KR100952324B1

KR100952324B1 - 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치

Info

Publication number: KR100952324B1
Application number: KR1020080014612A
Authority: KR
Inventors: 이성하
Original assignee: 씨엠티 주식회사
Priority date: 2008-02-18
Filing date: 2008-02-18
Publication date: 2010-04-09
Also published as: KR20090089196A

Abstract

본 발명은 넓은 크기의 대형 평판 LCD 패널을 보다 효과적으로 연마할 수 있는 새로운 구조의 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치에 관한 것이다.

상기한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 전측과 후측에 대형 평판 LCD글라스(600)를 용이하게 공급 및 배출될 수 있는 캐리어 공급장치(1)와 캐리어 배출장치(2)가 설치되고, 하정반(300)의 회전체에는 유막에 의한 베어링 작용 기능을 갖는 유정압베어링장치(320)가 설치되며, 상기 LCD글라스용 캐리어(500)가 결합되는 상정반(330)에는 LCD글라스용 캐리어(500)를 간단하면서도 견고히 결합할 수 있고, 필요에 따른 탈락시에는 아주 쉽게 탈락도 가능한 진공클램핑장치(350)가 설치되고, "

"형 상정반 지지프레임(331)에는 상정반(330)의 연마작업시 일정한 각도로 요동되어 하정반(300)과 보다 넓은 범위로 마찰이 이루어질 수 있도록 하는 상정반요동각도조절장치(340)를 설치하고, 상기 LCD글라스용 캐리어(500)는 정밀한 평탄도 유지에 큰 장점을 가진 강화유리재질로 제작되는 것을 그 특징요지로 한다.

캐리어 공급장치, 유정압베어링장치, 상정반요동각도조절장치, 진공클램핑장치, 이송구동부

Description

엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치{The line grander-equipment of eighth L.C.D negative plate polishing}

최근 플라즈마 LCD 패널은 수요자의 요구에 따라 그 크기가 점차로 대형화되고 있다.

그러나 이에 대한 표면 연마장치는 종전의 중소형 패널에 맞는 구조로 되어 있기 때문에 보다 효과적이고 능률적인 연마작업이 불가능하여 연마품질은 물론 생산성이 크게 떨어지는 문제점이 있었다.

즉, 종래의 평판 LCD 패널 연마장치는 연마 대상체인 대형 LCD글라스를 연마장치에 대응시킬 때, 얇은 두께이면서 넓은 면적을 가짐에 따라 이동 중 휨 현상, 출렁임 또는 평탄도 불량 등의 유려가 큰 대형 LCD글라스의 특성이 고려되지 않은 물류 공급용 컨베이어 또는 로봇 아암 또는 수동(2명의 작업자가 함께 손으로 일일이 옮김)으로 LCD글라스를 공급하거나 배출하기 때문에 LCD글라스 이동 중 파손, 크랙, 긁힘 등의 결함을 유발할 뿐 아니라 특히 정밀한 평탄도가 유지된 상태로 LCD글라스를 공급하지 못하여 연마가공시 고효율, 고정밀의 연마작업이 불가능하였음은 물론 생산성이 크게 떨어지는 문제점을 가지고 있었다.

그리고, 종래의 평판 LCD글라스 연마장치는 평판 LCD글라스를 부착하는 상정반의 LCD글라스 고정용 캐리어 재질이 여타한 조건(온도 등)에 따라 변형우려가 큰 스텐레스 재질로 되어 있기 때문에 정밀한 평탄도 유지가 상당히 어려웠고, 특히 부착된 평판 LCD글라스를 포함하는 LCD글라스 고정용 캐리어를 상정반에 고정시킬 때 상호간 접착 테이프(접착패드)로 부착하고 있는데, 이 접착방법은 연마작업 후 탈락시킬 때 잘 떨어지지 않아 상정반으로 부터 캐리어를 떼어내는 시간과 노력이 상당히 요구됨으로 생산성을 크게 떨어트리는 원인이 될 뿐 아니라 이 과정에서 LCD글라스의 모서리를 파손하는 경우가 빈번히 발생하여 불량의 원인이 되기도 하는 등 시급한 개선이 요구된다.

또한 종래의 LCD글라스 연마장치는 상정반에 LCD글라스를 고정 또는 부착 후 하정반과 단순히 밀착한 상태로 회전하여 연마하는 구조로 되어 있어 마찰 및 회전에 따른 일반적인 연마효과밖에 기대할 수 없어보다 높은 연마 품질은 기대하기 어려웠던 문제점도 있다.

또, 종래의 LCD글라스 연마장치의 하정반 회전체는 다수 금속볼의 구름운동 에 의해 회전되는 일반적인 베어링장치가 설치되어 있는데, 이러한 일반적 베어링은 사용량에 따라 다소의 차이는 있으나 사용 중 수반되는 베어링의 반복적 하중변화에 기인한 볼변형 등의 원인으로 회전정밀도가 떨어지고 소음이 발생하는 문제점을 가지고 있을 뿐 아니라 특히 대형 연마기에 사용되는 베어링과 베어링 하우징은 큰 직경의 대형 회전체에 준하는 초대형 베어링장치가 설치되어야 할 뿐 아니라 인가되는 큰 하중에 대한 충분한 내구성과 내마모성을 가진 고가의 고강도 재질을 사용해야 함에 따라, 베어링장치의 구성에 따른 비용부담이 아주 컸던 문제점이 있었다.

이에 본 발명에서는 상기한 문제점을 일소하기 위해 창안한 것으로서, 연마 대상체인 대형 평판 LCD글라스를 정밀한 평탄도가 유지 상태로 보다 안정적으로 연마장치에 대응시킬 수 있을 뿐 아니라 캐리어에 평판 LCD글라스가 부착될 때보다 높은 평탄도가 유지된 상태로 부착될 수 있게 하고, 나아가 LCD글라스를 포함하는 캐리어가 상정반에 결합시킬 때보다 신속하면서도 안정적이고 효율적으로 결합시키는 최적 방안, 그리고 더 나아가 하정반의 회전 효율 및 회전정밀도, 평면 정밀도 향상은 물론 연마효율 및 연마품질 증대를 위한 상정반 요동운동수단을 더 부여한 것에 주안점을 두고 그 기술적 과제로서 완성한 것이다.

이상과 같은 본 발명의 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치는 연마대상체인 대형 평판 LCD글라스를 확실한 안전성과 정밀한 평탄도가 확보된 상태이면서 신속/간단히 자동공급 및 배출은 물론 상정반에 결합/대응시킬 수 있을 뿐만 아니라 연마시 마찰면적의 확대로 인해 보다 우수한 연마품질까지 제공되고, 나아가 하정반 회전체의 유정압베어링장치로 인해 하정반의 회전시 고정도의 유막 위에 부상된 상태에서 회전이 이루어지져 보다 원활하고 높은 회전정밀도가 제공될 수 있는 등 그 기대되는 바가 실로 다대한 발명이다.

본 발명은 전측에는 대형 평판 LCD글라스(600)가 부착된 상태의 LCD글라스용 캐리어(500)를 연마 가능한 지점인 하정반(300) 위에 안전하게 이동/대응시킬 수 있는 캐리어 공급장치(1)가 설치되고, 이와 대응하는 후측에는 연마완료된 평판 LCD글라스(600)가 부착된 상태의 LCD글라스용 캐리어(500)를 다음 공정으로 안전하게 배출할 수 있도록 하는 캐리어 배출장치(2)를 각각 설치한 것과;

상기 캐리어 공급장치(1)와 배출장치(2) 사이 하정반(300)의 구성 요소 중 구동모터(301), 원동축(302), 피동축(303)을 포함하는 회전전달수단에 의해 무단변 속 회전되는 베이스(8)와 스핀들 메인 하우징(20) 사이의 회전 밀착/마찰부에 보다 높은 회전 정밀도, 평탄도 및 원활한 회전작동을 도모할 수 있는 유정압베어링장치(320)를 설치한 것과;

상정반(330)이 고정되는 "

"형 상정반 지지프레임(331)의 일측은 하부 지지체(332)와 베어링(333)으로 결합해 회전 되는 회전부(334)가 마련되고, 이와 대응하는 다른 일측은 요동각도구동부(335)와 결합시켜 상기 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측 회전부(334)를 중심으로 상정반(330) 지지프레임(331)의 중앙에 결합된 상정반(330)이 연마 중 일정한 각도범위내에서 요동 운동될 수 있는 상정반요동각도조절장치(340)를 설치한 것과;

상기 캐리어 공급장치(1)와 배출장치(2)를 통해 공급 및 배출되는 LCD글라스용 캐리어(500)는 정밀한 평탄도 유지에 큰 장점을 가진 강화유리재질로 제작한 것과;

상기 LCD글라스용 캐리어(500)가 결합되는 상정반(330)에는 상기 LCD글라스용 캐리어(500)를 간단하면서도 견고히 결합할 수 있고, 필요에 따른 탈락시에는 아주 쉽게 탈락시킬 수 있는 진공클램핑장치(350)를 설치한 것; 을 그 특징요지로 하였다.

이하, 첨부된 각 도면에 의거하여 본 발명을 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.

1. 캐리어 공급장치, 캐리어 배출장치

먼저, 도 1에서 도시된 바와 같이 동일한 구조이면서 서로 대칭인 상기 캐리어 공급장치(1)와 캐리어 배출장치(2)는 상단에 이송레일(100)이 길게 깔려있고 밑단에는 랙기어가 구비된 이송용 지지체(101)의 전측과 후측에 각각 설치되는 것으로서, 내측에는 일정한 면적의 캐리어 수용공간을 갖는 캐리어안착틀(102)이 구비되고, 상기 캐리어안착틀(102)의 외측 둘레에는 상기 캐리어안착틀(102) 보다 큰 사각형 지지프레임(103)을 설치하되, 상기 내측 캐리어안착틀(102)과 그 외측으로 둘러 쌓인 사각지지프레임(103) 사이에는 상,하 이송용 가이드레일(104), 가이드블럭(105)으로 구성된 상,하 가이드수단(130)과 상,하 작동용 실린더(121)를 구비시켜 상기 캐리어안착틀(102)을 용이하고 간단히 상,하 작동될 수 있도록 하였으며, 상기 지지프레임(331)의 양방향 외측에는 상기 캐리어안착틀(102)을 포함하는 지지프레임(331) 전체의 좌우 이송을 목적으로 하는 좌우 가이드 수단(130)(가이드 레일과 가이드 블럭)을 2개소 이상 설치하는 한편, 상기 캐리어안착틀(102)의 사방 외곽 둘레에는 에어 실린더의 동작에 따라 푸시작동하여 그 캐리어 수용공간에 내입되는 LCD글라스용 캐리어(500)를 견고하게 걸림시켜 결속 되도록 하는 캐리어걸림핀(140)을 다수개 배치하고, 상기 지지프레임(331) 일측에는 지지프레임(331) 전체의 좌우 이송시 요구되는 이송 구동력의 인가를 위한 이송구동부(150)가 마련되는데, 이 이송구동부(150)는 구동부 프레임(156)의 양측 하단에 회전 구동축이 각각 구성되고, 상기 회전 구동축(151)의 출력방향 끝단에는 이송용 지지체의 랙기어와 기어물림되는 피니언 기어(153)가 구비되는 한편, 상기 양측의 회전 구동축 중 어느 하나의 일측에는 벨트연결된 구동모터(154)를 구비시켜 강제구동력이 발생되도록 한 다음 상기 양측의 회전 구동축(151) 사이에 동력전달을 목적으로하는 다수의 풀리, 벨트 및 동력연결축(155)을 구성시켜 모터(154)와 직접적으로 벨트 연결되지 않은 회전 구동축(151)에도 회전동력이 전달될 수 있도록 구성된다.

