WO2007029401A1 - ワーク搬入出システム及び搬送装置 - Google Patents

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WO2007029401A1
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workpiece
storage cassette
loading
transport
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Katsuyoshi Tachibana
Michio Mitsuyu
Yoichiro Yamamoto
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Hirata Corporation
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0294—Vehicle bodies

Definitions

  • the present invention relates to a system for carrying out a work such as a glass substrate from a storage cassette or carrying it into the storage cassette.
  • An object of the present invention is to provide a carry-in / out system and a transfer apparatus capable of handling a plurality of types of workpieces.
  • the rectangular plate-shaped workpiece is supported in a substantially horizontal posture from the lower surface side, and the workpiece is conveyed in a substantially horizontal direction, and is formed in multiple stages in the vertical direction.
  • a plurality of placement portions on which the workpiece is placed in a substantially horizontal posture, a side portion forming a loading / unloading port for the workpiece, and an entrance through which the conveyance means can pass A storage cassette disposed above the transfer means, and a lifting / lowering means for moving the storage cassette and the transfer means up and down relatively up and down.
  • the transport means is moved up and down by the means.
  • a workpiece loading / unloading operation in which the workpiece on the placement section is moved outside the storage cassette and the workpiece is loaded onto and unloaded from the storage cassette onto the placement section by the transport means.
  • the transport unit is configured by arranging a plurality of independently driven transport units in a plane, and the plurality of transport units include a size of the work to be transported, a transport source of the work,
  • a work loading / unloading system which is selectively driven based on a position on the placement unit as a transfer destination.
  • the conveying means is configured by arranging a plurality of independently driven conveyance sections in a plane, and the plurality of conveyance sections are configured to convey the workpiece to be conveyed. Since it is selectively driven on the basis of the size and the position on the above-mentioned placement unit that is the transfer source or transfer destination of the workpiece, workpieces of different sizes can be loaded and unloaded. Therefore, multiple types of workpieces can be handled. In addition, it is possible to place a plurality of small-sized works on each placement portion of the storage cassette, and to carry them in and out individually, so that the work storage efficiency of the storage cassette can be improved.
  • the storage cassette has another side portion facing the side portion forming the loading / unloading port, and the other side portion also has the loading / unloading port.
  • the conveying means is capable of conveying the workpiece via the loading / unloading port of each of the side portion and the other side portion, and the plurality of conveying portions include the size of the workpiece to be conveyed, It is possible to adopt a configuration that is selectively driven based on the position on the placement unit, which is a workpiece transfer source or transfer destination, and the loading / unloading port through which the workpiece passes. According to this configuration, the loading / unloading force of each of the two workpieces can be loaded / unloaded, and the efficiency of loading / unloading the workpiece can be improved.
  • the plurality of transfer units include a first transfer unit and a width force in a direction orthogonal to the transfer direction of the workpiece.
  • the width of the first transfer unit is A second conveyance unit that is substantially half of the first conveyance unit, and the first conveyance unit and the second conveyance unit are arranged in a direction perpendicular to the conveyance direction of the cake. It is possible to adopt a configuration in which the two second transfer units are positioned between the units. According to this configuration, it is possible to handle at least three types of workpieces with respect to the width.
  • the elevating means moves the storage cassette.
  • the transporting means is fixedly disposed, the storage cassette has a rectangular parallelepiped shape, and the lifting means are respectively disposed on both sides of the storage cassette facing each other so as to sandwich the storage cassette. It is possible to adopt a configuration including a pair of elevating units that are arranged and cantilever-support the storage cassette. According to this configuration, the installation space of the entire system can be further reduced, and a wider space for the work loading / unloading port and the transfer means can be secured.
  • the elevating unit can employ a configuration provided with detecting means for detecting a shift in the elevating height of each other. According to this configuration, it is possible to prevent the storage cassette from being tilted during lifting and lowering the storage cassette more stably.
  • the rectangular plate-like workpiece is supported in a substantially horizontal posture and the lower surface side force is supported, and the conveyance device that conveys the workpiece in the substantially horizontal direction is formed in multiple stages in the vertical direction. And a plurality of placement portions on which the workpiece is placed in a substantially horizontal posture, a side portion forming a loading / unloading port of the workpiece, and the conveyance device can pass therethrough.
  • a storage cassette disposed above the transfer device, and an elevating means for moving the storage cassette and the transfer device up and down relatively.
  • the conveying device is caused to enter the storage cassette by an elevating operation by an elevating means, and the workpiece on the placement unit is moved to the outside of the storage cassette and from the outside of the storage cassette by the transport device.
  • the transfer device constituting the workpiece loading / unloading system for loading and unloading a workpiece
  • the plurality of conveyance units driven independently are arranged in a plane, and the plurality of conveyance units are configured to convey the workpiece.
  • a transport apparatus that is selectively driven based on the size of the work and the position on the placement section that is the transport source or transport destination of the work.
  • FIG. 1 is a plan view showing a layout of a work processing facility using a work carry-in / out system A according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an external perspective view of a work loading / unloading system A.
  • FIG. 3 is an external perspective view of the storage cassette 20 and a view showing a one-stage placement section.
  • FIG. 4 is a view showing a state of placing glass substrates of different sizes.
  • FIG. 6 An exploded perspective view of the lifting device 30.
  • FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the control unit 40 of the work loading / unloading system A.
  • FIG. 11 is a plan view of the empty storage cassette 20 and the transport device 10 and a number that identifies the position of each roller composite 11, 12 in plan view.
  • FIG. 13A is an operation explanatory diagram when carrying out glass substrates W1 and W2 having a size of 1Z2 of glass substrate W.
  • FIG. 13B is an operation explanatory diagram when carrying out glass substrates W1 and W2 having a size of 1Z2 of glass substrate W.
  • ⁇ 14A] is an operation explanatory diagram when unloading glass substrates W1 to W4 of size 1Z4 ⁇ 14B] is an operation explanatory diagram of unloading glass substrates W1 to W4 of size 1Z4 ⁇ 14C] 1Z4 FIG. 6 is an operation explanatory diagram when carrying out glass substrates W1 to W4 having a size of 5 mm.
  • ⁇ 15A] is an operation explanatory diagram when carrying out glass substrates W1 to W6 having a size of 1Z6
  • B 15B] is an operation explanatory diagram when carrying out glass substrates W1 to W6 having a size of 1Z6
  • FIG. 16 is a diagram showing an example in which glass substrates of different sizes are placed on the first stage placement unit.
  • FIG. 17A is an operation explanatory diagram when carrying out glass substrates W1 to W3 of different sizes and W4 and W5.
  • FIG. 17B Movement when unloading glass substrates W1 to W3 of different sizes and W4 and W5 FIG.
  • FIG. 17C is an operation explanatory diagram when carrying out glass substrates W1 to W3 of different sizes and W4 and W5.
  • FIG. 18A is an operation explanatory diagram when carrying out and carrying in a glass substrate at the same time.
  • FIG. 18B is an operation explanatory diagram when carrying out and carrying in the glass substrate at the same time.
  • FIG. 1 is a plan view showing a layout of a workpiece processing facility 100 using a workpiece loading / unloading system A according to an embodiment of the present invention.
  • the workpiece processing facility 100 is a facility for processing a rectangular plate-shaped glass substrate as a workpiece, and includes a workpiece loading / unloading system A, a processing device B, a belt conveyor C, and a transfer device D.
  • glass substrates Wl and W2 having different sizes can be handled by the same work processing facility 100.
  • workpieces other than glass substrates can be applied.
  • each belt conveyor C includes two endless belts 1 whose traveling direction is set in the Y direction, and an endless belt. 1 is provided with a motor 2 that rotationally drives a drive pulley around which the 1 is wound, and a support portion 3 that rotatably supports a driven pulley around which the endless belt 1 is wound, and the endless belt 1 in the + Y direction and the Y direction 1 It is controlled so that the upper part of the vehicle travels back and forth.
  • the work loading / unloading system A can load and unload a glass substrate in the X direction.
  • glass substrates can be carried in and out of each of two sets of belt conveyors C arranged on both sides of the X direction, + X direction, X direction Glass substrates can be carried in and out of both sides. Details of the work loading / unloading system A will be described later.
  • the processing apparatus B is disposed on the X side of the belt conveyor C, receives a glass substrate conveyed by the belt conveyor C, performs a predetermined process, and transfers it to the belt conveyor C.
  • the force for which a plurality of processing devices B are illustrated may be different in the processing content of each processing device B, or the same content.
  • the transfer device D is between the belt conveyor C and the workpiece loading / unloading system A or processing device B. And a plurality of elevating roller conveyor units 4a and 4b disposed between the endless belts 1 or between the endless belts and the work loading / unloading system A and the processing device B, and a force.
  • Each of the roller conveyor units 4a and 4b has the same configuration as the roller conveyor units 11 and 12 constituting the transfer device 10 of the workpiece loading / unloading system A described later, and can be controlled independently, and the rotation of the rollers It is a unit that can transport the glass substrate in the + X direction and the X direction, and a unit that can be moved up and down in the Z direction by a lifting device (not shown).
  • the transfer device D rises and conveys the glass substrate in the + X direction or the -X direction, and then descends. Place the glass substrate on the endless belt 1. Thereafter, the belt conveyor C is operated to run the endless belt 1, and the glass substrate is conveyed. Also, when transferring the glass substrate from the belt conveyor C to the workpiece loading / unloading system A or the processing device B, the loading device D rises and lifts the glass substrate on the endless belt 1, and then the workpiece loading / unloading system. A glass substrate is conveyed to A or processing equipment B in + X direction or -X direction.
  • an unprocessed glass substrate is conveyed from the workpiece loading / unloading system A to the processing device B via the transfer device D and the belt conveyor C, and the processed glass.
  • the substrate is returned to the work loading / unloading system A through the processing device B, the transfer device D and the belt conveyor C.
  • FIG. 2 is an external perspective view of the work loading / unloading system A.
  • the workpiece carry-in / out system A includes a transport device 10, a storage cassette 20 disposed above the transport device 10, and a lifting device 30.
  • FIG. 3A is an external perspective view of the storage cassette 20.
  • the storage cassette 20 is a cassette that can store glass substrates in multiple stages in the vertical direction (Z direction). 2 and 3-1, the glass substrate is not accommodated.
  • the storage cassette 20 forms a substantially rectangular parallelepiped frame body by the plurality of column members 21a and 21b and the beam members 22a to 22g.
  • a plurality of column members 21b are arranged in the X direction, and the same number of column members 21b are arranged apart in the Y direction. Between each column member 21b in the Y direction, a plurality of wires 23 are stretched at a predetermined pitch in the vertical direction (Z direction). The wire 23 forms a plurality of stages in the vertical direction on which the glass substrate is placed in a substantially horizontal posture.
  • Fig. 3-2 is a diagram showing the loading part for one stage.
  • Each stage mounting portion is formed by a plurality of wires 23 spaced apart in the X direction at the same height. Between each wire 23 and the outside of the wire 23 at both ends in the X direction form an opening 23a through which a transfer device 10 described later can pass.
  • the mounting portion is formed of a wire, but other methods can of course be employed. However, by using the wire, the interval between the substrates to be stored can be reduced, and the storage efficiency of the storage cassette 200 can be increased.
  • FIG. 3-2 shows a state in which the largest glass substrate W (shown by a broken line) that can be stored in the storage cassette 20 is placed on the wire 23.
  • a plurality of types of glass substrates can be placed per one stage of the placing portion.
  • Fig. 4 is a diagram showing the state of placing glass substrates of different sizes.
  • Fig. 4 1 shows a state in which a glass substrate W having a size of 1Z2 in Fig. 3-2 is placed, and each glass substrate W is placed on two wires 23! /.
  • FIG. 4-2 shows a state in which the glass substrate W having the size of 1Z4 in FIG. 3-2 is placed. Each glass substrate W is placed on the two wires 23.
  • FIG. 4-3 shows a state in which the glass substrate W having the size of 1Z6 in FIG. 3-2 is placed, and each glass substrate W is placed on the two wires 23 !.
  • both opposite sides of the storage cassette 20 in the X direction are opened into a portal shape by the tension member 22a and the column member 21a, respectively, to form a loading / unloading port 24 for the glass substrate.
  • both sides in the X direction of the storage cassette 20 are used as the loading / unloading ports 24, and the glass substrate can be conveyed through each loading / unloading port.
  • only one of the side portions can be used as the loading / unloading port. It is.
  • the bottom of the storage cassette 20 is composed of a pair of beam members 22d, a plurality of beam members 22b, and one beam member 22f, and an entrance 25 through which a transfer device 10 described later can pass between these members. To form.
  • FIG. 5 is an external perspective view of the lifting device 30, and FIG. 6 is an exploded perspective view of the lifting device 30.
  • the lifting device 30 is a device that lifts the storage cassette 20 and the transport device 10 up and down relatively.
  • the transport device 10 is fixed and the storage cassette 20 is moved up and down, but a configuration in which the storage cassette 20 is fixed and the transport device 10 is lifted and lowered can also be adopted.
  • the lifting device 30 is disposed on both sides of the storage cassette 20 facing each other in the Y direction so as to sandwich the storage cassette 20, and a pair of lifting units that cantilever-support the storage cassette 20. Consists of 31. According to this configuration, the elevating unit 31 can be made thinner, and the installation space for the entire work carry-in / out system A can be further reduced. Further, it is possible to secure a wider space for the glass substrate loading / unloading port and the transfer device 10.
  • the elevating unit 31 includes a beam member 311 on which the beam member 22d at the bottom of the storage cassette 20 is placed. As each beam member 311 of each lifting unit 31 moves in the vertical direction (Z direction) synchronously, the storage cassette 20 is lifted and lowered.
  • the elevating unit 31 includes a support column 312 extending in the vertical direction, and a pair of rail members 313 and a rack 314 extending in the vertical direction are fixed to the inner surface of the column 312. Between each lifting unit 31, a beam member 32 is installed on the upper end of the column 312.
  • the beam member 311 is fixed and supported on one side surface of the support plate 315 via a bracket 315a.
  • Four slide members 316 movable along the rail member 313 are fixed to the other side surface of the support plate 315, and the beam member 311 and the support plate 315 move up and down by the guide of the rail member 313.
  • the drive unit 317 includes a motor 317a and a speed reducer 317b, and is fixed to and supported by one side surface of the support plate 318.
  • the output shaft of the speed reducer 317b passes through the support plate 318 and is connected to a pinion 319a disposed on the other side of the support plate 318.
  • the support plate 315 and the support plate 318 are fixed to each other at a predetermined interval, and pions 319b to 319d are disposed in the gap between the support plate 315 and the support plate 318. .
  • the pions 319b to 319d are rotatably supported between the support plate 315 and the support plate 318, and the pion 319b and the pion 319d rotate following the rotation of the pion 419a.
  • the pion 319c rotates following the rotation of the pion 319b.
  • the pinions 319b to 319d have the same specifications as each other, and the two pinions 319c and 319d mate with each rack 314. Yes.
  • each lifting / lowering unit 31 is provided with a sensor 31 la at the end of the beam member 311 for detecting a shift in the lifting height of the beam member 311.
  • the sensor 31la is, for example, an optical sensor including a light emitting unit and a light receiving unit, and determines whether or not the force is received by irradiating light in the Y direction as shown in FIG.
  • the sensor 31 la determines whether or not the force is received by irradiating light in the Y direction as shown in FIG.
  • the sensor 31 la determines whether or not the force is received by irradiating light in the Y direction as shown in FIG.
  • the sensor 31 la determines whether or not the force is received by irradiating light in the Y direction as shown in FIG.
  • the two sensors 31la provided in each beam member 311 have a configuration in which one of the light emitting unit and the light receiving unit is provided, and the other has the other of the light emitting unit and the light receiving unit. May be. Moreover, it is not restricted to an optical sensor, Other sensors are also employable.
  • FIG. 7 is an external perspective view of the transfer device 10.
  • the conveying device 10 is configured by arranging a plurality of roller conveyor units 11 and 12 constituting an independently driven conveying unit in a plane on the XY plane.
  • a force that employs a roller conveyor system may be used.
  • Each roller component 11 and 12 is supported in a freely rotating manner between the horse motion box 11a and 12a, the bearing non-roller l lb and 12b, and the drive box l la and 12a and the bearing panel l lb and 12b.
  • a plurality of rollers l lc, 12c A plurality of rollers l lc, 12c.
  • Each roller l lc, 12c is composed of a shaft part and a disk part, the axial direction of which is set to the Y direction orthogonal to the glass substrate transport direction (X direction), and forward rotation around the axis in the Y direction. Reversed.
  • the upper surface of the disk portion of each roller l lc, 12c forms a conveying surface for conveying the glass substrate,
  • the glass substrate is supported in a substantially horizontal posture and the lower surface side force is supported, and the glass substrate is conveyed in a substantially horizontal direction (in this embodiment, the + X direction and the ⁇ X direction) by the rotation.
  • the drive box l la, 12a includes a motor (not shown) and a power transmission mechanism that transmits the driving force of the motor to the rollers l lc, 12c.
  • sensors 11a ′ and 12a ′ for detecting the glass substrate are provided at both ends in the X direction on the upper surfaces of the drive boxes lla and 12a.
  • the sensors 11a 'and 12a' are, for example, reflection type optical sensors, and the rotation of the rollers llc and 12c is started or stopped according to the detection result of the glass substrate by the sensors 11a 'and 12a'. .
  • Each roller conveyor unit 11, 12 is provided with an appropriate gap so as not to interfere with the storage box 20, and the storage box 20 enters when the storage box 20 is lowered by the lifting device 30. It enters into the storage box 20 from the opening 25, and passes through the opening 23a of each placement portion formed by the wire 23 and reaches the placement portion of the stage to be transported.
  • the roller conveyor unit 12 has a width in the Y direction orthogonal to the glass substrate transport direction (X direction) set to substantially half of the width in the Y direction of the roller conveyor unit 11. And the roller conveyor unit 12 are arranged so that two roller conveyor units 12 are positioned between the two roller conveyor units 11 in the Y direction, which is perpendicular to the glass substrate transport direction (X direction). .
  • the arrangement is roller conveyor unit 11 ⁇ roller conveyor unit 12 roller conveyor unit 12 roller conveyor unit 11.
  • glass substrates of various sizes having different widths in the Y direction can be transported by one transport device 10. It can handle at least three types of workpieces in the Y direction.
  • the glass substrate with the width in the Y direction shown in Fig. 3-2 and Fig. 4-1 can be conveyed.
  • the glass substrates with the width in the Y direction shown in Fig. 4-2 are individually conveyed. it can.
  • the roller conveyor unit 11 the two roller conveyor units 12, and the roller conveyor unit 11 are driven independently by dividing into three in the Y direction, as shown in Fig. 4-3. Glass substrates with a width in the Y direction can be transported individually. Also contact the glass substrate Since the number of rollers is the same, each glass substrate can be transported with a uniform transport force, and each glass substrate can be transported stably.
  • FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the control unit 40 of the workpiece loading / unloading system A.
  • the control unit 40 provides a CPU 41 for controlling the entire work loading / unloading system A, a work queryer for the CPU 41, a RAM 42 for storing variable data, and a fixed data such as a control program and control data.
  • ROM 43 to be provided.
  • the RAM 42 and ROM 43 can employ other storage means.
  • the input interface (IZF) 44 is an interface between the CPU 41 and various sensors (sensors 311a, lla, 12a, etc.), and the CPU 41 obtains detection results of various sensors via the input I / F 44. To do.
  • the output interface (IZF) 45 is an interface between the CPU 41 and various motors (motors 317a, motors in the drive boxes 11a and 12a), and the CPU 41 connects various motors via the output I / F 45. Control.
  • inverter control and servo control can be used for the rotational speed control of the rollers lc and 12c of the roller conveyor units 11 and 12, that is, the rotational speed control of the motors in the drive boxes 11a and 12a.
  • inverter control or servo control the rotational speed of each motor can be finely adjusted, and the mechanical error of each roller conveyor unit 11, 12 can be corrected by control.
  • the rotational speeds of the rollers l lc and 12c of the roller conveyor units 11 and 12 can be synchronously controlled more accurately.
  • inverter control and servo control can also be adopted for the rotational speed control of the motor 317a of the elevating unit 31. Since the pair of lifting / lowering units 31 requires synchronous control that repeatedly stops and moves frequently synchronously with respect to a plurality of stop positions corresponding to the respective placement portions of the storage cassette 20, it is particularly necessary to connect to a continuous line in space. It is desirable to adopt a control method that moves along the path (so-called CP (Continuous Path) control).
  • CP Continuous Path
  • a motor is used as a drive source of the elevating unit 31.
  • an actuator that operates with a fluid pressure such as hydraulic pressure or pneumatic pressure can also be used.
  • the communication interface (IZF) 46 is a host combination that controls the entire work processing facility 100. It is an interface between the user 5 and the CPU 41, and the CPU 41 controls the work loading / unloading system A according to a command from the host computer 5.
  • the glass substrate loading / unloading operation by the workpiece loading / unloading system A will be described.
  • movement of the glass substrate by the conveying apparatus 10 accompanying a raising / lowering operation are demonstrated.
  • the conveying device 10 is moved into the storage cassette 20 by the ascending / descending operation of the lifting device 30, and the glass substrate on the placement portion (that is, on the wire 23 at each stage) is moved by the conveying device 10 to the outside of the storage cassette 20.
  • the glass substrate is carried in and out of the mounting section.
  • Figures 9-1 and 10 are diagrams for explaining the operation of the cake loading / unloading system A.
  • the glass substrate carry-out operation will be described, but the carry-in operation is generally the reverse procedure.
  • FIG. 91 shows a state where the storage cassette 20 is positioned above the transport device 10 and the transport device 10 has not yet entered the storage cassette 20.
  • a glass substrate W is placed on each stage of the storage cassette 20.
  • the glass substrate W is unloaded from the lower one. In the case of Figure 9-1, the lowermost glass substrate W is unloaded first.
  • the storage device 20 is lowered by the lifting device 30 as shown in FIG. 9-2, and the transport device 10 is moved into the storage cassette 20 so that the transport surface of the transport device 10 is at the lowermost loading portion. It should be positioned slightly higher.
  • the lowermost glass substrate is lifted by the transport device 10 from the lowermost mounting portion and placed on the transport device 10.
  • the rollers llc and 12c of the transfer device 10 are rotated to transfer the glass substrate in a substantially horizontal posture.
  • Figure 9-3 shows the glass substrate in the + X direction
  • Figure 9-4 shows the glass substrate in the -X direction.
  • Fig. 10-1 shows the state in which the storage cassette 20 is lowered until the transport device 10 enters the middle position of the storage cassette 20 by repeatedly lowering the storage cassette 20 and unloading the glass substrate.
  • Fig. 10-2 shows a state in the middle of unloading the glass substrate in the X direction at the position shown in Fig. 10-1.
  • FIG. 10-3 shows that the lowering of the storage cassette 20 and the unloading of the glass substrate are further repeated.
  • the storage cassette 20 is lowered until the transfer device 10 enters the position above the storage cassette 20, and
  • Fig. 10-4 shows the glass substrate in the + X direction at the position shown in Fig. 10-3. The aspect of is shown. In this way, the uppermost glass substrate is carried out.
  • the glass substrates are loaded into an empty storage cassette 20, the glass substrates are sequentially loaded from the uppermost loading section, and the storage cassette 20 is sequentially raised.
  • each roller conveyor unit 11, 12 is selectively driven.
  • the number of loading / unloading ports is one, it is based on the size of the glass substrate to be transported and the position on the placement unit that is the transporting source (unloading) or transporting destination (during loading) of the glass substrate.
  • Each roller conveyor unit 11, 12 is selectively driven.
  • FIG. 11-1 is a plan view of the empty storage cassette 20 and the transfer device 10. Note that the position of the beam member 22c is the arrangement position of the wire 23 in plan view.
  • each roller conveyor unit 11, 12 is shown in Fig. 11 No. 11-16 (roller conveyor unit 11), No. 21-26 (roller conveyor unit 12), No. 31-36 (roller conveyor) Units 12) and Nos. 41 to 46 (Roller Conveyor Unit 11) are attached.
  • Each Roller Conveyor Unit 11 and 12 will be described below with specific numbers in Fig. 11-2.
  • FIG. 12 is an operation explanatory diagram when carrying out the glass substrate W having the maximum size.
  • Fig. 12-1 shows a state in which the glass substrate W is placed on a placement part (wire 23) at a certain stage. Since the glass substrate W is located on all the No. roller conveyor units, all the roller conveyor units are driven for unloading.
  • Fig. 12-2 shows the operation during transfer when the glass substrate W is also carried out with the loading / unloading force on the + X direction side
  • Fig. 12-3 shows the case when the glass substrate W is unloaded from the loading / unloading port on the X direction side. The operation in the middle of conveyance is shown.
  • the rotation direction of the rollers of the roller conveyor unit is determined according to the conveying direction.
  • the roller conveyor unit through which the glass substrate W has passed can be stopped in sequence. For example, in the case of Figure 12-2, the roller conveyor units No. 11, 21, 31, and 41 can stop driving.
  • the roller conveyor unit through which the glass substrate W has passed can be stopped in sequence.
  • FIG. 13A and FIG. 13B are operation explanatory diagrams when carrying out the glass substrates W1 and W2 having a size of 1Z2 of the glass substrate W shown in FIG. 12-1.
  • FIG. 13A shows a state in which the two glass substrates W1 and W2 are placed on a placement part (wire 23) on a certain stage, and the glass substrate W1 is on the left side of the placement part.
  • the glass substrate W2 is erected in the right half of the placement part; For this reason, the glass substrate W1 is placed on the roller conveyor units No. 11-13, No. 21-23, No. 31-33, No. 41-43, and the glass substrate W2 is No. 14-16. They are placed on the roller conveyor units of No. 24 to 26, No. 34 to 36, and No. 44 to 46;
  • glass substrates W1 and W2 are separately carried out at the + X direction side loading / unloading port and the X direction side loading / unloading port (reverse direction conveyance), and glass substrates W1 and W2 are carried out. Is roughly divided into a method of carrying out from one of the loading / unloading ports (conveyance in the same direction). Moreover, the method of carrying out the glass substrates W1 and W2 one by one (sequential conveyance) and the method of carrying out the glass substrates W1 and W2 at the same time (simultaneous conveyance) are broadly divided. These carry-out methods can be combined arbitrarily.
  • FIGS. 13-2 and 13-3 are diagrams showing an example of sequential conveyance in the reverse direction.
  • one of the glass substrates W1 and W2 is transported in either direction (+ X direction, -X direction).
  • the roller conveyor units No. 11 to 13, No. 21 to 23, No. 31 to 33, and No. 41 to 43 are selected as driving targets, and the glass substrate W1 is unloaded in the X direction.
  • the roller conveyor unit No. 14-16, No. 24-26, No. 34-36, No. 44-46 will be installed.
  • the glass substrate W2 is selected as a driving target and is carried out in the + X direction.
  • roller conveyor units No. 14 to 16, No. 24 to 26, No. 34 to 36, No. 44 to 46 and the roller conveyor unit are driven simultaneously and the rotation direction of the rollers is reversed.
  • FIGS. 13-4 and 13-5 are diagrams showing an example of sequential conveyance in the same direction.
  • the roller conveyor units No. 11 to 13, No. 21 to 23, No. 31 to 33, and No. 41 to 43 are selected as driving targets, and the glass substrate W1 is unloaded in the X direction.
  • the rollers shown in Fig. 13-5 can be used as shown in Fig. 5-5.
  • FIGS. 14A to 14C are explanatory diagrams of operations when carrying out the glass substrates W1 to W4 having a size of 1Z4 of the glass substrate W shown in FIG. 12-1.
  • FIG. 14A FIG. 14-1 shows a state where the four glass substrates W1 to W4 are placed on the stage mounting portion (wire 23) with a force, and the glass substrate W1 is the upper left half of the placement portion.
  • the glass substrate W2 is in the lower left half position of the mounting section
  • the glass substrate W3 is in the upper right half position of the mounting section
  • the glass substrate W4 is in the lower right half position of the mounting section; You are standing.
  • the glass substrate W1 is on the roller conveyor unit No. 13 to No. 13 and No.
  • glass substrate W2 is on the roller conveyor unit No. 31 to 33 and No. 41 to 43. No. 14-16, No. 24-26 on the roller conveyor unit, glass substrate W4 No. 34-36, No. 4 4-46 on the roller conveyor unit; ! /
  • FIG. 14-2 and FIG. 14-3 are diagrams showing an example of two-sheet simultaneous conveyance in reverse direction conveyance.
  • the glass substrate W1 is unloaded from the loading / unloading port in the X direction
  • the glass substrate W4 is unloaded from the loading / unloading port in the + X direction.
  • the roller conveyor units No. 11 to No. 13 and No. 21 to 23 are selected as the driving target
  • the glass substrate W1 is placed in the X direction
  • the roller conveyors No. 34 to 36 and No. 44 to 46 are selected.
  • the glass substrate W4 is unloaded in the + X direction.
  • roller composites of No. 31 to 33 and No. 41 to 43 are selected as driving targets, and the glass substrate W2 is moved in the X direction.
  • No. 24 Roller conveyor unit Nos. 24 ⁇ 26 are selected as driving targets and the glass substrate W3 is unloaded in the + X direction.
  • FIG. 14-4 is a diagram showing an example of simultaneous conveyance of four sheets by reverse conveyance.
  • all roller conveyor units are selected as driving targets, and No. 1 l-13, No. 21-23, No. 31-33, No. 41-43, No. 14-16, No. 24-26, No. 34-36, No. 44-46, and the rollers are driven to rotate in the reverse direction.
  • Glass substrates W1 and W2 carry out the loading / unloading locus on the X direction side
  • glass substrates W3 and W4 carry out loading / unloading force on the + X direction side.
  • FIG. 14B in FIG. 14B and FIG. 14 6 in FIG. 14C are diagrams showing examples of sequential conveyance in the same direction.
  • glass substrate W3 ⁇ glass substrate W4 ⁇ glass substrate Wl ⁇ glass substrate W2 is unloaded from the loading / unloading port on the + X direction side, and unloading of glass substrate W2 starts during unloading of glass substrate W1.
  • the roller conveyor units No. 14 to 16 and No. 24 to 26 are selected as driving targets, and the glass substrate W3 is unloaded.
  • roller conveyor units No. 34 to 36 and No. 44 to 46 are selected as driving targets, and the glass substrate W4 is carried out.
  • roller conveyor units No. 31 to 33 and No. 4 1 to 43 and the roller conveyor units No. 34 to 36 and No. 44 to 46 were selected as driving objects, and the glass substrate W2 is carried out.
  • FIG. 14-7 in FIG. 14C is a diagram showing an example of simultaneous conveyance of two sheets in the same direction.
  • the loading / unloading force on the + X direction side is also carried out in the order of glass substrates W3 and W4 ⁇ glass substrates W1 and W2.
  • roller conveyor units of No. 14 to 16 and No. 24 to 26 and roller conveyor units of No. 34 to 36 and No. 44 to 46 are selected as driving objects, and the glass substrate W3 and W4 is carried out at the same time.
  • all roller conveyors The knit is selected as the object to be driven, and the glass substrates Wl and W2 are carried out simultaneously.
  • FIG. 15A and FIG. 15B are operation explanatory views when carrying out the glass substrates W1 to W6 having the size of 1Z6 of the glass substrate W shown in FIG. 12-1.
  • FIG. 15A FIG. 15-1 shows a state in which the six glass substrates W1 to W6 are placed on a placement unit (wire 23) at a certain stage, and the glass substrate W1 is located at the upper left side of the placement unit.
  • the glass substrate W2 is in the middle left position of the mounting part, the glass substrate W3 is in the lower left position of the mounting part, the glass substrate W4 is in the upper right position of the mounting part, and the glass substrate W5 Is positioned at the middle right position of the mounting section, and the glass substrate W6 is positioned at the lower right position of the mounting section.
  • the glass substrate W1 is placed on the roller conveyor unit of No. 11 to 13, the glass substrate W 2 to No. 21 to 23, and the roller conveyor unit of 31 to 33, and the glass substrate W3i to No. 41 to On the 43 roller conveyor units, the glass substrate W4 is No. 14 to 16 on the roller conveyor unit, the glass substrate W5 is No. 24 to 26, on the 34 to 36 roller conveyor unit, and the glass substrate W6 is No. Fl ⁇ stands on each of the roller conveyor units 44 ⁇ 46.
  • FIG. 15-2 is a diagram showing an example of simultaneous conveyance of two sheets by reverse conveyance.
  • the glass substrates W1 and W4 and the force, the glass substrates W2 and W5, and finally the glass substrates W3 and W6 are transported in the opposite direction simultaneously.
  • the roller conveyor units No. 11 to 13 and the roller conveyor units No. 14 to 16 are selected as driving targets, the glass substrate W1 is in one X direction, and the glass substrate W4 is in the + X direction. In each direction.
  • the roller conveyor units of No. 21 to 23 and No. 31 to 33 and the roller conveyor units of No. 24 to 26 and No. 34 to 36 are selected as driving targets, and the glass substrate W2 is selected.
  • FIG. 15B is a diagram showing an example of simultaneous conveyance of six sheets by reverse conveyance.
  • the glass substrates W1 to W3 are simultaneously carried out in the ⁇ X direction
  • the glass substrates W4 to W6 are carried out simultaneously in the + X direction.
  • all the roller conveyor units are selected as the driving target, and the roller components No. 11 to No. 13, No. 21 to 23, No. 31 to 33, No. 41 to 43, and No. 14 to The rollers are driven in the opposite direction by the roller conveyor units No. 16, No. 24-26, No. 34-36, No. 44-46.
  • FIG. 15-4 is a diagram showing an example of sequential conveyance in the same direction.
  • the glass substrate W4 ⁇ glass substrate W5 ⁇ glass substrate W6 ⁇ glass substrate Wl ⁇ glass substrate W2 ⁇ glass substrate W3 is taken out from the loading / unloading port on the + X direction side, and the previous glass substrate is removed. During the unloading, the next glass substrate is being unloaded.
  • roller conveyor units Nos. 14 to 16 are selected as driving targets, and the glass substrate W4 is unloaded.
  • the roller conveyor units No. 24 to 26 and No. 34 to 36 are selected as driving targets, and the glass substrate W5 is carried out.
  • the roller conveyor units No. 44 to 46 are selected as driving targets, and the glass substrate W6 is carried out.
  • No. 11 to 16 roller conveyor units are selected as driving targets, and the glass substrate W1 is carried out.
  • the roller conveyor units No. 21 to 26 and No. 31 to 36 are selected as driving targets, and the glass substrate W2 is unloaded.
  • the No. 41-46 single conveyor unit is selected as the drive target, and the glass substrate W3 is carried out.
  • FIG. 15-5 is a diagram showing an example of simultaneous conveyance of three sheets in the same direction.
  • the glass substrate W4 to 6 ⁇ glass substrate W1 to 3 are carried out in the order of the loading / unloading force on the + X direction side.
  • roller conveyor units No. 14 to 16, No. 24 to 26, No. 34 to 36, and No. 44 to 46 are selected as driving objects, and the glass substrates W4 to W6 are simultaneously conveyed.
  • all the roller conveyor units are selected as driving targets, and the glass substrates W1 to W3 are simultaneously conveyed.
  • FIG. 16 is a diagram showing an example in which glass substrates of different sizes are placed on a single stage.
  • Fig. 16-1 to Fig. 16-3 are two types, and Fig. 16-4 is three types. Indicates. [0072] In the example of Fig. 16-1, the glass substrates W1 to W3 having the size of 1Z6 of the glass substrate W shown in Fig. 12-1, and the size of 1Z4 of the glass substrate W shown in Fig. 12-1.
  • Glass substrates W4 and W6 are mixedly placed on one stage.
  • the glass substrates W1 to W3 of the size 1Z6 of the glass substrate W shown in Fig. 12-1, and the glass substrate W4 of the size of 1Z2 of the glass substrate W shown in Fig. 12-1. are mixed and placed on one stage.
  • the glass substrate W1 having the size of 1Z2 of the glass substrate W shown in Fig. 12-1, and the glass substrates W2 and W of the size of 1Z4 of the glass substrate W shown in Fig. 12-1. 3 are placed together in the first stage.
  • the glass substrate W3 of the size 1Z2 of the glass substrate W shown in Fig. 12-1 is placed in a single stage.
  • the glass substrate W1 is on the roller conveyor unit No. 11-13, and the glass substrate W2 is the roller conveyor unit No. 21-23, No. 31-33.
  • the glass substrate W3 is on the roller conveyor unit No. 41 to 43, the glass substrate W4 is No. 14 to 16, the roller conveyor unit No. 24 to 26, and the glass substrate W5 is No. 34 to 36, No. 44-46 on the roller conveyor unit; tl ⁇
  • FIG. 17-2 is a diagram showing an example of sequential conveyance in reverse direction conveyance.
  • the glass substrates W1 to W3 are sequentially conveyed in the ⁇ X direction
  • the glass substrates W4 and W5 are sequentially conveyed in the + X direction.
  • the roller conveyor units selected for driving are No. 11-13 for glass substrate W1, No. 21-23, No. 31-33 for glass substrate W2, No. 41-43 for glass substrate W3, Glass substrate W4 is No. 14-16, No. 24-26, glass Substrate W5 is No. 34-36 and No. 44-46.
  • FIG. 17-3 is a diagram showing an example of simultaneous conveyance in the reverse direction conveyance.
  • the glass substrates W1 to W3 are simultaneously conveyed in the ⁇ X direction
  • the glass substrates W4 and W5 are simultaneously conveyed in the + X direction.
  • the roller conveyor units selected for driving are No. 11-13 for glass substrate W1, No. 21-23, No. 31-33 for glass substrate W2, No. 41-43 for glass substrate W3, Glass substrate W4 is No. 14-16, No. 24-26, glass substrate W5 is No. 34-36, No. 44-46.
  • FIG. 17-4 is a diagram showing an example of sequential conveyance in the same direction.
  • the glass substrate W4 ⁇ glass substrate W5 ⁇ glass substrate W1 ⁇ glass substrate W2 ⁇ glass substrate W3 is taken out from the loading / unloading port on the + X direction side, and the next glass substrate is unloaded in the middle. The unloading of the glass substrate is started.
  • roller conveyor units Nos. 14 to 16 and 24 to 26 are selected as driving targets, and the glass substrate W4 is carried out.
  • the roller conveyor units of No. 34 to 36 and No. 44 to 46 are selected as driving targets, and the glass substrate W5 is carried out.
  • the roller conveyor units No. 11 to 16 are selected as driving targets, and the glass substrate W1 is carried out.
