JP5006411B2 - 基板搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板を搬送する装置に関する。

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに代表されるＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）の製造ラインでは、基板を収容するカセットと処理装置との間、或いは、処理装置間で基板を搬送する必要がある。

基板を搬送する装置として、特開２００５−６４４３２号公報には、カセットから搬出した基板を載置する載置台と、載置台から搬出した基板を処理装置へ搬送する基板搬送装置と、を備えた装置が開示されている。しかし、この装置は、基板搬送装置が基板を搬送中には、載置台から基板搬送装置へ基板を搬出できず、基板の搬送効率が低下する。

特開２００４−２９２０９４号公報には、ローラコンベアと、ローラコンベア上の基板をカセットに搬入し、また、カセットからローラコンベア上に基板を搬出する移載装置と、を備えた装置が開示されている。この装置は、ローラコンベアが基板を搬送中であっても、移載装置によりローラコンベア上にカセットから基板を搬出することが可能である。しかし、移載装置の一部がローラコンベアの側方に位置するため、移載装置の設置スペースを確保するために、装置全体が大型化する。

特開２００４−２８４７７２号公報の図１１及び図１２には、搬送方向が直交する２組のローラコンベアを上下に重なるように配置し、その一方を昇降する装置が開示されている。この装置も、一方のローラコンベアが基板を搬送中であっても、当該一方のローラコンベア上にカセットから基板を搬出し、これを他方のローラコンベアの昇降により当該他方のローラコンベアで搬送することが可能である。また、搬送方向が直交する２組のローラコンベアを上下に重なるように配置することで、装置全体の小型化も図れる。しかし、ローラコンベアはローラの駆動機構を備えており、その軽量化が容易ではない。したがって、ローラコンベアの昇降に時間がかかり、基板の搬送効率が低下する場合がある。

本発明の目的は、装置全体の小型化を図りながら基板の搬送効率を向上し得る基板搬送装置を提供することにある。

本発明によれば、基板をその下側から支持して第１搬送方向で水平に搬送する第１搬送手段と、前記第１搬送手段上の前記基板を、その下側から支持して前記第１搬送方向と直交する第２搬送方向で水平に搬送する第２搬送手段と、を備え、前記第１搬送手段は、互いに前記第１搬送方向に離間した複数列の第１搬送ユニットで構成され、前記第２搬送手段は、互いに前記第１搬送方向に離間した複数の第２搬送ユニットで構成され、各々の前記第２搬送ユニットは、前記第１搬送ユニット間の空隙に配置され、前記基板をその下側から支持する支持ユニットと、前記支持ユニットの下方に配置され、かつ、前記支持ユニットに連結して設けられ、前記第１搬送ユニット上の前記基板を前記支持ユニットが前記第１搬送ユニットから持ち上げる上昇位置と、前記支持ユニットが前記第１搬送ユニット上の前記基板と干渉しない降下位置と、の間で前記支持ユニットを昇降させる昇降ユニットと、前記第１搬送ユニットよりも下方に配置され、前記支持ユニット及び前記昇降ユニットを前記第２搬送方向に移動させる駆動ユニットと、前記支持ユニットに設けられ、前記第２搬送方向に離間して配置された一対の基板保持ユニットと、を備え、前記基板保持ユニットは、前記基板の端縁に当接する当接部材と、前記当接部材を前記第２搬送方向に往復移動する移動ユニットと、を備えたことを特徴とする基板搬送装置が提供される。

本発明では、上記構成により、前記第２搬送手段が前記第１搬送手段の下方に配置されることから、装置全体の小型化を図れる。また、前記昇降ユニットによる前記支持ユニットの昇降により前記基板を昇降する。前記支持ユニットは、前記基板を下側から支持する機能を有すれば足り、前記基板を移動するための駆動機構は不要であるので、その軽量化が図れる。このため、前記基板の昇降の高速化が図れ、基板の搬送効率を向上できる。また、前記基板保持ユニットにより基板が保持されると共にその位置決めもなし得る。

本発明の一実施形態に係る基板搬送装置Ａのレイアウトを示す平面図である。 図１の線Ｉ−Ｉに沿う直交搬送装置１の構造説明図である。 図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う直交搬送装置１の構造説明図である。 第２搬送ユニット２１の斜視図である。 基板保持ユニット３４の動作説明図である。 収納カセット７０の斜視図である。 収納カセット７０からガラス基板Ｗを搬出する場合の動作説明図である。 基板搬送装置Ａの制御装置２００のブロック図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。 基板搬送装置Ａの動作説明図である。

＜全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係る基板搬送装置Ａのレイアウトを示す平面図、図２は図１の線Ｉ−Ｉに沿う直交搬送装置１の構造説明図、図３は図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う直交搬送装置１の構造説明図である。各図において、矢印Ｘ、Ｙは相互に直交する水平方向を示す。Ｘ、Ｙ方向の正逆方向を特に言う場合には、矢印の方向を＋Ｘ、＋Ｙとし、逆の方向を−Ｘ、−Ｙという。矢印Ｚは上下方向（鉛直方向）を示す。上下を区別して言う場合には、上方向を＋Ｚ、下方向を−Ｚという。

基板搬送装置Ａは、直交搬送装置１と、コンベア装置２及び３、搬送装置４、複数のコンベア装置５及び複数の昇降装置８０を備える。基板搬送装置Ａは、方形薄板状のガラス基板Ｗを収納する収納カセット７０から不図示の処理装置へガラス基板Ｗを搬送し、また、該処理装置から収納カセット７０へガラス基板Ｗを搬送する。処理装置はガラス基板Ｗの洗浄、乾燥、その他の処理を行う。

＜直交搬送装置１＞
直交搬送装置１は、Ｘ方向にガラス基板Ｗを水平に搬送する第１搬送装置１０と、第１搬送装置１０上のガラス基板ＷをＹ方向に水平に搬送する第２搬送装置２０と、第１搬送装置１０及び第２搬送装置２０を支持する架台５００とを備える。架台５００は、架台本体部５０１と、架台本体部５０１を支持する脚部５０２とで構成される。

＜第１搬送装置１０＞
第１搬送装置１０は、互いにＸ方向に離間した複数列の第１搬送ユニット１１で構成される。本実施形態の場合、第１搬送ユニット１１は４列設けられている。

第１搬送ユニット１１は、更にＹ方向に配列された複数のローラコンベアユニット６０で構成されている。図１乃至図３に示すように、各ローラコンベアユニット６０は、ガラス基板Ｗが載置される複数のローラ６１と、ローラ６１の駆動装置を内蔵した駆動ボックス６２と、ガラス基板Ｗの到来を検出する光センサ等のセンサ６３（図３参照）と、を備える。ローラ６１は、Ｙ方向の回転軸回りに回動自在に設けられた従動ローラであり、ガラス基板Ｗをその下側から支持して＋Ｘ方向及び−Ｘ方向の両方向に搬送するものである。各ローラコンベアユニット６０はそれぞれ独立して駆動可能であり、また、脚部６０１によって前述した架台５００の架台本体部５０１上に直立支持される。

本実施形態では、第１搬送ユニット１１をローラコンベアユニット６０で構成したが、ガラス基板Ｗをその下側から支持して搬送する他の搬送ユニット、例えば、ベルトコンベア等でもよい。

＜第２搬送装置２０＞
図２に示すように第２搬送装置２０は、同期的に制御され、互いにＸ方向に離間した複数の第２搬送ユニット２１で構成され、架台本体部５０１上に設けられる。本実施形態の場合、第２搬送ユニット２１は３つ設けられている。以下、図２乃至図４を参照して各第２搬送ユニット２１の構成を詳述する。図４は第２搬送ユニット２１の斜視図である。第２搬送ユニット２１は、支持ユニット３０と、昇降ユニット４０と、駆動ユニット５０と、を備える。

＜支持ユニット３０＞
支持ユニット３０はＹ方向に延び、そのＹ方向の長さはガラス基板ＷのＹ方向の幅よりも若干長い。このため、各第２搬送ユニット２１の支持ユニット３０によって、ガラス基板Ｗを安定して支持できる。

支持ユニット３０は、Ｙ方向に延びる支持部材３１を備える。本実施形態の場合、支持部材３１は中空の角型鋼管である。支持部材３１上にはＹ方向に離間して複数設けられ、ブラケット３３を介して支持部材３１に支持されたローラ３２を備える。ローラ３２はブラケット３３に回転自在に取り付けられており、Ｘ方向の軸回りに回転可能である。第２搬送ユニット２１によりガラス基板Ｗを搬送する場合、ガラス基板Ｗはローラ３２上に載置され、ローラ３２はガラス基板Ｗの下面に当接してガラス基板Ｗをその下側から支持する。本実施形態では、支持部材３１に、ブラケット３３を介してローラ３２を設けた場合を例に挙げて説明を行ったが、これに限定するものではない。例えば、支持部材３１に、先端に転動自在なベアリングを有するピン部材を設けてもよい。

支持ユニット３０は、Ｙ方向に離間して配置された一対の基板保持ユニット３４を備える。本実施形態の場合、基板保持ユニット３４は、各ローラ３２を挟むように、支持部材３１のＹ方向の両端部にそれぞれ配置されている。基板保持ユニット３４は、ガラス基板Ｗの端縁に当接する当接部材３５と、当接部材３５をＹ方向に往復移動する移動ユニット３６と、移動ユニット３６を覆うカバー部材３７と、を備える。

移動ユニット３６は、本実施形態の場合、エアシリンダであり、本体部３６ａと、可動部３６ｂとを備える。本体部３６ａに対するエアの供給及び切り換えにより、可動部３６ｂはＹ方向に往復移動する。

当接部材３５は、本実施形態の場合、Ｚ方向の軸回りに回転可能に可動部３６ｂに支持されたローラであり、その周面にガラス基板Ｗの端縁が当接するようにしている。カバー部材３７は移動ユニット３６の作動による発塵を防止するものであり、当接部材３５の連結軸及び可動部３６ｂとの干渉を避けるため、その上面にはスリット３７１が設けられている。

図５は基板保持ユニット３４の動作説明図である。図５の上側の態様は、ローラ３２上にガラス基板Ｗが載置され、基板保持ユニット３４の当接部材３５が退避位置にある場合を示している。この態様から各移動ユニット３６の作動により各当接部材３５を互いに近接する方向に移動させて当接位置に位置させることで、図５の下側の態様に示すように各当接部材３５がガラス基板ＷのＹ方向の各端縁に当接し、ガラス基板Ｗが保持される。また、基板保持ユニット３４によるガラス基板Ｗの保持により、ガラス基板ＷのＹ方向の位置決めもなし得る。第２搬送装置２０によるガラス基板Ｗの搬送の間、基板保持ユニット３４により、ガラス基板Ｗが位置決め、保持される。更に、複数列に設けられた第２搬送ユニット２１における一対の基板保持ユニット３４を、全列同時に駆動（近接する方向に移動）させてもよいが、ガラス基板Ｗの大きさに応じて、駆動させる列を適宜選択するようにしてもよい。

基板保持ユニット３４によるガラス基板Ｗの保持の際、ガラス基板ＷがＹ方向に微かに移動する場合があるが、ローラ３２はＸ方向の軸回りに回転可能であるので、ガラス基板Ｗの移動により、ガラス基板Ｗとローラ３２とが擦れることが防止され、ガラス基板Ｗを傷付けることを防止できる。

次に、図２に示すように支持ユニット３０は、第１搬送ユニット１１間の空隙に配置されている。本実施形態の場合、第１搬送ユニット１１は上述したとおり４列設けられており、第１搬送ユニット１１間の空隙は３箇所ある。本実施形態では、全ての空隙に支持ユニット３０を配置しており、このため、第２搬送ユニット２１は３つ設けられている。しかし、全ての空隙に対応した数の第２搬送ユニット２１を設ける必要はなく、例えば、本実施形態の場合、Ｘ方向の両側の２箇所の空隙に対応して第２搬送ユニット２１を２つ設けてもよい。

＜昇降ユニット４０＞
昇降ユニット４０は、本実施形態の場合、エアシリンダであり、図４に示す通り本体部４２と、可動部４１とを備える。本体部４２に対するエアの供給及び切り換えにより、可動部４１はＺ方向に往復移動する。昇降ユニット４０は、支持ユニット３０の下方に配置され、可動部４１が支持ユニット３０の支持部材３１の下面に連結されている。

図２は昇降ユニット４０による支持ユニット３０の昇降動作を示す。図２の上側の態様は、第１搬送ユニット１１のローラ６１上に載置されたガラス基板Ｗと、支持ユニット３０とが干渉しないように支持ユニット３０が降下位置にある場合を示す。この態様から、昇降ユニット４０の作動により支持ユニット３０を上昇させると、第１搬送ユニット１１のローラ６１上に載置されたガラス基板Ｗが支持ユニット３０のローラ３２に載置され、ガラス基板Ｗが第１搬送ユニット１１から持ち上げられた上昇位置に支持ユニット３０が位置することになる（図２の下側の態様）。

この後、上述した基板保持ユニット３４によりガラス基板Ｗを保持することで、第１搬送ユニット１１に代わって、第２搬送ユニット２１によりガラス基板Ｗを搬送可能な状態となる。

＜駆動ユニット５０＞
図２及び図３に示すように、駆動ユニット５０は第１搬送ユニット１１よりも下方に配置され、支持ユニット３０及び昇降ユニット４０をＹ方向に移動させる。第１搬送ユニット１１の下方のスペースに駆動ユニット５０を配置することで、直交搬送装置１全体の小型化が図れる。

駆動ユニット５０は、支持板５１と、スライド部材５２と、レール部材５３と、を備える。支持板５１には昇降ユニット４０が搭載され、これにより昇降ユニット４０と支持ユニット３０とが駆動ユニット５０に搭載される。なお、支持板５１上には昇降ユニット４０へのエアの供給を切り換える制御弁を搭載することもできる。この構成によれば、制御弁を昇降ユニット４０に近接して配置できるので、昇降ユニット４０の昇降動作をより確実なものとすることができる。

スライド部材５２は支持板５１の下面に固定して取り付けられており、Ｙ方向に所定間隔で複数個設けられている。各スライド部材５２はレール部材５３上をスライド移動自在に設けられ、支持板５１及びスライド部材５２はレール部材５３上をスライド移動するスライダを構成している。レール部材５３はＹ方向に延設され、図３に示すように第１搬送ユニット１１のＹ方向の一方端部から他方端部までの略全域に渡って延設されている。スライド部材（リニアガイドブロック）５２のレール部材５３と対向する面には、ベアリング（又はころ）が内蔵される。これらのベアリングは、リニアガイドブロックの内部を循環しながら、レール部材５３の溝内（接触面）を転動する（又はこれらのころは、リニアガイドブロックの内部で、レール部材５３の接触面と接触しつつ転動する）。よって、スライド部材５２は、殆ど摩擦抵抗を受けることなくレール部材５３上をスライド移動することができる。

レール部材５３のＹ方向の両端部にはそれぞれ端部部材５３ａが設けられており、各端部部材５３ａには軸受け５４ａが固定されている。軸受け５４ａによりＸ方向に延びる軸５４が軸支されており、レール部材５３のＹ方向の両端部にそれぞれ１つずつ設けられている。本実施形態の場合、軸５４は全ての第２搬送ユニット２１に共通であり、それぞれの端部に設けられる軸５４は１本に連結されている。

各軸５４の周りにおけるレール部材５３の近傍にはプーリ５５が設けられており、レール部材５３毎に一対のプーリ５５が配置される。Ｙ方向に離間したこの一対のプーリ５５にはベルト５６が巻き回されており、ベルト５６の両端部はそれぞれ支持板５１の前後に固定されている（図４参照）。

２つの軸５４の一方には、駆動源５８が設けられている。駆動源５８は、モータ５８ａと、減速機５８ｂとを備え、軸５４を回転駆動する。しかして、駆動源５８の駆動による一方の軸５４の回転により、当該一方の軸５４に固定されたプーリ５４が回転し、ベルト５６が走行する。この結果、支持板５１及びスライド部材５２がレール部材５３上をスライド移動し、支持ユニット３０及び昇降ユニット４０をＹ方向に移動させ、かつ、任意の位置に停止させることができる。

支持ユニット３０及び昇降ユニット４０の重量は、レール部材５３により負担される。したがって、プーリ５５を回転させ、ベルト５６を走行させる駆動源５８は、Ｙ方向への移動力を発生できれば足り、より少ない出力のもので足りる。

駆動源５８の駆動による支持ユニット３０及び昇降ユニット４０のＹ方向の移動位置については、例えば、フィードバック制御により制御することができる。この場合、モータ５８ａの回転数を検出するセンサや、レール部材５３上のスライド部材５２の位置を検出するセンサ等の検出結果に応じてモータ５８ａを制御する。

なお、本実施形態では、駆動源５８として、ベルト伝動機構を採用したが他の機構を採用してもよい。例えば、ボールネジ機構や、リニアモータを用いた機構を採用できる。

また、本実施形態では、各第２搬送ユニット２１について、駆動源５８を共通としている。しかし、第２搬送ユニット２１毎に駆動源５８を設け、同期的に制御するようにしてもよい。尤も、駆動源５８を共通とすることで、コストの低減、制御の簡便化、構成の簡素化を図れる。

駆動ユニット５０は、一対のカバー部材５７を備える。図２に示すように、一対のカバー部材５７は、レール部材５３の＋Ｘ側、−Ｘ側にそれぞれ配置されたＣ字型をなし、中空の空間Ｓ１、Ｓ２を形成している。空間Ｓ１内にはプーリ５５、ベルト５６が収納され、空間Ｓ２には不図示の配線、配管が配置される。そして、これらカバー部材５７により、レール部材５３、支持板５１、スライド部材５２、プーリ５５、ベルト５６が囲包され、駆動ユニット５０の駆動による発塵を防止する。カバー部材５７には、その内部の空間Ｓ１、Ｓ２内の空気を吸引して外部へ排気する吸引排気手段５７ａ（図３）が複数設けられている。これにより、発塵をより確実に防止できる。

＜コンベア装置２及び３＞
図１を参照して、コンベア装置２及び３は、本実施形態の場合、いずれも複数のローラコンベアユニット６０から構成されている。コンベア装置２は、第１搬送装置１０の＋Ｘ方向の側方に配置され、搬送装置４から直交搬送装置１へガラス基板Ｗを搬送する。コンベア装置３は第１搬送装置１０の＋Ｘ側に配置され、直交搬送装置１から搬送装置４へガラス基板Ｗを搬送する。

＜搬送装置４＞
搬送装置４は、コンベア装置３から搬送されてくるガラス基板Ｗを不図示の処理装置へ搬送し、処理装置から搬送されてくるガラス基板Ｗをコンベア装置２へ搬送する。搬送装置４の構成は、例えば、直交搬送装置１と同様の構成でもよいし、Ｙ方向に移動可能な多関節型のロボット等でもよい。

＜収納カセット７０＞
図６は収納カセット７０の斜視図である。収納カセット７０はコンベア装置５の上方に設けられ、ガラス基板Ｗを水平姿勢で、Ｚ方向に多段に収納可能なカセットである。なお、図６はガラス基板Ｗが未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット７０は複数の柱部材７１と、梁部材７２と、により略直方体形状のフレーム体をなしている。梁部材７２の配設間隔は、コンベア装置５が収納カセット７０の下方から収納カセット７０内に進入できるように設定され、梁部材７２は、コンベア装置５が下方から進入可能な開口部を形成している。

柱部材７１は、Ｘ方向に複数配設されると共に、Ｙ方向に離間して同数並設されている。Ｙ方向に離間した一対の柱部材７１間には、Ｚ方向に並べて、かつ、所定のピッチでワイヤ７３が張設されている。各ワイヤ７３の上下間のスペースは、ガラス基板Ｗを収納するスロットを形成し、ガラス基板Ｗは水平姿勢でワイヤ７３上に一枚ずつ載置される。そして、Ｚ方向に並んだワイヤ７３の数だけ、スロットが形成される。

本実施形態ではスロットをワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット７０の収納効率を高めることができる。

＜コンベア装置５＞
コンベア装置５は、本実施形態の場合、複数のローラコンベアユニット６０から構成されている。コンベア装置５は収納カセット７０毎に設けられ、収納カセット７０の下方に位置している。また、コンベア装置５は、図１に示すように、第１搬送装置１０の−Ｘ方向の側方に配置され、直交搬送装置１との間でガラス基板Ｗの搬送、ここでは、収納カセット７０へのガラス基板Ｗの搬入及び収納カセット７０からのガラス基板Ｗの搬出を行う。

＜昇降装置＞
一対の昇降装置８０により収納カセット７０をＺ方向に昇降することで、収納カセット７０とコンベア装置５とをＺ方向に相対的に移動させる。これに代えて、コンベア装置５をＺ方向に昇降する構成としてもよい。なお、コンベア装置５を昇降する構成とした場合は、第１搬送装置１０も昇降する構成になる。

本実施形態の場合、各昇降装置８０は収納カセット７０を挟むように収納カセット７０の互いに対向するＹ方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット７０をそれぞれ片持ち支持する。この構成によれば、昇降装置８０をより薄型化できる。

昇降装置８０は、収納カセット７０の底部の梁部材７２が載置されるビーム部材８１を備える。各昇降装置８０の各ビーム部材８１が同期的にＺ方向に移動することで収納カセット７０が昇降される。昇降装置８０は駆動装置（不図示）を備えており、該駆動装置によりビーム部材８１を昇降することで収納カセット７０を昇降する。各昇降装置８０間には、その支柱の上端に梁部材８０ａが架設されている。

図７はガラス基板Ｗを収納カセット７０から搬出する場合の、昇降装置８０による収納カセット７０の昇降動作を示す図である。なお、同図において昇降装置８０は図示が省略されている。収納カセット７０から搬出する場合は、ガラス基板Ｗが収納されたスロットのうち、最下方のスロットに収納されたガラス基板Ｗから順番に行う。

まず、図７の左上図に示すように、コンベア装置５の上方に収納カセット７０が位置した状態から、昇降装置８０（図７において不図示）により収納カセット７０を降下させ、図７の右上図に示すように、コンベア装置５上に、搬送対象のガラス基板Ｗを載置する。このとき、コンベア装置５は収納カセット７０内に下方から進入し、搬送対象のガラス基板Ｗは収納カセット７０のワイヤ７３から浮いた状態となり、コンベア装置５のみによって支持された状態となる。続いてコンベア装置５を駆動して、図７の左下図に示すように、搬送対象のガラス基板Ｗを収納カセット７０から搬出する。以下、同様に、収納カセット７０の降下とコンベア装置５の駆動とを繰り返し（図７の右下図）、下方側から順番にガラス基板Ｗを搬出することになる。

ガラス基板Ｗを収納カセット７０へ搬入する場合、上述した搬出時の動作と概ね逆の動作となる。ガラス基板Ｗの搬入は、ガラス基板Ｗが収納されていないスロットのうち、最上方のスロットから順番に行う。

