KR20110085883A

KR20110085883A - 기판 반송장치 및 기판 반송방법

Info

Publication number: KR20110085883A
Application number: KR1020110001813A
Authority: KR
Inventors: 요시타카 오쯔카; 후미히로 미야자키; 다카시 나카미쯔
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2010-01-21
Filing date: 2011-01-07
Publication date: 2011-07-27
Also published as: TWI479592B; TW201145432A; KR101577481B1; JP4896236B2; JP2011148593A; CN102157424A; CN102157424B

Abstract

매 양식에 1매씩 피처리기판을 평류 반송하는 기판 반송장치에 있어서, 기판 반입으로부터 반송 개시까지의 택트 타임을 단축하여, 스루풋을 향상한다.
피처리기판(G)을 부상시키는 부상 스테이지(3)와, 상기 부상 스테이지의 좌우 측방에 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(5)과, 상기 한 쌍의 가이드 레일을 따라서, 각각 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 복수의 기판 캐리어(6)와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치 (H)에서, 반입된 상기 기판에 대해 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단(7a)과, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치된 상기 기판을 상기 기판의 하방으로부터 지지하는 기판 지지수단(8)과, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단과 상기 기판 지지수단의 동작을 제어하는 제어부(50)를 구비한다.

Description

기판 반송장치 및 기판 반송방법{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD}

본 발명은, 피처리기판을 평류(平流) 반송하는 기판 반송장치 및 기판 반송방법에 관한 것이다.

예를 들면, FPD(플랫 패널 디스플레이)의 제조에 있어서는, 이른바 포토리소그래피 공정에 의해 회로 패턴을 형성하는 것이 행하여지고 있다.

상기 포토리소그래피 공정은, 구체적으로는 다음과 같이 행하여진다.

먼저, 유리기판 등의 피처리기판에 소정의 막을 성막한 후, 처리액인 포토레지스트(이하, 레지스트라고 칭한다)가 도포되어 레지스트막이 형성된다. 그리고, 회로 패턴에 대응하여 레지스트막이 노광되어, 이것이 현상 처리된다.

그런데 최근, 이 포토리소그래피 공정에서는, 스루풋 향상의 목적에 의해, 피처리기판을 대략 수평자세의 상태로 반송하면서, 그 피처리면에 대해 레지스트의 도포, 건조, 가열, 냉각처리 등의 각 처리를 실시하는 구성이 많이 채용되고 있다.

상기 기판 반송의 구성으로서는, 기판을 대략 수평자세의 상태로 소정의 높이로 부상시켜, 기판 반송방향으로 반송하는 부상(浮上)반송이 주목받고 있다.

이 부상 반송을 이용한 기판 반송장치는, 특허문헌 1에 개시된 바와 같이 예를 들면 레지스트 도포처리장치에 채용되고 있다. 그 종래의 구성예에 대해 도 8에 기초하여 설명한다. 한편, 도 8(a) 내지 도 8(c)는, 기판 반송장치의 동작 상태를 도시한 것이다.

도 8의 기판 반송장치(200)는, 피처리기판인 유리기판(G)(예를 들면 LCD용의 기판)을 X축방향으로 부상 반송하기 위한 부상 스테이지(201)와, 상기 유리기판(G)의 진행 방향에 대해서 부상 스테이지(201)의 좌우 양측에 부설된 한 쌍의 가이드 레일(202)과, 유리기판(G)의 네 모서리 부근을 하방으로부터 흡착 유지하고, 가이드 레일(202)상을 슬라이드 이동하는 4개의 기판 캐리어(203)를 구비하고 있다.

부상 스테이지(201)의 상면에는, 상방을 향하여 소정의 가스를 분사하기 위한 다수의 가스 분사구(201a)와, 흡기를 행하기 위한 다수의 흡기구(201b)가 각각, 일정 간격으로 교대로 설치되어 있다. 그리고, 가스 분사구(201a)로부터 분사되는 가스 분사량과 흡기구(201b)로부터의 흡기량과의 압력 부하를 일정하게 하는 것에 의해서, 유리기판(G)을 부상 스테이지(201)의 표면으로부터 일정한 높이로 부상시키도록 구성되어 있다.

또한, 부상 스테이지(201)의 기판 반입위치(H)에 있어서, 스테이지(201)의 좌우 양측에는, 반입된 유리기판(G)의 네 모서리에 각각 대응하는 4개의 얼라이먼트장치(204)가 설치되어, 각 얼라이먼트장치(204)가 작동하는 것에 의해 기판(G)이 소정 위치에 배치되도록 이루어져 있다.

한편, 이 기판 반송장치(200)에 있어서는, 도포처리장치에 적용되기 위해, 도시한 바와 같이 유리기판(G)의 좌우 방향(폭방향)에 걸쳐서 배치되어, 부상 스테이지(201)상에서 부상 반송되는 유리기판(G)의 표면에 레지스트액을 공급하는 레지스트 노즐(205)을 구비하고 있다.

이와 같이 구성된 기판 반송장치(200)에 있어서는, 전단(前段)공정의 장치로부터 반입된 유리기판(G)에 대해, 기판 반송 개시전에 상기 얼라이먼트장치(204)에 의한 위치 맞춤 작업(얼라이먼트라고 부른다)이 행하여진다. 이 얼라이먼트의 공정에 대해서, 도 8(a)(b)(c), 및 도 9의 플로우에 기초하여 설명한다.

먼저, 가이드 레일(202)을 따라서 1매의 유리기판(G)의 반송을 완료한 기판 캐리어(203)는, 다음에 반송하는 기판(G)을 받기 위해서, 도 8(a)에 도시한 바와 같이 부상 스테이지(201)의 기판 반입위치(H)까지 되돌아와, 대기한다(도 9의 스텝 SP1).

이어서, 도 8(b)에 도시한 바와 같이, 새롭게 유리기판(G)이 반입되면, 얼라이먼트장치(204)의 핸드부(204a)가 스테이지(201)상에서 부상하는 유리기판(G)의 높이까지 상승하는 동시에, 기판(G)측(즉 내측)으로 이동 개시하여 기판(G)의 네 모서리에 접근한다(도 9의 스텝 SP2).

이것에 의해 유리기판(G)의 네 모서리에는, 얼라이먼트장치(204)의 핸드부 (204a)가 접하고, 유리기판(G)은 밀려나, 소정 위치로 이동하여, 위치 맞춤이 행하여진다. 기판(G)의, 이 위치맞춤이 완료되면, 기판 캐리어(203)의 흡착패드 (203a)가 상승하여, 도 8(c)에 도시한 바와 같이 기판(G)의 네 모서리가 흡착 유지된다(도 9의 스텝 SP3).

또한, 유리기판(G)이 기판 캐리어(203)에 유지되면, 기판(G)의 위치가 어긋나는 일은 없기 때문에, 얼라이먼트장치(204)의 핸드부(204a)는 기판(G)으로부터 분리되어 대기위치로 되돌아온다(도 9의 스텝 SP4).

그리고, 기판 캐리어(203)가 레일(202)을 따라서 X방향으로 이동하는 것에 의해, 부상 스테이지(201)상을 기판(G)이 반송되고, 기판(G)은 레지스트 노즐(205)의 하방을 통과할 때, 레지스트액의 도포가 이루어진다(도 9의 스텝 SP5).

또한, 기판(G)의 반송 후, 기판 캐리어(203)는 기판 반입위치(H)까지 되돌아와, 대기위치에 놓여진다(도 9의 스텝 SP1).

특허문헌 1 일본 공개특허공보 2006-237482호

상기와 같이 기판(G)의 얼라이먼트에 있어서는, 얼라이먼트장치(204)의 핸드부(204a)에 의해 기판(G)이 소정 위치에 유지된 상태로, 기판 캐리어(203)에 의한 흡착 유지가 이루어진다. 이 때문에, 기판(G)의 위치가 어긋나는 일 없이 기판 캐리어(203)에 의한 반송을 행할 수 있다.

그러나, 상기 기판 반송장치(200)의 구성에 있어서는, 기판 캐리어(203)가 기판 반입위치(H)로 되돌아오기 전에, 다음에 반송된 기판(G)의 얼라이먼트를 실시하면, 기판 반입위치(H)에 복귀하는 기판 캐리어(203)와, 얼라이먼트장치(204)의 핸드부(204a)가 간섭한다고 하는 기술적 과제가 있었다.

그 때문에, 종래는, 상기한 도 9의 플로우를 따라서 설명한 것처럼, 얼라이먼트장치(204)에 의한 얼라이먼트의 작업은, 기판 반송을 완료한 기판 캐리어(203)가 기판 반입위치(H)에 복귀 후에 행하여지고 있었다.

그러나, 그 경우, 부상 스테이지(201)에 있어서 1매의 기판(G)을 반송한 후, 기판 캐리어(203)가 기판 반입위치(H)로 되돌아오는 시간과, 얼라이먼트의 시간을 기다리지 않으면, 다음의 기판 반송을 개시하지 못하여, 스루풋이 저하된다고 하는 기술적 과제가 있었다.

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점에 감안하여 이루어진 것으로서, 매(枚) 양식에 1매씩 피처리기판을 평류 반송하는 기판 반송장치에 있어서, 기판 반입으로부터 반송 개시까지의 택트 타임을 단축하여, 스루풋을 향상할 수 있는 기판 반송장치 및 기판 반송방법을 제공한다.

상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 관한 기판 반송장치는, 매 양식에 1매씩 기판을 평류 반송하는 기판 반송장치로서, 기체의 분사에 의해 상기 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 측방에 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라서, 각각 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 기판 캐리어와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 반입된 상기 기판에 대해서 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단과, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치된 상기 기판을 상기 기판의 하방으로부터 지지하는 기판 지지수단과, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단과 상기 기판 지지수단의 동작을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 피처리기판의 반송을 완료한 상기 기판 캐리어가 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아올 때까지의 사이에, 상기 얼라이먼트 수단이 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 위치 맞춤을 행하고, 또한 상기 기판 지지수단이 위치 맞춤이 이루어진 상기 기판을 하방으로부터 지지하는 동시에, 상기 얼라이먼트 수단이 상기 기판 캐리어와 간섭하지 않는 대기위치로 복귀하도록 제어하는 것에 특징을 갖는다.

이와 같이 얼라이먼트 공정 후의 피처리기판을 일시적으로 유지하기 위한 기판 지지수단을 구비하기 위해, 기판 캐리어가 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아오기 전에, 기판의 얼라이먼트를 실시할 수 있다.

즉, 종래와 같이 기판 캐리어가 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아온 후에 얼라이먼트를 행할 필요가 없고, 기판 캐리어가 기판 반입위치로 되돌아오는 대로, 기판을 유지하여 반송 개시할 수 있기 때문에, 기판 반입으로부터 반송 개시까지의 택트 타임이 단축되어, 스루풋을 향상할 수 있다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 관한 기판 반송방법은, 기체의 분사에 의해 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 측방에 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라서, 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 기판 캐리어와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 반입된 상기 기판에 대해 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단과, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치된 상기 기판을 상기 기판의 하방으로부터 지지하는 기판 지지수단과, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단과 상기 기판 지지수단의 동작을 제어하는 제어부를 구비하는 기판 반송장치에 있어서, 매 양식에 1매씩 피처리기판을 평류 반송하는 기판 반송방법으로서, 상기 가이드 레일을 따라서 기판의 반송을 완료한 상기 기판 캐리어가, 다음에 반송하는 기판을 받기 위해서 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아올 때까지의 사이에, 상기 부상 스테이지상의 기판 반입위치에 새롭게 반입된 기판에 대해, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치하는 위치 맞춤을 행하는 공정과, 위치 맞춤된 상기 기판을 상기 기판 지지수단에 의해 하방으로부터 지지하는 공정과, 상기 기판이 상기 기판 지지수단에 의해 지지된 상태로, 상기 얼라이먼트 수단을 대기위치로 복귀시키는 공정을 포함하는 것에 특징을 갖는다.

이러한 방법에 의하면, 기판 지지수단에 의해, 얼라이먼트 후의 피처리기판을 일시적으로 유지할 수 있기 때문에, 기판 캐리어가 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아오기 전에, 기판의 얼라이먼트를 실시할 수 있다.

본 발명에 의하면, 매 양식에 1매씩 피처리기판을 평류 반송하는 기판 반송장치에 있어서, 기판 반입으로부터 반송 개시까지의 택트 타임을 단축하여, 스루풋을 향상할 수 있는 기판 반송장치 및 기판 반송방법을 얻을 수 있다.