  • roller conveyor units No. 21 to 26 and No. 31 to 36 are selected as driving targets, and the glass substrate W2 is carried out.
  • the No. 41 to 46 roller conveyor units are selected as driving targets, and the glass substrate W3 is unloaded.
  • FIG. 17-5 is a diagram showing an example of simultaneous conveyance of two or three sheets in the same direction.
  • the glass substrates W4 and 5 ⁇ glass substrates W1 to W3 are taken out in the order of the + X-direction carrier loader.
  • roller conveyor units No. 14 to 16, No. 24 to 26, 34 to 36, and No. 44 to 46 are selected as driving targets, and the glass substrates W4 and W5 are simultaneously conveyed.
  • all the roller conveyor units are selected as driving targets, and the glass substrates W1 to W3 are simultaneously conveyed.
  • FIG. 17-6 is a diagram illustrating an example of four-sheet simultaneous conveyance in the reverse direction conveyance.
  • glass substrates W1 to W4 ⁇ glass substrate W5 are taken in the order of glass substrates W1 to 3 and W5 from the loading / unloading port on the X direction, and glass substrate W4 is unloaded from the loading / unloading port on the + X direction side.
  • No.ll-13, No.21-23, No.31-33 and No. The roller conveyor units 41 to 43 and the roller conveyor units No. 14 to 16 and Nos. 24 to 26 are selected as driving objects, and the glass substrates W1 to W4 are conveyed.
  • the roller conveyor units No. 31 to 36 and No. 41 to 46 are selected as driving targets, and the glass substrate W5 is conveyed.
  • the position on the placement unit that is the transport source of the glass substrate, and the loading / unloading port through which the glass substrate passes By selectively driving the roller conveyor units 11 and 12, glass substrates of various sizes can be carried out, and various conveying methods can be selected. Even when the glass substrate is carried into the storage cassette 20, if the size of the glass substrate, the position on the mounting portion as the transfer destination, and the carry-in / out port are determined, each roller conveyor unit 11, 12 through which the glass substrate should pass is determined. By deciding and selectively driving the decided roller conveyor units 11 and 12, glass substrates of various sizes can be carried in.
  • FIG. 18A and FIG. 18B are operation explanatory diagrams when carrying out and carrying in the glass substrate at the same time.
  • a glass substrate having a size of 1Z6 of the glass substrate W shown in FIG. 12-1 will be described as an example.
  • FIG. 18-1 shows the glass substrate on which the glass substrates W4 to W6 are placed on the placement portion and are carried out of the storage cassette 20, and the glass substrates W1 to This shows that W3 is also carried into the left half of the storage cassette 20.
  • Glass substrates W4 to W6 are placed on roller conveyor units of No. 14 to 16, No. 24 to 26, No. 34 to 36, and No. 44 to 46, respectively.
  • the glass substrates W1 to W3 are loaded on the single conveyor units No. 11 to 13, No. 21 to 23, No. 31 to 33, and No. 41 to 43, respectively.
  • FIG. 18A shows a state in which the glass substrates W4 to W6 are unloaded and the glass substrates W1 to W3 are unloaded by conveying the glass substrate in the + X direction.
  • FIG. 18A shows the state after the conveyance, and the glass substrates W4 to W6 are carried out of the storage cassette 20. Then, the glass substrates Wl to W3 are carried into the storage cassette 20.
  • Figs. 18-4 and 18-5 show other operation examples when carrying out and carrying in the glass substrate at the same time.
  • the glass substrates Wl, W2, W4 and W6 are shown in FIG. Unload the glass substrate W3 to the lower left and the glass substrate W5 to the middle right.
  • roller conveyor units are selected for drive.
  • the roller conveyor units No. 41 to 43, No. 24 to 26 and No. 34 to 36 are selected as driving targets.
  • the glass substrates Wl, W2, and W5 are transported in the ⁇ X direction, and the glass substrates W3, W4, and W6 are transported in the + X direction.
  • the glass substrates W1 and W2 are carried out in the ⁇ X direction, and the glass substrates W4 and W6 are carried out in the + X direction.
  • Glass substrates W3 and W5 are loaded into the lower left and middle right, respectively.
  • the conveying device 10 is configured by arranging a plurality of roller conveyor units 11 and 12 that are independently driven in a planar manner, and a plurality of roller composites 11 is provided. , 12 is selectively driven based on the size of the glass substrate to be transported and the position on the mounting part that is the transport source (unloading) or transport destination (loading) of the glass substrate. Different sizes of glass substrates can be loaded and unloaded. Therefore, multiple types of workpieces can be handled. In addition, a plurality of small-sized workpieces can be placed on each placement portion of the storage cassette 20 as shown in FIGS. 4-1 to 4-3, and each can be loaded and unloaded individually. The storage efficiency of the glass substrate of the storage cassette 20 can be increased.

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Abstract

　本発明のワーク搬入出システムは、方形板状のワークを略水平姿勢でその下面側から支持すると共に当該ワークを略水平方向に搬送する搬送装置と、上下方向に多段に形成され、前記搬送装置が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが略水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形成する側部と、前記搬送装置が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記搬送装置の上方に配設される収納カセットと、前記収納カセットと前記搬送装置とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、前記昇降手段による昇降動作によって前記搬送装置を前記収納カセット内に進入させ、前記搬送装置により前記載置部上の前記ワークを前記収納カセット外部へ、及び、前記収納カセット外部から前記載置部上へ、前記ワークを搬入出させる。前記搬送装置が、独立して駆動される複数の搬送部を平面的に配設して構成され、前記複数の搬送部は、搬送する前記ワークの大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部上の位置と、に基づいて選択的に駆動される。

Description

明 細 書
ワーク搬入出システム及び搬送装置
技術分野
[0001] 本発明は、ガラス基板等のワークを収納カセットから搬出或いはこれに搬入するシ ステムに関するものである。
背景技術
[0002] 薄型ディスプレイの製造に使用されるガラス基板等の方形板状のワークは、収納力 セット内に多段に収納される。そして、ワークの処理時には収納カセットから一枚ずつ 取り出されて処理装置等へ搬送され、また、処理済みのワークは再び収納カセットへ 搬入される。このような設備では、ワークを収納カセットから搬出し、また、搬入する搬 入出システムが必要となる。
[0003] この種の搬入出システムとしては、例えば、特開 2002— 167038号公報ゃ特開 20 04— 155569号公報に記載されるように、収納カセットの下方にローラコンベアを配 設し、収納カセットを昇降することで、下段側から順次ワークをローラコンベアにて収 納カセット外へ搬出し、また、搬入するものが知られている。
[0004] しかし、従来の搬入出システムでは、同じ大きさのワークしか扱えず、異なる大きさ のワークを扱うためには、システム全体の見直しが必要となる。
発明の開示
[0005] 本発明の目的は、複数種類の大きさのワークを取り扱える搬入出システム及び搬送 装置を提供することにある。
[0006] 本発明によれば、方形板状のワークを略水平姿勢でその下面側から支持すると共 に当該ワークを略水平方向に搬送する搬送手段と、上下方向に多段に形成され、前 記搬送手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが略水平姿勢で載置さ れる複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形成する側部と、前記搬送手段が通 過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記搬送手段の上方に配設される収納 カセットと、前記収納カセットと前記搬送手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手 段と、を備え、前記昇降手段による昇降動作によって前記搬送手段を前記収納カセ ット内に進入させ、前記搬送手段により前記載置部上の前記ワークを前記収納カセッ ト外部へ、及び、前記収納カセット外部から前記載置部上へ、前記ワークを搬入出さ せるワーク搬入出システムにおいて、前記搬送手段が、独立して駆動される複数の 搬送部を平面的に配設して構成され、前記複数の搬送部は、搬送する前記ワークの 大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部上の位置と、に基づい て選択的に駆動されることを特徴とするワーク搬入出システムが提供される。
[0007] 本発明のワーク搬入出システムでは、前記搬送手段が、独立して駆動される複数 の搬送部を平面的に配設して構成され、前記複数の搬送部は、搬送する前記ワーク の大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部上の位置と、に基づ いて選択的に駆動されるため、異なる大きさのワークの搬入出ができる。従って、複 数種類の大きさのワークを取り扱うことができる。また、前記収納カセットの各載置部 には、小さな大きさのワークを複数載置させ、それぞれ個別に搬入出することも可能 となり、前記収納カセットのワークの収納効率を高められる。
[0008] 本発明の好適な実施形態にお!ヽては、前記収納カセットは、前記搬入出口を形成 する前記側部に対向する他側部を有すると共に、当該他側部も前記搬入出口を形 成し、前記搬送手段は、前記側部及び前記他側部の各々の前記搬入出口を介して 前記ワークを搬送可能であり、前記複数の搬送部は、搬送する前記ワークの大きさと 、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部上の位置と、当該ワークを通過 させる前記搬入出口と、に基づいて選択的に駆動される構成を採用できる。この構成 によれば、 2つの搬入出口力もそれぞれワークの搬入出ができ、ワークの搬入出の効 率を高められる。
[0009] また、本発明の好適な実施形態においては、前記複数の搬送部は、第 1の搬送部 と、前記ワークの搬送方向と直交する方向の幅力 前記第 1の搬送部の幅が略半分 である第 2の搬送部と、を含み、前記第 1の搬送部と前記第 2の搬送部とは、前記ヮ ークの搬送方向と直交する方向に、 2つの前記第 1の搬送部の間に 2つの前記第 2 の搬送部が位置するよう配設されている構成を採用できる。この構成によれば、前記 幅について少なくとも 3種類の大きさのワークを取り扱うことができる。
[0010] また、本発明の好適な実施形態においては、前記昇降手段は前記収納カセットを 上下に昇降させ、前記搬送手段は固定して配設され、前記収納カセットは直方体形 状をなし、前記昇降手段は、前記収納カセットを挟むように前記収納カセットの互い に対向する両側部にそれぞれ配設され、前記収納カセットを片持ち支持する一対の 昇降ユニットから構成される構成を採用できる。この構成によれば、システム全体の 設置スペースをより小さくできると共に、ワークの搬入出口、前記搬送手段のスペース をより広く確保できる。
[0011] また、本発明の好適な実施形態においては、前記昇降ユニットは、互いの昇降高さ のずれを検出する検出手段を備えた構成を採用できる。この構成によれば、昇降時 に前記収納カセットが傾くことを防止し、前記収納カセットをより安定して昇降すること ができる。
[0012] また、本発明によれば、方形板状のワークを略水平姿勢でその下面側力 支持す ると共に当該ワークを略水平方向に搬送する搬送装置と、上下方向に多段に形成さ れ、前記搬送装置が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが略水平姿勢で 載置される複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形成する側部と、前記搬送装 置が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記搬送装置の上方に配設され る収納カセットと、前記収納カセットと前記搬送装置とを相対的に上下に昇降させる 昇降手段と、を備え、前記昇降手段による昇降動作によって前記搬送装置を前記収 納カセット内に進入させ、前記搬送装置により前記載置部上の前記ワークを前記収 納カセット外部へ、及び、前記収納カセット外部から前記載置部上へ、前記ワークを 搬入出させるワーク搬入出システムを構成する前記搬送装置において、独立して駆 動される複数の搬送部を平面的に配設して構成され、前記複数の搬送部は、搬送す る前記ワークの大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部上の位 置と、に基づいて選択的に駆動されることを特徴とする搬送装置が提供される。 図面の簡単な説明
[0013] [図 1]本発明の一実施形態に係るワーク搬入出システム Aを用いた、ワーク処理設備 のレイアイトを示す平面図である。
[図 2]ワーク搬入出システム Aの外観斜視図である。
[図 3]収納カセット 20の外観斜視図、及び、 1段分の載置部を示す図である。 圆 4]異なる大きさのガラス基板の載置状態を示す図である。
圆 5]昇降装置 30の外観斜視図である。
圆 6]昇降装置 30の分解斜視図である。
圆 7]搬送装置 10の外観斜視図である。
[図 8]ワーク搬入出システム Aの制御部 40の構成を示すブロック図である。
圆 9]ワーク搬入出システム Aの動作説明図である。
圆 10]ワーク搬入出システム Aの動作説明図である。
[図 11]空の収納カセット 20と搬送装置 10との平面視図、及び、各ローラコンペァュ- ット 11、 12の平面視の位置を特定する No.を示す図である。
圆 12]最大の大きさのガラス基板 Wを搬出する場合の動作説明図である。
[図 13A]ガラス基板 Wの 1Z2の大きさのガラス基板 W1及び W2を搬出する場合の動 作説明図である。
[図 13B]ガラス基板 Wの 1Z2の大きさのガラス基板 W1及び W2を搬出する場合の動 作説明図である。
圆 14A]1Z4の大きさのガラス基板 W1乃至 W4を搬出する場合の動作説明図である 圆 14B]1Z4の大きさのガラス基板 W1乃至 W4を搬出する場合の動作説明図である 圆 14C]1Z4の大きさのガラス基板 W1乃至 W4を搬出する場合の動作説明図であ る。
圆 15A]1Z6の大きさのガラス基板 W1乃至 W6を搬出する場合の動作説明図である 圆 15B]1Z6の大きさのガラス基板 W1乃至 W6を搬出する場合の動作説明図である
[図 16] 1段の載置部に異なる大きさのガラス基板を載置した例を示す図である。
[図 17A]大きさの異なるガラス基板 W1乃至 3と、 W4及び W5とを搬出する場合の動 作説明図である。
[図 17B]大きさの異なるガラス基板 W1乃至 3と、 W4及び W5とを搬出する場合の動 作説明図である。
[図 17C]大きさの異なるガラス基板 W1乃至 3と、 W4及び W5とを搬出する場合の動 作説明図である。
[図 18A]ガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合の動作説明図である。
[図 18B]ガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合の動作説明図である。
発明を実施するための最良の形態
[0014] <設備の全体構成 >
図 1は本発明の一実施形態に係るワーク搬入出システム Aを用いた、ワーク処理設 備 100のレイアイトを示す平面図である。なお、各図において X、 Yは相互に直交す る水平方向、 Zは鉛直方向を示す。ワーク処理設備 100はワークとして方形板状のガ ラス基板を処理する設備であって、ワーク搬入出システム Aと、処理装置 Bと、ベルト コンベア Cと、移載装置 Dと、を備える。本実施形態では、大きさが異なるガラス基板 Wl、 W2を同じワーク処理設備 100で扱えるものである。また、ワークとしてはガラス 基板以外のワークについても適用可能である。
[0015] ベルトコンベア Cはワーク搬入出システム Aの X方向両側にそれぞれ 2基ずっ配設 され、各ベルトコンベア Cはその走行方向が Y方向に設定された 2本の無端ベルト 1と 、無端ベルト 1が巻き回される駆動プーリを回転駆動するモータ 2と、無端ベルト 1が 巻き回される従動プーリを回転自在に支持する支持部 3と、を備え、 +Y方向、 Y 方向に無端ベルト 1の上側の部分が往復走行するように制御される。
[0016] ワーク搬入出システム Aは X方向にガラス基板を搬入出可能である。本実施形態の 場合、その X方向両側にそれぞれ 2基ずっ配設された、 2組のベルトコンベア Cのそ れぞれとの間でガラス基板を搬入出可能であり、 +X方向、 X方向の双方にガラス 基板を搬入出できる。ワーク搬入出システム Aの詳細については後述する。処理装 置 Bは本実施形態の場合、ベルトコンベア Cの X側に配設され、ベルトコンベア C により搬送されるガラス基板を受け取り、所定の処理を施した後ベルトコンベア Cへ受 け渡す。図 1では複数の処理装置 Bが図示されている力 各処理装置 Bの処理内容 は異なる内容としてもよいし、同じ内容であってもよい。
[0017] 移載装置 Dはベルトコンベア Cと、ワーク搬入出システム A又は処理装置 Bと、の間 にそれぞれ設けられ、各無端ベルト 1間又は無端ベルトとワーク搬入出システム A及 び処理装置 Bとの間に配設された複数の昇降型のローラコンベアユニット 4a、 4bと力 ら構成される。各ローラコンベアユニット 4a、 4bは後述するワーク搬入出システム Aの 搬送装置 10を構成するローラコンベアユニット 11、 12と同様の構成であって、それ ぞれ独立して制御可能であり、ローラの回転により +X方向及び X方向にガラス基 板を搬送可能なユニットであると共に、不図示の昇降装置により Z方向に昇降可能な ユニットである。ワーク搬入出システム A又は処理装置 B力もベルトコンベア Cへガラ ス基板を移載する場合、移載装置 Dは上昇してガラス基板を +X方向又は—X方向 に搬送し、その後、降下して無端ベルト 1上へガラス基板を載置する。その後、ベルト コンベア Cを作動して無端ベルト 1を走行させ、ガラス基板が搬送される。また、ベルト コンベア Cカゝらワーク搬入出システム A又は処理装置 Bへガラス基板を移載する場合 、移載装置 Dは上昇して無端ベルト 1上のガラス基板を持ち上げ、その後、ワーク搬 入出システム A又は処理装置 Bへ +X方向又は—X方向にガラス基板を搬送する。
[0018] 係る構成からなるワーク処理設備 100では、未処理のガラス基板がワーク搬入出シ ステム Aから移載装置 D及びベルトコンベア Cを介して処理装置 Bへ搬送され、また、 処理済のガラス基板が処理装置 B力ゝら移載装置 D及びベルトコンベア Cを介してヮー ク搬入出システム Aへ戻されることになる。
[0019] <ワーク搬入出システム Aの構成 >
図 2はワーク搬入出システム Aの外観斜視図である。ワーク搬入出システム Aは、搬 送装置 10と、搬送装置 10の上方に配設される収納カセット 20と、昇降装置 30と、を 備える。
[0020] <収納カセット >
図 3において、図 3—1は収納カセット 20の外観斜視図である。収納カセット 20はガ ラス基板を上下方向（Z方向）に多段に収納可能なカセットである。なお、図 2及び図 3—1はガラス基板が未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット 2 0は複数の柱部材 21a、 21bと、梁部材 22a乃至 22gと、により略直方体形状のフレ ーム体をなしている。
[0021] 柱部材 21bは、 X方向に複数配設されると共に、 Y方向に離間して同数配設され、 Y方向の各柱部材 21b間には上下方向（Z方向）に所定のピッチで複数のワイヤ 23 が張設されている。このワイヤ 23によりガラス基板が略水平姿勢で載置される載置部 が上下方向に複数段形成される。図 3— 2は 1段分の載置部を示す図である。各段の 載置部は、同じ高さにて X方向に離間して複数配設されたワイヤ 23により形成される 。各ワイヤ 23間と、 X方向両端のワイヤ 23の外方とは、それぞれ後述する搬送装置 1 0が通過可能な開口部 23aを形成する。本実施形態では載置部をワイヤにより形成 したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される 基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット 200の収納効率を高めることがで きる。
[0022] 図 3において、図 3— 2は収納カセット 20が収納可能な最大の大きさのガラス基板 W (破線にて示す。）がワイヤ 23上に載置されている態様を示すが、本実施形態では 、 1段の載置部につき複数種類のガラス基板が載置可能である。図 4は異なる大きさ のガラス基板の載置状態を示す図である。図 4 1は図 3— 2の 1Z2の大きさのガラ ス基板 Wが載置された状態を示しており、各ガラス基板 Wは 2本のワイヤ 23上に載置 されて!/、る。図 4— 2は図 3— 2の 1Z4の大きさのガラス基板 Wが載置された状態を 示しており、各ガラス基板 Wは 2本のワイヤ 23上に載置されている。図 4— 3は図 3— 2の 1Z6の大きさのガラス基板 Wが載置された状態を示しており、各ガラス基板 Wは 2本のワイヤ 23上に載置されて!、る。
[0023] 図 3— 1に戻り、収納カセット 20の互いに対向する X方向の両側部は、それぞれ張 り部材 22aと柱部材 21aとにより門型に開放してガラス基板の搬入出口 24を形成して いる。本実施形態では収納カセット 20の X方向の両側部を搬入出口 24とし、各々の 搬入出口を介してガラス基板を搬送可能としているが、いずれか一方の側部のみ搬 入出口とすることも可能である。尤も、収納カセット 20が 2つの搬入出口を有すること で、それぞれの搬入出口カゝらガラス基板の搬入出ができ、ガラス基板の搬入出の効 率を高められる。次に、収納カセット 20の底部は、一対の梁部材 22d、複数の梁部材 22b及び一つの梁部材 22fにより構成されており、これらの間が後述する搬送装置 1 0が通過可能な進入口 25を形成して 、る。
[0024] <昇降装置 > 図 5は昇降装置 30の外観斜視図、図 6は昇降装置 30の分解斜視図である。昇降 装置 30は収納カセット 20と搬送装置 10とを相対的に上下に昇降させる装置である。 本実施形態では搬送装置 10を固定とし、収納カセット 20を昇降させるが、収納カセ ット 20を固定とし、搬送装置 10を昇降させる構成も採用できる。
[0025] 本実施形態の場合、昇降装置 30は収納カセット 20を挟むように収納カセット 20の 互いに対向する Y方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット 20を片持ち支持 する一対の昇降ユニット 31から構成される。この構成によれば、昇降ユニット 31をより 薄型化でき、ワーク搬入出システム A全体の設置スペースをより小さくできる。また、 ガラス基板の搬入出口、搬送装置 10のスペースをより広く確保できる。
[0026] 昇降ユニット 31は、収納カセット 20の底部の梁部材 22dが載置されるビーム部材 3 11を備える。各昇降ユニット 31の各ビーム部材 311が同期的に上下方向（Z方向）に 移動することで収納カセット 20が昇降される。昇降ユニット 31は上下方向に延びる支 柱 312を備え、支柱 312の内側表面には上下方向に延びる一対のレール部材 313 及びラック 314が固定されている。各昇降ユニット 31間には、支柱 312の上端に梁部 材 32が架設されている。
[0027] ビーム部材 311は支持板 315の一側面にブラケット 315aを介して固定されて支持 される。支持板 315の他側面にはレール部材 313に沿って移動可能な 4つのスライド 部材 316が固定され、ビーム部材 311及び支持板 315はレール部材 313の案内に より上下に移動する。駆動ユニット 317はモータ 317aと減速機 317bとから構成され ており、支持板 318の一側面に固定されて支持されている。減速機 317bの出力軸 は支持板 318を貫通して支持板 318の他側面に配設されたピニオン 319aに接続さ れている。
[0028] 支持板 315と支持板 318とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板 315と 支持板 318との空隙にはピ-オン 319b乃至 319dが配設されて!/、る。ピ-オン 319b 乃至 319dは支持板 315と支持板 318との間で回転可能に軸支され、ピ-オン 319b 及びピ-オン 319dは、ピ-オン 419aの回転に従動して回転する。ピ-オン 319cは ピ-オン 319bの回転に従動して回転する。ピ-オン 319b乃至 319dは相互に同じ 仕様のピ-オンであり、 2つのピ-オン 319c及び 319dは各ラック 314と嚙み合って いる。
[0029] しかして、駆動ユニット 317を駆動するとピ-オン 319aが回転し、その駆動力により 、駆動ユニット 317、支持板 315及び 318、スライド部材 316、及び、ビーム部材 311 がー体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材 311上に載置された 収納カセット 20を昇降することができる。各昇降ユニット 31には、互いのビーム部材 3 11の昇降高さのずれを検出するセンサ 31 laがビーム部材 311の端部に設けられて いる。
[0030] センサ 31 laは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図 5に示すように 相互に光を Y方向に照射してこれを受光した力否かを判定する。受光した場合は互 V、のビーム部材 311の昇降高さのずれがな 、ことになり、受光しな!、場合は昇降高さ にずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ 31 laで検出されると、モータ 317 aの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ 311aを設けてビーム部材 31 1の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット 20が傾くことを防止し、 収納カセット 20をより安定して昇降することができる。
[0031] なお、各ビーム部材 311に設けられる 2つのセンサ 31 laは、その一方が発光部と 受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成と してもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。
[0032] <搬送装置 >
図 7は搬送装置 10の外観斜視図である。本実施形態において搬送装置 10は独立 して駆動される搬送部を構成する複数のローラコンベアユニット 11、 12が X— Y平面 上において平面的に配設して構成されている。本実施形態ではローラコンベア方式 を採用する力 他の搬送方式、例えば、ベルトコンベア方式でもよい。各ローラコンペ ァュニット 11、 12は、それぞれ馬区動ボックス 11 a、 12aと、軸受ノ ネノレ l lb、 12bと、 駆動ボックス l la、 12aと軸受パネル l lb、 12bとの間で回転自在に支持された複数 のローラ l lc、 12cと、を備える。各ローラ l lc、 12cは軸部と円盤部とから構成されて おり、その軸方向がガラス基板の搬送方向 (X方向）に直交する Y方向に設定され、 Y 方向の軸芯回りに正転、逆転される。
[0033] 各ローラ l lc、 12cの円盤部の上面はガラス基板を搬送する搬送面を形成し、ガラ ス基板を略水平姿勢でその下面側力 支持すると共にその回転によりガラス基板を 略水平方向（本実施形態では +X方向、—X方向）に搬送する。駆動ボックス l la、 1 2aには不図示のモータと、該モータの駆動力を各ローラ l lc、 12cに伝達する動力 伝達機構が内蔵される。また、駆動ボックス l la、 12aの上面の X方向両端部にはガ ラス基板を検出するセンサ 11a'、 12a'が設けられている。センサ 11a'、 12a'は例え ば反射型の光センサであり、センサ 11a'、 12a'によるガラス基板の検出結果に応じ てこれを契機として、ローラ l lc、 12cの回転が開始又は停止される。
[0034] 各ローラコンベアユニット 11、 12は、それぞれ収納ボックス 20と干渉しないように適 宜空隙を設けて配設されており、昇降装置 30による収納ボックス 20の降下により、収 納ボックス 20の進入口 25から収納ボックス 20内に進入し、また、ワイヤ 23により形成 される各載置部の開口部 23aを通過して搬送対象となる段の載置部へ到達する。
[0035] また、ローラコンベアユニット 12は、ガラス基板の搬送方向（X方向）と直交する Y方 向の幅が、ローラコンベアユニット 11の Y方向の幅の略半分に設定され、ローラコン ベアユニット 11とローラコンベアユニット 12とは、ガラス基板の搬送方向（X方向）と直 交する Y方向に、 2つのローラコンベアユニット 11の間に 2つのローラコンベアュ-ッ ト 12が位置するよう配設されている。 +Y方向に見ると、ローラコンベアユニット 11→ ローラコンベアユニット 12 ローラコンベアユニット 12 ローラコンベアユニット 11と いう配列である。
[0036] これにより、図 3— 2及び図 4 1乃至図 4 3に示したように、 Y方向の幅が異なる 各種の大きさのガラス基板を一つの搬送装置 10で搬送することができ、少なくとも 3 種類の Y方向の幅のワークを取り扱うことができる。つまり、全てのローラコンペァュ- ット 11、 12を駆動すれば、図 3— 2や図 4—1に示す Y方向の幅のガラス基板が搬送 できる。次に、 Y方向に 2つに分割して、ローラコンベアユニット 11及び 12の 2つの組 合せでそれぞれ独立して駆動すれば、図 4— 2に示す Y方向の幅のガラス基板が個 別に搬送できる。
[0037] 更に、 Y方向に 3つに分割して、ローラコンベアユニット 11と、 2つのローラコンベア ユニット 12と、ローラコンベアユニット 11と、でそれぞれ独立して駆動すれば、図 4— 3に示す Y方向の幅のガラス基板が個別に搬送できる。また、ガラス基板に接触する ローラの数が同じとなり、均等な搬送力で各ガラス基板を搬送することができ、各ガラ ス基板を安定して搬送できる。
[0038] <制御部 >
図 8はワーク搬入出システム Aの制御部 40の構成を示すブロック図である。制御部 40はワーク搬入出システム Aの全体の制御を司る CPU41と、 CPU41のワークエリ ァを提供すると共に、可変データ等が記憶される RAM42と、制御プログラム、制御 データ等の固定的なデータが記憶される ROM43と、を備える。 RAM42、 ROM43 は他の記憶手段を採用可能である。
[0039] 入力インターフェース（IZF) 44は、 CPU41と各種のセンサ（センサ 311a、 l la，、 12a，）とのインターフェースであり、入力 I/F44を介して CPU41は各種のセンサの 検出結果を取得する。
[0040] 出力インターフェース（IZF) 45は、 CPU41と各種のモータ（モータ 317a、駆動ボ ックス 11a及び 12a内のモータ）とのインターフェースであり、出力 I/F45を介して CP U41は各種のモータを制御する。
[0041] ここで、ローラコンベアユニット 11、 12のローラ l lc、 12cの回転速度制御、つまり、 駆動ボックス 11a及び 12a内のモータの回転速度制御は、インバータ制御やサーボ 制御を採用できる。インバータ制御やサーボ制御を採用することで、各モータの回転 速度を微調整することが可能であり、各ローラコンベアユニット 11、 12の機械的誤差 を制御により補正することができる。これにより、ローラコンベアユニット 11、 12のロー ラ l lc、 12cの回転速度をより正確に同期制御することができる。
[0042] また、昇降ユニット 31のモータ 317aの回転速度制御も、インバータ制御やサーボ 制御が採用できる。一対の昇降ユニット 31は収納カセット 20の各載置部に対応した 複数の停止位置に対して頻繁に同期的に停止、移動を繰り返す同期制御が要求さ れるため、特に空間上の連続した線に沿って移動する制御方法 (いわゆる CP (Conti nuous Path)制御）を採用することが望ましい。なお、本実施形態では昇降ユニット 31 の駆動源としてモータを用いて 、るが、油圧又は空気圧等の流体圧で作動するァク チユエータを用いることもできる。
[0043] 通信インターフェース（IZF) 46はワーク処理設備 100全体を制御するホストコンビ ユータ 5と CPU41とのインターフェースであり、 CPU41はホストコンピュータ 5からの 指令に応じてワーク搬入出システム Aを制御することになる。
[0044] <ワーク搬入出システム Aの動作 >
ワーク搬入出システム Aによるガラス基板の搬入出動作にっ 、て説明する。まず、 昇降装置 30による収納カセット 20の昇降動作と、昇降動作に伴う搬送装置 10による ガラス基板の搬入出動作について説明する。本実施形態では昇降装置 30による昇 降動作によって搬送装置 10を収納カセット 20内に進入させ、搬送装置 10により載置 部上（つまり、各段のワイヤ 23上）のガラス基板を収納カセット 20外部へ、及び、収納 カセット 20外部力 載置部上へガラス基板を搬入出させる。図 9— 1及び図 10はヮー ク搬入出システム Aの動作説明図である。ここでは、ガラス基板の搬出動作について 説明するが、搬入動作については概ねその逆の手順となる。
[0045] 図 9 1は収納カセット 20が搬送装置 10の上方に位置しており、未だ搬送装置 10 が収納カセット 20内に進入していない状態を示す。収納カセット 20の各段にはガラ ス基板 Wが載置されている。ガラス基板 Wは、より下段のものカゝら搬出される。図 9— 1の状態の場合、最下段のガラス基板 Wが最初に搬出される。
[0046] そこで、昇降装置 30により収納カセット 20を図 9— 2に示すように降下させて搬送 装置 10を収納カセット 20内に進入させ、搬送装置 10の搬送面が最下段の載置部よ り若干高い位置に位置するようにする。これにより、最下段のガラス基板は最下段の 載置部から搬送装置 10により持ち上げられて搬送装置 10上に載置されることになる 。その後、搬送装置 10のローラ l lc、 12cを回転させてガラス基板を略水平姿勢で 搬送する。図 9— 3はガラス基板を +X方向に、図 9— 4はガラス基板を— X方向に、 搬出する途中の態様を示す。
[0047] 同様の手順により、各段単位で収納カセット 20の降下、ガラス基板の搬出を繰り返 す。図 10— 1は収納カセット 20の降下、ガラス基板の搬出が繰り返されて、収納カセ ット 20の中程の位置に搬送装置 10が進入するまで収納カセット 20が降下された態 様を示し、図 10— 2は図 10— 1の位置にてガラス基板を— X方向に搬出する途中の 態様を示す。
[0048] また、図 10— 3は収納カセット 20の降下、ガラス基板の搬出が更に繰り返されて、 収納カセット 20の上方の位置に搬送装置 10が進入するまで収納カセット 20が降下 された態様を示し、図 10— 4は図 10— 3の位置にてガラス基板を +X方向に搬出す る途中の態様を示す。こうして最上段のガラス基板まで搬出されることになる。空の収 納カセット 20にガラス基板を搬入する場合は、最上段の載置部から順にガラス基板 が搬入され、収納カセット 20は順次上昇させることになる。
[0049] 次に、大きさの異なる各種のガラス基板の搬入出時の動作について説明する。本 実施形態では、搬送するガラス基板の大きさと、当該ガラス基板の搬送元 (搬出時） 又は搬送先 (搬入時)である載置部上の位置と、当該ガラス基板を通過させる搬入出 口と、に基づいて、各ローラコンベアユニット 11、 12が選択的に駆動される。なお、搬 入出口を 1箇所とした場合は搬送するガラス基板の大きさと、当該ガラス基板の搬送 元 (搬出時)又は搬送先 (搬入時)である載置部上の位置と、に基づいて、各ローラコ ンベアユニット 11、 12が選択的に駆動される。
[0050] ここでは、ガラス基板の搬出動作について説明するが、搬入動作については概ね その逆の手順となる。図 11において、図 11—1は空の収納カセット 20と搬送装置 10 との平面視図である。なお、梁部材 22cの位置が平面視でのワイヤ 23の配設位置で ある。説明の便宜上、各ローラコンベアユニット 11、 12に図 11 2のように No. 11〜 16 (ローラコンベアユニット 11)、 No. 21〜26 (ローラコンベアユニット 12)、 No. 31 〜36 (ローラコンベアユニット 12)、 No. 41〜46 (ローラコンベアユニット 11)を付し、 以下、各ローラコンベアユニット 11、 12を図 11— 2の No.にて特定して説明する。
[0051] 図 12は最大の大きさのガラス基板 Wを搬出する場合の動作説明図である。図 12— 1はガラス基板 Wが、ある段の載置部（ワイヤ 23)上に載置されている状態を示す。ガ ラス基板 Wは全ての No.のローラコンベアユニット上に位置しているため、その搬出 には全てのローラコンベアユニットが駆動対象となる。図 12— 2はガラス基板 Wを +X 方向側の搬入出口力も搬出する場合の搬送途中の動作を示し、図 12— 3はガラス 基板 Wを X方向側の搬入出口カゝら搬出する場合の搬送途中の動作を示す。搬送 方向に応じてローラコンベアユニットのローラの回転方向が決まる。ガラス基板 Wが 通過したローラコンベアユニットは順次その駆動を停止することができる。例えば、図 12— 2の場合、 No. 11、 21、 31及び 41のローラコンベアユニットは駆動を停止でき る。
[0052] 図 13A及び図 13Bは図 12— 1に示したガラス基板 Wの 1Z2の大きさのガラス基板 W1及び W2を搬出する場合の動作説明図である。図 13Aにおいて、図 13—1は 2 枚のガラス基板 W1及び W2が、ある段の載置部（ワイヤ 23)上に載置されている状 態を示し、ガラス基板 W1が載置部の左半分の位置に、ガラス基板 W2が載置部の右 半分の位置に、それぞ; ^立置している。そして、このため、ガラス基板 W1は No. 11 〜13、No. 21〜23、No. 31〜33、 No. 41〜43のローラコンベアユニット上に、ガ ラス基板 W2は No. 14〜16、 No. 24〜26、 No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコ ンベアユニット上に、それぞ; ^立置している。
[0053] 搬出の方式としては、ガラス基板 W1及び W2を +X方向側の搬入出口と X方向 側の搬入出口とでそれぞれ別々に搬出する方式 (逆方向搬送)と、ガラス基板 W1及 び W2を 、ずれか一方の搬入出口から搬出する方式（同方向搬送）と、に大別される 。また、ガラス基板 W1及び W2を 1枚ずつ搬出する方式 (逐次搬送)と、ガラス基板 W 1及び W2を同時に搬出する方式（同時搬送）と、〖こも大別される。これらの搬出方式 は任意に組合せられる。
[0054] 図 13Aにおいて、図 13— 2及び図 13— 3は逆方向搬送で逐次搬送の例を示す図 である。この場合、まず、いずれかのガラス基板 W1及び W2をいずれかの方向（+X 方向、—X方向）に搬送する。図 13— 2の例では No. l l〜13、No. 21〜23、 No. 31〜33、 No. 41〜43のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス 基板 W1が X方向に搬出されて 、る。ガラス基板 W1の搬出が終わると図 13— 3の ί列【こ示すよう【こ、 No. 14〜16、No. 24〜26、No. 34〜36、 No. 44〜46のローラ コンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板 W2が +X方向に搬出される 。同時搬送とする場合は、 No. l l〜13、No. 21〜23、No. 31〜33、 No. 41〜4 3のローラコンベアユニットと、 No. 14〜16、 No. 24〜26、 No. 34〜36、 No. 44 〜46のローラコンベアユニットと、を同時に駆動し、かつ、ローラの回転方向を逆に すること〖こなる。
[0055] 図 13Bにおいて、図 13— 4及び図 13— 5は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図 である。この場合、まず、いずれかのガラス基板 W1及び W2をいずれかの方向（+X 方向、—X方向）に搬送する。図 13— 4の例では No. l l〜13、No. 21〜23、 No. 31〜33、 No. 41〜43のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス 基板 W1が X方向に搬出されて 、る。ガラス基板 W1の搬出が終わると図 13— 5の ί列【こ示すよう【こ、 No. 14〜16、No. 24〜26、No. 34〜36、 No. 44〜46のローラ コンベアユニットと、 No. l l〜13、No. 21〜23、No. 31〜33、 No. 41〜43の口 一ラコンベアユニットと、力 つまり全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選 択されてガラス基板 W2も X方向に搬出される。同時搬送とする場合は、 No. 11〜 13、 No. 21〜23、No. 31〜33、 No. 41〜43のローラコンベアユニットと、 No. 14 〜16、 No. 24〜26、 No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコンベアユニットと、を同 時に駆動し、かつ、ローラの回転方向を同じにすることになる。
[0056] 図 14A乃至図 14Cは図 12— 1に示したガラス基板 Wの 1Z4の大きさのガラス基板 W1乃至 W4を搬出する場合の動作説明図である。図 14Aにおいて、図 14— 1は 4 枚のガラス基板 W1乃至 W4力 ある段の載置部（ワイヤ 23)上に載置されている状 態を示し、ガラス基板 W1が載置部の左上半分の位置に、ガラス基板 W2が載置部の 左下半分の位置に、ガラス基板 W3が載置部の右上半分の位置に、ガラス基板 W4 が載置部の右下半分の位置に、それぞ; ^立置している。そして、ガラス基板 W1は N o. l l〜13、No. 21〜23のローラコンベアユニット上に、ガラス基板 W2は No. 31 〜33、 No. 41〜43のローラコンベアユニット上に、ガラス基板 W3は No. 14〜16、 No. 24〜26のローラコンベアユニット上に、ガラス基板 W4は No. 34〜36、 No. 4 4〜46のローラコンベアユニット上に、それぞ; ^立置して!/、る。
[0057] 搬出の方式としては、上述した逆方向搬送、同方向搬送、逐次搬送、同時搬送が ある。同時搬送は更に、 4枚全てを同時に搬送する場合と、 2枚又は 3枚を同時に搬 送する場合に分類される。
[0058] 図 14Aにおいて、図 14— 2及び図 14— 3は逆方向搬送で 2枚同時搬送の例を示 す図である。この例の場合、まず、図 14— 2に示すようにガラス基板 W1が一 X方向 の搬入出口から、ガラス基板 W4が +X方向の搬入出口から、それぞれ搬出される。 このため、 No. l l〜13、No. 21〜23のローラコンベアユニットが駆動対象として選 択されてガラス基板 W1が一 X方向に、また、 No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコ ンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板 W4が +X方向に、それぞれ 搬出されている。
[0059] 続いて、図 14— 3に示すように、 No. 31〜33、 No. 41〜43のローラコンペァュ- ットが駆動対象として選択されてガラス基板 W2が一 X方向に、 No. 14〜16、No. 2 4〜26のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板 W3が +X方 向に、それぞれ搬出される。
[0060] 図 14Bにおいて、図 14— 4は逆方向搬送で 4枚同時搬送の例を示す図である。こ の例の場合、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、かつ、 No. 1 l〜13、No. 21〜23、No. 31〜33、 No. 41〜43のローラコンベアユニットと、 No . 14〜16、 No. 24〜26、 No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコンベアユニットと、 でローラが逆方向に回転駆動される。ガラス基板 W1及び W2は X方向側の搬入出 ロカも搬出され、ガラス基板 W3及び W4は +X方向側の搬入出口力も搬出される。
[0061] 図 14Bの図 14 5及び図 14Cの図 14 6は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図 である。この例の場合、ガラス基板 W3→ガラス基板 W4→ガラス基板 Wl→ガラス基 板 W2の順に +X方向側の搬入出口カゝら搬出し、ガラス基板 W1の搬出途中でガラス 基板 W2の搬出が開始されている。そして、まず、 No. 14〜16、 No. 24〜26のロー ラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W3が搬出される。次に、 N o. 34〜36、 No. 44〜46のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラ ス基板 W4が搬出される。続いて、 No. l l〜13、No. 21〜23のローラコンペァュ- ットと、 No. 14〜16、 No. 24〜26のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選 択され、ガラス基板 W1が搬出される。その搬出途中で、更に、 No. 31〜33、 No. 4 1〜43のローラコンベアユニットと、 No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコンベアュ ニットと、が駆動対象として選択され、ガラス基板 W2が搬出される。
[0062] 図 14Cの図 14— 7は同方向搬送で 2枚同時搬送の例を示す図である。この例の場 合、ガラス基板 W3及び W4→ガラス基板 W1及び W2の順に +X方向側の搬入出口 力も搬出している。そして、まず、 No. 14〜16、No. 24〜26のローラコンベアュ-ッ トと、 No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択 され、ガラス基板 W3及び W4が同時に搬出される。続いて、全てのローラコンベアュ ニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 Wl及び W2が同時に搬出される。
[0063] 図 15A及び図 15Bは図 12—1に示したガラス基板 Wの 1Z6の大きさのガラス基板 W1乃至 W6を搬出する場合の動作説明図である。図 15Aにおいて、図 15— 1は 6 枚のガラス基板 W1乃至 W6が、ある段の載置部（ワイヤ 23)上に載置されている状 態を示し、ガラス基板 W1が載置部の左上段の位置に、ガラス基板 W2が載置部の左 中段の位置に、ガラス基板 W3が載置部の左下段の位置に、ガラス基板 W4が載置 部の右上段の位置に、ガラス基板 W5が載置部の右中段の位置に、ガラス基板 W6 が載置部の右下段の位置に、それぞれ位置している。
[0064] そして、ガラス基板 W1は No. 11〜13のローラコンベアユニット上に、ガラス基板 W 2ίま No. 21〜23、 31〜33のローラコンベアユニット上に、ガラス基板 W3iま No. 41 〜43のローラコンベアユニット上に、ガラス基板 W4は No. 14〜16のローラコンベア ユニット上に、ガラス基板 W5は No. 24〜26、 34〜36のローラコンベアユニット上に 、ガラス基板 W6は No. 44〜46のローラコンベアユニット上に、それぞ; fl^立置してい る。
[0065] 搬出の方式としては、上述した逆方向搬送、同方向搬送、逐次搬送、同時搬送が ある。同時搬送は更に、 6枚全てを同時に搬送する場合と、 2枚乃至 5枚を同時に搬 送する場合に分類される。
[0066] 図 15Aにおいて、図 15— 2は逆方向搬送で 2枚同時搬送の例を示す図である。こ の例の場合、まず、ガラス基板 W1と W4と力 次にガラス基板 W2と W5とが、最後に ガラス基板 W3と W6とが、それぞれ 2枚同時に逆方向に搬送される。このため、まず 、No. 11〜13のローラコンベアユニットと、 No. 14〜16のローラコンベアユニットと、 が駆動対象として選択されてガラス基板 W1が一 X方向に、ガラス基板 W4が +X方 向に、それぞれ搬出される。次に、 No. 21〜23及び No. 31〜33のローラコンベア ユニットと、 No. 24〜26及び No. 34〜36のローラコンベアユニットと、が駆動対象と して選択されてガラス基板 W2が— X方向に、ガラス基板 W5が +X方向に、それぞ れ搬出される。最後に、 No. 41〜43のローラコンベアユニットと、 No. 44〜46の口 一ラコンベアユニットと、が駆動対象として選択されてガラス基板 W3がー X方向に、 ガラス基板 W6が +X方向に、それぞれ搬出される。 [0067] 図 15Bにおいて、図 15— 3は逆方向搬送で 6枚同時搬送の例を示す図である。こ の例の場合、ガラス基板 W1乃至 W3がー X方向に、ガラス基板 W4乃至 W6が +X方 向に同時に搬出される。このため、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選 択されて、 No. l l〜13、No. 21〜23、No. 31〜33、 No. 41〜43のローラコンペ ァュニットと、 No. 14〜16、 No. 24〜26、 No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコン ベアユニットと、でローラが逆方向に回転駆動される。
[0068] 図 15Bにおいて、図 15— 4は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この例 の場合、ガラス基板 W4→ガラス基板 W5→ガラス基板 W6→ガラス基板 Wl→ガラス 基板 W2→ガラス基板 W3の順に +X方向側の搬入出口カゝら搬出し、一つ前のガラス 基板の搬出途中で次のガラス基板の搬出が開始されている。
[0069] そして、まず、 No. 14〜16のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガ ラス基板 W4が搬出される。次に、 No. 24〜26及び No. 34〜36のローラコンベア ユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W5が搬出される。次に、 No. 44〜4 6のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W6が搬出される。 続いて、 No. 11〜16のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基 板 W1が搬出される。次に、 No. 21〜26及び No. 31〜36のローラコンベアユニット が駆動対象として選択され、ガラス基板 W2が搬出される。最後に、 No. 41〜46の口 一ラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W3が搬出される。
[0070] 図 15Bにおいて、図 15— 5は同方向搬送で 3枚同時搬送の例を示す図である。こ の例の場合、ガラス基板 W4乃至 6→ガラス基板 W1乃至 3の順に +X方向側の搬入 出口力ら搬出して ヽる。そして、まず、 No. 14〜16、No. 24〜26、No. 34〜36、 No. 44〜46のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W4乃 至 W6が同時に搬送される。続いて、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として 選択され、ガラス基板 W1乃至 W3が同時に搬送される。
[0071] 次に、上記各例では、 1段の載置部につき同じ大きさのガラス基板を搬出する例を 示したが、 1段の載置部につき異なる大きさのガラス基板を載置し、それぞれ搬出す ることもできる。図 16は 1段の載置部に異なる大きさのガラス基板を載置した例を示 す図であり、図 16— 1乃至図 16— 3は 2種類、図 16— 4は 3種類の場合を示す。 [0072] 図 16— 1の例では、図 12—1に示したガラス基板 Wの 1Z6の大きさのガラス基板 W1乃至 W3と、図 12— 1に示したガラス基板 Wの 1Z4の大きさのガラス基板 W4及 び W6が 1段の載置部に混在して載置されている。図 16— 2の例では、図 12— 1に 示したガラス基板 Wの 1Z6の大きさのガラス基板 W1乃至 W3と、図 12— 1に示した ガラス基板 Wの 1Z2の大きさのガラス基板 W4が 1段の載置部に混在して載置され ている。図 16— 3の例では、図 12— 1に示したガラス基板 Wの 1Z2の大きさのガラス 基板 W1と、図 12— 1に示したガラス基板 Wの 1Z4の大きさのガラス基板 W2及び W 3が 1段の載置部に混在して載置されている。図 16— 4の例では、図 12— 1に示した ガラス基板 Wの 1Z6の大きさのガラス基板 W1と、図 12— 1に示したガラス基板 Wの 1Z4の大きさのガラス基板 W2と、図 12—1に示したガラス基板 Wの 1Z2の大きさの ガラス基板 W3が 1段の載置部に混在して載置されている。
[0073] このように 1段の載置部につき異なる大きさのガラス基板を載置した場合の搬出動 作について、図 17A乃至図 17Cを参照して説明する。ここでは図 16—1の場合を例 に挙げて説明する。
[0074] 図 17Aにおいて、図 17— 1に示すようにガラス基板 W1は No. 11〜13のローラコ ンベアユニット上に、ガラス基板 W2は No. 21〜23、 No. 31〜33のローラコンベア ユニット上に、ガラス基板 W3は No. 41〜43のローラコンベアユニット上に、ガラス基 板 W4は No. 14〜16、 No. 24〜26のローラコンベアユニット上に、ガラス基板 W5 は No. 34〜36、No. 44〜46のローラコンベアユニット上に、それぞ; tl^立置している
[0075] 搬出の方式としては、上述した逆方向搬送、同方向搬送、逐次搬送、同時搬送が ある。同時搬送は更に、 5枚全てを同時に搬送する場合と、 2枚乃至 4枚を同時に搬 送する場合に分類される。
[0076] 図 17Aにおいて、図 17— 2は逆方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この例 の場合、ガラス基板 W1乃至 W3がー X方向に逐次搬送され、ガラス基板 W4及び W 5が +X方向に逐次搬送される。駆動対象として選択されるローラコンベアユニットは 、ガラス基板 W1は No. 11〜13、ガラス基板 W2は No. 21〜23、 No. 31〜33、ガ ラス基板 W3は No. 41〜43、ガラス基板 W4は No. 14〜16、 No. 24〜26、ガラス 基板 W5は No. 34〜36、 No. 44〜46である。
[0077] 図 17Bにおいて、図 17— 3は逆方向搬送で同時搬送の例を示す図である。この例 の場合、ガラス基板 W1乃至 W3がー X方向に同時搬送され、ガラス基板 W4及び W 5が +X方向に同時搬送される。駆動対象として選択されるローラコンベアユニットは 、ガラス基板 W1は No. 11〜13、ガラス基板 W2は No. 21〜23、 No. 31〜33、ガ ラス基板 W3は No. 41〜43、ガラス基板 W4は No. 14〜16、 No. 24〜26、ガラス 基板 W5は No. 34〜36、 No. 44〜46である。
[0078] 図 17Bにおいて、図 17— 4は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この例 の場合、ガラス基板 W4→ガラス基板 W5→ガラス基板 W1→ガラス基板 W2→ガラス 基板 W3の順に +X方向側の搬入出口カゝら搬出し、一つ前のガラス基板の搬出途中 で次のガラス基板の搬出が開始されて 、る。
[0079] そして、まず、 No. 14〜16及び 24〜26のローラコンベアユニットが駆動対象とし て選択され、ガラス基板 W4が搬出される。次に、 No. 34〜36及び No. 44〜46の ローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W5が搬出される。続 いて、 No. 11〜16のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W1が搬出される。次に、 No. 21〜26及び No. 31〜36のローラコンベアユニットが 駆動対象として選択され、ガラス基板 W2が搬出される。最後に、 No. 41〜46のロー ラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W3が搬出される。
[0080] 図 17Cにおいて、図 17— 5は同方向搬送で 2枚、 3枚同時搬送の例を示す図であ る。この例の場合、ガラス基板 W4及び 5→ガラス基板 W1乃至 3の順に +X方向側の 搬人出ロカ、ら搬出して ヽる。そして、まず、 No. 14〜16、 No. 24〜26、 34〜36、 No. 44〜46のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板 W4及 び W5が同時に搬送される。続いて、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として 選択され、ガラス基板 W1乃至 W3が同時に搬送される。
[0081] 図 17Cにおいて、図 17— 6は逆方向搬送で、 4枚同時搬送の例を示す図である。
この例の場合、ガラス基板 W1乃至 W4→ガラス基板 W5の順に、ガラス基板 W1乃至 3及び W5は— X方向側の搬入出口から、ガラス基板 W4は +X方向側の搬入出口か ら搬出している。そして、まず、 No. l l〜13、No. 21〜23、No. 31〜33及び No. 41〜43のローラコンベアユニットと、 No. 14〜16、 No. 24〜26のローラコンベアュ ニットと、が駆動対象として選択され、ガラス基板 W1乃至 W4が搬送される。続いて、 No. 31〜36及び No. 41〜46のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され てガラス基板 W5が搬送される。
[0082] このように、本実施形態では、搬送するガラス基板の大きさと、当該ガラス基板の搬 送元である載置部上の位置と、当該ガラス基板を通過させる搬入出口と、に基づい て、各ローラコンベアユニット 11、 12を選択的に駆動することで、各種の大きさのガラ ス基板の搬出ができ、その搬送方式も種々の方式が選択できる。ガラス基板を収納 カセット 20へ搬入する際も、ガラス基板の大きさと搬送先となる載置部上の位置と、 搬入出口とが決まれば、ガラス基板が通過すべき各ローラコンベアユニット 11、 12が 決定し、決定した各ローラコンベアユニット 11、 12を選択的に駆動することで、各種 の大きさのガラス基板の搬入ができる。
[0083] 次に、ガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合について説明する。図 18A及 び図 18Bはガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合の動作説明図である。ここ では図 12—1に示したガラス基板 Wの 1Z6の大きさのガラス基板を例に挙げて説明 する。
[0084] 図 18Aにおいて、図 18— 1は、ガラス基板 W4乃至 W6が載置部上に載置され、こ れカゝら収納カセット 20外へ搬出されるガラス基板を示し、ガラス基板 W1乃至 W3がこ れカも収納カセット 20内の左半分の位置へ搬入される態様を示している。
[0085] ガラス基板 W4乃至 W6は、それぞれ、 No. 14〜16、 No. 24〜26及び No. 34〜 36、 No. 44〜46のローラコンベアユニット上に載置されている。ガラス基板 W1乃至 W3はそれぞれ、 No. l l〜13、No. 21〜23及び No. 31〜33、 No. 41〜43の口 一ラコンベアユニット上に搬入される。
[0086] まず、同時搬送により搬送する場合について説明すると、駆動対象として全ての口 一ラコンベアユニットが選択され、同方向に回転駆動する。図 18Aにおいて、図 18 —2は +X方向にガラス基板を搬送することにより、ガラス基板 W4乃至 W6を搬出し、 ガラス基板 W1乃至 W3を搬入する途中の態様を示す。図 18Aにおいて、図 18— 3 は搬送後の態様を示しており、ガラス基板 W4乃至 W6が収納カセット 20外へ搬出さ れ、ガラス基板 Wl乃至 W3が収納カセット 20内へ搬入されている。
[0087] 図 18Bにおいて、図 18— 4及び図 18— 5はガラス基板の搬出と搬入とを同時に行 なう場合の他の動作例を示しており、ガラス基板 Wl、 W2、 W4及び W6を搬出し、ガ ラス基板 W3を左下段に、ガラス基板 W5を右中段に搬入する。
[0088] この例の場合、ガラス基板 Wl、 W2、 W4及び W6を搬出するために、 No. 11〜13 、 No. 21〜23及び No. 31〜33、 No. 14〜16、 No. 44〜46のローラコンベアュ ニットが駆動対象として選択される。また、ガラス基板 W3及び W5を搬入するために 、 No. 41〜43、 No. 24〜26及び No. 34〜36のローラコンベアユニットが駆動対 象として選択される。
[0089] そして、ガラス基板 Wl、 W2及び W5は—X方向に搬送され、ガラス基板 W3、 W4 及び W6は +X方向に搬送される。これ〖こより、ガラス基板 W1及び W2は— X方向に 搬出され、ガラス基板 W4及び W6は +X方向に搬出される。また、ガラス基板 W3及 び W5がそれぞれ左下段、右中段に搬入される。
[0090] 以上述べた通り、本実施形態では搬送装置 10が、独立して駆動される複数のロー ラコンベアユニット 11、 12を平面的に配設して構成され、複数のローラコンペァュ- ット 11、 12は、搬送するガラス基板の大きさと、ガラス基板の搬送元 (搬出時)又は搬 送先 (搬入時)である載置部上の位置と、に基づいて選択的に駆動されるため、異な る大きさのガラス基板の搬入出ができる。従って、複数種類の大きさのワークを取り扱 うことができる。また、収納カセット 20の各載置部には、図 4—1乃至図 4— 3に示した ように小さな大きさのワークを複数載置させ、それぞれ個別に搬入出することも可能と なり、収納カセット 20のガラス基板の収納効率を高められる。

Claims

請求の範囲
[1] 方形板状のワークを略水平姿勢でその下面側から支持すると共に当該ワークを略 水平方向に搬送する搬送手段と、
上下方向に多段に形成され、前記搬送手段が通過可能な開口部を有すると共に 前記ワークが略水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形 成する側部と、前記搬送手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記 搬送手段の上方に配設される収納カセットと、
前記収納カセットと前記搬送手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備 え、
前記昇降手段による昇降動作によって前記搬送手段を前記収納カセット内に進入 させ、前記搬送手段により前記載置部上の前記ワークを前記収納カセット外部へ、及 び、前記収納カセット外部から前記載置部上へ、前記ワークを搬入出させるワーク搬 入出システムにおいて、
前記搬送手段が、
独立して駆動される複数の搬送部を平面的に配設して構成され、
前記複数の搬送部は、
搬送する前記ワークの大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部 上の位置と、に基づいて選択的に駆動されることを特徴とするワーク搬入出システム
[2] 前記収納カセットは、
前記搬入出口を形成する前記側部に対向する他側部を有すると共に、当該他側 部も前記搬入出口を形成し、
前記搬送手段は、前記側部及び前記他側部の各々の前記搬入出口を介して前記 ワークを搬送可能であり、
前記複数の搬送部は、
搬送する前記ワークの大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部 上の位置と、当該ワークを通過させる前記搬入出口と、に基づいて選択的に駆動さ れることを特徴とする請求項 1に記載のワーク搬入出システム。
[3] 前記複数の搬送部は、
第 1の搬送部と、
前記ワークの搬送方向と直交する方向の幅が、前記第 1の搬送部の幅が略半分で ある第 2の搬送部と、を含み、
前記第 1の搬送部と前記第 2の搬送部とは、
前記ワークの搬送方向と直交する方向に、 2つの前記第 1の搬送部の間に 2つの前 記第 2の搬送部が位置するよう配設されて ヽることを特徴とする請求項 1に記載のヮ ーク搬入出システム。
[4] 前記昇降手段は前記収納カセットを上下に昇降させ、前記搬送手段は固定して配 設され、
前記収納カセットは直方体形状をなし、
前記昇降手段は、
前記収納カセットを挟むように前記収納カセットの互いに対向する両側部にそれぞ れ配設され、前記収納カセットを片持ち支持する一対の昇降ユニットから構成される ことを特徴とする請求項 1に記載のワーク搬入出システム。
[5] 前記昇降ユニットは、互いの昇降高さのずれを検出する検出手段を備えたことを特 徴とする請求項 4に記載のワーク搬入出システム。
[6] 方形板状のワークを略水平姿勢でその下面側から支持すると共に当該ワークを略 水平方向に搬送する搬送装置と、
上下方向に多段に形成され、前記搬送装置が通過可能な開口部を有すると共に 前記ワークが略水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形 成する側部と、前記搬送装置が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記 搬送装置の上方に配設される収納カセットと、
前記収納カセットと前記搬送装置とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備 え、
前記昇降手段による昇降動作によって前記搬送装置を前記収納カセット内に進入 させ、前記搬送装置により前記載置部上の前記ワークを前記収納カセット外部へ、及 び、前記収納カセット外部から前記載置部上へ、前記ワークを搬入出させるワーク搬 入出システムを構成する前記搬送装置において、
独立して駆動される複数の搬送部を平面的に配設して構成され、
前記複数の搬送部は、
搬送する前記ワークの大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部 上の位置と、に基づいて選択的に駆動されることを特徴とする搬送装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009037753A1 (ja) * 2007-09-19 2009-03-26 Hirata Corporation 基板搬送システム
WO2009037754A1 (ja) * 2007-09-19 2009-03-26 Hirata Corporation 基板搬送システム
WO2009090743A1 (ja) * 2008-01-17 2009-07-23 Hirata Corporation 基板搬送装置
WO2009113160A1 (ja) * 2008-03-11 2009-09-17 平田機工株式会社 基板搬送装置及び基板搬送方法
JP2010040865A (ja) * 2008-08-06 2010-02-18 Hirata Corp 搬送システム
DE102009040555A1 (de) * 2009-09-08 2011-03-10 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Archivieren und /oder Zwischenlagern von Glasscheiben in Reinräumen
WO2011057247A3 (en) * 2009-11-09 2011-11-03 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. System and method for handling multiple workpieces for matrix configuration processing
CN102491090A (zh) * 2007-09-19 2012-06-13 平田机工株式会社 基板输送系统

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101213052B1 (ko) * 2010-04-08 2012-12-18 주식회사 태성기연 판유리 수납장치
CN102683503B (zh) * 2012-05-31 2014-05-28 苏州晟成新能源科技有限公司 一种输送长度可调的铺板机
CN104085656A (zh) * 2014-06-30 2014-10-08 昆山爱都思电子科技有限公司 同时搬送复数测试循环式自动检查系统
WO2019119804A1 (zh) * 2017-12-21 2019-06-27 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 基板架回传装置及基板架回传方法、全自动镀膜机
JP6835031B2 (ja) * 2018-04-27 2021-02-24 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN110137313A (zh) * 2019-06-25 2019-08-16 无锡先导智能装备股份有限公司 掰片系统及掰片方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004075203A (ja) * 2002-08-09 2004-03-11 Dainippon Printing Co Ltd バッファ装置
JP2004155569A (ja) * 2002-11-08 2004-06-03 Daifuku Co Ltd 板状体の取り扱い設備

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002167038A (ja) 2000-11-30 2002-06-11 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板移載装置
JP3868223B2 (ja) * 2001-04-27 2007-01-17 東京エレクトロン株式会社 搬送装置
JP2004284772A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp 基板搬送システム
KR101053770B1 (ko) 2003-04-30 2011-08-02 올림푸스 가부시키가이샤 기판 부상 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004075203A (ja) * 2002-08-09 2004-03-11 Dainippon Printing Co Ltd バッファ装置
JP2004155569A (ja) * 2002-11-08 2004-06-03 Daifuku Co Ltd 板状体の取り扱い設備

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101132424B1 (ko) 2007-09-19 2012-04-03 히라따기꼬오 가부시키가이샤 기판 반송 시스템
WO2009037754A1 (ja) * 2007-09-19 2009-03-26 Hirata Corporation 基板搬送システム
TWI403446B (zh) * 2007-09-19 2013-08-01 Hirata Spinning Substrate handling system
WO2009037753A1 (ja) * 2007-09-19 2009-03-26 Hirata Corporation 基板搬送システム
JP4950297B2 (ja) * 2007-09-19 2012-06-13 平田機工株式会社 基板搬送システム
CN102491090A (zh) * 2007-09-19 2012-06-13 平田机工株式会社 基板输送系统
JP4933625B2 (ja) * 2007-09-19 2012-05-16 平田機工株式会社 基板搬送システム
JP5006411B2 (ja) * 2008-01-17 2012-08-22 平田機工株式会社 基板搬送装置
CN101842302A (zh) * 2008-01-17 2010-09-22 平田机工株式会社 基板输送装置
WO2009090743A1 (ja) * 2008-01-17 2009-07-23 Hirata Corporation 基板搬送装置
TWI484581B (zh) * 2008-01-17 2015-05-11 Hirata Spinning Substrate handling device
WO2009113160A1 (ja) * 2008-03-11 2009-09-17 平田機工株式会社 基板搬送装置及び基板搬送方法
JP2010040865A (ja) * 2008-08-06 2010-02-18 Hirata Corp 搬送システム
DE102009040555A1 (de) * 2009-09-08 2011-03-10 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Archivieren und /oder Zwischenlagern von Glasscheiben in Reinräumen
DE102009040555B4 (de) * 2009-09-08 2013-11-21 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Archivieren und /oder Zwischenlagern von Glasscheiben in Reinräumen
WO2011057247A3 (en) * 2009-11-09 2011-11-03 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. System and method for handling multiple workpieces for matrix configuration processing
US8698104B2 (en) 2009-11-09 2014-04-15 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. System and method for handling multiple workpieces for matrix configuration processing

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JPWO2007029401A1 (ja) 2009-03-12

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