KR100896479B1 - 평판표시소자의 기판 이송장치 - Google Patents

평판표시소자의 기판 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 공기를 이용하여 기판을 부상시켜 이송할 수 있도록 한 평판표시소자의 기판 이송장치에 관한 것이다.
이 기판 이송장치는 기판의 아래에 배치되어 상기 기판의 저면에 수직한 방향으로 공기를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 하부 수직 노즐관들; 상기 기판의 아래에 상기 다수의 하부 수직 노즐관들과 교번적으로 배치되고 상기 기판의 저면에 수직한 방향을 기준으로 15°~ 45°의 제1 경사각 방향으로 공기를 분사하여 상기 부상된 기판을 이송시키는 다수의 노즐들을 가지는 다수의 하부 경사 노즐관들; 상기 기판의 양측면에 대향하게 배치되어 상기 기판의 양측면과 수직한 방향으로 공기를 분사하는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 측방 수직 노즐관들; 상기 기판의 양측면에 상기 제1 경사각 방향으로 공기를 분사하는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 측방 경사 노즐관들; 상기 노즐관들 각각을 개폐하는 다수의 밸브들; 상기 노즐관들로 공기를 공급하는 공기 공급원; 상기 기판의 이송 경로 상에 설치되어 상기 기판을 감지하는 다수의 센서들; 및 상기 센서들의 신호에 응답하여 상기 밸브들을 개폐하여 상기 노즐관들에 공급되는 공기를 단속하는 제어부를 구비한다.

Description

평판표시소자의 기판 이송장치{Apparatus For Transporting Glass Of Flat Panel Display}
도 1은 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치를 나타내는 사시도.
도 3은 도 2의 부상부, 이송부, 및 얼라인부를 상세히 나타내는 도면.
도 4 및 도 5는 도 2의 센서부 및 제어부를 설명하기 위한 도면.
도 6은 도 2의 제어부의 제어과정을 설명하기 위한 흐름도.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 동작을 설명하기 위한 도면.
도 9 및 도 10은 도 3의 하부 경사 노즐관들의 회전을 설명하기 위한 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110: 기판 120: 부상부
122: 하부 수직 노즐관 124: 하부 수직 노즐
126: 제1 하부 분배관 130: 이송부
132: 하부 경사 노즐관 134: 하부 경사 노즐
136: 제2 하부 분배관 140: 얼라인부
141: 제1 측방 수직 노즐관 142: 제1 측방 수직 노즐
143: 제1 측방 경사 노즐관 144: 제1 측방 경사 노즐
146: 제2 측방 수직 노즐관 147: 제2 측방 수직 노즐
148: 제2 측방 경사 노즐관 149: 제2 측방 경사 노즐
150: 밸브부 151,152: 하부 밸브
153,154,155,156: 측방 밸브 160: 센서부
162,164,166,168: 센서 170: 제어부
180: 공통 유입관 185: 공기 공급원
190: 프레임 210: 링크
212: 중심부 214: 힌지축
216: 고정축 220: 에어실린더
222: 피스톤로드 230: 가동바
240: 고정바 250: 지지프레임
본 발명은 평판표시소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히 기판의 이송 경로 상에서 기판과 이송장치의 접촉을 최소화할 수 있도록 한 평판표시소자의 기판 이송장치에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 표시소자는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 어느 때보다 강조되고 있다. 현재 주류를 이루고 있는 음극선관(Cathode Ray Tube) 또는 브라운관은 무게와 부피가 큰 문제점이 있어, 이를 대체할 수 있는 다양한 평판표시소자가 실용화되어 시판되고 있다.
평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 전계발광소자(Electroluminescence : EL) 등이 있다.
이 중 액정표시소자는 전자제품의 경박단소 추세를 만족할 수 있고 양산성이 향상되고 있어 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다.
특히, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, "TFT"라 한다)를 이용하여 액정셀을 구동하는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 화질이 우수하고 소비전력이 낮은 장점이 있으며, 최근의 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도로 급속히 발전하고 있다.
이러한 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 도 1과 같이 액정층(15)을 사이에 두고 합착되는 컬러필터 기판(22)과 TFT 어레이 기판(23)을 구비한다. 도 1에 도시된 액정표시소자는 전체 유효화면의 일부를 나타낸 것이다.
컬러필터 기판(22)에는 상부 유리기판(12)의 배면 상에 도시하지 않은 블랙 매트릭스, 컬러필터(13)와 공통전극(14)이 형성된다. 상부 유리기판(12)의 전면 상에는 편광판(11)이 부착된다. 컬러필터(13)는 적(R), 녹(G) 및 청(B) 색의 컬러필터를 포함하여 특정 파장대역의 가시광을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다.
TFT 어레이 기판(23)에는 하부 유리기판(16)의 전면에 데이터라인들(19)과 게이트라인들(18)이 상호 교차되며, 그 교차부에 TFT들(20)이 형성된다. 그리고 하부 유리기판(16)의 전면에는 데이터라인(19)과 게이트라인(18) 사이의 셀 영역에 화소전극(21)이 형성된다. TFT(20)는 게이트라인(18)으로부터의 스캐닝신호에 응답하여 데이터라인(19)과 화소전극(21) 사이의 데이터 전송패스를 절환함으로써 화소전극(21)을 구동하게 된다. TFT 어레이 기판(23)의 배면에는 편광판(17)이 부착된다.
액정층(15)은 자신에게 인가된 전계에 의해 TFT 어레이 기판(23)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절한다.
컬러필터 기판(22)과 TFT 기판(23) 상에 부착된 편광판들(11,17)은 어느 한 방향으로 편광된 빛을 투과시키게 되며, 액정(15)이 90°TN 모드일 때 그들의 편광방향은 서로 직교하게 된다.
컬러필터 기판(22)과 어레이 TFT 기판(23)의 액정 대향면들에는 도시하지 않은 배향막이 형성된다.
액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자를 제조하기 위한 제조공정은 기판 세정, 기판 패터닝 공정, 배향막형성/러빙 공정, 기판합착/액정주입 공정, 실장 공정, 검사 공정, 리페어(Repair) 공정 등으로 나누어진다. 기판세정 공정은 액정표 시소자의 기판 표면에 오염된 이물질을 세정액으로 제거한다. 기판 패터닝 공정은 컬러필터 기판의 패터닝 공정과 TFT 어레이 기판의 패터닝 공정으로 나뉘어 실시된다. 배향막형성/러빙 공정은 컬러필터 기판과 TFT 어레이 기판 각각에 배향막을 도포하고 그 배향막을 러빙포 등으로 러빙하게 된다. 기판합착/액정주입 공정은 실재(Sealant)를 이용하여 컬러필터 기판과 TFT 어레이기판을 합착하고 액정주입구를 통하여 액정과 스페이서를 주입한 다음, 그 액정주입구를 봉지한다. 실장공정은 게이트 드라이브 집적회로 및 데이터 드라이브 집적회로 등의 집적회로가 실장된 테이프 케리어 패키지(Tape Carrier Package : 이하, "TCP"라 한다)를 기판 상의 패드부에 접속시키게 된다. 이러한 드라이브 집적회로는 전술한 TCP를 이용한 테이프 오토메이티드 본딩(Tape Automated Bonding) 방식 이외에 칩 온 글라스(Chip On Glass, COG) 방식 등으로 기판상에 직접 실장될 수도 있다. 검사 공정은 TFT 어레이 기판에 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선과 화소전극이 형성된 후에 실시되는 전기적 검사와 기판합착/액정주입 공정 후에 실시되는 전기적검사 및 육안검사를 포함한다. 리페어 공정은 검사 공정에 의해 리페어가 가능한 것으로 판정된 기판에 대한 복원을 실시한다. 검사 공정에서 리페어가 불가능한 기판들은 폐기처분된다.
이러한 일련의 제조공정을 통해 제조되는 액정표시소자는 고 정밀도 및 고 청정도 가공을 요구하므로 그 제조과정에서의 불량방지가 매우 중요한 문제로 대두된다. 따라서, 해당 공정장비 내에서의 공정시 뿐만 아니라, 공정장비들 사이에서의 기판 이송 시에도 불량방지에 대한 엄격한 관리가 요구되고 있다.