2. LCD글라스용 캐리어

그리고 상기 캐리어 공급장치(1)와 캐리어 배출장치(2)를 통해 좌우 이송되는 LCD글라스용 캐리어(500)는 도시된 바와 같이 하부에는 연마가공대상체인 평판 LCD글라스(600)의 크기보다 넓은 크기의 밑판(501)이 형성되고, 그 밑판 상측의 사방 둘레에는 돌출부(502)가 형성되며, 상기 사방 돌출부(502)에는 다수개의 걸림홈(503)이 형성되는 한편, 상기 밑판 저면에는 접착패드를 이용해 연마대상체인 평판 LCD글라스가 부착된 기본구조로 이루어진다. 이러한 구성의 LCD글라스 캐리어는 특히 여타한 환경적 요인(온도 등)에 따른 변성이 적어 정밀한 평단도 유지에 상당한 이점을 가진 강화유리 재질로 제작되는 것이 또 다른 특징이라 할 수 있다.

3. 진공클램핑장치

그리고 상정반(330)에 설치되는 상기 진공클램핑장치(350)는 LCD글라스용 캐리어(500)를 상정반(330)에 결합할 때, 공기의 흡입력(진공)으로 쉽고 견고히 흡착할 수 있도록 하는 동시에 탈락이 필요한 경우 진공만 해제하면 아주 간단하게 탈락시킬 수 있도록 상정반(330)에 다수의 공기흡입구(351)이 관통되며, 상기 각각의 공기흡입구(351) 상단에는 도시되지 않은 별도의 공기펌핑장치와 연결된 공기호스(352)가 구비되고, 상기 상정반(330)의 밑면에는 상기 각각의 흡입구(351)와 흡입구(351) 사이를 연통하는 가운데 흡착력인가 면적을 극대화할 수 있도록 다수 갈래로 얽혀지고 일정한 깊이로 패인 연통골(360)이 형성되는 한편, 상기 상정반(330)의 내측에 진공흡착력에 의해 결합되는 LCD글라스용 캐리어(500)를 보다 완벽하고 보조적으로 걸어서 잡아줄 수 있게 에어 실린더(352)의 동작에 따라 푸시작동하는 다수의 보조 걸림핀(353)이 설치되어 이루어진다.

4. 유정압베어링장치

상기 제시된 구성 중 유정압베어링장치(320)는 연마작업을 위한 하정반(300)의 회전작동시 그 회전체가 일반적인 기계식 베어링(구름베어링 등)과는 달리 고 정도의 유막 위에 부상된 상태에서 회전이 이루어질 수 있도록 해 보다 정교하고 높은 회전정밀도와 회전 원활성을 기할 수 있음은 물론, 특히 유막 특성에 의한 하정반의 고정밀 평탄도 유지에도 큰 역할을 담당할 수 할 있도록 하는 것으로서, 상기 하정반(300)의 구동모터(301), 원동축(302), 피동축(303)을 포함하는 회전전달수단(310)에 의해 무단변속(Inverter Control) 회전되는 베이스(305)와 스핀들(306) 메인 하우징(307) 사이의 회전 밀착/마찰부 중 상기 스핀들(306) 메인 하우징(307)측에는 가공된 마찰면을 갖는 하부 마찰플레이트(308a)를 구비하는 한편, 이와 접하는 상단의 하정반 베이스측에는 마찰면을 가진 상부 마찰플레이트(308)를 상호 대응되도록 구성하고, 상기 마찰 플레이트(308) 중 하부 마찰플레이트(308a)에는 그 하부 내측에 별도 구축된 유압유니트과 유압배관라인(309)으로부터 공급된 유압을 상부로 안내하기 위한 유압인입구(309a)와 다수 갈래로 분산된 안내구(309b)가 각각 형성됨과 동시에 마찰면과 안내구(33)의 상단측에는 공급되는 유압이 양방으로 확산될 수 있도록 확개부(309c)가 각각 형성된 구조를 갖는다.

5. 상정반요동각도조절장치

또, 상기 상정반요동각도조절장치(340)는 전술된 바와 같이 상정반(330)과 하정반(300)이 서로 밀착된 상태에서의 회전마찰에 따른 연마작업시 회전되는 연마기 상정반(330)이 일정한 각도 범위내에서 요동하면서 연마가 이루어져 상당한 연마품질의 향상을 도모할 수 있는 것으로서, 상정반(330)이 고정되는 "

"형 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측은 하부 지지체(332)와 베어링(333)으로 결합하여 회전될 수 있는 회전부(334)를 마련한 다음 이와 대응하는 타측은 요동각도구동부(335)와 결합시켜 상기 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측 회전부(334)를 중심으로 상정반(330) 지지프레임(331)의 중앙에 결합된 상정반(330)이 일정한 각도범위로 요동운동될 수 있는 구조를 갖는다. 그리고 상기 구성 중 요동각도구동부(335)는 하측 지지체(332)에는 서보모터(336)에 의해 회전되는 스크우류(337)와 2개 라인의 가이드레일(338)을 구비시킨 상태에서 그 위에 상기 스크우류(337)와 나선 물림됨과 동시에 상기 양 가이드레일(338)과 결합되어 상기 서보모터(336)의 동작과 스크우류(337)의 회전작동에 따라 전,후 이송되는 전,후 슬라이드 유동판(339)이 설치되며, 상기 유동판(339) 위에는 상기 유동판상에서 좌우 방향으로 유동성을 가질 수 있도록 가이드레일(338b)과 가이드블럭(338a)으로 구성된 좌우 유동수단(339')이 구비되는 한편, 상기 상측 상정반(330) 지지프레임(331) 일측과는 회전될 수 있게 베어링이 체결된 유동연결블럭(340)이 구비되어 이루어진다.

이와 같이 구성되는 본 발명은 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치는 상술된 바와 같이 연마장치의 전측과 후측에 연마대상체인 대형 평판 LCD글라스(600)를 연마가 실시되는 하정반과 상정반(330) 사이로 이송하고, 연마작업이 완료된 LCD글라스(600)에 대해서는 후 공정으로 신속이 배출하는 캐리어공급장치(1)와 캐리어 배출장치(2)가 설치되어 있음에 따라 대형 사이즈로 인해 취급 중 더욱 큰 휨 또는 크랙, 흠집 등의 결함발생 우려성이 높은 대형 평판 LCD 패널을 아주 안정적이면서 신속 정확히 이송할 수 있다.

뿐만 아니라 별도의 LCD글라스용 캐리어(500)로 인해 대형 평판LCD글라스를 더욱 용이하고 안전하게 이송될 수 있고, 특히 캐리어공급장치(1)에 선택 결속된 상태로 이송되고, 밑판(501)에 평판 LCD글라스(600)가 부착되는 LCD글라스용 캐리어(500)의 구성시 정밀한 평탄도 유지에 큰 장점을 갖는 강화유리재질로 제작함에 따라 그 자체만으로도 보다 높고 정밀한 LCD글라스 평탄도가 유지될 수 있는 것이다.

그리고 LCD글라스(600)가 부착된 LCD글라스용 캐리어(500)는 상정반(330) 내에 설치된 진공클램핑장치(350)를 통해 상정반(330)에 결합되는 구조임에 따라 상정반(330)에 LCD글라스용 캐리어(500)를 결합시킬 때와 탈락시킬 때 진공을 인가하거나 해제하는 간단한 조작만으로도 아주 쉽게 이 탈착 가능할 뿐 아니라 상당한 진공 흡입압력과 보조 걸림핀(353)의 2중 작용으로 보다 확실하고 견고한 결합까지 주어질 수 있는 등 연마효율향상에 상당한 이점이 제공된다.

또한, 상기 제시된 상정반(330)과 하전반(300)이 서로 밀착된 상태에서 연마작업이 실시될 때 상정반(330)이 고정된 상정반(330) 지지프레임(331)이 상정반요동각도조절장치(340)로 인해 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측 회전부(334)를 중심으로 일정한 각도 반경으로 요동되면서 연마작업이 이루어짐에 따라 상정반(330)의 밑면에 부착된 연마대상체인 대형 평판 LCD글라스(600)가 하정반(300)과 보다 넓은 범위로 마찰될 수 있고, 이는 평판LCD글라스(600) 표면의 연마정밀도 및 품질향상에 크게 기여할 수 있는 상당한 이점이 제공된다.

또, 상기 하정반(300) 회전체의 회전 마찰부에 설치되는 상기 유정압베어링장치(320)로 인해 하정반(300)의 회전시 고정도의 유막 위에 부상된 상태로 회전이 이루어질 수 있기 때문에 소음, 베어링볼의 변형 등과 같은 기계적 결함요인이 최소화될 뿐 아니라보다 원활하고 높은 회전정밀도가 제공됨은 물론 유지관리에 소요경비 또한 저렴하게 줄일 수 있으며, 특히 자체적으로 항시 수평을 유지하려는 유 막의 특성에 따라 아주 뛰어난 하정반 평탄도 및 수평도를 얻을 수 있게 되었다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예를 보인 전체 구조도

도 2는 본 발명의 바람직한 캐리어 공급장치의 바람직한 일실시예를 보인 부분 확대도

도 3은 본 발명의 이송구동부의 바람직한 일실시예를 보인 부분 확대도

도 4은 본 발명의 이송구동부의 측면에서 본 바람직한 일실시 예시도

도 5은 본 발명의 이송레일의 지지체 이송 구조를 나타낸 측 단면 예시도

도 6은 본 발명의 지지프레임의 바람직한 일실시예를 보인 측면 예시도

도 7은 본 발명의 지지프레임에 LCD글라스용 캐리어 작동상태의 바람직한 일실시예를 보인 예시도

도 8은 본 발명의 LCD글라스을 부착한 캐리어 작동상태전 부분 확대 단면 예시도

도 9은 본 발명의 연마기에 이송된 캐리어의 실시 이동 상태를 나타낸 예시도

도 10은 본 발명의 상정반의 평면에도본 바람직한 일실시예를 보인 예시도

도 11은 본 발명은 상정반 하부에 진공클램핑장치의 세부 확대 단면 예시도

도 12은 본 발명의 상정반 진공흡입구의 측 단면 확대 예시도

도 13은 본 발명의 연마기의 요동각도 구동부와 지지프레임의 회전부의 바람직한 일실시예를 보인 예시도

도 14은 본 발명의 상정반 요동각도 조절장치를 작동원리를 나타낸 예시도

도 15은 본 발명의 요동각도구동부의 작동 상태를 나타낸 예시도

도 16은 본 발명의 유정압베어링 장치의 단면 확대 도와 베이스 하부 단면 예시도이다.

※미설명 부호에 대한 도면 부호 설명※

1: 캐리어공급장치 2: 캐리어 배출장치

100: 이송레일 101: 지지체

102: 캐리어안착틀 103: 지지프레임

104: 가이드레일 105: 가이드 블럭

110,130: 가이드수단 121: 작동용 실린더

140: 캐리어 걸림핀 150: 이송 구동부

156: 프레임 151: 구동축

153: 기어 154: 모터

301: 구동모터 300: 하정반

302: 원동축 303: 피동축

305: 베이스 306: 스핀들

307: 하우징 308: 상부 마찰플레이트

308a: 하부 마찰 플레이트 309: 유압배관라인

309a: 유압인입구 309b: 안내구

309c: 확개부 310: 회전전달수단

320: 유정압베어링장치 330: 상정반

331: 지지프레임 332: 하부지지대

333: 베어링 334: 회전부

335: 요동각도 구동부 340: 상정반 요동각도 조절장치

351: 공기흡입구 352: 공기호스

352: 실린더 353: 걸림핀

336: 서브모터 337: 스크우류

338: 가이드레일 339: 유동판

339': 유동수단 340: 유동연결블럭

350: 진공 클램핑장치 501: 밑판

502: 돌출부 503: 걸림홈

600: LCD글라스 500: LCD글라스용 캐리어

Claims

전측에는 대형 평판 LCD글라스(600)가 부착된 상태의 LCD글라스용 캐리어(500)를 연마 가능한 지점인 하정반(300) 위에 안전하게 이동/대응시킬 수 있는 캐리어 공급장치(1)가 설치되고, 이와 대응하는 후측에는 연마완료된 평판 LCD글라스(600)가 부착된 상태의 LCD글라스용 캐리어(500)를 다음 공정으로 안전하게 배출할 수 있도록 하는 캐리어 배출장치(2)를 각각 설치한 것과;

상기 캐리어 공급장치(1)와 캐리어 배출장치(2)를 통해 공급 및 배출되는 LCD글라스용 캐리어(500)는 정밀한 평탄도 유지에 큰 장점을 가진 강화유리재질로 제작한 것과;

상기 LCD글라스용 캐리어(500)가 결합되는 상정반(330)에는 상기 LCD글라스용 캐리어(500)를 간단하면서도 견고히 결합할 수 있고, 필요에 따른 탈락시에는 아주 쉽게 탈락시킬 수 있는 진공클램핑장치(350)를 설치한 것과;

상정반(330)이 고정되는 "
"형 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측은 하부 지지체(332)와 베어링(333)으로 결합되어 회전 되는 회전부(334)가 마련되고, 이와 대응하는 다른 일측은 요동각도구동부(335)와 결합시켜 상기 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측 회전부(334)를 중심으로 상정반(330) 지지프레임(331)의 중앙에 결합된 상정반(330)이 일정한 각도범위로 요동 운동할 수 있는 상정반요동각도조절장치(340)를 설치한 것과;

상기 캐리어 공급장치(1)와 배출장치(2) 사이 하정반(300)의 구성 요소 중 구동모터(301), 원동축(302), 피동축(303)을 포함하는 회전전달수단(310)에 의해 무단변속 회전되는 베이스(305)와 스핀들(306) 메인 하우징(307) 사이의 회전 밀착/마찰부에 보다 우수한 회전 정밀도, 평탄도 및 원활한 회전작동을 도모할 수 있는 유정압베어링장치(320)가 설치된 것;을 특징으로 하는 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.
제 1항에 있어서,

상기 캐리어 공급장치(1)와 캐리어 배출장치(2)는 내측에는 일정한 면적의 캐리어 수용공간을 갖는 캐리어안착틀(102)을 구비시키고, 상기 캐리어안착틀(102)의 외측 둘레에는 상기 캐리어안착틀(102) 보다 큰 사각형 지지프레임(103)을 이중으로 설치하되, 상기 내측 캐리어안착틀(102)과 그 외측으로 둘러 쌓여 있는 사각지지프레임(103) 사이에는 상,하 가이드 수단(110), 상,하 이송용 가이드레일(104), 가이드블럭(105)과 상,하 작동용 실린더(121)를 구비하며, 상기 지지프레임(331)의 양방향 외측에는 상기 캐리어안착틀(102)을 포함하는 지지프레임(103) 전체의 좌우 이송을 목적으로 하는 좌우 가이드 수단(110)(가이드 레일과 가이드 블럭)을 2개소 이상 설치하는 한편, 상기 캐리어안착틀(102)의 사방 외곽 둘레에는 에어 실린더의 동작에 따라 푸시작동하여 그 캐리어 수용공간에 내입되는 캐리어를 견고하게 걸림시켜 확실하게 결속하는 캐리어걸림핀(140)을 다수개 배치하고, 상기 지지프레임(331) 일측에는 지지프레임(331) 전체의 좌우 이송시 요구되는 구동력의 인가를 위한 이송구동부(150)가 마련된 것을 특징으로 한 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.
제 2항에 있어서,

상기 이송구동부(150)는 구동부 프레임(156)의 양측 하단에 회전 구동축(151)이 각각 구성되고, 상기 회전 구동축(151)의 출력방향 끝단에는 이송용 지지체(101)의 랙기어와 기어물림되는 피니언 기어(153)가 구비되는 한편, 상기 양측의 회전 구동축(151) 중 어느 하나의 일측에는 벨트연결된 구동모터(154)를 구비시켜 강제구동력이 발생되도록 한 다음 상기 양측의 회전 구동축(151) 사이에 동력전달을 목적으로 하는 다수의 풀리, 벨트 및 동력연결축(155)을 구성시켜 모터(154)와 직접적으로 벨트 연결되지 않은 다른 일측 회전 구동축(151)에도 회전동력이 전달될 수 있도록 한 것;을 특징으로 한 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.
제 1항에 있어서,

상기 LCD글라스용 캐리어(500)는 연마가공대상체인 평판 LCD글라스(600)의 크기 보다 넓은 면적의 밑판(501)이 형성되고, 그 밑판(501) 상측의 사방 둘레에는 돌출부(502)가 형성되며, 상기 사방 돌출부(502)에는 다수개의 걸림홈(503)이 형성되는 한편, 상기 밑판(501)의 저면에는 접착패드(560)를 이용해 연마대상체인 평판 LCD글라스(600)가 부착된 것;을 특징으로 한 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.
제 1항에 있어서,

상기 진공클램핑장치(350)는 일정한 넓이의 상정반(330)에 다수의 공기흡입구(351)을 형성시킨 다음 그 각각의 공기흡입구(351) 상단에는 공기호스(352)가 연결되는 한편, 상기 상정반(330)의 밑면에는 상기 각각의 흡입구(351)와 흡입구(351)간 연통되는 역할과 흡착면적을 확대 기능을 함께 갖는 다수 갈래의 연통골(360)을 형성한 것과;

상기 상정반(330)의 내측에 실린더(352)의 동작에 따라 푸시작동하는 다수의 보조 걸림핀(353)을 추가로 더 구비시켜 상기 진공클램핑장치(350)의 진공 흡착력을 보조하는 보조 걸림기능을 갖도록 구성되는 것;을 특징으로 한 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.
제 1항에 있어서,

상기 유정압베어링장치(320)는 하정반(300)의 구동모터(301), 원동축(302), 피동축(33)을 포함하는 회전전달수단(310)에 의해 무단변속(Inverter Control) 회전되는 베이스(305))와 스핀들(306) 메인 하우징(307) 사이의 회전 밀착/마찰부 중 상기 스핀들(306) 메인 하우징(307)측에는 가공된 마찰면을 갖는 하부 마찰플레이트(308a))를 구비하는 한편, 이와 접하는 상단의 하정반 베이스(305)측에는 마찰면을 가진 상부 마찰플레이트(308)를 상호 대응되도록 구성하고, 상기 마찰 플레이트(308) 중 하부 마찰플레이트(308a)에는 그 하부 내측에 별도 구축된 유압유니트과 유압배관라인(309)으로부터 공급된 유압을 상부로 안내하기 위한 유압인입구(309a)와 다수 갈래로 분산된 안내구(309b)가 각각 형성됨과 동시에 마찰면(31)과 안내구(33)의 상단측에는 공급되는 유압이 양방으로 확산될 수 있도록 확개부(309c)가 각각 형성된 것;을 특징으로 한 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.
제 1항에 있어서,

상기 상정반요동각도조절장치(340)는 상정반(330)이 고정되는 "
"형 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측은 하부 지지체(332)와 베어링(333)으로 결합하여 회전될 수 있는 회전부(334)를 마련한 다음 이와 대응하는 타측은 요동각도구동부(335)와 결합시켜 상기 상정반(330) 지지프레임(331)의 일측 회전부(334)를 중심으로 상정반(330) 지지프레임(331)의 중앙에 결합된 상정반(330)이 일정한 각도범위로 요동 운동될 수 있게 구성됨;을 특징으로 한 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.
제 7항에 있어서,

상기 구성 중 요동각도구동부(335)는 하측 지지체(332)에는 서보모터(336)에 의해 회전되는 스크우류(337)와 2개 라인의 가이드레일(338)을 구비시킨 상태에서 그 위에 상기 스크우류(337)와 나선 물림됨과 동시에 상기 양 가이드레일(338)과 결합되어 상기 서보모터(336)의 동작과 스크우류(337)의 회전작동에 따라 전,후 이송되는 전,후 슬라이드 유동판(339)이 설치되며, 상기 유동판(339) 위에는 상기 유동판(339)상에서 좌우 방향으로 유동성을 가질 수 있도록 가이드레일(338b)과 가이드블럭(338a)으로 구성된 좌우 유동수단(339')이 구비되는 한편, 상기 상측 상정반(330) 지지프레임(331) 일측과는 회전될 수 있게 베어링(333)이 체결된 유동연결블럭(340)이 구비되어 이루어지는 것;을 특징으로 한 엘시디 8세대 원판 폴리싱 라인 연마장치.