KR100958573B1 - 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

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KR100958573B1 KR1020030069167A KR20030069167A KR100958573B1 KR 100958573 B1 KR100958573 B1 KR 100958573B1 KR 1020030069167 A KR1020030069167 A KR 1020030069167A KR 20030069167 A KR20030069167 A KR 20030069167A KR 100958573 B1 KR100958573 B1 KR 100958573B1
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Abstract

본 발명은 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 기판 상에 포토레지스트 액을 도포하는 슬리트 노즐과, 상기 슬리트 노즐을 구동시키는 노즐 구동부와, 상기 슬리트 노즐에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급장치와, 상기 슬리트 노즐을 통해 상기 기판 상에 공기를 흡입하는 공기 흡입장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조방법은 기판 상의 공기 및 이물질을 흡입하는 단계와, 상기 기판 상에 포토레지스트 액을 도포하는 단계와, 상기 기판 상에 도포된 포토레지스트 액 상에 질소가스를 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 제조장치를 이용한 액정표시패널의 제조방법은 상부 및 하부 유리기판 상에 포토레지스트 층 코팅시 상부 및 하부 유리기판 상에 포토레지스트 액이 도포되는 부분의 전단부에서 공기를 흡입하고, 상부 및 하부 유리기판 상에 도포된 포토레지스트 액을 고압의 N2가스로 가압함으로써 포토레지스트 층에서 기포의 발생을 방지할 수 있다.

Description

액정표시패널의 제조장치 및 제조방법{FABRICATION APPARATUS AND METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
도 1은 일반적인 액정표시패널을 나타내는 사시도이다.
도 2는 기판에 포토레지스트 층을 코팅하기 위한 장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 및 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 제조장치를 이용하여 제조되는 액정표시패널을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>
1,100: 액정표시패널 10,110 : 액정층
20,120 : 컬러필터 어레이 기판 22,122 : 상부 유리기판
24,124 : 컬러필터 26,126 : 공통전극
28,42,128,142 : 편광판 30,130 : TFT 어레이 기판
32,132 : 하부 유리기판 34,134 : 데이터 라인
36,136 : 화소전극 38,138 : TFT
40,140 : 게이트 라인 50,150 : 스테이지
52,152 : 슬리트 노즐 54,154 : 포토레지스트 액
56,156 : 포토레지스트 층 160 : 질소가스 공급장치
162,262 : 분사관 170 : 노즐 구동부
180 : 공기 흡입장치 182,282 : 흡입관
262a : 제 1 분사관 262b : 제 2 분사관
본 발명은 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 특히, 기판 상에 포토레지스트 층을 코팅하기 위한 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 표시소자는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 어느 때보다 강조되고 있다. 현재 주류를 이루고 있는 음극선관(Cathode Ray Tube) 또는 브라운관은 무게와 부피가 큰 문제점이 있다. 이러한 음극선관의 한계를 극복할 수 있는 많은 종류의 평판표시소자(Flat Panel Display)가 개발되고 있다.
평판표시소자에는 액정표시패널(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로루미네센스(Electroluminescence : EL) 등이 있고 이들 대부분이 실용화되어 시판되고 있다.
액정표시패널은 전자제품의 경박단소 추세를 만족할 수 있고 최근들어 양산성이 향상되어 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다.
특히, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, "TFT"라 한다)를 이용하여 액정셀을 구동하는 액정표시패널은 화질이 우수하고 소비전력이 낮은 장점이 있으며, 최근의 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화로 급속히 발전하고 있다.
이러한 액정표시패널을 통해 화상을 표시하는 액정표시장치는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여 액정표시장치는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정표시패널과 이 액정표시패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비하게 된다.
도 1은 일반적인 액정표시패널을 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 액정표시패널(1)은 액정층(10)을 사이에 두고 컬 러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30)이 합착된다. 도 1에 도시된 액정표시패널(1)은 전체 유효화면의 일부를 나타낸 것이다.
컬러필터 어레이 기판(20)에는 상부 유리기판(22)의 배면 상에 컬러필터(24) 및 공통전극(26)이 형성된다. 상부 유리기판(22)의 전면 상에는 편광판(28)이 부착다. 컬러필터(24)는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터층이 배치되어 특정 파장대역의 빛을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다. 인접한 색의 컬러필터(24)들 사이에는 도시하지 않은 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 형성된다. 블랙 매트릭스는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(24)들 사이에 형성되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(24)들을 분리시키고 인접한 셀로부터 입사되는 광을 흡수함으로써 콘트라스트의 저하를 방지한다.
TFT 어레이 기판(30)에는 하부 유리기판(32)의 전면에 데이터 라인들(34)과 게이트 라인들(40)이 상호 교차되며, 그 교차부에 TFT들(38)이 형성된다. 그리고 하부 유리기판(32)의 전면에는 데이터 라인(34)과 게이트 라인(40) 사이의 셀 영역에 화소전극(36)이 형성된다.
TFT(38)는 게이트 라인들(40)에 접속된 게이트 전극, 데이터 라인들(34)에 접속된 소스 전극, 채널을 사이에 두고 소스 전극과 마주보는 드레인 전극으로 이루어진다. 이 TFT(38)는 드레인 전극을 관통하는 접촉홀을 통해 화소전극(36)과 접속된다. 이러한 TFT(38)는 게이트 라인(40)으로부터의 게이트 신호에 응답하여 데이터 라인(34)으로부터의 데이터 신호를 선택적으로 화소전극(36)에 공급한다. TFT(38)는 게이트 라인(40)으로부터의 스캐닝신호에 응답하여 데이터 라인(34)과 화소전극(36) 사이의 데이터 전송패스를 절환함으로써 화소전극(36)을 구동하게 한다. TFT 어레이 기판(30)의 배면에는 편광판(42)이 부착된다.
화소전극(36)은 데이터 라인들(34)과 게이트 라인들(40)에 의해 분할된 셀 영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 이루어진다. 이 화소전극(36)은 드레인 전극을 경유하여 공급되는 데이터 신호에 의해 상부 유리기판(22)에 형성되는 공통전극(26)과 전위차를 발생시키게 된다. 액정층(10)은 자신에게 인가된 전계에 응답하여 TFT 어레이 기판(30)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절한다. 화소전극(36)과 공통전극(26)과의 전위차가 발생되면 하부 유리기판(32)과 상부 유리기판(22) 사이에 위치하는 액정층(10)의 액정은 유전율 이방성에 의해 회전하게 된다. 이에 따라, 광원으로부터 화소전극(36)을 경유하여 공급되는 광이 상부 유리기판(22) 쪽으로 투과된다.
컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30) 상에 부착된 편광판들(28, 42)은 어느 한 방향으로 편광된 빛을 투과시키게 되며, 액정층(10)의 액정이 90°TN 모드일 때 그들의 편광방향은 서로 직교하게 된다. 컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30)의 액정 대향면들에는 도시하지 않은 배향막이 형성된다.
컬러필터 어레이 기판(20) 및 TFT 어레이 기판(30)에 패턴을 형성하기 위해서는 전극 및 라인 물질이 형성된 상부 유리기판(22) 및 하부 유리기판(32) 상에 포토레지스트(photoresist:PR)를 도포한 후, 투명한 재질로 형성되어 노출되는 영역이 오광영역을 이루는 마스크 기판과, 마스크 기판 상에 형성되어 차단영역을 이 루는 차단층으로 이루어진 포토마스크를 이용하여 자외선광을 포토레지스트에 선택적으로 조사하는 노광공정과 노광된 포토레지스트를 현상하는 현상공정을 실행하여 포토레지스트 패턴을 형성한다. 이 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용한 식각공정으로 전극 및 라인 물질이 패터닝됨으로써 패턴이 형성된다.
도 2는 기판에 포토레지스트 층을 코팅하기 위한 장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 기판 및 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2 및 3에 도시된 포토레지스트 층 코팅 장치는 상부 및 하부 유리기판(22, 32)이 올려지는 스테이지(stage)(50)와, 상부 및 하부 유리기판(22, 32) 상에 포토레지스트 액(54)을 도포시키는 슬리트 노즐(52)을 구비한다.
슬리트 노즐(52)은 상부 및 하부 유리기판(22, 32)으로부터 30㎛∼200㎛의 간격을 가지고 상부 및 하부 유리기판(22, 32)의 길이방향으로 이동하면서 상부 및 하부 유리기판(22, 32) 상에 포토레지스트 액을 도포하여 포토레지스트 층(56)을 형성한다.
슬리트 노즐(52)이 상부 및 하부 유리기판(22, 32)으로부터 30㎛∼200㎛의 좁은 간격을 가지고 상부 및 하부 유리기판(22, 32) 상에 포토레지스트 액(54)을 도포하지만 상부 및 하부 유리기판(22, 32) 상에 포토레지스트 층(56)을 형성시 도 3에 도시된 바와 같이, 기포가 발생하게 된다. 포토레지스트 층(56)에 기포가 생기면 포토레지스트 층(56) 코팅 후 약 100℃의 온도로 포토레지스트 층(56)을 소성시키는 공정시 포토레지스트 층(56)에 불량이 발생하게 된다.
또한, 상부 및 하부 유리기판(22, 32) 상에 이물질이 있는 상태에서 포토레지스트 층(56)을 코팅하면 상부 및 하부 유리기판(22, 32) 상에 포토레지스트 액을 도포하는 슬리트 노즐(52)에 파손을 발생시키고, 상부 및 하부 유리기판(22, 32)이 불량이 발생되어 제조공정을 마친 액정표시패널에 불량이 발생된다.
따라서, 본 발명의 목적은 기판 상에 포토레지스트 층을 코팅하기 위한 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 기판 상에 포토레지스트 액을 도포하는 슬리트 노즐과, 상기 슬리트 노즐을 구동시키는 노즐 구동부와, 상기 슬리트 노즐에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급장치와, 상기 슬리트 노즐을 통해 상기 기판 상에 공기를 흡입하는 공기 흡입장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치의 상기 슬리트 노즐은 상기 질소가스 공급장치로부터 공급되는 질소가스가 유입되는 유입구와; 유입된 질소가스가 배출되는 배출구를 가지는 적어도 하나의 분사관과, 상기 기판 상의 공기 및 이물질이 흡입되는 흡입관을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치의 상기 분사관은 상기 슬리트 노즐의 진행방향 후단부에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치의 상기 흡입관은 상기 슬리트 노즐의 진행방향 전단부에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치의 상기 배출구는 상기 기판과 수직한 방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치의 상기 배출구는 상기 기판과 소정 기울기를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 상기 기판의 수직한 방향에서 상기 기판 상에 도포된 포토레지스트 액 상에 질소가스를 분사하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 상기 기판과 소정 기울기를 가지는 방향에서 상기 기판 상에 도포된 포토레지스트 액 상에 질소가스를 분사하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조방법은 기판 상의 공기 및 이물질을 흡입하는 단계와, 상기 기판 상에 포토레지스트 액을 도포하는 단계와, 상기 기판 상에 도포된 포토레지스트 액 상에 질소가스를 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조방법은 상기 질소가스를 상기 기판의 수직한 방향에서 분사하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조방법은 상기 질소가스를 상기 기판과 소정 기울기를 가지는 방향에서 분사하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 설명예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 포토레지스트 층 코팅 장치를 이용하여 제조된 액정표시패널을 나타내는 사시도이다.
도 4를 참조하면, 액정표시패널(100)은 액정층(110)을 사이에 두고 컬러필터 어레이 기판(120)과 TFT 어레이 기판(130)이 합착된다. 도 5에 도시된 액정표시패널(100)은 전체 유효화면의 일부를 나타낸 것이다.
컬러필터 어레이 기판(120)에는 상부 유리기판(122)의 배면 상에 컬러필터(124) 및 공통전극(126)이 형성된다. 상부 유리기판(122)의 전면 상에는 편광판(128)이 부착된다. 컬러필터(124)는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터층이 배치되어 특정 파장대역의 빛을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다. 인접한 색의 컬러필터(124)들 사이에는 도시하지 않은 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 형성된다. 블랙 매트릭스는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(124)들 사이에 형성되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(124)들을 분리시키고 인접한 셀로부터 입사되는 광을 흡수함으로써 콘트라스트의 저하를 방지한다.
TFT 어레이 기판(130)에는 하부 유리기판(132)의 전면에 데이터 라인들(134) 과 게이트 라인들(140)이 상호 교차되며, 그 교차부에 TFT들(138)이 형성된다. 그리고 하부 유리기판(132)의 전면에는 데이터 라인(134)과 게이트 라인(140) 사이의 셀 영역에 화소전극(136)이 형성된다.
TFT(138)는 게이트 라인들(140)에 접속된 게이트 전극, 데이터 라인들(134)에 접속된 소스 전극, 채널을 사이에 두고 소스 전극과 마주보는 드레인 전극으로 이루어진다. 이 TFT(138)는 드레인 전극을 관통하는 접촉홀을 통해 화소전극(136)과 접속된다. 이러한 TFT(138)는 게이트 라인(140)으로부터의 게이트 신호에 응답하여 데이터 라인(134)으로부터의 데이터 신호를 선택적으로 화소전극(136)에 공급한다. TFT(138)는 게이트 라인(140)으로부터의 스캐닝신호에 응답하여 데이터 라인(134)과 화소전극(136) 사이의 데이터 전송패스를 절환함으로써 화소전극(136)을 구동하게 한다. TFT 어레이 기판(130)의 배면에는 편광판(142)이 부착된다.
화소전극(136)은 데이터 라인들(134)과 게이트 라인들(140)에 의해 분할된 셀 영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 이루어진다. 이 화소전극(136)은 드레인 전극을 경유하여 공급되는 데이터 신호에 의해 상부 유리기판(122)에 형성되는 공통전극(126)과 전위차를 발생시키게 된다. 액정층(110)은 자신에게 인가된 전계에 응답하여 TFT 어레이 기판(130)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절한다. 화소전극(136)과 공통전극(126)과의 전위차가 발생되면 하부 유리기판(132)과 상부 유리기판(122) 사이에 위치하는 액정층(110)의 액정은 유전율 이방성에 의해 회전하게 된다. 이에 따라, 광원으로부터 화소전극(136)을 경유하여 공급되는 광이 상부 유리기판(122) 쪽으로 투과된다.
컬러필터 어레이 기판(120)과 TFT 어레이 기판(130) 상에 부착된 편광판들(128, 142)은 어느 한 방향으로 편광된 빛을 투과시키게 되며, 액정층(110)의 액정이 90°TN 모드일 때 그들의 편광방향은 서로 직교하게 된다. 컬러필터 어레이 기판(120)과 TFT 어레이 기판(130)의 액정 대향면들에는 도시하지 않은 배향막이 형성된다.
컬러필터 어레이 기판(120) 및 TFT 어레이 기판(130)에 패턴을 형성하기 위해서는 전극 및 라인 물질이 형성된 상부 유리기판(122) 및 하부 유리기판(132) 상에 포토레지스트(photoresist:PR)를 도포한 후, 투명한 재질로 형성되어 노출되는 영역이 오광영역을 이루는 마스크 기판과, 마스크 기판 상에 형성되어 차단영역을 이루는 차단층으로 이루어진 포토마스크를 이용하여 자외선광을 포토레지스트에 선택적으로 조사하는 노광공정과 노광된 포토레지스트를 현상하는 현상공정을 실행하여 포토레지스트 패턴을 형성한다. 이 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용한 식각공정으로 전극 및 라인 물질이 패터닝됨으로써 패턴이 형성된다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치를 나타내는 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 액정표시패널의 제조장치는 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 층(156)을 코팅하기 위한 장치로 상부 및 하부 유리기판(122, 132)이 올려지는 스테이지(stage)(150)와, 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 액을 도포시키는 슬리트 노즐(152)과, 슬리트 노즐(152)을 구동시키는 노즐 구동부(170)와, 슬리트 노즐(152)에 질소(N2)가스를 공급하는 질소가스 공급장치(160)와, 슬리트 노즐(152)을 통해 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상의 공기 및 이물질을 흡입하기 위한 공기 흡입장치(180)를 구비한다.
슬리트 노즐(152)에는 그 내부에 포토레지스트 액(154)이 실장되는 소정 공간이 형성되고, 이 소정 공간의 상측부에 형성된 유입구를 통해 포토레지스트 액(154)을 공급받아 유입구의 폭보다 좁게 형성된 분사구를 통해 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 액(154)을 분사한다.
