KR20050032019A - 기판부상 반송장치 - Google Patents

기판부상 반송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20050032019A
KR20050032019A KR1020040116062A KR20040116062A KR20050032019A KR 20050032019 A KR20050032019 A KR 20050032019A KR 1020040116062 A KR1020040116062 A KR 1020040116062A KR 20040116062 A KR20040116062 A KR 20040116062A KR 20050032019 A KR20050032019 A KR 20050032019A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
solenoid valve
floating
injection
water
Prior art date
Application number
KR1020040116062A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100531209B1 (ko
Inventor
김봉석
박정규
Original Assignee
지 . 텍 (주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 지 . 텍 (주) filed Critical 지 . 텍 (주)
Priority to KR10-2004-0116062A priority Critical patent/KR100531209B1/ko
Publication of KR20050032019A publication Critical patent/KR20050032019A/ko
Priority to CNB2005800400130A priority patent/CN100480783C/zh
Priority to PCT/KR2005/003804 priority patent/WO2006070999A1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100531209B1 publication Critical patent/KR100531209B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

본 발명은 기판을 부상시켜 가공장치 또는 검사장치 등에 공급하거나 기계장치와의 사이를 반송시키기 위한 기판부상 반송장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판부상 반송장치는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부양시키는 다수의 분사모듈(20); 상기 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의해 지지판(31)에 고정시키고, 양 끝단과 베이스(34)를 체결할 수 있는 고정 브라켓(33)을 구비하는 반송모듈(30); 상기 다수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 공급을 개폐시키는 솔레노이드 밸브모듈(24); 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 공급부(25); 상기 기판(16)의 유무를 감지할 수 있는 기판감지센서(26); 및 상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)를 제어하는 제어기(27);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 기판을 부상시킨 상태에서 전진 및 후진시킴으로써 기판의 표면에서 발생하는 흠집 또는 상처로 인한 기판을 표면손상의 불량률을 최소화할 수 있는 효과를 가진다.

