KR101812650B1 - 버퍼 챔버 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법 - Google Patents
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Abstract
버퍼 챔버가 제공된다. 본 발명의 일 관점에 따른 버퍼 챔버는, 일측에 대상물 투입구가 형성되며 타측에 대상물 배출구가 형성되는 챔버 몸체를 포함한다. 승하강 장치는 상기 대상물 투입구를 통해 투입된 대상물의 투입 높이에서 상기 대상물 배출구를 통해 배출되는 대상물의 배출 높이까지 상기 대상물을 승하강시키도록 상기 챔버 몸체에 결합된다. 이송 장치는 상기 대상물 투입구에서 상기 대상물 배출구까지 상기 대상물을 이송시키고, 상기 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 제어하도록 구동된다.
Description
본 발명은 버퍼 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 좁혀서 가공 챔버 내에 다량의 대상물들을 최소의 시간 안에 집적하여 투입할 수 있게 하는 버퍼 챔버에 관한 것이다.
일반적으로 챔버 시스템은 다양한 제품의 제조에 사용된다. 예컨대 박막구조를 포함하는 제품 제조 시 챔버 시스템을 이용할 수 있다. 구체적으로, 유기박막이나 무기박막을 갖는 제품 제조 시, 챔버 시스템에서 유기물이나 무기물 등을 대상물 상에 증착하여 대상물 상에 박막을 형성할 수 있다.
그러나 이러한 종래의 챔버 시스템에는 챔버들의 사양에 따라 챔버들 사이의 연결이 용이하지 않을 수 있고, 한편 증착물의 소모량이 높고 제품 제조에 많은 시간이 소요되는 등 효율이 낮을 수 있다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 승하강 장치를 이용하여 대상물의 이송 높이를 조정하면서, 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 좁혀서 가공 챔버 내에 다량의 대상물을 최소의 시간 안에 투입함으로써 이송의 집적도를 높이고 생산성을 크게 향상시킬 수 있게 하는 버퍼 챔버를 제공한다.
본 발명의 일 관점에 따른 버퍼 챔버는, 일측에 대상물 투입구가 형성되며 타측에 대상물 배출구가 형성되는 챔버 몸체를 포함한다. 승하강 장치는 상기 대상물 투입구를 통해 투입된 대상물의 투입 높이에서 상기 대상물 배출구를 통해 배출되는 대상물의 배출 높이까지 상기 대상물을 승하강시키도록 상기 챔버 몸체에 결합된다. 이송 장치는 상기 대상물 투입구에서 상기 대상물 배출구까지 상기 대상물을 이송시키고, 상기 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 제어하도록 구동된다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 이송 장치는, 상기 대상물 투입구 및 상기 대상물 배출구 사이에 설치된 제 1 이송부, 및 상기 제 1 이송부 및 상기 대상물 배출구 사이에 설치되고 회전이 자유로운 아이들 이송부를 포함하고, 상기 대상물은 상기 제 1 이송부로부터 상기 아이들 이송부를 거쳐서 상기 대상물 배출구로 배출될 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 이송 장치는 상기 대상물 투입구 및 상기 대상물 배출구 사이에 설치된 제 1 이송부, 상기 제 1 이송부 및 상기 대상물 배출구 사이에 설치된 제 2 이송부, 및 상기 제 1 이송부 및 상기 제 2 이송부 사이에 설치되고, 회전이 자유로운 아이들 이송부를 포함하고, 상기 대상물은 상기 제 1 이송부로부터 상기 아이들 이송부 및 상기 제 2 이송부를 순차로 거쳐서 상기 대상물 배출구로 배출될 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 제 1 이송부는 복수의 제 1 롤러들 및 상기 복수의 제 1 롤러들을 구동하는 제 1 구동부를 포함하고, 상기 제 2 이송부는 복수의 제 2 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들을 구동하는 제 2 구동부를 포함하고, 상기 아이들 이송부는 회전이 자유로운 복수의 아이들 롤러들을 포함할 수 있다. 나아가, 상기 제 1 구동부 및 상기 제 2 구동부는 상기 대상물의 이송 시 상기 대상물과 그 선행하는 대상물의 거리를 좁히도록 상기 복수의 제 1 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들의 이송 속도를 독립적으로 제어할 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 복수의 제 1 롤러들은 상기 승하강 장치 상에 설치되어 상기 승하강 장치에 의해서 승하강되고, 상기 대상물은 상기 복수의 제 1 롤러들 상에서 상기 투입 높이에서 상기 배출 높이로 하강될 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 아이들 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들은 상기 대상물이 상기 배출 높이 상에서 상기 대상물 배출구로 인도되도록 상기 챔버 바디 내에 서로 나란하게 설치될 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 제 1 이송부가 하강 동작하는 경우, 상기 복수의 제 1 롤러들은 상기 대상물이 상기 배출 높이 상에서 상기 대상물 배출구로 인도되도록 상기 아이들 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들과 나란한 