JP2004075203A - バッファ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バッファ装置10は、複数枚のガラス基板82を収納することが可能なカセット81と、上流側の処理ラインのコンベア15aから搬送されてきたガラス基板82をカセット81内の各段へ1枚ずつ収納するとともに、カセット81内の各段に収納されたガラス基板82を下流側の処理ラインのコンベア15bへ1枚ずつ排出する基板出し入れ機構16とを備えている。カセット81は、上板83と、上板83に立設された左右の側面フレーム84,85と、これら左右の側面フレーム84,85間に張架された複数のワイヤ86とを有している。複数のワイヤ86は、異なる高さの複数段の水平面に沿って延びており、同一段の複数のワイヤ86により、ガラス基板82を水平状態で支持するようになっている。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルター等の板状製品を製造するための製造ラインに係り、とりわけ、製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルターの製造工程には、(1)クロム成膜、(2)ブラックマトリックスの形成、(3)所定のパターンを備えた各色(赤色、緑色および青色)の着色層の形成、(4)保護層の形成、(5)ITO層の形成、(6)柱状体の形成等の処理工程が含まれている。そして、このような製造工程を実現するための製造ラインとしては従来、上述した各処理工程を実現する複数の処理ラインを直列的に連結した製造ラインが一般的に用いられている。なお、カラーフィルターの製造方法として最も一般的な製造方法はフォトリソグラフィ法を利用したものであり、この場合には、上述した(2)〜(4)や(6)の処理工程が、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程として実現される。
【0003】
また、
ところで、上述したようなフォトリソグラフィプロセスを含む処理工程では一般に、フォトマスクへの異物の付着等により製品に欠陥が発生しやすく、このような欠陥の発生に伴って特定の処理工程を一時的に停止しなければならない場合が多い。
【0004】
このため、従来においては、製造ライン中にバッファ装置を組み込み、特定の処理工程が停止している際にその処理工程の前段で処理前の基板を滞留させるようにしている。なお、従来のバッファ装置においては、基板を滞留させるための機構として、左右の側面フレームから水平方向に突出した支持ピンにより基板を水平状態に支持する、いわゆるピン式のカセットが用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したピン式のカセットでは、支持ピンの長さ等により収納可能な基板のサイズの範囲が決まってしまうので、その範囲を越えるサイズの基板については、基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要があり、カセットの変更に伴う段取り作業により製造ラインの稼働時間が低下してしまうという問題がある。特に近年、製品として製造されるカラーフィルター等の種類は非常に多くなっており、上述した問題はより重要になってきている。
【0006】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基板のサイズ変更に柔軟に対応して製造ラインの稼働時間の低下を防止することができる、バッファ装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置において、複数枚の基板を収納することが可能なカセットであって、左右の側面フレームと、これら左右の側面フレーム間に張架され、複数枚の基板を水平状態で支持するよう異なる高さの複数段の水平面に沿って延びる複数のワイヤとを有するカセットと、前記製造ライン上の基板を前記カセット内の各段へ1枚ずつ収納するとともに、前記カセット内の各段に収納された基板を前記製造ライン上へ1枚ずつ排出する基板出し入れ機構とを備えたことを特徴とするバッファ装置を提供する。
【0008】
なお、本発明において、前記基板出し入れ機構は、前記カセット内に収納された基板の表面に接触する複数のローラを有する基板搬送機構と、前記カセットと前記基板搬送機構との相対的な位置関係を変化させるよう前記カセットおよび前記基板搬送機構の少なくとも一方を昇降させる昇降装置とを有することが好ましい。また、前記製造ラインは、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインを有することが好ましい。
【0009】
本発明によれば、製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置において、左右の側面フレーム間に張架された複数のワイヤにより基板を水平状態に支持するワイヤ式のカセットを用いているので、カセットに収納可能な最大寸法までの任意の寸法の基板を収納することができ、同一の製造ラインを用いて複数種類のカラーフィルター等を製造する場合でも、基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要がない。このため、少量多品種の製造に効果的に対応することができるとともに、カセットの変更に伴って必要となる段取り作業により製造ラインの稼働時間が低下してしまうことを防止することができる。また、従来のピン式のカセット等と比較してより大量の基板を収納することができ、処理工程の一時的な停止に対する対応能力をより向上させることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0011】
図1は本実施の形態に係るバッファ装置が組み込まれたカラーフィルター製造ラインを示す図である。図1に示すように、カラーフィルター製造ライン1は、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行うものであり、例えば、ガラス基板上にクロムを成膜するための処理ライン20、ガラス基板上に成膜されたクロムをパターニングしてブラックマトリックスを形成するための処理ライン30、ガラス基板上に所定のパターンを備えた各色(赤色、緑色または青色)の着色層を形成するための処理ライン40R,40G,40B、ガラス基板上に保護層を形成するための処理ライン50、ガラス基板上にITO層を形成するための処理ライン60、およびガラス基板上に柱状体を形成するための処理ライン70を備え、これらの処理ライン20,30,…,70が一筆書き状に直列的に連結されている。なお、処理ライン50,60,70については、製造されるカラーフィルターの種類に応じて所要の処理ラインのみが選択されて利用され、(1)ITO層の形成(処理ライン60)および柱状体の形成(処理ライン70)のみ、(2)ITO層の形成(処理ライン60)のみ、(3)保護層の形成(処理ライン50)および柱状体の形成(処理ライン70)のみ、といった各種の態様で処理が行われる。
【0012】
ここで、カラーフィルター製造ライン1の各処理ライン20,30,…,60の間にはバッファ装置10が組み込まれており、特定の処理工程が停止している際にその処理工程の前段で処理前のガラス基板を滞留させることができるようになっている。なお、バッファ装置10は、個々の処理ライン20,30,…,70中において洗浄装置や現像装置等のウェット系の装置の直後に配置し、これらの装置内でガラス基板82が滞留しないようにしてもよい。
【0013】
図2は図1に示すバッファ装置10の詳細を示す斜視図である。図2に示すように、バッファ装置10は、複数枚のガラス基板82を収納することが可能なカセット81と、上流側の処理ラインのコンベア15aから搬送されてきたガラス基板82をカセット81内の各段へ1枚ずつ収納するとともに、カセット81内の各段に収納されたガラス基板82を下流側の処理ラインのコンベア15bへ1枚ずつ排出する基板出し入れ機構16とを備えている。
【0014】
ここで、カセット81は、上板83と、上板83に立設された左右の側面フレーム84,85と、これら左右の側面フレーム84,85間に張架された複数のワイヤ86とを有している。ここで、複数のワイヤ86は、異なる高さの複数段の水平面に沿って延びており、同一段の複数のワイヤ86により、ガラス基板82を水平状態で支持するようになっている。なお、左右の側面フレーム84,85はそれぞれ、上板83にネジ止め等により取り付けられた8本の支柱84a,85aを有し、これらの支柱84a,85aのうち互いに向かい合う支柱同士が複数のステー87を介して互いに接続されている。なお、ワイヤ86は、ガラス基板82を水平状態で支持するための十分な張力を有するものであれば、合成樹脂製や金属製等の任意のものを用いることができる。また、ワイヤ86の水平面内の本数は、ガラス基板82を水平面内で十分に支持することができる範囲で、任意の本数とすることができる。さらに、ワイヤ86の垂直方向の本数は、ガラス基板82同士が干渉しない状態で所望のガラス基板82を収納することができる範囲で、任意の本数とすることができる。
【0015】
一方、基板出し入れ機構16は、カセット81内に収納されたガラス基板82の下面に接触する複数のローラ90を有する基板搬送コンベア(基板搬送機構)18と、カセット81と基板搬送コンベア18との相対的な位置関係を変化させるようカセット81を昇降させるカセット昇降装置17(駆動機構については図示せず)とを有している。ここで、基板搬送コンベア18は、設置面上に立設された支柱91の上端に固定されるとともにカセット81を両側から挟むように配置された左右の支持フレーム88,88と、これら左右の支持フレーム88,88に回動自在に取り付けられた複数のシャフト89とを有している。なお、各シャフト89にはローラ90が等間隔で6個配置されている。また、これらのシャフト89には駆動機構(図示せず)が取り付けられており、各シャフト89を一定の方向(図の矢印の方向)に回動させることができるようになっている。
【0016】
次に、このような構成からなるバッファ装置10の動作について説明する。
【0017】
図1に示すカラーフィルター製造ライン1において、特定の処理ラインが停止した場合には、その上流側の処理ラインから搬送されたガラス基板82をバッファ装置10にて滞留させる。
【0018】
具体的には、図2に示すように、バッファ装置10において、カセット昇降装置17によりカセットを1段ずつ上昇させながら、基板搬送コンベア18のローラ90を上流側の処理ラインのコンベア15aから搬送されてきたガラス基板82の下面と接触させることにより、ガラス基板82をカセット81内の各段へ1枚ずつ収納する(実線矢印参照)。
【0019】
これに対し、停止していた下流側の処理ラインが復旧した場合には、バッファ装置10にて滞留させておいたガラス基板82を下流側の処理ラインへ排出する。
【0020】
具体的には、図2に示すように、バッファ装置10において、カセット昇降装置17によりカセット81を1段ずつ下降させながら、基板搬送コンベア18のローラ90をカセット81内に収納されている最下方のガラス基板82の下面と接触させることにより、カセット81内の各段に収納されているガラス基板82を下流側の処理ラインのコンベア15bへ1枚ずつ排出する(点線矢印参照)。
【0021】
このように本実施の形態によれば、カラーフィルター製造ライン1中に組み込まれて用いられるバッファ装置10において、左右の側面フレーム84,85間に張架された複数のワイヤ86によりガラス基板82を水平状態に支持するワイヤ式のカセット81を用いているので、カセット81に収納可能な最大寸法までの任意の寸法のガラス基板を収納することができ、同一のカラーフィルター製造ライン1を用いて複数種類のカラーフィルター等を製造する場合でも、ガラス基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要がない。このため、少量多品種の製造に効果的に対応することができるとともに、カセットの変更に伴って必要となる段取り作業により製造ラインの稼働時間が低下してしまうことを防止することができる。
【0022】
また、本実施の形態によれば、カラーフィルター製造ライン1中に組み込まれて用いられるバッファ装置10において、上述したようなワイヤ式のカセット81を用いているので、従来のピン式のカセット等と比較してより大量のガラス基板を収納することができ、処理工程の一時的な停止に対する対応能力をより向上させることができる。
【0023】
なお、上述した実施の形態においては、基板搬送コンベア18を固定して、カセット昇降装置17によりカセット81を昇降させるようにしているが、カセット81と基板搬送コンベア18との相対的な位置関係を変化させることができるのであれば、カセット81の側を昇降させる構成に限らず、基板搬送コンベア18の側を昇降させる構成や、基板搬送コンベア18およびカセット81の両方を昇降させる構成をとることもできる。
【0024】
また、上述した実施の形態において、基板出し入れ機構16は、図2に示すような構成以外にも、例えば、図3に示すような構成、すなわち、カセット昇降装置17′(駆動機構については図示せず)の下方から基板搬送コンベア18′を進入させるような構成をとることができる。なお、図3に示す基板搬送コンベア18′は、設置面上に配設された支持枠92と、支持枠92上に横板93を介して固定された複数のコ字状のフレーム94と、フレーム94の一対の先端部94a,94bに回動自在に取り付けられた複数のシャフト89とを有している。なお、各シャフト89にはローラ90が等間隔で6個配置されている。また、これらのシャフト89には、駆動機構としてモータ95および伝達シャフト96a,96b、ギア97等が取り付けられており、各シャフト89を一定の方向(図の矢印の方向)に回動させることができるようになっている。
【0025】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、基板のサイズ変更に柔軟に対応して製造ラインの稼働時間の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るバッファ装置が組み込まれたカラーフィルター製造ラインを示す図。
【図2】図1に示すバッファ装置の詳細を示す斜視図。
【図3】本発明の他の実施の形態に係るバッファ装置を示す斜視図。
【符号の説明】
1 カラーフィルター製造ライン
10,10′ バッファ装置
15a,15b コンベア
16,16′ 基板出し入れ機構
17,17′ カセット昇降装置
18,18′ 基板搬送コンベア(基板搬送機構)
20,30,…,70 処理ライン
81 カセット
82 ガラス基板
Claims (3)
- 製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置において、
複数枚の基板を収納することが可能なカセットであって、左右の側面フレームと、これら左右の側面フレーム間に張架され、複数枚の基板を水平状態で支持するよう異なる高さの複数段の水平面に沿って延びる複数のワイヤとを有するカセットと、
前記製造ライン上の基板を前記カセット内の各段へ1枚ずつ収納するとともに、前記カセット内の各段に収納された基板を前記製造ライン上へ1枚ずつ排出する基板出し入れ機構とを備えたことを特徴とするバッファ装置。 - 前記基板出し入れ機構は、前記カセット内に収納された基板の表面に接触する複数のローラを有する基板搬送機構と、前記カセットと前記基板搬送機構との相対的な位置関係を変化させるよう前記カセットおよび前記基板搬送機構の少なくとも一方を昇降させる昇降装置とを有することを特徴とする、請求項1に記載のバッファ装置。
- 前記製造ラインは、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインを有することを特徴とする、請求項1に記載のバッファ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002233411A JP4334190B2 (ja) | 2002-08-09 | 2002-08-09 | バッファ装置およびカラーフィルター製造ライン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002233411A JP4334190B2 (ja) | 2002-08-09 | 2002-08-09 | バッファ装置およびカラーフィルター製造ライン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004075203A true JP2004075203A (ja) | 2004-03-11 |
JP4334190B2 JP4334190B2 (ja) | 2009-09-30 |
Family
ID=32018545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002233411A Expired - Fee Related JP4334190B2 (ja) | 2002-08-09 | 2002-08-09 | バッファ装置およびカラーフィルター製造ライン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4334190B2 (ja) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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