 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 박막 구조체의 제조 방법에서는, 기판 상에 박막이 형성된 박막 구조체의 제조 방법으로서, 상기 박막 형성 방법을 이용하여, 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것을 특징으로 한다.

이들 박막 구조체의 제조 장치 및 박막 구조체의 제조 방법에 의하면, 상기 박막 형성 장치의 용제 증기 공급 기구에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 도포액으로 이루어지는 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차를 적게 할 수 있고, 따라서, 이 도포막으로부터 얻어지는 박막의 막 두께를 균일하게 할 수 있다.

본 발명의 박막 구조체에서는, 상기 박막 구조체의 제조 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 한다.

이 박막 구조체에 의하면, 상술한 바와 같이 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차가 적어짐으로써, 얻어지는 박막의 막 두께가 균일화된 것으로 된다.

본 발명의 전자 기기에서는, 상기 액정 장치, 또는 박막 구조체를 표시 수단으로서 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이 전자 기기에 의하면, 예를 들어, 액정의 배향 불균일이나 색 불균일과 같은 결점이 방지된 액정 장치를 표시 수단으로 하고 있음으로써, 양호한 표시를 행하는 것으로 된다.

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 박막 형성 장치의 일 실시예를 나타내는 도면으로서, 도 1 중의 부호 1은 박막 형성 장치이다. 이 박막 형성 장치(1)는, 액정 장치(Liquid Crystal Display; 액정 표시 장치)에서 그 기판 상에 형성되는 박막을 형성하기 위해 이용되는 것이며, 본 예에서는 특히 컬러 필터까지 형성된 기판(SUB) 상에 오버코트막(평탄화막)이 되는 박막을 형성하기 위해 도포액(L)을 도포하는 것으로 되어 있다.

이 박막 형성 장치(1)는, 기판(SUB) 상에 도포액(L)을 토출하는 액체 방울 토출 헤드(2)를 갖는 토출 기구(3)와, 상기 액체 방울 토출 헤드(2)와 기판(SUB)의 위치를 상대적으로 이동시키는 이동 기구(4)와, 토출 기구(3) 및 이동 기구(4)를 제어하는 제어부(C)를 구비하고, 상기 기판(SUB) 상에 도포된 도포액(L)의 근방에 용제 증기를 공급하는 용제 증기 공급 기구(5)를 더 가져서 구성된 것이다.

상기 이동 기구(4)는, 도 2에 나타낸 바와 같이 기판 스테이지(6) 상에 배치된 기판(SUB)의 위쪽에 액체 방울 토출 헤드(2)를 아래쪽을 향하여 지지하는 헤드 지지부(7)와, 위쪽의 액체 방울 토출 헤드(2)에 대하여 기판 스테이지(6)와 함께기판(SUB)을 X 및 Y 방향으로 이동시키는 스테이지 구동부(8)로 구성된 것이다.

상기 헤드 지지부(7)는, 액체 방울 토출 헤드(2)를 기판(SUB)에 대하여 그 수직 방향(Z축)으로 임의의 이동 속도로 이동 가능하며 위치 결정 가능한 리니어 모터 등의 기구와, 수직 중심축을 중심으로 액체 방울 토출 헤드(2)를 회전시킴으로써 아래쪽의 기판(SUB)에 대하여 임의의 각도로 설정 가능한 스테핑 모터 등의 기구를 구비한 것이다.

상기 스테이지 구동부(8)는, 수직 중심축을 중심으로 기판 스테이지(6)를 회전시켜 위쪽의 액체 방울 토출 헤드(2)에 대하여 임의의 각도로 설정 가능한 θ축 스테이지(9)와, 기판 스테이지(6)를 액체 방울 토출 헤드(2)에 대하여 수평 방향(X 방향 및 Y 방향)으로 각각 이동시키며 위치 결정하는 스테이지(10a, 10b)를 구비하고 있다. 또한, θ축 스테이지(9)는 스테핑 모터 등으로 구성되고, 스테이지(10a, 10b)는 리니어 모터 등으로 구성된다.

상기 토출 기구(3)는, 액체 방울 토출 헤드(2)와 이것에 튜브(11)를 통하여 접속된 탱크(T)를 구비하여 이루어지는 것이다. 탱크(T)는 도포액(L)을 저장하는 것이며, 튜브(11)를 통하여 이 도포액(L)을 액체 방울 토출 헤드(2)에 공급하는 것으로 되어 있다. 이러한 구성에 의해 토출 기구(3)는 탱크(T)에 저장된 도포액(L)을 액체 방울 토출 헤드(2)로부터 토출하고, 이것을 기판(SUB) 상에 도포하도록 되어 있다.

상기 액체 방울 토출 헤드(2)는, 예를 들어, 피에조 소자에 의해 액실을 압축하여 그 압력에 의해 액체(액상 재료)를 토출시키는 것이며, 일렬 또는 복수 열로 배열된 복수의 노즐(노즐 구멍)을 갖고 있다.

