CN104773407A - 一种用于装载基板的承接盘 - Google Patents

一种用于装载基板的承接盘 Download PDF

Info

Publication number
CN104773407A
CN104773407A CN201410012386.8A CN201410012386A CN104773407A CN 104773407 A CN104773407 A CN 104773407A CN 201410012386 A CN201410012386 A CN 201410012386A CN 104773407 A CN104773407 A CN 104773407A
Authority
CN
China
Prior art keywords
tray
thimble
substrate
support component
platform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410012386.8A
Other languages
English (en)
Inventor
黄章咏
刘刚
刘健行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Original Assignee
EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd filed Critical EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Priority to CN201410012386.8A priority Critical patent/CN104773407A/zh
Publication of CN104773407A publication Critical patent/CN104773407A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D88/00—Large containers
    • B65D88/34—Large containers having floating covers, e.g. floating roofs or blankets
    • B65D88/42—Large containers having floating covers, e.g. floating roofs or blankets with sealing means between cover rim and receptacle
    • B65D88/48—Large containers having floating covers, e.g. floating roofs or blankets with sealing means between cover rim and receptacle with fluid means acting on the seal
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D19/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D19/0004—Rigid pallets without side walls
    • B65D19/0053—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element
    • B65D19/0055—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface
    • B65D19/0067—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface the base surface being made of more than one element
    • B65D19/0069—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface the base surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D19/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D19/38—Details or accessories
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2519/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D2519/00004—Details relating to pallets
    • B65D2519/00258—Overall construction
    • B65D2519/00283—Overall construction of the load supporting surface
    • B65D2519/00293—Overall construction of the load supporting surface made of more than one piece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2519/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D2519/00004—Details relating to pallets
    • B65D2519/00258—Overall construction
    • B65D2519/00313—Overall construction of the base surface
    • B65D2519/00323—Overall construction of the base surface made of more than one piece

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明提供了一种用于装载基板的承接盘，其中，在所述承接盘的相对两侧设置有支撑部件，用于支撑所述基板两侧。本发明通过在承接盘上设置用于支撑基板的支撑部件，使基板被移送至保持平台时其中间部分先与平台接触，避免了空气残存于基板和保持平台之间，使得基板能够平整的存在于保持平台上，从而保证了对位精度的准确性。

