KR102141200B1 - 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치 - Google Patents

이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102141200B1
KR102141200B1 KR1020180168501A KR20180168501A KR102141200B1 KR 102141200 B1 KR102141200 B1 KR 102141200B1 KR 1020180168501 A KR1020180168501 A KR 1020180168501A KR 20180168501 A KR20180168501 A KR 20180168501A KR 102141200 B1 KR102141200 B1 KR 102141200B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
container
robot arm
horizontal direction
load port
robot
Prior art date
Application number
KR1020180168501A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200079031A (ko
Inventor
이상민
안준상
전승근
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020180168501A priority Critical patent/KR102141200B1/ko
Publication of KR20200079031A publication Critical patent/KR20200079031A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102141200B1 publication Critical patent/KR102141200B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/901—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems with rectilinear movements only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/902—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 제1 수평 방향으로 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 로봇이 장착되는 프레임 조립체와, 상기 프레임 조립체로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 용기를 전달받는 제2 이송 로봇을 포함한다. 상기 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기를 지지하기 위한 제1 지지부와 제2 지지부가 구비되는 로봇 암과, 상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부와, 상기 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함한다.

Description

이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치{Transfer robot and transfer apparatus including the same}
본 발명의 실시예들은 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판들의 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있으며, 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.
한편, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.
상기 타워 리프트는 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과, 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들이 설치되는 메인 프레임(Main frame)과, 상기 캐리지 모듈의 후방에 배치되는 웨이트 모듈(Weight module)과, 타이밍 벨트들(timing belt)을 이용하여 상기 캐리지 모듈과 상기 웨이트 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈 등을 포함할 수 있다. 상기 캐리지 모듈은 상기 자재들의 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 캐리지 로봇을 포함할 수 있다.
한편, 상기 캐리지 로봇에 상기 용기를 전달하거나 상기 캐리지 로봇으로부터 상기 용기를 전달받기 위한 이송 장치가 상기 타워 리프트에 인접하도록 배치될 수 있다. 상기 이송 장치는 상기 용기를 이송하기 위한 이송 로봇을 포함할 수 있다. 그러나, 상기 이송 장치가 배치되는 제1 공간과 상기 타워 리프트가 배치되는 제2 공간 사이가 벽에 의해 구분되는 경우 상기 벽에는 상기 용기의 이송을 위한 개구가 구비될 수 있다. 그러나, 화재 발생시 상기 개구를 닫기 위한 방화 셔터가 상기 벽에 장착될 수 있으므로 상기 개구 내에 상기 이송 장치의 이송 레일 등을 설치하기 어려운 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2010-0073670호 (공개일자 2010년 07월 01일) 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0047185호 (공개일자 2018년 05월 10일)
본 발명의 실시예들은 서로 이격된 공간들 사이에서 자재 이송이 가능한 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇은, 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 자재 수납을 위한 용기를 지지하기 위한 제1 지지부와 제2 지지부가 구비되는 로봇 암과, 상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부와, 상기 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 지지부들은 상기 용기의 정렬을 위한 제1 정렬 핀들과 제2 정렬 핀들을 각각 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 지지부는 상기 제2 지지부보다 좁은 폭을 갖고 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 연장부를 포함할 수 있으며, 상기 제1 정렬 핀들 중 하나가 상기 연장부의 단부 상에 배치될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치는, 제1 수평 방향으로 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 로봇이 장착되는 프레임 조립체와, 상기 프레임 조립체로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 용기를 전달받는 제2 이송 로봇을 포함할 수 있다. 이때, 상기 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기를 지지하기 위한 제1 지지부와 제2 지지부가 구비되는 로봇 암과, 상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부와, 상기 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들과, 상기 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제1 로드 포트와, 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 프레임들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 로드 포트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 로드 포트는, 상기 제1 지지부에 대응하는 리세스를 갖는 서포트 플레이트와, 상기 리세스의 주위에 배치되며 상기 용기의 정렬을 위한 제1 포트 정렬 핀들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 로드 포트는, 상기 프레임들 상에 배치되며 상기 용기의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 서포트 부재들과, 상기 서포트 부재들 중 일부 상에 배치되며 상기 용기의 정렬을 위한 제2 포트 정렬 핀들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 지지부를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 로드 포트 상으로 이송하고, 상기 제2 지지부를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 이송 로봇에 전달하기 위해 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 지지부가 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기의 하부에 위치되도록 상기 로봇 암을 이동시키는 단계와, 상기 제1 지지부를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 픽업하기 위해 상기 로봇 암을 상승시키는 단계와, 상기 제1 지지부에 의해 픽업된 상기 용기가 상기 제2 로드 포트의 상부에 위치되도록 상기 로봇 암을 이동시키는 단계와, 상기 용기를 상기 제2 로드 포트 상에 로드하기 위하여 상기 로봇 암을 하강시키는 단계와, 상기 제2 지지부가 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기의 하부에 위치되도록 상기 로봇 암을 이동시키는 단계와, 상기 제2 지지부를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 픽업하기 위해 상기 로봇 암을 상승시키는 단계와, 상기 용기를 상기 제2 이송 로봇에 전달하기 위해 상기 로봇 암을 상기 제2 이송 로봇을 향해 이동시키는 단계가 수행되도록 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 프레임 조립체로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 제2 이송 로봇이 장착되는 제2 프레임 조립체를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프레임 조립체와 상기 제2 프레임 조립체 사이에는 상기 용기의 이송을 위한 개구가 구비된 벽이 배치될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기를 지지하기 위한 제3 지지부와 제4 지지부가 구비되는 제2 로봇 암과, 상기 제2 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부와, 상기 제2 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 로봇 암과 평행하게 연장하는 제2 프레임들과, 상기 제2 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 로봇 암에 의해 이송된 상기 용기를 지지하기 위한 제3 로드 포트와, 상기 제3 로드 포트로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 제2 프레임들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제4 로드 포트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 용기를 지지하기 제2 로봇 암과, 상기 제2 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부와, 상기 제2 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제2 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 제1 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들과, 상기 제2 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제3 로드 포트와, 상기 제2 프레임들의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제4 로드 포트를 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇은 상기 제3 및 제4 로드 포트들 사이에서 상기 용기를 이송할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 이송 장치는, 제1 수평 방향으로 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 로봇이 장착되는 프레임 조립체와, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 연장하며 상기 프레임 조립체와 인접하게 배치되는 제2 프레임 조립체와, 상기 제2 프레임 조립체에 장착되며 상기 이송 로봇에 의해 이송된 상기 용기를 상기 제2 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 이송 로봇을 포함할 수 있으며, 상기 이송 로봇은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기를 지지하기 위한 제1 지지부와 제2 지지부가 구비되는 로봇 암과, 상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부와, 상기 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프레임 조립체는, 상기 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들과, 상기 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제1 로드 포트와, 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 프레임들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 로드 포트를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 지지부를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 로드 포트 상으로 이송하고, 상기 제2 지지부를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 프레임 조립체 상으로 이송하기 위해 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 로봇은, 상기 용기를 지지하기 제2 로봇 암과, 상기 제2 로봇 암을 상기 제2 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부과, 상기 제2 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부와, 상기 제2 로봇 암 상에 지지된 상기 용기의 방향을 조절하기 위해 상기 제2 로봇 암을 회전시키는 회전 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 프레임 조립체는, 상기 제1 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들과, 상기 제1 프레임 조립체와 인접하는 상기 제2 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 로봇 암에 의해 이송된 상기 용기를 지지하기 위한 제3 로드 포트와, 상기 제2 프레임들의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제4 로드 포트를 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇은 상기 제3 및 제4 로드 포트들 사이에서 상기 용기를 이송할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇은 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 로봇 암을 가질 수 있으며, 상기 로봇 암은 양측 단부들에 각각 상기 용기를 지지하기 위한 제1 지지부와 제2 지지부를 구비할 수 있다. 특히, 상기 로봇 암은 상기 제2 지지부 상에 상기 용기가 지지된 상태에서 상기 제1 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라 상기 벽의 개구를 통해 상기 용기를 이송할 수 있다. 즉 상기 벽에 의해 구분된 공간들 사이에서 상기 용기의 이송이 용이하게 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 개구를 개폐하기 위한 방화 셔터와 상기 이송 로봇 사이의 간섭이 충분히 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 7은 도 1 및 도 2에 도시된 제2 이송 로봇의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 8은 도 7에 도시된 제2 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 제2 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 11은 도 9에 도시된 이송 장치의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 12 및 도 13은 도 10에 도시된 제2 이송 로봇의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇과 이를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(10)는 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들을 이송하기 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(10)는, 제1 수평 방향, 예를 들면, X축 방향으로 자재 수납을 위한 용기(20)를 이송하기 위한 이송 로봇(100)과, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 로봇(100)이 장착되는 프레임 조립체(130)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 이송 로봇(100)은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제1 지지부(112)와 제2 지지부(118)가 구비되는 로봇 암(110)과, 상기 로봇 암(110)을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(122)와, 상기 로봇 암(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(124)를 포함할 수 있다.
상기 로봇 암(110)은 상기 제1 수평 방향으로 연장할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 지지부들(112, 118)은 상기 로봇 암(110)의 양측 단부들 상에 배치될 수 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 지지부들(112, 118)은 상기 로봇 암(110) 상에서 상기 용기(20)의 정렬을 위해 제1 정렬 핀들(114)과 제2 정렬 핀들(120)을 각각 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 지지부(112)는 3개의 제1 정렬 핀들(114)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 지지부(118)는 3개의 제2 정렬 핀들(120)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제1 지지부(112)는 상기 제2 지지부(118)보다 좁은 폭을 갖고 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 연장부(116)를 포함할 수 있으며, 상기 제1 정렬 핀들(114) 중 하나가 상기 연장부(116)의 단부 상에 배치될 수 있다.
