KR20090010371U - 비접촉 흡착플레이트 - Google Patents

Abstract

본 고안은 비접촉 흡착플레이트에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 평판디스플레이 제조를 위한 글라스 기판의 대상물을 비접촉으로 흡착하여 이송하는 장치로써, 글라스 대상물을 스크래치 없이 비접촉으로 흡착하여 지지함으로 기판의 오염물을 저감시키고, 이송중이거나 반송시에도 글라스 대상물이 견고하게 부착되어져있어 미끄러짐이 없이 고속으로 이송과 반송이 가능하다.

본 고안에서 제공하는 비접촉 흡착플레이트는 글라스 대상물인 기판을 비접촉으로 흡착이 가능하게 해주는 여러개의 흡착패드와 기판이 슬라이딩 되지않토록 가장자리를 지지해주는 스토퍼, 그리고 흡착패드와 스토퍼가 자유롭게 조정과 고정이 가능하도록 해주는 흡착플레이트로 구성되어진것을 특징으로 한다.

흡착패드, 글라스, 이송장치, 비접촉, 트랜스퍼

Description

비접촉 흡착플레이트{non contact vacuum plate}

본 고안은 비접촉 흡착플레이트에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 평판디스플레이 제조를 위한 글라스 기판의 대상물을 비접촉으로 흡착하여 이송하는 장치로써, 글라스 대상물을 스크래치 없이 비접촉으로 흡착하여 지지함으로 기판의 오염물을 저감시키고, 이송중이거나 반송시에도 글라스 대상물이 견고하게 부착되어져있어 미끄러짐이 없이 고속으로 이송과 반송이 가능하다.

상기 비접촉 흡착플레이트는 글라스 대상물인 기판을 비접촉으로 흡착이 가능하게 해주는 여러개의 흡착패드와 기판이 슬라이딩 되지않토록 가장자리를 지지해주는 스토퍼, 그리고 흡착패드와 스토퍼가 자유롭게 조정과 고정이 가능하도록 해주는 흡착 플레이트로 구성되어진것을 특징으로 한다.

평판디스플레이(TFT-LCD, PDP, OLED 등)는 세정, 증착, 에칭, 스트립등 반복적이고 복잡한 제조공정을 수없이 거쳐서 생산되며, 평판디스플레이 모재인 글라스기판은 이와 동시에 제조공정라인에서 이송, 반송, 회전, 경사등 운송공정을 순차적으로 거치게된다.

또한 대면적 평판디스플레이는 TFT-LCD 와 PDP 로 크게 나누어지며, 제품의 사용용도로 구분하면 모니터용과 TV용으로 나누어지고, 이러한 TFT-LCD 와 PDP 디스플레이는 모재인 글라스 기판을 사용하여 제조되어지게되며, 갈수록 대형화화하는 추세에 따라 디스플레이 제조사는 대면적 글라스를 사용하여야하며, 평판디스플레이를 생산하는 공정라인에서는 이송과 반송을 수없이 반복하여야한다.

일반적으로 직접 접촉으로 인한 진공흡착방식으로 이루어진 기존 글라스 기판용 이송장치는 진공흡착시에 흡착패드에 반복적인 접촉등으로 인하여 오염물이 글라스에 전이되어 제품품질에 수율이 저하되는 문제점을 가지고 있으며, 이로 인하여 흡착 성능이 우수하고, 글라스 기판의 이송속도가 빠른 비접촉 흡착플레이트 이송장치가 절실하게 요구된다.

본 고안은 공기분사를 통한 비접촉방식을 사용하여 중량물인 글라스기판을 안정되게 흡착하여 고정시키고, 또한 흡착고정된 글라스 기판을 신속하게 이송 및 반송하기 위한 비접촉 흡착플레이트를 제공하고자 한다.

글라스 기판을 흡착하여 고정하고 이송시키는 방법으로는 진공흡착패드에 의한 직접 접촉에 의한 흡착방식이 대부분 사용되고 있으며, 이로인해 스크래치와 오염물질로 인하여 제품수율에 큰 문제점이 발생되어, 본 고안에서는 글라스 기판을 비접촉으로 흡착하여 글라스 기판에 오염물이 발생하지않고, 또한 글라스 기판을 안전하게 이송 및 반송을 하기위한 목적으로 여러개의 분사용 에어노즐을 사용하여 글라스 기판을 비접촉으로 흡착하고자 한다.