그런데, 종래의 기판 이송장치는 로울러 이송 방식을 채용함으로써 기판과 로울러의 직접 접촉으로 인하여 기판에 스크래치, 정전기, 오염 입자 등이 발생하여 기판의 불량을 야기하는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하고자 안출된 것으로써, 공기를 이용하여 기판을 부상시켜 이송시킬 수 있도록 한 평판표시소자의 기판 이송장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 기판의 아래에 배치되어 상기 기판의 저면에 수직한 방향으로 공기를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 하부 수직 노즐관들; 상기 다수의 하부 수직 노즐관들과 교번적으로 배치되도록 상기 기판의 아래에 배치되고 상기 기판의 저면에 수직한 방향을 기준으로 15°~ 45°의 제1 경사각 방향으로 공기를 분사하여 상기 부상된 기판을 이송시키는 다수의 노즐들을 가지는 다수의 하부 경사 노즐관들; 상기 기판의 양측면에 대향하게 배치되어 상기 기판의 양측면과 수직한 방향으로 공기를 분사하는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 측방 수직 노즐관들; 상기 기판의 양측면에 상기 제1 경사각 방향으로 공기를 분사하는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 측방 경사 노즐관들; 상기 노즐관들 각각을 개폐하는 다수의 밸브들; 상기 노즐관들로 공기를 공급하는 공기 공급원; 상기 기판의 이송 경로 상에 설치되어 상기 기판을 감지하는 다수의 센서들; 및 상기 센서들의 신호에 응답하여 상기 밸브들을 개폐하여 상기 노즐관들에 공급되는 공기를 단속하는 제어부를 구비한다.
본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 상기 하부 경사 노즐관들의 위에 배치된 가동바; 상기 하부 경사 노즐관들의 아래에 배치된 고정바; 상기 가동바와 상기 고정바에 양 끝단이 연결되고 상기 하부 경사 노즐관들 각각에 자신의 중심부가 연결되며 상기 가동바에 연동하여 상기 고정바와의 연결부를 중심으로 회동함으로써 상기 하부 경사 노즐관들을 회전시키는 다수의 링크들; 및 상기 가동바에 연결되어 상기 가동바를 진퇴운동시키는 에어실린더를 더 구비하며; 상기 하부 경사 노즐관들은 상기 기판의 저면에 수직한 방향을 기준으로 상기 제1 경사각으로부터 상기 제1 경사각과 동위각을 이루는 제2 경사각까지 회전된다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 2 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 부상부, 이송부, 및 얼라인부를 상세히 나타내는 도면이며, 도 4 및 도 5는 도 2의 센서부 및 제어부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 유입되는 공기를 이용하여 기판(110)을 부상시키는 부상부(120)와, 부상부(120)에 의해 부상된 기판(110)을 소정의 방향으로 이송하기 위한 이송부(130)와, 기판(110)의 부상 및 이송시 기판(110)의 이탈을 방지하기 위한 얼라인부(140)와, 제어부(170)로부터의 제어신호에 응답하여 부상부(120)와 이송부(130) 및 얼라인부(140)로의 공기 유입을 단속하는 밸브부(150)와, 기판(110)을 감지하기 위한 센서부(160)와, 센서부(160)로부터의 기판 감지신호에 따라 밸브부(150)를 제어하는 제어부(170)와, 공통 유입관(180)을 통해 부상부(120)와 이송부(130) 및 얼라인부(140)로 공기를 공급하는 공기 공급원(185)과, 부상부(120)와 이송부(130) 및 얼라인부(140)등을 지지하기 위한 프레임(190)을 구비한다.
부상부(120)는 도 3과 같이 기판(110)의 저면에 배치된 다수의 하부 수직 노즐관들(122)과, 하부 수직 노즐관들(122) 각각에 기판(110)의 저면과 수직한 방향으로 다수개 연결되어 상기 기판(110)의 저면에 공기를 분사하는 다수의 하부 수직 노즐들(124)과, 하부 수직 노즐관들(122)에 공통으로 공기를 공급하는 제1 하부 분배관(126)을 구비한다. 이러한 부상부(120)는 후술할 제1 하부 밸브들(151)의 개구 동작에 따라 제1 하부 분배관(126)으로부터 하부 수직 노즐관들(122)로 유입되는 공기를 다수의 하부 수직 노즐들(124)을 통해 기판(110)의 저면에 수직한 방향으로 분사함으로써, 기판(110)을 부상시키는 역할을 한다.
이송부(130)는 도 3과 같이 기판(110)의 저면에 배치된 다수의 하부 경사 노즐관들(132)과, 하부 경사 노즐관들(132) 각각에 기판(110)의 저면과 소정의 경사진 방향으로 다수개 연결되어 기판(110)의 저면에 공기를 분사하는 다수의 하부 경 사 노즐들(134)과, 하부 경사 노즐관들(132)에 공통으로 공기를 공급하는 제2 하부 분배관(136)을 구비한다. 이러한 이송부(130)는 후술할 제2 하부 밸브들(152)의 개구 동작에 따라 제2 하부 분배관(136)으로부터 하부 경사 노즐관들(132)로 유입되는 공기를 다수의 하부 경사 노즐들(134)을 통해 기판(110)의 저면에 대해 소정의 경사진 방향으로 분사함으로써, 기판(110)을 소정 방향으로 이송시키는 역할을 한다. 한편, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치는 하부 경사 노즐관들 각각을 피스톤로드의 진퇴 운동에 연동시켜 소정의 제1 경사각으로부터 기판(110)의 저면에 수직한 방향을 기준으로 제1 경사각과 동위각을 이루는 소정의 제2 경사각까지 회전시킬 수도 있다. 이에 대해서는 도 9 및 도 10을 참조하여 후술하기로 한다.
얼라인부(140)는 도 3과 같이 기판(110)의 일측 측면에 배치된 다수의 제1 측방 수직 노즐관들(141)과, 제1 측방 수직 노즐관들(141) 각각에 기판(110)의 일 측면과 수직한 방향으로 연결되어 기판(110)의 일 측면에 공기를 분사하는 다수의 제1 측방 수직 노즐들(142)과, 기판(110)의 일 측면에 배치된 다수의 제1 측방 경사 노즐관들(143)과, 제1 측방 수직 노즐관들(143) 각각에 기판(110)의 일 측면과 소정의 경사진 방향으로 연결되어 기판(110)의 일 측면에 공기를 분사하는 다수의 제1 측방 경사 노즐들(144)과, 제1 측방 수직 노즐관들(141)과 제1 측방 경사 노즐관들(143)에 공통으로 공기를 공급하는 제1 측방 분배관(145a)을 구비한다.
또한, 얼라인부(140)는 기판(110)의 타측 측면에 배치된 다수의 제2 측방 수직 노즐관들(146)과, 제2 측방 수직 노즐관들(146) 각각에 기판(110)의 타 측면과 수직한 방향으로 연결되어 기판(110)의 타 측면에 공기를 분사하는 다수의 제2 측방 수직 노즐들(147)과, 기판(110)의 타 측면에 배치된 다수의 제2 측방 경사 노즐관들(148)과, 제2 측방 수직 노즐관들(148) 각각에 기판(110)의 타 측면과 소정의 경사진 방향으로 다수개 연결되어 기판(110)의 타 측면에 공기를 분사하는 다수의 제2 측방 경사 노즐들(149)과, 제2 측방 수직 노즐관들(146)과 제2 측방 경사 노즐관들(148)에 공통으로 공기를 공급하는 제2 측방 분배관(145b)을 구비한다.
이러한 얼라인부(140)는 후술할 제1 및 제3 측방 밸브들(153,155)의 개구 동작에 따라 기판(110)의 양측면에 수직한 방향으로 공기를 분사하여 부상부(120)에 의한 기판(110) 부상시 기판(110)의 이탈을 방지함과 아울러, 후술할 제2 및 제4 측방 밸브들(154,156)의 개구 동작에 따라 기판(110)의 양측면에 대해 소정의 경사진 방향으로 공기를 분사하여 이송부(130)에 의한 기판(110) 이송시 기판(110)의 이탈을 방지하는 역할을 한다.
