KR20050058051A - 액정 표시 패널의 제조 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20050058051A
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박정권
권오준
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 상에 포토레지스트 층을 안정적으로 코팅시킬 수 있도록 한 액정 표시 패널의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 기판이 올려지는 스테이지와, 소정의 진행 방향을 따라 이동하면서 상기 기판 상에 포토레지스트 물질을 도포하는 노즐과, 상기 노즐의 상부에서 상기 슬리트 노즐에 연결된 지지대와, 상기 진행 방향에서 상기 노즐에 앞서 위치하고 상기 기판의 높이 변화를 감지하는 감지바와, 상기 지지대에 설치되고 상기 이물 감지바가 이격될 때 검출 신호를 발생하는 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법은 노즐을 이동시키면서 기판에 포토레지스트 물질을 도포하는 단계와, 상기 노즐의 이동 기간 내에 상기 기판의 높이 변화를 감지하는 단계와, 감지된 상기 기판의 높이 변화에 따라 상기 노즐의 이동과 포토레지스트 물질의 공급을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정 표시 패널의 제조 장치 및 방법{FABRICATION APPARATUS AND METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
본 발명은 액정 표시 패널의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 기판 상에 포토레지스트 층을 안정적으로 코팅시킬 수 있도록 한 액정 표시 패널의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 표시 소자는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 어느 때보다 강조되고 있다. 현재 주류를 이루고 있는 음극선관(Cathode Ray Tube) 또는 브라운관은 무게와 부피가 큰 문제점이 있다. 이러한 음극선관의 한계를 극복할 수 있는 많은 종류의 평판표시소자(Flat Panel Display)가 개발되고 있다.
평판 표시 소자에는 액정 표시 패널(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시 소자(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로루미네센스(Electroluminescence) 등이 있고 이들 대부분이 실용화되어 시판되고 있다.
액정 표시 패널은 전자제품의 경박단소 추세를 만족할 수 있고 최근들어 양산성이 향상되어 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다.
특히, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, "TFT"라 한다)를 이용하여 액정셀을 구동하는 액정 표시 패널은 화질이 우수하고 소비전력이 낮은 장점이 있으며, 최근의 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화로 급속히 발전하고 있다.
이러한 액정 표시 패널을 통해 화상을 표시하는 액정 표시 장치는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여 액정 표시 장치는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정 표시 패널과 이 액정 표시 패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비하게 된다.
도 1은 일반적인 액정 표시 패널을 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 액정 표시 패널(1)은 액정층(10)을 사이에 두고 컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30)이 합착된다. 도 1에 도시된 액정 표시 패널(1)은 전체 유효화면의 일부를 나타낸 것이다.
컬러필터 어레이 기판(20)에는 상부 유리기판(22)의 배면 상에 컬러필터(24) 및 공통전극(26)이 형성된다. 상부 유리기판(22)의 전면 상에는 편광판(28)이 부착다. 컬러필터(24)는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터층이 배치되어 특정파장대역의 빛을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다. 인접한 색의 컬러필터(24)들 사이에는 도시하지 않은 블랙 매트릭스(Black Matrix)가 형성된다. 블랙 매트릭스는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(24)들 사이에 형성되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터(24)들을 분리시키고 인접한 셀로부터 입사되는 광을 흡수함으로써 콘트라스트의 저하를 방지한다.
TFT 어레이 기판(30)에는 하부 유리기판(32)의 전면에 데이터 라인들(34)과 게이트 라인들(40)이 상호 교차되며, 그 교차부에 TFT들(38)이 형성된다. 그리고 하부 유리기판(32)의 전면에는 데이터 라인(34)과 게이트 라인(40) 사이의 셀 영역에 화소전극(36)이 형성된다.
TFT(38)는 게이트 라인들(40)에 접속된 게이트 전극, 데이터 라인들(34)에 접속된 소스 전극, 채널을 사이에 두고 소스 전극과 마주보는 드레인 전극으로 이루어진다. 이 TFT(38)는 드레인 전극을 관통하는 접촉홀을 통해 화소전극(36)과 접속된다. 이러한 TFT(38)는 게이트 라인(40)으로부터의 게이트 신호에 응답하여 데이터 라인(34)으로부터의 데이터 신호를 선택적으로 화소전극(36)에 공급한다. TFT(38)는 게이트 라인(40)으로부터의 스캐닝신호에 응답하여 데이터 라인(34)과 화소전극(36) 사이의 데이터 전송패스를 절환함으로써 화소전극(36)을 구동하게 된다. TFT 어레이 기판(30)의 배면에는 편광판(42)이 부착된다.
화소전극(36)은 데이터 라인들(34)과 게이트 라인들(40)에 의해 분할된 셀 영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 이루어진다. 이 화소전극(36)은 드레인 전극을 경유하여 공급되는 데이터 신호에 의해 상부 유리기판(22)에 형성되는 공통전극(26)과 전위차를 발생시키게 된다. 액정층(10)은 자신에게 인가된 전계에 응답하여 TFT 어레이 기판(30)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절한다. 화소전극(36)과 공통전극(26)과의 전위차가 발생되면 하부 유리기판(32)과 상부 유리기판(22) 사이에 위치하는 액정층(10)의 액정은 유전율 이방성에 의해 회전하게 된다. 이에 따라, 광원으로부터 화소전극(36)을 경유하여 공급되는 광이 상부 유리기판(22) 쪽으로 투과된다.
컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30) 상에 부착된 편광판들(28, 42)은 어느 한 방향으로 편광된 빛을 투과시키게 되며, 액정층(10)의 액정이 90°TN 모드일 때 그들의 편광방향은 서로 직교하게 된다. 컬러필터 어레이 기판(20)과 TFT 어레이 기판(30)의 액정 대향면들에는 도시하지 않은 배향막이 형성된다.
컬러필터 어레이 기판(20) 및 TFT 어레이 기판(30)에 패턴을 형성하기 위해서는 전극 및 라인 물질이 형성된 상부 유리기판(22) 및 하부 유리기판(32) 상에 포토레지스트(photoresist:PR)를 도포한 후, 투명한 재질로 형성되어 노출되는 영역이 오광영역을 이루는 마스크 기판과, 마스크 기판 상에 형성되어 차단영역을 이루는 차단층으로 이루어진 포토마스크를 이용하여 자외선광을 포토레지스트에 선택적으로 조사하는 노광공정과 노광된 포토레지스트를 현상하는 현상공정을 실행하여 포토레지스트 패턴을 형성한다. 이 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용한 식각공정으로 전극 및 라인 물질이 패터닝됨으로써 패턴이 형성된다.
도 2는 기판에 포토레지스트 층을 코팅하기 위한 장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 기판 및 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2 및 3에 도시된 포토레지스트 층 코팅 장치는 상부 및 하부 유리기판(22,32)이 올려지는 스테이지(stage)(50)와, 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상에 포토레지스트 물질을 도포시키는 슬리트 노즐(52)과, 슬리트 노즐(52)에 장착되어 이물질(58)을 감지하는 레이저 센서(54)를 구비한다.
슬리트 노즐(52)은 상부 및 하부 유리기판(22,32)으로부터 150㎛ 이하의 간격을 가지고 상부 및 하부 유리기판(22,32)의 길이방향으로 이동하면서 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상에 포토레지스트 물질을 도포하여 포토레지스트 층(56)을 형성한다. 이러한 슬리트 노즐(52)의 진행방향 앞단에는 레이저 센서(54)가 부착된다.
스테이지(50) 및 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상에 이물질(58)이 있는 상태에서 포토레지스트 층(56)을 코팅하면 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상에 포토레지스트 물질을 도포하는 슬리트 노즐(52)의 파손을 발생시키고 또한, 상부 및 하부 유리기판(22,32)이 파손되어 액정 표시 패널에 불량이 발생된다. 이러한 문제점을 방지하기 위해 레이저 센서(54)는 슬리트 노즐(52)의 진행방향 앞단에 장착되어 슬리트 노즐(52)이 진행되면 도 2에 도시된 바와 같이, 레이저 빔(60)을 발생시켜 스테이지(50), 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상의 이물질(58)을 감지한다. 레이저 센서(54)에서 발생되는 레이저 빔(60)은 상부 및 하부 유리기판(22,32)의 표면을 포인트 스캔한다.
일반적인 포토레지스트 층 코팅 장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 레이저 센서(54)에서 발생되는 레이저 빔(60)이 상부 및 하부 유리기판(22,32)의 표면을 포인트로 스캔한다. 그러나, 레이저 센서(54)에서 발생되는 레이저 빔(60)의 스캔 영역이 매우 좁아 스캔 영역 이외의 곳에 위치하는 이물질은 감지되지 않는다. 이러한 포토레지스트 층 코팅 장치는 레이저 센서(54)가 스테이지(50), 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상의 이물질(58)을 완벽하게 감지하지 못하므로 도 4에 도시된 바와 같이, 이물질(58)이 있는 상태에서 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상에 포토레지스트 층(56)을 코팅하게 된다. 스테이지(50), 상부 및 하부 유리기판(22,32) 상에 이물질이 있는 상태에서 포토레지스트 층(56)을 코팅하면 도 4에 도시된 "A"부분에서 슬리트 노즐(52)이 상부 및 하부 유리기판(22,32)과 접촉하게 되어 슬리트 노즐(52), 상부 및 하부 유리기판(22,32)이 손상되는 문제가 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 기판 상에 포토레지스트 층을 안정적으로 코팅시킬 수 있도록 한 액정 표시 패널의 제조 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 기판이 올려지는 스테이지와, 소정의 진행 방향을 따라 이동하면서 상기 기판 상에 포토레지스트 물질을 도포하는 노즐과, 상기 노즐의 상부에서 상기 슬리트 노즐에 연결된 지지대와, 상기 진행 방향에서 상기 노즐에 앞서 위치하고 상기 기판의 높이 변화를 감지하는 감지바와, 상기 지지대에 설치되고 상기 이물 감지바가 이격될 때 검출 신호를 발생하는 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 상기 지지대에 형성되어 상기 감지바를 지지하기 위한 돌출부와, 상기 돌출부에 상기 감지바가 회동 가능하게 결합되게 하는 힌지를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치에서 상기 기판의 높이 변화는 상기 기판과 상기 스테이지 사이에 존재하는 이물질에 의해 발생되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치의 상기 노즐은 상기 기판으로부터 50㎛ 내지 300㎛ 정도 이격되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치의 상기 노즐은 상기 기판으로부터 150㎛ 정도 이격되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치에서 상기 감지바와 상기 기판 사이의 간격은 상기 노즐과 상기 기판 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치는 상기 노즐에 포토레지스트 물질을 공급하는 포토레지스트 공급부와, 상기 노즐을 이동시키기 위한 이송 구동부와, 상기 검출 신호에 응답하여 상기 포토레지스트 공급부 및 상기 이송 구동부를 제어하는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법은 노즐을 이동시키면서 기판에 포토레지스트 물질을 도포하는 단계와, 상기 노즐의 이동 기간 내에 상기 기판의 높이 변화를 감지하는 단계와, 감지된 상기 기판의 높이 변화에 따라 상기 노즐의 이동과 포토레지스트 물질의 공급을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법에서 상기 노즐의 이동과 상기 포토레지스트 물질의 공급을 제어하는 단계는 상기 노즐의 이동을 중지시킴과 아울러 상기 포토레지스트 물질의 공급을 중지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 설명예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 기판 및 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 포토레지스트 층 코팅 장치는 상부 및 하부 유리기판(122,132)이 올려지는 스테이지(150)와, 상부 및 하부 유리기판(122,132) 상에 포토레지스트 물질을 도포시키는 슬리트 노즐(152)과, 슬리트 노즐(152)에 포토레지스트 물질을 공급하는 포토레지스트 공급부(166)와, 슬리트 노즐(152)을 이송시키는 이송 구동부(170)와, 슬리트 노즐(152)의 상부에 설치되는 지지대(154)와, 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 높이 변화를 감지하는 이물 감지바(162)와, 지지대(154)에 설치되어 이물 감지바(162)가 이격될 때 이물질 검출 신호를 발생하는 센서(160)와, 센서(160)로부터 발생된 이물질 검출 신호에 의해 포토레지스트 공급부(166) 및 이송 제어부(172)을 제어하는 제어부(170)를 구비한다.
슬리트 노즐(152)은 상부 및 하부 유리기판(122,132)으로부터 50㎛ 내지 300㎛ 정도 바람직하게는 150㎛의 간격을 가지고 이동하면서 상부 및 하부 유리기판(122,132) 상에 포토레지스트 물질을 도포하여 포토레지스트 층(156)을 형성한다.
지지대(154)는 슬리트 노즐(152)의 상부에 설치되고 슬리트 노즐(152)의 진행 방향 앞단에 설치된 이물 감지바(162)를 지지하기 위한 돌출부(164)가 형성된다. 이때, 돌출부(164)의 끝단에는 힌지(168)가 설치되고, 이물 감지바(162)가 회동 가능하도록 힌지(168)에 의해 돌출부(164)와 이물 감지바(162)가 결합된다. 또한, 지지대(154)의 상부 끝단에는 센서(160)가 설치된다.
이물 감지바(162)는 슬리트 노즐(152)의 진행 방향 앞단에 설치되어 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 높이 변화를 감지하게 된다. 다시 말하면, 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 변형이나 스테이지(150) 상에 잔존하는 이물질(158)을 감지하게 된다. 이러한, 이물 감지바(162)는 슬리트 노즐(152)과 동일한 크기로 제작됨과 아울러 슬리트 노즐(152)과 상부 및 하부 유리기판(122,132) 사이의 간격과 동일한 간격이 갖게 된다. 또한, 지지대(154)에 형성된 돌출부(164)와 회동 가능하도록 힌지(168)에 의해 돌출부(164)와 결합된다.
센서(160)는 지지대(154)의 상부에 설치되어 이물 감지바(162)가 이격될 때 이물질 검출 신호를 발생하게 된다. 다시 말하면, 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 높이가 변화되면 예를 들어, 스테이지(150) 상에 이물질(158)이 존재하면 이물 감지바(162)는 센서(160)로부터 이격된다. 이때, 센서(160)는 이물감지바(162)가 이격되었음을 알리는 로우(0) 신호를 발생하게 된다. 그러나, 이물 감지바(162)가 센서(160)로부터 이격되지 않게 되면 센서(160)는 하이(1) 신호를 발생하게 된다.
제어부(172)는 센서(160)으로부터의 이물질 검출 신호에 의해 포토레지스트 공급부(166) 및 이송 구동부(170)를 제어하게 된다. 다시 말하면, 센서(160)로부터 로우(0) 신호가 발생되면 제어부(172)는 포토레지스트 공급부(166)를 제어하여 슬리트 노즐(152)에 포토레지스트 물질의 공급을 중단시키게 된다. 또한, 이송 구동부(170)에 로우(0) 신호를 전달하여 슬리트 노즐(170)의 이동을 중지시키게 된다.
포토레지스트 공급부(166)는 제어부(172)로부터 하이(1) 신호가 전달되면 슬리트 노즐(152)에 포토레지스트 물질을 공급하고, 로우(0) 신호가 전달되면 슬리트 노즐(152)에 포토레지스트 물질의 공급을 중단하게 된다. 이로 인해, 슬리트 노즐(152)이 진행하는 동안에는 상부 및 하부 유리기판(122,132) 상에 포토레지스트 층(156)이 형성되고, 슬리트 노즐(152)이 정지하게 되면 상부 및 하부 유리기판(122,132) 상에 포토레지스트 층이 형성되지 않는다.
이송 구동부(170)는 제어부(172)로부터 하이(1) 신호가 전달되면 슬리트 노즐(152)를 이동시키고, 로우(0) 신호가 전달되면 슬리트 노즐(152)의 이동을 중지시키게 된다.