본 고안인 비접촉 흡착플레이트는 글라스 기판을 비접촉으로 흡착할수가 있어 글라스기판을 공기분사하면서 흡착시에도 스크래치가 발생되지않고, 글라스기판을 흡착시에는 공기분사로 인하여 오염물질이 달라붙지 않으며, 또한 여러개의 공기분사가 가능한 흡착패드가 장착되어있어 글라스 기판을 균일하게 부착시킬수가 있으며, 그리고 공기분사로 인한 흡입압력이 일정하여 무거운 글라스 중량물 이송과 반송에도 안정된 제어가 가능한 글라스기판 이송용 흡착플레이트라 할 수가 있다.

또한 비접촉으로 공기분사하면서 글라스 기판을 흡착함으로 인해 흡착하여 이송하는 시간이 단축되어 제품 생산속도가 빠르고 효율적이며, 무거운 중량물을 비접촉으로 흡착하여 고정시킬때 편차에 의한 흔들림이나 흡착력 부족으로 인한 슬라이딩이 되지않고 견고하게 부착시켜 이송 및 반송을 행할 수가 있어, 중량물 글라스 기판 이송을 하기위해 흡착플레이트를 트랜스퍼 로봇 암에 설치하여 사용이 가능하다.

본 고안을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 평면도이며, 도 2는 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 사시도이다.

중량물 글라스기판(1)을 비접촉으로 흡착고정하여 이송 및 반송이 가능한 흡 착플레이트(6)는, 흡착 대상물인 글라스기판(1)을 비접촉으로 흡착이 가능하게 해주는 여러개의 흡착패드(4)와 글라스기판이 슬라이딩 되지않토록 가장자리를 지지해주는 스토퍼(5), 그리고 흡착패드(4)와 스토퍼(5)가 자유롭게 조정과 고정이 가능하도록 해주는 흡착 플레이트(6)로 구성된다.

상기 흡착패드(4)는 공기분사구(2)와 공기배출구(3)를 갗추었으며, 공기분사시 글라스기판(1)의 표면에 베루누이의 부압에 의해, 공기분사시에는 글라스기판(1)을 흡입하고, 또한 분사되는 공기압으로 인하여 글라스기판(1)이 흡착패드(4) 접촉면에 달라붙지 않토록 밀어내는 원리이다.

일반적으로 진공흡착하는 방법으로 글라스기판(1)을 흡착하여 고정시키면, 진공흡착용 패드에 표면과 글라스기판이 접촉되어 이물질로 인한 오염과 글라스기판 이동시에 슬라이딩되는 스크래치로 인하여 표면에 손상이 발생되기도한다.

상기 흡착플레이트(6)는 대면적 글라스기판(1)에 크기에 따라 조정이 가능하게 흡착플레이트(6)에 길게 장공(11)을 여러개 형성시켜 흡착패드(4)와 스토퍼(5)를 간단하게 이동시켜 체결 및 해제를 할 수가 있도록 구성되어 글라스기판(1) 크기에 따라서 흡착플레이트(6)를 따로 제작하지 않아도 되는 효율적인 장점이 있다.

도 3은 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 장치도이며, 도 4는 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 구성도이다.

도 3,4를 참조하면, 상기 흡착플레이트(6)는 트랜스퍼 로봇암(8)에 설치하여 사용되어지며, 평판판재(15)는 스텐레스 304 재질로써 정밀하게 가공되고, 글라스기판(1)의 흡착 정밀도를 높히기 위해서 연마후에 후처리공정으로 도금처리를 행하 여 표면조도를 향상시키며, 또한 평판판재(15)의 일측에 금속프레임(16)을 격자로 용접하여 평판판재가 휘거나 비틀리지 않토록 보강시키는 특징이 있다.

중량물인 글라스기판(1)의 트랜스퍼 로봇(7) 이송방법은 전 공정에서 처리되어진 글라스기판(1)이 롤러 이송 콘베이어로(10) 이송되면 대기중인 트랜스퍼 로봇(7)이 트랜스퍼 로봇암(8)에 설치된 흡착플레이트(6)를 사용하여 상하 이동하여 글라스기판(1)을 견고하게 흡착고정시키고 전후이송을 통하여 검사공정과 포장공정등으로 옮겨지게 되는 순서이다.

도 5는 본 고안에 의한 비접촉 공기분사 흡착패드(4) 구조도이며, 상기 흡착패드(4)는 공기분사구(2)만으로 글라스기판(1)을 비접촉으로 흡착하여 고정시킬수가 있지만, 공기배출구(3)를 통해서 흡입력을 증대시켜 글라스기판(1)을 더욱더 견고하게 흡착고정시킬수가 있다.

도 6은 본 고안에 의한 스토퍼(5) 체결 구조도이고, 상기 흡착패드(4)와 스토퍼(5)는 글라스기판(1) 크기에 따라 간단하게 흡착플레이트(6)에 고정시킨 고정볼트(12)와 고정너트(13)를 반대로 회전시키면 흡착패드(4)와 스토퍼(5)를 해제하고 원하는 지점으로 이동시켜서 체결시키는데 편리하도록 회전나사식으로 구성된다.

상기 스토퍼(5)는 흡착패드(4)가 고정된 흡착플레이트(6)가 글라스기판(1)을 공기분사하면서 비접촉으로 견고하게 흡착고정한후에, 글라스기판(1) 끝단을 안정되게 지지하여 글라스기판(1)이 비접촉으로 흡착고정된 상태에서 이송할 때에 슬라이딩을 방지하며, 또한 글라스기판(1) 가장자리가 파손되지 않토록 연질고무(14)를 스토퍼(5) 끝단에 고정하여 구성된다.

도 1은 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 평면도

도 2는 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 사시도

도 3은 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 장치도

도 4는 본 고안에 의한 비접촉 흡착플레이트 구성도

도 5는 본 고안에 의한 비접촉 공기분사 흡착패드 구조도

도 6은 본 고안에 의한 스토퍼 체결 구조도

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞

1 : 글라스기판

2 : 공기 분사구

3 : 공기 배출구

4 : 흡착패드

5 : 스토퍼

6 : 흡착플레이트

7 : 트랜스퍼 로봇

8 : 로봇암

9 : 리프트핀

10 : 콘베이어

11 : 장공

12 : 고정볼트

13 : 고정너트

14 : 연질고무

15 : 평판판재

16 : 금속프레임

Claims (4)

1. 평판디스플레이에서 사용되는 중량물 글라스기판(1)을 이송하는 장치에 있어서;

   트랜스퍼(7) 로봇암(8)에 고정시키는 사각판 형태의 흡착플레이트(6)와;

   상기 흡착플레이트(6)에 고정되어 공기분사구(2)와 공기배출구(3)를 갖춘 다수개의 흡착패드(4)와;

   상기 흡착플레이트(6)에 고정되어 글라스기판(1) 끝단을 지지하는 스토퍼(5)를 포함하여 구성되는것을 특징으로 하는 비접촉 흡착플레이트.
2. 청구항 1에 있어서;

   상기 흡착플레이트(6)에서 글라스기판(1)을 흡착하는 흡착패드(4)가 글라스기판(1) 크기에 따라서 자유롭게 조정이 가능하도록 상부에서 고정볼트(12)를 사용하여 쉽게 체결 및 해제가 가능하게 구성되어지는것을 특징으로하는 비접촉 흡착플레이트.
3. 청구항 1에 있어서;

   상기 흡착플레이트(6)에서 글라스기판(1) 끝단을 지지하는 스토퍼(5)가 글라스기판(1) 크기에 따라서 자유롭게 조정이 가능하도록 상부에서 고정너트(13)를 사용하여 쉽게 체결 및 해제가 가능하게 구성되어지는것을 특징으로 하는 비접촉 흡 착플레이트.
4. 청구항 1에 있어서

   상기 흡착플레이트(6)는 중량물인 글라스기판(1)과 유사한 흡착대상물인 플라스틱 재질의 평판 시트와 PCB 기판의 흡착고정에도 사용할 수 있도록 구성된것을 특징으로하는 비접촉 흡착플레이트.

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