JP2007210045A - 高速両頭研磨方法およびその両頭研磨装置 - Google Patents
高速両頭研磨方法およびその両頭研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007210045A JP2007210045A JP2006030132A JP2006030132A JP2007210045A JP 2007210045 A JP2007210045 A JP 2007210045A JP 2006030132 A JP2006030132 A JP 2006030132A JP 2006030132 A JP2006030132 A JP 2006030132A JP 2007210045 A JP2007210045 A JP 2007210045A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- disk
- diameter
- double
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
【解決手段】直径が被加工物(ディスクD)の最大直径の0.5〜10倍の範囲にあり、研磨面の平面度を小さくした一対の小径の粗研磨砥石4a、4bと仕上げ研磨砥石4c、4dを用い、砥石の台金に回転振れ防止用のバランスウエイトを装着し、砥石回転数を
500〜10000rpmの範囲の高速にして、直径50mm以下の小径ディスクDに高速両頭研磨を行ない、研磨ディスクを製造するようにした。それにより、平面度に優れ、被加工物間の研磨量の差が少なくなり、研磨加工時間が短縮され、ハンドリングが簡素化され、品質に優れた小径ディスクの研磨製品を良好な生産効率で製造することができる。
【選択図】図1
Description
4a、4b:粗研磨砥石 4c、4d:仕上げ研磨砥石 5、5a:台金
6:ねじ穴 7、8:キャリア D:(小径)ディスク
W:バランス用ウエイト
Claims (6)
- 一対の回転する円形の砥石の間に円板状の被加工物を挿入し、前記砥石を高速で回転させてその両面を研磨する高速両頭研磨方法であって、前記被加工物の直径が50mm以下であり、前記砥石の直径が前記被加工物の最大直径の0.5〜10倍の範囲にあり、回転に伴う前記砥石の振れ抑制手段を設けて500〜10000rpmの範囲の回転数で被加工物の研磨を行なうことを特徴とする高速両頭研磨方法。
- 前記振れ抑制手段が、前記砥石の台座に装着したバランス用ウエイトであることを特徴とする請求項1に記載の高速両頭研磨方法。
- 前記一対の砥石の研磨面の平面度が100μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の高速両頭研磨方法。
- 円板状の被加工物の研磨工程と、研磨後の洗浄工程と乾燥工程を備え、前記研磨工程で、直径が50mm以下の円板状の被加工物を、請求項1から3のいずれかに記載の高速両頭研磨方法を用いて研磨する円板状被加工物の高速両頭研磨プロセス。
- 前記研磨工程、洗浄工程および乾燥工程で、前記円板状の被加工物をキャリヤに保持し、前記それぞれの工程内および工程間で前記被加工物を自動搬送するようにした請求項4に記載の円板状被加工物の高速両頭研磨プロセス。
- 回転する一対の円形の砥石を備え、この砥石の間に直径が50mm以下の円板状の被加工物を挿入し、前記砥石を高速で回転させてその両面を研磨する高速両頭研磨装置であって、前記砥石の直径が前記被加工物の最大直径の0.5〜10倍の範囲にあり、前記砥石の台座に、回転に伴う砥石の振れ抑制用のバランス用ウエイトを装着し、500〜10000rpmの範囲の回転数で被加工物の研磨を行なうようにしたことを特徴とする高速両頭研磨装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006030132A JP2007210045A (ja) | 2006-02-07 | 2006-02-07 | 高速両頭研磨方法およびその両頭研磨装置 |
MYPI20064064A MY147043A (en) | 2006-02-07 | 2006-08-30 | High-speed double-side grinding method and apparatus therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006030132A JP2007210045A (ja) | 2006-02-07 | 2006-02-07 | 高速両頭研磨方法およびその両頭研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007210045A true JP2007210045A (ja) | 2007-08-23 |
Family
ID=38488900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006030132A Pending JP2007210045A (ja) | 2006-02-07 | 2006-02-07 | 高速両頭研磨方法およびその両頭研磨装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007210045A (ja) |
MY (1) | MY147043A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105415122A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-03-23 | 浙江万丰科技开发股份有限公司 | 一种发动机缸体的自动化打磨生产线 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5575450U (ja) * | 1978-11-14 | 1980-05-24 | ||
JPH01301060A (ja) * | 1988-05-28 | 1989-12-05 | Nagase Iron Works Co Ltd | 回転体のオートバランサー用制御装置 |
JPH10249720A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-22 | Kobe Steel Ltd | 平板状工作物のポリッシング加工方法 |
JP2000288922A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-17 | Hoya Corp | 研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法 |
JP2001001241A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラス基板の研削方法 |
JP2001001242A (ja) * | 1999-06-16 | 2001-01-09 | Daido Steel Co Ltd | ガラス基板の研磨方法 |
JP2001310247A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-06 | Nippei Toyama Corp | 回転ワークの研削方法 |
JP2004154893A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Mitsubishi Materials Techno Corp | 板硝子の研磨方法および研磨装置 |
JP2004154924A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-06-03 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 研磨装置、研磨装置用キャリアおよび研磨方法 |
JP2005224892A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Nippon Tokushu Kento Kk | 研磨方法 |
-
2006
- 2006-02-07 JP JP2006030132A patent/JP2007210045A/ja active Pending
- 2006-08-30 MY MYPI20064064A patent/MY147043A/en unknown
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5575450U (ja) * | 1978-11-14 | 1980-05-24 | ||
JPH01301060A (ja) * | 1988-05-28 | 1989-12-05 | Nagase Iron Works Co Ltd | 回転体のオートバランサー用制御装置 |
JPH10249720A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-22 | Kobe Steel Ltd | 平板状工作物のポリッシング加工方法 |
JP2000288922A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-17 | Hoya Corp | 研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法 |
JP2001001242A (ja) * | 1999-06-16 | 2001-01-09 | Daido Steel Co Ltd | ガラス基板の研磨方法 |
JP2001001241A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラス基板の研削方法 |
JP2001310247A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-06 | Nippei Toyama Corp | 回転ワークの研削方法 |
JP2004154924A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-06-03 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 研磨装置、研磨装置用キャリアおよび研磨方法 |
JP2004154893A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Mitsubishi Materials Techno Corp | 板硝子の研磨方法および研磨装置 |
JP2005224892A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Nippon Tokushu Kento Kk | 研磨方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105415122A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-03-23 | 浙江万丰科技开发股份有限公司 | 一种发动机缸体的自动化打磨生产线 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MY147043A (en) | 2012-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4838614B2 (ja) | 半導体基板の平坦化装置および平坦化方法 | |
JP5305214B2 (ja) | 板ガラスの端面加工方法 | |
JP5226287B2 (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP6877585B2 (ja) | 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
WO2009125835A1 (ja) | 研磨装置、研磨補助装置、および研磨方法 | |
KR101658250B1 (ko) | 기판 이면 연마 장치, 기판 이면 연마 시스템 및 기판 이면 연마 방법 및 기판 이면 연마 프로그램을 기록한 기록 매체 | |
WO2015182316A1 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5405979B2 (ja) | 研磨ホイール | |
JP2007210045A (ja) | 高速両頭研磨方法およびその両頭研磨装置 | |
JP6963075B2 (ja) | ウェハの表面処理装置 | |
JP7118558B2 (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP6717706B2 (ja) | ウェハの表面処理装置 | |
JPH10328986A (ja) | ディスク基板中間体とその製造方法及び研削加工装置 | |
JP2002273657A (ja) | Cmp加工用ドレッサ | |
JP2000190199A (ja) | 定盤平面修正方法 | |
JP6843554B2 (ja) | ウェハの表面処理装置 | |
KR102381559B1 (ko) | 연마 시스템 | |
JP4122800B2 (ja) | 半導体ウェーハの研磨方法 | |
JP3498902B2 (ja) | 半導体ウエハの平坦化装置 | |
JP7301472B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2000153458A (ja) | 両面加工機における砥石定盤の面出し方法及び装置 | |
JP2004338028A (ja) | 研削用砥石及びこの研削用砥石を備える研削装置 | |
JP2575934B2 (ja) | 硬脆性材料ラッピング方法および装置 | |
JPH11188588A (ja) | ディスク基板中間体およびその製造方法 | |
JP4189325B2 (ja) | 研磨装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20080926 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110330 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20110404 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110630 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110802 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20111003 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120424 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120904 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |