JP2007075973A - 研磨方法及び研磨装置、並びに研磨装置制御用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研磨休止時に待機運転を行い、待機運転終了後に、研磨面に研磨液を供給しながら該研磨面をドレッシングする研磨準備処理を行い、研磨準備処理終了後に被研磨物に対する研磨処理を開始する。待機運転終了後に研磨準備処理を行うか否かを、待機運転の延べ運転時間または延べ実効回数を基に決定してもよい。
【選択図】 なし
Description
これにより、待機運転中に研磨面が乾燥してしまうことを防止することができる。
待機運転終了後、研磨準備処理を行うか否かを、待機運転の延べ運転時間または延べ実効回数を基に決定することで、待機運転終了後の必要な時にのみ研磨準備処理を行うことができる。
このように、待機運転中に研磨面のドレッシングを行うことで、研磨面に対するドレッシング時間をより長くし、研磨面の十分な目立てを行って、研磨面を持つ研磨パッド等の寿命を延ばすことができる。
このように、待機運転中に、トップリングの圧力室を加圧して、被研磨物を押圧する弾性体を強制的に伸縮させることで、弾性体が経時的に硬化(劣化)して該弾性体の伸縮が不足してしまうことを防止することができる。
図3に示すように、トップリング1は、内部に収容空間を有する円筒容器状のトップリング本体2と、トップリング本体2の下端に固定されたリテーナリング3を備えている。トップリング本体2は、例えば金属やセラミックス等の強度及び剛性が高い材料から形成されている。リテーナリング3は、例えば剛性の高い樹脂材又はセラミックス等から形成されている。
4,506 弾性パッド(弾性体)
5 ホルダーリング
6 チャッキングプレート
7 加圧シート
8 センターバッグ
9 リングチューブ
22,23,24,25,501,502,503,504 圧力室
41,508 開口部
81,91 弾性膜(弾性体)
82 センターバッグホルダー
92 リングチューブホルダー
100 研磨テーブル
101 研磨パッド
102 研磨液供給ノズル
104 純水供給ノズル
110 トップリングヘッド
120 圧縮空気源
121 真空源
130 ドレッサヘッド
204 カセット
206 載置台
210 ロータリートランスポーター
212,214 洗浄機
218 ドレッサ
400 制御部
401 入力部
402 ホストコンピュータ
Claims (11)
- 研磨休止時に待機運転を行い、
前記待機運転終了後に、研磨面に研磨液を供給しながら該研磨面をドレッシングする研磨準備処理を行い、
前記研磨準備処理終了後に被研磨物に対する研磨処理を開始することを特徴とする研磨方法。 - 前記待機運転中に、前記研磨面に純水を供給することを特徴とする請求項1記載の研磨方法。
- 前記待機運転終了後に前記研磨準備処理を行うか否かを、前記待機運転の延べ運転時間または延べ実効回数を基に決定することを特徴とする請求項1または2記載の研磨方法。
- 前記待機運転中に、前記研磨面のドレッシングを行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の研磨方法。
- 前記待機運転中に、弾性体を介して被研磨物を研磨面に向けて押圧するトップリングの圧力室内を加圧することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の研磨方法。
- 研磨面を有する研磨テーブルと、
被研磨物を保持し前記研磨面に対して押圧するトップリングと、
前記研磨面に対するドレッシングを行うドレッサと、
前記研磨面に研磨液を供給する研磨液供給ノズルと、
研磨休止中における待機運転終了後に前記研磨面に研磨液を供給しながら該研磨面をドレッシングする研磨準備処理を行うように、前記研磨テーブル、研磨液供給ノズル及び前記ドレッサを制御する制御部を有することを特徴とする研磨装置。 - 前記制御部は、前記待機運転の延べ運転時間または延べ実効回数を基に前記研磨準備処理を行うか否かを決定することを特徴とする請求項6記載の研磨装置。
- 研磨休止時に待機運転を実行させ、
前記待機運転終了後に、研磨面に研磨液を供給しながら該研磨面をドレッシングする研磨準備処理を実行させ、
前記研磨準備処理終了後に被研磨物に対する研磨処理を開始させることを特徴とする研磨装置制御用プログラム。 - 前記待機運転終了後に前記研磨準備処理を行うか否かを、前記待機運転の延べ運転時間または延べ実効回数を基に決定することを特徴とする請求項8記載の研磨装置制御用プログラム。
- 前記待機運転中に研磨面のドレッシングを行うか否かを、研磨面の累積使用時間を基に決定することを特徴とする請求項8または9記載の研磨装置制御用プログラム。
- 弾性体を介して被研磨物を研磨面に向けて押圧するトップリングの圧力室を前記待機運転中に加圧するか否かを、前記弾性体の累積使用時間を基に決定することを特徴とする請求項8乃至10のいずれかに記載の研磨装置制御用プログラム。
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