상기 프레임 조립체(130)는, 상기 제1 수평 방향에 대하여 제2 수평 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 상기 로봇 암(110)의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 (110)암과 평행하게 연장하는 프레임들(132)과, 상기 프레임들(132)의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제1 로드 포트(134)와, 상기 제1 로드 포트(134)로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 프레임들(132) 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제2 로드 포트(144)를 포함할 수 있다.
상기 제1 로드 포트(134)는, 상기 제1 지지부(112)에 대응하는 리세스(138)를 갖는 서포트 플레이트(136)와, 상기 리세스(138)의 주위에 위치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제1 포트 정렬 핀들(140)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 로드 포트(134)는 3개의 제1 포트 정렬 핀들(140)을 구비할 수 있다. 상기 제1 로드 포트(134)는 상기 서포트 플레이트(136)와 인접하도록 상기 프레임들(132) 상에 배치되는 제1 서포트 부재들(142)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 포트 정렬 핀들(140)은 상기 서포트 플레이트(136)와 상기 제1 서포트 부재들(142) 상에 각각 배치될 수 있다. 그러나, 상기 제1 포트 정렬 핀들(140)은 상기 서포트 플레이트(136) 상에 모두 배치될 수도 있다.
상기 제2 로드 포트(144)는, 상기 프레임들(132) 상에 배치되며 상기 용기(20)의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 제2 서포트 부재들(146)과, 상기 제2 서포트 부재들(146) 중 일부 상에 배치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제2 포트 정렬 핀들(148)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 용기(20)의 하부면에는 상기 제1 및 제2 정렬 핀들(114, 120)과 상기 제1 및 제2 포트 정렬 핀들(140, 148)이 삽입되는 정렬 슬롯들(22)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 제2 로드 포트(144)는 상기 용기(20)의 정렬 슬롯들(22) 중 2개의 정렬 슬롯들(22)에 대응하는 2개의 제2 포트 정렬 핀들(148)을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(10)는 상기 프레임 조립체(130)로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇(100)에 의해 이송되는 상기 용기(20)를 전달받는 제2 이송 로봇(200)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(10)는, 상기 프레임 조립체(130)의 제2 단부로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 제2 프레임 조립체(230)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇(200)은 제2 프레임 조립체(230)에 장착될 수 있다. 특히, 상기 프레임 조립체(130)와 상기 제2 프레임 조립체(230) 사이에는 상기 용기(20)의 이송을 위한 개구(32)가 구비된 벽(30)이 배치될 수 있으며, 상기 용기(20)는 상기 로봇 암(110)에 의해 상기 개구(32)를 통해 상기 제2 프레임 조립체(230) 상으로 이송될 수 있다.
상기 제2 이송 로봇(200)은, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제3 지지부(212)와 제4 지지부(216)가 구비되는 제2 로봇 암(210)과, 상기 제2 로봇 암(210)을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부(220)와, 상기 제2 로봇 암(210)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부(222)를 포함할 수 있다. 상기 제3 지지부(212)는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 정렬 핀들(214)을 포함할 수 있으며, 상기 제4 지지부(216)는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제4 정렬 핀들(218)을 포함할 수 있다.
상기 제2 프레임 조립체(230)는, 상기 제2 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암(210)의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 로봇 암(210)과 평행하게 연장하는 제2 프레임들(232)과, 상기 제2 프레임들(232)의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 로봇 암(110)에 의해 이송된 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제3 로드 포트(234)와, 상기 제3 로드 포트(234)로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 제2 프레임들(232) 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제4 로드 포트(240)를 포함할 수 있다.
상기 제3 로드 포트(234)는, 상기 제2 프레임들(232)의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 제3 서포트 부재들(236)과, 상기 제3 서포트 부재들(236) 중 일부 상에 배치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 포트 정렬 핀들(238)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 제3 로드 포트(234)는 상기 용기(20)의 정렬 슬롯들(22) 중 2개의 정렬 슬롯들(22)에 대응하는 2개의 제3 포트 정렬 핀들(238)을 포함할 수 있다.
상기 제4 로드 포트(240)는, 상기 제3 로드 포트(234)로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 제2 프레임들(232) 상에 배치되며 상기 용기(20)의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 제4 서포트 부재들(242)과, 상기 제4 서포트 부재들(242) 중 일부 상에 배치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제4 포트 정렬 핀들(244)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 제4 로드 포트(240)는 상기 용기(20)의 정렬 슬롯들(22) 중 2개의 정렬 슬롯들(22)에 대응하는 2개의 제4 포트 정렬 핀들(244)을 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 이송 장치(10)는 상기 이송 로봇(100) 및 상기 제2 이송 로봇(200)의 동작을 제어하기 위한 제어부(50)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 제어부(50)는, 상기 제1 지지부(112)를 이용하여 상기 제1 로드 포트(134) 상에 로드된 상기 용기(20)를 상기 제2 로드 포트(144) 상으로 이송하고, 상기 제2 지지부(118)를 이용하여 상기 제2 로드 포트(144) 상에 로드된 상기 용기(20)를 상기 제3 로드 포트(234) 상으로 이송하기 위해 상기 이송 로봇(100)의 동작을 제어할 수 있다.
도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 상기 제어부(50)는, 상기 제1 지지부(112)가 상기 제1 로드 포트(134) 상에 로드된 상기 용기(20)의 하부에 위치되도록 상기 로봇 암(110)을 이동시키는 단계(A)와, 상기 제1 지지부(112)를 이용하여 상기 제1 로드 포트(134) 상에 로드된 상기 용기(20)를 픽업하기 위해 상기 로봇 암(110)을 상승시키는 단계(B)와, 상기 제1 지지부(112)에 의해 픽업된 상기 용기(20)가 상기 제2 로드 포트(144)의 상부에 위치되도록 상기 로봇 암(110)을 이동시키는 단계(C)와, 상기 용기(20)를 상기 제2 로드 포트(144) 상에 로드하기 위하여 상기 로봇 암(110)을 하강시키는 단계(D)와, 상기 제2 지지부(118)가 상기 제2 로드 포트(144) 상에 로드된 상기 용기(20)의 하부에 위치되도록 상기 로봇 암(110)을 이동시키는 단계(E)와, 상기 제2 지지부(118)를 이용하여 상기 제2 로드 포트(144) 상에 로드된 상기 용기(20)를 픽업하기 위해 상기 로봇 암(110)을 상승시키는 단계(F)와, 상기 용기(20)를 상기 제2 이송 로봇(200)에 전달하기 위해 상기 로봇 암(110)을 상기 제2 이송 로봇(200)을 향해 이동시키는 단계(G), 즉 상기 용기(20)를 상기 개구(32)를 통해 상기 제3 로드 포트(234)의 상부에 위치되도록 상기 로봇 암(110)을 이동시키고 상기 용기(20)를 상기 제3 로드 포트(234) 상에 로드하기 위하여 상기 로봇 암(110)을 하강시키는 단계(H)가 수행되도록 상기 로봇 암(110)의 동작을 제어할 수 있다.
아울러, 도시되지는 않았으나, 상기 제어부(50)는, 상기 제3 지지부(212)가 상기 제3 로드 포트(234) 상에 로드된 상기 용기(20)의 하부에 위치되도록 상기 제2 로봇 암(210)을 이동시키는 단계와, 상기 제3 지지부(212)를 이용하여 상기 제3 로드 포트(234) 상에 로드된 상기 용기(20)를 픽업하기 위해 상기 제2 로봇 암(210)을 상승시키는 단계와, 상기 제3 지지부(212)에 의해 픽업된 상기 용기(20)가 상기 제4 로드 포트(240)의 상부에 위치되도록 상기 제2 로봇 암(210)을 이동시키는 단계와, 상기 용기(20)를 상기 제4 로드 포트(240) 상에 로드하기 위하여 상기 제2 로봇 암(210)을 하강시키는 단계와, 상기 제4 지지부(216)가 상기 제4 로드 포트(240) 상에 로드된 상기 용기(20)의 하부에 위치되도록 상기 제2 로봇 암(210)을 이동시키는 단계와, 상기 제4 지지부(216)를 이용하여 상기 제4 로드 포트(240) 상에 로드된 상기 용기(20)를 픽업하기 위해 상기 제2 로봇 암(210)을 상승시키는 단계와, 상기 제4 지지부(216) 상에 지지된 상기 용기(20)를 상기 제1 수평 방향으로 이동시키는 단계가 수행되도록 상기 제2 로봇 암(210)의 동작을 제어할 수 있다.
특히, 도시되지는 않았으나, 상기 제2 프레임 조립체(230)의 제2 단부에 인접하도록 타워 리프트(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 타워 리프트의 캐리지 로봇(미도시)은 상기 제4 지지부(216) 상에 지지된 상기 용기(20)를 픽업할 수 있으며, 이어서 상기 용기(20)는 상기 타워 리프트에 의해 수직 방향으로 이송될 수 있다.
도 7은 도 1 및 도 2에 도시된 제2 이송 로봇의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 8은 도 7에 도시된 제2 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 이송 장치(10)는 상기 프레임 조립체(130)로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 배치된 제2 프레임 조립체(330)와 상기 제2 프레임 조립체(330)에 장착되는 제2 이송 로봇(300)을 포함할 수 있다.
상기 제2 이송 로봇(300)은, 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제2 로봇 암(310)과, 상기 제2 로봇 암(310)을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부(320)와, 상기 제2 로봇 암(310)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부(322)를 포함할 수 있다.
상기 제2 프레임 조립체(330)는, 상기 제2 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암(310)의 양측에 각각 배치되며 상기 제1 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들(332)과, 상기 제2 프레임들(332)의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제3 로드 포트(334)와, 상기 제2 프레임들(332)의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제4 로드 포트(340)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇(300)은 상기 제3 및 제4 로드 포트들(340) 사이에서 상기 용기(20)를 이송할 수 있다.
상기 제3 로드 포트(334)는, 상기 제2 프레임들(332)의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 제3 서포트 부재들(336)과, 상기 제3 서포트 부재들(336) 중 일부 상에 배치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 포트 정렬 핀들(338)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 제3 로드 포트(334)는 상기 용기(20)의 정렬 슬롯들(22) 중 2개의 정렬 슬롯들(22)에 대응하는 2개의 제3 포트 정렬 핀들(338)을 포함할 수 있다.
상기 제4 로드 포트(340)는, 상기 제2 프레임들(332)의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 제4 서포트 부재들(342)과, 상기 제4 서포트 부재들(342) 중 일부 상에 배치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제4 포트 정렬 핀들(344)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 제4 로드 포트(340)는 상기 용기(20)의 정렬 슬롯들(22) 중 2개의 정렬 슬롯들(22)에 대응하는 2개의 제4 포트 정렬 핀들(344)을 포함할 수 있다.
상기 제2 로봇 암(310) 상에는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 정렬 핀들(312)이 배치될 수 있다. 상기 제2 이송 암(310)은 상기 이송 로봇(100)에 의해 상기 제3 로드 포트(334) 상으로 이송된 상기 용기(20)를 픽업하기 위하여 상기 제2 수직 구동부(322)에 의해 상승될 수 있으며, 상기 용기(20)를 상기 제4 로드 포트(340) 상부로 이동시키기 위해 상기 제2 수평 구동부(320)에 의해 상기 제1 수평 방향으로 이동될 수 있다. 이어서, 상기 제2 로봇 암(310)은 상기 용기(20)를 상기 제4 로드 포트(340) 상에 로드하기 위하여 상기 제2 수직 구동부(322)에 의해 하강될 수 있다. 상기와 같이 제4 로드 포트(340) 상으로 이송된 상기 용기(20)는 상기 타워 리프트의 캐리지 로봇에 의해 픽업될 수 있다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 10은 도 9에 도시된 제2 이송 로봇을 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 11은 도 9에 도시된 이송 장치의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 장치(10)는, 제1 수평 방향, 예를 들면, X축 방향으로 자재 수납을 위한 용기(20)를 이송하기 위한 이송 로봇(100)과, 상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 로봇(100)이 장착되는 프레임 조립체(130)와, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 연장하며 상기 프레임 조립체(130)와 인접하게 배치되는 제2 프레임 조립체(430)와, 상기 제2 프레임 조립체(430)에 장착되며 상기 이송 로봇(100)에 의해 이송된 상기 용기(20)를 상기 제2 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 이송 로봇(400)을 포함할 수 있다.
상기 이송 로봇(100)은 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제1 지지부(112)와 제2 지지부(118)를 구비하는 로봇 암(110)과, 상기 로봇 암(110)을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(122)와, 상기 로봇 암(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(124)를 포함할 수 있다. 상기 프레임 조립체(130)는 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 프레임들(132)과, 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제1 로드 포트(134)와, 상기 제1 로드 포트(134)로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제2 로드 포트(144)를 포함할 수 있다. 상기 이송 로봇(100)과 상기 프레임 조립체(130)는 도 1 및 도 2를 참조하여 기 설명된 바와 동일하게 구성될 수 있으며, 이에 따라 상기 이송 로봇(100)과 상기 프레임 조립체(130)에 대한 추가적인 상세 설명은 생략한다.
상기 제2 이송 로봇(400)은, 상기 용기(20)를 지지하기 제2 로봇 암(410)과, 상기 제2 로봇 암(410)을 상기 제2 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부(420)와, 상기 제2 로봇 암(410)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부(422)와, 상기 제2 로봇 암(410) 상에 지지된 상기 용기(20)의 방향을 조절하기 위해 상기 제2 로봇 암(410)을 회전시키는 회전 구동부(424)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 로봇 암(410) 상에는 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 정렬 핀들(412)이 배치될 수 있다.
상기 제2 프레임 조립체(430)는, 상기 제1 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암(410)의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들(432)과, 상기 프레임 조립체(130)와 인접하는 상기 제2 프레임들(432)의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 로봇 암(110)에 의해 이송된 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제3 로드 포트(434)와, 상기 제2 프레임들(432)의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제4 로드 포트(440)를 포함할 수 있다.
상기 제3 로드 포트(434)는, 상기 제2 프레임들(432)의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 제3 서포트 부재들(436)과, 상기 제3 서포트 부재들(436) 중 일부 상에 배치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제3 포트 정렬 핀들(438)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 제3 로드 포트(434)는 상기 용기(20)의 정렬 슬롯들(22) 중 2개의 정렬 슬롯들(22)에 대응하는 2개의 제3 포트 정렬 핀들(438)을 포함할 수 있다.
상기 제4 로드 포트(440)는, 상기 제2 프레임들(432)의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기(20)의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 제4 서포트 부재들(442)과, 상기 제4 서포트 부재들(442) 중 일부 상에 배치되며 상기 용기(20)의 정렬을 위한 제4 포트 정렬 핀들(444)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이, 상기 제4 로드 포트(440)는 상기 용기(20)의 정렬 슬롯들(22) 중 2개의 정렬 슬롯들(22)에 대응하는 2개의 제4 포트 정렬 핀들(444)을 포함할 수 있다.
한편, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 이송 로봇(100)과 상기 제2 이송 로봇(400)은 하나의 공간 내에 배치될 수도 있으나, 이와 다르게 도 11에 도시된 바와 같이 상기 이송 로봇(100)과 상기 제2 이송 로봇(400)은 벽(30)에 의해 격리된 서로 다른 공간들에 각각 배치될 수 있으며, 상기 이송 로봇(100)과 상기 제2 이송 로봇(400) 사이에는 상기 용기(20)의 이송을 위한 개구(32)가 배치될 수 있다.
상기 이송 장치(10)는, 도시되지는 않았으나, 상기 이송 로봇(100)과 상기 제2 이송 로봇(400)의 동작을 제어하기 위한 제어부(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 제어부는, 상기 제1 지지부(112)를 이용하여 상기 제1 로드 포트(134) 상에 로드된 상기 용기(20)를 상기 제2 로드 포트(144) 상으로 이송하고, 상기 제2 지지부(118)를 이용하여 상기 제2 로드 포트(144) 상에 로드된 상기 용기(20)를 상기 제3 로드 포트(434) 상으로 이송하기 위해 상기 로봇 암(110)의 동작을 제어할 수 있다.
도 12 및 도 13은 도 10에 도시된 제2 이송 로봇의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 상기 제어부는 상기 제3 로드 포트(434) 상에 로드된 상기 용기(20)를 상기 제4 로드 포트(440) 상으로 이송하기 위해 상기 제2 로봇 암(410)의 동작을 제어할 수 있다. 특히, 상기 제어부는 상기 제2 로봇 암(410)이 상기 제3 로드 포트(434) 상에 로드된 상기 용기(20)의 하부에 위치되도록 상기 제2 로봇 암(410)을 이동시키는 단계(I)와, 상기 제2 로봇 암(410)을 이용하여 상기 제3 로드 포트(434) 상에 로드된 상기 용기(20)를 픽업하기 위해 상기 제2 로봇 암(410)을 상승시키는 단계(J)와, 상기 제2 로봇 암(410) 상에 지지된 상기 용기(20)의 방향을 상기 제2 수평 방향으로 전환하기 위해 상기 제2 로봇 암(410)을 회전시키는 단계(K)와, 상기 제2 로봇 암(410) 상의 상기 용기(20)가 상기 제4 로드 포트(440)의 상부에 위치되도록 상기 제2 로봇 암(410)을 이동시키는 단계(L)와, 상기 용기(20)를 상기 제4 로드 포트(440) 상에 로드하기 위하여 상기 제2 로봇 암(410)을 하강시키는 단계(M)가 수행되도록 상기 제2 로봇 암(410)의 동작을 제어할 수 있다. 상기와 같이 제4 로드 포트(440) 상으로 이송된 상기 용기(20)는 상기 타워 리프트의 캐리지 로봇에 의해 픽업될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 로봇(100)은 상기 제1 수평 방향으로 연장하는 로봇 암(110)을 가질 수 있으며, 상기 로봇 암(110)은 양측 단부들에 각각 상기 용기(20)를 지지하기 위한 제1 지지부(112)와 제2 지지부(118)를 구비할 수 있다. 특히, 상기 로봇 암(110)은 상기 제2 지지부(118) 상에 상기 용기(20)가 지지된 상태에서 상기 제1 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라 상기 벽(30)의 개구(32)를 통해 상기 용기(20)를 이송할 수 있다. 즉 상기 벽(30)에 의해 구분된 공간들 사이에서 상기 용기(20)의 이송이 용이하게 이루어질 수 있으며, 이에 따라 상기 개구(32)를 개폐하기 위한 방화 셔터(미도시)와 상기 이송 로봇(100) 사이의 간섭이 충분히 방지될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 이송 장치 20 : 용기
22 : 정렬 슬롯 30 : 벽
32 : 개구 50 : 제어부
100 : 이송 로봇 110 : 로봇 암
112 : 제1 지지부 114 : 제1 정렬 핀
116 : 연장부 118 : 제2 지지부
120 : 제2 정렬 핀 122 : 수평 구동부
124 : 수직 구동부 130 : 프레임 조립체
132 : 프레임 134 : 로드 포트
136 : 서포트 플레이트 138 : 리세스
140 : 제1 포트 정렬 핀 142 : 제1 서포트 부재
144 : 제2 로드 포트 146 : 제2 서포트 부재
148 : 제2 포트 정렬 핀 200 : 제2 이송 로봇
210 : 제2 로봇 암 212 : 제3 지지부
214 : 제3 정렬 핀 216 : 제4 지지부
218 : 제4 정렬 핀 220 : 제2 수평 구동부
222 : 제2 수직 구동부 230 : 제2 프레임 조립체
232 : 제2 프레임 234 : 제3 로드 포트
236 : 제3 서포트 부재 238 : 제3 포트 정렬 핀
240 : 제4 로드 포트 242 : 제4 서포트 부재
244 : 제4 포트 정렬 핀

Claims (20)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1 수평 방향으로 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇;
    상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 로봇이 장착되는 프레임 조립체; 및
    상기 프레임 조립체로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 용기를 전달받는 제2 이송 로봇을 포함하되,
    상기 이송 로봇은,
    상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기를 지지하기 위한 제1 지지부와 제2 지지부가 구비되는 로봇 암;
    상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부; 및
    상기 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 프레임 조립체는,
    상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들;
    상기 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제1 로드 포트; 및
    상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 프레임들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 로드 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 로드 포트는,
    상기 제1 지지부에 대응하는 리세스를 갖는 서포트 플레이트; 및
    상기 리세스의 주위에 배치되며 상기 용기의 정렬을 위한 제1 포트 정렬 핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제2 로드 포트는,
    상기 프레임들 상에 배치되며 상기 용기의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 복수의 서포트 부재들; 및
    상기 서포트 부재들 중 일부 상에 배치되며 상기 용기의 정렬을 위한 제2 포트 정렬 핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1 지지부를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 로드 포트 상으로 이송하고, 상기 제2 지지부를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 이송 로봇에 전달하기 위해 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 제1 지지부가 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기의 하부에 위치되도록 상기 로봇 암을 이동시키는 단계와,
    상기 제1 지지부를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 픽업하기 위해 상기 로봇 암을 상승시키는 단계와,
    상기 제1 지지부에 의해 픽업된 상기 용기가 상기 제2 로드 포트의 상부에 위치되도록 상기 로봇 암을 이동시키는 단계와,
    상기 용기를 상기 제2 로드 포트 상에 로드하기 위하여 상기 로봇 암을 하강시키는 단계와,
    상기 제2 지지부가 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기의 하부에 위치되도록 상기 로봇 암을 이동시키는 단계와,
    상기 제2 지지부를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 픽업하기 위해 상기 로봇 암을 상승시키는 단계와,
    상기 용기를 상기 제2 이송 로봇에 전달하기 위해 상기 로봇 암을 상기 제2 이송 로봇을 향해 이동시키는 단계가 수행되도록 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  10. 제4항에 있어서, 상기 프레임 조립체로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되며 상기 제2 이송 로봇이 장착되는 제2 프레임 조립체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 프레임 조립체와 상기 제2 프레임 조립체 사이에는 상기 용기의 이송을 위한 개구가 구비된 벽이 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
    상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기를 지지하기 위한 제3 지지부와 제4 지지부가 구비되는 제2 로봇 암;
    상기 제2 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부; 및
    상기 제2 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제2 프레임 조립체는,
    상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 로봇 암과 평행하게 연장하는 제2 프레임들;
    상기 제2 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 로봇 암에 의해 이송된 상기 용기를 지지하기 위한 제3 로드 포트; 및
    상기 제3 로드 포트로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 제2 프레임들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제4 로드 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
    상기 용기를 지지하기 제2 로봇 암;
    상기 제2 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부; 및
    상기 제2 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제2 프레임 조립체는,
    상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 제1 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들;
    상기 제2 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제3 로드 포트; 및
    상기 제2 프레임들의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제4 로드 포트를 포함하며,
    상기 제2 이송 로봇은 상기 제3 및 제4 로드 포트들 사이에서 상기 용기를 이송하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  16. 제1 수평 방향으로 자재 수납을 위한 용기를 이송하기 위한 이송 로봇;
    상기 제1 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 로봇이 장착되는 프레임 조립체;
    상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 연장하며 상기 프레임 조립체와 인접하게 배치되는 제2 프레임 조립체; 및
    상기 제2 프레임 조립체에 장착되며 상기 이송 로봇에 의해 이송된 상기 용기를 상기 제2 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 이송 로봇을 포함하되,
    상기 이송 로봇은,
    상기 제1 수평 방향으로 연장하며 양측 단부들 상에 상기 용기를 지지하기 위한 제1 지지부와 제2 지지부가 구비되는 로봇 암;
    상기 로봇 암을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부; 및
    상기 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 프레임 조립체는,
    상기 제2 수평 방향으로 상기 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 로봇 암과 평행하게 연장하는 프레임들;
    상기 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제1 로드 포트; 및
    상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 수평 방향으로 소정 거리 이격되도록 상기 프레임들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제2 로드 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 제1 지지부를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 로드 포트 상으로 이송하고, 상기 제2 지지부를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 상기 용기를 상기 제2 프레임 조립체 상으로 이송하기 위해 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  19. 제16항에 있어서, 상기 제2 이송 로봇은,
    상기 용기를 지지하기 제2 로봇 암;
    상기 제2 로봇 암을 상기 제2 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부;
    상기 제2 로봇 암을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부; 및
    상기 제2 로봇 암 상에 지지된 상기 용기의 방향을 조절하기 위해 상기 제2 로봇 암을 회전시키는 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제2 프레임 조립체는,
    상기 제1 수평 방향으로 상기 제2 로봇 암의 양측에 각각 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제2 프레임들;
    상기 프레임 조립체와 인접하는 상기 제2 프레임들의 제1 단부들 상에 배치되며 상기 로봇 암에 의해 이송된 상기 용기를 지지하기 위한 제3 로드 포트; 및
    상기 제2 프레임들의 제2 단부들 상에 배치되며 상기 용기를 지지하기 위한 제4 로드 포트를 포함하며,
    상기 제2 이송 로봇은 상기 제3 및 제4 로드 포트들 사이에서 상기 용기를 이송하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
KR1020180168501A 2018-12-24 2018-12-24 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치 KR102141200B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180168501A KR102141200B1 (ko) 2018-12-24 2018-12-24 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180168501A KR102141200B1 (ko) 2018-12-24 2018-12-24 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200079031A KR20200079031A (ko) 2020-07-02
KR102141200B1 true KR102141200B1 (ko) 2020-09-14

Family

ID=71599356

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180168501A KR102141200B1 (ko) 2018-12-24 2018-12-24 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102141200B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220026373A (ko) 2020-08-25 2022-03-04 세메스 주식회사 이송 방법 및 이송 장치
KR20220026374A (ko) 2020-08-25 2022-03-04 세메스 주식회사 이송 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070113850A (ko) * 2006-05-26 2007-11-29 엘지.필립스 엘시디 주식회사 랙마스터, 이를 구비한 저장장치 및 그 운용방법
KR20100073670A (ko) 2008-12-23 2010-07-01 황무성 웨이퍼 이송 시스템과 이를 포함하는 반도체 팹 구조물 및 웨이퍼 이송 방법
KR102264851B1 (ko) * 2014-10-23 2021-06-14 세메스 주식회사 포크 로봇 및 포크의 삽입 거리 산출 방법
KR101885434B1 (ko) 2016-10-31 2018-09-10 세메스 주식회사 구동 모듈 및 이를 포함하는 타워 리프트

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200079031A (ko) 2020-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100571104B1 (ko) 모듈식 기판 처리 시스템
JP5152469B2 (ja) 基板搬送装置
JP4711770B2 (ja) 搬送装置、真空処理装置および搬送方法
KR101295494B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR101854165B1 (ko) 공정 챔버, 이를 포함하는 반도체 제조 장치 및 기판 처리 방법
KR20180048928A (ko) 기판 반송 로봇 및 기판 처리 시스템
WO2016140318A1 (ja) 基板搬送ロボットおよび基板処理システム
KR102141200B1 (ko) 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치
JP2011006222A (ja) 保管庫
JP2009049232A (ja) 基板処理装置
KR20110095548A (ko) 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법
KR101209654B1 (ko) 트레이 틸트 장치
JP5926694B2 (ja) 基板中継装置，基板中継方法，基板処理装置
KR20050038134A (ko) 기판 스토킹 시스템
KR102189275B1 (ko) 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치
JP4638755B2 (ja) 露光装置および露光方法
KR20220072236A (ko) 이송 장치
KR100901977B1 (ko) 핸들러, 이를 이용하는 반도체 소자 제조방법, 및테스트트레이 이송방법
KR102144638B1 (ko) 기판 배열 장치 및 기판 배열 방법
KR20190072407A (ko) 이송 설비, 이송 방법
KR102202218B1 (ko) 층간 반송을 위한 승강형 대상물 준비 설비
KR102204866B1 (ko) 층간 반송을 위한 복층형 대상물 준비 설비
KR20220026374A (ko) 이송 장치
KR20110037508A (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
JP2013165177A (ja) ストッカー装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant