KR102565411B1

KR102565411B1 - 기판 연마 장치

Info

Publication number: KR102565411B1
Application number: KR1020180071878A
Authority: KR
Inventors: 강승배; 배준화; 양희성; 조우진; 추병권
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2018-06-22
Filing date: 2018-06-22
Publication date: 2023-08-10
Also published as: KR20200000509A; US20190389027A1; CN110625530B; CN110625530A

Abstract

기판 연마 장치는 제1 방향 및 제2 방향에 의해 정의되는 평면을 제공하고, 평면에 기판이 제공되는 스테이지, 제3 방향과 나란한 방향으로 기판에 압력을 가하는 가압 유닛, 가압 유닛을 제3 방향을 따라 연장된 중심 축을 중심으로 평면상에서 공전 운동시키는 회전 이동 유닛, 가압 유닛과 기판 사이에 배치되고, 기판에 접촉하는 복수의 연마 패드들, 및 기판에 슬러리를 제공하는 노즐부를 포함하고, 연마 패드들은 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열되고, 연마 패드들 각각은 평면상에서 사각 형상을 가진다.

Description

기판 연마 장치{SUBSTRATE POLISHING APPARATUS}

본 발명은 기판 연마 장치에 관한 것으로, 상세하게는 표시 패널용 기판 연마 장치에 관한 것이다.

일반적으로 표시 장치는 화소들을 구동하는 복수의 전자 소자들을 포함한다. 표시 장치의 제조 시 기판 상에 전자 소자들이 형성된다. 전자 소자들은 베이스 기판에 복수의 절연 박막들 및 복수의 도전 박막들의 적층에 의해 형성될 수 있다.

복수의 박막들의 적층 과정에서 상면은 불균일한 표면을 가질 수 있다. 또한, 복수의 박막들이 형성되기 위한 베이스 기판의 상면은 외부 오염이나 베이스 기판 형성 공정 시 오차 등으로 인해 불균일한 표면을 가질 수 있다. 기판 연마 장치는 슬러리를 이용하여 베이스 기판의 상면이나 박막들 상면을 평탄화시킨다. 기판의 상면의 불균일 정도가 각 단계마다 상이하고, 기판의 면적이 커질수록 각 영역별로 균일도가 제어되어야 기판 전면에 대한 균일한 연마가 가능해지고 연마 정확도가 향상될 수 있다.

따라서, 본 발명은 기판의 균일한 연마를 가능하게 하는 기판 연마 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 또한, 본 발명은 연마 효율성이 향상된 기판 연마 장치를 제공하는 데 또 다른 목적이 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 제1 방향 및 제2 방향에 의해 정의되는 평면을 제공하고, 상기 평면에 기판이 제공되는 스테이지, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향과 나란한 방향으로 기판에 압력을 가하는 가압 유닛, 상기 가압 유닛과 연결되어 상기 가압 유닛을 상기 제3 방향을 따라 연장된 중심 축을 중심으로 평면상에서 공전 운동시키는 회전 이동 유닛, 상기 가압 유닛과 상기 기판 사이에 배치되고, 상기 기판을 연마하는 복수의 연마 패드들, 및 상기 기판에 슬러리를 제공하는 노즐부를 포함하고, 상기 연마 패드들은 상기 기판의 이동 방향과 나란한 방향을 따라 서로 이격되어 배열된다.

상기 노즐부는 상기 연마 패드들 사이에 배치될 수 있다.

상기 가압 유닛은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열된 복수의 가압부들을 포함하고, 상기 연마 패드들은 상기 가압부들에 각각 결합될 수 있다.

상기 가압부들 각각은 상기 기판에 동일한 압력을 가할 수 있다.

상기 가압부들 각각은 상기 기판에 서로 상이한 압력을 가할 수 있다.

상기 노즐부는 상기 회전 이동 유닛에 결합되고, 상기 가압부들과 상기 제1 방향을 따라 교번하여 배열될 수 있다.

상기 가압 유닛은 단일의 가압부를 포함하고, 상기 연마 패드들 각각은 상기 단일의 가압부에 결합될 수 있다.

상기 노즐부는 상기 가압 유닛에 정의되고 상기 제2 방향을 따라 이격된 복수의 홀들을 포함할 수 있다.

상기 가압 유닛은 상기 가압 유닛 및 상기 연마 패드들 사이에 배치되고, 두께 변화를 통해 상기 기판에 가하는 압력을 제어하는 팽창부를 더 포함할 수 있다.

상기 가압 유닛은 상기 제3 방향에서의 길이 변화에 따라 상기 기판에 가하는 압력을 제어할 수 있다.

상기 연마 패드들의 수가 n 개일 때, 상기 연마 패드들 각각의 상기 제1 방향에서의 너비는 100㎜/n 보다 작을 수 있다.

상기 연마 패드들 각각의 상기 제1 방향에서의 너비는 25㎜ 이하일 수 있다.

상기 연마 패드들 각각의 상기 제2 방향에서의 길이는 상기 기판의 상기 제2 방향에서의 길이보다 클 수 있다.

상기 기판은 유리 기판을 포함할 수 있다.

상기 스테이지는 상기 제1 방향을 따라 상기 기판을 이동시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 제1 방향 및 제2 방향에 의해 정의되는 평면상에서, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 연장된 중심 축을 중심으로 공전 운동하는 회전 이동 유닛, 상기 회전 이동 유닛에 연결되고, 상기 제3 방향과 나란한 방향으로 조절되는 길이를 가진 가압 유닛, 및 상기 가압 유닛에 결합되어 상기 가압 유닛에 의해 상기 제3 방향에서의 위치가 변경되는 복수의 연마 패드들을 포함하고, 상기 연마 패드들은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열되고, 상기 연마 패드들 각각은 평면상에서 사각 형상을 가질 수 있다.

상기 연마 패드들 각각의 상기 제3 방향에서의 위치들은 서로 동일할 수 있다.

상기 가압 유닛은 상기 제1 방향을 따라 이격된 복수의 가압부들을 포함하고, 상기 연마 패드들은 상기 가압부들에 각각 결합되고, 상기 가압부들 각각의 상기 제3 방향에서의 길이들은 독립적으로 조절될 수 있다.

상기 연마 패드들 사이에 배치되어 슬러리를 제공하는 노즐부를 더 포함할 수 있다.

상기 연마 패드들 및 상기 가압 유닛 사이에 배치되어 상기 제3 방향에서 조절되는 두께를 가진 팽창부를 더 포함하고, 상기 연마 패드들의 상기 제3 방향에서의 위치는 상기 가압 유닛의 상기 제3 방향에서의 길이 및 상기 팽창부의 상기 제3 방향에서의 두께에 의해 변경될 수 있다.

본 발명에 따르면, 유효면에 대한 기판 연마 효율을 향상시키는 기판 연마 장치를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 연마 균일도 및 연마 정밀도를 향상시키는 기판 연마 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 평면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일 구성을 도시한 단면도들이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 기판 연마 장치의 측면도이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 간략히 도시한 평면도들이다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.

동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.

"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.

다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의됩니다.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 도시한 사시도이다. 도 1에 도시된 것과 같이, 기판 연마 장치(PA)는 스테이지(ST), 가압 유닛(100), 복수의 연마 패드들(200), 노즐부(300), 및 회전 이동 유닛(400)을 포함한다. 기판 연마 장치(PA)는 기판(SUB)의 상면을 연마한다.

스테이지(ST)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 평탄면을 제공한다. 평탄면 상에 기판(SUB)이 제공될 수 있다. 본 실시예에서, 방향은 도면에 표시된 화살표가 가리키는 방향 및 그 반대 방향을 모두 포함할 수 있다.

기판(SUB)은 평면상에서 볼 때, 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 장변 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 단변을 포함하는 사각형 형상을 가질 수 있다. 기판(SUB)의 상면은 기판 연마 장치(PA)에 의해 연마될 수 있다.

기판(SUB)은 절연 기판일 수 있다. 예를 들어, 기판(SUB)은 유리 기판을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 기판(SUB)은 플라스틱 기판을 포함할 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

기판(SUB)은 영상을 표시하는 표시 패널의 베이스 층과 대응될 수 있다. 구체적으로, 표시 패널이 베이스 층 상에 배치된 복수의 절연 박막들과 도전 박막들로 구성된다고 할 때, 기판(SUB)은 베이스 층에 해당될 수 있다. 또는, 기판(SUB)은 베이스 층 상에 및 절연 박막들 중 일부나 도전 박막들 중 일부가 형성된 상태로 제공될 수도 있다.

기판 연마 장치(PA)는 기판(SUB)의 상면을 평탄화시킨다. 이에 따라, 기판 연마 장치(PA)는 기판(SUB)의 상면을 평탄화시켜 복수의 박막들의 형성이 안정적으로 이루어질 수 있도록 한다. 또는, 기판 연마 장치(PA)는 박막 공정 중에 복수의 박막들의 적층이 진행됨에 따라 불 균일해진 상면을 평탄화시켜 다음 박막 공정이 안정적으로 이루어질 수 있도록 할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 다양한 공정 단계에서 평탄화를 위해 적용될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

도 1에는 용이한 설명을 위해 기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S)을 표시하였다. 기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S)은 기판 연마 장치(PA), 구체적으로 연마 패드들(200)에 대한 기판(SUB)의 상대적인 이동으로 정의될 수 있다. 본 실시예에서, 기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S) 방향은 제1 방향(DR1)과 동일한 방향으로 도시되었다.

기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S)은 스테이지(ST)가 기판(SUB)을 이동시킴에 따라 발생될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 본 발명의 일 실시예에서, 스테이지(ST)에 의한 기판(SUB)의 이동은 고정되고, 연마 패드들(200)이 기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S)의 방향과 반대 방향을 따라 이동함으로써 나타날 수도 있다.

가압 유닛(100)은 제3 방향(DR3)과 나란한 방향으로 직선 운동할 수 있다. 가압 유닛(100)은 직선 운동을 통해 기판(SUB)에 압력을 가할 수 있다. 연마 패드들(200)은 가압 유닛(100)에 의해 기판(SUB)에 밀착될 수 있다.

또한, 가압 유닛(100)은 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 왕복 직선 운동할 수도 있다. 기판(SUB)의 제2 방향(DR2)에서의 길이가 연마 패드들(200)의 제2 방향(DR2)에서의 길이보다 큰 경우, 가압 유닛(100)은 제1 방향(DR1)에서의 직선 운동은 물론, 제2 방향(DR2)의 직선 운동을 통해 기판(SUB)의 전면에 대한 고른 연마를 가능하게 할 수 있다. 한편, 이는 예시적으로 기재한 것이고, 기판(SUB)의 크기/면적에 따라, 가압 유닛(100)의 직선 운동은 다양하게 설계될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

본 실시예에 따른 가압 유닛(100)은 복수의 가압부들을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 가압부들은 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)은 기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S)의 방향과 나란한 방향을 따라 서로 이격되어 배열된다. 본 실시예에서, 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)은 제1 방향(DR1)을 따라 서로 이격되어 배열될 수 있다.

제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)은 서로 독립적으로 동작할 수 있다. 즉, 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130) 각각은 독립적으로 제3 방향(DR3)을 따라 변경되는 길이들을 가질 수 있다. 연마 패드들(200) 및 기판(SUB)에 제공되는 압력은 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130) 각각의 길이 변화에 따라 조절될 수 있다. 즉, 제3 방향(DR3)에서의 가압 유닛(100)의 길이가 변화됨으로써, 기판(SUB)에 가하는 연마 세기가 조절될 수 있다.

연마 패드들(200)은 가압 유닛(100)에 결합된다. 연마 패드들(200)은 기판(SUB)과 가압 유닛(100) 사이에 배치되고, 가압 유닛(100)으로부터 제공되는 압력에 의해 기판(SUB)에 밀착될 수 있다. 연마 패드들(200)은 가압 유닛(100)으로부터 제공된 압력과 대응되는 세기로 기판(SUB)을 연마한다.

연마 패드들(200)은 기판(SUB)에 대해 마찰력을 가질 수 있다. 연마 패드들(200)은 마찰력을 통해 기판(SUB)의 상면을 평탄화시킨다. 연마 패드들(200)은 다양한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 연마 패드들(200)은 천, 가죽, 스웨이드, 또는 다공성 섬유를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 기재한 것이고, 연마 패드들(200)은 기판(SUB)에 대해 소정의 마찰력을 발생시킬 수 있다면, 다양한 물질을 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

연마 패드들(200)은 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)은 기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S) 방향과 나란한 방향을 따라 서로 이격되어 배열된다. 즉, 본 실시예에서, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)은 제1 방향(DR1)을 따라 서로 이격되어 배열될 수 있다.

제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)은 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)에 각각 결합될 수 있다. 이에 따라, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)과 기판(SUB) 사이의 밀착 정도는 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)에 의해 각각 독립적으로 제어될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.

노즐부(300)는 기판(SUB)에 슬러리(slurry)를 제공한다. 노즐부(300)는 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130) 사이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 슬러리는 제1 가압부(110)와 제2 가압부(120) 사이 및 제2 가압부(120)와 제3 가압부(130) 사이에 각각 제공될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.

회전 이동 유닛(400)은 가압 유닛(100), 연마 패드들(200), 및 노즐부(300)가 결합되는 구성일 수 있다. 회전 이동 유닛(400)은 가압 유닛(100), 연마 패드들(200), 및 노즐부(300)의 평면상에서의 이동을 제어할 수 있다.

회전 이동 유닛(400)은 본체부(410), 회전부(420), 및 지지부(430)를 포함할 수 있다. 본체부(410)는 회전 모터를 포함할 수 있다. 본체부(410)는 회전부(420)를 소정의 중심 축(RX)을 중심으로 원 운동 시킬 수 있다. 본 발명에서, 회전부(420)의 원 운동은 공전 운동을 의미하며, 본체부(410)는 회전부(420)의 공전 운동 동안 중심 축(RX)을 기준으로 고정된다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.

회전부(420)는 본체부(410)와 지지부(430) 사이에 배치된다. 회전부(420)는 본체부(410)와 이동 가능하게 결합되고, 지지부(430)에 고정 결합될 수 있다. 지지부(430)는 회전부(420)에 결합되어 회전부(420)의 움직임에 따라 운동할 수 있다. 이에 따라, 지지부(430)는 회전부(420)를 따라 평면상에서 원 운동할 수 있다.

한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(410)는 제1 방향(DR1)과 나란한 방향을 따라 직선 이동하거나 제2 방향(DR2)을 따라 직선 이동할 수도 있다. 본 발명에 따르면, 가압 유닛(100), 연마 패드들(200), 및 노즐부(300)의 평면상에서의 이동은 본체부(410) 및 회전부(420)의 이동에 따른다. 이에 따라, 스테이지(ST)에 의한 기판(SUB)의 이동이 없더라도 가압 유닛(100), 연마 패드들(200), 및 노즐부(300)는 평면상에서 직선 이동과 회전 이동을 동시에 하며 기판(SUB)의 전면을 연마할 수 있다. 한편, 이는 예시적으로 기재한 것이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치(PA)는 기판(SUB)의 크기, 면적, 및 형상에 따라 다양한 방식의 이동이 혼합되어 연마를 진행할 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

본 발명에 따르면, 기판 연마 장치(PA)는 제1 방향(DR1)을 따라 이격된 복수의 연마 패드들(200)을 포함할 수 있다. 또한, 기판 연마 장치(PA)는 이격된 연마 패드들(200) 사이에 슬러리를 제공 가능한 노즐부(300)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 기판 연마 장치(PA)는 기판 연마 장치(PA)와 평면상에서 중첩하는 면적 내에서 효율적인 연마가 가능할 수 있다. 기판 연마 장치(PA)와 평면상에서 중첩하는 면적을 유효 면적이라 할 때, 본 발명에 따르면, 유효 면적 내에서의 연마 효율이 향상될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 평면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 평면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 평면도이다. 이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 기판 연마 장치에 대해 설명한다. 한편, 도 1에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.

