JP2010036551A - スクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法及び液晶パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】連続のスクリーン印刷処理によるシール材の粘度の上昇を防ぐことによって、シール印刷不良を防ぐこと。
【解決手段】本発明の一態様に係るスクリーン印刷装置は、スクリーン版６に対して相対的に走査可能に設けられ、スクリーン版６上のペースト７をスクリーン版６に設けられた開口パターン８を介してスクリーン版６の下部に配置された基板に塗布するスキージ９と、スキージ９に設けられ、ペースト７を構成する溶剤を供給する供給機構とを備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、液晶パネルを製造する際のシールパターンを形成するスクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法及び液晶パネルの製造方法に関するものである。

シールパターンによって囲まれたセル構造をもった表示装置として、一般的な液晶パネルがある。液晶パネルは、主にガラス基板を元に作成され、液晶を駆動するスイッチング素子を載せたスイッチング素子基板と、カラーフィルタの役割を果たすカラーフィルタ基板とを備える。液晶パネルの製造プロセスにおけるパネル組み立て工程は、スイッチング素子基板、カラーフィルタ基板の其々の基板表面に配向膜を塗布し、ラビング処理する工程と、間隔をあけて貼り合わせる工程と、所定のパネルサイズに切断する工程と、その間隔内に液晶を注入する工程がある。

基板を貼り合せる為に、スイッチング素子基板或いはカラーフィルタ基板上に、パネルの表示部分を囲むような形状にシールパターンを形成する。この方法としては、スクリーン版に形成されたシールパターンの開口部からシール材を押し出すスクリーン印刷方式とノズル走査によってパターンを描くシールディスペンス方式の二つが一般的である。両者のうちスクリーン印刷方式は、基板あたりのパネル数が多い場合においても生産性に優れるなどの点から広く採用されている。

この様なスクリーン印刷方式を用いたシールパターン形成工程においては、製品流動とともにシール材の粘度が上昇する。シール材の粘度が一定の値以上になると、シール材中に気泡が入り込むことがある。このため、シール幅が規格値より細くなったり、掠れてシール材が塗れず、シール断線を引き起こす場合がある。よって、一定の時間ごとにシール材の混合処理（周辺部にたまっている材料と混ぜ合わせる）やシール材そのものの交換作業が必要である。

また、その対策として、版の周辺に溶剤を溜めておくための溝を形成し、揮発分の溶剤を補充するという方法が特許文献１に開示されている。
特開平１１−３２０８１３号公報

しかしながら、特許文献１では、版の厚み程度の溝しか形成することができず、補充できる溶剤量が限られる。このため、スキージ走査の連続回数に制限があり、生産性は必ずしも高くない。また、周辺からの溶剤の補充ではペースト内に均一に溶剤が混ざらないため、シール線幅が安定しない場合がある。

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、連続のスクリーン印刷処理による、シール材の粘度の上昇を防ぐことによって、シール印刷不良による表示不良を防ぎ、安定的に液晶パネルを製造することのできるスクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法及び液晶パネルの製造方法を得ることである。

本発明の一態様に係るスクリーン印刷装置は、スクリーン版に対して相対的に走査可能に設けられ、前記スクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板に塗布するスキージと、前記スキージに設けられ、前記ペーストを構成する溶剤を供給する供給機構とを備えるものである。

本発明によれば、連続のスクリーン印刷処理による、シール材の粘度の上昇を防ぐことによって、シール印刷不良による表示不良を防ぎ、安定的に液晶パネルを製造することのできるスクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法及び液晶パネルの製造方法を提供することができる。

実施の形態１．
本実施の形態１に係るスクリーン印刷装置の構成について図１、図２を用いて説明する。図１は、スクリーン印刷装置のステージ部の構成を示す斜視図である。図２は、スクリーン装置の印刷処理部の構成を示す斜視図である。なお、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下の図においても同様とする。

図１に示される様に、スクリーン印刷装置は、ステージ２、アライメントピン３ａ、３ｂ、掘り込み部４、搬送ローラ部５ａ、５ｂ、５ｃを備えている。ステージ２は、基板１を保持する。ステージ２上面には、基板１を収容する掘り込み部４が設けられている。掘り込み部４の周囲には、アライメントピン３ａ、３ｂが設けられている。アライメントピン３ａ、３ｂは、基板１を位置決めするために設けられている。

搬送ローラ部５ａ、５ｂ、５ｃは、基板１のステージ２上への搬入及び搬出を行う。なお、ここでは図示していないが、掘り込み部４内には、処理後の基板１を掘り込み部４より搬出する搬出ローラが設けられている。この搬出ローラとしては、搬送ローラ部５ａと同様の構造のものを用いることができる。

次に、このスクリーン印刷装置の印刷処理部について、図２を用いて説明する。印刷処理部は、スクリーン版６、スキージ９等を備える。スクリーン版６は、ステージ２上に保持された基板１の上に配置される。スクリーン版６には、開口パターン８が設けられている。スキージ９は、スクリーン版６の上部において、スクリーン版６に対して相対的に走査可能に設けられている。スキージ９をスクリーン版６に対して相対的に走査させることにより、スクリーン版６上のペースト７が開口パターン８からスクリーン版６の下部に配置された基板１の主面上に転写塗布される。

本実施の形態においては、スキージ９はゴム等からなる角柱状の部材であり、長手方向がスクリーン版６に対して略平行になるように配置されている。すなわち、スキージ９の長手方向は、その移動方向に対して略垂直となる。ここでは、スキージ９の長手方向の両端面をスキージ９の側面と称する。また、スキージ９のスクリーン版６側においてペースト７と接触する面を接触面、接触しない面を底面、接触面に対向する面を対向面、底面に対向する面を上面とする。

スキージ９の側面には、溶剤供給ライン１０が接続されている。溶剤供給ライン１０は、ペースト７を構成する溶剤成分を、スキージ９を介してペースト７に供給する配管である。さらに、溶剤供給ライン１０には、溶剤を供給する溶剤供給システム２０が接続されている。印刷時には、図中の白矢印で示したようにステージ２が上昇し、スクリーン版６と基板１とが接触する間際まで近接される。この状態で、スキージ９はスクリーン版６上を走査する。スキージ９の走査方向は、例えば、図中の黒矢印で示したように、基板１の長手方向とすることができる。

続いて、本実施の形態に係るスクリーン印刷装置のスキージ９について、図３及び図４を用いて詳細に説明する。図３及び図４は、スキージ９近傍を拡大した図である。図３は、スキージ９をその移動方向に対して垂直な方向から見た側面図である。図４は、スキージ９の移動方向の下流側から上流側方向を見た図である。

図３、図４に示すように、スキージ９は、吐出穴１１、溶剤注入用穴１２を備える。スキージ９の接触面において、走査時にペースト７と接触する位置に、溶剤を供給する微細な吐出穴１１が設けられている。吐出穴１１は、スキージ９の長手方向に沿って、複数設けられている。また、スキージ９には、溶剤注入用穴１２が形成されている。溶剤注入用穴１２は、スキージ９の両側面間を貫通するように形成されている。このため、スキージ９の側面（ペースト７との非接触面）には、開口部が形成される。

溶剤注入用穴１２は、吐出穴１１とスキージ９の内部において繋がっている。溶剤注入用穴１２には、スキージ９の両側面からそれぞれ溶剤供給ライン１０が接続されている。溶剤注入用穴１２は、溶剤を吐出穴１１まで導く導液経路となっている。

次に、このスキージ９を用いたスクリーン印刷方法について説明する。スクリーン版６とスキージ９が接触状態で、かつスキージ９が移動している時に、溶剤供給システム２０より溶剤が所定の一定圧にて供給される。供給された溶剤は、溶剤供給ライン１０を介して、スキージ９の両側面の溶剤注入用穴１２に注入される。この溶剤を供給する所定の圧力は、それぞれのペースト７について粘度を一定に保てるように調整して決定する。

これにより、スキージ９から溶剤を補給し、移動するスキージ９によりペースト７を撹拌することができるため、均一にペースト７内に溶剤を混合することができる。このため、長時間あるいは多回数連続で安定したスキージ走査が可能となり生産性が大幅に向上する。

なお、上述の例では、印刷中絶えず一定圧で溶剤の供給を続ける方法を用いたが、ペースト７の乾燥の速度や粘度変化の度合いが緩やかである場合には、所定の基板枚数処理毎に、あるいは、所定の印刷時間の経過毎に所定量の溶剤を供給してもよい。このような方式は、図５のような制御部を設けること実現することができる。図５は、このような方式のスクリーン印刷装置の制御部３０の構成例を示す図である。

図５に示すように、制御部３０は、例えば、測定機構３１、判断機構３２を備える。測定機構３１は、印刷開始からの時間あるいはスキージ９の走査回数を測定する。判断機構３２は、測定機構３１により測定された印刷開始からの時間又はスキージ９の走査回数の測定結果が所定の値を超えたか否かを判断し、溶剤供給システム２０に対して供給指令を出す。溶剤供給システム２０は、判断機構３２から所定の供給指令を受けたときのみ所定の条件で溶剤を供給する。

また、供給指令を受けたときの溶剤の供給条件は、ペースト７の乾燥速度に応じて、溶剤吐出圧、溶剤吐出時間、溶剤吐出頻度を調整するとよい。上述したように一定圧で絶えず溶剤の供給を行う方法の場合には、１基板処理あたりの溶剤の蒸発量は非常に微量であるため、微量な溶剤の供給を制御する必要がある。一方、所定の基板枚数処理あるいは印刷時間経過に応じて溶剤を供給する方法を用いた場合、供給時にはある程度の量の溶剤を供給できるので比較的溶剤の供給量の制御が行い易い。

さらに、所定の基板枚数処理あるいは印刷時間経過に応じて溶剤を供給する方法を用いる場合には、溶剤の供給時にダミー基板をスクリーン版６の下に配置し、複数回スキージ９により走査を行うことにより、追加される溶剤とペースト７の撹拌を行ってもよい。これにより、追加される用材とペースト７とを均一に混合することができ、より安定した処理を続けることができる。

以上説明した実施の形態１に係る印刷処理方法によって印刷を行うことにより、スキージ９を介してペースト７に溶剤を供給することができる。また、溶剤の供給と同時にスキージ９によりペースト７と溶剤との混合が行われ、追加した溶剤とペースト７とを均一化することができる。これにより、ペースト７の粘度を、長時間あるいは多数の基板処理数にわたって、一定値に保つことができる。このため、ペースト７の交換作業などにより処理能力を落とすことなく、連続して安定した印刷処理を続けることができる。

なお、実施の形態１では、スキージ９の側面から溶剤を供給する構成について説明したが、このような構成に限られるものではない。スキージ９に溶剤を供給する供給機構を備えていれば、同様の効果が得られる。例えば、スキージ９の上部などに溶剤を供給するノズルなどを配置して、スキージ９の表面に向けて溶剤を吹き付け、スキージ９の表面を伝うようにして溶剤をペースト７に供給する構成を用いてもよい。その他、スキージ９のゴム板の側面から供給するのではなく、スキージ９のゴム板が取り付けられる金属保持部内にも導液経路を設けて当該金属保持部に溶剤供給ラインを接続するようにしてもよい。これらの変形例においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

実施の形態２．
本発明の実施の形態２に係る上述したスクリーン印刷装置又は方法を用いて製造される液晶パネルの構成について、図６を用いて説明する。図６は、本実施の形態に係る液晶パネル２００の構成を示す図である。なお、ここでは、一例としてＴＦＴ（Thin Film Transistor）方式の液晶パネルについて説明する。図６に示すように、液晶パネル２００は、スイッチング素子基板２１０、カラーフィルタ基板２２０、液晶２３０を備える。

スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０との間には、シール材２３３が配置されており、両基板はシール材２３３により貼り合わされている。スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０との間は、図示しないスペーサによって維持されている。スイッチング素子基板２１０、カラーフィルタ基板２２０、シール材２３３で形成される空間に液晶２３０が充填されている。

スイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１、配向膜２１２、画素電極２１３、スイッチング素子２１４、絶縁膜２１５、端子２１６、トランスファ電極２１７等を備えている。ガラス基板２１１の一方の面上には、ＴＦＴからなるスイッチング素子２１４及びスイッチング素子２１４に信号を供給するための図示しない配線が形成されている。スイッチング素子２１４及び配線上には、これらを覆うように絶縁膜２１５が形成されている。スイッチング素子２１４には、画素電極２１３が接続されている。スイッチング素子２１４により、画素電極２１３に供給される電圧が制御される。画素電極２１３は、液晶２３０を駆動する電圧を印加する。複数の画素電極２１３が形成されている領域が表示領域となる。

画素電極２１３の上層には、液晶２３０を配向させる配向膜２１２が形成されている。ガラス基板２１１の端部には、端子２１６及びトランスファ電極２１７が形成されている。端子２１６は、スイッチング素子２１４に供給される信号を外部から受けとる。また、トランスファ電極２１７は、端子２１６から入力された信号をカラーフィルタ基板２２０側に形成された共通電極に伝達する。また、ガラス基板２１１の他方の面には偏光板２３１が設けられている。

カラーフィルタ基板２２０は、ガラス基板２２１、配向膜２２２、共通電極２２３、着色層２２４、遮光層２２５等を有している。ガラス基板２２１上には、着色層２２４及び遮光層２２５からなるカラーフィルタが形成されている。遮光層２２５は、着色層２２４間及び表示領域を囲む周辺領域に設けられている。着色層２２４及び遮光層２２５の上には、共通電極２２３が形成されている。共通電極２２３はスイッチング素子基板２１０上に形成された画素電極２１３との間に電界を生じ、液晶２３０を駆動する。共通電極２２３の上には、液晶２３０を配向させる配向膜２２２が形成されている。また、ガラス基板２２１の他方の面には偏光板２３２が設けられている。この偏光板２３２としては、偏光板２３１と同種の素材からなる偏光板が用いられる。

また、トランスファ電極２１７と共通電極２２３は、トランスファ材２３４により電気的に接続されており、端子２１６から入力された信号が共通電極２２３に伝達される。このほかに、液晶表示パネル２００は、制御基板２３５、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）２３６、バックライトユニット（図示せず）を備えている。制御基板２３５は、液晶パネルの駆動信号を生成する。ＦＦＣ２３６は、制御基板２３５を端子２１６に電気的に接続する。また、液晶パネルの反視認側には、光源となるバックライトユニットが設けられている。

液晶パネル２００は、次のように動作する。例えば、制御基板２３５から駆動信号が入力されると、画素電極２１３及び共通電極２２３に駆動電圧が印加される。この印加された駆動電圧に合わせて、液晶２３０の分子の方向が変化する。そして、バックライトユニットの発する光がスイッチング素子基板２１０、液晶２３０及びカラーフィルタ基板２２０を介して外部へ透過或いは遮断されることにより、液晶表示パネル２００に映像などが表示される。

なお、この液晶パネル２００は、一例であり他の構成でも良い。液晶パネル２００の動作モードは、ＴＮ（Twisted Nematic）モードや、ＳＴＮ（Supper Twisted Nematic）モード、強誘電性液晶モードなどでもよい。また、駆動方法は、単純マトリックスやアクティブマトリックスなどでもよい。さらに、カラーフィルタ基板２２０に設けた共通電極２２３をスイッチング素子基板２１０側に設置して、画素電極２１３との間に横方向に液晶２３０に対して電界をかける横電界方式を用いた液晶パネルでも良い。

次に、本実施の形態に係る液晶パネル２００の製造方法について説明する。ここでは、１枚のマザー基板上に複数の液晶セルを形成する場合について説明するが、個々の液晶セルを別々に形成することも可能である。なお、液晶表示装置用基板であるスイッチング素子基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０の製造方法については、一般的な方法を用いるため、簡単に説明する。

スイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に、成膜、フォトリソグラフィー法によるパターニング、エッチングなどのパターン形成工程を繰り返し用いて、スイッチング素子２１４や画素電極２１３、端子２１６、トランスファ電極２１７を形成することにより製造される。また、カラーフィルタ基板２２０は、同様に、ガラス基板２２１の一方の面にＩＴＯ等からなる共通電極２２３や、着色層２２４、遮光層２２５を有するカラーフィルタを形成することにより製造される。

スイッチング素子基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０は、それぞれスイッチング素子基板２１０が多数取り出されるスイッチング素子基板用マザー基板とカラーフィルタ基板２２０が多数取り出されるカラーフィルタ基板用マザー基板により多数の液晶パネル２００が同時形成される。また、一対のマザー基板から多数の液晶パネル２００が効率良く製造できる様に、基板の短辺及び長辺と平行に液晶パネルの面付けが並ぶ様に規則正しく配置されている。

続いて、本実施の形態２に係る液晶表示パネル２００の組み立て工程について図７に示すフローチャートにしたがって説明する。まず、基板洗浄工程において、画素電極２１３が形成されているスイッチング素子基板２１０を洗浄する（Ｓ１）。次に、配向膜材料塗布工程において、当該マザー基板の一方の面に、例えば印刷法により配向膜２１２の材料となるポリイミドからなる有機膜を塗布し、ホットプレートなどにより焼成処理し乾燥させる（Ｓ２）。

その後、配向膜材料の塗布されたマザー基板に対してラビング工程において配向処理を行い、配向膜２１２を形成する（Ｓ３）。また、共通電極２２３が形成されているカラーフィルタ基板２２０が多数取り出されるカラーフィルタ基板用マザー基板についても、Ｓ１からＳ３と同様に、洗浄、有機膜の塗布、及びラビング処理を行うことにより配向膜２２２を形成する。

続いて、シール材塗布工程において、実施の形態１で説明したスクリーン印刷装置によりスイッチング素子基板２１０あるいはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にシール材２３３の塗布処理を行う（Ｓ４）。印刷されるペーストとなるシール材２３３には、例えばエポキシ系接着剤等の熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂を用いる。また、供給する溶剤には、其々の樹脂を構成する溶剤を用いる。

このスクリーン印刷装置を用いることによって、連続して、長時間あるいは多数の基板処理数にわたって、シール塗布を行った場合においても、印刷に用いられるペーストであるシール剤の粘度を一定に保つことができ、ペーストの交換作業などにより処理能力を落とすこと無く連続して安定した印刷処理を続けることができる。

次に、トランスファ材塗布工程において、スイッチング素子基板用マザー基板或いはカラーフィルタ基板用マザー基板の一方の面にトランスファ材の塗布処理を行う（Ｓ５）。そして、スペーサ散布工程において、スイッチング素子基板用マザー基板或いはカラーフィルタ基板用マザー基板の一方の面にスペーサを散布する（Ｓ６）。この工程は、例えば湿式法や乾式法によりスペーサを分散させることにより行われる。なお、スペーサ散布工程は、スイッチング素子基板用マザー基板或いはカラーフィルタ基板用マザー基板の一方の面に予め基板間の距離を決定する突起状の柱スペーサを形成しておくことにより省略することも可能である。

その後、貼り合わせ工程において、スイッチング素子基板用マザー基板とカラーフィルタ基板用マザー基板とを貼り合わせる（Ｓ７）。続いて、シール硬化工程において、スイッチング素子基板用マザー基板とカラーフィルタ基板用マザー基板とを貼り合わせた状態でシール材２３３を完全に硬化させる（Ｓ８）。この工程は、例えばシール材２３３の材質に合わせて熱を加えることや、紫外線を照射することにより行われる。このようにスイッチング素子基板用マザー基板とカラーフィルタ基板用マザー基板とが貼り合わされた液晶パネル用対向基板が形成される。

次に、セル分断工程において、スイッチング素子基板用マザー基板とカラーフィルタ基板用マザー基板とが貼りあわされた液晶パネル用対向基板を個別のセルに分解する（Ｓ９）。そして、液晶注入工程において、液晶注入口から表示材料である液晶を注入する（Ｓ１０）。この工程は、例えば液晶２３０を液晶注入口から真空注入により充填することにより行われる。更に、封止工程において、液晶注入口を封止する（Ｓ１２）。この工程は、例えば、光硬化型樹脂で液晶注入口を封じ、光を照射することにより行われる。以上のようにして液晶セルが製造される。

以上のＳ７〜Ｓ１１の貼り合わせから液晶封止までの工程については、通常の液晶注入口からの液晶注入方法を一例として説明した。しかし、別の液晶注入方法として、所謂、滴下注入方式を用いても構わない。滴下注入方式では、例えば、シール材２３３を注入口の無いパターン形状とし、液晶２３０をスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の上に液滴状態で滴下する。そして、この滴下した液晶２３０を挟む様にスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた後に、シール材２３３を硬化させる。

最後に、偏光板貼付工程において、液晶セルに偏光板２３１、２３２を貼り付け（Ｓ１２）、制御基板実装工程において、制御基板２３５を実装する（Ｓ１３）ことによって、液晶パネル２００が完成する。

以上説明した実施の形態２に係る液晶パネルにおいては、上述の通り、シール材の塗布処置工程において、実施の形態１に係るスキージ９に溶剤を供給する供給機構を備えたスクリーン印刷装置及び方法を用いた。これにより、ペーストの交換作業などにより処理能力を落とすことなく、連続して安定した印刷処理を続けることができる。その結果として、製造される液晶パネルのシール形成工程における歩留の向上を実現することができる。また、シールの掠れなどによる信頼性の低下を抑制し、処理タクトの向上を実現することが可能である。さらに、低コストで信頼性の高い液晶パネルを製造することができる。

実施の形態１に係るスクリーン印刷装置のステージ部の構成を示す斜視図である。 実施の形態１に係るスクリーン印刷装置の印刷処理部の構成を示す斜視図である。 実施の形態１に係るスクリーン印刷装置のスキージの構成を示す図である。 実施の形態１に係るスクリーン印刷装置のスキージの構成を示す図である。 実施の形態１に係るスクリーン印刷装置の制御部の構成例を示す図である。 実施の形態２に係る液晶パネルの構成を示す断面図である。 実施の形態２に係る液晶パネルの製造方法における組み立て工程を示すフローチャートである。

符号の説明

１ 基板
２ ステージ
３ａ、３ｂ アライメントピン
アライメントピン
４ 掘り込み部
５ａ、５ｂ、５ｃ 搬送ローラ
６ スクリーン版
７ ペースト
８ 開口パターン
９ スキージ
１０ 溶剤供給ライン
１１ 吐出穴
１２ 溶剤注入用穴
２０ 溶剤供給システム
３０ 制御部
３１ 測定機構
３２ 判断機構
２００ 液晶パネル
２１０ スイッチング素子基板
２１１ ガラス基板
２１２ 配向膜
２１３ 画素電極
２１４ スイッチング素子
２１５ 絶縁膜
２１６ 端子
２１７ トランスファ電極
２２０ カラーフィルタ基板液晶
２２１ ガラス基板
２２２ 配向膜
２２３ 共通電極
２２４ 着色層
２２５ 遮光層
２３０ 液晶
２３１、２３２ 偏光板
２３３ シール材
２３４ トランスファ材
２３５ 制御基板

Claims (10)

1. スクリーン版に対して相対的に走査可能に設けられ、前記スクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板に塗布するスキージと、
   前記スキージに設けられ、前記ペーストを構成する溶剤を供給する供給機構と、
   を備えるスクリーン印刷装置。
2. 前記供給機構は、
   前記スキージの前記ペーストに接触する部分に設けられた吐出穴と、
   前記スキージの外部より前記スキージの内部を通り、前記吐出穴まで前記溶剤を導く導液経路と、
   を備える請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
3. 前記導液経路は、前記スキージの両端部に開口部を持ち、当該スキージの長手方向に略平行な空洞からなり、前記吐出穴に接続されている請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
4. 前記導液経路には、前記スキージの外部から前記溶剤を供給する溶剤供給システムが接続されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のスクリーン印刷装置。
5. 印刷開始からの時間又は前記スキージの走査回数を測定する測定機構と、
   前記測定機構により測定された測定結果に基づいて、前記溶剤の供給指令を出す判断機構とをさらに備え、
   前記溶剤供給システムは、前記供給指令を受けたときに、所定の条件で前記溶剤の供給を行う請求項４に記載のスクリーン印刷装置。
6. 前記スキージは、印刷時に前記供給機構から供給された溶剤と前記ペーストとを混合する請求項１〜５のいずれか１項に記載のスクリーン印刷装置。
7. スキージを用いて、スクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板に塗布するスクリーン印刷方法であって、
   前記スキージに設けられた供給機構から前記ペーストを構成する溶剤を供給し、
   前記溶剤を供給しながら、前記スクリーン版に対して前記スキージを相対的に走査するスクリーン印刷方法。
8. 印刷開始からの時間又はスキージの走査回数を測定し、
   印刷開始からの時間又はスキージの走査回数が所定の値以上であるか否かに応じて、前記溶剤を供給する請求項７に記載のスクリーン印刷方法。
9. 印刷時に、供給された前記溶剤と前記ペーストとを前記スキージにより混合するスクリーン印刷方法。
10. 請求項７、８又は９に記載のスクリーン印刷方法により、基板上にシール材を印刷する工程を含む液晶パネルの製造方法。

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