슬리트 노즐(152)에는 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 N2가스를 분사시키기 위한 분사관(162)이 슬리트 노즐(152)의 진행방향 후단부에 형성되고, 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상의 공기 및 이물질을 흡입하기 위한 흡입관(182)이 슬리트 노즐(152)의 진행방향 전단부에 형성된다. 이러한 분사관(162)은 N2가스가 유입되는 유입구와, N2가스가 배출되는 배출구를 가진다. 이러한 슬리트 노즐(152)은 노즐 구동부(170)에 의해 구동된다.
노즐 구동부(170)는 슬리트 노즐(152)과 체결되어 슬리트 노즐(152)이 상부 및 하부 유리기판(122, 132)의 길이방향으로 이동되도록 한다.
질소가스 공급장치(160)는 슬리트 노즐(152)에 형성된 분사관(162)에 고압의 N2가스를 공급하여 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 고압의 N2가스가 분사되도록 한다.
공기 흡입장치(180)는 슬리트 노즐(152)에 형성된 흡입관(182)을 통해 공기를 흡입하여 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 공기 및 이물질을 흡입한다.
슬리트 노즐(152)은 상부 및 하부 유리기판(122, 132)으로부터 30㎛∼200㎛의 간격을 가지고 노즐 구동부(170)를 통해 상부 및 하부 유리기판(122, 132)의 길이방향으로 이동하면서 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 액(154)을 도포하여 포토레지스트 층(156)을 형성한다.
슬리트 노즐(152)이 이동되면서 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 액(154)을 도포하면 공기 흡입장치(180)는 포토레지스트 액(154)이 도포되는 전단부에 있는 공기를 흡입관(182)을 통해 흡입하여 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 공기 및 이물질을 흡입한다. 이와 동시에, 질소가스 공급장치(160)는 분사관(162)에 고압의 N2가스를 공급하여 상부 및 하부 유리기판(122, 132)의 수직한 방향에서 고압의 N2가스가 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 도포되는 포토레지스트 액(154)에 분사되도록 한다. 분사관(162)에서 분사되는 고압의 N2가스로 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 도포되는 포토레지스트 액(154)을 가압함으로써 포토레지스트 층(156)에 기포가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 층(156) 코팅시 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 액(154)이 도포되는 부분의 전단부에서 공기를 흡입하고, 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 도포된 포토레지스트 액(154)을 고압의 N2가스로 가압함으로써 포토레지스트 층(156)에서 기포의 발생을 방지할 수 있다.
본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 상부 및 하부 유리기판(122, 132) 상에 포토레지스트 액(154)이 도포되는 부분의 전단부에서 이물질을 제거시켜 이물질로 인한 제조장치의 파손을 방지함과 아울러, 이물질로 인한 액정표시패널에 불량을 방지할 수 있다.
본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 슬리트 노즐을 제외하고는 도 6에 도시된 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치와 동일한 구성요소를 가지므로 자세한 설명을 생략한다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
도 7에 도시된 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 층(256)을 코팅하기 위한 장치로 상부 및 하부 유리기판(222, 232)이 올려지는 스테이지(250)와, 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 액을 도포시키는 슬리트 노즐(252)과, 슬리트 노즐(252)을 구동시키는 도시되지 않은 노즐 구동부와, 도시되지 않은 N2가스 공급장치 및 공기 흡입장치를 구비한다.
슬리트 노즐(252)에는 그 내부에 포토레지스트 액(254)이 실장되는 소정 공간이 형성되고, 상측부에 형성된 유입구를 통해 포토레지스트 액(254)을 공급받아 유입구의 폭보다 좁게 형성된 분사구를 통해 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 액(254)을 분사한다.
슬리트 노즐(252)에는 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 N2가스를 분사시키기 위한 다수의 제 1 및 제 2 분사관(262a, 262b)이 슬리트 노즐(252)의 진행방향 후단부에 형성되고, 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상의 공기 및 이물질을 흡입하기 위한 흡입관(282)이 슬리트 노즐(252)의 진행방향 전단부에 형성된다. 이러한 다수의 분사관(262) 각각은 N2가스가 유입되는 유입구와, N2가스가 배출되는 배출구를 가진다. 이러한 슬리트 노즐(252)은 본 발명의 제 1 실시 예와 동일하게 노즐 구동부에 의해 구동된다.
슬리트 노즐(252)은 상부 및 하부 유리기판(222, 232)으로부터 30㎛∼200㎛의 간격을 가지고 노즐 구동부를 통해 상부 및 하부 유리기판(222, 232)의 길이방향으로 이동하면서 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 액(254)을 도포하여 포토레지스트 층(256)을 형성한다.
슬리트 노즐(252)이 이동되면서 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 액(254)을 도포하면 공기 흡입장치는 포토레지스트 액(254)이 도포되는 전단부에 있는 공기를 흡입관(282)을 통해 흡입하여 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 공기 및 이물질을 흡입한다. 이와 동시에, N2가스 공급장치는 슬리트 노즐(252)에 형성된 다수의 제 1 및 제 2 분사관(262a, 262b)에 고압의 N2가스를 공급하여 상부 및 하부 유리기판(222, 232)의 수직 및 소정 기울기를 가지는 방향에서 고압의 N2가스가 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 도포되는 포토레지스트 액(254)에 분사되도록 한다. 다수의 분사관(262a, 262b)에서 분사되는 고압의 N2가스로 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 도포되는 포토레지스트 액(254)을 넓은 범위에서 가압함으로써 포토레지스트 층(256)에 기포가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제 2 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 층(256) 코팅시 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 액(254)이 도포되는 부분의 전단부에서 공기를 흡입하고, 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 도포된 포토레지스트 액(254)을 고압의 N2가스로 넓은 범위에서 가압함으로써 포토레지스트 층(256)에서 기포의 발생을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치는 상부 및 하부 유리기판(222, 232) 상에 포토레지스트 액(254)이 도포되는 부분의 전단부에서 이물질을 제거시켜 이물질로 인한 제조장치의 파손을 방지함과 아울러, 이물질로 인한 액정표시패널에 불량을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법은 상부 및 하부 유리기판 상에 포토레지스트 층 코팅시 상부 및 하부 유 리기판 상에 포토레지스트 액이 도포되는 부분의 전단부에서 공기를 흡입하고, 상부 및 하부 유리기판 상에 도포된 포토레지스트 액을 고압의 N2가스로 가압함으로써 포토레지스트 층에서 기포의 발생을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널의 제조장치 및 제조방법은 상부 및 하부 유리기판 상에 포토레지스트 액이 도포되는 부분의 전단부에서 이물질을 제거시켜 이물질로 인한 제조장치의 파손을 방지함과 아울러, 이물질로 인한 액정표시패널에 불량을 방지할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (11)

  1. 기판 상에 포토레지스트 액을 도포하는 슬리트 노즐과,
    상기 슬리트 노즐을 구동시키는 노즐 구동부와,
    상기 슬리트 노즐에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급장치와,
    상기 슬리트 노즐을 통해 상기 기판 상에 공기를 흡입하는 공기 흡입장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬리트 노즐은
    상기 질소가스 공급장치로부터 공급되는 질소가스가 유입되는 유입구와;
    유입된 질소가스가 배출되는 배출구를 가지는 적어도 하나의 분사관과,
    상기 기판 상의 공기 및 이물질이 흡입되는 흡입관을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 분사관은 상기 슬리트 노즐의 진행방향 후단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡입관은 상기 슬리트 노즐의 진행방향 전단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 배출구는 상기 기판과 수직한 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 분사관의 상기 배출구는 상기 기판과 소정 기울기를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 기판의 수직한 방향에서 상기 기판 상에 도포된 포토레지스트 액 상에 질소가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 액정표시모듈의 제조장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판과 소정 기울기를 가지는 방향에서 상기 기판 상에 도포된 포토레지스트 액 상에 질소가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 액정표시모듈의 제조장치.
  9. 기판 상의 공기 및 이물질을 흡입하는 단계와,
    상기 기판 상에 포토레지스트 액을 도포하는 단계와,
    상기 기판 상에 도포된 포토레지스트 액 상에 질소가스를 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 질소가스를 상기 기판의 수직한 방향에서 분사하는 것을 특징으로 하는 액정표시모듈의 제조방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 질소가스를 상기 기판과 소정 기울기를 가지는 방향에서 분사하는 것을 특징으로 하는 액정표시모듈의 제조방법.
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