JP3682396B2 - 薄板状材の定点搬送装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板状材の定点搬送装置、更に詳しくは、液晶表示パネルを製造する為に用いられるガラス基板や、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材等のような変形し易い薄板状材の定点搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、周知のように、液晶表示パネルを製造する為にガラス基板が用いられているが、液晶表示用ディスプレーの大型化に伴って、ガラス基板のより一層の大形薄板化が推進されている。
【0003】
例えば、幅(W)が650mm、長さ(L)が830mm、板厚(t)が0.7mmのガラス基板が用いられるようになって来たと共に更に薄いガラス基板を用いることが検討されつつある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、汚染や損傷等を防止しなければならないガラス基板の大形薄板化は、基板自体が変形し易くなる為にそれの搬送を困難化し、従来の一般的な搬送技術では対応できないようになって来た。
【0005】
そこで、ガラス基板の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記ガラス基板を支持しながら搬送し得るように構成された搬送装置が用いられていたが、この搬送装置に対しては定点搬送手段の設置、すなわち、前記搬送装置のワーク取出し側一端からガラス基板を所定位置(以下、定点という。)に搬送する為の手段の設置が必要とされていた。
【0006】
ところが、前記搬送装置によりガラス基板が自重によって湾曲した状態に搬送されて来る為に、かかるガラス基板を汚染や損傷させないように前記ワーク取出し側一端から定点に搬送することの困難があって未だ十分な定点搬送装置が開発されていないのが現状である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような背景下において発明されたものであって、その目的は、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記薄板状材を受け取って定点に搬送することができる定点搬送装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明に係る薄板状材の定点搬送装置は、請求項1に記載するように、薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する搬送装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得るように装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、かつ、前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かかる傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定点部に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制限するストッパーを装着していることを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
正面図である図1において、無限軌道型搬送装置9の主要部が示されているが、この搬送装置9は、左側の駆動軸10に装着された鎖車11と、図示されていない右側(図7参照)に同様に設けられている駆動軸10に装着された鎖車11とに掛け渡された無端チェン12にフィンガー13aを一定ピッチに装着している。
【0010】
なお、同図においては、薄板状材1の一端をフィンガー13aで支持している姿が示されているにすぎないが、薄板状材1の他端も同様に、左側の駆動軸10に装着された一方の鎖車11と右側の駆動軸10に装着された他方の鎖車11とに掛け渡された無端チェンに12に一定ピッチで装着されているフィンガー13b(図6参照)で支持されている。
【0011】
より具体的には、図2において、薄板状材1の一端が右側のフィンガー13aで支持されていると共に他端が左側のフィンガー13bで支持されている。なお、一方のフィンガー13aの上端は、左側から右側へ向って下り状態に傾斜され、また、他方のフィンガー13bの上端は、右側から左側へ向って下り状態に傾斜されている。
【0012】
その為、この搬送装置9によると、一対の無端チェン12を所定方向へ回動させることにより薄板状材1を同方向へ搬送することができる。すなわち、薄板状材1の一端及び他端の下面に対してフィンガー13a,13bの上端を接触させて薄板状材1を支持し、図1において右側又は左側へ搬送することができる。
【0013】