높이로 하강될 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 승하강 장치는, 승하강 구동 모터, 상기 승하강 구동 모터에 의해 회전되는 나사봉, 및 상기 나사봉에 의해 관통되어 나사 승하강되는 가동대를 포함하고, 상기 복수의 제 1 롤러들은 상기 가동대 상에 탑재될 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 이송 장치는 상기 대상물이 상기 대상물 투입구로부터 상기 대상물 투입 높이로 투입되도록 상기 대상물을 이송하는 변폭형 이송부를 더 포함하고, 상기 승하강 장치는 상기 대상물을 상기 변폭형 이송부로부터 상기 제 1 이송부로 승하강시킬 수 있는 픽커를 포함할 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 제 1 이송부는 복수의 제 1 롤러들을 포함하고, 상기 변폭형 이송부는 상기 복수의 제 1 롤러들 상에 배치된 복수의 변폭형 롤러들을 포함하고, 상기 픽커는 상기 변폭형 롤러들 상의 대상물을 상기 제 1 롤러들 상으로 하강시킬 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 복수의 변폭형 롤러들은 상기 픽커의 하강 경로가 확보될 수 있도록 전후진 장치에 의해 제 1 폭에서 제 2 폭으로 폭 방향 이동이 가능할 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 챔버 몸체는, 상기 타측에 반송물 투입구가 형성되고, 상기 일측에 제 1 반송물 배출구가 형성되며 다른 타측에 제 2 반송물 배출구가 형성되고, 상기 반송물 투입구를 통해 투입된 반송물의 적어도 일부를 상기 제 1 반송물 배출구 또는 상기 제 2 반송물 배출구로 배출시키는 반송 장치가 더 구비될 수 있다.
상기 버퍼 챔버에 있어서, 상기 반송 장치는 상기 반송물을 상기 반송물 투입구로부터 상기 제 1 반송물 배출구 방향으로 반송하는 반송부, 및 상기 반송물의 적어도 일부를 상기 제 2 반송물 배출구로 반송하는 크로스 트랜스퍼를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따른 버퍼 챔버를 이용한 대상물의 이송 방법이 제공된다. 챔버 몸체의 일측에 형성된 대상물 투입구를 통해서 대상물을 투입 높이로 투입할 수 있다. 승하강 장치를 이용하여 상기 대상물을 배출 높이로 하강시킬 수 있다. 상기 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 제어하도록, 상기 대상물의 이송 속도를 제어할 수 있다. 상기 챔버 몸체의 타측에 형성된 대상물 배출구로 상기 대상물을 배출할 수 있다.
상기 이송 방법에 있어서, 상기 대상물을 투입 높이로 투입하는 단계는 상기 대상물을 제 1 이송부의 복수의 제 1 롤러들 상으로 투입하는 단계를 포함하고, 상기 대상물을 배출 높이로 하강시키는 단계는 승하강 장치를 이용하여 상기 복수의 제 1 롤러들을 상기 대상물이 탑재된 상태로 하강시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 이송 방법에 있어서, 상기 대상물을 투입 높이로 투입하는 단계는 상기 대상물을 복수의 변폭형 롤러들 상으로 투입하는 단계를 포함하고, 상기 대상물을 배출 높이로 하강시키는 단계는 승하강 장치를 이용하여 상기 복수의 변폭형 롤러들 상의 상기 대상물을 상기 변폭형 롤러들 아래의 복수의 제 1 롤러들 상으로 하강시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 챔버는, 승하강 장치를 이용하여 대상물의 이송 높이를 조정할 수 있고, 대상물 간의 거리를 줄일 수 있다. 이에 따라, 프로세스 챔버 내에서 대상물의 처리 효율이 높아지고 제조 비용이 절감될 수 있다. 물론, 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 챔버 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법을 보여주는 개략적인 단면도들이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 7은 도 6의 버퍼 챔버를 나타내는 외관 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버의 승하강 장치를 나타내는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버의 승하강 장치를 나타내는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 10의 버퍼 챔버를 이용한 기판 이송을 나타내는 작동 상태 사시도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 7은 도 6의 버퍼 챔버를 나타내는 외관 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버의 승하강 장치를 나타내는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버의 승하강 장치를 나타내는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 10의 버퍼 챔버를 이용한 기판 이송을 나타내는 작동 상태 사시도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버를 보여주는 개략적인 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있는 것으로, 이하의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다.
본 발명의 실시예들에서, 버퍼 챔버는 외관을 이루는 챔버 바디와 이러한 챔버 바디와 결합된 각종 부속 장치들을 포함하는 넓은 개념으로 이해될 수 있고, 그 명칭에 의해서 그 범위가 제한되지는 않는다. 나아가, 이러한 버퍼 챔버는 대상물의 이송에 주로 사용된다는 점에서, 그 내부에서 대상물이 처리되는 프로세스 챔버와 구별될 수 있다. 이러한 버퍼 챔버는 프로세스 챔버와 결부되거나 또는 프로세스 챔버와 부가적인 다른 챔버들, 예컨대 얼라인 챔버 등과 결부되어 대상물 처리 장치를 구성할 수 있다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 챔버(100) 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법을 보여주는 개략적인 단면도들이다. 예를 들어, 도 1은 버퍼 챔버(100)의 대상물(1) 투입 단계를 개념적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 대상물 하강 단계를 개념적으로 나타내는 단면도이고, 도 3 및 도 4는 대상물 이송 단계를 개념적으로 나타내는 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 버퍼 챔버(100)는 챔버 몸체(10)와, 승하강 장치(20) 및 이송 장치(30)를 포함할 수 있다. 챔버 몸체(10)는 버퍼 챔버(100)의 대체적인 외형을 이루면서, 내부에 수용 공간(A)을 한정할 수 있다. 예를 들어, 챔버 몸체(10)는 그 일측에 대상물(1)이 투입되는 대상물 투입구(10a)가 형성되며, 그 타측에 대상물(1)이 배출되는 대상물 배출구(10b)가 형성될 수 있다. 나아가, 진공 펌프(P)가 챔버 몸체(10)에 연결될 수 있고, 이에 따라 수용 공간(A) 내에 감압 환경, 예컨대 진공 환경이 형성될 수 있다. 이외에도, 챔버 몸체(10)에는 각종 반응 가스나 퍼지 가스 등의 가스를 공급할 수 있는 가스 공급 장치들이 설치될 수 있다.
이 실시예에서, 버퍼 챔버(100)는 다른 챔버들(미도시)과 결부되어 대상물 처리 장치 또는 대상물 처리 시스템을 구성할 수 있다. 예를 들어, 챔버 몸체(10)는 프로세스 챔버, 얼라인 챔버, 로드락 챔버 등과 결합될 수 있다. 예컨대, 버퍼 챔버(100)가 디스플레이용 처리 장치의 일부를 이루는 경우, 대상물 투입구(10a)는 대상물(1)을 정렬하는 얼라인 챔버에 연결되고, 대상물 배출구(10b)는 대상물(1) 상에 유기물 또는 무기물의 박막을 형성하기 위한 프로세스 챔버에 연결될 수 있다. 이러한 경우, 대상물 투입구(10a)와 대상물 배출구(10b)에는 수용 공간(A)을 외부 환경으로부터 선택적으로 밀폐시키는 각종 게이트 장치들이 설치되는 것도 가능하다.
승하강 장치(20)는 대상물 투입구(10a)를 통해 투입된 대상물(1)의 투입 높이(H1)에서 대상물 배출구(10b)를 통해 배출되는 대상물(1)의 배출 높이(H2)까지 대상물(1)을 승하강시키기 위해서 챔버 몸체(10)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 승하강 장치(20)는 승하강 구동을 위해서 각종 로봇, 구동 모터, 리니어 모터, 유압 실린더, 공압 실린더 등 각종 동력 전달 장치 및 액츄에이터들을 구비할 수 있다.
