JP2004154893A

JP2004154893A - 板硝子の研磨方法および研磨装置

Info

Publication number: JP2004154893A
Application number: JP2002322674A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Kitamura; 吉一北村; Tatsuyuki Suzuki; 龍之鈴木
Original assignee: Mitsubishi Materials Techno Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Techno Corp
Priority date: 2002-11-06
Filing date: 2002-11-06
Publication date: 2004-06-03

Abstract

【課題】板硝子をその表面への異物を防止しつつ安全に保持しながら移送して研磨することにある。
【解決手段】搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出する。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板硝子の表面への直接的な接触を避けながら、この板硝子を上定盤に設置して研磨することを可能にする板硝子の研磨方法および研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶やプラズマディスプレイ等に用いられるガラス基盤は、年々大型化する傾向にあり、例えば５５０ｍｍ×７５０ｍｍ程度の大きさのが開発されてきているとともに、その厚さは例えば０．７ｍｍや１．２ｍｍ程度のより薄いものが要求されてきている。
【０００３】
また、上記ガラス基盤に用いる板硝子は、その表面に異物が付着するのを嫌うため、研磨のための搬送時においても、その縁から５ｍｍ程度の部分のみしか保持することが許されない。このため、上記板硝子を定盤に移動して研磨する場合には、その移送の際に、当該板硝子が撓んで破損する危険があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、この発明者等は、厚さが薄くかつ表面積の大きな板硝子であっても表面への異物の付着を防止しつつ安全に保持しながら移送して研磨することができるようにすることを目的として鋭意研究を行った結果、板硝子の表面を流体を介して間接的に支持することにより、上記目的を達成することできることを見出し、本発明に至った。
【０００５】
本発明は、上記研究に基づいてなされたものであり、板硝子をその表面への異物を防止しつつ安全に保持しながら移送して研磨することのできる板硝子の研磨方法および研磨装置を提供することを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の板硝子の研磨方法は、搬入ライン上の板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する搬入手段によって搬入し、この搬入された板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する第１の移送手段によって研磨処理ライン上の着脱位置に移送し、この着脱位置に移送された板硝子を上定盤の下方を向く取付面に保持させた後、上記上定盤を上記研磨処理ラインに沿う位置に設けられた上面に研磨面を有する下定盤上に移動して上記板硝子の表面を研磨してから上記上定盤を上記着脱位置に移動し、この着脱位置に移送された上記研磨後の板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する第２の移送手段によって搬出ライン側に移送し、この搬出ライン側に移送された上記研磨後の板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する搬出手段によって上記搬出ラインに搬出することを特徴としている。
【０００７】
請求項２に記載の板硝子の研磨方法は、請求項１に記載の発明において、上記搬入手段、上記第１の移送手段、上記第２の移送手段および上記搬出手段は、複数のノズルから噴出する流体の加圧力、および／または複数の吸着ディスクの噴出口から噴出する流体が上記吸着ディスクの表面と上記板硝子の表面との間に流れることによって生じる吸引力により、板硝子の表面を間接的に支持するようになっていることを特徴としている。
【０００８】
請求項３に記載の板硝子の研磨装置は、搬入ライン上の板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で搬入する搬入手段と、この搬入手段によって搬入された板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で研磨処理ライン上の着脱位置に移送する第１の移送手段と、この第１の移送手段によって着脱位置に移送された板硝子を保持する下方を向く取付面を有するとともに、上記研磨処理ラインに沿う位置に設けられた上面に研磨面を有する下定盤と上記着脱位置との間を少なくとも移動自在に構成され、上記取付面に保持した板硝子を上記下定盤上に移動して当該板硝子の表面の研磨を行う上定盤と、この上定盤によって着脱位置に移送された上記研磨後の板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で搬出ライン側に移送する第２の移送手段と、この第２の移送手段によって搬出ライン側に移送された上記研磨後の板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で上記搬出ラインに搬出する搬出手段とを備えたことを特徴としている。
【０００９】
請求項４に記載の板硝子の研磨装置は、請求項３に記載の発明において、上記搬入手段、上記第１の移送手段、第２の移送手段および上記搬出手段は、複数のノズルから噴出する流体の加圧力、および／または複数の吸着ディスクの噴出口から噴出する流体が上記吸着ディスクの表面と上記板硝子の表面との間に流れることによって生じる吸引力により、板硝子の表面を間接的に支持するようになっていることを特徴としている。
【００１０】
上記のように構成された請求項１〜４に記載の発明においては、搬入手段、第１の移送手段、第２の移送手段および搬出手段によって、板硝子の表面を間接的に保持しながら、当該板硝子を搬入ラインから上定盤に移送することができるとともに、上定盤から搬出ラインに移送することができる。この場合、搬入手段、第１の移送手段、第２の移送手段および搬出手段は、板硝子に直接接触することがないので、板硝子の表面に異物が付着するのを防止することができる。しかも、従来のように板硝子の縁部のみを保持する場合に比べて、板硝子に生じる撓みを十分に小さく抑えることができるので、当該板硝子を安定的に保持しながら移送して研磨することができる。
【００１１】
また、板硝子を搬入ライン側から着脱位置に移送するための第１の移送手段と、研磨後の板硝子を着脱位置から搬出ライン側に移送するための第２の移送手段とを備えているので、例えば第１の移送手段で搬入ライン側から着脱位置に板硝子を移送している間に、第２の移送手段で研磨後の板硝子を着脱位置から搬出ライン側に移送することができる。したがって、板硝子の研磨能率の向上を図ることができる。
【００１２】
なお、第１の移送手段と第２の移送手段とを同一のもので構成してもよい。この場合には、設備の簡素化を図ることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図８を参照して説明する。
【００１４】
（第１実施形態）
まず、この発明の第１実施形態を図１〜図６を参照して説明する。
この実施形態で示す板硝子の研磨装置は、図１〜図６に示すように、液晶やプラズマディスプレイ等のガラス基盤に用いる板硝子Ｇの表面を研磨する装置である。
【００１５】
この板硝子の研磨装置は、図１〜図３に示すように、搬入ラインＬ１上を搬送手段Ｌ１ａによって運ばれてきた板硝子Ｇを搬送手段Ｌ１ａから搬入するロード移載機（搬入手段）１と、このロード移載機１によって搬入された板硝子Ｇを研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送するロード台車（第１の移送手段）２と、ロード台車２によって着脱位置Ｌ３ａに移送された板硝子Ｇを上方から保持する上定盤３と、着脱位置Ｌ３ａに対して研磨処理ラインＬ３に沿って所定量離れた位置に設けられ、上面に研磨面４１ａを有する下定盤４と、着脱位置Ｌ３ａで上定盤３から研磨後の板硝子Ｇを受けて搬出ラインＬ２側に移動するアンロード台車（第２の移送手段）５と、このアンロード台車５によって搬出ラインＬ２側に移送された研磨後の板硝子Ｇを搬出ラインＬ２上の搬送手段Ｌ２ａに搬出するアンロード移載機（搬出手段）６とを備えている。
【００１６】
ロード移載機１は、図１、図２および図４に示すように、板硝子Ｇの一方および他方の各表面を水（流体）を介して間接的に支持することによって、搬送手段Ｌ１ａ上の板硝子Ｇを把持するとともに、回転軸１４ａを支点にして上方回りに１８０度回転することによって、板硝子Ｇを後述する軌道部７１の搬入位置７１ａに位置するロード台車２に移送するようになっている。
【００１７】
すなわち、ロード移載機１は、図１に示すように、搬入位置７１ａと搬入ラインＬ１との間に配置された一対の軌道部１１と、この軌道部１１に移動自在に設けられ、板硝子Ｇの各表面を水を介して把持するとともに１８０度回転させる把持反転部１２とを備えている。
【００１８】
把持反転部１２は、図１および図４に示すように、断面四角形状の複数の角パイプ１３と、これらの角パイプ１３の基端部を連結する連結部材１４と、各角パイプ１３に設けられた水を噴出する複数のノズル１５とを備えている。
【００１９】
角パイプ１３は、平行に対向するものが連結部材１４の軸方向に沿って複数組（この実施の形態では５組）平行に設置されている。
ノズル１５は、各角パイプ１３の平行に対向する各側面１３ａに、その側面１３ａの長手方向に沿って所定の間隔をおいて複数（この実施の形態では３つ）設けられている。そして、各ノズル１５は、角パイプ１３を介して供給される水を噴出することによって、板硝子Ｇの各表面を所定の水圧で保持するようになっている。
【００２０】
また、各ノズル１５は、角パイプ１３から供給される水の圧力によって板硝子Ｇ側に押し出されるとともに、噴出後の水の圧力によって押し戻されるようになっており、これらの押し出す力と押し戻す力の釣り合った位置に安定的に保持されるようになっている。すなわち、各ノズル１５は、板硝子Ｇに対する位置を自動的に調整することによって、板硝子Ｇを一定の水圧で安定的に保持するようになっている。なお、各ノズル１５は、水が供給されていないときには図示しないバネ（付勢部材）によって側面１３ａ側に移動するように構成されている。
【００２１】
また、連結部材１４には、図１に示すように、各角パイプ１３の先端側から挿入される板硝子Ｇの内奥の側縁に当接して、当該板硝子Ｇの内方への移動を停止させるストッパ１４ｂが設けられているとともに、当該板硝子Ｇの内奥の側縁に隣接する左右の側縁の端部に当接して、当該板硝子の左右方向への移動を停止するストッパ１４ｃが設けられている。
【００２２】
そして、連結部材１４は、軌道部１１に対して移動自在に設置された回転軸１４ａに回転自在に設けられている。
【００２３】
ロード台車２は、一対の軌道部７１上を移動自在に設けられている。軌道部７１は、研磨処理ラインＬ３に直交し、かつ当該研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａを挟んで板硝子Ｇの搬入位置７１ａから搬出位置７１ｂまで延在している。ただし、ロード台車２は、搬入位置７１ａと着脱位置Ｌ３ａとの間を移動すべく制御され、アンロード台車５は着脱位置Ｌ３ａと搬出位置７１ｂとの間を移動すべく制御されるようになっている。
【００２４】
上記ロード台車２には、図１および図５に示すように、四角形状の床部２１の上面に複数のノズル２２が設置されている。各ノズル２２は、床部２１内から供給される水を上方に噴出し、その水の圧力によって板硝子Ｇを水平に保持するようになっている。
また、床部２１上には、図５に示すように、複数のブラケット２３が立設されており、各ブラケット２３の上端部にはエアシリンダ２４が固定されている。そして、各エアシリンダ２４には、板硝子Ｇの水平方向の移動を防止するストッパ２５が設けられている。
【００２５】
各ストッパ２５は、略コ字状に形成されており、エアシリンダ２４によって前進移動した際に、そのコ字状の上下の各突部で板硝子Ｇの各表面の側縁部を所定の間隔をおいて挟むとともに、その突部間の底部で板硝子Ｇが水平に移動するのを防止するようになっている。また、エアシリンダ２４によって後退移動した際に、上記各突部を板硝子Ｇの各表面から退避させて、当該板硝子Ｇの水平方向および垂直方向への拘束を解除するようになっている。
【００２６】
また、図１において、ストッパ２５は、ロード台車２の移動方向に沿う板硝子Ｇの各側縁部を支持すべく当該各側縁部に沿って複数設けられているが、その側縁部に直交する各側縁部を支持すべく当該各側縁部に沿ってさらに複数設けることが好ましい。この点、後述するアンロード台車５の場合も同様である。
【００２７】
着脱位置Ｌ３ａには、図１〜図３に示すように、軌道部７１の下方に洗浄装置７２が設けられている。この洗浄装置７２は、水を上方に噴出する複数のノズル７２ａを有しており、上定盤３の下方を向く吸着面（取付面）３２ｃや、当該吸着面３２ｃに吸着された研磨後の板硝子Ｇの下方の表面を洗浄するようになっている。
【００２８】
上定盤３は、図５および図６に示すように、本体部３１と、この本体部３１の下面３１ａに設けられたテンプレート３２とを備えている。本体部３１には、テンプレート３２を吸着するための複数の吸着孔３１ｂが形成されているとともに、複数の連絡孔３１ｃが形成されている。そして、吸着孔３１ｂは第１の吸気ライン３１ｄに接続され、連絡孔３１ｃは第２の吸気ライン３１ｅに接続されてる。
【００２９】
テンプレート３２は、本体部３１の下面３１ａに吸着された状態において、各連絡孔３１ｃに連通し、板硝子Ｇを吸着するための吸着孔３２ａが設けられている。また、テンプレート３２には、下方に移動してロード台車２の板硝子Ｇを吸着する際にストッパ２５との当たりを避けるための凹部３２ｂが形成されている。なお、テンプレート３２の下面が板硝子Ｇの吸着面３２ｃになっている。
【００３０】
また、上定盤３は、その上下方向の軸心回りに回転駆動されるようになっているとともに、全体が上下方向および研磨処理ラインＬ３に沿う方向に移動駆動されるようになっている。
【００３１】
下定盤４は、上下方向を向く軸回りに回転駆動されるようになっており、その上面に設けられた円形状の研磨布４１上の研磨面４１ａによって、上定盤３に吸着固定された板硝子Ｇの下方の表面を研磨するようになっている。
【００３２】
アンロード台車５は、上述のように、着脱位置Ｌ３ａと搬出位置７１ｂとの間の軌道部７１上を移動駆動されるようになっており、上定盤３によって着脱位置Ｌ３ａに移送された研磨後の板硝子Ｇを着脱位置Ｌ３ａにおいて上定盤３から受け取るとともに、当該研磨後の板硝子Ｇを搬出位置７１ｂに移送するようになっている。その他、このアンロード台車５は、ロード台車２と同様の構成を有しているので、図面上においてロード台車２と同一の符号を付してその説明を省略する。
【００３３】
アンロード移載機６は、図１に示すように、搬出位置７１ｂと搬出ラインＬ２との間に配置された一対の軌道部６１と、この軌道部６１に移動自在に設けられ、搬出位置７１ｂにおけるアンロード台車５上の板硝子Ｇの各表面を水を介して把持するとともに反転させ、搬出ラインＬ２上の搬送手段Ｌ２ａに搬出する把持反転部６２とを備えている。
【００３４】
把持反転機６２は、図１および図４に示すように、把持反転機１２と同様の構成となっているので、その説明を省略する。
なお、図１において４２は、研磨布４１の研磨面４１ａを修正するためのドレサーであり、８は、軌道部７１、下定盤４等を支持するとともに、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿って移動自在に支持するフレームである。
【００３５】
次に、上記研磨装置を用いた板硝子の研磨方法を説明する。
まず、搬入ラインＬ１上を搬送手段Ｌ１ａによって搬送されてきた板硝子Ｇがロード移載機１で把持可能な位置に達すると、これが図示しないセンサによって検知され、搬送手段Ｌ１ａが停止する。そして、角パイプ１３が搬入ラインＬ１側に向けられ水平に保持された状態の把持反転機１２が搬入ラインＬ１側に移動する。そうすると、上下の角パイプ１３の各ノズル１５の間に板硝子Ｇが挿入されてゆき、当該板硝子Ｇの内奥の側縁がストッパ１４ｂに当接するとともに、その側縁に隣接する左右の側縁の端部がストッパ１４ｃに当接する。これにより、把持反転機１２における板硝子Ｇの位置が確定する。
【００３６】
また、板硝子Ｇの側縁がストッパ１４ｂに当接すると、これが図示しないセンサによって検知されることから、把持反転機１２の移動が停止し、各ノズル１５への水が供給されて、当該各ノズル１５から水が噴出する。各ノズル１５は、所定の水圧で板硝子Ｇの各表面を保持すべく、当該各表面に近接移動して安定した状態になる。
【００３７】
そこで、把持反転機１２が回転軸１４ａの回りに上方に９０度回転した後、搬入位置７１ａ側に移動してから、さらに搬入位置７１ａ側に９０度回転する。これによって、板硝子Ｇがロード台車２上に移動された状態になる。そして、ロード台車２のノズル２２から水を噴出することによって板硝子Ｇを支持するとともに、各ストッパ２５によって板硝子Ｇの水平方向の移動を規制する。その後、把持反転機１２のノズル１５への水の供給を停止し、各板硝子Ｇの各表面からノズル１５を後退させてから、ロード台車２を軌道部７１に沿って着脱位置Ｌ３ａに移動する。これにより、板硝子Ｇは把持反転機１２の各ノズル１５の間から抜き出されて着脱位置Ｌ３ａに移送された状態になる。
【００３８】
把持反転機１２は、各ノズル１５の間から板硝子Ｇが抜き出された後に、上方回りに１８０度反転して、次ぎの板硝子Ｇを搬入ラインＬ１から搬入すべく待機した状態になる。
【００３９】
一方、上定盤３は、板硝子Ｇが着脱位置Ｌ３ａに移送される前に、着脱位置Ｌ３ａにおいて下方に移動して、そのテンプレート３２の吸着面３２ｃが洗浄装置７２によって洗浄されるとともに、エアーの吹き付けによって乾燥され、所定量上方に移動して待機した状態になっている。
【００４０】
そこで、ロード台車２によって板硝子Ｇが着脱位置Ｌ３ａに移動すると、この着脱位置Ｌ３ａに移動したことが図示しないセンサによって検知され、上定盤３が下方に移動し、吸着孔３２ａに作用する負圧によって、板硝子Ｇの上方の表面をテンプレート３２の吸着面３２ｃに吸着固定する。この際、板硝子Ｇが多少上下に変動するがストッパ２５のコ字状の各突部と板硝子Ｇの表面との間に所定の隙間が空いていることから、板硝子Ｇとストッパ２５の突部とが干渉することがない。
【００４１】
そして、各ストッパ２５を板硝子Ｇから退避させた後、上定盤３を所定量上方に移動させる。その後、ロード台車２は、搬入位置７１ａに移動する。一方、上定盤３は、下定盤４の研磨布４１の上方に移動した後、回転しながら下方に移動することにより、同じく回転する研磨面４１ａ上に板硝子Ｇの下方の表面を押し当てて当該板硝子Ｇの表面を研磨する。この際、研磨剤を供給しながら研磨を行う。そして、研磨終了後、上定盤３を所定量上方に移動させ、水を用いた図示しない洗浄装置によって上定盤３および板硝子Ｇの下面を洗浄する。
【００４２】
次ぎに、上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動した後、下方に移動して、当該上定盤３および板硝子Ｇの下面を洗浄装置７２によって洗浄するとともに、エアーを吹き付けて乾燥させる。そして、上定盤３を所定量上方に移動してから、アンロード台車５を着脱位置Ｌ３ａに移動し、上定盤３を所定量下方に移動して、板硝子Ｇをアンロード台車５のノズル２２から噴出する水によって保持させるとともに、ストッパ２５を前進させて、板硝子Ｇの水平方向の移動を規制する。その後、吸着孔３２ａの圧力を負圧から所定の正圧に転換して、板硝子Ｇをテンプレート３２から分離するとともにアンロード台車５側に移行させる。そして、上定盤３を所定量上方に移動し、アンロード台車５を搬出位置７１ｂに移動する。
【００４３】
上定盤３は、アンロード台車５が着脱位置Ｌ３ａから移動した後に、当該着脱位置Ｌ３ａにおいて下方に移動し、吸着面３２ｃを洗浄装置７２によって洗浄させた後、所定量上方に移動して待機した状態になる。
【００４４】
また、アンロード移載機６は、連結部材１４が搬出ラインＬ２側に位置し、各角パイプ１３が搬出位置７１ｂ側に向けられ水平に保持された状態で待機している。そこで、アンロード台車５が搬出位置７１ｂに達したことが図示しないセンサによって検知されると、把持反転機１２が搬出位置７１ｂ側に移動し、研磨後の板硝子Ｇが上下の角パイプ１３の各ノズル１５の間に挿入される。そして、板硝子Ｇの内奥の側縁がストッパ１４ｂに当接するとともに、その内奥の側縁に隣接する側縁の端部がストッパ１４ｃに当接する。板硝子Ｇの内奥の側縁がストッパ１４ｂに当接したことが図示しないセンサによって検知されると、各ノズル１５に水が供給され、当該各ノズル１５は所定の水圧で板硝子Ｇの各表面を保持すべく、当該各表面に近接移動する。
【００４５】
それから、把持反転機１２を回転軸１４ａの回りに上方に９０度回転した後、当該把持反転機１２を軌道部６１に沿って搬出ラインＬ２側に移動する。そして、把持反転機１２をさらに搬出ラインＬ２側に９０度回転することによって、研磨後の板硝子Ｇを搬出ラインＬ２上の搬送手段Ｌ２ａに移動するとともに、当該搬送手段Ｌ２ａで板硝子Ｇを支持した状態にする。それから、把持反転機１２のノズル１５への水の供給を停止することにより、各板硝子Ｇの各表面からノズル１５を後退させ、把持反転機１２を搬出位置７１ｂ側に移動する。これにより、板硝子Ｇは、把持反転機１２の各ノズル１５の間から抜き出されて搬送手段Ｌ２ａによって支持された状態になるので、搬送手段Ｌ２ａによって次工程に搬送されることになる。
【００４６】
一方、把持反転機１２は、搬出位置７１ｂ側に移動した後、上方回りに１８０度回転するとともに搬出ラインＬ２側に移動して、次ぎの研磨後の板硝子Ｇを受け取るべく待機した状態になる。
【００４７】
以上のように構成された板硝子の研磨装置およびその研磨方法においては、ロード移載機１、ロード台車２、アンロード台車５およびアンロード移載機６によって、板硝子Ｇの表面を間接的に保持しながら、当該板硝子Ｇを搬入ラインＬ１から上定盤３に移送することができるとともに、上定盤３から搬出ラインＬ２に移送することができる。この場合、ロード移載機１、ロード台車２、アンロード台車５およびアンロード移載機６は、水を介して板硝子Ｇの表面の複数の位置を保持し、板硝子Ｇに直接接触することがないので、当該板硝子の表面に異物が付着するのを防止することができる。しかも、従来のように板硝子Ｇの縁部のみを保持する場合に比べて、板硝子Ｇに生じる撓みを十分に小さく抑えることができる。したがって、板硝子Ｇをその表面への異物を防止しつつ安定的に保持しながら移送して研磨することができる。しかも、年々大きくなる板硝子Ｇの研磨に十分対応することができる。
【００４８】
また、板硝子Ｇを搬入ラインＬ１側から着脱位置Ｌ３ａに移送するためのロード台車２と、研磨後の板硝子Ｇを着脱位置Ｌ３ａから搬出ラインＬ２側に移送するためのアンロード台車５とを備えているので、例えばロード台車２で搬入ラインＬ１側から着脱位置Ｌ３ａに板硝子Ｇを移送している間に、アンロード台車５で研磨後の板硝子Ｇを着脱位置Ｌ３ａから搬出ラインＬ２側に移送することができる。したがって、板硝子Ｇの研磨能率の向上を図ることができる。
【００４９】
なお、第１の移送手段と第２の移送手段とを同一のもので構成してもよい。この場合には、設備の簡素化を図ることができる。
【００５０】
また、ロード移載機１、ロード台車２、着脱位置Ｌ３ａ、洗浄装置７２、アンロード台車５およびアンロード移載機６等を備えた板硝子Ｇの搬入搬出に関する設備を、下定盤４に対して、図１に示す着脱位置Ｌ３ａとは反対側の位置に設けるように構成してもよい。この場合には、例えば研磨後の板硝子Ｇが一方の着脱位置Ｌ３ａに移動している際に、他方の着脱位置Ｌ３ａで保持した板硝子Ｇを下定盤４に移動させて研磨することができる。したがって、下定盤４の稼働率を向上させることができるので、板硝子Ｇの研磨能率をさらに向上させることができる。
【００５１】
さらに、ロード台車２およびアンロード台車５のノズル２２をノズル１５に代えてもよい。この場合には、板硝子Ｇを下方から支持する水圧が各ノズル１５の位置において均等になるので、板硝子Ｇに生じる撓みをより低減することができる。
【００５２】
（第２実施形態）
次ぎに、この発明の第２実施形態について、図７および図８を参照して説明する。ただし、第１実施形態で示した構成要素と共通する要素には同一の符号を付しその説明を簡略化する。
この第２実施形態で示す板硝子の研磨装置は、第１実施形態で示したロード移載機１、ロード台車２、アンロード台車５およびアンロード移載機６に代えて、ロード移載機１０、ロード台車２０、アンロード台車５０およびアンロード移載機６０を備えた構成になっている。
【００５３】
そして、ロード移載機１０は、図７に示すように、その把持反転機１２０の構成が第１実施形態で示した把持反転機１２の構成と異なっている。
すなわち、把持反転機１２０は、第１実施形態で示したノズル１５に代えて吸着ディスク１６を備えている。
吸着ディスク１６は、円板状に形成されており、その表面における円形状に広がる平面の中心部に角パイプ１３から供給される空気を噴出する吹出口１６ａを有している。この吸着ディスク１６は、その表面と板硝子Ｇの表面との間に吹出口１６ａから噴出した空気が高速で流れることによって生じる負圧により、板硝子Ｇを空気の境界層を介して間接的に吸引保持するようになっている。
【００５４】
また、吸着ディスク１６は、吹出口１６ａから放射状に広がることによって生じる空気の流速の低下により、当該空気の静圧が負圧から大気圧以上の正圧に転じる負正転換位置以上の大きさの径に設定されている。
【００５５】
そして、吸着ディスク１６は、板硝子Ｇを吸着保持することができることから、板硝子Ｇの一方の表面に配置するだけで当該板硝子Ｇを十分に保持することが可能である。このことから、把持反転機１２は、第１実施形態で示した対向する一対の角パイプ１３のうち、一方の角パイプ１３のみで構成されている。ただし、角パイプ１３は、連結部材１４の軸方向に複数（この第１実施形態では５つ）設けられている。
【００５６】
また、ストッパ１４ｂ、１４ｃ等の他の構成については、第１実施形態で示した把持反転機１２の構成と同様であるので、その説明を省略する。
【００５７】
アンロード移載機６０に設けられた把持反転機６２０も、図７に示すように、上記把持反転機１２０と同様の構成になっているので、その説明を省略する。
【００５８】
また、ロード台車２０は、図８に示すように、第１実施形態におけるロード台車２のノズル２２に代えて吸着ディスク１６を備えた構成になっている。そして、床部２１からは、吸着ディスク１６に空気が供給されるようになっている。アンロード台車５０も、図８に示すように、上記ロード台車２０と同様の構成になっているので、その説明を省略する。
【００５９】
上記研磨装置を用いた板硝子の研磨方法は、上述した第１実施形態で示した研磨方法とほぼ同じである。また、第１実施形態で水を噴出、停止するタイミングと同じタイミングで空気を噴出、停止することになる。
【００６０】
以上のように構成された板硝子の研磨装置およびその研磨方法においては、板硝子Ｇを空気を用いて間接的に支持しながら移送することができるので、水を用いて間接的に支持する場合に比べて、研磨に要するコストの低減を図ることができるとともに、作業環境の向上を図ることができる。
【００６１】
一方、吸着ディスク１６が負正転換位置以上の大きさの径に設定されているので、空気の負圧を有効に利用することができる。したがって、板硝子Ｇを強力に保持することができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１〜４に記載の発明によれば、搬入手段、第１の移送手段、第２の移送手段および搬出手段によって、板硝子の表面を間接的に保持しながら、当該板硝子を搬入ラインから上定盤に移送することができるとともに、上定盤から搬出ラインに移送することができる。この場合、搬入手段、第１の移送手段、第２の移送手段および搬出手段は、板硝子に直接接触することがないので、板硝子の表面に異物が付着するのを防止することができる。しかも、従来のように板硝子の縁部のみを保持する場合に比べて、板硝子に生じる撓みを十分に小さく抑えることができるので、当該板硝子を安定的に保持しながら移送して研磨することができる。
【００６３】
また、板硝子を搬入ライン側から着脱位置に移送するための第１の移送手段と、研磨後の板硝子を着脱位置から搬出ライン側に移送するための第２の移送手段とを備えているので、例えば第１の移送手段で搬入ライン側から着脱位置に板硝子を移送している間に、第２の移送手段で研磨後の板硝子を着脱位置から搬出ライン側に移送することができる。したがって、板硝子の研磨能率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施形態として示した板硝子の研磨装置の平面説明図である。
【図２】同板硝子の研磨装置を示す図であって、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面説明図である。
【図３】同板硝子の研磨装置を示す図であって、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面説明図である。
【図４】同板硝子の研磨装置における把持反転機の説明図である。
【図５】同板硝子の研磨装置における上定盤およびロード台車またはアンロード台車を示す説明図である。
【図６】同板硝子の研磨装置における上定盤で板硝子を吸着した状態を示す説明図である。
【図７】この発明の第２実施形態として示した板硝子の研磨装置の把持反転機を示す説明図である。
【図８】同板硝子の研磨装置における上定盤およびロード台車またはアンロード台車を示す説明図である。
【符号の説明】
１ロード移載機（搬入手段）
２ロード台車（第１の移送手段）
３上定盤
４下定盤
５アンロード台車（第２の移送手段）
６アンロード移載機（搬出手段）
１５、２２ノズル
１６吸着ディスク
１６ａ噴出口
３２ｃ吸着面（取付面）
４１ａ研磨面
Ｇ板硝子
Ｌ１搬入ライン
Ｌ２搬出ライン
Ｌ３研磨処理ライン
Ｌ３ａ着脱位置

Claims

搬入ライン上の板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する搬入手段によって搬入し、
この搬入された板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する第１の移送手段によって研磨処理ライン上の着脱位置に移送し、
この着脱位置に移送された板硝子を上定盤の下方を向く取付面に保持させた後、上記上定盤を上記研磨処理ラインに沿う位置に設けられた上面に研磨面を有する下定盤上に移動して上記板硝子の表面を研磨してから上記上定盤を上記着脱位置に移動し、
この着脱位置に移送された上記研磨後の板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する第２の移送手段によって搬出ライン側に移送し、
この搬出ライン側に移送された上記研磨後の板硝子を、当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持する搬出手段によって上記搬出ラインに搬出することを特徴とする板硝子の研磨方法。
上記搬入手段、上記第１の移送手段、上記第２の移送手段および上記搬出手段は、複数のノズルから噴出する流体の加圧力、および／または複数の吸着ディスクの噴出口から噴出する流体が上記吸着ディスクの表面と上記板硝子の表面との間に流れることによって生じる吸引力により、板硝子の表面を間接的に支持するようになっていることを特徴とする請求項１に記載の板硝子の研磨方法。
搬入ライン上の板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で搬入する搬入手段と、
この搬入手段によって搬入された板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で研磨処理ライン上の着脱位置に移送する第１の移送手段と、
この第１の移送手段によって着脱位置に移送された板硝子を保持する下方を向く取付面を有するとともに、上記研磨処理ラインに沿う位置に設けられた上面に研磨面を有する下定盤と上記着脱位置との間を少なくとも移動自在に構成され、上記取付面に保持した板硝子を上記下定盤上に移動して当該板硝子の表面の研磨を行う上定盤と、
この上定盤によって着脱位置に移送された上記研磨後の板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で搬出ライン側に移送する第２の移送手段と、
この第２の移送手段によって搬出ライン側に移送された上記研磨後の板硝子を当該板硝子の表面を流体を介して間接的に支持した状態で上記搬出ラインに搬出する搬出手段とを備えたことを特徴とする板硝子の研磨装置。
上記搬入手段、上記第１の移送手段、第２の移送手段および上記搬出手段は、複数のノズルから噴出する流体の加圧力、および／または複数の吸着ディスクの噴出口から噴出する流体が上記吸着ディスクの表面と上記板硝子の表面との間に流れることによって生じる吸引力により、板硝子の表面を間接的に支持するようになっていることを特徴とする請求項３に記載の板硝子の研磨装置。