이 액체 방울 토출 헤드(2)의 구조의 일례를 설명하면, 액체 방울 토출 헤드(2)는, 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 예를 들어, 스테인레스제 노즐 플레이트(12)와 진동판(13)을 구비하고, 양자를 구획부재(리저버 플레이트)(14)를 통하여 접합한 것이다. 노즐 플레이트(12)와 진동판(13) 사이에는 구획부재(14)에 의해 복수의 공간(15)과 액실(液室)(16)이 형성되어 있다. 각 공간(15)과 액실(16)의 내부는 액상 재료로 채워져 있고, 각 공간(15)과 액실(16)은 공급구(17)를 통하여 연통(連通)한 것으로 되어 있다. 또한, 노즐 플레이트(12)에는 공간(15)으로부터 액상 재료를 분사하기 위한 노즐(18)이 형성되어 있다. 한편, 진동판(13)에는 액실(16)에 액상 재료를 공급하기 위한 구멍(19)이 형성되어 있다.

또한, 진동판(13)의 공간(15)에 대향하는 면과 반대쪽의 면 상에는, 도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이 압전 소자(피에조 소자)(20)가 접합되어 있다. 이 압전 소자(20)는 한 쌍의 전극(21) 사이에 위치하고, 통전하면 이것이 외측으로 돌출되도록 하여 요곡(撓曲)하도록 구성된 것이다. 그리고, 이러한 구성을 기본으로 하여 압전 소자(20)가 접합되어 있는 진동판(13)은, 압전 소자(20)와 일체로 되어 동시에 외측으로 요곡하도록 되어 있고, 이것에 의해 공간(15)의 용적이 증대하도록 되어 있다. 따라서, 공간(15) 내에 증대한 용적 분에 상당하는 액상 재료가 액실(16)로부터 공급구(17)를 통하여 유입된다. 또한, 이러한 상태로부터 압전 소자(20)로의 통전을 해제하면, 압전 소자(20)와 진동판(13)은 모두 원래의 형상으로 되돌아간다. 따라서, 공간(15)도 원래의 용적으로 되돌아가기 때문에, 공간(15)내부의 액상 재료의 압력이 상승하여, 노즐(18)로부터 기판을 향하여 액상 재료의 액체 방울(22)이 토출된다.

또한, 액체 방울 토출 헤드(2)의 방식으로서는, 상기 압전 소자(20)를 이용한 피에조젯 타입 이외의 방식일 수도 있고, 예를 들어, 에너지 발생 소자로서 전기열 변환체를 이용한 방식을 채용할 수도 있다.

상기 제어부(C)는, 장치 전체의 제어를 행하는 마이크로프로세서 등의 CPU, 또는 각종 신호의 입출력 기능을 갖는 컴퓨터 등에 의해 구성된 것이며, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 토출 기구(3) 및 이동 기구(4)에 각각 전기적으로 접속됨으로써, 토출 기구(3)에 의한 토출 동작 및 이동 기구(4)에 의한 이동 동작의 적어도 한쪽, 본 예에서는 양쪽을 제어하는 것으로 되어 있다. 그리고, 이러한 구성에 의해, 도포액(L)의 도포 조건을 변경하여, 형성하는 박막(오버코트막)의 막 두께를 제어하는 기능을 가진 것으로 되어 있다.

즉, 제어부(C)는, 상기 막 두께를 제어하는 기능으로서, 기판(SUB) 상의 도포액(L)의 토출 간격을 변화시키는 제어 기능과, 1도트당의 도포액(L) 토출량을 변화시키는 제어 기능과, 노즐(18)의 배열 방향과 이동 가구(4)에 의한 이동 방향과의 각도 θ를 변화시키는 제어 기능과, 기판(SUB) 상의 동일 위치에 반복적으로 도포를 행할 때에 반복하는 도포마다 도포 조건을 설정하는 제어 기능과, 기판(SUB) 상을 복수의 영역으로 나누어 각 영역마다 도포 조건을 설정하는 제어 기능을 구비하고 있다.

또한, 제어부(C)는, 상기 토출 간격을 변화시키는 제어 기능으로서,기판(SUB)과 액체 방울 토출 헤드(2)의 상대적인 이동 속도를 변화시켜 토출 간격을 변화시키는 제어 기능과, 이동 시에서의 토출의 시간 간격을 변화시켜 토출 간격을 변화시키는 제어 기능과, 복수의 노즐 중 동시에 도포액(L)을 토출시키는 노즐을 임의로 설정하여 토출 간격을 변화시키는 기능을 구비하고 있다.