이송 장치(30)는 대상물 투입구(10a)에서 대상물 배출구(10b)까지 대상물(1)을 이송시키도록 챔버 몸체(10)에 결합될 수 있다. 이송 장치(30)는 제 1 이송부(31)와, 제 2 이송부(32) 및 아이들 이송부(33)를 포함할 수 있다. 제 1 이송부(31)는 대상물 투입구(10a)와 대상물 배출구(10b) 사이에 설치되고, 제 2 이송부(32)는 제 1 이송부(31)와 대상물 배출구(10b) 사이에 설치되고, 아이들 이송부(33)는 제 1 이송부(31)와 제 2 이송부(32) 사이에 설치될 수 있다. 이에 따르면, 대상물(1)은 제 1 이송부(31)로부터 아이들 이송부(33) 및 제 2 이송부(32)를 순차로 거쳐서 대상물 배출구(10b)로 배출될 수 있다.
이 실시예의 변형된 예에서, 제 2 이송부(32)가 생략되고, 제 1 이송부(31)와 아이들 이송부(32)가 대상물 투입구(10a)로부터 대상물 배출구(10b)까지 배치될 수도 있다. 예컨대, 제 1 이송부(31)가 대상물 투입구(10a)와 대상물 배출구(10b) 사이에 배치되고, 아이들 이송부(32)가 제 1 이송부(31)와 대상물 배출구(10b) 사이에 배치될 수 있다. 이 경우, 아이들 이송부(32)에 단부가 걸리며 대상물 배출구(10b)로 배출되는 대상물(1)은 인접한 챔버, 예컨대 프로세스 챔버 내의 다른 롤러들의 구동에 의하여 이송될 수 있다.
이송 장치(30)는 대상물(1)과 인접하는 대상물(2) 사이의 간격을 제어하도록 구동될 수 있다. 예를 들어, 제 1 이송부(31)와 제 2 이송부(32)는 대상물(1)의 이송 시 대상물(1)과 인접하여 선행하는 대상물(2) 사이의 간격을 좁히도록 독립적으로 제어될 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 제 1 이송부(31)는 그 위의 대상물(1)을 빠르게 이송시키기 위해서 가속되거나 인접하는 대상물(2)과 충돌을 피하기 위해서 감속 또는 정지되도록 제어될 수 있다. 제 2 이송부(32)는 그 위의 대상물(2)을 일정한 속도로 배출시키도록 정속 제어될 수 있다.
예를 들어, 제 1 이송부(31)는 복수의 제 1 롤러들(312) 및 이를 구동하기 위한 제 1 구동부(311)를 포함하고, 제 2 이송부(32)는 복수의 제 2 롤러들(322) 및 이를 구동하기 위한 제 2 구동부(321)를 포함할 수 있다. 아이들 이송부(33)는 별도의 구동부에 연결되지 않아 회전이 자유로운 복수의 아이들 롤러들(331)을 포함할 수 있다. 제 1 구동부(311) 및 제 2 구동부(321)는 그 구동원으로 각종 로봇, 구동 모터, 리니어 모터, 유압 실린더, 공압 실린더 등 각종 동력 전달 장치 및 액츄에이터들을 포함할 수 있다. 이에 따르면, 제 1 롤러들(312) 및 제 2 롤러들(322)은 서로 다른 속도로 제어될 수 있고, 아이들 롤러들(331)은 저속, 고속 및 정속 회전을 자유롭게 할 수 있다.
이 경우, 복수의 제 1 롤러들(312)은 대상물 투입구(10a)와 대상물 배출구(10b) 사이에 설치되고, 복수의 제 2 롤러들(322)은 제 2 이송부(32)는 제 1 이송부(31)와 대상물 배출구(10b) 사이에 설치되며, 복수의 아이들 롤러들(331)은 복수의 제 1 롤러들(312)과 복수의 제 2 롤러들(322) 사이에 설치될 수 있다. 한편, 제 1 구동부(311)는 도시된 것과 같이 대상물 투입구(10a)와 복수의 아이들 롤러들(331) 사이에 위치하고, 제 2 구동부(321)는 복수의 아이들 롤러들(331)과 대상물 배출구(10b) 사이에 위치할 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 1 구동부(331)와 제 2 구동부(321)의 위치는 상이하게 변경될 수 있다.
제 1 구동부(311)로부터의 구동력을 동일하게 전달하기 위해서 제 1 롤러들(312)은 베벨기어를 통해서 서로 맞물리거나 또는 복수의 컨베이어 벨트를 이용하여 서로 기계적으로 연결될 수 있다. 유사하게, 제 2 구동부(321)로부터의 구동력을 동일하게 전달하기 위해서 제 2 롤러들(322)은 베벨기어를 통해서 서로 맞물리거나 또는 복수의 컨베이어 벨트를 이용하여 서로 기계적으로 연결될 수 있다. 이러한 제 1 롤러들(312) 및 제 2 롤러들(322)의 기계적 연결은 예시적으로 제시되었고, 다양하게 변형될 수 있다.
제 1 롤러들(312)은 승하강 장치(20) 상에 설치되어 승하강 장치(20)에 의해서 승하강될 수 있다. 즉, 제 1 롤러들(312)은 대상물(1)과 함께 또는 단독으로 승하강 장치(20)에 의해서 승하강될 수 있다. 제 2 롤러들(322)과 아이들 롤러들(331)은 챔버 바디(10) 내부, 예컨대 수용 공간(A)의 저면에 나란하게 설치될 수 있다. 이에 따르면, 대상물(1)의 투입 단계에서는 제 1 롤러들(312), 제 2 롤러들(322) 및 아이들 롤러들(331)의 높이가 달랐으나, 승하강 장치(20)에 의해서 제 1 롤러들(312)이 하강됨에 따라서 제 1 롤러들(312), 제 2 롤러들(322) 및 아이들 롤러들(331)이 동일 높이 상에 일렬로 배치될 수 있다.
예컨대, 제 1 이송부(31)가 하강 동작하는 경우, 제 1 롤러들(312)은 대상물(1)이 배출 높이(H2) 상에서 대상물 배출구(10b)로 인도되도록 아이들 롤러들(331) 및 제 2 롤러들(322)과 나란한 높이로 하강될 수 있다. 이에 따라, 대상물(1)은 제 1 롤러들(312) 상에서 투입 높이(H1)에서 배출 높이(H2)로 하강될 수 있다. 따라서, 대상물(1)의 투입 높이(H1)가 대상물(1)의 배출 높이(H2)와 다른 경우에도, 이러한 승하강 장치(20)를 이용하면 대상물(1)과 제 1 롤러들(312)을 같이 하강시킴으로써, 대상물(1)을 제 1 롤러들(312), 아이들 롤러들(331) 및 제 2 롤러들(322) 상으로 이송시킬 수 있게 된다.
선택적으로, 적어도 하나의 센서(40)가 상기 대상물(1)의 위치를 감지하기 위해서 상기 챔버 바디(10) 내에 설치될 수 있다. 나아가, 제어부(50)는 승하강 장치(20)와 이송 장치(30)에 제어신호를 인가하여 대상물(1)의 승하강 및 이송을 제어하도록 제공될 수 있다. 예를 들어, 제어부(50)는 센서(40)로부터 위치 감지 신호를 인가받아 이송 장치(30)의 제 1 구동부(311)에 가속 구동 신호와, 감속 구동 신호 및 정속 구동 신호를 인가할 수 있다.
이하에서는 이러한 버퍼 챔버(100)를 이용한 대상물(1)의 이송 방법을 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 챔버 몸체(10)의 대상물 투입구(10a)를 통해서 대상물(1)을 투입 높이(H1)로 투입할 수 있다. 예를 들어, 대상물(1)을 제 1 이송부(31)의 제 1 롤러들(312) 상으로 투입할 수 있다. 이어서, 투입된 대상물(1)을 승하강 장치(20)로 이송한다. 예를 들어, 제 1 이송부(31)가 승하강 장치(20) 상에 탑재된 상태에서 제 1 롤러들(312)을 구동하여 대상물(1)을 승하강 장치(20) 상으로 이송할 수 있다. 선택적으로, 대상물(1)이 승하강 장치(20)로 이송이 완료되면 제 1 이송부(31)의 구동을 정지하여 대상물(1)을 제 1 롤러(312) 상에서 정지시킬 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 승하강 장치(20)를 이용하여 대상물(1)을 배출 높이(H2)로 하강시킬 수 있다. 예를 들어, 승하강 장치(20)가 하강됨에 따라, 대상물(1)이 탑재된 상태로 제 1 롤러들(312)이 하강될 수 있다. 한편, 제 1 롤러들(312)과 제 1 구동부(311)가 모두 승하강 장치(20)에 결합된 경우에는 제 1 이송부(31) 전체가 하강될 수 있지만, 제 1 구동부(311)가 승하강 장치(20)에 전체적으로 결합되지 않은 경우 제 1 롤러들(312)을 포함하는 일부 구성만 하강될 수도 있다. 예를 들어, 이러한 하강 동작은 제 1 롤러들(312)이 아이들 롤러들(331) 및 제 2 롤러들(322)과 동일 높이로 배열되도록 제어될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 대상물(1)과 이웃하는 대상물(2) 간의 거리를 좁힐 수 있도록 대상물(1)을 변속 이송시킬 수 있다. 이 단계에서, 대상물들(1, 2) 사이의 간격을 좁히기 위해서, 일부 구간에서 제 1 롤러들(311)의 이송 속도는 제 2 롤러들(322)의 이송 속도보다 클 수 있다. 예를 들어, 선행하는 대상물(2)은 제 2 롤러들(322) 상에서 저속으로 정속 주행하고, 후행하는 대상물(1)은 제 1 롤러들(311) 또는 제 1 롤러들(311)과 아이들 롤러들(331) 상에서 가감속 주행될 수 있다.
보다 구체적으로 보면, 선행하는 대상물(2)이 제 2 이송부(32)에 의해서 제어되기를 기다렸다가, 바로 또는 일정 시점 후에 후행하는 대상물(1)을 크게 가속시켜 대상물(2)을 따라잡고, 이후 둘 사이의 충돌을 방지하기 위해서 둘 상의 거리가 소정 거리 이내가 되면 감속하는 동작을 수행하여 둘 사이의 거리를 기준 거리(S2) 이내로 좁힐 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 대상물(1)이 제 2 이송부(32)에 의해서 제어되기 시작하면, 제 2 이송부(32)는 대상물들(1, 2)을 정속으로 주행시킬 수 있다. 대상물들(1, 2)이 버퍼 챔버(10)로부터 프로세스 챔버로 이송되는 경우, 제 2 이송부(32)에 의한 주행 속도는 프로세스 챔버 내의 이송 속도와 같아야 되고, 따라서 프로세스 진행 속도를 고려하여 매우 낮을 수 있다.
한편, 대상물(1)이 제 1 롤러들(312)을 벗어남에 따라서, 승하강 장치(20)는 제 1 롤러들(312)을 상승시켜 대상물 투입 위치로 복귀시킨다. 이에 따라, 제 1 롤러들(312)을 이용하여 새로운 대상물이 투입될 수 있게 된다.
이러한 과정이 반복됨으로써, 대상물들(1, 2)이 시차를 갖고 버퍼 챔버(100) 내로 투입되더라도 이송 장치(30)를 이용하여 대상물들(1, 2) 사이의 간격을 좁혀서 버퍼 챔버(100) 외부로 배출할 수 있게 된다. 이와 같은 버퍼 챔버(100) 뒤에 프로세스 챔버(미도시)를 인-라인(in-line)으로 배치하게 되면, 대상물들(1, 2)이 시차를 갖고 버퍼 챔버(100) 내에 투입되더라도 프로세스 챔버 내에는 인접되게 투입될 수 있게 된다. 이에 따라, 프로세스 챔버에서의 대상물들(1, 2)의 처리를 위한 물질 소모량을 획기적으로 줄이고 그에 따라 제조비용을 절감하면서도, 제품 제조에 소요되는 시간을 줄이는 등 효율을 극대화할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버(200)를 개념적으로 나타내는 단면도이다. 이 실시예에 따른 버퍼 챔버(200)는 전술한 실시예들에 따른 버퍼 챔버(100)에 일부 구성을 부가한 것이고, 따라서 실시예들에서 중복된 설명은 생략된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 챔버 몸체(10)는 타측에 반송물 투입구(10c)가 형성되고, 일측에 제 1 반송물 배출구(10d)가 형성될 수 있다.
투입되는 대상물(1)은 일면이 마그넷 플레이트(1-1)와 마스크(1-3) 간의 자력에 의해 그 중간에 고정되는 기판(1-2)을 포함할 수 있다. 이러한 대상물(1)은 마스크-기판 어셈블리로 불릴 수도 있다. 여기서 기판(1-2)은 플라스틱재 기판이나 글라스재 기판일 수도 있고, 그러한 플라스틱재 기판이나 글라스재 기판 상에 박막 트랜지스터를 포함한 층이 형성된 것일 수도 있다. 이러한 대상물(1)은 프로세스 챔버에서 처리된 후 기판(1-2)이 분리되어 마스크(1-3) 상에 마그넷 플레이트(1-1)가 결합된 반송물의 형태로 반송물 투입구(10c)로 투입될 수 있다.
이와 같이 반송물 투입구(10c)로 투입된 반송물, 즉 마그넷 플레이트(1-1) 및 마스크(1-3)는 반송 장치(60)를 이용하여 제 1 반송물 배출구(10d)로 배출될 수 있다. 반송 장치(60)는, 반송 구동부(611)에 의해 회전되는 복수의 반송 롤러들(612)을 이용하여 마그넷 플레이트(1-1)와 마스크(1-3)를 반송하는 반송부(61)를 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버(300)를 개념적으로 나타내는 단면도이고, 도 7은 도 6의 버퍼 챔버(300)를 나타내는 외관 사시도이다. 이 실시예에 따른 버퍼 챔버(300)는 전술한 실시예들에 따른 버퍼 챔버(100, 200)에 일부 구성을 부가한 것이고, 따라서 실시예들에서 중복된 설명은 생략된다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 버퍼 챔버(300)는, 반송물 투입구(10c)를 통해 투입된 마그넷 플레이트(1-1)와 마스크(1-3)를 분리하여 기존 마스크(1-3)는 제 2 반송물 배출구(10e)로 배출시키고, 신규 마스크(1-3)와 마그넷 플레이트(1-1)는 제 1 반송물 배출구(10d)로 반송시키는 반송 장치(60)를 더 포함할 수 있다.
반송 장치(60)는 반송부(61), 마스크 분리기(62) 및 크로스 트랜스퍼(63)를 포함할 수 있다. 반송부(61)는 반송 구동부(611)에 의해 회전되는 복수의 반송 롤러들(612)을 이용하여 마그넷 플레이트(1-1)와 마스크(1-3)를 반송할 수 있다. 마스크 분리기(62)는 마그넷 플레이트(1-1)로부터 마스크(1-3)를 분리할 수 있다. 크로스 트랜스퍼(63)는 크로스 구동부(631)에 의해 회전되는 크로스 롤러들(632)을 이용하여 분리된 마스크(1-3)를 제 2 방향으로 반송하고, 새로운 마스크(1-3)를 반송 롤러들(612) 상으로 이송할 수 있다.
예를 들어, 크로스 롤러들(632)은 반송 롤러들(612) 아래에 반송 롤러들(612)과 수직한 방향으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 반송 롤러들(612)은 반송물 투입구(10c)에서 반송물 배출구(10d) 방향으로 향하는 제 1 방향으로 배치되고, 크로스 롤러들(632)은 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 배치될 수 있다. 크로스 롤러들(632)은 반송 롤러들(612) 아래에 배치되고, 그 위에 셔틀(65)을 탑재한 채로 별도의 구동부(미도시)에 의해서 상하로 이동될 수 있다.
예를 들어, 마그넷 플레이트(1-1)가 마스크(1-3)로부터 분리되면 크로스 롤러들(632)이 셔틀(65)과 함께 상승되어 셔틀(65) 상에 마스크(1-3)를 탑재할 수 있다. 이 상태에서 크로스 구동부(631)를 구동하여 마스크(1-3)를 셔틀(65)에 태운채로 제 2 반송물 배출구(10e)로 배출하고 이후 마스크(1-3)를 셔틀(65) 상에서 분리한 후 신규 마스크(1-3)를 셔틀(65) 상에 탑재하여 반송 롤러들(612) 상으로 이송할 수 있다. 이 후, 크로스 롤러들(632)은 셔틀(65)을 태운 채로 다시 하강하고, 신규 마스크(1-3) 상에 마그넷 플레이트(1-1)가 다시 결합되고 이러한 반송물(1-1, 1-3)이 반송 롤러들(612)을 이용하여 제 1 반송물 배출구(10d)로 반송될 수 있다.
