KR20040080941A

KR20040080941A - 전기 광학 장치의 제조 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기

Info

Publication number: KR20040080941A
Application number: KR1020040000507A
Authority: KR
Inventors: 사쿠라다가즈아키
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2003-03-11
Filing date: 2004-01-06
Publication date: 2004-09-20
Also published as: CN1530698A; US20040207797A1; TWI281581B; CN100334494C; JP2004272086A; TW200422737A; US7518702B2

Abstract

본 발명은 액정 표시 품질이 향상된 전기 광학 장치의 제조 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

제 1 기판(1)의 표면에 액정 영역을 획성하는 뱅크부(50)를 형성하는 뱅크 형성 수단(51)과, 뱅크부(50)의 내측에 소정량의 액정(3)을 액체방울 토출하는 액체방울 토출 수단(52)과, 상기 뱅크부(50)의 외주 측에 위치하고, 제 1 기판(1)에 대향하는 제 2 기판(4)을 밀봉하는 밀봉부(2)를 형성하는 밀봉부 형성 수단(53)과, 상기 제 1 기판(1)에 형성된 밀봉부(2)에 제 2 기판(4)을 중첩시켜, 진공 분위기(54) 중에서 가압하는 가압 수단(55)을 갖는다.

Description

전기 광학 장치의 제조 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기{MANUFACTURING APPARATUS OF ELECTROOPTICAL DEVICE, ELECTROOPTICAL DEVICE AND ELECTRONIC EQUIPMENT}

본 발명은 전기 광학 장치의 제조 장치에 관한 것이며, 특히 액정 표시 품질의 향상을 도모하는 전기 광학 장치를 제공한다.

액정 장치는, 일반적으로 한쌍의 기판 사이에 액정을 봉입(封入)한 구조의액정 표시 패널에 백라이트 등과 같은 조명 장치나 액정 구동용 IC 등과 같은 부가 기기를 부설(附設)함으로써 형성된다.

또한, 액정 표시 패널은 일반적으로, 도 10에 나타낸 바와 같이, 제 1 전극이 형성된 제 1 기판(1)과 제 2 전극이 형성된 제 2 기판(4)을 밀봉부(2)에 의해 서로 접합하고, 이들 기판(1, 4) 사이에 형성되는 갭 이른바 셀 갭 내에 액정(3)을 봉입함으로써 형성된다. 또한, 부호 5는 액정 주입 후에 주입구를 밀봉하는 밀봉부이다.

상기 액정은 일반적으로 이른바 주입법에 의해 셀 갭 내에 봉입되어 있다.

여기서, 액정 주입법은 진공 하에서 액정 주입구로부터 액정을 압력차에 의해 주입하는 방법이며, 액정을 충전하는 방법은 다음과 같았다.

우선, 밀봉하기 전의 액정 표시 소자(이하, 액정 표시 셀이라고 함)를 진공 중에서 충분히 탈기(脫氣)한 후, 액정으로 주입구를 밀봉한다. 이렇게 한 액정 표시 셀을 대기 중에 되돌리고, 액정 표시 셀 내외의 압력차와 표면장력을 이용하여 충전하는 것이었다.

이 때문에, 액정 표시 소자가 커지면 상당한 시간이 소요된다. 대각(對角) 1m 이상의 대형 기판으로 되면 1일 이상이나 걸리게 되어, 제조상 현실적이지 않다는 문제가 있다.

그래서, 종래에는 액정을 주입하는 대신에, 도 11에 나타낸 바와 같이 프레임 형상의 밀봉부(2)를 형성하여 이루어지는 제 1 기판(1)의 프레임 내에, 예를 들어, 잉크젯법에 의한 액체방울 토출 헤드를 사용하여 액정(3)을 토출하고, 그 후,대향하는 제 2 기판(4)을 접합하는 것이 제안되어 있다(일본국 특개평5-281562호 공보, 일본국 특개평10-221666호 공보, 일본국 특개2001-183674호 공보).

그런데, 상기 공보에 따른 종래의 잉크젯법에서는, 미경화(未硬化)의 밀봉부와 액정이 접촉하기 때문에, 액정 중에 불순물이 혼입(混入)되어, 액정 표시 품질이 저하된다는 문제가 있다.

본 발명은 상기 문제를 감안하여, 표시 품질이 높은 전기 광학 장치의 제조 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.

도 1은 제 1 실시예에 따른 전기 광학 장치의 제조 장치의 개략도.

도 2는 제 1 실시예에 따른 전기 광학 장치의 제조 공정의 개략도.

도 3은 다른 실시예에 따른 전기 광학 장치의 개략도.

도 4는 액정 패널의 구성도.

도 5는 제 1 실시예에 따른 박막 형성 장치의 개략도.

도 6은 제 1 실시예에 따른 액체방울 토출 헤드의 개략도.

도 7은 제 1 실시예에 따른 액체방울 토출 헤드의 개략도.

도 8은 퍼스널 컴퓨터의 사시도.

도 9는 휴대 전화의 사시도.

도 10은 액정 패널의 개략도.

도 11은 액정 잉크젯법의 공정 개략도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1 : 제 1 기판

2 : 밀봉부

3 : 액정

4 : 제 2 기판

10 : 박막 형성 장치

11 : 도포액

12 : 액체방울 토출 헤드

13 : 액체방울 토출 수단

14 : 이동 수단

15 : 제어 수단

50 : 뱅크부

51 : 뱅크 형성 수단

52 : 액체방울 토출 수단

53 : 밀봉부 형성 수단

54 : 진공 분위기

55 : 가압 수단

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 장치는, 제 1 기판의 표면에 액정 영역을 획성(劃成)하는 뱅크부를 형성하는 뱅크(bank) 형성 수단과, 상기 뱅크부의 외주(外周) 측에 위치하는 동시에, 제 1 기판에 대향하는 제 2 기판을 밀봉하는 밀봉부를 형성하는 밀봉부 형성 수단과, 뱅크부의 내측에 소정량의 액정을 적하(滴下)하는 액체방울 토출 수단과, 상기 제 1 기판에 형성된 밀봉부에 제 2 기판을 중첩시켜 가압하는 가압 수단을 갖는 것을 특징으로 한다. 이것에 의해, 뱅크부를 형성한 액정 영역과 밀봉부를 격리하도록 하고 있기 때문에, 액정에는 밀봉부로부터의 불순물 등의 혼입이 없어져, 액정 표시 품질이 저하되는 것이 해소된다. 또한, 상기 밀봉부는 뱅크부보다도 높이를 높게 하도록 하여, 밀착성을 향상시키도록 할 수도 있다.

상기 뱅크부와 밀봉부가 인접하고 있음으로써, 소형화를 도모할 수 있고, 액정 표시 영역이 감소하지 않는다. 또한, 상기 뱅크부와 밀봉부를 동일한 재료로 하도록 할 수도 있다. 또한, 뱅크부 형성 후에 발액화하여, 습윤성(wettability)을 나쁘게 하도록 할 수도 있다.

상기 밀봉재가 갭 유지 입자를 함유하는 접착제로 이루어짐으로써 기판 간격을 일정하게 유지할 수 있어, 기판 사이의 갭 불균일에 의한 액정 패널의 표시 품질 저하를 방지할 수 있다.

상기 밀봉재의 설치 후, 기판 위에 갭 유지 입자를 산포하여 이루어짐으로써, 기판 간격을 균일하게 유지할 수 있어, 기판 사이의 갭 불균일에 의한 액정 패널의 표시 품질 저하를 방지할 수 있다.

상기 도포액에 갭 유지 입자를 분산하여 이루어짐으로써, 갭 유지 입자를 산포하는 공정을 생략할 수 있는 동시에, 기판 간격을 일정하게 유지할 수 있어, 기판 사이의 갭 불균일에 의한 액정 패널의 표시 품질 저하를 방지할 수 있다.

상기 밀봉재를 열경화형 접착제 또는 광경화형 접착제로 함으로써, 가열 또는 광 조사 등의 용이한 수단에 의해 높은 밀봉 강도를 확보하는 것이 가능해진다.

본 발명의 전기 광학 장치는, 제 1 액정 표시 요소를 설치한 제 1 기판의 표면에 액정 영역을 획성하는 뱅크부의 외주 측에, 제 1 기판에 대향하는 제 2 액정 표시 요소를 설치한 제 2 기판을 밀봉하는 밀봉부를 배치시키고, 상기 제 2 기판을 접합하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 이것에 의해, 뱅크부를 형성한 액정 영역과 밀봉부가 접촉하지 않기 때문에, 액정에는 밀봉부로부터의 불순물 등의 혼입이 없어져, 액정 표시 품질이 저하되는 것이 해소된다.

상기 뱅크부와 밀봉부가 인접하고 있음으로써, 전기 광학 장치의 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 상기 뱅크부와 밀봉부를 동일한 재료로 하도록 할 수도 있다. 또한, 뱅크부 형성 후에 발액화 처리하여, 습윤성을 나쁘게 하도록 할 수도 있다.

상기 뱅크부가 발액성의 재료로 이루어지도록 하여, 습윤성을 나쁘게 하도록 할 수도 있다.

상기 전기 광학 장치의 제조 장치를 사용하여 품질이 향상된 전기 광학 장치를 제조할 수 있다.

상기 전기 광학 장치의 제조 장치를 사용하여 제조되어 이루어지는 품질이 향상된 전기 광학 장치를 구비하는 전자 기기를 얻을 수 있다.

이하, 본 발명의 내용을 발명의 실시예에 의해 상세하게 설명하지만, 본 발명이 이것에 한정되지는 않는다.

도 1은 본 실시예에 따른 전기 광학 장치의 제조 장치의 개략도이다. 도 2는 제조 공정의 개략도이다. 도 3은 다른 전기 광학 장치의 개략도이다. 도 4는 액정 패널의 구성도이다. 도 5는 액정을 도포하는 박막 형성 장치의 개략도이다. 도 6 및 도 7은 액체방울 토출 헤드의 개략도이다. 도 8은 퍼스널 컴퓨터의 사시도이다. 도 9는 휴대 전화의 사시도이다.

[제 1 실시예]

우선, 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 전기 광학 장치인 액정 표시 패널의 구성에 대해서 설명한다. 본 실시예에 따른 액정 표시 패널(100)은 대향 배치된제 1 기판(1)과 제 2 기판(4)을 갖는 것이며, 제 1 기판(1) 및 제 2 기판(4)의 내측 면에는 각각 액정 표시 요소(106, 107)가 형성되어 있다.

구체적으로는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제 1 기판(1)에는 반사막(알루미늄, 은 등)(101), 컬러 필터(CF)(102), 오버코트(OVC)층(103), 투명 전극(104) 및 배향막(105)이 차례로 형성되어, 제 1 기판 측의 액정 표시 요소(106)로 하고 있다.

한쪽의 대향하는 제 2 기판(4)에는 투명 전극(104) 및 배향막(105)이 형성되어 있다. 투명 전극(104)은 ITO(Indium Tin Oxide) 그 이외의 투명 전극 재료에 의해 형성되고, 소정의 패턴이 가공되어, 제 2 기판 측의 액정 표시 요소(106)로 하고 있다. 배향막(105)은, 예를 들어, 폴리이미드(PI) 등의 막이 형성되고, 배향 처리(러빙 처리)가 실행되어 있다.

이렇게 하여 액정 표시 요소가 각각 형성된 제 1 기판(1)과 제 2 기판(4)은, 양 기판 사이의 내측 주위에 갭 유지 입자(110)를 분산한 밀봉부(2)가 대략 사각형 형상으로 설치되고, 스페이서인 갭 유지 입자(111)에 의해 소정의 갭 이른바 셀 갭으로 봉착(封着)되어 있다. 그리고, 이 밀봉부(2)에 의해, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(4) 사이에 액정 영역이 획성되어 있다.

이하, 본 실시예에 따른 전기 광학 장치의 제조 장치에 대해서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.

본 실시예에 따른 전기 광학 장치의 제조 장치는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 제 1 기판(1)의 표면에 액정 영역을 획성하는 뱅크부(50)를 형성하는 뱅크 형성 수단(51)과, 뱅크부(50)의 내측에 소정량의 액정(3)을 액체방울 토출하는 액체방울 토출 수단(52)과, 상기 뱅크부(50)의 외주 측에 위치하는 동시에, 뱅크부(50)보다도 높이가 높고, 제 1 기판(1)에 대향하는 제 2 기판(4)을 밀봉하는 밀봉부(2)를 형성하는 밀봉부 형성 수단(53)과, 상기 제 1 기판(1)에 형성된 밀봉부(2)에 제 2 기판(4)을 중첩시키고, 진공 분위기(54) 중에서 가압하는 가압 수단(55)을 갖는 것이다.

상기 뱅크부(50)는 액정과의 발액성이 높은 것이 바람직하며, 예를 들어, 불소계 가스 플라즈마 처리 수단 등의 발액화 수단에 의해, 액정과의 습윤성이 나빠지도록 하고 있다. 또한, 불소계 수지를 사용하도록 할 수도 있다.

여기서, 상기 불소계 가스 플라즈마 처리 수단에 의한 표면 처리로서는, 예를 들어, 도입 가스에 불소 또는 불소 화합물을 함유하는 가스를 사용하여, 불소 화합물 및 산소를 함유하는 감압(減壓) 분위기 하 또는 대기압 분위기 하에서 플라즈마 조사를 행하는 감압 플라즈마 처리나 대기압 플라즈마 처리를 들 수 있다. 불소 또는 불소 화합물을 함유하는 가스로서는, CF₄, SF₆, CHF₃등을 들 수 있다.

상기 뱅크부(50)는, 예를 들어, 디스펜서(dispenser), 스크린 인쇄, 잉크젯 인쇄 등의 방법에 의해 형성할 수 있다. 또한, 뱅크부 형성 후, 예를 들어, 가열 처리 등에 의해 상기 뱅크부를 고화(固化)시키도록 할 수도 있다.

이와 같이, 뱅크부(50)를 형성하고 있기 때문에, 액정(3)을 도포하여도, 종래와 같은 밀봉재인 밀봉부(2)와 접촉하지 않고, 상기 밀봉부로부터의 불순물 등이혼입된다는 영향이 없어, 액정 표시 품질의 향상을 도모할 수 있다.

다음으로, 본 실시예의 액정을 도포하는 박막 형성 장치(10)의 일례를 도 5 내지 도 7에 나타낸다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 액정 표시 장치에서 그 기판 위에 형성되는 박막(액정)을 형성하기 위해 이용되는 것이며, 본 실시예에서는, 액정 표시 요소(106)가 형성된 제 1 기판(1)의 표면 측에 프레임 형상으로 형성된 밀봉부(2)를 형성한 내부에 액정(3)을 토출하는 것이다. 그 후, 대향하는 액정 표시 요소(107)가 형성된 제 2 기판(4)을 접합하여, 도 4에 나타낸 바와 같은 액정 표시 장치를 형성하는 것이다.

여기서, 밀봉부를 형성하는 밀봉재로서는 시판(市販)의 접착제를 대용할 수 있지만, 기판 사이의 두께를 유지하고, 액정의 양을 규정하기 위해 갭 유지 입자를 분산한 접착제를 사용하는 것이 적합하다.

또한, 밀봉부를 형성한 후, 상기 기판 위에 갭 유지 입자를 산포함으로써, 기판 간격을 균일하게 유지하도록 할 수도 있다.

또한, 갭 유지 입자를 분산한 액정을 액체방울 토출 장치에 의해 토출함으로써, 갭 유지 입자를 산포하는 공정을 생략하도록 할 수도 있다.

상기 밀봉재로서는, 열경화형 접착제나 광경화형 접착제를 사용할 수 있고, 갭 유지 입자로서는, 실리카 입자, 폴리스티렌 입자 등의 플라스틱 입자, 실리카 입자의 둘레에 열가소성 수지를 코팅한 입자 등을 사용할 수 있다. 그리고, 기판 위에 형성된 프레임 형상의 밀봉부에 의해 둘러싸인 부분에 소정량의 액정을 액체방울 토출 노즐에 의해 평면 형상으로 도포한다.

이렇게 하여 얻은 기판과 다른쪽 기판을 접합한 후, 접착제를 경화시킴으로써 액정 표시 소자를 얻을 수 있다. 접합하는 조건으로서는, 진공 하에서 행하는 것이 더 적합하다.

본 실시예에 따른 박막 형성 장치(10)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 액정 표시 요소가 형성된 제 1 기판(1)의 표면에, 예를 들어, 액정 등의 도포액(11)을 토출하는 액체방울 토출 헤드(12)를 갖는 액체방울 토출 수단(13)과, 상기 액체방울 토출 헤드(12)와 기판(1)의 위치를 상대적으로 이동시키는 이동 수단(14)과, 액체방울 토출 수단(13) 및 이동 수단(14)을 제어하는 제어 수단(15)을 구비하여 이루어지는 것이다.

상기 이동 수단(14)은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 기판 스테이지(16) 위에 탑재된 기판(1)의 위쪽에, 액체방울 토출 헤드(12)를 아래쪽으로 향하여 지지하는 동시에 이동 가능한 스테이지(18)에 의해 X축 방향으로 이동 가능한 헤드 지지부(17)와, 위쪽의 액체방울 토출 헤드(12)에 대하여 기판 스테이지(16)와 함께 기판을 Y축 방향으로 이동시키는 스테이지 구동부(19)로 구성되어 있다.

상기 헤드 지지부(17)는, 액체방울 토출 헤드(12)를 기판(1)에 대하여 그 연직축(鉛直軸) 방향(Z축)으로 임의의 이동 속도로 이동 가능하고, 또한, 위치 결정 가능한, 예를 들어, 리니어 모터 등의 기구와, 연직축을 중심으로 액체방울 토출 헤드(12)를 회전시킴으로써 아래쪽의 기판(1)에 대하여 임의의 각도로 설정 가능한 스테핑(stepping) 모터 등의 기구를 구비한 것이다.

상기 스테이지 구동부(19)는, 연직축을 중심으로 기판 스테이지(16)를 회전시켜 위쪽의 액체방울 토출 헤드(12)에 대하여 임의의 각도로 설정 가능한 θ축 스테이지(20)와, 기판 스테이지(16)를 액체방울 토출 헤드(12)에 대하여 수평 방향(Y방향)으로 이동시키고, 또한, 위치 결정하는 스테이지(21)를 구비하고 있다. 또한, θ축 스테이지(20)는 스테핑 모터 등으로 구성되고, 스테이지(21)는 리니어 모터 등으로 구성되어 있다.

상기 토출 수단(13)은, 액체방울 토출 헤드(12)와 이것에 튜브(22)를 통하여 접속된 탱크(23)를 구비하고 있다. 탱크(23)는 도포액(11)을 저장하는 것인, 튜브(22)를 통하여 이 도포액(11)을 액체방울 토출 헤드(12)에 공급하는 것으로 되어 있다. 이러한 구성에 의해 액체방울 토출 수단(13)은, 탱크(23)에 저장된 도포액(11)을 액체방울 토출 헤드(12)로부터 토출하고, 이것을 기판(1) 위에 도포하도록 하고 있다. 상기 액체방울 토출 헤드(12)는, 예를 들어, 피에조 소자에 의해 액실(液室)을 압축시키고, 그 압력에 의해 액체방울(액상(液狀) 재료)을 토출시키는 것이며, 1열 또는 복수 열로 배열된 복수의 노즐(노즐 구멍)을 갖고 있다.

이 액체방울 토출 헤드(12)의 구성의 일례에 대해서 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다. 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 액체방울 토출 헤드(12)는, 예를 들어, 스테인리스제의 노즐 플레이트(31)와 진동판(32)을 구비하고, 구획 부재(리저버(reservoir) 플레이트)(33)를 통하여 양자를 접합한 것이다. 노즐 플레이트(31)와 진동판(32) 사이에는, 구획 부재에 의해 복수의 공간(34)과 액체 풀(pool)(35)이 형성되어 있다. 각 공간(34)과 액체 풀(35)의 내부는 액상 재료(도시 생략)로 충전되어 있고, 각 공간(34)과 액체 풀(35)은 공급구(36)를 통하여연통(連通)한 것으로 되어 있다. 또한, 노즐 플레이트(31)에는, 각 공간(34)으로부터 액상 재료(11)를 분사하기 위한 미소(微小) 구멍의 노즐(37)이 형성되어 있다. 한편, 진동판(32)에는, 액체 풀(35)에 도포액(11)을 공급하기 위한 구멍(37)이 형성되어 있다.

진동판(32)의 공간에 대향하는 면과 반대쪽의 면 위에는, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 압전 소자(피에조 소자)(38)가 접합되어 있다. 이 압전 소자(38)는, 도 7에 나타낸 바와 같이 한쌍의 전극(39, 39) 사이에 위치하고, 통전(通電)하면 이것이 외측으로 돌출되듯이 요곡(撓曲)하도록 되어 있다. 그리고, 이러한 구성에 의거하여 압전 소자(38)가 접합되어 있는 진동판(32)은, 압전 소자(38)와 일체로 되어 동시에 외측으로 요곡하도록 되어 있고, 이것에 의해 공간(34)의 내부 용적이 증대하게 되어 있다. 따라서, 공간(34) 내에 증대한 용적분에 상당하는 액상 재료가 액체 풀(35)로부터 공급구(36)를 통하여 유입(流入)된다. 또한, 이러한 상태로부터 압전 소자(38)로의 통전을 해제하면, 압전 소자(38)와 진동판(32)은 모두 원래의 형상으로 되돌아간다. 따라서, 공간(34)도 원래의 용적으로 되돌아가기 때문에, 공간 내부의 도포액(11)의 압력이 상승하여, 노즐(37)로부터 기판(1)을 향하여 액상 재료의 분무(噴霧) 상태 액체방울이 토출된다.

또한, 액체방울 토출 헤드(12)의 방식으로서는, 상술한 바와 같은 압전 소자를 사용한 피에조젯 타입 이외의 방식일 수도 있고, 초음파 모터 및 리니어 모터 등에 의해 진동을 부여하거나, 또는 탱크 내에 압력을 인가함으로써, 상기 미소 구멍으로부터 도포액(11)인 액정을 사출(射出)시키도록 할 수도 있다. 여기서, 탱크내의 액정은 미리 탈포(脫泡) 처리되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 액체방울 토출 헤드(12)는, 탱크 내의 액정 내지는 액정과 저점성(低粘性) 휘발성 액체의 혼합물을 가열하여, 상기 물질의 팽창 및 발포(發泡)에 의해, 미소 구멍으로부터 액정을 사출시키는 이른바 버블젯(bubble-jet)(R) 방식으로서 구성되어 있을 수도 있다.

상기 제어 수단(15)은 장치 전체의 제어를 행하는 마이크로 프로세서 등의 CPU나, 각종 신호의 입출력 기능을 갖는 컴퓨터 등에 의해 구성된 것이며, 도 5에 나타낸 바와 같이, 액체방울 토출 수단(13) 및 이동 수단(14)에 각각 전기적으로 접속됨로써, 액체방울 토출 수단(13)에 의한 토출 동작 및 이동 수단(14)에 의한 이동 동작의 적어도 한쪽, 본 실시예에서는 양쪽을 제어하는 것으로 되어 있다.

그리고, 이러한 구성에 의해, 액상 토출액의 토출 조건을 조정하고, 형성하는 박막(액정)의 도포량을 제어하도록 하고 있다.

즉, 제어 수단(15)은, 상기 도포량을 제어하는 기능으로서, 기판에 대한 액상 토출액의 토출 간격을 조정하는 제어 기능과, 1도트당 액상 토출액의 토출량을 조정하는 제어 기능과, 노즐의 배열 방향과 이동 기구에 의한 이동 방향의 각도(θ)를 설정하는 제어 기능과, 기판 위를 복수의 영역으로 나누어 각 영역에 토출 조건을 설정하는 제어 기능을 구비하고 있다.

또한, 제어 수단(15)은, 상기 토출 간격을 조정하는 제어 기구로서, 기판(1)과 액체방울 토출 헤드(12)의 상대적인 이동 속도를 조정하여 토출 간격을 조정하는 제어 기능과, 이동 수단에서의 토출의 시간 간격을 조정하여 토출 간격을 조정하는 제어 기능과, 복수의 노즐 중 동시에 도포액을 토출시키는 노즐을 임의로 설정하여 토출 간격을 조정하는 기능을 구비하고 있다.

또한, 도포액(11)인 액정의 온도를 상승시켜 유동성을 확보하기 위해, 필요에 따라 탱크, 튜브, 액체방울 토출 헤드를 가온(加溫)하는 가온 수단을 설치하도록 할 수도 있다. 도포액(11)의 점도(粘度)는 잉크젯 방법의 경우에는, 바람직하게는 20mPa·s 이하로 하는 것이 좋고, 액정의 경우에는 약 60℃ 정도로 가온함으로써 12mPa·s 정도로 되도록 하고 있다. 노즐 구멍의 구멍 직경은, 예를 들어, 27∼28㎛ 정도로 하고 있다.

본 실시예의 액정 표시 장치의 제조는, 액정 표시 요소(106)를 형성한 제 1 기판(1)에, 예를 들어, 디스펜서 등에 의해 열경화성의 뱅크부(50)를 형성한다. 이 때, 기판 사이의 갭을 균일하게 유지하기 위해, 뱅크부(50) 중에 갭 유지 입자를 함유시키도록 할 수도 있다. 그 후, 기판을 소성로(燒成爐)에 의해 120℃에서 10분간 가열함으로써, 뱅크부(50)를 경화시킨다.

그 후, 박막 형성 장치(10)를 사용하여, 액정을 뱅크부(50) 내의 액정 영역 내에 도포한다. 이 때, 기판 사이의 갭을 균일하게 유지하기 위해, 액정 중에 갭 유지 입자를 함유시키도록 할 수도 있다. 이 때, 액정의 도포량은 액정층의 도포 후의 상단면과 뱅크부 상단면이 대략 동일한 높이로 되도록 하는 것이 바람직하다.

다음으로, 뱅크부(50)의 외측에 밀봉부(2)를, 예를 들어, 디스펜서 등에 의해 형성한다. 이 때, 기판 사이의 갭을 균일하게 유지하기 위해, 밀봉부(2)에 갭 유지 입자를 함유시키도록 할 수도 있다.

또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 밀봉부(2)는 뱅크부(50)와 밀착하도록 인접하여 형성시키는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 기판의 액정 표시 면적을 충분히 확보할 수 있다.

또한, 밀봉부(2)는 경화 후의 뱅크부(50)보다 막 두께를 두껍게 형성하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 밀봉성을 향상시키고 있다.

그 후, 대향하는 제 2 액정 표시 요소(107)가 형성된 제 2 기판(4)을 위치 결정 조정하면서 접합하고, 진공 중에서 가압하여 접합을 행하며, 가열로에 의해 120℃에서 10분간 가열하고, 양 기판을 접착하여, 전기 광학 장치를 얻는다.

본 실시예에서는, 도포액(11)을 액정으로서 설명했지만, 본 발명에서는 액정에 한정되는 것이 아니라, 예를 들어, 유기 EL용의 잉크 재료(정공 재료, 발광 재료)를 사용한 경우에도 적용할 수 있다.

[제 2 실시예]

다음으로, 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 적용할 수 있는 전자 기기의 구체적인 예에 대해서 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다.

우선, 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 가반형(可搬型) 퍼스널 컴퓨터(이른바 노트북형 퍼스널 컴퓨터)의 표시부에 적용한 예에 대해서 설명한다. 도 8은 이 퍼스널 컴퓨터의 구성을 나타내는 사시도이다. 이 도면에 나타낸 바와 같이, 퍼스널 컴퓨터(91)는 키보드(911)를 구비한 본체부(912)와, 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 적용한 표시부(913)를 구비하고 있다.

이어서, 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 휴대 전화기의 표시부에 적용한예에 대해서 설명한다. 도 9는 이 휴대 전화기의 구성을 나타내는 사시도이다.

이 도면에 나타낸 바와 같이, 휴대 전화기(92)는 복수의 조작 버튼(921) 이외에, 수화구(922) 및 송화구(923)와 함께, 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 적용한 표시부(924)를 구비한다.

또한, 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 적용할 수 있는 전자 기기로서는, 도 8에 나타낸 퍼스널 컴퓨터나 도 9에 나타낸 휴대 전화기 이외에도, 액정 텔레비전, 뷰파인더(view finder)형 및 모니터 직시형의 비디오 테이프 리코더, 카 네비게이션(car navigation) 장치, 소형 무선 호출기(pager), 전자수첩, 전자계산기, 워드프로세서, 워크스테이션, 화상 전화, POS 단말, 디지털 스틸 카메라 등을 들 수 있지만, 특별히 한정되지는 않는다.

또한, 상술한 실시예에서는, 전기 광학 장치로서, 액정 장치에 적용한 경우에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 일렉트로루미네선스 장치, 특히 유기 일렉트로루미네선스 장치 및 무기 일렉트로루미네선스 장치 등이나, 플라즈마 디스플레이 장치, FED(field emission display) 장치, LED(발광 다이오드) 표시 장치, 전기 영동 표시 장치, 박형(薄型)의 브라운관, 액정 셔터 등을 이용한 소형 텔레비전, 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD)를 이용한 장치 등의 각종 전기 광학 장치에 적용할 수 있다.

본 발명에 의하면, 표시 품질이 높은 전기 광학 장치의 제조 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

Claims

제 1 기판의 표면에 액정 영역을 획성(劃成)하는 뱅크부를 형성하는 뱅크(bank) 형성 수단과,

상기 뱅크부의 외주(外周) 측에 위치하는 동시에, 제 1 기판에 대향하는 제 2 기판을 밀봉하는 밀봉부를 형성하는 밀봉부 형성 수단과,

뱅크부의 내측에 소정량의 액정을 적하(滴下)하는 액체방울 토출 수단과,

상기 제 1 기판에 형성된 밀봉부에 제 2 기판을 중첩시켜 가압하는 가압 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 밀봉부 형성 수단은 상기 뱅크부보다도 높게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 뱅크부와 밀봉부가 인접하고 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 뱅크부가 발액화(撥液化)되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 뱅크부와 밀봉부가 동일한 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 밀봉부가 갭(gap) 유지 입자를 함유하는 접착제로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 밀봉부의 설치 후, 기판 위에 갭 유지 입자를 산포(散布)하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 액정에 갭 유지 입자를 분산하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 밀봉부가 열경화형(熱硬化型) 접착제 또는 광경화형(光硬化型) 접착제인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 장치.
제 1 액정 표시 요소를 설치한 제 1 기판의 표면에 액정 영역을 획성하는 뱅크부의 외주 측에, 제 1 기판에 대향하는 제 2 액정 표시 요소를 설치한 제 2 기판을 밀봉하는 밀봉부를 배치시키고, 상기 제 2 기판을 접합하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 10 항에 있어서,

상기 뱅크부와 밀봉부가 인접하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,

상기 뱅크부가 발액성의 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 10 항에 있어서,

상기 뱅크부와 밀봉부가 동일한 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,

상기 뱅크부가 발액성 처리되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치의 제조 장치를 사용하여 제조되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치의 제조 장치를 사용하여 제조되어 이루어지는 전기 광학 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 기기.