KR20070082243A - 평판 디스플레이 기판용 코팅장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판디스플레이 기판용 코팅장치에 관한 것이다. 본 발명은 프레임(20)과, 상기 프레임(20) 상에 승강가능하게 설치되고 프레임의 내부로 기판을 이송하는 인입컨베이어(24)와, 상기 프레임(20) 상에 승강가능하게 설치되고 프레임(20)에서 기판(g)을 외부로 인출하는 인출컨베이어(26)와, 상기 인입컨베이어(24)와 인출컨베이어(26)가 하강된 상태에서 프레임(20) 상에서 기판(g)을 에어압력으로 지지하고 양단을 파지하여 이송하는 에어반송유니트(34)와, 상기 에어반송유니트(34) 상부에 위치되어 에어반송유니트(34)에 의해 반송되는 기판(g) 상에 코팅층을 형성하는 노즐유니트(28)를 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 코팅장치에서는 코팅공정 이전과 이후의 공정 사이에서의 기판이송을 컨베이어를 사용하므로 기판의 이송이 원활하여 작업성이 높아지고 로봇을 사용할 때보다 기판의 이송을 위한 구성이 간소화된다. 그리고, 본 발명에 의하면 기판에 코팅이 이루어지는 과정에서 기판이 공기압에 의해 부양된 상태로 그리퍼에 의해 이송되므로 기판과 주변 부품과의 마찰이 없어 기판의 손상이나 정전기의 발생 등을 미연에 방지할 수 있어 수율이 높아지는 이점도 있다.

평판 디스플레이, 코팅, 에어, 컨베이어

Description

평판 디스플레이 기판용 코팅장치{Coating apparatus for substrate of flat panel display}

도 1은 종래 기술에 의한 평판 디스플레이 기판용 코팅장치의 구성을 보인 평면도.

도 2는 종래 기술에 의한 평판 디스플레이 기판용 코팅장치의 구성을 보인 정면도.

도 3은 본 발명에 의한 평판디스플레이 기판용 코팅장치의 바람직한 실시예의 구성을 보인 평면도.

도 4는 본 발명 실시예의 구성을 보인 정면도.

도 5는 본 발명 실시예의 구성을 보인 측면도.

도 6은 본 발명 실시예를 구성하는 에어반송유니트의 구성을 보인 평면도.

도 7은 본 발명 실시예의 작업영역과 노즐유니트 부분을 보인 개략단면도.

도 8은 본 발명 실시예를 구성하는 그립퍼 및 그 이동을 위한 구성을 보인 개략단면도.

도 9는 본 발명 실시예를 구성하는 그립퍼의 지지아암의 요부 구성을 보인 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

20: 프레임 22: 레그

24: 인입컨베이어 26: 인출컨베이어

28: 노즐유니트 30: 액토출구

31: 노즐승강부 32: 세정유니트

34: 에어반송유니트 36: 이송에어분사대

36': 작업에어분사대 38,38': 에어토출공

39: 에어흡입관 40: 롤러간극

42: 그립퍼 44: 지지아암

46: 지지단차 48: 진공흡착공

50: 이동대 52: 리니어레일

54: 에어베어링 56: 코어리스 리니어모터

본 발명은 평판디스플레이에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판디스플레이의 제작에 사용되는 기판에 코팅층을 형성하는 평판디스플레이 기판용 코팅장치에 관한 것이다.

최근 평판 디스플레이가 대면적이면서 박형화되는 추세이다. 이와 같이 대면적이면서 박형화된 평판 디스플레이장치에는 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 그리고 유기EL(Electro Luminescent)등이 있다. 일반적으로 평판 디스플레이에서는 글래스로 된 기판을 사용한다. 도 1 및 도 2에는 이와 같은 평판 디스플레이에서 사용되는 글래스에 코팅층을 형성하기 위한 코팅장치가 도시되어 있다.

이에 따르면, 프레임(1)이 구비된다. 상기 프레임(1)에는 코팅장치를 구성하는 각종 부품이 설치된다. 상기 프레임(1)상에는 기판(3)이 안착되는 척테이블(5)이 설치된다. 상기 척테이블(5)은 진공을 이용하여 기판(3)을 그 상면에 고정한다.

상기 척테이블(3)의 내부와 상면 상부의 사이에서 승강가능하게 리프트핀(7)이 설치된다. 상기 리프트핀(7)은 상기 척테이블(3)의 상면 상부로 돌출되어 로봇이 기판(3)을 척테이블(5)상에 안착시키거나 파지하여 이송시킬 수 있도록 한다. 즉, 상기 리프트핀(7)은 척테이블(5)과 기판(3)의 사이에 간격을 형성하여 로봇이 기판(3)을 취급할 수 있도록 한다.

상기 척테이블(3)의 양단에 해당되는 프레임(1)의 상면 양측을 따라서는 노즐이송스테이지(9)가 구비된다. 상기 노즐이송스테이지(9)에는 상기 기판(3)의 일측 폭만큼의 폭을 가지는 노즐(11)의 양단이 이동가능하게 지지된다. 상기 노즐(11)은 상기 노즐이송스테이지(9)을 따라 이동하면서 상기 척테이블(5)상에 안착된 기판(3)에 코팅층을 형성한다. 도면중 미설명 부호 13은 상기 노즐(11)을 세정하는 세정유니트이다.

이와 같은 구성을 가지는 종래 기술에서는 로봇이 기판(3)을 상기 척테이블(5) 상으로 이송시킨다. 이때, 상기 척테이블(5)상면에는 상기 리프트핀(7)이 돌출되어 있다. 따라서, 상기 기판(3)은 상기 리프트핀(7)에 의해 척테이블(5)의 상면 에서 이격된 상태로 위치된다. 이와 같은 상태에서 로봇이 기판(3)을 놓고 빠져나가면, 상기 리프트핀(7)이 하강하여 기판(3)이 척테이블(5)상에 안착되도록 한다.

다음으로, 상기 척테이블(5)은 상기 기판(3)을 진공압력으로 흡착하여 기판(3)이 유동되지 않도록 한다. 이와 같은 상태에서 상기 노즐(11)이 노즐이송스테이지(9)를 따라 이동하면서, 상기 기판(3)상에 코팅층을 형성한다.

코팅층이 완성되면, 상기 척테이블(5)은 진공압력을 해제하고 상기 리프트핀(7)이 상승하여 기판(3)이 척테이블(5)의 상면에서 이격되게 한다. 그리고, 로봇을 사용하여 상기 기판(3)을 척테이블(5)에서 들어낸다.

그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다.

먼저, 종래 기술에서는 로봇을 이용하여 기판(3)을 코팅장치의 척테이블(5)에 안착시키고, 코팅층의 형성이 끝나면 다시 로봇을 이용하여 기판(3)을 척테이블(5)에서 들어내므로, 기판(3)에 코팅층을 형성하는 공정에 소요되는 시간이 많아진다. 즉, 로봇으로 기판(3)을 취급하기 위해 리프트핀(7)을 승강시키는 등의 시간이 필요하고, 로봇을 사용하여서는 기판(3)을 연속적으로 이송하면서 각각의 공정을 수행할 수 없어 신속한 기판(3)의 이송이 수행되지 않는 문제점이 있다.

그리고, 종래 기술에서는 로봇을 사용하여 기판(3)을 이송하고, 척테이블(5)상에 기판(3)을 직접 안착시키므로, 기판(3)의 이송과정과 척테이블(5)에 기판(3)을 안착하여 작업을 진행하는 과정에서 기판(3)의 손상이 많이 발생한다.

특히, 척테이블(5)에 이물질이 존재하는 경우에, 해당되는 기판(3)의 부분이 상대적으로 돌출되어 노즐(11)과 충돌할 수 있다. 이와 같이 되면 상기 노즐(11)이 나 기판(3)이 손상되는 문제점이 있다. 이는, 노즐(11)이 기판(3)의 표면에 거의 근접(100㎛ 정도로 근접)하여 작업을 수행하기 때문이다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 이전 공정과 이후 공정 사이에서 기판을 연속적으로 이송할 수 있는 코팅장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 코팅작업을 위한 기판의 이송과정에서 기판과 다른 부품 사이의 마찰이 없도록 하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 프레임과, 상기 프레임 상에 승강가능하게 설치되고 프레임의 내부로 기판을 이송하는 인입컨베이어와, 상기 프레임 상에 승강가능하게 설치되고 프레임에서 기판을 외부로 인출하는 인출컨베이어와, 상기 인입컨베이어와 인출컨베이어가 하강된 상태에서 프레임 상에서 기판을 에어압력으로 지지하고 양단을 파지하여 이송하는 에어반송유니트와, 상기 에어반송유니트 상부에 위치되어 에어반송유니트에 의해 반송되는 기판 상에 코팅층을 형성하는 노즐유니트를 포함하여 구성된다.

상기 에어반송유니트는 표면에 에어토출공이 천공되는 에어분사대를 구비하여 에어토출공에서 나오는 에어로 기판을 지지하고, 상기 프레임의 양단에 기판의 이송방향으로 따라 설치된 그립퍼에 의해 기판을 이송한다.

상기 에어반송유니트는 상기 인입컨베이어와 대응되는 위치에 구비되고 다수개의 이송에어분사대로 구성되는 인입영역과, 상기 노즐유니트와 대응되는 위치에 구비되고 에어를 토출하는 에어토출공의 내부에 에어를 흡입하여 기판의 하면에 진공을 형성하는 에어흡입관이 구비되어 구성되는 작업에어분사대로 구성되는 작업영역과, 상기 인출컨베이어와 대응되는 위치에 구비되고 다수개의 이송에어분사대로 구성되는 인출영역으로 구분된다.

상기 인입영역과 인출영역의 이송에어분사대는 기판의 이송방향으로 배치되는데, 그들 사이에는 기판의 이송방향으로 길게 롤러간극이 형성되어 컨베이어의 승강이 가능하게 한다.

상기 에어반송유니트를 구성하는 그립퍼는 상기 프레임의 양단에 기판의 이송방향을 따라 이동되게 설치되는데, 프레임의 양단을 따라서 설치된 리니어레일을 따라 이동되는 이동대상에 다수개의 지지아암이 구비되고, 상기 지지아암의 선단에는 기판의 하면 양단 가장자리를 흡착하여 지지하는 지지단차가 형성된다.

상기 지지단차의 표면에는 기판의 하면을 진공으로 흡착하기 위한 진공흡착공이 형성된다.

상기 노즐유니트는 상기 프레임의 양단에 구비된 노즐승강부에 의해 상하로 승강가능하게 설치된다.

상기 노즐유니트에 인접한 위치에는 노즐유니트의 세정을 위한 세정유니트가 더 구비된다.

상기 인입 및 인출 컨베이어는 상기 에어반송유니트에 대해 상대적으로 상승 한 위치에서 다른 공정과의 연결을 위한 컨베이어와 연결되어 기판을 이송한다.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 코팅장치에서는 코팅공정 이전과 이후의 공정 사이에서의 기판이송을 컨베이어를 사용하므로 기판의 이송이 원활하여 작업성이 높아지고 로봇을 사용할 때보다 기판의 이송을 위한 구성이 간소화된다. 그리고, 본 발명에 의하면 기판에 코팅이 이루어지는 과정에서 기판이 공기압에 의해 부양된 상태로 그리퍼에 의해 이송되므로 기판과 주변 부품과의 마찰이 없어 기판의 손상이나 정전기의 발생 등을 미연에 방지할 수 있어 수율이 높아지는 이점도 있다.

이하 본 발명에 의한 평판디스플레이 기판용 코팅장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.

도 3에는 본 발명에 의한 평판디스플레이 기판용 코팅장치의 바람직한 실시예의 구성이 평면도로 도시되어 있고, 도 4에는 본 발명 실시예의 구성이 정면도로 도시되어 있고, 도 5에는 본 발명 실시예의 구성이 측면도로 도시되어 있다.

이들 도면에 도시된 바에 따르면, 프레임(20)은 레그(22)에 의해 바닥면에 지지된다. 상기 프레임(20)에는 코팅장치를 구성하는 각종 부품들이 설치된다. 상기 프레임(20)의 상에는 기판(g)을 이송하는 인입컨베이어(24)와 인출컨베이어(26)가 구비된다. 상기 인입컨베이어(24)와 인출컨베이어(26)는 다수개의 롤러를 구비하여 롤러상에 기판(g)을 안착시켜 이송하는 것이다.

상기 인입컨베이어(24)는 코팅장치로 기판(g)을 인입시키는 것이고, 인출컨베이어(26)는 코팅작업이 완료된 기판(g)을 코팅장치에서 인출시키는 것이다. 상기 인입컨베이어(24)와 인출컨베이어(26)는 각각 승강가능하게 구성된다. 즉, 아래에서 설명될 에어반송유니트(34)의 상면을 기준으로 상하부로 승강가능하다. 상기 인입컨베이어(24)와 인출컨베이어(26)는 상대적으로 상승한 상태에서 코팅장치 전후의 컨베이어와 협력하여 기판(g)을 이송시킬 수 있고, 상대적으로 하강하여 기판(g)을 에어반송유니트(34)의 상에 위치시킬 수 있다. 상기 컨베이어(24)는 다수개의 롤러를 구비하여 기판(g)을 이송하는 것으로 별도의 구동원을 사용하여 롤러를 회전시켜 기판(g)을 이송한다.

노즐유니트(28)는 코팅층의 형성을 위한 재료를 분사하는 것이다. 상기 노즐유니트(28)는 상기 프레임(20)에서 기판(g)의 이동방향 중간 위치에 기판(g)의 이동방향에 직교하는 방향으로 길게 연장되게 구비된다. 상기 노즐유니트(28)에는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(20)의 상부를 따라 이동되는 기판(g)의 상면과 마주보는 위치에 액토출구(30)가 구비된다. 상기 노즐유니트(28)는 상기 프레임(20)의 양단에 설치된 노즐승강부(31)에 의해 필요시 프레임(20)에 대해 상하로 승강할 수 있다. 도면부호 32는 상기 노즐유니트(28)를 세정하는 세정유니트이다.

상기 프레임(20)의 상면에는 에어반송유니트(34)가 구비된다. 상기 에어반송유니트(34)는 공기를 분출하여 기판(g)을 부상시킨 상태로 이송하는 것이다. 상기 에어반송유니트(34)에는 이송에어분사대(36)가 구비된다. 상기 이송에어분사대(36)는 평면도로 볼 때 장방형상으로서 상기 기판(g)의 진행방향으로 다수개가 길게 연장되어 설치된다. 상기 이송에어분사대(36)의 사이에는 롤러간극(40)이 구비된다. 상기 롤러간극(40)은 상기 컨베이어(24,26)가 상기 이송에어분사대(36)와 간섭되지 않고 승강될 수 있도록 한다. 상기 이송에어분사대(36)는 상기 인입컨베이어(24)와 인출컨베이어(26)가 구비된 위치와 동일한 위치에 기판(g)의 이동방향으로 설치된다. 상기 이송에어분사대(36)에는 기판(g)의 하면으로 에어를 분출하는 에어토출공(38)이 형성되어 있다.

한편, 상기 노즐유니트(28)의 하부에 해당되는 상기 에어반송유니트(34)에는 작업에어분사대(36')가 구비된다. 상기 작업에어분사대(36')는 기판(g)의 이송방향과 직교하는 방향, 즉 노즐유니트(28)가 연장되는 방향으로 길게 설치된다. 상기 작업에어분사대(36')에는 다수개의 에어토출공(38')이 천공되어 있다. 상기 에어토출공(38')은 기판(g)의 하면으로 에어를 분사하는 역할을 한다. 그리고, 상기 에어토출공(38')의 중앙에는 에어흡입관(39)이 구비된다. 상기 에어흡입관(39)은 상기 기판(g)의 하면에 진공압력을 형성하는 역할을 한다. 따라서, 상기 작업에어분사대(36')에서 에어가 분사됨과 동시에 진공압력을 형성하면서, 상기 기판(g)의 평탄도를 보다 정확하게 유지할 수 있다.

상기 에어반송유니트(34)의 상면은, 도 6에 도시된 바와 같이, 크게 3개의 영역으로 나누어진다. 먼저, 상기 인입컨베이어(24)가 설치된 영역으로 이송에어분사대(36)가 배치되는 인입영역이 있다. 그리고, 상기 노즐유니트(28)의 하부에 해당되고, 상기 작업에어분사대(36')가 설치되어 있는 작업영역이 있다. 마지막으로, 상기 작업영역을 기준으로 상기 인입영역의 반대쪽인 인출영역이 있다. 상기 인출영역에는 상기 인출컨베이어(26)가 설치된다. 이와 같은, 인입영역, 작업영역 및 인출영역의 면적은 2개의 기판(g)의 면적과 같게 형성된다. 상기 에어반송유니트 (34)에서 상기 이송에어분사대(36)가 배치되는 폭은 상기 기판(g)의 폭보다 약간 크게 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 에어반송유니트(34)의 양단, 즉 기판(g)의 이송방향 양단에는 그립퍼(42)가 구비된다. 상기 그립퍼(42)는 기판(g)의 하면 양단 가장자리에 밀착됨에 의해 기판(g)을 지지하여 이송시키는 역할을 한다. 즉, 그립퍼(42)는 기판(g)의 양단을 지지하면서 기판(g)을 이송시키는 역할을 하고, 상기 에어토출공(38)에서 나오는 에어는 기판(g)을 지지하는 역할을 한다.

상기 양단의 그립퍼(42)는 각각 다수개의 지지아암(44)을 구비한다. 상기 지지아암(44)의 선단 상면에는 지지단차(46)가 형성되고, 상기 지지단차(46)에는 진공흡착공(48)이 형성된다. 상기 지지단차(46)에는 기판(g)의 하면 양단과 측면이 각각 가이드되어 안착된다. 상기 진공흡착공(48)은 진공흡입력을 발생시켜 기판(g)이 지지단차(46)에 밀착되도록 한다. 상기 진공흡착공(48)은 대략 타원형상으로 형성된다.

상기 그립퍼(42)에는 이동대(50)가 구비되고, 상기 이동대(50)는 상기 프레임(20)의 양단, 즉 기판(g)의 이송방향 양단을 따라 길게 연장된 리니어레일(52)을 따라 이동된다. 상기 이동대(50)가 상기 리니어레일(52)을 따라 이동함에 의해 상기 그립퍼(42)는 기판(g)을 이송시킬 수 있다. 상기 이동대(50)에는 상기 리니어레일(52)과의 사이에 에어베어링(54)을 구비하여 리니어레일(52)을 따른 이동이 원활하게 되도록 한다. 도면부호 56은 그립퍼(42)의 이동을 위한 동력을 제공하는 코어리스 리니어모터이다.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 평판디스플레이 기판용 코팅장치의 작용을 상세하게 설명한다.

본 발명의 코팅장치는 평판 디스플레이용 기판(g)에 코팅층을 형성하는 것으로, 이전 단계의 공정을 마친 기판(g)은 전체 공정을 연결하는 컨베이어에 의해 이송된다. 컨베이어에 의해 코팅장치로 전달된 기판(g)은 인입컨베이어(24)로 전달된다. 이때, 상기 인입컨베이어(24)는 기판(g)을 전달받기 위해 상기 에어반송유니트(34)의 상면 상부로 돌출된 상태이다. 물론, 이와 같은 상태에서 상기 인입컨베이어(24)와 전체 공정을 연결하는 컨베이어는 같은 높이에 있게 된다.

다음으로, 상기 인입컨베이어(24)상에 기판(g)이 완전히 들어서게 되면, 상기 인입컨베이어(24)는 하강한다. 따라서, 상기 기판(g)도 함께 하강한다. 상기 기판(g)이 하강하면, 그 양단이 상기 그립퍼(42)의 지지단차(46)에 놓여진다. 실제로 상기 그립퍼(42)의 지지단차(46)의 상면은 상기 이송에어분사대(36)의 상면보다 약간 높은 위치에 있다.(실제로 0.5mm정도)

이와 같은 상태에서 상기 이송에어분사대(36)의 에어토출공(38)에서 에어가 분출되면, 상기 기판(g)의 하면에 에어가 분사되면서 전체적으로 기판(g)이 평탄한 상태로 유지된다. 그리고, 상기 그립퍼(42)의 이동대(50)가 리니어레일(52)을 따라 이동하여 기판(g)이 이송되도록 한다.

한편, 상기 기판(g)이 이송되어 상기 노즐유니트(28)의 하부를 통과할 때 코팅이 이루어진다. 상기 노즐유니트(28) 하부의 에어반송유니트(34) 부분, 즉 작업영역에서는 작업에어분사대(36')의 에어토출공(38')에서 공기가 분사되고, 에어흡 입관(39)을 통해 진공압력이 형성되면서 기판(g)의 평탄도를 보다 균일하게 유지한다.

그리고, 상기 작업영역에서 상기 노즐유니트(28)의 액토출구(30)를 통해 코팅액이 상기 기판(g)상에 토출되어 코팅층이 형성된다. 상기 기판(g)에 코팅이 이루어지면서, 기판(g)의 선단이 상기 인출영역으로 진입하기 시작하는데, 상기 인출영역에서도 상기 이송에어분사대(36)의 에어토출공(38)에서 에어가 분사되면서 기판(g)의 평탄도를 유지하게 된다.

상기 기판(g)이 상기 노즐유니트(28)를 다 통과하여 코팅층의 형성이 완료되면, 상기 기판(g)이 상기 인출영역에 위치하게 된다. 물론, 상기 그립퍼(42)도 인출영역에 위치하게 된다.

이와 같은 상태에서 상기 인출컨베이어(26)가 상승하면, 그 롤러가 상기 에어분사대(36) 사이의 롤러간극(40)을 통해 상승하여 기판(g)을 지지하게 된다. 상기 인출컨베이어(26)의 상승이 완료되면, 상기 기판(g)은 상기 에어분사대(36)와 그립퍼(42)에서 완전히 이격되고, 상기 인출컨베이어(26)의 구동에 의해 이송되기 시작한다.

한편, 이와 같이 상기 인출컨베이어(26)에 의해 기판(g)이 코팅장치에서 인출되는 중에 상기 인입컨베이어(24)로는 또 다른 기판(g)이 전달되어 코팅작업을 준비하게 된다.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 평판 디스플레이 기판용 코팅장치에서는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

먼저, 코팅이 수행될 기판을 코팅장치로 인입하거나 코팅이 완료된 기판을 코팅장치에서 인출할 때, 컨베이어를 이용하므로 평판 디스플레이를 만들기 위한 전체 공정을 일관공정으로 만들 수 있다. 따라서, 기판의 이송이 원활하고 신속하게 이루어져 전체 작업시간을 줄일 수 있고, 로봇을 이용하는 것보다 비용이 적게 드는 효과가 있다.

그리고, 본 발명에서는 코팅작업을 위한 기판의 이송과정에서 기판이 에어에 의해 부양된 상태로 그립퍼로 이송되므로 기판의 표면이 다른 부품과 마찰되지 않게 된다. 따라서, 기판의 손상이나 정전기의 발생 등이 없어 제조수율이 높아지는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (9)

1. 프레임과,

   상기 프레임 상에 승강가능하게 설치되고 프레임의 내부로 기판을 이송하는 인입컨베이어와,

   상기 프레임 상에 승강가능하게 설치되고 프레임에서 기판을 외부로 인출하는 인출컨베이어와,

   상기 인입컨베이어와 인출컨베이어가 하강된 상태에서 프레임 상에서 기판을 에어압력으로 지지하고 양단을 파지하여 이송하는 에어반송유니트와,

   상기 에어반송유니트 상부에 위치되어 에어반송유니트에 의해 반송되는 기판 상에 코팅층을 형성하는 노즐유니트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 에어반송유니트는 표면에 에어토출공이 천공되는 에어분사대를 구비하여 에어토출공에서 나오는 에어로 기판을 지지하고, 상기 프레임의 양단에 기판의 이송방향으로 따라 설치된 그립퍼에 의해 기판을 이송함을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
3. 제1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 에어반송유니트는 상기 인입컨베이어와 대응되는 위치에 구비되고 다수개의 이송에어분사대로 구성되는 인입영역과,

   상기 노즐유니트와 대응되는 위치에 구비되고 에어를 토출하는 에어토출공의 내부에 에어를 흡입하여 기판의 하면에 진공을 형성하는 에어흡입관이 구비되어 구성되는 작업에어분사대로 구성되는 작업영역과,

   상기 인출컨베이어와 대응되는 위치에 구비되고 다수개의 이송에어분사대로 구성되는 인출영역으로 구분됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 인입영역과 인출영역의 이송에어분사대는 기판의 이송방향으로 배치되는데, 그들 사이에는 기판의 이송방향으로 길게 롤러간극이 형성되어 컨베이어의 승강이 가능하게 함을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 에어반송유니트를 구성하는 그립퍼는 상기 프레임의 양단에 기판의 이송방향을 따라 이동되게 설치되는데, 프레임의 양단을 따라서 설치된 리니어레일을 따라 이동되는 이동대상에 다수개의 지지아암이 구비되고, 상기 지지아암의 선단에는 기판의 하면 양단 가장자리를 흡착하여 지지하는 지지단차가 형성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 지지단차의 표면에는 기판의 하면을 진공으로 흡착하기 위한 진공흡착공이 형성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐유니트는 상기 프레임의 양단에 구비된 노즐승강부에 의해 상하로 승강가능하게 설치됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
8. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 노즐유니트에 인접한 위치에는 노즐유니트의 세정을 위한 세정유니트가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 인입 및 인출 컨베이어는 상기 에어반송유니트에 대해 상대적으로 상승한 위치에서 다른 공정과의 연결을 위한 컨베이어와 연결되어 기판을 이송함을 특징으로 하는 평판 디스플레이 기판용 코팅장치.

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