밸브부(150)는 도 3과 같이 하부 수직 노즐관들(122) 각각을 개폐하여 제1 하부 분배관(126)으로부터 하부 수직 노즐관들(122)로 공급되는 공기를 조절하는 다수의 제1 하부 밸브들(151)과, 하부 경사 노즐관들(132) 각각을 개폐하여 제2 하부 분배관(136)으로부터 하부 경사 노즐관들(132)로 공급되는 공기를 조절하는 다수의 제2 하부 밸브들(152)과, 제1 측방 수직 노즐관들(141) 각각을 개폐하여 제1 측방 분배관(154a)으로부터 제1 측방 수직 노즐관들(141)로 공급되는 공기를 조절하는 다수의 제1 측방 밸브들(153)과, 제1 측방 경사 노즐관들(143) 각각을 개폐하여 제1 측방 분배관(154a)으로부터 제1 측방 경사 노즐관들(143)로 공급되는 공기 를 조절하는 다수의 제2 측방 밸브들(154)과, 제2 측방 수직 노즐관들(147) 각각을 개폐하여 제2 측방 분배관(154b)으로부터 제2 측방 수직 노즐관들(147)로 공급되는 공기를 조절하는 다수의 제3 측방 밸브들(155)과, 제2 측방 경사 노즐관들(149) 각각을 개폐하여 제2 측방 분배관(154b)으로부터 제2 측방 경사 노즐관들(149)로 공급되는 공기를 조절하는 다수의 제4 측방 밸브들(156)을 구비한다. 이러한 밸브부(150)는 제어부(170)의 제어하에 개폐되어 분배관으로부터 노즐관으로 공급되는 공기를 단속한다.
센서부(160)는 도 3과 같이 하부 수직 노즐관들(122) 각각에 적어도 하나 이상 취부된 다수의 제1 센서들(162)과, 하부 경사 노즐관들(132) 각각에 적어도 하나 이상 취부된 다수의 제2 센선들(164)과, 제1 및 제2 측방 수직 노즐관들(141,146) 각각에 취부된 제3 센서들(166)과, 제1 및 제2 측방 경사 노즐관들(143,148) 각각에 취부된 제4 센서들(168)을 구비한다. 이러한 센서부(160)는 다수의 센서들을 이용하여 기판의 저면 및 측면에서 기판을 감지하고, 기판 감지신호를 발생하여 제어부(170)로 공급하는 역할을 한다. 여기서, 센서부(160)는 초음파 센서를 포함하여 기판을 감지할 수 있는 공지의 어떠한 센서로도 구현 가능하다. 일 예로, 초음파 센서는 제어부(170)의 제어 신호에 응답하여 초음파 신호를 발진하여 증폭한 후 주기적으로 기판(110)으로 발사한다. 그리고, 초음파 센서는 기판(110)에 반사되어 피드백되는 초음파신호를 수신한 후 제어부(170)로 공급한다.
제어부(170)는 도 4 및 도 5와 같이 센서부(160)로부터의 기판 감지신호에 응답하여 밸브부(150)를 PLC(Program Logic Control) 방식으로 제어한다. 이를 상세히 설명하면, 제어부(170)는 제1 센서들(162)로부터의 기판 감지신호 유무에 따라 제1 하부 밸브들(151)을 개폐시키고, 제2 센서들(164)로부터의 기판 감지신호 유무에 따라 제2 하부 밸브들(152)을 개폐시킨다. 또한, 제어부(170)는 제3 센서들(166)로부터의 기판 감지신호 유무에 따라 제1 및 제3 측방 밸브들(153,155)을 개폐시키고, 제4 센서들(168)로부터의 기판 감지신호 유무에 따라 제2 및 제4 측방 밸브들(154,156)을 개폐시킨다. 이에 따라, 다수의 수직 및 경사 노즐관들(122,132,141,143,146,148)로 공급되는 공기가 조절된다. 또한, 제어부(170)는 기판의 하부 및 측방에 위치하는 노즐관들의 밸브들에 대해 제1 하부 밸브들(151)과 제1 및 제3 측방 밸브들(153,155)을 동시에 제어하고, 제2 하부 밸브들(152)과 제2 및 제4 측방 밸브들(154,156)을 동시에 제어한다. 이때, 이송되는 기판의 사이즈(Size)를 고려하여 동시에 제어되는 밸브들의 갯수는 조정될 수 있다. 예를 들어, 기판의 사이즈가 작은 경우에는 상술한 밸브들이 각각 1 개씩 동시에 제어될 수 있고, 기판의 사이즈가 큰 경우에는 상술한 밸브들이 각각 3개씩 동시에 제어될 수 있다. 제어부(170)의 구체적인 제어과정에 대해서는 도 5를 참조하여 후술하기로 한다.