상기 용제 증기 공급 기구(5)는, 도 1에 나타낸 바와 같이 적어도 기판(SUB)과 이것을 유지하는 기판 스테이지(6)의 표면측을 덮는 커버(23)와, 이 커버(23) 내에 용제 증기를 공급하는 공급 장치(공급 수단)(24)를 구비하여 구성된 것이며, 특히 본 예에서는, 공급하는 용제 증기의 농도가 기판(SUB) 상에 도포된 도포액(L)의 중앙부보다 주변부에서 높아지도록 용제 증기를 공급하도록 구성된 것으로 되어 있다.

커버(23)는 저면부를 개구로 하는 직육면체의 박스 형상의 것이며, 승강 장치(도시 생략)에 의해 승강 가능하게 설치된 것이다. 그리고, 이 커버(23)는, 후술하는 바와 같이 공급 장치(24)의 작동 시에, 도 1에 나타낸 바와 같이 그 하단부가 기판 스테이지(6)의 표면 근방에 위치하도록 되어 있다. 또한, 이 커버(23)는 전체가 이중벽 구조를 취함으로써 그 벽 내를 증기의 유통로로 한 것이다. 즉, 이 커버(23)의 천판(天板)(23a)에는 상기 공급 장치(24)로부터의 플렉시블 배관(25)이 접속되어 있으며, 측벽(23b)의 하단부 내벽측에는 용제 증기의 공급구(23c)가 형성되어 있다. 커버(23)의 천판(23a) 중앙부에는 흡인 팬(26)이 설치되어 있고, 이 흡인 팬(26)에는 플렉시블 배관(27)이 접속되어 있다. 이 플렉시블 배관(27)은 상기 공급 장치(24)에 접속되어 있다.

공급 장치(24)는 용제 증기, 구체적으로는, 액체 방울 토출 헤드(2)로부터 토출되는 도포액(L)에 이용된 용제의 증기를 발생시켜 이것을 송기(送氣)하기 위한 것이며, 용제를 저장하는 용기(도시 생략)와, 이 용기 내의 용제를 가열하는 히터 등의 가열 수단(도시 생략)과, 가열에 의해 생성한 용제 증기를 플렉시블 배관(25)을 통하여 커버(23) 내에 공급하기 위한 송기 펌프(도시 생략)를 구비하여 구성된 것이다.

이러한 구성을 기본으로 하여 용제 증기 공급 기구(5)는, 생성한 용제 증기를 플렉시블 배관(25)을 통하여 커버(23)의 이중벽 내에 공급하고, 그 하단부에 형성한 공급구(23c)로부터 용제 증기를 분무함으로써, 커버(23)로 덮은 기판(SUB)의 표면 근방에 용제 증기를 공급하도록 되어 있다. 또한, 커버(23)로 덮인 기판(SUB) 근방의 용제 증기는, 흡인 팬(26)을 통하여 다시 공급 장치(24)에 반송되도록 되어 있다. 여기서, 커버(23)에는 용제 증기의 공급구(23c)가 측벽(23b)의 하단부에 형성되어 있기 때문에, 공급하는 용제 증기는 기판(SUB) 상에 도포된 도포액(L)의 주변부 근방에 공급된다. 따라서, 기판(SUB) 근방에서는, 공급하는 용제 증기의 농도가 기판(SUB) 상의 도포액(L)의 중앙부보다 주변부에서 높아지도록 되어 있다.

다음으로, 본 실시예의 박막 형성 장치를 이용하여 오버코트막을 형성한 액정 장치, 및 이 오버코트막(평탄화막)의 형성 방법에 대해서 설명한다. 또한, 여기서는 액정 장치의 개략적인 구성과 그 오버코트막의 형성 공정에 대해서만 설명하고, 액정 장치 전체에서의 그 이외의 제조 공정에 대해서는 그 설명을 생략한다.

도 4는 패시브 매트릭스형 액정 장치(액정 표시 장치)를 나타내는 도면이며, 도 4 중의 부호 30은 액정 장치이다. 이 액정 장치(30)는 투과형의 것이며, 한 쌍의 유리 기판(31, 32) 사이에 STN(Super Twisted Nematic) 액정 등으로 이루어지는 액정층(33)이 협지되어 이루어진 것이다.

한쪽 유리 기판(31)에는 그 내면에 컬러 필터(34)가 형성되어 있다. 컬러 필터(34)는 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 각색으로 이루어지는 착색층(34R, 34G, 34B)이 규칙적으로 배열되어 구성된 것이다. 또한, 이들 착색층(34R(34G, 34B)) 사이에는 블랙 매트릭스나 뱅크 등으로 이루어지는 구획(35)이 형성되어 있다. 그리고, 이들 컬러 필터(34) 및 구획(35) 상에는, 상기 컬러 필터(34)나 구획(35)에 의해 형성되는 단차를 없애서 이것을 평탄화하기 위해, 오버코트막(36)이 형성되어 있다. 이 오버코트막(36)은, 후술하는 바와 같이 도 1에 나타낸 본 발명의 박막 형성 장치(1)에 의해 형성된 것이다.