Description

기판부상 반송장치{A glass panel conveyance apparatus having the function for rising to the surface}
본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 TFT-LCD 및 벽걸이 TV등의 제조공정에 있어서 기판을 가공장치 또는 검사장치 등에 공급하거나 기계장치와의 사이를 반송시키기 위한 기판반송장치에 관한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 반송장치의 구성, 제어방법 및 그 문제점에 대하여 살펴보기로 한다.
도 1은 종래의 롤러를 사용하여 기판을 반송하는 기판반송장치 및 그 제어 시스템의 평면도를 도시한 것이다.
도시한 바와 같이, 종래에 롤러를 사용하는 기판반송장치는 다수의 롤러(14a)를 축(14)에 연결하고 축의 한쪽 끝에는 베어링(15)을 설치하여 축의 회전운동을 안내하고 다른 쪽에는 베어링(15)으로 지지되고 있는 풀리(12)에 고정되어 있다.
롤러(14a)를 연결하고 있는 축에 연결되어 있는 각각의 풀리는 벨트(13)에 의해 동력이 전달되어 롤러(14a)가 회전하도록 구성되어 있으며, 풀리(12)는 전동기(11)에 의하여 회전운동을 받는다. 롤러(14a)의 회전에 의해서 기판(16)은 전진 또는 후진을 하게 되어 기계장치에 기판(16)을 공급한다.
기판의 유무를 감지하는 기판감지센서(17)에 의해 기판의 위치를 확인하는 신호를 제어장치(10)의 입력포트(10a)를 통하여 입력되면 제어장치(10)는 이 신호를 사용하여 사전에 작성되어 있는 프로그램을 통하여 기판의 위치를 확인하고 출력포트(10b)를 통하여 제어신호를 출력하여 전동기(11)를 제어한다.
상기와 같은 종래의 기판의 반송장치에서는 롤러(14a)와 기판(16)이 직접 접촉하여 기판(16)이 전진 또는 후진을 하게 되므로 롤러(14a)와 기판(16)의 마찰에 의한 기판(16)의 표면이 상처를 입거나 흠집을 발생시키므로 이러한 요소들의 제품의 불량의 원인이 된다. 또한 기판(16)의 대형면적이 되면 처짐의 현상이 발생하면서 더욱더 큰 흠집을 발생시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판과 롤러의 접촉으로 인하여 발생되는 기판 표면의 상처 및 흠집을 발생을 없애기 위하여 압축공기 또는 수압을 사용하여 기판을 부상시키므로 기판을 비접촉으로 반송시킬 수 있도록 시스템을 구축할 수 있으며 압축공기 또는 수압에 의하여 부상된 상태에서 전진 또는 후진방향으로 경사지게 설치한 노즐을 통하여 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사시켜서 기판을 이동시켜서 기계장치에 공급하거나 배출시킬 수 있는 기판반송장치를 제공하는데 있다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 기판부상 반송장치는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부양시키는 다수의 분사모듈(20); 상기 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의해 지지판(31)에 고정시키고, 양 끝단과 베이스(34)를 체결할 수 있는 고정 브라켓(33)을 구비하는 반송모듈(30); 상기 다수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 공급을 개폐시키는 솔레노이드 밸브모듈(24); 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 공급부(25); 상기 기판(16)의 유무를 감지할 수 있는 기판감지센서(26); 및 상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)를 제어하는 제어기(27);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 단면도를 도시한 것으로, 분사모듈(20), 반송모듈(도 4에 도시됨), 솔레노이드 밸브(24), 압축공기 공급부(25), 센서(26) 및 제어기(27)로 이루어진다.
분사모듈(20)은 공급부(25)로부터 공급되는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판(16)을 부양시키는 수단으로, 부상분사노즐(21b), 전진분사노즐(21c) 및 후진분사노즐(21a)을 구비한다.
반송모듈(도 4에 도시됨)은 기판(16)을 반송시키는 장치로서, 복수의 분사모듈(20)을 구비하고, 상기 복수의 분사모듈(20)에 의해 분사되는 압축공기 또는 수압에 의해 상기 기판(16)을 부상시키고, 상기 부상된 기판(16)을 전진 및 후진시킨다.
솔레노이드 밸브모듈(24)은 상기 복수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 압축공기의 공급을 개폐시키는 수단으로, 부상 솔레노이드 밸브(24b), 전진 솔레노이드 밸브(24c) 및 후진 솔레노이드 밸브(24a)를 구비한다.
공급부(25)는 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 공급하는 수단이다.
기판감지센서(26)는 상기 기판(16)이 상기 반송모듈에서 반송 유무를 감지한다.
제어기(27)는 상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 솔레노이드 밸브모듈(24)을 제어한다.
상기 구성에 대한 상세한 설명은 도 3과 도 4를 통하여 설명하기로 한다.
도 3은 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부상, 전진 및 후진이 가능하도록 구성된 분사모듈(20)의 단면도를 도시한 것이다.
분사모듈(20)은 기판을 부상시킬 수 있는 부상분사노즐(21b), 상기 부상분사노즐(21b)에 대하여 소정의 경사진 각도(21d)로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사시켜서 기판을 전진시키는 전진분사노즐(21c), 상기 전진분사노즐(21c)과는 정반대(180도)의 각도로 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사시켜서 후진시키는 후진분사노즐(21a)을 구비한다.
분사 스테이지(21)와 고정판(23)은 부상, 전진, 후진에 해당하는 각각의 분사노즐(21a,21b,21c)에 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급할 수 있는 부상 주입구(23b), 전진 주입구(23c)와 후진 주입구(23a)를 구비한다.
상기 분사 스테이지(21)를 결합하고 있는 고정판(23)은 상기 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)를 이용하여 도 4에 도시된 지지판(31)과 체결할 수 있도록 구성되어 있으며, 상기 분사 스테이지(21)에 구성되어 있는 챔버 내의 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 누설을 방지하기 위하여 분사 스테이지(21)와 고정판(23) 사이에 패킹(22)이 삽입된다.
따라서, 상기 부상 주입구(23b)를 통하여 공급된 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물은 기판(16)과 분사 스테이지(21) 사이에 공기막 또는 수포막을 형성하여 비접촉을 유지시키므로 기판(16)에 상처나 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있으며 전진 주입구(23c)와 후진 주입구(23a)에 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급함으로써 기판의 전진과 후진이 가능하다.
상기 분사 스테이지(21)에 구성되어 있는 각각의 분사노즐(21a,21b,21c)은 각각의 공정 챔버에 여러 개의 노즐을 직경이 0.05 ~ 0.5 mm의 범위 내에서 구멍가공을 하여 노즐로 사용하며 기판과 전진과 후진을 위해서는 부상분사노즐(21b)에 대하여 20도 내지 70도의 각도 범위 내에서 구멍가공을 실시하여 전진분사노즐(21c)과 후진분사노즐(21a)로 사용한다.
도 4는 다수의 분사모듈(20)을 구비하는 반송모듈(30)을 베이스(34)에 설치한 조립도의 단면도를 도시한 것이다.
반송모듈(30)은 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의하여 지지판(31)에 체결하고 있다. 또한 반송모듈(30)은 고정 브라켓(33)에 의해 양 끝단이 지지판 체결볼트(32)에 의하여 고정되고 고정 브라켓(33)은 베이스(34)에 설치되어 기판반송장치를 조립한다.
기판(16)을 기계장치에 공급하고 배출하기 위해서는 상기에서 설명한 반송모듈(30)을 다수의 열로서 구성하여야 하며 기판(16)의 크기에 따라서 구축되는 반송모듈(30)의 열의 수는 달라진다.
이와 같이 반송모듈(30)은 기판(16)의 크기에 따라서 조정이 가능하며 기판(16)을 반송하는 길이에 따라서도 조정이 가능하므로 얇은 판으로 형성되어 있는 기판을 가공하기 위한 가공기계장치 또는 기판 위에 가공되어 잇는 제품의 형상을 검사하기 위한 검사장치 등에 기판을 공급하거나 배출하는데 사용하는 것이 적합하다.
도 5는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 제어방법을 도시한 것이다.
기판감지센서(26)에 의해 기판의 유무를 감지한 전기적 신호가 입력포트(27a)를 통하여 제어장치(27)에 입력되면 제어장치는 사전에 작성되어 있는 프로그램에 의해 기판의 부상, 전진, 후진에 맞도록 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 2포트 2위치 솔레노이드 밸브모듈(24)을 제어한다.
상기 2포트 2위치 솔레노이드 밸브(24a, 24b, 24c)의 P포트는 공급부(25)와 연결되어 있고 A 포트는 부상, 전진, 후진 주입구(23a,23b,23c)와 연결되어 있다.
기판(16)을 부상만 실시할 경우에는 제어장치(27)에서는 2포트 2위치 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 접속되어 있는 출력포트(27b)에 제어신호를 출력하도록 프로그램을 작성한다.
기판(16)을 전진시킬 경우에는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 전진 솔레노이드 밸브(24c)가 동시에 작동하여 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급할 수 있도록 제어기(27)에서는 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하며 기판(16)의 반송길이가 길 경우에는 기판(16)의 위치에 따라서 순차적으로 각각의 분사모듈(20)에 연결되어 있는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 전진 솔레노이드 밸브(24c)가 동작되도록 프로그램을 작성한다.
기판(16)을 후진시킬 경우에는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 후진 솔레노이드 밸브(24a)를 동시에 작동하여 압축공기를 공급할 수 있도록 제어기(27)에서는 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하며 기판(16)의 반송길이가 길 경우에는 기판(16)의 위치에 따라서 순차적으로 각각의 분사모듈(20)에 연결되어 있는 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 후진 솔레노이드 밸브(24a)가 동작되도록 프로그램을 작성한다.
이상으로, 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명에 의하면, 기판을 부상시킨 상태에서 전진 및 후진시킴으로써 기판의 표면에서 발생하는 흠집 또는 상처로 인한 기판을 표면손상의 불량률을 최소화할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 기판의 크기가 변화하더라도 부상모듈을 여러 개 설치함으로써 기판의 크기에도 쉽게 대응을 할 수 있으며 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 경사지게 분사시켜서 기판의 전진과 후진이 가능하므로 기판을 반송하기 위한 별도의 구동장치가 필요 없음으로써 청정 룸에서 작업을 할 경우에는 먼지의 발생률이 적기 때문에 깨끗한 상태에서 작업을 할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 종래의 롤러를 사용하여 기판을 반송하는 기판반송장치 및 그 제어 시스템의 평면도를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 단면도를 도시한 것이다.
도 3은 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부상, 전진 및 후진이 가능하도록 구성된 분사모듈의 단면도를 도시한 것이다.
도 4는 다수의 분사모듈을 구비하는 반송모듈을 베이스에 설치한 조립도의 단면도를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 의한 기판부상 반송장치의 제어방법을 도시한 것이다.
※ 도면 부호에 대한 간단한 설명
20 : 분사모듈 21 : 분사 스테이지
21a : 후진분사노즐 21b : 부상분사노즐
21c : 전진분사노즐 21d : 전진 및 후진노즐의 기울기
22 : 패킹 23 : 고정판
23a : 후진 주입구 23b : 부상 주입구
23c : 전진 주입구 24 : 밸브모듈
24a : 후진 솔레노이드 밸브 24b : 부상 솔레노이드 밸브
24c : 전진 솔레노이드 밸브 26 : 기판감지센서
27 : 제어장치 30 : 기판반송모듈
31 : 지지판 32 : 지지판 체결볼트
33 : 고정 브라켓 34 : 베이스

Claims (5)

  1. 기판을 반송하는 반송장치에 있어서,
    소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 분사하여 기판을 부양시키는 다수의 분사모듈(20);
    상기 다수의 분사모듈(20)을 고정판(23)에 설치되어 있는 나사(23d)에 의해 지지판(31)에 고정시키고, 양 끝단과 베이스(34)를 체결할 수 있는 고정 브라켓(33)을 구비하는 반송모듈(30);
    상기 다수의 분사모듈(20)의 노즐구멍으로 상기 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물의 공급을 개폐시키는 솔레노이드 밸브모듈(24);
    상기 솔레노이드 밸브모듈(24)로 상기 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 공급부(25);
    상기 기판(16)의 유무를 감지할 수 있는 기판감지센서(26); 및
    상기 기판감지센서(26)의 전기적 신호를 입력포트(27a)를 통하여 받아들여서 출력포트(27b)를 통하여 제어신호를 출력하여 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)를 제어하는 제어기(27);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 분사모듈은
    기판을 부상시키기 위한 부상노즐(21b), 기판을 전진시키기 위한 전진노즐(21c) 및 기판을 후진시키기 위한 후진노즐(21a)을 구비하고, 상기 노즐들(21a,21b,21c)에 소정의 압력을 갖는 공기 또는 물을 공급하는 각각의 공기 챔버를 구비하는 분사 스테이지(21);
    상기 공정 챔버의 공기 또는 물이 누설되지 않도록 상기 분사 스테이지(21)와 고정판(23) 사이에 설치되는 패킹(22); 및
    상기 분사 스테이지(21)를 고정하고 있으며 부상 주입구(23b), 전진 주입구(23c), 후진 주입구(23a)를 구비하며 지지판(31)과 체결할 수 있도록 체결나사구멍(23d)을 구비하는 고정판(23);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 부상, 전진 및 후진분사노즐(21b,21c,21a)은 각각의 직경을 0.05 ~ 0.5 mm 이내로 가공하고, 상기 전진 및 후진분사노즐(21c, 21a)은 기판의 부상을 위한 부상분사노즐(21b)에 대하여 20도 내지 70도의 각도로 경사지게 설치하는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 솔레노이드 밸브모듈(24)은
    부상 솔레노이드 밸브(24b), 전진 솔레노이드 밸브(24c) 및 후진 솔레노이드 밸브(24a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    부상 솔레노이드 밸브(24b)와 전진 솔레노이드 밸브(24c)를 동시에 동작시키고 이를 순차적으로 동작시켜서 전진 진행파를 만들어 기판을 전진시키고 부상 솔레노이드 밸브(24b)와 후진 솔레노이드 밸브(24a)를 동시에 순차적으로 작동시켜서 후진 진행파를 만들어 기판을 후진시키는 것을 특징으로 하는 기판부상 반송장치.
KR10-2004-0116062A 2004-12-30 2004-12-30 기판부상 반송장치 KR100531209B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2004-0116062A KR100531209B1 (ko) 2004-12-30 2004-12-30 기판부상 반송장치
CNB2005800400130A CN100480783C (zh) 2004-12-30 2005-11-10 玻璃面板的漂浮和输送设备
PCT/KR2005/003804 WO2006070999A1 (en) 2004-12-30 2005-11-10 Glass panel floating and conveying apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2004-0116062A KR100531209B1 (ko) 2004-12-30 2004-12-30 기판부상 반송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050032019A true KR20050032019A (ko) 2005-04-06
KR100531209B1 KR100531209B1 (ko) 2005-11-29