공기 공급원(185)은 공통 유입관(180)을 통해 부상부(120)와 이송부(130) 및 얼라인부(140)로 공기를 공급한다. 공기 공급원(185)은 공기를 발생하여 일정한 압력으로 부상부(120)와 이송부(130) 및 얼라인부(140)의 분배관들(126,136,145a,145b)로 공기를 공급한다. 여기서, 공기 공급원(185)의 공급 압 력은 조절 가능하며, 이러한 압력 조절에 의해 기판(110)의 부상 높이 및 기판(110)의 이송 속도가 결정된다. 공기 공급원(185)과 분배관들(126,136,145a,145b) 사이 즉, 공통 유입관(180) 내에는 공급 공기 중에 섞인 이물질을 필터링하기 위해 필터가 더 구비될 수도 있다.
프레임(190)은 부상부(120)와 이송부(130) 및 얼라인부(140)등을 지지한다. 다수의 분배관들(126,136,145a,145b)은 프레임(190)내에 구획될 수도 있고, 프레임(190) 바깥으로 돌출될 수도 있다.
도 6은 도 2의 제어부(170)의 제어과정을 설명하기 위한 흐름도이며, 도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 제어부(170)는 센서부(160)로부터 실시간적으로 공급되는 기판 감지신호를 이용하여 기판(110)의 저면이 하부 노즐관들(122,132)의 상부에 위치되는지 여부를 판단함과 아울러, 기판(110)의 측면이 양측의 측방 노즐관들(141,143,146,148) 사이에 위치되는지 여부를 판단한다(S50).
기판(110)의 저면이 하부 노즐관들(122,132)의 상부에 위치되고 기판(110)의 측면이 양측의 측방 노즐관들(141,143,146,148) 사이에 위치되면, 제어부(170)는 기판(110)의 하부 및 측면에 대응되는 노즐관들 중 수직 노즐관들의 밸브들(151,153,155)을 개구시킨다(S52). 개구된 밸브들(151,153,155)에 의해 유입된 공기는 하부 수직 노즐들(124)을 통해 분사됨으로써 도 7과 같이 기판(110)을 부상시킨다. 그리고, 유입된 공기는 측방 수직 노즐들(142,147)을 통해 분사됨으로써 도 7과 같이 부상시 기판(110)의 이탈을 방지한다.
기판(110)의 부상이 완료되면, 제어부(170)는 기판(110)의 하부 및 측면에 대응되는 노즐관들 중 수직 노즐관들의 밸브들(151,153,155)을 계속해서 개구시킴과 아울러, 이와 동시에 기판(110)의 하부 및 측면에 대응되는 노즐관들 중 경사 노즐관들의 밸브들(152,154,156)을 개구시킨다(S54). 개구된 밸브들(152,154,156)에 의해 유입된 공기는 하부 경사 노즐들(134)을 통해 분사됨으로써 도 8과 같이 기판(110)을 소정의 방향으로 이송시킨다. 그리고, 유입된 공기는 측방 경사 노즐들(144,149)을 통해 분사됨으로써 도 8과 같이 이송시 기판(110)의 이탈을 방지한다.
