KR100605232B1 - 벨트구동방식의 리프트 - Google Patents

Abstract

개시된 본 발명은 엘시디 제조공정상에서 유리기판 또는 다수장의 유리기판을 적재하고 있는 카세트를 서로 높이가 다른 공정장치 상호간에 용이하게 반송할 수 있도록 하기 위한 벨트구동방식의 리프트에 관한 것으로서, LCD 제조공정에서 기판 또는 기판을 보관하고 있는 카세트 등을 승강시키고 이동시키는 리프트에 있어서, 걸림턱을 갖는 제 1 홈이 형성된 메인 프레임과, 상기 메인 프레임의 양측단부에 체결부재에 의해 밀착 결합되며, 내측으로 제 2 홈이 형성되어 있는 사이드 프레임과, 상기 메인 프레임 및 사이드 프레임 상단에 체결부재에 의해 밀착 결합되는 상단 프레임과, 상기 제 1 홈에 결합되어 상하 이동하는 단일 LM 가이드와, 상기 단일 LM 가이드에 결합, 고정되는 다이아몬드 형상의 카와, 상기 카에 결합되는 기판 OR CASSETTE 반송수단과, 상기 상단 프레임에 고정, 결합되는 풀리와, 일단부가 상기 풀리에 결합되는 벨트와, 상기 제 2 홈에 삽입, 결합되는 롤러를 가지며, 상기 벨트에 연결되어 상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부재를 구비하는 카운터 웨이트로 이루어진 구동장치가 대향되게 설치되어 있는 것을 특징으로 하되, 하단 프레임 중앙에 설치되며, 양측으로 구동축이 구비되어 있으며, 외부로부터 공급되는 구동전류에 의해 정방향 또는 역방향으로 회전하는 모터 및 일단은 상기 구동축에 연결되고, 타단은 풀리에 연결되어 상기 모터의 회전방향을 변경시켜 상기 모터의 회전속도에 따라 상기 풀리가 회전되도록 하는 동력전달수단을 더 포함하여 구비되는 것을 특징으로 한다.

LCD 공정, 카세트, 리프트, 단일 LM 가이드

Description

벨트구동방식의 리프트{BELT DRIVE-TYPED LIFT}

도 1은 본 발명에 따른 벨트구동방식의 리프트를 도시한 도면,

도 2는 도 1의 다른 측면도,

도 3은 도 1의 평면도,

도 4는 도 1의 리프트에 구비된 가이드부재간의 연결부재를 설명하기 위한 도면,

도 5는 본 발명에 따른 끼임방지수단을 도시한 도면이다.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ***

2 : 걸림턱 4 : 제 1 홈

6 : 메인 프레임 8 : 체결부재

10 : 제 2 홈 12 : 사이드 프레임

14 : 상단 프레임 16 : 단일 LM 가이드

20 : 카

22 : 기판 또는 카세트(CASSETTE) 반송수단

24 : 풀리

26 : 벨트 28 : 롤러

30 : 장력조절부재 32 : 카운터 웨이트

34 : 하단 프레임 36 : 모터

38 : 동력전달수단 40 : 끼임방지수단

42 : 파티클 차단 벨트 44 : 제1 인서트너트

46 : 제2 인서트너트 48 : 볼트

50 : 삽입중공 52 : 체결공

54 : 구동축 56 : 필터를 구비한 배기팬

본 발명은 벨트구동방식의 리프트에 관한 것이다.

보다 상세하게는, 엘시디 제조공정상에서 유리기판 또는 다수의 유리기판을 적재하고 있는 카세트를 서로 높이가 다른 공정장치 상호간에 용이하게 반송할 수 있도록 하기 위한 벨트구동방식의 리프트에 관한 것이다.

일반적으로 액정디스플레이(LCD)의 제조에 있어서, 유리기판과 같은 기판 상에 전극패턴 등과 같은 회로를 형성하기 위해 포토리소그래피(photolithography)가 이용된다. 포토리소그래피에서 일련의 처리과정, 즉 기판의 세정과 건조, 기판 상에 레지스트 막의 형성, 레지스트 막의 노광 등이 이루어진다. 이들 처리과정을 행 하기 위한 처리장치에서, 카세트 스테이션에 형성된 카세트로부터 반출된 기판은 아암에 의해 보지되면서, 처리 유니트에 차례로 반송된다. 이어서, 상기의 기판은 세정을 포함한 처리과정에서 처리되어진다. 그 후, 각 처리 유니트에서 처리되어진 상기 기판은 아암에 의해 보지되면서 차례로 카세트에 반송되어진다.

상기와 같이 기판이 여러 공정을 거치기 위해서는 상기에서 언급한 바와 같이 각 처리장치로 이송되어야 한다.

이때, 기판 처리 장치들은 공장 내부에 서로 다른 높이를 가진 상태에서 설치되어 있으며, 각 기판 처리 장치로 해당 기판을 이송하는 이송장치들은 각 서로 다른 높이를 이동하여 기판을 이송할 수 있도록 하는 구조를 가지고 있다.

따라서, 기판 이송 장치는 각 기판처리장치의 높이와 기판의 무게에 의해 이송영향을 받지 않는 구조를 가질 수 있도록 연구, 개발이 요구되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 연구, 개발의 요구에 부응하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 단일 LM블록에 하중을 분산시킬 수 있는 다이아몬드형상의 카에 기판반송수단 또는 카세트 반송수단을 결합시켜 서로 높이가 다른 기판처리장치에 해당 기판을 이송시킬 수 있도록 하는 벨트구동방식의 리프트를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 단일 LM가이드가 장착되는 프레임과 카운터웨이트(counter weight)와 벨트가 구비되는 프레임을 인서트 너트로 체결하여 간편하게 리프트를 제작할 수 있도록 하기 위한 벨트구동방식의 리프트를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 카운터 웨이트가 장착되는 프레임에 카운터 웨이트에 구비되어 있는 롤러를 삽입할 수 있는 홈이 형성되어 있어 별도의 레일을 구비시키지 않은 상태에서 롤러가 상하방향으로 이동할 수 있도록 하는 벨트구동방식의 리프트를 제공함에 있다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명의 일 실시예는, LCD 제조공정에서 기판 또는 다수의 기판을 보관하고 있는 카세트 등을 승강시키고 이동시키는 리프트에 있어서, 제 1 홈이 형성된 메인 프레임과, 상기 메인 프레임의 양측단부에 체결부재에 의해 밀착 결합되며, 내측으로 제 2 홈이 형성되어 있는 사이드 프레임과, 상기 메인 프레임 및 사이드 프레임 상단에 체결부재에 의해 밀착 결합되는 상단 프레임과, 상기 제 1 홈에 결합되어 상하 이동하는 단일 LM 가이드와, 상기 단일 LM 가이드에 결합, 고정되는 다이아몬드 형상의 카와, 상기 카에 결합되는 기판 또는 카세트 반송수단과, 상기 상단 프레임에 고정, 결합되는 풀리와, 일단부가 상기 풀리에 결합되는 벨트와, 상기 제 2 홈에 삽입, 결합되는 롤러를 가지며, 상기 벨트에 연결되어 상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부재를 구비하는 카운터 웨이트로 이루어진 구동장치가 대향되게 설치되어 있는 것을 특징으로 하되, 하단 프레임 중앙에 설치되며, 양측으로 구동축이 구비되어 있으며, 외부로부터 공급되는 구동전류에 의해 정방향 또는 역방향으로 회전하는 모터 및 일단은 상기 구동축에 연결되고, 타단은 풀리에 연결되어 상기 모터의 회전방향 을 변경시켜 상기 모터의 회전속도에 따라 상기 풀리가 회전되도록 하는 동력전달수단을 더 포함하여 구비되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 벨트구동방식의 리프트에 대해 상세하게 설명한다.

도 1는 본 발명에 따른 벨트구동방식의 리프트를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 다른 측면도이고, 도 3은 도 1의 평면도이고, 도 4는 도 1의 리프트에 구비된 가이드부재간의 연결부재를 설명하기 위한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 끼임방지수단을 도시한 도면이다.

본 발명이 적용된 리프트는, 첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이 걸림턱(2)을 갖는 제 1 홈(4)이 형성된 메인 프레임(6)과, 상기 메인 프레임(6)의 양측단부에 체결부재(8)에 의해 밀착 결합되며, 내측으로 제 2 홈(10)이 형성되어 있는 사이드 프레임(12)과, 상기 메인 프레임(6) 및 사이드 프레임(12) 상단에 체결부재(8)에 의해 밀착 결합되는 상단 프레임(14)과, 상기 제 1 홈(4)에 결합되어 상하 이동하는 단일 LM 가이드(16)와, 상기 단일 LM 가이드(16)에 결합, 고정되는 다이아몬드 형상의 카(20)와, 상기 카(20)에 결합되는 기판 또는 카세트 반송수단(22)과, 상기 상단 프레임(14)에 고정, 결합되는 풀리(24)와, 일단부가 상기 풀리(24)에 결합되는 벨트(26)와, 상기 제 2 홈(10)에 삽입, 결합되는 롤러(28)를 가지며, 상기 벨트(26)에 연결되어 상기 벨트(26)의 장력을 조절하는 장력조절부재(30)를 구비하는 카운터 웨이트(32)로 이루어진 구동장치가 대향되게 설치되어 있다.

그리고, 상기 리프트는 하단 프레임(34) 중앙에 설치되어 정방향 또는 역방향으로 회전하는 모터(36)와, 상기 모터(36)를 중심으로 구동축(54)이 구비되고, 상기 구동축(54) 일단에 연결되어 상기 모터(36)의 회전방향을 변경시켜 상기 벨트(26)를 역회전 또는 정회전시켜 상기 기판 또는 카세트 반송수단(22)이 상하운동을 할 수 있도록 회전하는 동력전달수단(38)와, 상기 카(20)와 기판 또는 카세트 반송수단(22) 사이에 결합되며, 상기 카(20)가 상하 이동 중에 끼이지 않도록 힌지(HINGE) 구조의 끼임방지수단(40)과, 상기 카(20)와 단일 LM 가이드(16) 사이에 구비되어, 상기 구동장치가 구동됨에 따라 발생하는 이물질을 차단하기 위한 파티클 차단 벨트(42)로 구성된다.

상기 체결부재(8)는 인서트 너트(44)(46)이고, 상기 인서트 너트(44)(46)는 복수의 볼트가 결합될 수 있도록 복수의 볼트공이 형성되어 있다.

그리고, 상기 인서트 너트(44)(46)는 각각의 프레임에 체결될 때 사용되는 2개의 인서트 너트 중 제1 인서트 너트(44)에는, 볼트(48)가 삽입될 수 있는 삽입중공(50)이 형성되어 있으며, 상기 제2 인서트 너트(46)에는, 상기 삽입중공(50)을 통과한 볼트(48)와 체결되는 체결공(52)이 형성되어 있으며, 상기 제2 인서트 너트(46)가 구비된 프레임이 상기 제1 인서트너트(44)가 구비된 프레임을 향해 밀착되어 고정, 결합된다.

상기와 같이 구성된 본 발명이 리프트의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저, 첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이 작업자의 조작에 따라 하단 프레임(34) 중앙에 설치된 모터(36)가 정회전하고, 상기 모터(36)가 정회전됨에 따라 모터(36)의 구동축(54)에 연결된 동력전달수단(38)이 모터의 회전방향을 변경시켜서 하단에 연결된 풀리(24)가 회전되도록 한다.

상기 풀리(24)가 회전하면서 풀리(24)에 결합된 벨트(26)가 상방향으로 회전하게 된다.

이에 따라 제1홈(4)에 결합된 단일 LM 가이드(16)는 하측에서 상측으로 이동하게 되고, 상기 단일 LM 가이드(16)에 결합, 고정된 카(20) 또한 상측으로 이동하게 된다.

상기 단일 LM 가이드(16)가 상측으로 이동하는 순간 제 2 홈(10)에 결합된 롤러(28)가 하방향으로 이동하면서 카운터 웨이트(32)가 하방향으로 이동하게 된다.

그리고,상기 기판 또는 카세트 반송수단(22)은 상기 카(20)에 결합되어 기판 또는다수 기판을 보관하고 있는 카세트가 올려진다. 결국은 기판 또는 카세트 반송수단 수단(22)이 상측으로 이동하게 되어, 작업자가 원하는 위치로 기판을 이송할 수 있게 된다.

이때, 상기 카(20)는 다이아몬드 형상을 갖고 있기 때문에 하중 집중현상이 좌우양측으로 분포되도록 함으로써 하중이 한곳으로 집중되는 현상을 제거할 수 있다.

그리고, 상기 카(20)에는 힌지구조의 베어링이 구비되어 있어, 기판 또는 카 세트 반송 수단(22)을 상방향(또는 하방향)으로 이동시킬 때 조립오차로 인한 카(20)가 좌측 또는 우측으로 틀어져 프레임 양측단에 끼이는 것을 방지할 수 있다.

이때, 파티클 차단 벨트(42)가 상기 단일 LM 가이드(16)와 상기 카(20) 사이에 구비되어 있어, 단일 LM 가이드(16)가 제 1 홈(4)을 따라 이동하면서 발생되는 먼지 등이 기판이 있는 내부로 유입되는 것을 차단한다.

그리고, 상기와 같이 작동하는 리프트의 하단 소정 부위에 필터가구비된 팬(56)이 구비되어 있어, 상기 파티클 차단 벨트(42)에 의해 발생되는 먼지를 필터링한 후 외부로 깨끗한 공기가 배출되도록 한다.

한편, 작업자가 기판 또는 카세트 반송수단(22)이 하방향으로 이동되도록 조작한 경우 모터(36)는 작업자에 의해 설정된 속도 또는 미리 설정된 속도로 역회전을 하게 되고, 상기 모터(36)에 의해 발생된 동력은 상기 구동축(54)에 의해 동력전달수단(38)으로 전달되어 풀리(24)가 역회전하게 되고, 벨트(26)가 역회전하여 카(20)가 하방향으로 이동하게 되고, 기판 OR CASSETTE반송수단 수단(22)이 하방향으로 이동하게 된다.

이상의 본 발명은 상기 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 포함되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명은 단일 LM블록에 하중을 분산시킬 수 있는 다이아몬드형상의 카에 기판반송수단 또는 카세트 반송수단을 결합시켜 서로 높이가 다른 기판처리장치에 해당 기판을 이송시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 단일 LM가이드가 장착되는 프레임과 카운터 웨이트(counter weight)와 벨트가 구비되는 프레임을 일체형 인서트 너트로 체결하여 간편하게 리프트를 제작할 수 있도록 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 전용 프레임을 사용함으로써 작업이 용이하고, 웨이트, 풀리, LM 가이드가 구비되는 구동부 프레임이 상당히 견고해진다는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 개발용 프레임 자체에 레일이 구비되어 있기 때문에 웨이트부에 별도의 레일이 필요치 않기 때문에 원가를 절감할 수 있도록 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 각각의 프레임을 연결시킬 때 다수의 볼트가 삽입되어 프레임과 프레임을 체결할 수 있도록 하는 일체형 인서트 너트를 이용함과 아울러 2개의 일체형 인서트 너트의 면압에 의해 각 프레임이 밀착되도록 구비됨으로써 더욱 견고하게 또 간편하게 프레임을 체결하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 파티클 차단 벨트를 구비시켜 웨이트 GUIDE LM 가이드가 구비되어 있는 구동부에서 발생하는 미세 먼지 등과 같은 이물질이 제품측으로 흘러들어가는 것을 차단하는 효과가 있다.

Claims (7)

1. LCD 제조공정에서 다수의 기판 또는 기판을 보관하고 있는 카세트 등을 승강시키고 이동시키는 리프트에 있어서,

   걸림턱을 갖는 제 1 홈이 형성된 갖는 메인 프레임과,

   상기 메인 프레임의 양측단부에 체결부재에 의해 밀착 결합되며, 내측으로 제 2 홈이 형성되어 있는 사이드 프레임과,

   상기 메인 프레임 및 사이드 프레임 상단에 체결부재에 의해 밀착 결합되는 상단 프레임과,

   상기 제 1 홈에 결합되어 홈을 따라 상하 이동하는 단일 LM 가이드와,

   상기 단일 LM 가이드에 결합, 고정되는 다이아몬드 형상의 카와,

   상기 카에 결합되는 기판 또는 카세트 반송수단과,

   상기 상단 프레임에 고정, 결합되는 풀리와,

   일단부가 상기 풀리에 결합되는 벨트와,

   상기 제 2 홈에 삽입, 결합되는 롤러를 가지며, 상기 벨트에 연결되어 상기 벨트의 장력을 조절하는 장력조절부재를 구비하는 카운터 웨이트로 이루어진 구동장치가 대향되게 설치되어 있는 것을 특징으로 하되,

   하단 프레임 중앙에 설치되며, 양측으로 구동축이 구비되어 있으며, 외부로부터 공급되는 구동전류에 의해 정방향 또는 역방향으로 회전하는 모터와,

   일단은 상기 구동축에 연결되고, 타단은 풀리에 연결되어 상기 모터의 회전 방향을 변경시켜 상기 모터의 회전속도에 따라 상기 풀리가 회전되도록 하는 동력전달수단,

   을 더 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 벨트구동방식의 리프트.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 카와 기판 또는 카세트 반송수단 사이에 결합되며, 상기 카가 상하 이동 중에 조립오차에 의한 끼임을 방지하기 위한 끼임방지수단이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 벨트구동방식의 리프트.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 카와 단일 LM 가이드 사이에 구비되어, 상기 구동장치가 구동됨에 따라 발생하는 이물질을 차단하기 위한 파티클 차단 벨트가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 벨트구동방식의 리프트.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 체결부재는,

   일체형 인서트 너트인 것을 특징으로 하는 벨트구동방식의 리프트.
5. 제 4항에 있어서, 상기 일체형 인서트 너트는,

   복수의 볼트가 결합될 수 있도록 복수의 볼트공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 벨트구동방식의 리프트.
6. 제 5항에 있어서,

   각각의 프레임에 체결될 때 사용되는 2개의 인서트 너트 중 제1 인서트 너트에는, 볼트가 삽입될 수 있는 삽입중공이 형성되어 있으며,

   상기 제2 인서트 너트에는, 상기 삽입중공을 통과한 볼트와 체결되는 체결공이 형성되어 있어,

   상기 제2 인서트 너트가 구비된 프레임이 상기 제1 인서트 너트가 구비된 프레임을 향해 밀착되어 고정, 결합되는 것을 특징으로 하는 벨트구동방식의 리스트.
7. 제 2항에 있어서, 상기 끼임 방지수단은,

   회전 가능한 힌지형태(TYPE) 것을 특징으로 하는 벨트구동방식의 리스트.

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