KR20100035518A - 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

평판표시소자용 기판을 연속으로 반입/반출하면서 세정(洗淨)과 같은 처리 작업을 간편하게 진행할 수 있는 기판처리장치를 개시한다.

그러한 기판처리장치는, 프레임과, 복수 개의 이송용 로울러를 구비하고 상기 프레임 상에 설치되는 이송부와, 상기 이송부와 대응하도록 상기 프레임 상에 설치되는 기판처리부와, 상기 프레임 외부에서 반입되는 기판을 상기 기판처리부 측에 공급할 수 있도록 상기 이송부 상에 설치되는 반입용 트레이 그리고, 상기 기판처리부의 기판을 공급받아서 상기 프레임 외부로 반출할 수 있도록 상기 이송부 상에 설치되는 반출용 트레이를 포함한다.

기판의 반입/반출, 세정 작업, 반입용 트레이, 반출용 트레이, 기판의 처리 수율 향상, 기판처리부

Description

기판처리장치{substrate treatment apparatus}

본 발명은 평판표시소자용 기판을 세정 처리하는 작업에 사용할 수 있으며, 특히 기판 처리를 위한 반입/반출이 용이하여 한층 향상된 수율을 확보할 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.

평판표시소자용 기판의 제조 공정 중에는 기판을 세정 처리하는 공정이 있으며, 기판세정장치를 이용하여 기판의 이송 중에 롤 브러쉬로 세정하는 방법이 널리 알려져 있다.

상기한 기판세정장치의 구조를 간략하게 설명하면, 프레임과, 이 프레임의 상부에 배치되며 기판을 로딩하는 로딩 유닛을 구비한 상부 이송부와, 이 상부 이송부 하측에 배치되는 하부 이송부 그리고, 상기 상부 및 하부 이송부의 양단 지점과 대응하도록 상기 프레임 상에 배치되는 두 개의 수직 이송부와, 상기 하부 이송부의 이송 구간 내에 배치되는 세정부를 포함하여 이루어진다.

즉, 로봇 아암으로 상기 상부 이송부의 로딩 유닛에 기판을 로딩하여 상기 프레임 내부로 기판을 반입하면, 이 기판이 상기 수직 및 하부 이송부들에 의해 소정의 이송 구간을 따라 이동(인수/인계)되면서 상기 세정부 영역에서 롤 브러싱으 로 세정된다.

그리고, 상기 세정부에서 세정 처리된 기판은 상기 상부 이송부로 다시 옮겨진 후 언로딩되어 상기 프레임 외부로 반출된다.

이처럼, 상기 프레임 내에서 소정의 이송 구간을 따라 기판을 이동시키면서 세정하는 방식은, 상기 상부 이송부 측에 여러 장의 기판을 연속으로 반입 및 반출하는 작업이 매우 중요하다.

하지만, 상기 기판세정장치는 상기 상부 이송부가 하나의 로딩 유닛을 구비하고 있으므로 이와 같은 구조에 의하면 기판의 반입/반출시 만족할 만한 작업성을 확보하기 어렵다.

즉, 상기 로딩 유닛 측에 기판을 로딩(반입)하려면 예를 들어, 상기 세정부에서 세정된 기판을 상기 로딩 유닛으로부터 먼저 언로딩(반출)한 상태에서만 가능하다.

그러므로, 세정 작업시 상기 세정부 영역으로 기판을 연속으로 공급하기 어렵고, 반입/반출시 과다한 홀딩 시간이 발생하여 전체 작업 능률을 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.

특히, 상기 로딩 유닛은 대부분 선형 벨트 구조의 리니어 모듈(linear module)로 구성되므로 제작비 및 유지 보수 등에 과다한 비용이 발생하고, 구조가 복잡한 단점이 있다.

그리고, 상기한 리니어 모듈의 문제점을 보완하기 위하여 로울러 컨베이어 타입의 상부 이송부 구조가 제시되고 있지만, 이러한 이송 구조는, 이송용 로울러 위에 기판을 직접 얹은 상태로 이송하는 것이므로 기판의 이송 중에 로울러와의 접촉에 의해 충격이나 마찰 등이 발생하여 과다한 불량(스크래치, 크랙)을 유발하는 또 다른 문제를 야기할 수 있다.

또한, 상기한 로울러 컨베이어 타입은 기판의 이송 중에 상기 이송용 로울러들 사이사이에서 기판의 처짐이 발생하지 않도록 하려면, 상기 각 이송용 로울러들의 간격을 최대한 좁게(대략 120밀리미터 이내) 배치해야 하므로 상기한 리니어 모듈 구조와 비교할 때 제작비와 유지 보수 등에서 만족할 만한 절감 효과를 기대할 수 없다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,

본 발명의 목적은 평판표시소자용 기판의 반입/반출시 발생하는 홀딩 시간을 대폭 줄여서 한층 향상된 처리 수율을 확보할 수 있는 기판처리장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,

프레임;

복수 개의 이송용 로울러를 구비하고 상기 프레임 상에 설치되는 이송부;

상기 이송부와 대응하도록 상기 프레임 상에 설치되는 기판처리부;

상기 프레임 외부에서 반입되는 기판을 상기 기판처리부 측에 공급할 수 있도록 상기 이송부 상에 설치되는 반입용 트레이;

상기 기판처리부의 기판을 공급받아서 상기 프레임 외부로 반출할 수 있도록 상기 이송부 상에 설치되는 반출용 트레이;

를 포함하는 기판처리장치를 제공한다.

이와 같은 본 발명은, 특히 상기 이송부 상에 반입용 트레이(tray)와 반출용 트레이(tray)를 각각 구비하고 있으므로 기판 처리시 기판의 반입/반출 작업을 더욱 간편하게 진행할 수 있다.

예를 들어, 상기 기판처리부에서 기판을 세정하는 작업을 진행할 때 상기 반입용 트레이는 프레임 외부에서 기판을 공급받아서 상기 기판처리부 측으로 반입하는데 사용하고, 상기 반출용 트레이는 상기 기판처리부에서 처리된 기판을 상기 프레임 외부로 반출하는데 사용할 수 있다.

이와 같은 기판의 반입 및 반출 구조에 의하면, 기판의 반입/반출시 발생할 수 있는 홀딩 시간을 최소화하여 택 타임을 줄일 수 있으므로 기판 처리시 수율을 대폭 높일 수 있다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.

본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.

따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 전체 구조를 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 프레임을 지칭한다.

상기 프레임(2)은 일종의 작업대 역할을 하는 것으로서, 도 1을 기준으로 할 때 좌/우로 연장된 직사각형의 프레임체로 이루어질 수 있다.

상기 프레임(2)은 예를 들어, 금속 바 또는 파이프 등을 통상의 방법(볼트 또는 용접)으로 연결 고정하여 형성할 수 있다.

상기 프레임(2) 상에는 이송부(4)가 설치된다. 이 이송부(4)는 상기 프레임(2) 상에서 기판(G)의 반입/반출을 위한 이송 구간 및 이송 동력을 제공하기 위한 것이다.

상기 이송부(4)는 도 1에서와 같이 복수 개의 이송용 로울러(R)들로 구성되는 통상의 로울러 컨베이어 타입으로 이루어질 수 있다.

즉, 상기 복수 개의 이송용 로울러(R)들은 상기 프레임(2) 상부에서 좌/우로 이격 배치되어 대략 수평한 이송 구간(L)을 제공할 수 있는 상태로 셋팅된다.

상기 각 이송용 로울러(R)의 양쪽 단부는 베어링 블록(B) 측에 회전 가능하게 고정되며, 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 모터(구동원)의 구동시 동력을 전달받아서 회전하도록 통상의 방법(예: 벨트/풀리 또는 체인/스프라켓)으로 연결된다.

이와 같은 구조에 의하면, 모터의 구동시 상기 각각의 이송용 로울러(R)들이 축선을 중심으로 정/역 회전이 가능하게 작동된다.

그리고, 상기 이송부(4)의 전체 이송 구간(L1)은 기판(G) 반입 및 반출을 위한 두 개의 구간으로 나뉘어진다.

예를 들어, 기판(G) 로딩 및 언로딩을 위한 로봇 아암(A)이 상기 이송 구간(L) 내에서 대략 가운데 지점에 배치되면 도 1을 기준으로 할 때 상기 로봇 아암(A)의 좌측 편은 기판(G)의 반입 구간(L1)을 사용하고, 우측 편은 반출 구간(L1)으로 사용할 수 있다.

상기 프레임(2) 상에는 기판처리부(6)가 설치된다.

상기 기판처리부(6)는 상기 프레임(2) 상에서 상기 이송부(4) 아래쪽에 배치될 수 있으며, 기판(G)을 롤 브러싱 방식으로 세정 처리하는 구조(예: 기판 처리용 wet 장비)로 이루어질 수 있다.

즉, 상기 기판처리부(6)는 예들 들어, 통상의 유기세정모듈(C1)과, 세정모듈(C2) 그리고, 건조모듈(C3)로 구성될 수 있으며, 내부에 일정 크기의 공간을 갖는 챔버 케이스 형태로 제작되어 도 1에서와 같이 상기 이송부(4) 아래쪽에서 좌/우로 연결된 형태로 배치될 수 있다.

상기 세정모듈(C2)은 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 롤 브러쉬와, 에어 커튼, 에어 석션, 디아이 젯트, 에어 나이프 등의 세정용 유닛들을 구비하여 통상의 롤 브러싱 방식으로 기판(G)을 세정하는 구조를 갖는다. 그리고, 상기 유기세정모듈(C1)은 요구되는 작업 여건에 따라 설치를 생략할 수도 있다.

상기 기판처리부(6)는 기판(G)을 이송하기 위한 이송장치(C4)를 더 포함한다.

상기 이송장치(C4)는, 상기 프레임(2) 하부에서 도 1에서와 같이 좌/우로 이격 배치된 이송용 로울러(R1)들로 구성된 통상의 로울러 컨베이어 타입으로 이루어질 수 있다.

그리고, 상기 이송장치(C4)는, 상기 유기세정모듈(C1)과, 세정모듈(C2) 그리고, 건조모듈(C3)내부로 기판(G)을 공급할 수 있도록 좌/우로 연장 형성된다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 이송장치(C4)로 기판(G)을 옮기면서 상기 유기세정모듈(C1)과 세정모듈(C2), 건조모듈(C3) 내부로 기판(G)을 공급할 수 있으므로 기판(G)의 이송 중에 세정 작업을 진행할 수 있다.

한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치는, 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)를 포함하여 이루어진다.

상기 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)는, 상기 이송부(4)의 이송 구간(L1)을 따라 이동하면서 상기 기판처리부(6)에 대응하여 반입/반출이 가능하게 기판(G)을 이송하기 위한 것이다.

상기 반입용 트레이(8) 및 반출용 트레이(10)는, 도 2에서와 같이 지지 핀(P1)을 각각 구비하고, 복수 개의 알루미늄 프로파일(P2)들로 연결된 구조로 이루어질 수 있다.

상기 지지 핀(P1)들은 기판(G) 저면을 지지하기 위한 것으로서, 상기 반입용 트레이(8) 및 반출용 트레이(10)의 상부에서 위쪽을 향하여 세워진 상태로 복수 개 의 지점에 설치될 수 있다.

그리고, 상기 반입용 트레이(8) 및 반출용 트레이(10)는 도 2에서와 같이 알루미늄 프로파일(P2)들을 대략 바둑판 배열로 연결 고정한 형태로 만들면 좋다.

이와 같은 구조는, 상기 반입용 트레이(8) 및 반출용 트레이(10)의 무게를 줄이면서 외부 압력이나 하중에 대한 내성을 최대한 확보할 수 있다. 그러므로 상기 각 트레이(8, 10)에 기판(G)을 로딩한 상태로 안전하게 이송할 수 있다.

상기 반입용 트레이(8) 및 반출용 트레이(10)는 알루미늄 재질의 프로파일(P2) 이외에도 가벼우면서 내구성이 우수한 여러 가지의 금속 또는 합성수지 프로파일을 사용할 수 있다.

상기한 반입용 트레이(8) 및 반출용 트레이(10)는 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 일정 간격을 두고 떨어져서 배치된다.

예를 들어, 상기 반입용 트레이(8)가 도 3에서와 같이 상기 로봇 아암(A)과 대응하는 로딩(언로딩) 지점에 위치하면 상기 반출용 트레이(10)는 상기 이송 구간(L)의 우측 단부 지점에 위치하고, 상기 반출용 트레이(10)가 도 4에서와 같이 상기 로봇 아암(A)과 대응하는 언로딩(로딩) 지점에 위치하면 상기 반입용 트레이(8)는 상기 이송 구간(L)의 좌측 단부 지점에 위치하도록 셋팅된다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 로봇 아암(A)으로 상기 반입용 트레이(8) 측에 기판(G)을 로딩할 때 상기 반출용 트레이(10)는 상기 기판처리부(6)를 통과한 기판(G)을 공급(인수)받을 수 있는 대기 상태로 위치된다.

그리고, 상기 반출용 트레이(10)가 상기 로봇 아암(A)과 대응하는 언로딩 지 점에 위치할 때 상기 반입용 트레이(8)는 로딩한 기판(G)을 상기 기판처리부(6) 측에 공급(인계)할 수 있는 대기 상태로 위치된다.

즉, 상기와 같이 이송부(4) 상에 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)가 각각 설치되면 상기 이송부(4) 내에서 기판(G)을 반입/반출할 때 발생할 수 있는 홀딩 시간을 대폭 줄여서 기판(G)의 이송 수율을 높일 수 있다.

그리고, 상기와 같이 반입용 트레이(8) 및 반출용 트레이(10)로 기판(G)을 로딩한 상태로 이송하는 구조는 예를 들어, 기판(G)을 로울러 외부면에 얹은 상태로 이송하는 방식과 비교할 때 회전하는 로울러들의 외부면에 의해 마찰이 발생하면서 기판(G)이 손상(스크래치, 크랙)되는 것을 방지할 수 있다.

그러므로, 기판(G)의 반입/반출시 파손이나 변형을 방지할 수 있는 상태로 기판(G)을 안전하게 이송할 수 있다.

또한, 상기와 같이 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)를 사용하면, 도 3 및 도 4에서와 같이 상기 반입용 트레이(8) 또는 반출용 트레이(10)의 저면이 상기 이송용 로울러(R)들에 의해 적어도 세 군데 지점만 지지되더라도 기판(G)을 항상 평탄한 상태로 이송할 수 있다.

즉, 상기 기판(G)은 상기 이송부(4) 상에서 상기 이송용 로울러(R)들과 접촉하지 않고 상기 반입용 트레이(8) 또는 반출용 트레이(10)의 지지 핀(P1)들에 의해 지지되기 때문이다.

특히, 이와 같은 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)의 작용에 의하면, 상기 이송부(4)를 형성할 때 상기 이송용 로울러(R)들의 간격을 최대한 넓게 배치 (대략 120밀리미터 이상)할 수 있으므로 대면적 기판(G)을 이송할 때 상기 이송부(4)의 구조가 간단할 뿐만 아니라, 제작비를 대폭 절감할 수 있다.

그리고, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10) 측에는 기판(G)의 로딩 위치를 감지하거나 위치를 정렬하기 위한 통상의 위치제어기를 설치할 수 있다.

이 위치제어기는 일반적으로 상기 각 트레이(8, 10) 상에 로딩된 기판(G)의 위치를 감지하는 센서와, 이 센서의 신호에 따라 엑츄에이터에 의해 전/후로 푸싱 동작되면서 기판(G)의 위치를 정렬하는 가이드 핀들로 구성될 수 있다.

이러한 위치 제어 구조에 의하면, 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 기판(G)의 로딩 및 언로딩 상태를 간편하게 감지할 수 있으며, 특히 로딩된 기판(G)의 위치를 허용 범위 내로 보정할 수 있으므로 기판(G)이 비정상으로 이송되는 것을 방지할 수 있다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치는, 상기 프레임(2) 상에서 상기 이송부(4)의 기판(G)을 상기 기판처리부(6) 측으로 원활하게 공급하기 위한 제1 및 제2 수직 이송부(T1, T2)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 제1 수직 이송부(T1)와 제2 수직 이송부(T2)는, 도 1에서와 같이 상기 이송부(4)와 상기 기판처리부(6)의 이송장치(C4) 양쪽 단부 지점에 배치되어 기판(G)을 상/하 방향으로 이송하면서 인수/인계가 가능한 구조를 갖는다.

예를 들어, 상기 제1 수직 이송부(T1)는, 도 1을 기준으로 할 때 상기 프레임(2)의 좌측 지점에 배치되며, 상기 이송부(4)로부터 기판(G)을 인수하여 상기 이 송장치(C4) 측에 인계할 수 있는 통상의 업/다운 버퍼유닛 구조로 이루어질 수 있다.

즉, 상기 제1 수직 이송부(T1)는, 도 5에서와 같은 상부핸드(H1, Upper Hand)와, 이 상부핸드(H1)로부터 기판(G)을 인수하는 하부핸드(H2, Lower Hand)로 구성될 수 있다.

상기 상부핸드(H1)는 수평부와 수직부를 갖으며 두 개가 한 조로 구성되고, 모터 축에 의해 스크류가 정/역 회전하는 스크류 구동방식의 구동장치(M1, M2)로부터 동력을 전달받아서 업/다운 이동은 물론이거니와 상기 두 개의 상부핸드(H1) 간격이 좁혀지거나 벌어질 수 있도록 작동된다.

그리고, 상기 하부핸드(H2)는 상기 이송장치(C4)의 이송용 로울러(R)들 사이사이에 세워진 상태로 배치되며 모터 축에 의해 스크류가 정/역 회전하는 스크류 구동방식의 구동장치(M3)로부터 동력을 전달받아서 업/다운 이동이 가능하게 작동된다.

상기 구동장치(M1, M2, M3)들은 스크류 구동방식 이외에도 예를 들어, 실린더나 공압 이송 유닛 등을 이용한 여러 가지의 구동 방식으로 이루어질 수도 있다. 이러한 구동 방식들은 해당 분야에서 일반적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.

상기한 제1 수직 이송부(T1)는 다음과 같은 작동에 의해 기판(G)을 인수/인계하면서 상기 이송부(4) 측에서 상기 기판처리부(6)의 이송장치(C4) 일단에 기판(G)을 공급할 수 있다.

즉, 상기 로봇 아암(A)으로 상기 반입용 트레이(8) 측에 기판(G)을 로딩(반입)하면 상기 이송부(4)의 구동에 의해 상기 반입용 트레이(8)가 반입 구간(L1)을 따라 이동하면서 상기 반입 구간(L1)의 일단(좌측)에 위치된다.

그러면, 상기 상부핸드(H1)는 업 동작에 의해 기판(G) 저면을 들어올려서 상기 반입용 트레이(8)로부터 기판(G)을 인수하고, 상기 반입용 트레이(8)가 원래 위치(로딩 지점)로 리턴되면 도 6에서와 같이 상기 이송장치(C4)의 일단(좌측) 위에 기판(G)이 위치되도록 다운 동작된다.

그리고, 상기 하부핸드(H2)는 도 7에서와 같이 위로 약간 업 동작되면서 상기 상부핸드(H1)로부터 기판(G)을 인수하고, 상기 상부핸드(H1)는 기판(G)과 접촉하지 않도록 좌/우로 간격이 벌어진 상태로 위쪽으로 리턴된다.

그런 다음, 상기 하부핸드(H2)는 기판(G)을 인수한 상태로 도 8에서와 같이 다운 동작되면서 상기 이송장치(C4)의 이송용 로울러(R)에 기판(G)을 얹어 놓은 상태로 인계한다.

상기와 같은 상부핸드(H1) 및 하부핸드(H2)의 업/다운 동작에 의해 상기 이송부(4)로부터 기판(G)을 인수하여 상기 이송장치(C4) 측에 인계하는 방식으로 상기 기판처리부(6) 측에 기판(G)을 공급할 수 있다.

그리고, 상기 제2 수직 이송부(T2)는 상기한 제1 수직 이송부(T1)와 동일하게 통상의 업/다운 버퍼유닛 구조로 이루어지며, 구동장치(M1, M2, M3)들에 의해 작동된다.

즉, 상기 제2 수직 이송부(T2)는 도 1에서와 같이 상부핸드(H1)와 하부핸 드(H2)를 구비하고, 상기 프레임(2) 상에서 상기 이송부(4)와 기판처리부(6)를 사이에 두고 상기 제1 수직 이송부(T1)의 반대편에 배치된다.

상기한 제2 수직 이송부(T2)는 도면에는 나타내지 않았지만 상기한 제1 수직 이송부(T1)의 동작과 역순으로 작동하면서 상기 상부핸드(H1)와 하부핸드(H2)의 인수/인계 동작에 의해 상기 기판처리부(6)의 이송장치(C4) 일단 지점(우측)에 위치된 기판(G)을 수직 방향으로 옮기면서 상기 이송부(4)의 반출용 트레이(10) 측에 공급할 수 있다.

이와 같은 기판(G)의 이송 구조에 의하면, 상기 프레임(2)의 상부 일측에 로딩(반입)된 기판(G)을 도 1을 기준으로 할 때 상기 프레임(2) 내부 둘레를 따라 반시계 방향으로 옮기면서 최초 로딩 지점에서 언로딩(반출)될 수 있도록 이송할 수 있다.

따라서, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치는, 상기 이송부(4) 측에 로딩(반입)된 기판(G)을 상기 기판처리부(6) 영역으로 옮기면서 세정 처리된 후 반출되도록 할 수 있다.

특히, 상기 이송부(4) 상에는 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)가 각각 구비되어 있으므로, 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 기판(G)의 반입 및 반출 동작을 연속으로 진행할 수 있다.

그러므로, 상기 프레임(2) 내에서 기판(G)을 이송시키면서 기판(G)의 이송 중에 소정의 처리 작업(세정)을 진행할 때 한층 향상된 수율을 확보할 수 있다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치는, 도 9에서와 같은 간격유 지수단(12)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 간격유지수단(12)은 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 상기 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)의 간격(거리)을 항상 일정하게 유지하기 위한 것이다.

즉, 상기 간격유지수단(12)은, 상기 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)의 이격 거리와 대응하는 길이를 갖는 간격유지용 바(K1, bar)와, 상기 반입용 트레이(8) 또는 반출용 트레이(10)의 위치를 센싱하는 센서(K2)로 구성될 수 있다.

상기 간격유지용 바(K1)는 상기 반입용 트레이(8) 일측과 일단이 연결 고정되고, 타단은 상기 반출용 트레이(10) 일측과 연결 고정된다.

상기 간격유지용 바(K1)는 가벼우면서 내구성이 우수한 금속(알루미늄)이나 합성수지(강화플라스틱)로 제조된 바를 사용할 수 있다.

이처럼, 상기 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10) 사이를 상기 간격유지용 바(K1)로 연결 고정하면, 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 상기 두 개의 트레이(8, 10)가 항상 일정 간격을 유지하는 상태로 전/후로 이동할 수 있다.

그리고, 상기 센서(K2)는 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 상기 반입용 트레이(8) 또는 반출용 트레이(10)의 위치를 센싱할 수 있도록 설치된다.

즉, 상기 센서(K2)는 통상의 리미트 스위치나 광 센서를 사용할 수 있으며, 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 상기 반입용 트레이(8) 또는 반출용 트레이(10)가 기판(G)의 로딩/언로딩 지점에 위치하면 이를 감지할 수 있도록 셋팅할 수 있다.

그리고, 상기 센서(K2)는 상기 반입용 트레이(8) 또는 반출용 트레이(10)가 기판(G)의 로딩 또는 언로딩 지점에 위치하면, 상기 이송부(4)의 구동을 멈출 수 있도록 셋팅된다.

이처럼 상기 센서(K2)의 센싱 신호를 전달받아서 상기 이송부(4)의 구동을 제어하는 전기적 연결 구조는 해당 분야에서 일반적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.

따라서, 상기한 간격유지수단(12)의 구조에 의하면, 예를들어, 상기 이송부(4)의 이송 구간(L) 내에서 도 9에서와 같이 상기 반입용 트레이(8)가 기판(G)의 로딩 지점(언로딩 지점)에 위치하면, 상기 반출용 트레이(10)는 상기 이송 구간(L)의 우측 단부 지점에서 상기 제2 수직 이송부(T2)로부터 기판(G)을 인수할 수 있는 지점에 정확하게 위치될 수 있다.

그리고, 도 10에서와 같이 상기 반출용 트레이(10)가 기판(G)의 언로딩 지점(로딩 지점)에 위치하면, 상기 반입용 트레이(8)는 상기 이송 구간(L)의 좌측 단부 지점에서 상기 제1 수직이송부(T1) 측에 기판(G)을 인수할 수 있는 지점에 정확하게 위치될 수 있다.

그러므로, 상기 간격유지수단(12)은, 상기 이송부(4) 상에서 상기 반입용 트레이(8)와 반출용 트레이(10)로 기판(G)의 반입 및 반출 작업을 진행할 때 예를들어, 상기 두 개의 트레이(8, 10) 간격이 좁혀지거나 벌어지면서 위치 편차가 발생하는 현상을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 반입용 트레이(반출용 트레이)의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 반입용 트레이 및 반출용 트레이의 바람직한 설치 상태를 설명하기 위한 도면이다.

도 5 내지 도 8은 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 바람직한 기판 이송 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 9 및 도 10은 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 간격유지수단 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

2: 프레임 4: 이송부 6: 기판처리부

8: 반입용 트레이 10: 반출용 트레이 12: 간격유지수단

G: 기판 T1: 제1 수직 이송부 T2: 제2 수직 이송부

Claims (8)

1. 프레임;

   복수 개의 이송용 로울러를 구비하고 상기 프레임 상에 설치되는 이송부;

   상기 이송부와 대응하도록 상기 프레임 상에 설치되는 기판처리부;

   상기 프레임 외부에서 반입되는 기판을 상기 기판처리부 측에 공급할 수 있도록 상기 이송부 상에 설치되는 반입용 트레이;

   상기 기판처리부의 기판을 공급받아서 상기 프레임 외부로 반출할 수 있도록 상기 이송부 상에 설치되는 반출용 트레이;

   를 포함하는 기판처리장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 이송부는,

   상기 복수 개의 이송용 로울러들이 상기 프레임 내측에서 좌/우로 이격 배치되는 기판처리장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 기판처리부는,

   롤 브러쉬를 구비한 세정모듈;

   상기 세정모듈 일측에 배치되는 건조모듈;

   복수 개의 이송용 로울러로 구성되어 상기 세정모듈과 건조모듈 내부로 기판을 이송하는 이송장치;

   를 포함하는 기판처리장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 반입용 트레이 및 반출용 트레이는,

   기판 저면을 지지하는 복수 개의 지지 핀을 각각 구비하고,

   기판 면적과 대응하도록 금속 또는 합성수지 프로파일로 연결 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
5. 청구항 4에 있어서,

   상기 프로파일은,

   복수 개가 바둑판 배열로 연결 고정되면서 기판과 대응하는 크기의 트레이를 형성하는 기판처리장치.
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 반입용 트레이 및 반출용 트레이는,

   상기 이송부의 이송 구간 내에서 어느 하나의 트레이가 기판의 로딩 또는 언로딩 지점에 위치하면 다른 하나의 트레이는 상기 기판처리부로부터/측에 기판의 인수/인계가 가능하게 이격 배치되는 기판처리장치.
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 이송부와 상기 기판처리부 사이에는 제1 수직 이송부 또는 제2 수직 이송부를 더 포함하며,

   상기 제1 수직 이송부 또는 제2 수직 이송부는,

   업/다운 이동이 가능한 상부핸드와 하부핸드로 구성되며,

   상기 상부핸드 및 하부핸드는,

   상기 이송부 일단 또는 타단 지점에서 업/다운 동작에 의해 기판을 인수/인계할 수 있도록 셋팅되는 기판처리장치.
8. 청구항 1에 있어서,

   상기 반입용 트레이와 반출용 트레이 사이에는 간격유지수단을 더 포함하며,

   상기 간격유지수단은,

   상기 반입용 트레이와 반출용 트레이의 이격 거리와 대응하는 길이의 간격유지용 바;

   상기 이송부의 이송 구간 내에서 반입용 트레이 또는 반출용 트레이의 위치를 센싱하는 센서;

   를 포함하며,

   상기 간격유지용 바는,

   상기 반입용 트레이 일측과 일단이 연결 고정되고 타단은 상기 반출용 트레 이 일측과 연결 고정되며,

   상기 센서는,

   리미트 스위치나 광 센서를 사용하고 상기 이송부의 이송 구간 내에서 기판의 로딩/언로딩 지점에서 상기 반입용 트레이 또는 반출용 트레이의 위치하는 센싱할 수 있도록 셋팅되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.

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