Description

一种用于装载基板的承接盘
技术领域
本发明涉及平板显示器制备过程中的传送装置，具体为一种用于装载基板的承接盘。
背景技术
在平板显示器等电子元件的制备过程中，曝光、检查等步骤需将玻璃基板传送至各处理装置，这一传送步骤是由机械手臂带动载有玻璃基板的承接盘移动，并将玻璃基板放至相应的保持平台来实现的。
如图1所示，现有技术的传送系统包括承接盘1、保持平台2和机械手臂3，其中，承接盘1为一框体，由格形框构成；在保持平台2中开设有多个竖直的孔，每孔内均设置有一顶针4，顶针4能够在孔内沿竖直方向升降，在保持平台2上还设置有多个凹陷的格形沉槽5，格形沉槽5与承接盘1的格形框相对应，使得承接盘1的格形框能完全嵌入沉槽5内。
机械手臂3将载有玻璃基板6的承接盘1移至保持平台2上方后，带动承接盘1下降，下降一定高度后，玻璃基板6与保持平台2上的顶针4接触，承接盘1继续下降至完全落入保持平台2的沉槽5中，玻璃基板6则脱离承接盘1，完全由顶针4支撑，操作顶针4沿保持平台2中的孔向下运动，至顶针4完全没入孔中，此时，玻璃基板6落于保持平台2上。
现有技术的缺陷在于，玻璃基板面积较大且薄，厚度仅为0.3-0.5mm，使得其在被顶针支撑时，难以保持水平，因而在与保持平台接触时会有空气夹于玻璃基板和保持平台之间，导致玻璃基板不能平整的落于保持平台上，从而造成对位精度失准，具体如图2所示。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供了一种用于装载基板的承接盘及具有该承接盘的传送系统。
一种用于装载基板的承接盘，其中，在所述承接盘的相对两侧设置有支撑部件，用于支撑所述基板两侧。
根据本发明的一实施方式，所述支撑部件为顶针。
根据本发明的另一实施方式，所述支撑部件位置可调地安装于所述承接盘上。
根据本发明的另一实施方式，在所述承接盘上开设有十字槽，通过一紧固件能将所述支撑部件底端可调整地固定于所述十字槽中。
根据本发明的另一实施方式，在所述十字槽相对的两侧面上分别间隔开设位置相对应的多对螺孔；所述紧固件为两个螺钉，所述两个螺钉能分别穿过所述螺孔中的一对，将所述支撑部件夹持固定在所述十字槽内。
根据本发明的另一实施方式，所述紧固件为快拆件。
根据本发明的另一实施方式，所述支撑部件螺接于所述承接盘，在所述支撑部件底端设外螺纹或内螺纹孔，所述承接盘上设置有多个内螺纹孔或螺杆。
本发明进一步提供了一种基板的传送系统，包括，用于装载所述基板的承接盘；带动所述承接盘移动的机械手臂；及承接所述基板的保持平台；其特中，所述承接盘为上述任一承接盘。
根据本发明的另一实施方式，所述承接盘为一框体，包含多个格形框。
根据本发明的另一实施方式，在所述保持平台上设有多个格形沉槽，所述格形沉槽与所述承接盘的格形框相匹配。
本发明的基板的传送系统，通过在承接盘上设置用于支撑基板的支撑部件，使基板被移送至保持平台时其中间部分先与平台接触，避免了空气残存于基板和保持平台之间，使得基板能够平整的存在于保持平台上，从而保证了对位精度的准确性。
附图说明
图1为现有技术的传送系统；
图2为玻璃基板被现有技术的传送系统送到保持平台后的状态示意图；
图3为本发明实施例1的基板的传送系统的工作状态示意图；
图4为本发明实施例1的十字槽结构的俯视放大图；
图5为本发明实施例2的顶针被快拆件固定在承接盘上的示意图；
图6为本发明实施例2的快拆件扳手的结构示意图；
图7为本发明实施例3的顶针在承接盘上的俯视放大图。
其中，附图标记说明如下：
1、承接盘     2、保持平台
3、机械手臂   4、顶针
5、沉槽       6、玻璃基板
7、横框       8、竖框
9、十字槽     10、螺钉
11、扳手      12、轴
13、上垫片    14、下垫片
15、螺孔      111、本体
112、手柄     111a、耳部
111b、通孔。
具体实施方式
本发明中所提及的“横”“竖”仅用于解释两者之间的位置关系，并非用以限定本发明，下面，结合具体实施方式对本发明的基板的传送系统及用于装载基板的承接盘的具体结构做进一步说明：
本发明的基板的传送系统，包括用于装载所述基板的承接盘；带动所述承接盘移动的机械手臂；及承接所述基板的保持平台；其中，在所述承接盘上设置有用于支撑所述基板两侧的支撑部件。
在本发明中，基板的两侧指的是与基板中心部位相连的，且位置相对应的两个边缘部分，“两侧”“中间”等描述仅用于解释本发明，并非用以限定。
在本发明的实施方式中，承接盘为一框体，包含多个格形框，本发明所述的格形框指由两条相互平行的横框分别与两条相互平行的竖框相交所形成的结构，但本发明的承接盘的结构不限于此，还可以为包含条形或其它框形的框体。
在本发明的实施方式中，保持平台上设有多条格形沉槽，本发明所述的格形沉槽由两条相互平行的横向条形凹槽分别与两条相互平行的纵向条形凹槽相交形成，其形状和尺寸与承接盘的格形框相匹配，使得承接盘的格形框能完全嵌入沉槽内。
在本发明的一实施方式中，支撑部件为顶针，为便于实际作业中对不同大小玻璃基板的传送，还可以调整顶针在承接盘上的位置。
在本发明的一实施方式中，通过在承接盘上开设十字槽来调整顶针的位置，在十字槽相对的两个侧面开设位置相对应的螺孔，两个螺钉分别穿入两个螺孔，将顶针置于十字槽内两个螺钉之间，旋紧螺钉可固定顶针，可通过设置多对位置不同的螺孔来调节顶针在十字槽内的位置。
本发明的另一实施方式中，可采用在顶针的末端设置一快拆件来调节其在十字槽内的位置。
在本发明的另一实施方式中，支撑部件顶针的外部设有螺纹，在承接盘上开设有与所述螺纹相匹配的螺孔，顶针和承接盘通过螺纹配合固定在一起，可以通过在承接盘上开设多个不同位置的螺孔来调整顶针的位置。
本发明中的支撑部件不限于顶针，还可以为其它起到支撑作用的部件。
本发明中，在十字槽内用以固定支撑部件顶针的部件不限于螺钉或快拆件，还可以为夹具或其它固定部件。
以下，结合附图及具体实施例对本发明的基板的传送系统及用于装载基板的承接盘的具体结构做详细说明：
实施例1
如图3、4所示，一种基板的传送系统，包括装载玻璃基板6的承接盘1、带动承接盘1移动的机械手臂3和承接玻璃基板1的保持平台2。
承接盘1为一框体，包含多个格形框，格形框由两条相互平行的横框7分别与两条相互平行的竖框8相交形成。
在承接盘1上设置有两排相互平行的顶针4和用于固定顶针4并可以调整顶针4位置的十字槽9，十字槽9位于横框7与竖框8的相交处，在十字槽9相对的两个侧面上分别开设位置相对应的螺孔，将顶针4置于两个螺孔之间，两个螺钉10分别旋入两个螺孔，直至顶针4被两个螺钉10夹紧，在十字槽9上设置有多对上述螺孔，用以根据玻璃基板6的尺寸调节顶针4的位置。
保持平台2上开设有多条格形沉槽5，沉槽5与承接盘1的格形框相匹配，其深度可以大于或等于顶针4的长度，使得承接盘1的格形框能完全嵌入沉槽5内。
工作时，首先将玻璃基板6置于承接盘1上，承接盘1上顶针4的存在使得仅玻璃基板6的中间部分与承接盘1的格形框相接触，其两侧被顶针4支撑，形成一凹陷的曲面，如图3所示。
随后，机械手臂3将载有玻璃基板6的承接盘1移至保持平台2的上方，调整位置，使承接盘1与保持平台2上沉槽5的位置相对应，而后，机械手臂3带动承接盘1下降，至玻璃基板6的中间部分与保持平台2接触，此时，承接盘1的框体部分已完全落入沉槽5内。
继续使承接盘1下降，顶针4随之下移，直至顶针4完全落入保持平台2的沉槽5中，此时，玻璃基板6的两侧脱离顶针4的支撑，整个玻璃基板6完全落于保持平台2上，在此过程中，玻璃基板6由蜷曲状态逐渐变为水平，使得玻璃基板6两侧与保持平台2间的空气能够及时排出。
实施例2
一种基板的传送系统，包括装载玻璃基板6的承接盘1、带动承接盘1移动的机械手臂3和承接玻璃基板1的保持平台2。
承接盘1为一框体，包含多个格形框，格形框由两条相互平行的横框7分别与两条相互平行的竖框8相交形成，在承接盘1上设置有两排相互平行的顶针4，在承接盘1上设置有用于固定顶针4并可以调整顶针4位置的十字槽9，顶针4通过一快拆件固定在十字槽9内。
如图5所示，在顶针4的下端设有一快拆件，该快拆件通过开设在顶针4下端的通孔固定在顶针4上，快拆件由扳手11、轴12、上垫片13和下垫片14组成。
如图6所示，扳手11包括用于连接顶针4的本体111和带动本体111转动的手柄112，两者一体成型，本体111包括两个耳部111a，在两个耳部111a之间有一凹陷区，在耳部111a上开设有通孔111b。
将顶针4的下端置于两个耳部111a之间的凹陷区内，顶针4下端夹于两个耳部111a之间，并使顶针通孔与两个耳部通孔111b相对应，轴12依次穿过三个通孔将顶针4和本体111固定在一起，其中，顶针4和轴12为枢接，本体111和轴12为固定连接，且轴12的轴心与本体111上A点之间的距离a大于轴心与本体111上B点之间的距离b。
环绕顶针4设置有环形的上垫片13和下垫片14，上垫片13位于十字槽9的上部，下垫片14夹于十字槽9和扳手本体111之间。
当扳手11上A点位与下垫片14下方时，顶针4被上垫片13和下垫片14夹紧，固定在十字槽9上。
需要调整顶针4位置时，可将扳手11的手柄112顺时针旋转90度，本体111随之转动，A点由下垫片14的正下方移至其右下方，脱离与下垫片14的接触，而B点正好位于下垫片14的下方，由于轴12的轴心与本体111上A点之间的距离a大于轴心与本体111上B点之间的距离b，使得扳手11的B点位于下垫片14的下方无法支撑下垫片14，失去支撑的下垫片14在重力的作用下脱离与十字槽9的接触落至扳手11的B点，顶针4由夹紧状态变为放松状态，可借此调节其在十字槽9上的位置。
实施例3
一种基板的传送系统，包括装载玻璃基板6的承接盘1、带动承接盘1移动的机械手臂3和承接玻璃基板1的保持平台2。
承接盘1为一框体，包含多个格形框，格形框由两条相互平行的横框分别与两条相互平行的竖框相交形成，在承接盘上1设置有两排顶针4。
如图7所示，在顶针4的下端设有螺纹，在承接盘1的一横框上开设有多个螺孔15，顶针4和承接盘1通过螺纹配合固定在一起，可根据实际需要将顶针4与不同的螺孔15配合来调节顶针4在承接盘1上的位置。
本发明的基板的传送系统，通过在承接盘上设置用于支撑基板两侧的支撑部件，使基板被移送至保持平台时其中间部分先与平台接触，避免了空气残存于基板和保持平台之间，使得基板能够平整的存在于保持平台上，从而保证了对位精度的准确性。
除非特别限定，本发明所用术语均为本领域技术人员通常理解的含义。
本发明所描述的实施方式仅出于示例性目的，并非用以限制本发明的保护范围，本领域技术人员可在本发明的范围内作出各种其他替换、改变和改进，因而，本发明不限于上述实施方式，而仅由权利要求限定。