보다 자세히 설명하면, 스테이지(150)에 올려진 상부 및 하부 유리기판(122,132) 상에 포토레지스트 물질을 도포하기 위해 슬리트 노즐(152)이 진행되면 이물 감지바(162)는 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 표면을 전체적으로 스캔하여 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 높이 변화를 검출하게 된다. 이때, 도 7에 도시된 바와 같이 "B" 부분에서 스테이지(150) 상에 이물질(158)이 존재하게 되면, 이물 감지바(162)는 힌지(168)를 구동축으로 하여 센서(160)로부터 이격된다. 또한, 도 8에 도시된 바와 같이 "C" 부분에서 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 높이가 변화하게 되면 이물 감지바(162)는 힌지(168)를 구동축으로 하여 센서(160)로부터 이격된다. 이때, 센서(160)는 높이 변화로 인해 로우(0) 신호를 발생하게 되고, 제어부(172)는 로우(0) 신호에 의해 포토레지스트 공급부(166) 및 이송 구동부(170)를 제어하게 된다. 즉, 포토레지스트 공급부(166)로부터 포토레지스트 물질이 슬리트 노즐(152)에 공급되는 것을 중단시키고, 이송 구동부(170)에 의해 진행되는 슬리트 노즐(152)의 진행 동작을 중지시키게 된다. 이로 인해, 슬리트 노즐(152)과 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 접촉이 방지되어 슬리트 노즐(152)과 상부 및 하부 유리기판(122,132)의 파손을 방지 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정 표시 패널의 제조 장치 및 방법은 이물 감지바에 의해 상부 및 하부 유리기판의 전면을 스캔하여 이물질을 감지하고, 이물질이 감지되면 슬리트 노즐의 동작을 일시 정지시켜 슬리트 노즐과 상부 및 하부 유리기판의 접촉을 방지하여 슬리트 노즐과 상부 및 하부 유리기판의 파손을 방지 할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
도 1은 일반적인 액정 표시 패널을 나타내는 사시도이다.
도 2는 기판에 포토레지스트 층을 코팅하기 위한 장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 및 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 코팅 장치를 이용하여 포토레지스트 층을 형성시 문제점을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 기판 및 포토레지스트 층 코팅 장치를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 포토레지스트 층 코팅 장치를 통해 이물질이 검출되는 것을 나타내는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>
1 : 액정표시패널 10 : 액정층
20 : 컬러필터 어레이 기판 22, 122 : 상부 유리기판
24 : 컬러필터 26 : 공통전극
28,42 : 편광판 30 : TFT 어레이 기판
32, 132 : 하부 유리기판 34 : 데이터 라인
36 : 화소전극 38 : TFT
40 : 게이트 라인 50, 150 : 스테이지
52, 152 : 슬리트 노즐 54 : 레이저 센서
56, 156 : 포토레지스트 층 58, 158 : 이물질
60 : 레이저 빔 154 : 지지대
160 : 센서 162 : 이물 감지바
164 : 돌출부 166 : 포토레지스트 공급부
168 : 힌지 170 : 이송 구동부
172 : 제어부

Claims (9)

  1. 기판이 올려지는 스테이지와,
    소정의 진행 방향을 따라 이동하면서 상기 기판 상에 포토레지스트 물질을 도포하는 노즐과,
    상기 노즐의 상부에서 상기 슬리트 노즐에 연결된 지지대와,
    상기 진행 방향에서 상기 노즐에 앞서 위치하고 상기 기판의 높이 변화를 감지하는 감지바와,
    상기 지지대에 설치되고 상기 이물 감지바가 이격될 때 검출 신호를 발생하는 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지대에 형성되어 상기 감지바를 지지하기 위한 돌출부와,
    상기 돌출부에 상기 감지바가 회동 가능하게 결합되게 하는 힌지를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 높이 변화는 상기 기판과 상기 스테이지 사이에 존재하는 이물질에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 기판으로부터 50㎛ 내지 300㎛ 정도 이격되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 기판으로부터 150㎛ 정도 이격되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 감지바와 상기 기판 사이의 간격은 상기 노즐과 상기 기판 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐에 포토레지스트 물질을 공급하는 포토레지스트 공급부와,
    상기 노즐을 이동시키기 위한 이송 구동부와,
    상기 검출 신호에 응답하여 상기 포토레지스트 공급부 및 상기 이송 구동부를 제어하는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  8. 노즐을 이동시키면서 기판에 포토레지스트 물질을 도포하는 단계와,
    상기 노즐의 이동 기간 내에 상기 기판의 높이 변화를 감지하는 단계와,
    감지된 상기 기판의 높이 변화에 따라 상기 노즐의 이동과 포토레지스트 물질의 공급을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널이 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 노즐의 이동과 상기 포토레지스트 물질의 공급을 제어하는 단계는 상기 노즐의 이동을 중지시킴과 아울러 상기 포토레지스트 물질의 공급을 중지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115739522A (zh) * 2021-09-02 2023-03-07 株式会社斯库林集团 基板处理装置及基板处理方法

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