기판(110)이 부상된 후 이송됨에 따라, 이송 방향의 반대측에 위치하여 더 이상 기판(110)의 하부 및 측면에 위치하지 않는 밸브들은 폐구되어야 할 필요가 있고, 또한 이송 방향측에 위치하여 새롭게 기판(110)의 하부 및 측면에 위치하는 밸브들은 개구되어야 할 필요가 있다. 따라서, 제어부(170)는 센서부(160)로부터 실시간적으로 공급되는 기판 감지신호를 이용하여 기판(110)의 저면이 하부 노즐관들(122,132)의 상부에 위치되는지 여부를 계속적으로 판단함과 아울러, 기판(110)의 측면이 양측의 측방 노즐관들(141,143,146,148) 사이에 위치되는지 여부를 계속적으로 판단한다(S56).
제어부(170)는 S56 단계에서의 판단에 기초하여 기판(110)의 하부 및 측면에 더 이상 대응되지 않는 수직/경사 노즐관들의 밸브들은 폐구시키고(S58), 새롭게 기판(110)의 하부 및 측면에 대응되는 수직/경사 노즐관들의 밸브들은 개구시킨다.
도 9 및 도 10은 도 3의 하부 경사 노즐관들(132)의 회전을 설명하기 위한 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 하부 경사 노즐관들(132) 각각과 일대일로 대응되어, 중심부들(212)로 하부 경사 노즐관들(132) 각각을 관통시켜 고정시킴과 아울러 상기 중심부들(212)을 사이에 두고 일측단들 각각이 회동 가능하게 결속되고 타측단들 각각이 고정되게 결속되는 다수의 링크들(210)과, 힌지축들(214)을 통해 상기 일측단들 각각에 공통으로 연결됨과 아울러 피스톤로드(222)에 연결되는 가동바(230)와, 피스톤로드(222)를 진퇴시키는 에어실린더(220)와, 고정축들(216)을 통해 타측단들 각각에 공통으로 연결되는 고정바(240)와, 가동바(230)와 고정바(240)를 지지하는 지지프레임(250)을 더 구비한다.
에어실린더(220)는 도시하지 않은 에어실린더 제어부의 구동 제어에 의한 공기압의 유입 및 배출을 통해 피스톤로드(222)를 진퇴시킨다. 피스톤로드(222)의 진퇴 운동에 연동하여 피스톤로드(222)에 연결된 가동바(230)가 진퇴되고, 이에 따라 가동체(230)에 힌지축들(214)을 통해 회동 가능하게 결속된 링크들(210)도 고정축들(216)을 기준으로 회동하게 된다. 링크들(210)의 중심부들(212)에는 하부 경사 노즐관들(132) 각각이 관통되어 고정되므로, 링크들(210)의 회동에 의해 하부 경사 노즐관들(132) 각각이 회전하게 된다. 하부 경사 노즐관들(132)이 회전되면, 하부 경사 노즐관들(132) 각각에 연결된 하부 경사 노즐들(134)의 방향도 변화되므로, 결과적으로 피스톤로드(222)의 진퇴량 조절을 통해 기판(110)을 역방향으로도 이송시킬 수 있게 된다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치는 도 10과 같이 피스톤로드(222)의 진퇴량 조절을 통해 하부 경사 노즐관들(132) 각각을 제1 경사각(θ1)으로부터 기판(110)의 저면에 수직한 방향을 기준으로 제1 경사각(θ1)과 동위각을 이루는 제2 경사각(θ2)까지 회전시킬 수 있게 된다. 여기서, 제1 경사각(θ1)이 기판(110)을 왼쪽으로 이송시키기 위한 회전 각도라면, 제2 경사각(θ2)은 기판(110)을 오른쪽으로 이송시키기 위한 회전 각도이다. 제1 및 제2 경사각(θ1,θ2)은 기판(110)을 충분히 이송시킬 수 있는 각도, 즉 기판(110)의 저면에 수직한 방향을 기준으로 각각 양쪽으로 15° ~ 45°사이에서 조정됨이 바람직하다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 하부 경사 노즐관들(132)의 회전 정도 또는 공기 공급원(185)의 공급 압력 조정을 통해 특정 방향으로 이송 중의 기판을 정지시킬 수도 있다. 다시 말해, 하부 경사 노즐들(134)을 통해 기판(110)의 저면에 제1 경사각으로 공기를 분사하여 특정 방향으로 기판(110)이 이송될 때, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 이송 중의 기판(110)을 정지시키기 위해 하부 경사 노즐관들(132)을 회전시켜 하부 경사 노즐들(134)로 하여금 기판(110)의 저면에 제2 경사각으로 공기를 분사시킨다. 