＜制御装置＞
図８は基板搬送装置Ａの制御装置２００の構成を示すブロック図である。制御装置（制御手段）２００は基板搬送装置Ａの全体の制御を司るＣＰＵ２０１と、ＣＰＵ２０１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ２０２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ２０３と、を備える。ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３は他の記憶手段を採用可能である。

入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０４は、ＣＰＵ２０１と各種のセンサ（例えば、センサ６３等）とのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ２０４を介してＣＰＵ２０１は各種のセンサの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０５は、ＣＰＵ２０１と各種のモータ（例えば、モータ５８ａ、駆動ボックス６２内のモータ等）、及び、制御弁（基板保持ユニット３４及び昇降ユニット４０用のもの等）とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ２０５を介してＣＰＵ２０１は各種のモータ、制御弁を制御する。

通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）２０６は、基板搬送装置Ａを含む基板処理設備全体を制御するホストコンピュータ３００とＣＰＵ２０１とのインターフェースであり、ＣＰＵ２０１はホストコンピュータ３００からの指令に応じて基板搬送装置Ａを制御することになる。

＜基板搬送装置Ａによるガラス基板の搬送例＞
図９乃至図１６を参照して、基板搬送装置Ａによるガラス基板Ｗの搬送例について説明する。本実施形態では、図９に示すように＋Ｙ側にガラス基板Ｗを収納した収納カセット７０を配置し、−Ｙ側に空の収納カセット７０を配置して、＋Ｙ側に位置する収納カセット７０から未処理のガラス基板Ｗを処理装置へ搬送し、−Ｙ側に位置する収納カセット７０へ処理装置から処理済のガラス基板Ｗを搬送する場合について説明する。まず、図１０乃至図１２を参照して、＋Ｙ側に位置する収納カセット７０から未処理のガラス基板Ｗを処理装置へ搬送する場合を説明する。

図１０に示すように、＋Ｙ側の収納カセット７０からコンベア装置５及び昇降装置８０の作動により、ガラス基板Ｗを一枚＋Ｘ方向に搬送する。同時に、直交搬送装置１では、第１搬送装置１０の第１搬送ユニット１０の作動により、収納カセット７０から搬送されてくるガラス基板Ｗを＋Ｘ側に搬送して、直交搬送装置１のＸ方向の略中央にガラス基板Ｗを位置させる。このとき、支持ユニット３０は降下位置に位置させ、かつ、搬送されてくるガラス基板Ｗの真下に位置させる。基板保持ユニット３４の当接部材３５は退避位置に位置させる。

支持ユニット３０がガラス基板Ｗの真下に位置しているか否かは、基本的には、予め定めた位置に支持ユニット３０が位置したことをもって、ガラス基板Ｗの真下に位置したとみなす。しかし、支持ユニット３０にガラス基板Ｗを検知するセンサを設けてガラス基板Ｗを検出し、支持ユニット３０の位置を制御するようにしてもよい。

次に、昇降ユニット４０により支持ユニット３０を上昇位置に移動し、これによりガラス基板Ｗを第１搬送装置１０に代わって支持ユニット３０で支持する。続いて、基板保持ユニット３４の作動により当接部材３５を当接位置に移動してガラス基板Ｗを保持する。

次に、図１１に示すように、駆動ユニット５０の作動により支持ユニット３０を−Ｙ方向に移動し、コンベア装置３の−Ｘ側の位置までガラス基板Ｗを移動する。ガラス基板Ｗの移動により、直交搬送装置１の、＋Ｙ側の収納カセット７０の側方の領域が空く。したがって、＋Ｙ側の収納カセット７０から２枚目のガラス基板Ｗの搬出を開始する。

次に、基板保持ユニット３４の当接部材３５を退避位置に位置させ、支持ユニット３０を降下位置に移動する。これにより、１枚目のガラス基板Ｗは再び第１搬送装置１０上に載置される。続いて、図１２に示すように、１枚目のガラス基板Ｗを第１搬送装置１０及びコンベア装置３により＋Ｘ方向に搬送し、１枚目のガラス基板Ｗを搬送装置４へ渡す。搬送装置４は、１枚目のガラス基板Ｗを処理装置へ搬送することになる。

同時に、駆動ユニット５０の作動により支持ユニット３０を＋Ｙ方向に移動し、２枚目のガラス基板Ｗの真下に位置させる。この時、２枚目のガラス基板Ｗを第１搬送装置１０が収納カセット７０から搬出途中であっても、支持ユニット３０を搬送されてくるガラス基板Ｗの真下となる位置（図９の位置）に位置させ、待機させることができるので搬送効率を向上できる。以降、同様の手順を繰り返すことにより、＋Ｙ側に位置する収納カセット７０から未処理のガラス基板Ｗを処理装置へ順次連続的に搬送することができる。直交搬送装置１におけるガラス基板ＷのＸ方向及びＹ方向の搬送を並行して行うことができるので、ガラス基板Ｗの搬送効率を向上できる。

次に、図１３乃至図１６を参照して、−Ｙ側に位置する収納カセット７０へ処理装置から処理済のガラス基板Ｗを搬送する場合を説明する。

図１３に示すように、処理済のガラス基板Ｗが搬送装置４により処理装置からコンベア装置２へ搬送され、コンベア装置２はガラス基板Ｗを直交搬送コンベア１上に搬送する。同時に、直交搬送装置１では、第１搬送装置１０の第１搬送ユニット１０の作動により、コンベア装置２から搬送されてくるガラス基板Ｗを−Ｘ側に搬送して、直交搬送装置１のＸ方向の略中央にガラス基板Ｗを位置させる（図１４）。このとき、支持ユニット３０は降下位置に位置させ、かつ、搬送されてくるガラス基板Ｗの真下に位置させる。基板保持ユニット３４の当接部材３５は退避位置に位置させる。

次に、昇降ユニット４０により支持ユニット３０を上昇位置に移動し、これによりガラス基板Ｗを第１搬送装置１０に代わって支持ユニット３０で支持する。続いて、基板保持ユニット３４の作動により当接部材３５を当接位置に移動してガラス基板Ｗを保持する。

次に、図１５に示すように、駆動ユニット５０の作動により支持ユニット３０を−Ｙ方向に移動し、−Ｙ側の収納カセット７０の＋Ｘ側の位置までガラス基板Ｗを移動する。ガラス基板Ｗの移動により、直交搬送装置１の、コンベア装置２の側方の領域が空く。したがって、搬送装置４及びコンベア装置２による２枚目のガラス基板Ｗの搬送を開始する。

次に、基板保持ユニット３４の当接部材３５を退避位置に位置させ、支持ユニット３０を降下位置に移動する。これにより、１枚目のガラス基板Ｗは再び第１搬送装置１０上に載置される。続いて、図１６に示すように、１枚目のガラス基板Ｗを第１搬送装置１０、コンベア装置５及び昇降装置８０の作動により、−Ｙ側の収納カセット７０へ搬入する。

同時に、駆動ユニット５０の作動により支持ユニット３０を＋Ｙ方向に移動し、２枚目のガラス基板Ｗの真下に位置させる。この時、２枚目のガラス基板Ｗをコンベア装置２が第１搬送装置１０上へ搬出途中であっても、支持ユニット３０を搬送されてくるガラス基板Ｗの真下となる位置（図１３の位置）に位置させ、待機させることができるので搬送効率を向上できる。以降、同様の手順を繰り返すことにより、処理装置から−Ｙ側に位置する収納カセット７０へ処理済のガラス基板Ｗを順次連続的に搬送することができる。直交搬送装置１におけるガラス基板ＷのＸ方向及びＹ方向の搬送を並行して行うことができるので、ガラス基板Ｗの搬送効率を向上できる。

このように本実施形態では、直交搬送装置１におけるガラス基板ＷのＸ方向及びＹ方向の搬送を並行して行うことができるので、ガラス基板Ｗの搬送効率を向上できる。特に、ガラス基板Ｗがより大型であればあるほど、収納カセット７０への搬入及び収納カセット７０からの搬出に際し、時間を要することから、本実施形態のように、ガラス基板ＷのＸ方向及びＹ方向の搬送を並行して行うことにより、タクトタイムの短縮を図れる。

そして、第２搬送装置２０が第１搬送装置１０の下方に配置されることから、装置全体の小型化を図れる。また、昇降ユニット４０による支持ユニット３０の昇降によりガラス基板Ｗを昇降する。支持ユニット３０は、それ自体がガラス基板Ｗを搬送する駆動機構を有さず、ガラス基板Ｗを下側から支持する機能を有すれば足りるので、その軽量化が図れる。このため、ガラス基板Ｗの昇降の高速化が図れ、ガラス基板Ｗの搬送効率を向上できる。

加えて、支持ユニット３０の軽量化が図れることから、これをＹ方向により高速で移動することができ、ガラス基板Ｗの搬送効率を更に向上できる。また、支持ユニット３０を移動する構成としたことにより、Ｙ方向におけるガラス基板Ｗの搬送距離は、駆動ユニット５０のＹ方向の全長により規定され、より長距離としたり、短距離としたりすることができ、装置のレイアウト自由度を高められる。

また、直交搬送装置１の＋Ｘ側、−Ｘ側にそれぞれコンベア装置２、３及び５を配置でき、これらと直交搬送装置１との間でガラス基板Ｗの受け渡しが行えるので、装置のレイアウト自由度を高められる。また、第２搬送ユニット２１は、第１搬送ユニット１１のＹ方向における任意の位置で停止させることができる。更に、第１搬送ユニット１１を独立して駆動可能な複数のローラコンベアユニット６０で構成している。これらにより、直交搬送装置１のＸ方向側方にコンベア装置５等を配置、接続する際、Ｙ方向における接続位置の選択肢が増える。よって、装置のレイアウト自由度を更に高められる。

なお、本実施形態では、第１搬送ユニット１１の各ローラコンベアユニット６０をＹ方向に略等ピッチで配設したが、これに限られない。ローラコンベアユニット６０は、直交搬送装置１の側方に配置されるコンベア装置２、３及び５の側方に少なくとも位置すれば足りる。

Claims (10)

1. 基板をその下側から支持して第１搬送方向で水平に搬送する第１搬送手段と、
   前記第１搬送手段上の前記基板を、その下側から支持して前記第１搬送方向と直交する第２搬送方向で水平に搬送する第２搬送手段と、を備え、
   前記第１搬送手段は、
   互いに前記第１搬送方向に離間した複数列の第１搬送ユニットで構成され、
   前記第２搬送手段は、
   互いに前記第１搬送方向に離間した複数の第２搬送ユニットで構成され、
   各々の前記第２搬送ユニットは、
   前記第１搬送ユニット間の空隙に配置され、前記基板をその下側から支持する支持ユニットと、
   前記支持ユニットの下方に配置され、かつ、前記支持ユニットに連結して設けられ、前記第１搬送ユニット上の前記基板を前記支持ユニットが前記第１搬送ユニットから持ち上げる上昇位置と、前記支持ユニットが前記第１搬送ユニット上の前記基板と干渉しない降下位置と、の間で前記支持ユニットを昇降させる昇降ユニットと、
   前記第１搬送ユニットよりも下方に配置され、前記支持ユニット及び前記昇降ユニットを前記第２搬送方向に移動させる駆動ユニットと、
   前記支持ユニットに設けられ、前記第２搬送方向に離間して配置された一対の基板保持ユニットと、を備え、
   前記基板保持ユニットは、
   前記基板の端縁に当接する当接部材と、
   前記当接部材を前記第２搬送方向に往復移動する移動ユニットと、
   を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記第１搬送ユニットが、独立して駆動可能な複数のローラコンベアユニットを備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記支持ユニットが、
   前記第２搬送方向に延びる支持部材と、
   前記第２搬送方向に離間して複数設けられ、前記基板の下面に当接し、前記第２搬送方向と直交する方向と平行な軸回りに回転自在にブラケットを介して前記支持部材に支持されたローラと、
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
4. 前記駆動ユニットが、
   前記第２搬送方向に延びるレール部材と、
   前記レール部材に沿ってスライド移動自在に設けられると共に前記昇降ユニットが搭載されるスライダと、
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
5. 前記駆動ユニットが、
   前記第２搬送方向に離間した一対のプーリと、
   前記一対のプーリに巻き回されると共に前記スライダに連結されたベルトと、
   前記第１搬送方向に延び、前記一対のプーリをそれぞれ回転駆動させる一対の軸と、
   前記一対の軸のうち、一方の軸を回転駆動させる駆動源と、
   を備え、
   各々の前記駆動ユニットにおける前記一対の軸のうち、一方の軸及び他方の軸がそれぞれ全て連結して設けられ、その一方の軸に１つの前記駆動源が連結して設けられることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
6. 前記レール部材と前記スライダと前記一対のプーリと前記ベルトとを囲包するカバー部材を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
7. 前記第１搬送手段の前記第１搬送方向の側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第１搬送方向で水平に搬送することにより、前記第１搬送手段との間で前記基板を搬送する第３搬送手段を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
8. 前記第３搬送手段の上方に配置され、前記第３搬送手段が進入可能な開口部を有すると共に、前記基板を水平姿勢で収納するスロットを上下方向に複数備えた収納カセットと、前記第３搬送手段と、を相対的に昇降する昇降手段を更に備えたことを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。
9. 前記第１搬送手段の前記第１搬送方向の一方側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第１搬送方向で水平に搬送することにより、前記第１搬送手段との間で前記基板を搬送する第３搬送手段と、
   前記第１搬送手段の前記第１搬送方向の他方側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第１搬送方向で水平に搬送することにより、前記第１搬送手段との間で前記基板を搬送する第４搬送手段と、
   を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
10. 前記支持ユニットの前記第２搬送方向の長さが前記基板の幅よりも長いことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。

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