도 2에는 용이한 설명을 위해 기판(SUB)과 연마 패드들(200)을 도시하였다. 도 2에 도시된 것과 같이, 기판(SUB)은 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 장변(S1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 단 변(S2)을 포함한다. 본 실시예에서, 기판(SUB)의 상대적 이동(DR-S)은 기판(SUB)의 장변(S1)이 연장된 방향과 나란한 방향으로 이루어질 수 있다.

이때, 연마 패드들(200)을 구성하는 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230) 각각은 제1 방향(DR1)을 따라 측정되는 너비 및 제2 방향(DR2)을 따라 측정되는 길이를 가진 사각형 형상을 가질 수 있다. 제1 연마 패드(210)는 제1 방향(DR1)에서 정의되는 제1 너비(WD1)를 갖고, 제2 연마 패드(220)는 제1 방향(DR1)에서 정의되는 제2 너비(WD2)를 갖고, 제3 연마 패드(230)는 제1 방향(DR1)에서 정의되는 제3 너비(WD3)를 가진다.

제1 내지 제3 너비들(WD1, WD2, WD3) 각각은 서로 동일하거나 상이할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 연마 패드들(200)에 포함된 연마 패드의 수가 n개일 때, 연마 패드들(200) 각각의 너비는 유효 면적을 이루는 너비/n보다 작을 수 있다. 유효 면적은 가압 유닛(100)에 의해 경유되는 면적으로, 도 4에서는 가압 유닛(100)이 연결되는 지지부(430)의 평면상에서의 면적과 대응될 수 있다. 이에 따라, 유효 면적을 이루는 너비는 실질적으로 지지부(430)의 제1 방향(DR1)에서의 너비와 대응될 수 있다.

예를 들어, 지지부(430)의 제1 방향(DR1)에서의 너비가 약 100㎜인 경우, 제1 내지 제3 너비들(WD1, WD2, WD3) 각각은 약 100㎜ 미만일 수 있다. 구체적으로, 제1 내지 제3 너비들(WD1, WD2, WD3) 각각은 100㎜/n 보다 작은 너비를 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 내지 제3 너비들(WD1, WD2, WD3) 각각은 약 25㎜ 이하일 수 있다. 제1 내지 제3 너비들(WD1, WD2, WD3) 각각이 클수록 기판(SUB)을 연마하는 공정 시간이 단축될 수 있다. 또는, 제1 내지 제3 너비들(WD1, WD2, WD3) 각각이 작을수록 기판(SUB)을 연마하는 공정이 세밀해지고 정확도가 향상될 수 있다.

제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)의 길이(LD-200)는 적어도 기판(SUB)의 단변(S2)보다 큰 길이로 제공될 수 있다. 기판(SUB)이 대면적의 표시 장치를 위한 대면적을 갖더라도, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)의 길이(LD-200)는 기판(SUB)의 단변(S2) 이상의 길이로 제공될 수 있다. 이에 따라, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)이 회전 이동 유닛(400: 도 1 참조)에 의해 공전 이동하며 기판(SUB)을 연마하더라도, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)의 제2 방향(DR2)에서의 직선 이동 없이 기판의 상대적 이동(DR-S)만으로도 기판(SUB)의 전면을 안정적으로 연마할 수 있다. 따라서, 공정 시간이 단축되고 공정 비용이 절감될 수 있다.

본 실시예에서, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)은 동일한 길이(LD-200)를 가진 것으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)은 서로 상이한 길이들을 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

도 3을 참조하여 회전 이동 유닛(400)에 대해 보다 상세히 설명한다. 도 3에는 회전 이동 유닛(400) 중 본체부(410)와 회전부(420)를 도시하였고, 회전부(420)를 투영시켜 점선 처리하여 도시하였다. 또한, 용이한 설명을 위해 본체부(410)에 대한 회전부(420)의 시간에 따른 이동 상태들 중 일부를 함께 도시하였다.

본체부(410)에는 중심 축(RX)을 중심으로 하는 링 형상의 홀(AA)이 정의될 수 있다. 회전부(420)는 제1 부분(RP) 및 제2 부분(CP)을 포함할 수 있다. 제1 부분(RP)은 본체부(410)의 홀(AA)을 통해 본체부(410)와 결합된다. 제1 부분(RP)은 홀(AA) 내에서 유동 가능하게 결합될 수 있다. 제1 부분(RP)은 홀(AA)을 따라 중심 축(RX)을 중심으로 공전 운동할 수 있다.

제2 부분(CP)은 제1 부분(RP)에 고정 결합된다. 제2 부분(CP)은 실질적으로 지지부(430)와 결합되는 구성일 수 있다. 제2 부분(CP)과 지지부(430)는 고정 결합될 수 있다. 제2 부분(CP)은 제1 부분(RP)의 이동에 따라 이동할 수 있다. 이에 따라, 중심 축(RX)을 중심으로 본체부(410)가 고정된 상태일 때, 상대적으로, 회전부(420)는 중심 축(RX)을 중심으로 공전 이동할 수 있다. 이에 따라, 회전부(420)에 연결된 지지부(430)가 중심 축(RX)을 중심으로 공전 이동할 수 있다. 결과적으로, 지지부(430)에 결합된 가압 유닛(100), 연마 패드들(200), 및 노즐부(300)가 중심 축(RX)을 중심으로 공전 운동할 수 있으므로, 기판(SUB) 전면에 대한 균일한 연마가 가능해질 수 있다.

도 4를 참조하여 가압 유닛(100), 연마 패드들(200), 및 노즐부(300)에 대해 보다 상세히 설명한다. 도 4에 도시된 것과 같이, 가압 유닛(100)은 제1 방향(DR1)을 따라 이격된 제1 가압부(110), 제2 가압부(120), 및 제3 가압부(130)를 포함한다. 제1 가압부(110)는 헤드부(111), 연장부(112), 및 조절부(113)를 포함할 수 있다. 한편, 제2 가압부(120) 및 제3 가압부(130) 각각은 제1 가압부(110)와 동일한 구성들을 포함하며 동일한 구조로 결합될 수 있다. 이하, 제1 가압부(110)를 예시적으로 설명한다.

헤드부(111)는 제1 연마 패드(210)가 결합되는 구성일 수 있다. 헤드부(111)는 연장부(112)에 연결된다. 연장부(112)가 제3 방향(DR3)을 따라 길이가 조절됨으로써, 헤드부(111)와 조절부(113) 사이의 거리가 제어될 수 있다. 연장부(112)의 일부는 조절부(113)에 인입되거나 반출될 수 있다. 또는, 조절부(113)는 소정의 압력을 제공하여 연장부(112)가 조절부(113)로부터 밀려나거나 가까워질 수 있도록 할 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 기재한 것이고, 헤드부(111)의 제3 방향(DR3)에서의 상하 이동이 가능하다면 가압 유닛(100)은 다양한 구조를 가질 수 있으며 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

노즐부(300)는 연마 패드들(200) 사이에 배치될 수 있다. 구체적으로, 노즐부(300)는 복수로 제공되어 제1 가압부(110)와 제2 가압부(120) 사이 공간 및 제2 가압부(120)와 제3 가압부(130) 사이 공간에 각각 배치될 수 있다. 노즐부(300)는 제1 연마 패드(210)와 제2 연마 패드(220) 사이 공간 및 제2 연마 패드(220)와 제3 연마 패드(230) 사이 공간에 슬러리(SL)를 제공한다.

한편, 본 실시예에서 노즐부(300)는 지지부(430)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 지지부(430)에는 슬러리(SL)를 제공하는 소정의 슬러리 제공원을 더 포함할 수도 있다. 한편, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 노즐부(300)는 별도의 슬러리 제공원을 통해 연결되어 슬러리(SL)를 제공할 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

본 발명에 따른 슬러리(SL)는 용매 및 용매에 분산/용해된 연마제를 포함할 수 있다. 연마제는 금속 산화물과 같은 무기물을 포함할 수 있다. 한편, 슬러리(SL)는 산화제, 분산제, 안정화제, 및 PH조절제 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 연마 패드들(200) 사이의 공간에 슬러리(SL)가 제공될 수 있다. 이에 따라, 노즐부(300)가 연마 패드들(200) 외측에서 제공되는 것에 비해, 상대적으로 분할된 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230) 각각에 슬러리(SL)가 용이하게 제공될 수 있다. 이에 따라, 연마 패드들(200)에 의해 연마되는 유효 면이 슬러리(SL)에 대해 고르게 노출되어 균일하게 연마될 수 있다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일 구성을 도시한 단면도들이다. 도 5a 및 도 5b에는 동일한 기판 연마 장치에 대하여 가압 유닛(100)의 서로 다른 동작 상태에 따른 단면도들을 각각 도시하였다. 이하, 도 5a 및 도 5b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 4에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.

도 5a에 도시된 것과 같이, 기판 연마 장치(PA)에 있어서 가압 유닛(100)의 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)은 기판(미 도시)에 대하여 균일한 압력을 가할 수 있다. 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130) 각각은 제3 방향(DR3)을 따라 상하 운동하며 기판에 가하는 압력 및 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)의 기판에 대한 거리를 조절할 수 있다.

제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130) 각각은 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)의 하면들이 제1 가상선(L1)에 나란하도록 동시에 이동될 수 있다. 이에 따라, 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)은 실질적으로 동일 압력을 가할 수 있고, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)이 기판에 제공하는 압력들(PS1, PS2, PS3)은 각각 동일할 수 있다.

본 발명에 따르면, 가압 유닛(100)은 해당 면적에 대해 균일한 압력을 제공하며 기판을 연마할 수 있다. 따라서, 연마 균일도가 향상될 수 있다.

또는, 도 5b에 도시된 것과 같이, 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)은 서로 독립적으로 제어될 수 있다. 이에 따라, 제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130)은 각각 서로 다른 압력을 기판에 제공할 수 있고, 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)의 기판에 대한 거리를 다르게 조절할 수 있다.

제1 내지 제3 가압부들(110, 120, 130) 각각은 제1 내지 제3 연마 패드들(210, 220, 230)의 하면들이 서로 다른 가상선들에 정렬되도록 제어할 수 있다. 예를 들어, 제1 가압부(110)는 제1 연마 패드(210)가 제1 가상선(L10)에 정렬되고, 제2 가압부(120)는 제2 연마 패드(220)가 제2 가상선(L20)에 정렬되고, 제3 가압부(130)는 제3 연마 패드(230)가 제3 가상선(L30)에 정렬되도록 제어할 수 있다.

이에 따라, 제1 연마 패드(210)가 기판에 가하는 제1 압력(PS10), 제2 연마 패드(220)가 기판에 가하는 제2 압력(PS20), 및 제3 연마 패드(230)가 기판에 가하는 제3 압력(PS30)은 서로 독립적으로 제어될 수 있다. 본 발명에 따르면, 제1 내지 제3 압력들(PS10, PS20, PS30)을 독립적으로 제어함으로써, 영역마다 연마 정도를 다르게 할 수 있어 연마 정밀도가 향상될 수 있다.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 도시한 단면도들이다. 도 6a 내지 도 6c에는 제1 가압부(110)의 동작 상태에 따른 단면도들을 간략히 도시하였다. 도 6a 및 도 6b에서의 제1 가압부(110)에 대한 설명은 제2 및 제3 가압부들(120, 130: 도 1 참조)에도 동일하게 적용될 수 있다. 이하, 제1 가압부(110: 이하 가압부)를 예시적으로 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 5b에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.

도 6a 내지 도 6c를 참조하면, 기판 연마 장치는 팽창부(500)를 더 포함할 수 있다. 팽창부(500)는 제1 헤드부(111, 이하 헤드부)와 제1 연마 패드(210, 이하 연마 패드) 사이에 배치될 수 있다. 팽창부(500)는 내부에 제공되는 압력에 따라 제3 방향(DR3)에서의 두께가 달라질 수 있다. 연마 패드(210)에 가해지는 압력, 즉, 연마 패드(210)가 기판(SUB: 도 1 참조)에 가하는 압력은 팽창부(500)의 두께 변화에 따라 달라질 수 있다.

구체적으로, 팽창부(500) 내부에 양압이 제공되는 경우, 즉 팽창부(500) 내부로 인입되는 공기 량이 증가하는 경우, 팽창부(500)는 팽창되어 팽창부(500)의 제3 방향(DR3)에서의 두께가 증가될 수 있다. 또는, 팽창부(500) 내부에 음압이 제공되는 경우, 즉 팽창부(500) 내부로부터 외부로 반출되는 공기 량이 증가하는 경우, 팽창부(500)는 수축되어 팽창부(500)의 제3 방향(DR3)에서의 두께가 감소될 수 있다.

구체적으로, 도 6b에 도시된 것과 같이, 제1 가압부(110-1)에 있어서, 연장부(112)의 1차 이동(MV1)이 진행되면, 제1 가압부(110-1)에 의해 제1 연마 패드(210)는 기판(미 도시)에 1차 압력(PS-A)을 제공할 수 있다. 1차 이동(MV1)은 연장부(112)의 제3 방향(DR3)에서의 길이 증가와 대응될 수 있다. 1차 압력(PS-A)은 연장부(112)가 도 6a의 상태에서 1차 이동(MV1)을 통해 도 6b의 상태로 연장된 길이를 가짐으로써 발생될 수 있다.

이후, 도 6c에 도시된 것과 같이, 팽창부(500)의 2차 이동(MV2)에 의해 제1 연마 패드(210)는 기판에 2차 압력(PS-B)을 제공할 수 있다. 2차 이동(MV2)은 팽창부(500)의 팽창에 따른 것일 수 있다. 2차 압력(PS-B)은 1차 압력(PS-A)보다 클 수 있다.

본 발명에 따르면, 팽창부(500)를 더 포함함으로써, 1차 압력(PS-A)보다 큰 2차 압력(PS-B)을 기판에 제공할 수 있다. 따라서, 높은 압력으로 기판 연마가 가능하여 기판에 대한 연마력이 향상될 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 팽창부(500)의 팽창 정도를 용이하게 제어할 수 있어, 미세한 압력 제어가 가능해지고, 연마의 정확도가 향상될 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 사시도이다. 도 8은 도 7에 도시된 기판 연마 장치의 측면도이다. 이하 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 6c에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.

기판 연마 장치(PA-1)는 가압 유닛(100-1), 복수의 연마 패드들(200-1), 노즐부(300-1), 및 회전 이동 유닛(400)을 포함할 수 있다. 회전 이동 유닛(400)은 도 1에 도시된 회전 이동 유닛(400)과 실질적으로 동일하므로 이하 중복된 설명은 생략하기로 한다.

가압 유닛(100-1)은 헤드부(101), 연장부(102), 및 연결부(103)를 포함할 수 있다. 헤드부(101)는 연마 패드들(200-1)이 결합되는 구성일 수 있다. 본 실시예에서, 헤드부(101)는 일체의 형상(one body)을 가질 수 있다.

