KR101937725B1 - 버퍼카세트 및 이를 이용한 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 또는 액정 디스플레이 등에 사용되는 기판을 다단 적재하는 버퍼카세트와 이를 이용한 기판 처리 장치에 관한 것이다. 버퍼카세트는, 기판을 이송하는 컨베이어벨트가 통과하는 본체부; 본체부를 승하강시키는 구동부; 본체부가 승하강되면서 컨베이어벨트 상의 기판을 다단 적재하도록 상기 본체부 내부에 구비되어 기판 하부를 지지하는 다단 슬롯부; 를 포함한다. 이에 의해, 컨베이어벨트의 속도를 유지한 상태에서 버퍼카세트를 승하강시켜 컨베이어벨트 상의 기판을 버퍼카세트에 용이하게 인입 및 인출시킬 수 있고, 버퍼카세트는 사방으로 기판의 인입 및 인출을 가능하게 할 수 있다.

Description

버퍼카세트 및 이를 이용한 기판 처리 장치{BUFFER CASSETTE AND SUBSTRATE TRETMENT APPARATUS USING IT}
본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판을 다단 적재하는 버퍼카세트와 이를 이용한 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판을 제조하기 위해서는 다양한 공정을 거치게 되는데, 기판을 제조하기 위한 공정에는 증착, 식각, 세정 공정 등이 있다.
이러한 공정들을 수행하기 위해서는, 각 공정을 처리하기 위한 장치로 기판을 이송하는 작업이 반복적으로 요구된다. 이렇게 기판을 이송하거나 보관하는 과정에서 먼지, 수분, 각종 유기물과 같은 오염물질에 기판이 오염되므로 기판을 오염물질로부터 보호하도록 기판을 별도의 기판 용기 내에 수납하여 이송하였다.
종래의 한국 공개특허공보 제10-2015-0024450호에 의하면, 복수의 기판이 적재될 카세트를 상하로 이동시켜 외부로부터 이송되는 기판을 반입하고, 카세트 내부에 흡착 구멍을 구비하여 반입된 기판을 흡착하며, 카세트를 소정 각도로 기울여 적재된 기판 중 하나를 반출하는 카세트에 대하여 기재되어 있다.
이러한 카세트는 일정 개수의 기판을 모두 수납한 후, 각 공정 처리 장치로 이송된다. 따라서, 하나의 공정 처리 장치로 이송된 카세트는 카세트에 적재된 모든 기판이 처리될 때까지 대기해야 하므로 대기 시간이 길어 생산 효율이 좋지 않았다.
또한, 기판을 적재하고 있는 동안 기판의 위치를 유지하기 위해, 흡착 구멍과 연결된 공기펌프는 계속하여 공기를 흡입해야만 하고, 기판의 반출을 위해, 카세트를 소정 각도로 기울여야 하는 번거로움이 있었다.
또한, 각 공정 처리 장치는 카세트로부터 기판을 인출하고, 처리된 기판을 다시 카세트로 인입하기 위해, 카세트가 대기하는 별도의 공간을 구비하여야만 했다. 이로 인하여, 각 공정 처리 장치는 설치 공간을 많이 차지하여 생산 효율이 낮았다. 특히 최근 기판의 대면적 추세에 따라 이러한 문제가 가중되고 있는 실정이다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 공정 처리 장치에서 처리될 기판의 대기 시간을 단축시켜 생산 속도를 높인 버퍼카세트 및 이를 이용한 기판 처리 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 카세트 내에 기판을 유지하고 인출하는 것이 간편하고 용이한 버퍼 카세트 및 이를 이용한 기판 처리 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치의 설치 공간을 줄여 공간 효율을 높인 버퍼카세트를 이용한 기판 처리 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 컨베이어벨트가 기판을 이송하는 속도와 공정 처리 장치가 기판을 처리하는 속도가 상이함에도 불구하고, 컨베이어벨트의 속도를 유지시킬 수 있는 버퍼카세트를 이용한 기판 처리 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 버퍼카세트는, 기판을 이송하는 컨베이어벨트가 통과하는 본체부; 상기 본체부를 승하강시키는 구동부; 상기 본체부가 승하강되면서 상기 컨베이어벨트 상의 기판을 다단 적재하도록 상기 본체부 내부에 구비되어 기판 하부를 지지하는 다단 슬롯부; 를 포함한다.
바람직하게, 상기 컨베이어벨트는, 기판 진행 경로에 따라 상류 컨베이어벨트, 중간 컨베이어벨트 및 하류 컨베이어벨트를 포함하고, 상기 중간 컨베이어벨트는, 적재되는 기판 하부에 배치된다.
바람직하게, 상기 중간 컨베이어벨트는, 진행 속도를 조절하는 속도 조절부; 를 구비한다.
바람직하게, 상기 중간 컨베이어벨트와 상기 하류 컨베이어벨트 사이에 기판의 진행을 정지시키는 스토퍼; 를 구비한다.
바람직하게, 상기 본체부는, 상기 컨베이어벨트 양측에 대향하는 2쌍의 수직 프레임을 포함하고, 상기 다단슬롯부는, 대향하는 각 쌍의 수직 프레임을 연결하는 지지바; 를 포함한다.
바람직하게, 상기 컨베이어벨트는, 기판 진행 경로에 따라 상류 컨베이어벨트, 적재되는 기판 하부에 배치되는 중간 컨베이어벨트 및 하류 컨베이어벨트가 이격하여 배치되고, 상기 지지바는, 각 컨베이어벨트 사이의 수직 공간에 배치된다.
바람직하게, 상기 본체부는, 상기 컨베이어벨트 양측에 적어도 3 이상의 수직 프레임을 포함하고, 상기 다단슬롯부는, 복수의 기판을 수직 적층하도록 각각의 수직 프레임 내측으로 돌출되어 기판의 외곽 하부를 지지하는 복수의 슬롯을 포함한다.
상술한 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명의 버퍼카세트를 이용한 기판 처리 장치는, 기판을 이송하는 컨베이어벨트; 상기 컨베이어벨트의 기판 진행 경로 상에 설치되는 제1항의 버퍼카세트; 상기 컨베이어벨트와 상기 버퍼카세트 중 어느 하나와 기판을 교환하는 대기로봇; 및 상기 대기로봇과 기판을 교환하는 로드락 챔버, 상기 로드락 챔버와 결합되고 내부에 진공로봇이 설치된 트랜스퍼 챔버 및 상기 트랜스퍼 챔버와 결합되는 1 이상의 프로세스 챔버를 포함하여 이루어진 클러스터 장치; 를 포함한다.
본 발명의 버퍼카세트 및 이를 이용한 기판 처리 장치는, 컨베이어벨트의 속도를 유지한 상태에서 버퍼카세트를 승하강시켜 컨베이어벨트 상의 기판을 버퍼카세트에 용이하게 인입 및 인출시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 버퍼카세트가 사방으로 기판의 인입 및 인출을 가능하게 할 수 있다.
또한, 본 발명은 스토퍼를 구비함으로써, 연속 이동하는 컨베이어벨트 상의 기판을 버퍼카세트의 동일한 위치에 적재시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 컨베이어벨트를 이용하여 기판을 낱장으로 이송함으로써, 기판의 대기 시간을 단축시킬 수 있고, 이로써, 기판의 처리 속도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 버퍼카세트를 구비함으로써, 클러스터 장치에서 처리될 여분의 미처리 기판이나, 처리된 기판을 필요시 적재하여 전공정이나 후공정의 속도를 적절히 조절하므로 전체 공정을 안정적으로 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 사시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 평면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 다단슬롯부의 다른 형태를 나타낸 평면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 의한 단면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 평면도.
도 6은 본 발명의 기판 처리 장치를 나타낸 개략도.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 버퍼카세트는 제1, 제2 실시예로 구분할 수 있으며, 각 실시예의 구성요소는 기본적으로 동일하나, 일부 구성에 있어서 차이가 있다. 또한, 본 발명의 여러 실시예 중 동일한 기능과 작용을 하는 구성요소에 대해서는 도면상의 도면부호를 동일하게 사용하기로 한다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 버퍼카세트는, 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본체부(21), 구동부(22), 다단슬롯부(23), 속도 조절부(14) 및 스토퍼(15)로 이루어진다.
버퍼카세트(20)는 기판이 이송되는 기판 진행 경로 상에 구비되어 승하강 동작에 의해 기판을 적재한다. 기판 진행 경로는 컨베이어벨트(10)로 이루어질 수 있으며, 컨베이어벨트(10)는 기판 진행 경로에 따라 상류 컨베이어벨트(11), 적재되는 기판 하부에 배치되는 중간 컨베이어벨트(12) 및 하류 컨베이어벨트(13)가 이격하여 배치된다.
본체부(21)는 기판을 이송하는 컨베이어벨트(10)가 통과하며, 컨베이어벨트(10) 중 중간 컨베이어벨트(12)가 본체부(21) 내부에 배치된다. 본체부(21)는 기판 진행 경로 양측에 대향하는 2쌍의 수직 프레임(25)을 포함한다. 이때, 각 쌍의 수직 프레임(25) 사이의 간격은 이송되는 기판의 직경보다 크고, 기판 진행 경로 일측의 두 수직 프레임(25) 사이의 간격 또한 기판의 직경 보다 큰 것이 바람직하다. 이에 의해, 본체부(21)의 사방으로 기판을 인입, 인출시킬 수 있다.
구동부(22)는 기판이 버퍼카세트(20)에 적재되도록 다단 슬롯부(23)가 결합된 본체부(11)를 승하강시키거나, 다단 슬롯부(23)를 승하강시킨다.
다단 슬롯부(23)는 본체부(21) 내부에 구비되어 기판 하부를 지지하며, 본체부(21)가 승하강되면서 컨베이어벨트(10) 상의 기판을 다단으로 적재할 수 있으며, 다단 슬롯부(23)가 승하강되면서 컨베이어벨트(10) 상의 기판을 다단으로 적재할 수 있다. 이때, 다단슬롯부(23)는 지지바(26)로 구성된다.
지지바(26)는 수직 프레임(25)에 상하로 이격하여 복수개가 구비되며, 본체부(21) 또는 다단 슬롯부(23)의 승하강 시 컨베이어벨트(10)와 충돌하지 않으면서, 기판을 충분히 지지할 수 있도록 구비된다. 도 2와 같이, 지지바(26)는 각 쌍의 수직 프레임(25)을 연결한 제1, 제2 지지바(26a, 26b)로 이루어지며, 상류 컨베이어벨트(11)의 하류, 중간 컨베이어벨트(12) 및 하류 컨베이어벨트(13)의 상류에 해당하는 위치의 수직 공간에 배치된다.
구체적으로, 제1 지지바(26a)는 중앙부가 상류 컨베이어벨트(11)의 하류와 중간 컨베이어벨트(12) 사이의 수직공간을 지나고, 양측부가 상류 컨베이어벨트(11) 양측의 수직 프레임(25)에 각각 연결된다. 제2 지지바(26b)는 중앙부가 중간 컨베이어벨트(12)와 하류 컨베이어벨트(13)의 상류 사이의 수직공간을 지나고, 양측부가 하류 컨베이어벨트(13) 양측의 수직 프레임(25)에 각각 연결된다.
한편, 도 3과 같이 지지바(26)는 컨베이어벨트(10) 일측의 수직 프레임(25)을 연결하며, 지지바(26)의 중앙부는 중간 컨베이어벨트(10) 양측에 배치되어 기판을 지지할 수 있다.
이로써, 버퍼카세트(20)는 컨베이어벨트(10)의 기판 진행 방향 또는 기판 진행 경로와 수직한 방향으로 기판이 통과될 수 있다. 즉 버퍼카세트(20)는 사방으로 기판이 인입, 인출될 수 있다.
또한, 버퍼카세트(20)에 클러스터 장치에서 처리될 여분의 미처리 기판이나, 처리된 기판을 필요 시 적재하여 전공정이나 후공정의 속도를 적절히 조절하므로 전체 공정을 안정적으로 유지할 수 있다.
속도 조절부(14)는 중간 컨베이어벨트(12)의 진행 속도를 조절한다. 이로써, 중간 컨베이어벨트(12)를 지나는 기판이 버퍼카세트(20)에 적재되는 경우, 중간 컨베이어베르(12)의 속도를 낮추거나 정지시켜 기판을 안전하게 적재시킬 수 있고, 기판이 버퍼카세트(20)에 적재되지 않고 중간 컨베이어벨트(12)를 통과하는 경우, 중간 컨베이어벨트(12)의 속도를 상, 하류 컨베이어벨트(11, 13)의 속도와 동일하게 하여 안정적으로 기판을 이송시킬 수 있다.
스토퍼(15)는 중간 컨베이어벨트(12)와 하류 컨베이어벨트(13) 사이에 구비되어 스토퍼 구동부(16)에 의해 승하강되며, 기판의 진행을 정지시킨다.
중간 컨베이어벨트(12) 상의 기판이 하류 컨베이어벨트(13)로 이송되기 전 스토퍼(15)를 승강시키면, 기판의 진행 경로에 스토퍼(15)가 위치하게 되어 기판의 진행이 정지된다. 이로써, 중간 컨베이어벨트(12)의 동일한 위치에 정지된 기판을 버퍼카세트(20)의 정확한 위치에 적재시키게 되고, 이 과정을 반복함으로써, 버퍼카세트(20)에 기판을 다단 적층시킬 수 있다. 이후, 스토퍼(15)를 하강시키면 기판은 중간 컨베이어벨트(12)를 통과하여 하류 컨베이어벨트(13)로 이송된다.
스토퍼 구동부(16)는 컨베이어벨트(10), 버퍼카세트(20), 대기로봇(30) 및 클러스터 장치(40)에서의 기판 이송 정보, 기판 적재 정보, 기판 처리 공정 진행 정보 등을 포함한 신호를 처리하는 제어부(미도시)로부터 동작 신호를 수신하여 스토퍼(15)를 승하강시킨다.
이처럼 스토퍼를 구비하면, 연속으로 주행하는 컨베이어벨트 상의 기판이 버퍼카세트에 적재되는 위치를 동일하게 할 수 있다.
상술한 버퍼카세트에 기판이 적재되는 과정을 자세히 살펴보면, 기판은 버퍼카세트(20)를 향해 상류 컨베이어벨트(11) 상에서 이송되는 도중 본체부(21) 내부의 중간 컨베이어벨트(12)로 이송되면, 스토퍼(15)에 의해 진행이 정지된다. 기판이 정지됨과 동시에 본체부(21)가 승강하면, 지지바(26)가 중간 컨베이어벨트(12) 상의 기판 하부를 지지하며 버퍼카세트(20)에 기판이 적재된다. 동일한 방법으로 복수의 지지바(26)에 차례로 기판을 적재할 수 있다.
버퍼카세트(20)에 더이상 기판을 적재하지 않는 경우, 상류 컨베이어벨트(11) 상에서 이송되는 기판은 중간 컨베이어벨트(12)와 하류 컨베이어벨트(13) 통과하여 다른 버퍼카세트 또는 다른 장치로 이송될 수 있다.
이로써, 컨베이어벨트(10)의 속도를 유지하면서 컨베이어벨트(10) 상의 기판을 버퍼카세트(20)에 용이하게 적재할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 대비하여 다단슬롯부의 구조에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 5를 참고하여 설명한다.
본체부(21)는 컨베이어벨트(10) 양측에 적어도 3 이상의 수직 프레임(25)을 포함하며, 도 5의 수직 프레임(25)은 기판 진행 경로 양측에 대향하는 2쌍이 구비된다.
다단슬롯부(23)는 복수의 기판을 수직으로 적층하도록 각각의 수직 프레임(25) 내측으로 돌출되어 기판의 외곽 하부를 지지한다. 이때, 다단슬롯부(23)는 수직 프레임(25)의 상하로 이격 구비된 복수의 슬롯(27)으로 구성된다.
복수의 슬롯(27)은 수직 프레임(25)에 상하로 복수개가 이격하여 구비되며, 기판 진행 경로에 대한 다단 슬롯부(23)의 상대 승하강 시 컨베이어벨트(10)와 충돌하지 않으면서 기판을 충분히 지지할 수 있도록 구비된다. 도 5와 같이, 복수의 슬롯(27)은 각각의 수직 프레임(25)으로부터 내측으로 돌출되며, 그 단부가 기판의 하부를 지지한다. 따라서 하나의 기판을 지지하는 복수의 슬롯(27)은 적어도 3개 이상임이 바람직하다.
이로써, 버퍼카세트(20)는 컨베이어벨트(10)의 기판 진행 경로에 따라 기판이 통과되고, 기판 진행 경로와 수직한 방향으로도 기판이 통과될 수 있다. 즉 버퍼카세트(20)는 사방으로 기판이 인입, 인출될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 해당하는 버퍼카세트를 이용한 기판 처리 장치는, 상술한 실시예의 버퍼카세트를 이용할 수 있으며, 도 6에 도시한 바와 같이, 컨베이어벨트(10), 버퍼카세트(20), 대기로봇(30) 및 클러스터 장치(40)로 이루어진다. 여기서, 클러스터 장치(40)는 트랜스퍼 챔버(42)를 중심으로 결합된 복수의 로드락 챔버(41)와 프로세스 챔버(43)를 포함하는 장치를 지칭한다. 그리고 대기로봇(130)은 대기압 상태에서 동작하는 로봇으로서, 트랜스퍼 챔버(42) 내부의 진공 상태에서 작동하는 진공로봇(42a)과 구별된다.
컨베이어벨트(10)는 버퍼카세트(20)로 기판을 이송한다. 컨베이어벨트(10)는 기판의 진행 경로에 따라 상류 컨베이어벨트(11), 중간 컨베이어벨트(12) 및 하류 컨베이어벨트(13)를 포함한다.
상류 컨베이어벨트(11)는 버퍼카세트(20)로 미처리 기판을 이송한다. 중간 컨베이어벨트(12)는 버퍼카세트(20) 내부를 통과하도록 배치되어 상류 컨베이어벨트(11)의 기판을 버퍼카세트(20)에 적재하거나, 하류 컨베이어벨트(13)로 이송시킨다. 하류 컨베이어벨트(13)는 중간 컨베이어벨트(12)를 통과한 기판을 이송한다.
버퍼카세트(20)는 컨베이어벨트(10)의 기판 진행 경로 상에 구비되어 승하강 동작에 의해 기판을 적재한다. 이러한 버퍼카세트(20)는 상술한 실시예의 버퍼카세트를 이용할 수 있다.
버퍼카세트(20)는 클러스터 장치(40) 전방에 배치될 수 있다. 이로써, 클러스터 장치(40)에서 처리될 여분의 미처리 기판을 보관하여 컨베이어벨트(10)의 속도를 유지할 수 있다.
또한, 도 6과 같이 버퍼카세트(20)의 양측에 클러스터 장치(40)를 구비하면, 버퍼카세트(20)는 컨베이어벨트(10)의 기판 진행 경로를 따라 기판이 출입할 수 있고, 버퍼카세트(20) 양측의 클러스터 장치(40)로 기판이 출입할 수 있다. 따라서, 버퍼카세트(20)는 사방으로 기판이 출입할 수 있다.
대기로봇(30)은 컨베이어벨트(10)와 버퍼카세트(20) 중 어느 하나와 기판을 교환한다. 대기로봇(30)은 컨베이어벨트(10) 또는 버퍼카세트(20)로부터 공급된 미처리 기판을 클러스터 장치(40)로 이송시키거나, 클러스터 장치(40)로부터 처리된 기판을 다시 컨베이어벨트(10) 또는 버퍼카세트(20)로 이송시킨다.
대기로봇(30)은 버퍼카세트(20)에 기판이 적재된 경우, 적재된 기판을 클러스터 장치(40)로 이송시킨다. 그러나, 버퍼카세트(20)에 적재된 미처리 기판이 없거나 적은 경우, 컨베이어벨트(10) 상의 미처리 기판을 직접 클러스터 장치(40)로 이송시킬 수도 있다.
이때, 대기로봇(30)은 버퍼카세트(20)와 대향하여 배치되어 버퍼카세트(20)와 대기로봇(30)의 기판 교환을 용이하게 할 수 있다.
클러스터 장치(40)는 로드락 챔버(41), 트랜스퍼 챔버(42) 및 프로세스 챔버(43)로 구성된다.
로드락 챔버(41)는 대기로봇(30)과 기판을 교환하여 미처리 기판을 클러스터 장치(40)로 인입시키거나, 클러스터 장치(40) 내에서 처리된 처리 기판을 인출시킨다. 로드락 챔버(41)는 미처리 기판이 인입되는 인입 로드락 챔버와 처리 기판이 인출되는 인출 로드락 챔버로 구성되며, 인입/인출 로드락 챔버에 형성되어 대기로봇(30)과 기판을 교환하도록 기판이 출입하는 각각의 게이트는 대향하여 배치된다.
트랜스퍼 챔버(42)는 로드락 챔버(41)와 결합되고, 내부에 진공로봇(42a)이 설치된다. 트랜스퍼 챔버(42)는 인입 로드락 챔버로 인입된 미처리 기판을 진공로봇(42a)에 의해 프로세스 챔버(43)로 이송하고, 프로세스 챔버(43)로부터 처리된 처리 기판을 다시 진공로봇(42a)에 의해 인출 로드락 챔버로 이송한다.
프로세스 챔버(43)는 트랜스퍼 챔버(42)와 결합되는 1 이상의 챔버로 증착, 식, 세정 등 다양한 공정 처리가 진행된다.
일반적으로, 트랜스퍼 챔버(42)와 프로세스 챔버(43)의 내부는 고진공 상태로 형성되고, 클러스터 장치(40) 외부는 대기 상태이므로 로드락 챔버(41)는 대기로봇(30)과 기판 교환 시에는 대기 상태로 형성되고, 트랜스퍼 챔버(42)와 기판 교환 시에는 진공 상태로 형성된다.
상술한 본 발명의 기판 처리 장치는, 컨베이어벨트(10)에 의해 클러스터 장치(40)에 기판이 낱장으로 이송되어 기판의 대기 시간을 단축 시킬 수 있고, 이로써 기판의 처리 속도를 향상시킬 수 있다.
이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.
10 : 컨베이어벨트
11 : 상류 컨베이어벨트
12 : 중간 컨베이어벨트
13 : 하류 컨베이어벨트
14 : 속도 조절부
15 : 스토퍼
20 : 버퍼카세트
21 : 본체부
22 : 구동부
23 : 다단슬롯부
24 : 수직프레임
25 : 지지바
30 : 대기로봇
40 : 클러스터 장치
41 : 로드락 챔버
42 : 트랜스퍼 챔버
43 : 프로세스 챔버

Claims (10)

  1. 기판이 이송되는 기판 진행 경로가 통과하는 본체부;
    상기 본체부 내부에 구비되어 기판 하부를 지지하는 다단 슬롯부; 및
    상기 기판 진행 경로 상의 기판을 상기 다단 슬롯부에 다단 적재하도록, 상기 다단 슬롯부와 상기 기판 진행 경로를 상대 승하강시키는 구동부;를 포함하고,
    상기 본체부는, 상기 기판 진행 경로 양측에 대향하는 2쌍의 수직 프레임을 포함하고,
    상기 다단 슬롯부는, 대향하는 각 쌍의 수직 프레임을 연결하는 지지바; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 다단 슬롯부가 결합된 본체부를 승하강시키는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 다단 슬롯부를 승하강시키는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판 진행 경로는, 컨베이어벨트로 이루어지고,
    상기 컨베이어벨트는, 기판 진행 경로에 따라 상류 컨베이어벨트, 중간 컨베이어벨트 및 하류 컨베이어벨트를 포함하고,
    상기 중간 컨베이어벨트는, 적재되는 기판 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 중간 컨베이어벨트는, 진행 속도를 조절하는 속도 조절부; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 중간 컨베이어벨트와 상기 하류 컨베이어벨트 사이에 기판의 진행을 정지시키는 스토퍼; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판 진행 경로는, 컨베이어벨트로 이루어지고,
    상기 컨베이어벨트는, 기판 진행 경로에 따라 상류 컨베이어벨트, 적재되는 기판 하부에 배치되는 중간 컨베이어벨트 및 하류 컨베이어벨트가 이격하여 배치되고,
    상기 지지바는, 각 컨베이어벨트 사이의 수직 공간에 배치되는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 본체부는, 상기 기판 진행 경로 양측에 적어도 3 이상의 수직 프레임을 포함하고,
    상기 다단 슬롯부는, 복수의 기판을 수직 적층하도록 각각의 수직 프레임 내측으로 돌출되어 기판의 외곽 하부를 지지하는 복수의 슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼카세트.
  10. 기판이 이송되는 기판 진행 경로 상에 설치되는 제1항의 버퍼카세트;
    상기 기판 진행 경로와 상기 버퍼카세트 중 어느 하나와 기판을 교환하는 대기로봇; 및
    상기 대기로봇과 기판을 교환하는 로드락 챔버, 상기 로드락 챔버와 결합되고 내부에 진공로봇이 설치된 트랜스퍼 챔버 및 상기 트랜스퍼 챔버와 결합되는 1 이상의 프로세스 챔버를 포함하여 이루어진 클러스터 장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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