도 1은, 본 발명에 관한 실시형태의 전체 개략 구성을 도시하는 평면도이다.
도 2는, 본 발명에 관한 실시형태의 전체 개략 구성을 도시하는 단면도이다.
도 3은, 도 2의 기판 반송장치의 A-A화살표 단면도이다.
도 4는, 도 2의 기판 반송장치의 B-B화살표 단면도이다.
도 5는, 본 발명에 관한 실시형태의 동작을 도시하는 플로우이다.
도 6은, 본 발명에 관한 실시형태의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은, 본 발명에 관한 실시형태의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은, 종래의 기판 반송장치의 개략 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는, 종래의 기판 반송장치의 동작의 흐름을 도시하는 플로우이다.

이하, 본 발명의 기판 반송장치에 관한 실시형태를, 도 1 내지 도 7에 기초하여 설명한다. 한편, 이 실시형태에 있어서는, 기판 반송장치를, 피처리기판인 유리기판에 대해 레지스트 도포를 행하는 레지스트 도포 처리 유닛에 적용한 경우를 예를 들어 설명한다.

이 기판 반송장치(1)는, 유리기판(G)을 매 양식에 1 매씩 부상 반송하기 위한 부상 반송부(2A)와, 상기 부상 반송부(2A)로부터 기판(G)을 받아, 롤러 반송하는 롤러 반송부(2B)를 구비하고, 기판(G)이 소위 평류 반송되도록 구성되어 있다.

상기 부상 반송부(2A)에 있어서는, 기판 반송방향인 X방향으로 연장된 부상 스테이지(3)가 설치되어 있다. 부상 스테이지(3)의 상면에는, 도시한 바와 같이 다수의 가스 분출구(3a)와 가스 흡기구(3b)가 X방향과 Y방향으로 일정 간격으로 교대로 설치되고, 가스 분출구(3a)로부터의 불활성 가스의 분출량과, 가스 흡기구(3b)로부터의 흡기량과의 압력 부하를 일정하게 하는 것에 의해서, 유리기판(G)을 부상시키고 있다. 한편, 이 실시형태에 있어서는, 가스의 분출 및 흡기에 의해 기판(G)을 부상시키도록 했지만, 그것에 한정되지 않고, 가스 분출만의 구성에 의해서 기판 부상시키도록 해도 좋다.

또한, 상기 부상 스테이지(3)의 폭방향(Y방향)의 좌우 측방에는, X방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(5)이 설치되어 있다. 이 한 쌍의 가이드 레일(5)에는, 유리기판(G)의 네 모서리의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지하여 가이드 레일(5)상을 이동하는 4개의 기판 캐리어(6)가 설치되어 있다. 이들 기판 캐리어(6)에 의해 부상 스테이지(3)상으로 부상한 유리기판(G)이 반송방향을 따라서 이동된다. 한편, 부상 반송부(2A)로부터 롤러 반송부(2B)에의 기판 인도를 원활하게 행하기 위해서, 가이드 레일(5)은, 부상 스테이지(3)의 좌우 측방 뿐만이 아니라, 롤러 반송부(2B)의 측방에까지 연장하여 설치되어 있다.

각 기판 캐리어(6)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 가이드 레일(5)을 따라서 이동 가능하게 설치된 슬라이드 부재(6a)와, 기판(G)의 하면에 대해 흡인·개방 동작에 의해 흡착 가능한 흡착부재(6b)와, 흡착부재(6b)를 승강 이동시키는 실린더 구동부(6c)를 갖는다.

한편, 흡착부재(6b)에는, 흡인펌프(도시하지 않음)가 접속되고, 기판(G)과의 접촉영역의 공기를 흡인하여 진공 상태로 접근하는 것에 의해, 기판(G)에 흡착되도록 이루어져 있다.

또한, 상기 슬라이드 부재(6a)와, 실린더 구동부(6c)와, 상기 흡인펌프는, 각각 컴퓨터로 이루어지는 제어부(50)에 의해서, 그 구동이 제어된다.

또한, 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 부상 스테이지(3)에 있어서 전단 공정의 장치로부터 기판(G)이 반입되는 위치{기판 반입위치(H)}에서는, 반입된 기판 (G)을 소정 위치에 배치하는 위치 맞춤 작업(얼라이먼트)이 행하여진다. 그 때문에, 부상 스테이지(3)의 기판 반입위치(H)의 좌우 양측에 있어서, 기판(G)의 네 모서리에 각각 대응하도록 4개의 얼라이먼트 장치(7)가 설치되어 있다.

각 얼라이먼트 장치(7)는, 기판(G)의 네 모서리(각부)에 대해, 각각 측방으로부터 접근하여 접촉 가능하게 설치된 핸드 부재(7a)(얼라이먼트 수단)를 가지고 있다. 또한, 상기 핸드 부재(7a)를 기판(G)의 네 모서리에 접촉 가능하게 하기 위해서, 도 4에 도시한 바와 같이 핸드 부재(7a)를 승강시키는 실린더 구동부(7b)와, 핸드 부재(7a)를 기판(G)에 대해서 수평으로(Y방향으로) 진퇴 이동시키는 실린더 구동부(7c)를 가지고 있다. 한편, 상기 실린더 구동부(7b,7c)는, 제어부(50)에 의해서, 그 구동이 제어된다.

또한, 이 기판 반송장치(1)에 있어서는, 얼라이먼트 장치(7)에 의해 위치 맞춤이 이루어진 기판(G)을 하방으로부터 지지하는 승강 가능한 지지핀 기구(8) (기판 지지수단)를 구비한다. 이 지지핀 기구(8)는, 부상 스테이지(3)의 기판 반입위치(H)에 있어서 위치 맞춤된 기판(G)의 네 모서리 부근에 각각 설치되어 있다.

구체적으로는, 각 지지핀 기구(8)는, 도 2, 도 4에 도시한 바와 같이 부상 스테이지(3) 표면으로부터 상방에 소정 치수(예를 들면 0.5mm)만큼 돌출 가능하게 설치된 지지핀(8a)과, 지지핀(8a)을 승강 이동시키는 실린더 구동부(8b)(승강 구동부)를 가지고 있다. 한편, 실린더 구동부(8b)는, 제어부(50)에 의해서, 그 구동이 제어된다.

또한, 기판 반송장치(1)의 부상 스테이지(3)상에는, 유리기판(G)에 레지스트액을 토출하는 노즐(9)이 설치되어 있다. 노즐(9)은, Y방향을 향해서 예를 들면 긴 대략 직방체 형상으로 형성되어 있다. 또한, 노즐(9)은, 예를 들면 유리기판(G)의 Y방향의 폭보다 길게 형성되어 있다. 도 2에 도시한 바와 같이 노즐(9)의 하단부에는, 슬릿 형상의 토출구(9a)가 형성되고, 이 노즐(9)에는, 레지스트액 공급원(도시하지 않음)으로부터 레지스트액이 공급되도록 이루어져 있다.

도 1에 도시한 바와 같이 노즐(9)의 양측에는, X방향으로 연장되는 가이드 레일(10)이 형성되어 있다. 노즐(9)은, 가이드 레일(10)상을 이동하는 노즐 암(11)에 의해서 유지되어 있다. 이 노즐(9)은, 노즐 암(11)이 갖는 구동 기구에 의해, 가이드 레일(10)을 따라서 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

또한, 노즐 암(11)에는, 승강기구가 설치되어 있고, 노즐(9)은, 소정의 높이에 승강 가능하다. 이러한 구성에 의해, 도 2에 도시한 바와 같이, 노즐(9)은, 유리기판(G)에 레지스트액을 토출하는 토출위치와, 그것보다 상류측에 있는 회전롤 (12) 및 대기부(14)와의 사이를 이동 가능하게 되어 있다.

상기 회전롤(12)은, 세정 탱크(13)내에 축 주위에 회전 가능하게 수용되고 있다.

한편, 도 2에 도시하는 노즐(9)의 토출구(9a)를 세정할 때에는, 회전롤(12)의 최상부에 노즐(9)의 토출구(9a)를 근접시킨다. 그리고, 회전롤(12)을 회전시키면서, 토출구(9a)로부터 회전롤(12)에 레지스트액을 토출하는 것에 의해, 노즐(9)의 토출구(9a)에서의 레지스트액의 부착 상태가 정돈된다. 이것에 의해, 노즐(9)의 토출구(9a)에서의 레지스트액의 토출 상태를 안정시킬 수 있다.

상기 회전롤(12)의 더 상류측에는, 노즐(9)의 대기부(14)가 설치되어 있다. 이 대기부(14)에는, 예를 들면 노즐(9)을 세정하는 기능이나 노즐(9)의 건조를 방지하는 기능이 설치되어 있다.

또한, 상기와 같이 상기 부상 반송부(2A)의 후단에는, 롤러 반송부(2B)가 설치되어 있다. 이 롤러 반송부(2B)에 있어서는, 스테이지(3)의 후단에, 롤러 구동부 (25)에 의해서 회전 구동되는 복수개의 롤러축(16)이 병렬로 설치되어 있다. 각 롤러축(16)에는, 복수의 반송롤러(17)가 부착되고, 이들 반송롤러(17)의 회전에 의해서 기판(G)을 반송하는 구성으로 이루어져 있다.

계속하여, 이와 같이 구성된 기판 반송장치(1)에서의 기판(G)에 대한 얼라이먼트의 공정에 대해서 도 5의 플로우, 및 도 6, 7을 따라서 설명한다.

기판 반송장치(1)에서는, 기판 캐리어(6)에 의해서 부상 스테이지(3)상을 1매씩 기판(G)이 반송되어, 기판(G)의 표면에 대해 노즐(9)로부터 토출된 레지스트액이 도포된다.

그리고, 부상 스테이지(3)상이 반송된 기판(G)은, 롤러 반송부(2B)에 인도되고, 기판 캐리어(6)는 다음에 부상 스테이지(3)에 반입되는 기판(G)을 받기 위해서 기판 반입위치(H)까지 되돌아오기 시작한다(도 5의 스텝 S1).

한편, 도 6(a)에 도시한 바와 같이 부상 스테이지(3)의 기판 반입위치(H)에서는, 새롭게 유리기판(G)이 투입된다. 여기서, 부상 스테이지(3)상에는, 가스 분출구(3a)로부터 불활성 가스가 분출되어, 가스 흡기구(3b)로부터 흡기되는 것에 의해서, 불활성 가스의 기류가 형성되어 있다. 상기 반입된 기판(G)은, 부상 스테이지(3)상에 형성된 상기 불활성 가스의 기류에 의해서 하방으로부터 지지된다.

상기 새롭게 반입된 기판(G)에 대해, 얼라이먼트 장치(7)의 핸드 부재(7a)가 실린더 구동부(7b)에 의해서 기판(G)의 부상 높이까지 상승되어, 실린더 구동부(7c)에 의해서 기판(G)의 네 모서리의 각부에 접하도록 수평 이동된다. 이것에 의해 유리기판(G)은, 부상 스테이지(3)상의 소정 위치에 이동되어, 위치 맞춤이 행하여진다(마찬가지로 도 5의 스텝 S1). 이와 같이 본 실시의 형태에서는, 도 6 (b)에 도시한 바와 같이 기판 캐리어(6)가 기판 반입위치(H)로 되돌아오기 전에, 얼라이먼트가 실시된다.

반입된 기판(G)에 대한 얼라이먼트가 완료하면, 4개의 각 지지핀 기구(8)에서, 실린더 구동부(8b)에 의해 지지핀(8a)이 상승 이동되고, 기판(G)은 4개의 지지핀(8a)에 의해서 하방으로부터 지지된다(도 5의 스텝 S2).

기판(G)이 지지핀(8a)에 의해서 소정 위치에 유지되면, 도 6(c)에 도시한 바와 같이, 얼라이먼트 장치(7)의 핸드 부재(7a)는, 실린더 구동부(7b)에 의해서 하강 이동하고, 또한 실린더 구동부(7c)에 의해서 기판(G)의 좌우 방향으로 이동하여, 그 대기위치로 복귀한다(도 5의 스텝 S3). 한편, 이 얼라이먼트 장치(7)의 대기위치는, 기판 캐리어(6)와 간섭하지 않는 위치에 놓여져 있다.

여기서, 상기 스텝 S3의 뒤에는, 얼라이먼트 장치(7)는 대기위치로 복귀하고 있지만, 기판(G)은 하방으로부터 지지핀(8a)에 의해서 지지되기 때문에, 부상 스테이지(3)상에 형성된 불활성 가스의 기류에 흘러 이동하는 일이 없다. 즉, 기판(G)은, 위치가 어긋나는 일 없이 소정 위치에 유지된다. 또한, 기판(G)은, 상기 부상 스테이지(3)상에 형성된 불활성 가스의 기류에 의해서 하방으로부터 지지되기 때문에 휘는 일이 없다.

상기 스텝 S3과 같이 얼라이먼트 장치(7)의 핸드 부재(7a)가, 확실히 그 대기위치로 되돌아오면, 기판 캐리어(6)는 얼라이먼트 장치(7)와 간섭하는 일 없이 기판 반입위치(H)에의 이동을 완료한다.

기판 반입위치(H)로 되돌아온 기판 캐리어(6)에서는, 실린더 구동부(6c)에 의해 흡착부재(6b)가 상승 이동하고, 도 7(a)에 도시한 바와 같이 흡착부재(6b)에 의해서 기판(G)의 가장자리부가 하방으로부터 흡착 유지된다(도 5의 스텝 S4).

또한, 기판 캐리어(6)에 의해 기판(G)이 유지되면, 제어부(50)는, 각 지지핀 기구(8)에서 실린더 구동부(8b)에 의해 지지핀(8a)을 하강 이동시키고, 지지핀(8a)에 의한 지지 상태를 해제한다.

그리고, 기판 캐리어(6)에 의해서 기판(G)은, 도 7(b)에 도시한 바와 같이 가이드 레일(5)을 따라서 부상 스테이지(5)상을 이동하고(도 5의 스텝 S5), 노즐 (9)로부터 레지스트액이 토출되어, 기판 표면에 레지스트액이 도포된다.

다음에, 본발명의 기판 반송장치에 관한 제 2 실시형태를 설명한다. 한편, 상술한 실시형태와 동일한 부분은, 설명을 생략한다.

도 10에 제 2 실시형태의 기판 반송장치(61)를 도시한다. 도 10에 있어서, 기판(G)은, X방향으로 반송된다. 부상 반송부(2A)의 전단측(기판 반송방향의 상류측)에는, 롤러 반송부(2C)가 설치된다. 롤러 반송부(2C)는, 부상 스테이지(3)의 전단에, 롤러 구동부(62)에 의해서 회전 구동되는 복수개의 롤러축(63)이 병렬로 설치된다. 각 롤러축(63)에는, 반송 롤러(64)가 부착되어 있다.

또한, 반송롤러(64)상의 기판(G)을 부상 스테이지(3)상으로 반송하기 위한 기판 반송수단, 예를 들면 소터(sorter)(65)를 갖는다. 소터(65)는, 도 10 내지 12에 도시한 바와 같이, 기판(G)을 흡착 유지하기 위한 흡착패드(66)와, 흡착패드 (66)를 승강시키기 위한 흡착패드 승강수단(67)과, 흡착패드(66)와 흡착패드 승강수단(67)을 X방향으로 이동시키기 위한 흡착패드 이동수단(68)을 갖는다. 또한, 도 13에 도시한 바와 같이, 흡착패드(66)는, 배관(85)에 의해, 흡인펌프(86)에 접속되어 있다. 또한, 배관(85)의 도중에 2방향으로 유로(流路)를 전환하기 위한 3방향밸브(삼방밸브)(87)가 설치되고, 또한, 흡착패드(66)와 3방향밸브(87)와의 사이에 자유롭게 개폐 가능한 2방향밸브(88)가 설치되어 있다. 이 3방향밸브(87)에는, 배관 (89)의 일단이 접속되고, 배관(89)의 타단은, 가압 기체 공급원(90)에 접속되어 있다. 따라서, 2방향밸브(88)를 열림으로 하고, 또한 3방향밸브(87)를 전환하는 것에 의해, 흡착패드(66)를 흡인펌프(86)에 접속하고 기판(G)을 흡착 유지하거나, 또는 흡착패드(66)를 가압 기체 공급원(90)에 접속하고 가압 기체를 흡착패드(66)에 공급하여 기판(G)의 흡착을 해제할 수 있는 구성이 되어 있다. 한편, 흡착패드 승강수단(67), 흡착패드 이동수단(68), 3방향밸브(87), 2방향밸브(88)는, 각각 컴퓨터로 이루어지는 제어부(50)에 의해서, 그 구동이 제어된다.

또한, 본 실시형태에서는, 부상 스테이지(3)에 있어서, 반입된 기판(G)을 소정 위치에 위치 맞춤하기 위한 얼라이먼트수단인 얼라이먼트핀(69,70,71,72)이, 기판(G)의 네 모서리에 각각 대응하도록, 각각 2개씩 배치된다.

도 10, 14에 도시한 바와 같이, 얼라이먼트 수단은, 얼라이먼트핀(69,70,71, 72)을 기판(G)의 각각의 한 변의 직교방향으로 이동시키기 위한 얼라이먼트핀 이동수단(73)을 갖는다. 또한, 기판(G)을 사이에 두고 얼라이먼트핀(69)과 대향하는 얼라이먼트핀(70)에는, 얼라이먼트핀 이동수단(73)에 더하여 얼라이먼트핀(70)이 기판(G)에 접촉했을 때에, 기판(G)에 얼라이먼트핀 이동수단(73)에 의한 부하가 과대하게 걸리지 않도록, 얼라이먼트핀 이동수단(73)과 얼라이먼트핀(70)과의 사이에, 자유롭게 신축되는 스프링(74)이 설치되어 있다. 기판(G)을 사이에 두고 얼라이먼트핀(71)과 대향하는 얼라이먼트핀(72)에도 마찬가지로, 얼라이먼트핀(72)과 얼라이먼트핀 이동수단(73)과의 사이에, 스프링(74)이 설치되어 있다.

또한, 도 15에 도시한 바와 같이, 얼라이먼트 수단은, 얼라이먼트핀(69,70, 71,72)과, 스프링(74)과, 얼라이먼트핀 이동수단(73)을 승강시키는 얼라이먼트핀 승강수단(77)을 갖는다.

그리고, 얼라이먼트핀 승강수단(77)을 동작시키고 얼라이먼트핀(69,70,71, 72)을 상승시켜, 그 후, 얼라이먼트핀 이동수단(73)을 동작시키고 얼라이먼트핀 (69,70,71,72)을 기판(G)에 근접, 접촉시키는 것에 의해, 기판(G)을 소정의 위치에 위치 맞춤할 수 있다. 한편, 얼라이먼트핀 이동수단(73)과 얼라이먼트핀 승강수단(77)은, 각각 컴퓨터로 이루어지는 제어부(50)에 의해서, 그 구동이 제어된다.

또한, 각 기판 캐리어(6)는, 도 10에 도시한 바와 같이, 가이드 레일(5)을 따라서 이동 가능하게 설치된 슬라이드 부재(6a)와, 기판(G)의 하면에 대해 흡인·개방 동작에 의해 흡착 가능한 흡착부재(6b)를 갖는다. 또한, 도 16에 도시한 바와 같이, 슬라이드 부재(6a)에 대해서 흡착부재(6b)를 승강시키는 흡착부재 승강수단 (6c)을 갖는다.

흡착부재 승강수단(6c)은, 흡착부재(6b)를 3개의 높이로 유지하는 것이 가능하다. 흡착부재(6b)가 가장 높은 위치는, 기판(G)을 흡착, 유지할 때의 위치이다(이 위치를 캐치 위치라고 부른다). 흡착부재(6b) 한가운데의 높이의 위치는, 기판 (G)에 소정의 처리를 행할 때{본 실시형태에서는, 기판(G)에 레지스트를 도포할 때}의 위치이다(이 위치를 프로세스 위치라고 부른다). 흡착부재(6b)가 가장 낮은 위치는, 기판(G)의 하면으로부터 흡착부재(6b)가 이간할 때의 위치이다(이 위치를 릴리스 위치라고 부른다).

한편, 도 17에 도시한 바와 같이, 흡착부재(6b)에는, 흡인펌프(95)가 접속되고, 기판(G)과의 접촉영역의 공기를 흡인하여 진공 상태로 접근하는 것에 의해, 기판(G)을 흡착하는 것이 가능하고, 흡착부재(6b)와 흡인펌프와의 사이에는, 감압치를 검지하는 감압센서(96)가 설치되어 있다. 또한, 흡인펌프(95)와 감압센서(96)와의 사이에, 유로를 개폐하는 2방향밸브(97)가 설치된다.

또한, 슬라이드 부재(6a), 흡착부재 승강수단(6c), 2방향밸브(97)는, 각각 컴퓨터로 이루어지는 제어부(50)에 의해서 그 구동이 제어되어, 감압센서(96)의 측정치는, 제어부(50)에 전달되는 구성이 되고 있다.

또한, 흡착부재(6b)는, 그 상면{기판(G)을 흡착하는 면}이, X축 주위 및 Y축 주위에 회전 조정 가능한 구성이 되어 있고, 흡착부재(6b)는 기판(G)을 흡착 유지 가능하다.

또한, 도 10에 도시한 바와 같이, X축방향의 흡착부재(6b)와 흡착부재(6b)와의 사이에, 기판을 흡착 유지하는 복수의 캐리어 서포트(75)와, 이 캐리어 서포트 (75)를 가이드 레일(5)을 따라서 이동 가능하게 하는 캐리어 서포트 슬라이드부재 (76)를 갖는다. 또한, 도 18에 도시한 바와 같이, 캐리어 서포트 슬라이드부재(76)에 대해서 캐리어 서포트(75)를 승강 이동시키기 위한 캐리어 서포트 승강수단(77)을 각각 갖는다.

한편, 도 19에 도시한 바와 같이, 캐리어 서포트(75)에는, 흡인펌프(101)가 접속되어, 기판(G)과의 접촉영역의 공기를 흡인하여 진공 상태로 접근하는 것에 의해, 기판(G)에 흡착되도록 이루어져 있고, 캐리어 서포트(75)와 흡인펌프와의 사이에는, 감압치를 검지하는 감압센서(102)가 설치된다. 또한, 흡인펌프(101)와 감압센서(102)와의 사이에는, 유로를 개폐하는 2방향밸브(103)가 설치된다.

또한, 캐리어 서포트(75)의 상면{기판(G)을 흡착하는 면}은, X축 주위에만 회전 조정 가능한 구성이 되어 있고, 캐리어 서포트(75)는 기판(G)을 흡착 유지 가능하다.

상술한 바와 같이, 흡착부재(6b)는, X축 주위 및 Y축 주위에 회전조정 가능하고, 캐리어 서포트(75)는 X축 주위에만 회전 조정 가능하고, 이와 같이 구성하는 것에 의해, 용이한 구조로, 흡착부재(6b)와 캐리어 서포트(75)에 의해 확실하게 기판(G)을 흡착 유지하는 것이 가능하다.

한편, 캐리어 서포트 승강수단(77)은, 캐리어 서포트(75)를 3개의 높이로 유지하는 것이 가능하다. 캐리어 서포트(75)가 가장 높은 위치는, 기판(G)을 흡착, 유지할 때의 위치이다(이 위치를 캐치 위치라고 부른다). 캐리어 서포트(75) 한가운데의 높이의 위치는, 기판(G)에 소정의 처리를 행할 때{본 실시형태에서는, 기판 (G)에 레지스트를 도포할 때}의 위치이다(이 위치를 프로세스 위치라고 부른다). 캐리어 서포트(75)가 가장 낮은 위치는, 기판(G)의 하면으로부터 캐리어 서포트 (75)가 이간할 때의 위치이다(이 위치를 릴리스 위치라고 부른다).

또한, 캐리어 서포트 슬라이드부재(76), 캐리어 서포트 승강수단(77), 2방향밸브(103)는, 각각 컴퓨터로 이루어지는 제어부(50)에 의해서, 그 구동이 제어되어, 감압센서(102)의 측정치는, 제어부(50)에 전달되는 구성이 되고 있다.

다음에, 이 제 2 실시형태에서의 기판 반송장치(61)의 동작에 관해서 설명한다.

롤러 반송부(2C)의 소정의 위치까지 기판(G)이 반송되면, 롤러 구동부(62)를 정지하는 것에 의해, 기판(G)의 이동을 정지시킨다. 그리고, 소터(65)의 흡착패드 (66)가 하강한 위치에서, 흡착패드(66)를 기판(G)의 하부의 소정의 위치까지 이동시켜, 그 후, 흡착패드(66)의 흡인 동작을 개시한다. 그리고, 흡착패드 승강수단 (67)에 의해 흡착패드(66)를 상승시켜, 기판(G)의 하면을 흡착패드(66)에 의해 흡착 유지한다.

다음에, 가스 분출구(3a)로부터 불활성 가스의 분출을 개시하여, 가스 흡인구(3b)로부터 불활성 가스의 흡인을 개시하고, 소터(65)를 X축방향으로 이동시켜, 기판(G)을 기판 반입위치(H)까지 반송한다.

다음에, 흡착패드(66)로부터 가압 기체를 분출하여 기판(G)의 흡착 유지를 해제하는 동시에, 얼라이먼트핀 승강수단(77)을 동작시키고 얼라이먼트핀(69,70, 71,72)을 상승시킨다. 그 후, 얼라이먼트핀 이동수단(73)을 동작시키고 얼라이먼트핀(69,70,71,72)을 기판(G)에 근접, 접촉시키고 기판(G)을 소정의 위치에 위치 맞춤한다. 한편, 이 때에, 가스 분출구(3a)로부터의 불활성 가스의 분출과, 가스 흡인구(3b)로부터의 불활성 가스의 흡인과의 밸런스에 의해, 기판(G)은, 부상 스테이지(3)의 표면으로부터 소정의 높이로 부상한 상태로 유지된다.

다음에, 흡착패드(66)로부터의 가압 기체의 분출을 정지하고, 흡착패드(66)를 하강시키고, 흡착패드(66)를 기판(G)의 하면으로부터 이간시킨다. 그리고, 소터 (65)는, 다음의 기판(G)을 반송할 준비를 위해서, 원래의 위치까지 이동한다.

다음에, 얼라이먼트핀 이동수단(73)을 동작시키고, 얼라이먼트핀(69와 70)을 수평 이동시켜 기판(G)으로부터 이간시켜, 그 후, 얼라이먼트핀 승강수단(77)에 의해 얼라이먼트핀(69와 70)을 하강시킨다. 한편, 이 때에, 얼라이먼트핀(71과 72)은, 기판(G)으로부터 이간시키지 않고, 기판(G)에 근접, 접촉한 상태를 유지한다.

얼라이먼트핀(71과 72)은, 기판(G)에 근접, 접촉한 상태를 유지하는 것에 의해, 기판(G)의 위치가 어긋나지 않고, 기판(G)을 소정의 위치에서 유지하는 것이 가능해진다.

또한, 얼라이먼트핀(69와 70)은, 기판(G)으로부터 이간시키므로, 얼라이먼트핀(69,70)이 기판(G)과 스쳐서 파티클(particle)의 요인이 되는 것을 방지할 수 있다.

다음에, 흡착부재 승강수단(6c)과 캐리어 서포트 승강수단(77)에 의해, 흡착부재(6b)와 캐리어 서포트(75)를 릴리스 위치에 위치시켜, 그 후, 슬라이드 부재 (6a)와 캐리어 서포트 슬라이드부재(76)를 동작시키고 흡착부재(6b)와 캐리어 서포트(75)를 기판(G)의 하방으로 이동시킨다. 다음에, 흡착부재(6b)와 캐리어 서포트 (75)와의 흡인 동작을 개시하고, 흡착부재 승강수단(6c)과 캐리어 서포트 승강수단(77)을 동작시키고, 흡착부재(6b)와 캐리어 서포트(75)와의 높이 위치를 캐치 위치로 상승시키고, 흡착부재(6b)와 캐리어 서포트(75)에 의해, 기판(G)을 흡착 유지한다.

다음에, 흡착부재(6b) 및 캐리어 서포트(75)와 흡인펌프(도시하지 않음)와의 사이에 설치된 감압센서가 소정의 감압치에 도달한 후에, 얼라이먼트핀 이동수단 (73)을 동작시키고, 얼라이먼트핀(71과 72)을 기판(G)으로부터 수평방향으로 이간시킨다.

다음에, 흡착부재(6b) 및 캐리어 서포트(75)의 높이를 프로세스 위치에 하강시키는 동시에, 얼라이먼트핀(71과 72)을 하강시킨다. 그리고, 슬라이드 부재(6a)와 캐리어 서포트 슬라이드부재(76)를 동작시키고, 기판(G)을 X방향으로 반송한다.

상술한 것과 같은 제 2 실시형태에 의해, 기판(G)의 반입으로부터 반송 개시까지의 택트 타임을 단축하여, 스루풋을 향상하는 것이 가능하다.

다음에, 본 발명의 제 3 실시형태를 설명한다. 한편, 제 1 및 제 2 실시형태와 같은 부분은, 설명을 생략한다. 제 3 실시형태에서는, 얼라이먼트 핀의 형상을 고안하였다.

본 실시형태에서의 얼라이먼트핀(80)은, 도 20에 도시한 바와 같이, 원뿔대의 형상을 하고 있고, 기판(G)을 소정의 위치에 위치 결정할 때에 기판(G)에 근접, 접촉시키기 위한 단차부(81)를 이 원뿔대의 경사면부에 설치한 것을 특징으로 한다. 제 2 실시형태에서의 얼라이먼트핀(69,70,71,72) 대신에, 본 실시형태의 얼라이먼트핀(80)을 이용해도 좋다.

도 21에 도시한 바와 같이, 상술한 얼라이먼트핀(69,70,71,72)은, 원통형이고, 얼라이먼트핀(69,70,71,72)이, 기판(G)으로부터 수평방향으로 이간한 상태가 아니면 상승·하강 동작을 할 수 없다. 즉, 얼라이먼트핀(69,70,71,72)이, 기판(G)으로부터 수평방향으로 이간하고 있지 않은 상태로 상승·하강 동작을 행하면, 얼라이먼트핀(69,70,71,72)과 기판(G)이 간섭하거나, 또는 스치거나 하여, 기판 균열의 원인이나, 파티클 발생의 원인이 된다.

그러나, 본 실시형태와 같은 얼라이먼트핀(80)을 이용하는 것에 의해, 얼라이먼트핀(80)의 수평방향 이동과 상승·하강 동작을 동시에 행하여도, 얼라이먼트핀(80)과 기판(G)이 간섭하거나 스치거나 하는 일이 없어, 스루풋을 더 짧게 하는 것이 가능해진다.

한편, 상기 실시형태에 있어서는, 본 발명에 관한 기판 반송장치를 레지스트 도포 처리 유닛에 적용한 경우를 예를 들어 설명했지만, 본 발명에 관한 기판 반송장치는, 이 유닛에 한정되는 일 없이, 다른 기판 처리 유닛 등에 있어서도 적합하게 이용할 수 있다.

또한, 당업자이면, 특허청구의 범위에 기재된 사상 중에서, 각종의 변경예 또는 수정예에 도달하는 것은 분명하고, 그것들에 대해서도 당연하게 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것이다. 또한, 상술한 실시형태는, FPD의 기판에 레지스트액을 도포하는 예였지만, 본 발명은, 기판이 FPD의 기판 이외의 직사각형의 기판에도 적용할 수 있고, 레지스트액 이외의 액을 기판에 도포하는 경우에도 적용 가능하다.

Claims

매 양식에 1매씩 기판을 평류 반송하는 기판 반송장치로서,
기체의 분사에 의해 상기 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 측방에 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라서, 각각 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 기판 캐리어와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 반입된 상기 기판에 대해서 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단과, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치된 상기 기판을 상기 기판의 하방으로부터 지지하는 기판 지지수단과, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단과 상기 기판 지지수단의 동작을 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는, 기판의 반송을 완료한 상기 기판 캐리어가 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아올 때까지의 사이에, 상기 얼라이먼트 수단이 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 위치 맞춤을 행하고, 또한 상기 기판 지지수단이 위치 맞춤이 이루어진 상기 기판을 하방으로부터 지지하는 동시에, 상기 얼라이먼트 수단이 상기 기판 캐리어와 간섭하지 않는 대기위치로 복귀하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
제 1 항에 있어서, 상기 기판 지지수단은, 상기 부상 스테이지의 표면으로부터 상방으로 돌출 가능하게 설치된 복수의 지지핀과,
상기 복수의 지지핀을 승강시키는 승강 구동부를 갖고,
상기 승강 구동부가 상기 복수의 지지핀을 상기 부상 스테이지의 표면으로부터 소정의 높이까지 상승시키는 것에 의해, 상기 복수의 지지핀에 의해 상기 기판이 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
제 2 항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 복수의 지지핀에 의해 지지된 상기 기판이, 상기 복수의 기판 캐리어에 의해 흡착 유지되면, 상기 승강 구동부에 의해 상기 복수의 지지핀을 하강 이동하도록 제어하고,
상기 복수의 지지핀에 의한 상기 기판의 지지가 해제되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
기체의 분사에 의해 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 측방에 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라서, 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 기판 캐리어와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 반입된 상기 기판에 대해 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단과, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치된 상기 기판을 상기 기판의 하방으로부터 지지하는 기판 지지수단과, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단과 상기 기판 지지수단의 동작을 제어하는 제어부를 구비하는 기판 반송장치에 있어서, 매 양식에 1매씩 기판을 평류 반송하는 기판 반송방법으로서,
상기 가이드 레일을 따라서 기판의 반송을 완료한 상기 기판 캐리어가, 다음에 반송하는 기판을 받기 위해서 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아올 때까지의 사이에, 상기 부상 스테이지상의 기판 반입위치에 새롭게 반입된 기판에 대해, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치하는 위치 맞춤을 행하는 공정과,
위치 맞춤된 상기 기판을 상기 기판 지지수단에 의해 하방으로부터 지지하는 공정과,
상기 기판이 상기 기판 지지수단에 의해 지지된 상태로, 상기 얼라이먼트 수단을 대기위치로 복귀시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송방법.
제 4 항에 있어서, 상기 기판 지지수단은,
상기 부상 스테이지의 표면으로부터 상방으로 돌출 가능하게 설치된 복수의 지지핀과,
상기 복수의 지지핀을 승강시키는 승강 구동부를 갖고,
상기 승강 구동부가 상기 복수의 지지핀을 상기 부상 스테이지의 표면으로부터 소정의 높이까지 상승시키는 것에 의해, 상기 복수의 지지핀에 의해 상기 기판이 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 반송방법.
제 5 항에 있어서, 상기 기판이 상기 기판 지지수단에 의해 지지된 상태로, 상기 얼라이먼트 수단이 대기위치로 복귀하는 공정 후, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아온 상기 기판 캐리어에 의해 상기 기판을 흡착 유지하는 공정과,
상기 승강 구동부에 의해 상기 복수의 지지핀을 하강 이동하고, 상기 복수의 지지핀에 의한 상기 기판의 지지를 해제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송방법.
매 양식에 1매씩 기판을 평류 반송하는 기판 반송장치로서,
기체의 분사에 의해 상기 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 측방에 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라서, 각각 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 기판 캐리어와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 반입된 상기 기판에 대해 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단과, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단의 동작을 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는, 기판의 반송을 완료한 상기 기판 캐리어가 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아올 때까지의 사이에, 상기 얼라이먼트 수단이 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 위치 맞춤을 행하고, 상기 얼라이먼트 수단이 상기 기판 캐리어와 간섭하지 않는 대기위치로 복귀하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
기체의 분사에 의해 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 부상 스테이지의 측방에 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라서, 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 기판 캐리어와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 반입된 상기 기판에 대해 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단과, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단의 동작을 제어하는 제어부를 구비하는 기판 반송장치에 있어서, 매 양식에 1매씩 기판을 평류 반송하는 기판 반송방법으로서,
상기 가이드 레일을 따라서 기판의 반송을 완료한 상기 기판 캐리어가, 다음에 반송하는 기판을 받기 위해서 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치로 되돌아올 때까지의 사이에, 상기 부상 스테이지상의 기판 반입위치에 새롭게 반입된 기판에 대해, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치하는 위치 맞춤을 행하는 공정과,
위치 맞춤된 상기 기판을 상기 부상 스테이지로부터 분사되는 기체에 의해 하방으로부터 지지하는 공정과,
상기 기판이 상기 부상 스테이지로부터 분사되는 기체에 의해 지지된 상태로, 상기 얼라이먼트수단을 대기위치로 복귀시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송방법.