오버코트막(36) 위에는 복수의 전극(37)이 스트라이프 형상으로 형성되고, 그 위에는 배향막(38)이 형성되어 있다.

다른쪽 유리 기판(32)에는, 그 내면에 상기 컬러 필터(34) 측의 전극과 직교하도록 하여 복수의 전극(39)이 스트라이프 형상으로 형성되어 있고, 이들 전극(39) 위에는 배향막(40)이 형성되어 있다. 또한, 상기 컬러 필터(34)의 각 착색층(34R, 34G, 34B)은, 각각 유리 기판(32)의 전극(39)과 상기 유리 기판(31)의 전극(37)과의 교차 위치에 대응하는 위치에 배치된 것으로 되어 있다. 또한, 전극(37, 39)은 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 도전 재료에 의해 형성된 것이다. 또한, 유리 기판(32)과 컬러 필터(34)의 외면측에는 각각 편향판(도시 생략)이 설치되고, 유리 기판(31, 32) 사이에는 이들 기판(31, 32) 사이의 간격(셀 갭)을 일정하게 유지하기 위해 스페이서(41)가 설치되며, 이들 유리 기판(31, 32) 사이에는 상기 유리 기판(31, 32)을 밀착시켜 셀을 만들고, 액정(33)을 외기로부터 차단하기 위한 밀봉재(42)가 더 설치되어 있다.

이러한 구성의 액정 장치(30)에서는, 특히 그 오버코트막(36)이 도 1에 나타낸 본 발명의 박막 형성 장치(1)에 의해 형성되어 있다.

오버코트막(36)을 형성하기 위해서는, 우선, 도포액(L)으로서 오버코트막을 형성하기 위한 것, 예를 들어, 아크릴계 수지를 주요한 막 재료(고형분)로 하고, 이것을 디에틸렌글리콜디메틸에테르(DG) 및 부틸칼비톨아세테이트(BCTAC)의 용제에 용해 또는 분산시키며, 에폭시 화합물 및 커플링제를 더 첨가하여 이루어지는 것을 준비한다. 여기서, 이들 용제는, 특히 BCTAC의 비점이 247℃로 더 높기 때문에, 이들 용제 사이의 첨가 비율을 적절히 설정함으로써, 토출하여 도포한 도포액(L)의 경화 속도를 조정할 수 있다.

또한, 이러한 도포액(L)을 이용하여 도포를 행하기 때문에, 용제 증기 공급 기구(5)의 공급 장치(24)에서는, 디에틸렌글리콜디메틸에테르(DG)나 부틸칼비톨아세테이트(BCTAC), 또는 이들을 혼합한 것을 준비하고, 이로부터 생성하는 증기를 커버(23) 내에 공급하도록 한다. 또한, 공급하는 용제 증기에 대해서는, 반드시 도포액(L)에 사용되고 있는 용제의 증기에 일치시키지 않고, 예를 들어, 성상이 유사한 다른 용제 증기를 사용하도록 할 수도 있다. 즉, 여기서 사용하는 용제 증기는, 후술하는 바와 같이 유리 기판(31) 상에 형성하는 오버코트막(36) 형성용 도포액(L) 중으로부터 발생하는 용제 증기의 발생 정도를 조정하기 위한 것이며, 이러한 조정을 행할 수 있는 용제라면, 도포액(L) 중의 용제와는 상이한 용제 증기를 사용해도 된다. 다만, 형성하는 박막의 품질에 악영향을 미치지 않는 것에 한정된다.

또한, 공급하는 용제 증기의 농도에 대해서는, 특별히 한정되지는 않지만, 앞서 도 8의 (a) 및 (b)를 참조하여 설명한 바와 같이, 막(2)의 중앙부(2b) 바로 위와 주변부(2a) 바로 위 사이에서의 용제 증기 농도의 차를 적게 하여, 이것을 거의 무시할 수 있을 정도로 할 수 있는 농도로 한다. 구체적으로는, 막(2)으로부터 생성하는 용제 증기의 농도보다 충분히 고농도의 증기를 공급하면, 상기 중앙부(2b) 바로 위와 주변부(2a) 바로 위와의 차를 무시할 수 있게 되어, 용제 증기 농도의 차에 기인하여 경화 후에 얻어지는 막 전체의 막 두께 균일성이 손상되는 것이 방지된다.

다음으로, 미리 준비한 컬러 필터(34)와 구획(35)이 형성되어 있는 기판(SUB)(유리 기판(31))을 기판 스테이지(6) 상의 소정 위치에 배치하고, 여기에 유지 고정시킨다. 그리고, 이러한 상태를 기본으로 하여, 액체 방울 토출 헤드(2)로부터의 토출을 행하고, 유리 기판(31) 상의 컬러 필터(34) 및 구획(35) 상에 도포액(L)을 형성한다. 이렇게 하여 도포액(L)을 형성하면, 또는 이 도포액(L) 형성에 앞서, 용제 증기 공급 기구(5)의 커버(23)를 소정 위치, 즉, 그 하단부가 기판 스테이지(6)의 표면 근방에 위치하는 부분까지 하강시켜 두는 동시에, 공급장치(24)에서 용제 증기를 생성시켜 둔다. 그리고, 생성한 용제 증기를 플렉시블 배관(25)을 통하여 커버(23)의 이중벽 내에 공급하고, 그 하단부에 형성한 공급구(23c)로부터 용제 증기를 분무한다.

그리하면, 커버(23)의 하단부에 형성된 공급구(23c)는 기판 스테이지(6)의 표면 근방에 위치하고 있기 때문에, 분무된 용제 증기는 커버(23)로 덮인 기판(SUB)의 표면 근방을 향하여 그 주변부 측에 공급되고, 즉, 기판(SUB) 상에 도포된 도포액(L)의 주변부 근방에 공급된다. 따라서, 이 기판(SUB) 근방에서는, 공급된 용제 증기의 농도가 기판(SUB) 상의 도포액(L) 중앙부보다 주변부에서 높아진다.

이렇게 하여 용제 증기가 공급되면, 기판(SUB) 상의 도포액(L) 표면 근방에서는, 그 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위와의 사이에서 용제 증기 농도의 차가 적어지며, 공급구(23c)로부터 공급된 용제 증기의 농도가 기판(SUB) 상의 도포액(L) 중앙부보다 주변부에서 높아지고 있기 때문에, 상기 용제 증기 농도의 차의 감소가 보다 현저해진다. 따라서, 이러한 용제 증기 농도의 차에 기인하여 도포액(L)으로 이루어지는 막 중에서 용제의 대류가 일어나고, 이것에 의해 경화 후에 얻어지는 막의 두께에 편차가 생기는 것이 방지된다.

따라서, 이러한 용제 증기 공급 기구(5)에 의한 용제 증기 공급에 의해, 경화 후에 얻어지는 오버코트막(36)은 막 두께가 충분히 균일화된 것으로 되고, 이것에 의해, 이 위에 형성되는 배향막(38) 등에도 충분한 평탄성을 부여할 수 있게 된다.

또한, 이렇게 하여 공급된 용제 증기와 도포액(L)으로부터 발생하는 용제 증기는, 흡인 팬(26) 및 플렉시블 배관(27)을 통하여 다시 공급 장치(24)에 반송된다.

또한, 상기 오버코트막(36)을 형성하기 위한 도포액(L)의 도포 방법에 대해서는, 얻어지는 오버코트막(36)의 막 두께를 원하는 막 두께로 제어하기 위해, 박막 형성 장치(1)의 제어부(C)에 의해, 토출 기구(3)에 의한 토출 동작 및 이동 기구(4)에 의한 이동 동작의 적어도 한쪽을 제어한다. 구체적으로는, 이하의 동작 제어에 의한 막 두께 제어 중의 적어도 하나를 행하도록 한다.

[토출 간격에 의한 막 두께 제어]

이 제어는, 제어부(C)에 의해, 도포액(L)의 도포 조건으로서 기판(SUB) 상의 도포액(L)의 토출 간격을 변화시킴으로써 오버코트막(36)의 막 두께를 제어하는 것이다. 즉, 토출 간격을 좁히면, 기판(SUB) 표면에서의 단위 면적당 도포량이 많아져 막 두께를 두껍게 할 수 있는 반면, 토출 간격을 넓히면, 단위 면적당 도포량이 적어져 막 두께를 얇게 할 수 있다.

보다 구체적으로는, 액체 방울 토출 헤드(2)와 기판(SUB)의 상대적인 이동 속도를 변화시킴으로써, 토출 간격의 변경을 행한다. 즉, 이동 속도를 높이면, 단위 이동거리당 도포량이 적어져 막 두께를 얇게 할 수 있는 반면, 이동 속도를 낮추면, 단위 이동거리당 도포량이 많아져 막 두께를 두껍게 할 수 있다. 예를 들면, 이동 기구(4)에 의해 스테이지(10a) 또는 스테이지(10b)를 액체 방울 토출 헤드(2)에 대하여 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동시키고, 이것에 의해 기판(SUB)을액체 방울 토출 헤드(2)에 대하여 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동시켜, 도포를 행할 경우에, 토출의 시간 간격을 일정하게 한 상태에서 X축 방향 또는 Y축 방향으로의 이동 속도를 높임으로써, 막 두께를 얇게 할 수 있다.

또한, 액체 방울 토출 헤드(2)와 기판(SUB)의 상대적인 이동 시에서의 토출의 시간 간격을 변화시킴으로써, 토출 간격의 변경을 행할 수도 있다. 즉, 토출의 시간 간격을 좁히면, 단위 이동거리당 도포량이 많아져 막 두께를 두껍게 할 수 있는 반면, 토출의 시간 간격을 넓히면, 단위 이동거리당 도포량이 적어져 막 두께를 얇게 할 수 있다. 예를 들면, 이동 기구(4)에 의한 액체 방울 토출 헤드(2)의 이동 속도를 일정하게 한 상태에서, 토출 기구(3)에 의해 도포액(L)의 토출의 시간 간격을 짧게 하면, 막 두께를 얇게 할 수 있다.

또한, 복수의 노즐(18) 중 동시에 도포액(L)을 토출시키는 노즐(18)을 임의로 설정함으로써, 토출 간격을 변화시킬 수도 있다. 동시에 토출하는 노즐(18)의 수가 많으면서 이들 노즐(18)이 근접하여 있을수록, 단위 면적당 도포량이 많아져 막 두께를 두껍게 할 수 있는 반면, 동시에 토출하는 노즐(18)의 수가 적으면서 이들 노즐(18)이 이간되어 있을수록, 단위 면적당 도포량이 적어져 막 두께를 얇게 할 수 있다. 즉, 토출 기구(3)에 의해, 예를 들어, 등간격으로 배열된 노즐(18)을 하나 간격으로 토출하도록 설정하면, 모든 노즐(18)에서 토출시킨 경우와 비교하여 노즐(18)의 배열 방향에서 토출 간격을 2배로 할 수 있어, 막 두께를 반분으로 얇게 할 수 있다. 또한, 상기 토출 간격에 대해서는, 예를 들어, 1㎛로부터 100㎛ 정도의 사이에서 변화시키도록 한다.

[토출량에 의한 막 두께 제어]

이 제어는, 제어부(C)에 의해, 도포액(L)의 도포 조건으로서 1도트당의 도포액(L) 토출량을 변화시킴으로써, 막 두께의 제어를 행하는 것이다. 즉, 토출량에 비례하여 단위 면적당 도포량을 변화시키고, 토출량을 늘리면, 막 두께를 두껍게 할 수 있는 반면, 토출량을 줄이면, 막 두께를 얇게 할 수 있다. 예를 들면, 토출 기구(3)에 의해 액체 방울 토출 헤드(2)에서의 압전 소자(20)의 구동 전압을 0.1V로부터 34.9V까지의 사이에서 변화시키거나, 또는 적당한 구동 파형을 선택함으로써, 1도트당의 토출량을 2pl로부터 20pl 정도까지로 변화시킬 수 있고, 이것에 의해 막 두께를 고정밀도로 제어할 수 있다.

또한, 제어부(C)에 의해, 노즐(18)마다 토출량을 변화시킴으로써 막 두께를 제어할 수도 있다. 즉, 토출 기구(3)에 의해 각 노즐(18)의 위치 및 토출량에 따라 도포량을 임의로 변화시킬 수 있어, 다양한 막 두께 제어가 가능해진다. 예를 들면, 등간격으로 배열된 노즐(18)의 하나 간격으로 1도트당의 토출량을 줄이는 설정을 하면, 모든 노즐(18)에서 동일한 토출량으로 한 경우와 비교하여 단위 면적당 도포량이 감소하여, 막 두께를 얇게 할 수 있다.

[노즐 배열 방향의 각도에 의한 막 두께 제어]

이 제어는, 제어부(C)에 의해, 도포액(L)의 도포 조건으로서 노즐의 배열 방향과 이동 기구에 의한 이동 방향과의 각도를 변화시킴으로써 막 두께를 제어하는 것이다. 예를 들면, 도 5에 나타낸 바와 같이 헤드 지지부(7)에 의해 액체 방울 토출 헤드(2)를 회전시키고, 노즐(18)의 배열 방향과 이동 방향(예를 들어, X축 방향)과의 각도 θ를 좁게 함으로써, 실제의 노즐 피치 D보다도 외관상의 노즐 피치 E를 좁게 하여 단위 이동거리당 도포량을 증가시킬 수 있고, 이것에 의해 막 두께를 두껍게 할 수 있다.

[반복 도포에 의한 막 두께 제어]

이 제어는, 기판(SUB) 상의 동일 위치에 반복하여 도포를 행할 때에, 제어부(C)에 의해 반복하는 도포마다 상기 막 두께 제어의 적어도 하나의 방법을 채용하여 도포 조건을 설정하기 때문에, 예를 들어, 도포액(L)의 건조성(휘발성) 등의 특성에 따라 1회째와 2회째 이후에서 도포 조건을 변경하여, 도포액(L)에 따른 반복 도포를 행할 수 있다.