Claims (7)

1.一种用于装载基板的承接盘，其特征在于：在所述承接盘的相对两侧设置有支撑部件，用于支撑所述基板两侧。
2.根据权利要求1所述的承接盘，其特征在于：所述支撑部件为顶针。
3.根据权利要求1所述的承接盘，其特征在于：所述支撑部件位置可调地安装于所述承接盘上。
4.根据权利要求1至3任一项所述的承接盘，其特征在于：在所述承接盘上开设有十字槽，通过一紧固件能将所述支撑部件底端可调整地固定于所述十字槽中。
5.根据权利要求4所述的承接盘，其特征在于：在所述十字槽相对的两侧面上分别间隔开设位置相对应的多对螺孔；所述紧固件为两个螺钉，所述两个螺钉能分别穿过所述螺孔中的一对，将所述支撑部件夹持固定在所述十字槽内。
6.根据权利要求4所述的承接盘，其特征在于：所述紧固件为快拆件。
7.根据权利要求1至3任一项所述的承接盘，其特征在于，所述支撑部件螺接于所述承接盘，在所述支撑部件底端设外螺纹或内螺纹孔，所述承接盘上设置有多个内螺纹孔或螺杆。
CN201410012386.8A 2014-01-10 2014-01-10 一种用于装载基板的承接盘 Pending CN104773407A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410012386.8A CN104773407A (zh) 2014-01-10 2014-01-10 一种用于装载基板的承接盘

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410012386.8A CN104773407A (zh) 2014-01-10 2014-01-10 一种用于装载基板的承接盘

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104773407A true CN104773407A (zh) 2015-07-15

Family

ID=53615229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410012386.8A Pending CN104773407A (zh) 2014-01-10 2014-01-10 一种用于装载基板的承接盘

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104773407A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108034929A (zh) * 2017-12-27 2018-05-15 深圳市华星光电技术有限公司 一种应用于真空溅射设备的基板承载装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004036365A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Kimiko Oike 洋式トイレ用消音シート
CN1648015A (zh) * 2005-03-04 2005-08-03 友达光电股份有限公司 基板搬运架
CN101211052A (zh) * 2006-12-29 2008-07-02 Lg.菲利浦Lcd株式会社 玻璃支撑销
KR20090010371U (ko) * 2008-04-08 2009-10-13 (주)지티엔이 비접촉 흡착플레이트
CN104743361A (zh) * 2013-12-25 2015-07-01 昆山国显光电有限公司 基板传送装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004036365A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Kimiko Oike 洋式トイレ用消音シート
CN1648015A (zh) * 2005-03-04 2005-08-03 友达光电股份有限公司 基板搬运架
CN101211052A (zh) * 2006-12-29 2008-07-02 Lg.菲利浦Lcd株式会社 玻璃支撑销
KR20090010371U (ko) * 2008-04-08 2009-10-13 (주)지티엔이 비접촉 흡착플레이트
CN104743361A (zh) * 2013-12-25 2015-07-01 昆山国显光电有限公司 基板传送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108034929A (zh) * 2017-12-27 2018-05-15 深圳市华星光电技术有限公司 一种应用于真空溅射设备的基板承载装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014021176A1 (ja) プローブカードへの基板当接方法
CN105445971A (zh) 液晶显示面板的检查装置及其控制方法
US20160372343A1 (en) Substrate support device, substrate support method and vacuum drying equipment
CN202523695U (zh) 检查装置
WO2017063431A1 (zh) 用于曲面显示装置组装的治具
JP2011165912A (ja) 部品実装用装置および部品実装用装置における基板支持機構の動作状態の判定方法
AT520028A2 (de) System and Related Techniques for Handling Aligned Wafer Pairs
KR101539674B1 (ko) 기판 리프트핀 및 기판 처리 장치
US7816937B2 (en) Apparatus for testing a semiconductor package
CN104773407A (zh) 一种用于装载基板的承接盘
KR101825193B1 (ko) 카세트 정위치 자동 정렬장치
CN207242949U (zh) 一种液晶玻璃储运装架的定位装置
KR20180027683A (ko) 글래스 더미 제거 장치
JP4715497B2 (ja) ボールの搭載装置
JP2009206315A (ja) テーブルへの基板搭載装置
KR20160066741A (ko) 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법
JP7218908B2 (ja) スクライブヘッド及びスクライブ装置
JP2010182814A (ja) ウェーハ保持機構
JP7267541B2 (ja) 産業用ロボットの調整方法および測定用器具
JP2014116540A5 (zh)
KR20060118742A (ko) 웨이퍼 리프팅 장치
KR20120079982A (ko) 기판 수직 이송장치
JPH04167541A (ja) 基板の位置決め方法とその装置
JP2010118478A (ja) 基板浮上装置、及び、基板検査装置
CN109553287A (zh) 划片设备及划片方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
EXSB Decision made by sipo to initiate substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20150715