その際、薄板状材1の下方に配設されている気体噴射テーブル4から薄板状材1の下面に向って加圧気体が噴射され、従って、薄板状材1が大形のものであっても、その搬送中等において、薄板状材1が自重によって湾曲し撓みが過大になってずれ落ちしたり或いは破損したりするといったトラブルの発生を有効に防止することができると共に、かかる撓み量の変化を略一定に保つことができて振動やうねりの発生も有効に防止することができから、発塵や騒音が発生するといった問題も解消することができる。
【0014】
なお、薄板状材1は、その例として、液晶表示パネルやプラズマ表示装置を製造する為に用いられるガラス基板、太陽電池を製造する為に用いられるアモルファスシリコン蒸着基板、回路基板を製造する為に用いられる高分子フィルム基板や金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材、又は塗装や洗浄等の処理をした未乾燥状態の金属薄板等が挙げられるが、これらは、汚染防止等の為に、その両端を支持して搬送することが必要とされる。
【0015】
その為、例えば、図3において示されているように、幅(W)、長さ(L)の前記ガラス基板にあっては、一般に、その周縁部分(dが約5mm)を支持して搬送することが許容されている。
【0016】
なお、気体噴射テーブル4に供給される気体は、一般には、浄化された空気が用いられるが、必要に応じて不活性ガス等を選択することができると共に気体噴射テーブル4に対する気体の供給は、圧縮機5を運転し管路6を経て加圧供給することができる。
【0017】
その際、気体噴射テーブル4が薄板状材1の下面に対して接近離反せしめられて所定レベルに位置決めされると共に、薄板状材1の自重による撓みが過大にならないようにその噴射量が所定に制御される。
【0018】
また、薄板状材1の下面に対する気体噴射テーブル4の接近離反は、圧縮機5等が装着されているベースプレート(図示されていない)を昇降手段(例えば、エアーシリンダー等)で水平に上下動させて行うことができる。
【0019】
更に、図示のように、薄板状材1を略水平状態に保つように加圧気体を噴射してもよいと共に加圧気体の噴射に際しては、管路6に装着されている弁(図示されていない)が開口される。この弁は、薄板状材1の有無を感知するセンサー(図示されていない)からの信号によって開閉制御される。
【0020】
なお、気体噴射テーブル4は、その延長方向に複数個が連結されているが、それらの気体噴射テーブル4からの加圧気体の噴射は、薄板状材1を略水平状態に保つように噴射することに限定されず、図4,5において示されているように、薄板状材1が湾曲した状態に保たれるように噴射してもよく、要するに、薄板状材1の自重による撓みが過大にならないように薄板状材1の下面に向って加圧気体を噴射すればよい。
【0021】
また、図5において示されているように、気体噴射テーブル4を中央部から破線で示されている右側の位置へ移動せしめたり或いはそれと反対に左側へ移動せしめたりし得るように設けてもよいと共に、薄板状材1の有無を感知するセンサーを所定位置に設けてそこを通過する直前に気体噴射テーブル4から加圧気体を噴射すると共にその通過直後において噴射停止させるようにしてもよい。
【0022】
このように、上述の搬送装置9によると、変形し易い薄板状材1を所定方向へ搬送することができるが、平面図である図6及び図6の正面図である図7において示されているように、搬送装置9のワーク取出し側一端に薄板状材1(破線で示されている)が搬送されて来ると、気体噴射用可動テーブル20の傾斜分散面20aから噴射される気体(一般に、浄化された空気であって気体噴射テーブル4に供給される気体と同じもの)によって、その前進側先端部から次第に後端部に向って浮上状態にされる。
【0023】
すなわち、図6のA−A断面図である図8において示されているように、薄板状材1がフィンガー13a,13bで支持されて湾曲した姿のままに搬送されて来ると、気体噴射用可動テーブル20の傾斜分散面20aから噴射される気体によって同図のB−B断面図である図9において示されているように、少し湾曲した状態(水平状態に近い状態)にされ、次いで、同図のC−C断面図である図10において示されているように水平浮上状態にされる。
【0024】
なお、傾斜分散面20aは、フィンガー13aが装着されている一方の無端チェン12と、フィンガー13bが装着されている他方の無端チェン12との間に位置されていると共に薄板状材1の前進方向に上り状態に傾斜せしめられて形成されているが、その傾斜角度θは15度以下に設けられている。
【0025】
その為、傾斜分散面20aに連なった水平分散面20bを形成している定点部21へ薄板状材1を水平状態に浮上させて搬送することができると共に、定点部21に装着されているストッパー22群で薄板状材1の移動を制限することができる。図6においては、このようにして定点部21に搬送された薄板状材1が破線で示されている。
【0026】
なお、傾斜分散面20aと同様に、水平分散面20bからも気体が噴射されるが、両分散面20a,20bには多数の噴射孔20cが所定パターンに設けられている。また、傾斜分散面20a及び水平分散面20bを形成し、しかも、水平分散面20bが形成されている定点部21に複数のストッパー22を装着した気体噴射用可動テーブル20は、図示されていない機構によって所定角度に回転し得ると共に昇降(上下動)し得るように装着されている支柱23に装着されている。
【0027】
その為、定点部21に薄板状材1が搬送されると、気体噴射用可動テーブル20を上昇させてフィンガー13a、13bよりも高いレベルに移動させた後、回転させることにより所定方向へ薄板状材1を配向させることができ、そして、所定方向へ配向せしめられた薄板状材1を図示されていない他の搬送装置へ供給等することができる。その際、水平分散面20bより上方のレベルに突出されているストッパー22群のうち、必要箇所のストッパーが水平分散面20bより下方のレベルへ没される。
【0028】
しかし、例えば、薄板状材1を真空吸着し得る荷役装置を使用し、それによって、定点部21において水平状態に浮上されている薄板状材1の所定箇所を吸着保持して移送する場合等においては、ストッパー22群を固定ストッパーで構成してもよい。
【0029】
また、気体噴射用可動テーブル20を必要に応じて昇降及び回転に加えて水平移動、すなわち、X軸、Y軸又はXY両軸方向へ移動し得るように装着してもよい。なお、図示されていないが、気体噴射用可動テーブル20に対して気体を供給する装置(例えば、上述の搬送装置9に装着されているような気体供給装置)が装着されている。
【0030】
一方、上述の搬送装置9においては、気体噴射テーブル4を装着するか否かは必要に応じて選択される。一般には、装着するのが好ましいが、気体噴射テーブル4を装着しても、薄板状材1を略水平状態に保つように気体噴射することが煩わしいといった欠点を完全には解消し得ない。
【0031】
しかし、本発明においては、薄板状材1の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって薄板状材1を支持しながら搬送する搬送装置9に対して気体噴射用可動テーブル20を設けている為に、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材1が湾曲した状態のままに搬送装置9のワーク取出し側一端に搬送されて来ても、かかる薄板状材1を汚染や損傷等させないように良好に定点に搬送することができる。
【0032】
なお、薄板状材1の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって薄板状材1を支持しながら搬送する搬送装置は、上述の搬送装置9に限定されず他の型式のものであってもよい。
【0033】
【発明の効果】
上述のように、本発明によると、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記薄板状材を受け取って定点に搬送することができる搬送装置を得ることができる。特に、液晶表示パネルを製造する為に用いられるガラス基板の定点搬送に好適な搬送装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】無限軌道型搬送装置の正面図である。
【図2】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄板状材を略水平状態に保っている姿を示す図である。
【図3】ガラス基板の平面図である。
【図4】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄板状材を湾曲状態に保っている姿を示す図である。
【図5】気体噴射テーブルを薄板状材の下方で水平方向へ移動させる態様を示す図である。
【図6】無限軌道型搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た薄板状材を定点部へ搬送する態様を示す平面図である。
【図7】図6の正面図である。
【図8】図6のA−A矢視図である。
【図9】図6のB−B矢視図である。
【図10】図6のC−C矢視図である。
【符号の説明】
1:薄板状材
4:気体噴射テーブル
9:無限軌道型搬送装置
11:鎖車
12:無端チェン
13a,13b:フィンガー
20:気体噴射用可動テーブル
20a:傾斜分散面
20b:水平分散面
21:定点部
22:ストッパー
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板状材の定点搬送装置、更に詳しくは、液晶表示パネルを製造する為に用いられるガラス基板や、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材等のような変形し易い薄板状材の定点搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、周知のように、液晶表示パネルを製造する為にガラス基板が用いられているが、液晶表示用ディスプレーの大型化に伴って、ガラス基板のより一層の大形薄板化が推進されている。
【0003】
例えば、幅(W)が650mm、長さ(L)が830mm、板厚(t)が0.7mmのガラス基板が用いられるようになって来たと共に更に薄いガラス基板を用いることが検討されつつある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、汚染や損傷等を防止しなければならないガラス基板の大形薄板化は、基板自体が変形し易くなる為にそれの搬送を困難化し、従来の一般的な搬送技術では対応できないようになって来た。
【0005】
そこで、ガラス基板の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記ガラス基板を支持しながら搬送し得るように構成された搬送装置が用いられていたが、この搬送装置に対しては定点搬送手段の設置、すなわち、前記搬送装置のワーク取出し側一端からガラス基板を所定位置(以下、定点という。)に搬送する為の手段の設置が必要とされていた。
【0006】
ところが、前記搬送装置によりガラス基板が自重によって湾曲した状態に搬送されて来る為に、かかるガラス基板を汚染や損傷させないように前記ワーク取出し側一端から定点に搬送することの困難があって未だ十分な定点搬送装置が開発されていないのが現状である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような背景下において発明されたものであって、その目的は、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記薄板状材を受け取って定点に搬送することができる定点搬送装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明に係る薄板状材の定点搬送装置は、請求項1に記載するように、薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する搬送装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得るように装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、かつ、前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かかる傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定点部に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制限するストッパーを装着していることを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
正面図である図1において、無限軌道型搬送装置9の主要部が示されているが、この搬送装置9は、左側の駆動軸10に装着された鎖車11と、図示されていない右側(図7参照)に同様に設けられている駆動軸10に装着された鎖車11とに掛け渡された無端チェン12にフィンガー13aを一定ピッチに装着している。
【0010】
なお、同図においては、薄板状材1の一端をフィンガー13aで支持している姿が示されているにすぎないが、薄板状材1の他端も同様に、左側の駆動軸10に装着された一方の鎖車11と右側の駆動軸10に装着された他方の鎖車11とに掛け渡された無端チェンに12に一定ピッチで装着されているフィンガー13b(図6参照)で支持されている。
【0011】
より具体的には、図2において、薄板状材1の一端が右側のフィンガー13aで支持されていると共に他端が左側のフィンガー13bで支持されている。なお、一方のフィンガー13aの上端は、左側から右側へ向って下り状態に傾斜され、また、他方のフィンガー13bの上端は、右側から左側へ向って下り状態に傾斜されている。
【0012】
その為、この搬送装置9によると、一対の無端チェン12を所定方向へ回動させることにより薄板状材1を同方向へ搬送することができる。すなわち、薄板状材1の一端及び他端の下面に対してフィンガー13a,13bの上端を接触させて薄板状材1を支持し、図1において右側又は左側へ搬送することができる。
【0013】
その際、薄板状材1の下方に配設されている気体噴射テーブル4から薄板状材1の下面に向って加圧気体が噴射され、従って、薄板状材1が大形のものであっても、その搬送中等において、薄板状材1が自重によって湾曲し撓みが過大になってずれ落ちしたり或いは破損したりするといったトラブルの発生を有効に防止することができると共に、かかる撓み量の変化を略一定に保つことができて振動やうねりの発生も有効に防止することができから、発塵や騒音が発生するといった問題も解消することができる。
【0014】
なお、薄板状材1は、その例として、液晶表示パネルやプラズマ表示装置を製造する為に用いられるガラス基板、太陽電池を製造する為に用いられるアモルファスシリコン蒸着基板、回路基板を製造する為に用いられる高分子フィルム基板や金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材、又は塗装や洗浄等の処理をした未乾燥状態の金属薄板等が挙げられるが、これらは、汚染防止等の為に、その両端を支持して搬送することが必要とされる。
【0015】
その為、例えば、図3において示されているように、幅(W)、長さ(L)の前記ガラス基板にあっては、一般に、その周縁部分(dが約5mm)を支持して搬送することが許容されている。
【0016】
なお、気体噴射テーブル4に供給される気体は、一般には、浄化された空気が用いられるが、必要に応じて不活性ガス等を選択することができると共に気体噴射テーブル4に対する気体の供給は、圧縮機5を運転し管路6を経て加圧供給することができる。
【0017】
その際、気体噴射テーブル4が薄板状材1の下面に対して接近離反せしめられて所定レベルに位置決めされると共に、薄板状材1の自重による撓みが過大にならないようにその噴射量が所定に制御される。
【0018】
また、薄板状材1の下面に対する気体噴射テーブル4の接近離反は、圧縮機5等が装着されているベースプレート(図示されていない)を昇降手段(例えば、エアーシリンダー等)で水平に上下動させて行うことができる。
【0019】
更に、図示のように、薄板状材1を略水平状態に保つように加圧気体を噴射してもよいと共に加圧気体の噴射に際しては、管路6に装着されている弁(図示されていない)が開口される。この弁は、薄板状材1の有無を感知するセンサー(図示されていない)からの信号によって開閉制御される。
【0020】
なお、気体噴射テーブル4は、その延長方向に複数個が連結されているが、それらの気体噴射テーブル4からの加圧気体の噴射は、薄板状材1を略水平状態に保つように噴射することに限定されず、図4,5において示されているように、薄板状材1が湾曲した状態に保たれるように噴射してもよく、要するに、薄板状材1の自重による撓みが過大にならないように薄板状材1の下面に向って加圧気体を噴射すればよい。
【0021】
また、図5において示されているように、気体噴射テーブル4を中央部から破線で示されている右側の位置へ移動せしめたり或いはそれと反対に左側へ移動せしめたりし得るように設けてもよいと共に、薄板状材1の有無を感知するセンサーを所定位置に設けてそこを通過する直前に気体噴射テーブル4から加圧気体を噴射すると共にその通過直後において噴射停止させるようにしてもよい。
【0022】
このように、上述の搬送装置9によると、変形し易い薄板状材1を所定方向へ搬送することができるが、平面図である図6及び図6の正面図である図7において示されているように、搬送装置9のワーク取出し側一端に薄板状材1(破線で示されている)が搬送されて来ると、気体噴射用可動テーブル20の傾斜分散面20aから噴射される気体(一般に、浄化された空気であって気体噴射テーブル4に供給される気体と同じもの)によって、その前進側先端部から次第に後端部に向って浮上状態にされる。
【0023】
すなわち、図6のA−A断面図である図8において示されているように、薄板状材1がフィンガー13a,13bで支持されて湾曲した姿のままに搬送されて来ると、気体噴射用可動テーブル20の傾斜分散面20aから噴射される気体によって同図のB−B断面図である図9において示されているように、少し湾曲した状態(水平状態に近い状態)にされ、次いで、同図のC−C断面図である図10において示されているように水平浮上状態にされる。
【0024】
なお、傾斜分散面20aは、フィンガー13aが装着されている一方の無端チェン12と、フィンガー13bが装着されている他方の無端チェン12との間に位置されていると共に薄板状材1の前進方向に上り状態に傾斜せしめられて形成されているが、その傾斜角度θは15度以下に設けられている。
【0025】
その為、傾斜分散面20aに連なった水平分散面20bを形成している定点部21へ薄板状材1を水平状態に浮上させて搬送することができると共に、定点部21に装着されているストッパー22群で薄板状材1の移動を制限することができる。図6においては、このようにして定点部21に搬送された薄板状材1が破線で示されている。
【0026】
なお、傾斜分散面20aと同様に、水平分散面20bからも気体が噴射されるが、両分散面20a,20bには多数の噴射孔20cが所定パターンに設けられている。また、傾斜分散面20a及び水平分散面20bを形成し、しかも、水平分散面20bが形成されている定点部21に複数のストッパー22を装着した気体噴射用可動テーブル20は、図示されていない機構によって所定角度に回転し得ると共に昇降(上下動)し得るように装着されている支柱23に装着されている。
【0027】
その為、定点部21に薄板状材1が搬送されると、気体噴射用可動テーブル20を上昇させてフィンガー13a、13bよりも高いレベルに移動させた後、回転させることにより所定方向へ薄板状材1を配向させることができ、そして、所定方向へ配向せしめられた薄板状材1を図示されていない他の搬送装置へ供給等することができる。その際、水平分散面20bより上方のレベルに突出されているストッパー22群のうち、必要箇所のストッパーが水平分散面20bより下方のレベルへ没される。
【0028】
しかし、例えば、薄板状材1を真空吸着し得る荷役装置を使用し、それによって、定点部21において水平状態に浮上されている薄板状材1の所定箇所を吸着保持して移送する場合等においては、ストッパー22群を固定ストッパーで構成してもよい。
【0029】
また、気体噴射用可動テーブル20を必要に応じて昇降及び回転に加えて水平移動、すなわち、X軸、Y軸又はXY両軸方向へ移動し得るように装着してもよい。なお、図示されていないが、気体噴射用可動テーブル20に対して気体を供給する装置(例えば、上述の搬送装置9に装着されているような気体供給装置)が装着されている。
【0030】
一方、上述の搬送装置9においては、気体噴射テーブル4を装着するか否かは必要に応じて選択される。一般には、装着するのが好ましいが、気体噴射テーブル4を装着しても、薄板状材1を略水平状態に保つように気体噴射することが煩わしいといった欠点を完全には解消し得ない。
【0031】
しかし、本発明においては、薄板状材1の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって薄板状材1を支持しながら搬送する搬送装置9に対して気体噴射用可動テーブル20を設けている為に、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材1が湾曲した状態のままに搬送装置9のワーク取出し側一端に搬送されて来ても、かかる薄板状材1を汚染や損傷等させないように良好に定点に搬送することができる。
【0032】
なお、薄板状材1の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって薄板状材1を支持しながら搬送する搬送装置は、上述の搬送装置9に限定されず他の型式のものであってもよい。
【0033】
【発明の効果】
上述のように、本発明によると、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記薄板状材を受け取って定点に搬送することができる搬送装置を得ることができる。特に、液晶表示パネルを製造する為に用いられるガラス基板の定点搬送に好適な搬送装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】無限軌道型搬送装置の正面図である。
【図2】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄板状材を略水平状態に保っている姿を示す図である。
【図3】ガラス基板の平面図である。
【図4】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄板状材を湾曲状態に保っている姿を示す図である。
【図5】気体噴射テーブルを薄板状材の下方で水平方向へ移動させる態様を示す図である。
【図6】無限軌道型搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た薄板状材を定点部へ搬送する態様を示す平面図である。
【図7】図6の正面図である。
【図8】図6のA−A矢視図である。
【図9】図6のB−B矢視図である。
【図10】図6のC−C矢視図である。
【符号の説明】
1:薄板状材
4:気体噴射テーブル
9:無限軌道型搬送装置
11:鎖車
12:無端チェン
13a,13b:フィンガー
20:気体噴射用可動テーブル
20a:傾斜分散面
20b:水平分散面
21:定点部
22:ストッパー
Claims (2)
- 薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する搬送装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得るように装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、かつ、前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かかる傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定点部に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制限するストッパーを装着していることを特徴とする薄板状材の定点搬送装置。
- 薄板状材がガラス基板であることを特徴とする請求項1に記載の薄板状材の定点搬送装置。
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