Family

ID=36615089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2004-0116062A KR100531209B1 (ko) 2004-12-30 2004-12-30 기판부상 반송장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR100531209B1 (ko)
CN (1) CN100480783C (ko)
WO (1) WO2006070999A1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100706534B1 (ko) * 2006-02-14 2007-04-13 (주)넥스트인스트루먼트 디스플레이 패널용 반송장치
KR100896479B1 (ko) * 2007-05-17 2009-05-08 주식회사 솔브리지텍 평판표시소자의 기판 이송장치
KR100899101B1 (ko) * 2007-10-15 2009-05-27 엠파워(주) 기판반송장치
KR100899104B1 (ko) * 2007-10-15 2009-05-27 엠파워(주) 기판반송장치

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100745029B1 (ko) * 2006-05-10 2007-08-02 이기선 공기부양식 평판 이송장치의 평판위치 제어방법
JP5151795B2 (ja) * 2008-08-08 2013-02-27 株式会社Ｉｈｉ 浮上搬送装置
CN104555348A (zh) * 2014-11-28 2015-04-29 祥鑫科技股份有限公司 气吹浮起式输料带
TWI603421B (zh) * 2016-07-04 2017-10-21 盟立自動化股份有限公司 溼式製程設備
CN108074847A (zh) * 2016-11-10 2018-05-25 英属开曼群岛商精曜有限公司 一种晶圆输送装置
CN112239083B (zh) * 2020-10-12 2022-05-06 桑宏昌 气孔换向式悬浮高精度玻璃面板传送机器人整机

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4358924B2 (ja) * 1998-11-25 2009-11-04 株式会社渡辺商行 板状基体の収納ユニットおよび収納装置
JP2000165070A (ja) * 1998-11-25 2000-06-16 Watanabe Shoko:Kk 板状基体の収納ユニットおよび収納装置
JP2002308425A (ja) * 2001-04-19 2002-10-23 Nano System Kk 板形状物搬送装置
TWI226303B (en) * 2002-04-18 2005-01-11 Olympus Corp Substrate carrying device
JP4373175B2 (ja) * 2003-10-17 2009-11-25 オリンパス株式会社 基板搬送装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100706534B1 (ko) * 2006-02-14 2007-04-13 (주)넥스트인스트루먼트 디스플레이 패널용 반송장치
KR100896479B1 (ko) * 2007-05-17 2009-05-08 주식회사 솔브리지텍 평판표시소자의 기판 이송장치
KR100899101B1 (ko) * 2007-10-15 2009-05-27 엠파워(주) 기판반송장치
KR100899104B1 (ko) * 2007-10-15 2009-05-27 엠파워(주) 기판반송장치

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006070999A1 (en) 2006-07-06
CN100480783C (zh) 2009-04-22
CN101061420A (zh) 2007-10-24
KR100531209B1 (ko) 2005-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006070999A1 (en) Glass panel floating and conveying apparatus
KR20060076715A (ko) 워크 반송 장치
KR20130058850A (ko) 글라스용 면취 가공 시스템
JP5399963B2 (ja) 基板搬送装置および基板処理装置
JP5186161B2 (ja) 塗布装置及び塗布装置のクリーニング方法
JP2010227850A (ja) 基板塗布装置および基板塗布方法
JP3682396B2 (ja) 薄板状材の定点搬送装置
KR20110097632A (ko) 액정 기판 접합 시스템
KR101737816B1 (ko) 비접촉식 기판 이송장치
US7537673B2 (en) Plasma processing apparatus
JP5642239B2 (ja) 液晶基板貼合システム
KR101085453B1 (ko) 수직형 기판 이송장치
JP2008098198A (ja) 基板搬送装置
JP2008172046A (ja) 基板浮上搬送装置
KR20050020138A (ko) 반송 시스템
JP4376641B2 (ja) エア浮上式コンベア
JP5336707B2 (ja) 浮上搬送装置
CN110676192A (zh) 基板处理装置和基板处理方法
WO2011148548A1 (ja) 平板搬送装置
KR20210000363A (ko) 인라인 공정 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법
KR100580379B1 (ko) 판유리 이송장치
KR20100035518A (ko) 기판처리장치
JP4498725B2 (ja) 浮上搬送装置
KR20150076857A (ko) 기판 처리 장치 및 방법
KR20050109259A (ko) 복수의 토출로를 가지는 노즐 및 이를 사용하여 기판을세정하는 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
G15R Request for early opening
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121119

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131204

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141111

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151104

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161102

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171117

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181113

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191113

Year of fee payment: 15