이때, 15° ~ 45°범위 내에서 제1 경사각과 다른 크기로 조정되는 제2 경사각 및/또는 분사되는 경사각 변경 전후에서의 공기 공급원(185)의 공기 공급 압력 조정을 통해 기판은 충분히 정지될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 공기를 통해 기판을 부상시킨 후 이송하여 기판 이송시 기판과 이송장치의 접촉을 최대한 줄임으로써 스크래치, 정전기, 오염 입자 등의 발생을 억제하여 기판의 불량을 방지할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 하부 경사 노즐관들 각각을 제1 경사각으로부터 기판의 저면에 수직한 방향을 기준으로 제1 경사각과 동위각을 이루는 제2 경사각까지 회전시킴으로써 기판을 역방향으로 이송시킬 수 있다.
더 나아가, 본 발명에 따른 평판표시소자의 기판 이송장치는 제1 경사각의 크기와 제2 경사각의 크기를 다르게 조정하거나, 경사각 변경 전후에 있어서의 공기 공급원의 공기 공급 압력을 다르게 조정함으로써 이송중인 기판을 정지시킬 수도 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 기판의 아래에 배치되어 상기 기판의 저면에 수직한 방향으로 공기를 분사하여 상기 기판을 부상시키는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 하부 수직 노즐관들; 상기 기판의 아래에 상기 다수의 하부 수직 노즐관들과 교번적으로 배치되고 상기 기판의 저면에 수직한 방향을 기준으로 15°~ 45°의 제1 경사각 방향으로 공기를 분사하여 상기 부상된 기판을 이송시키는 다수의 노즐들을 가지는 다수의 하부 경사 노즐관들; 상기 기판의 양측면에 대향하게 배치되어 상기 기판의 양측면과 수직한 방향으로 공기를 분사하는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 측방 수직 노즐관들; 상기 기판의 양측면에 상기 제1 경사각 방향으로 공기를 분사하는 다수의 노즐들을 갖는 다수의 측방 경사 노즐관들; 상기 노즐관들 각각을 개폐하는 다수의 밸브들; 상기 노즐관들로 공기를 공급하는 공기 공급원; 상기 기판의 이송 경로 상에 설치되어 상기 기판을 감지하는 다수의 센서들; 및 상기 센서들의 신호에 응답하여 상기 밸브들을 개폐하여 상기 노즐관들에 공급되는 공기를 단속하는 제어부;를 구비하여, 평판표시소자의 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 있어서,
    상기 하부 경사 노즐관들의 위에 배치된 가동바;
    상기 하부 경사 노즐관들의 아래에 배치된 고정바;
    상기 가동바와 상기 고정바에 양 끝단이 연결되고 상기 하부 경사 노즐관들 각각에 자신의 중심부가 연결되며 상기 가동바에 연동하여 상기 고정바와의 연결부를 중심으로 회동함으로써 상기 하부 경사 노즐관들을 회전시키는 다수의 링크들; 및
    상기 가동바에 연결되어 상기 가동바를 진퇴운동시키는 에어실린더를 더 구비하며;
    상기 하부 경사 노즐관들은 상기 기판의 저면에 수직한 방향을 기준으로 상기 제1 경사각으로부터 상기 제1 경사각과 동위각을 이루는 제2 경사각까지 회전되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 기판 이송장치.
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KR20050032019A (ko) * 2004-12-30 2005-04-06 지 . 텍 (주) 기판부상 반송장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000100896A (ja) * 1998-09-21 2000-04-07 Rohm Co Ltd ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法
KR20050032019A (ko) * 2004-12-30 2005-04-06 지 . 텍 (주) 기판부상 반송장치

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