연장부(102)는 헤드부(101)와 고정 결합될 수 있다. 연장부(102)는 자체의 길이를 조절하여 헤드부(101)와 연결부(103) 사이의 거리를 제어할 수 있다. 연장부(102)가 연결부(103) 내로 인입/출입됨으로써, 연장부(102)의 길이가 용이하게 제어될 수 있다.

연마 패드들(200-1)은 제1 방향(DR1)을 따라 이격된 제1 내지 제3 연마 패드들(211, 221, 231)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 연마 패드들(211, 221, 231)은 모두 동일한 하나의 헤드부(101)에 결합될 수 있다. 본 발명에 따르면, 제1 내지 제3 연마 패드들(211, 221, 231)은 헤드부(101)를 통해 균일한 압력을 기판에 제공할 수 있다. 이에 따라, 기판 연마의 균일도가 향상될 수 있다.

노즐부(300-1)는 제1 내지 제3 연마 패드들(211, 221, 231) 사이에 배치되어 기판(SUB)에 슬러리(SL)를 제공한다. 노즐부(300-1)는 헤드부(101) 내에 구비될 수 있다. 구체적으로, 노즐부(300-1)는 헤드부(101) 내에 삽입될 수 있다. 노즐부(300-1)는 헤드부(101) 내부에 함입되어 단면상에서 외부로 노출되지 않는 것으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 노즐부(300-1)는 헤드부(101)의 하면으로부터 노출될 수도 있다.

헤드부(101) 내부에는 슬러리를 저장하기 위한 저장 공간이 별도로 구비될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 노즐부(300-1)는 별도로 구비된 슬러리 저장 공간으로부터 슬러리를 제공받을 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.

도 9a 및 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치의 일부 구성을 간략히 도시한 평면도들이다. 도 9a 및 도 9b는 헤드부(101)의 하 측을 바라본 상태에서의 평면도들을 도시하였다. 이하, 도 9a 및 도 9b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.

도 9a에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(300-1)는 헤드부(101)에 구비될 수 있다. 노즐부(300-1)는 헤드부(101)의 하 면 중 제1 연마 패드(211)와 제2 연마 패드(221) 사이 공간 및 제2 연마 패드(221)와 제3 연마 패드(231) 사이 공간에 제공될 수 있다.

노즐부(300-1)는 복수의 홀들일 수 있다. 홀들은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 이격되어 배치될 수 있다. 기판 연마 장치(PA)는 노즐부(300-1)를 통해 슬러리를 제공한다. 이에 따라, 슬러리는 제1 내지 제3 연마 패드들(211, 221, 231) 사이에 제공되어 제1 내지 제3 연마 패드들(211, 221, 231) 각각은 슬러리를 이용하여 기판을 균일하게 연마할 수 있다.

도 9b에 도시된 것과 같이, 연마 패드들(200-2)은 제1 방향(DR1)에서 서로 이격된 두 개의 제1 연마 패드(211) 및 제2 연마 패드(222)로 구성될 수도 있다. 이때, 헤드부(101)는 도 9a에 도시된 헤드부(101)와 동일한 면적 및 동일한 형상으로 제공될 수 있다.

노즐부(300-2)는 제1 연마 패드(211)와 제2 연마 패드(222) 사이에 배치된다. 노즐부(300-2)는 제2 방향(DR2)을 따라 이격되고 헤드부(101)에 정의된 복수의 홀들로 제공될 수 있다.

하기 표 1을 참조하여 본 발명에 대해 보다 상세히 설명한다

구분	스캔 횟수	연마 패드 너비(㎜)	연마 패드 개수	유효면 너비(㎜)	연마 상태
비교예	4	100	1	100	미 연마
실시예 A	2	25	2	100	연마

상기 표 1에는 비교예와 실시예 A에 대한 연마 상태에 대해 기재하였다. 비교예는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치에서 유효면 전체를 커버하는 단일의 연마 패드를 적용한 것이고, 실시예 A는 도 9b에 도시된 연마 패드들(200-2)이 적용된 본 발명의 일 실시예 중 하나로 제1 연마 패드(211) 및 제2 연마 패드(222) 각각의 너비가 25㎜로 적용된 것이다. 본 실시예에서, 유효면은 헤드부(101)의 단면과 대응될 수 있다. 한편, 표 1에 기재된 실험 데이터는 비교예와 실시예 A의 연마 패드를 동일한 재질로 구성하고, 동일한 슬러리를 사용한 상태에서 도출되었다.상기 표 1에 기재된 것과 같이, 비교예의 경우 유효면 전면을 실질적으로 커버하는 연마 패드를 적용하였으나, 더 많은 스캔 횟수에도 미 연마된 연마 상태를 보여준다. 이와 달리, 총 연마 패드들의 너비가 유효면 너비의 반을 차지하는 실시예 A의 경우, 비교예보다 낮은 스캔 횟수로도 연마된 연마 상태를 보여준다.

본 발명에 따르면, 기판 연마 장치의 연마 효율은 유효면에 대해 단일 연마 패드가 차지하는 면적보다 연마 패드가 복수로 제공됨에 따른 영향을 더 크게 받을 수 있다. 본 발명에 따르면, 동일 유효 면적을 분할하는 복수의 연마 패드들(200-1, 200-2)을 구비함으로써, 동일 유효 면적에 대한 연마 효율을 향상시킬 수 있다.

PA: 기판 연마 장치 SUB: 기판
100: 가압 유닛 200: 복수의 연마 패드들
300: 노즐부 400: 회전 이동 유닛

Claims

제1 방향 및 제2 방향에 의해 정의되는 평면을 제공하고, 상기 평면에 기판이 제공되는 스테이지;
상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향과 나란한 방향으로 기판에 압력을 가하는 가압 유닛;
상기 가압 유닛과 연결되어 상기 가압 유닛을 상기 제3 방향을 따라 연장된 중심 축을 중심으로 평면상에서 공전 운동시키는 회전 이동 유닛;
상기 가압 유닛과 상기 기판 사이에 배치되고, 상기 기판을 연마하는 복수의 연마 패드들; 및
상기 기판에 슬러리를 제공하는 노즐부를 포함하고,
상기 연마 패드들은 상기 기판의 이동 방향과 나란한 방향을 따라 서로 이격되어 배열되고,
상기 연마 패드들의 상기 제2 방향에서의 길이는 상기 기판의 상기 제2 방향에서의 길이보다 큰 길이를 가지는 기판 연마 장치.
제1 항에 있어서,
상기 노즐부는 상기 연마 패드들 사이에 배치된 기판 연마 장치.
제2 항에 있어서,
상기 가압 유닛은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열된 복수의 가압부들을 포함하고,
상기 연마 패드들은 상기 가압부들에 각각 결합된 기판 연마 장치.
제3 항에 있어서,
상기 가압부들 각각은 상기 기판에 동일한 압력을 가하는 기판 연마 장치.
제3 항에 있어서,
상기 가압부들 각각은 상기 기판에 서로 상이한 압력을 가하는 기판 연마 장치.
제3 항에 있어서,
상기 노즐부는 상기 회전 이동 유닛에 결합되고, 상기 가압부들과 상기 제1 방향을 따라 교번하여 배열된 기판 연마 장치.
제2 항에 있어서,
상기 가압 유닛은 단일의 가압부를 포함하고,
상기 연마 패드들 각각은 상기 단일의 가압부에 결합된 기판 연마 장치.
제7 항에 있어서,
상기 노즐부는 상기 가압 유닛에 정의되고 상기 제2 방향을 따라 이격된 복수의 홀들을 포함하는 기판 연마 장치.
제1 항에 있어서,
상기 가압 유닛 및 상기 연마 패드들 사이에 배치되는 팽창부를 더 포함하고,
상기 팽창부는 두께 변화를 통해 상기 기판에 가하는 압력을 제어하는 기판 연마 장치.
제1 항에 있어서,
상기 가압 유닛은 상기 제3 방향에서의 길이 변화에 따라 상기 기판에 가하는 압력을 제어하는 기판 연마 장치.
제1 항에 있어서,
상기 연마 패드들의 수가 n 개일 때,
상기 연마 패드들 각각의 상기 제1 방향에서의 너비는 100㎜/n 보다 작은 기판 연마 장치.
제11 항에 있어서,
상기 연마 패드들 각각의 상기 제1 방향에서의 너비는 25㎜ 이하인 기판 연마 장치.
삭제
제1 항에 있어서,
상기 기판은 유리 기판을 포함하는 기판 연마 장치.
제1 항에 있어서,
상기 스테이지는 상기 제1 방향을 따라 상기 기판을 이동시키는 기판 연마 장치.
제1 방향 및 제2 방향에 의해 정의되는 평면을 제공하고, 상기 평면에 제공되는 기판;
상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 연장된 중심 축을 중심으로 공전 운동하는 회전 이동 유닛;
상기 회전 이동 유닛에 연결되고, 상기 제3 방향과 나란한 방향으로 조절되는 길이를 가진 가압 유닛; 및
상기 가압 유닛에 결합되어 상기 가압 유닛에 의해 상기 제3 방향에서의 위치가 변경되는 복수의 연마 패드들을 포함하고,
상기 연마 패드들은 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 배열되고,
상기 연마 패드들의 상기 제2 방향에서의 길이는 상기 기판의 상기 제2 방향에서의 길이보다 큰 길이를 가지고,
상기 연마 패드들 각각은 평면상에서 사각 형상을 가진 기판 연마 장치.
제16 항에 있어서,
상기 연마 패드들 각각의 상기 제3 방향에서의 위치들은 서로 동일한 기판 연마 장치.
제16 항에 있어서,
상기 가압 유닛은 상기 제1 방향을 따라 이격된 복수의 가압부들을 포함하고,
상기 연마 패드들은 상기 가압부들에 각각 결합되고,
상기 가압부들 각각의 상기 제3 방향에서의 길이들은 독립적으로 조절되는 기판 연마 장치.
제16 항에 있어서,
상기 연마 패드들 사이에 배치되어 슬러리를 제공하는 노즐부를 더 포함하는 기판 연마 장치.
제16 항에 있어서,
상기 연마 패드들 및 상기 가압 유닛 사이에 배치되어 상기 제3 방향에서 조절되는 두께를 가진 팽창부를 더 포함하고,
상기 연마 패드들의 상기 제3 방향에서의 위치는 상기 가압 유닛의 상기 제3 방향에서의 길이 및 상기 팽창부의 상기 제3 방향에서의 두께에 의해 변경되는 기판 연마 장치.