[영역 구분에 의한 막 두께 제어]

이 제어는, 제어부(C)에 의해, 기판(SUB) 상을 복수의 영역으로 구분하여 각 영역마다 상기 막 두께 제어의 적어도 하나에 의해 도포 조건을 설정하기 때문에, 영역마다 막 두께를 임의로 설정하는 것도 가능해지는 동시에, 각 영역에서의 도포액의 건조성(휘발성) 등을 고려하여 미리 도포량을 영역마다 미세 조정함으로써, 보다 고정밀한 막 두께 균일성을 얻을 수 있다.

또한, 본 발명의 박막 형성 장치로서는, 상기 예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 한 다양한 변경이 가능하다.

예를 들면, 이동 기구로서는, 상기 이동 기구(4) 대신에, 도 6에 나타낸 바와 같은 구성의 것으로 할 수도 있다. 도 6에 나타낸 이동 기구(50)가 상기 이동 기구(4)와 상이한 점은, 그 토출 기구(51)가 액체 방울 토출 헤드(2)를 X축 방향으로도 이동시킬 수 있는 X축 스테이지(52)를 구비하고 있는 반면, 스테이지 구동부(53)는 Y축 방향으로 이동 가능하며 위치 결정 가능한 스테이지(54)를 구비하고 있지만, X축 방향으로 이동 가능하며 위치 결정 가능한 스테이지를 구비하고 있지 않은 점이다.

이러한 이동 기구(50)를 구비한 박막 형성 장치에서도, 액체 방울 토출 헤드(2)와 기판 스테이지(6) 상의 기판(SUB)과의 상대 이동 및 위치 결정에서의 수평면(X축 방향 및 Y축 방향)에서의 이동을 이동 기구(50)에 의해 제어할 수 있다.

따라서, 상술한 제어부(C)에 의한 막 두께 제어에 대해서도, 이 이동 기구(50)에 의해 확실하게 행할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 본 발명의 박막 제조 장치에 의한 박막 형성을 액정 장치에서의 오버코트막(36)의 형성에 적용했으나, 본 발명은 이것에 한정되지 않고 다양한 박막의 형성에 적용할 수 있으며, 예를 들어, 상기 액정 장치(30)에서는 배향막(40)의 형성에도 적용할 수 있다. 또한, 액정 장치의 구동 회로나 그것이 탑재되는 프린트 배선 기판을 제조하는 공정에서 요구되는 에칭 레지스트 등의 도포에도 적용할 수 있다.

또한, 액정 장치 이외의 각종 박막 구조체에서의 박막 형성에도 본 발명은 적용 가능하다. 구체적으로는, 보호막이 표면에 형성된 광 디스크의 박막 구조체에 대하여, 그 보호막의 형성에 본 발명의 박막 제조 장치를 이용할 수 있고, 그 경우에, 광 디스크 기판 전체에서 막 두께 균일성이 높은 보호막을 용이하게 얻을 수 있다.

또한, 용제 증기 공급 기구(5)에 대해서도, 도 1에 나타낸 구성의 것에 한정되지 않고, 예를 들어, 커버로서 이중벽 구조가 아니라 한겹의 것을 채용하며, 임의의 위치에 플렉시블 배관(25)의 개구를 공급구로서 형성하도록 할 수도 있다. 이러한 구성의 것으로 하여도, 기판 표면 근방에서의 용제 증기 농도의 차를 적게 함으로써, 이것에 기인하는 막 두께의 편차를 방지하여 막 두께의 균일화를 도모할 수 있다.

다음으로, 상기 예의 액정 장치를 이용한 액정 표시 장치로 이루어지는 표시 수단이 구비된 전자 기기의 구체적인 예에 대해서 설명한다.

도 7의 (a)는 휴대 전화의 일례를 나타낸 사시도이다. 도 7의 (a)에서 부호 500은 휴대 전화 본체를 나타내고, 부호 501은 도 4에 나타낸 액정 장치를 이용한 액정 표시 장치로 이루어지는 표시부(표시 수단)를 나타낸다.

도 7의 (b)는 워드프로세서 및 퍼스널 컴퓨터 등의 휴대형 정보처리 장치의 일례를 나타낸 사시도이다. 도 7의 (b)에서 부호 600은 정보처리 장치, 부호 601은 키보드 등의 입력부, 부호 603은 정보처리 본체, 부호 602는 상기 도 4에 나타낸 액정 장치를 이용한 액정 표시 장치로 이루어지는 표시부(표시 수단)를 나타낸다.

도 7의 (c)는 손목 시계형 전자 기기의 일례를 나타낸 사시도이다. 도 7의 (c)에서 부호 700은 시계 본체를 나타내고, 부호 701은 상기 도 4에 나타낸 액정 장치를 이용한 액정 표시 장치로 이루어지는 표시부(표시 수단)를 나타낸다.

도 7의 (a)∼(c)에 나타낸 전자 기기는, 상기 액정 장치를 이용한 액정 표시장치로 이루어지는 표시부(표시 수단)가 구비된 것이기 때문에, 우수한 표시 품질을 얻을 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명의 박막 형성 장치에 의하면, 용제 증기 공급 기구에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 도포액으로 이루어지는 도포막의 중앙부 바로 위와 주변부 바로 위에서의 용제 증기 농도의 차를 적게 할 수 있고, 따라서, 이 용제 증기 농도의 차에 기인하여 얻어지는 막 전체의 두께의 균일성이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 이것에 의해 균일한 막 두께의 박막을 형성할 수 있다. 또한, 액체 방울 토출 헤드를 채용함으로써, 재료의 낭비를 없애서 비용의 저감화를 도모할 수 있다.

본 발명의 박막 형성 방법에 의하면, 상기 박막 형성 장치의 용제 증기 공급 기구에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 얻어지는 막 전체의 두께의 균일성이 손상되는 것을 방지하여, 균일한 막 두께의 박막을 형성할 수 있으며, 비용의 저감화를 도모할 수도 있다.

본 발명의 액정 장치의 제조 장치 및 액정 장치의 제조 방법에 의하면, 상기 박막 형성 장치의 용제 증기 공급 기구에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 얻어지는 박막의 막 두께를 균일화하여, 예를 들어, 액정의 배향 불균일이나 색 불균일과 같은 결점을 방지할 수 있다.

본 발명의 액정 장치에 의하면, 얻어지는 박막의 막 두께가 균일화되기 때문에, 예를 들어, 액정의 배향 불균일이나 색 불균일과 같은 결점이 방지된 것으로된다.

본 발명의 박막 구조체의 제조 장치 및 박막 구조체의 제조 방법에 의하면, 상기 박막 형성 장치의 용제 증기 공급 기구에 의해 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급함으로써, 얻어지는 박막의 막 두께를 균일하게 할 수 있다.

본 발명의 박막 구조체에 의하면, 얻어지는 박막의 막 두께가 균일화된 것으로 된다.

본 발명의 전자 기기에 의하면, 상기 액정 장치 또는 박막 구조체를 표시 수단으로서 구비하여 이루어지기 때문에, 예를 들어, 액정의 배향 불균일이나 색 불균일과 같은 결점이 방지된 액정 장치를 표시 수단으로 함으로써, 양호한 표시를 행하는 것으로 된다.

Claims

용제 중에 막 재료가 용해 또는 분산되어 이루어지는 도포액을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 박막 형성 장치로서,

상기 기판 상에 상기 도포액을 토출하는 액체 방울 토출 헤드를 갖는 토출 기구와, 상기 액체 방울 토출 헤드와 상기 기판과의 위치를 상대적으로 이동 가능하게 하는 이동 기구와, 상기 토출 기구 및 상기 이동 기구의 적어도 한쪽을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 기판 상에 도포된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급하는, 용제 증기 공급 기구를 가진 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 용제 증기 공급 기구는 그 공급한 용제 증기의 농도가 기판 상에 도포된 도포액의 중앙부보다 주변부에서 높아지도록 용제 증기를 공급하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 용제 증기 공급 기구는 적어도 기판의 표면측을 덮는 커버와 이 커버 내에 용제 증기를 공급하는 공급 수단을 구비하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 제어부는 토출 기구에 의한 토출 동작 및 이동 기구에 의한 이동 동작의 적어도 한쪽을 제어하여 상기 도포액의 도포 조건을 변경하여, 상기 박막의 막 두께를 제어하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
한 쌍의 기판 사이에 액정이 협지되어 이루어지는 액정 장치의 제조 장치로서,

제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 박막 형성 장치를 구비하고,

상기 박막 형성 장치가, 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 장치.
기판 상에 박막이 형성된 박막 구조체의 제조 장치로서,

제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 박막 형성 장치를 구비하고,

상기 박막 형성 장치는, 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 구조체의 제조 장치.
용제 중에 막 재료가 용해 또는 분산되어 이루어지는 도포액을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 박막 형성 방법으로서,

제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 박막 형성 장치를 이용하여,

액체 방울 토출 헤드로부터 기판 상에 상기 도포액을 토출한 후, 상기 용제증기 공급 기구로부터 토출된 도포액의 근방에 용제 증기를 공급하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
한 쌍의 기판 사이에 액정이 협지되어 이루어지는 액정 장치의 제조 방법으로서,

제 7 항에 기재된 박막 형성 방법을 이용하여, 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 방법.
제 8 항에 기재된 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 액정 장치.
기판 상에 박막이 형성된 박막 구조체의 제조 방법으로서,

제 7 항에 기재된 박막 형성 방법을 이용하여, 상기 기판 상에 형성되는 박막의 적어도 한 종류를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 구조체의 제조 방법.
제 10 항에 기재된 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 박막 구조체.
제 9 항에 기재된 액정 장치, 또는 제 11 항에 기재된 박막 구조체를 표시 수단으로서 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 기기.