전술한 바와 같이, 크로스 롤러들(632)이 반송 롤러들(612)과 간섭 없이 상하 이동되기 위해서, 크로스 롤러들(632)은 반송 롤러들(612)의 외측에 배치될 수 있고, 셔틀(65)의 폭은 반송 롤러들(612)의 이격 폭보다 작을 수 있다. 이와 같이 셔틀(65) 상에 마스크(1-3)를 태워서 반송하면, 크로스 롤러들(632)이 일정 회수만큼 사용되어 오염된 마스크(1-3)에 의해서 오염되는 것을 방지할 수 있다.
이 실시예에 따른 버퍼 챔버(300)에 따르면, 마스크(1-3)가 일정 회수 사용되어 교체가 필요한 경우, 크로스 트랜스퍼(63)를 이용하여 기존 마스크(1-3)를 배출하고 신규 마스크(1-3)를 로딩할 수 있다. 아울러, 셔틀(65)을 이용함으로써 크로스 트랜스퍼(63)의 오염을 최소화 할 수 있다.
한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버(400)의 제 1 이송부(31)의 제 1 구동부(311)에는, 가감속 구동 모터(311-1)와, 상기 제 1 롤러(312)와 회전축(311-2)(311-3)(311-4)을 서로 연결시키는 한 쌍의 베벨기어(311-5)(311-6) 조합 및 다른 한 쌍의 베벨기어(311-7)(311-8) 조합이 적용될 수 있다. 이외에도, 도시하지 않았지만, 평기어/웜기어/랙앤피니언기어/헬리컬기어, 벨트 및 풀리, 체인 및 스프로킷휠, 와이어 및 도르레 등을 포함하는 조합들이 적용될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버(400)의 승하강 장치(20및 제 1 구동부(311)의 결합 구조를 나타내는 사시도이다.
이러한, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버(400)의 승하강 장치(20)는, 챔버 바디(10)에 고정되는 고정대(201)와, 고정대(201)에 설치되는 승하강 구동 모터(202)와, 승하강 구동 모터(202)에 의해 회전되는 나사봉(203)과, 나사봉(203)에 의해 관통되어 나사 승하강되는 가동대(204) 및 가동대(204)의 승하강 경로를 안내하는 가이드(G)를 포함할 수 있다.
따라서, 승하강 구동 모터(202)의 정방향 회전에 의해 가동대(204)가 상승한 상태로 대기하고 있다가, 승하강 구동 모터(202)가 역방향 회전하면, 가동대(201)가 가이드(G)를 따라 하강하면서 가동대(201)의 가감속 구동 모터(311-1)의 회전에 의해 베벨기어(311-5)(311-6)를 통해 회전력이 전달되는 제 1 롤러(312)에 의해 가감속 이송될 수 있는 것이다.
도 9는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 버퍼 챔버(400a)의 승하강 장치(20a)및 제 1 구동부(311a)의 결합 구조를 나타내는 사시도이다. 이 실시예에 따른 승하강 장치(20a) 및 제 1 구동부(311a)는 전술한 승하강 장치(20) 및 제 1 구동부(311)에서 일부 구성을 변형한 것이고 따라서 두 실시예들에서 중복된 설명은 생략된다.
도 9를 참조하면, 제 1 구동부(311a)에는, 구동 모터(311-1)와, 제 1 롤러(312)와 회전축(311-2)(311-3)(311-4)을 서로 연결시키는 한 쌍의 베벨기어(311-5)(311-6) 조합이 적용될 수 있다. 다만, 구동 모터(311-1)에 연결되는 회전축(311-2)에는 스플라인 홈이 형성되고, 이 스플라인 홈 상에는 볼 스플라인 기어(311-9)조가 결합되고, 베벨기어(311-5)는 이러한 볼 스플라인 기어(311-9)와 결합될 수 있다. 볼 스플라인 기어(311-9)는 베어링을 통해서 가동대(204)와 결합되고, 이에 따라서 가동대(204)가 상하 이동되면 볼 스플라인 기어(311-9)가 회전하면서 상하 이동되어, 베벨기어들(311-5, 311-6)의 결합이 유지될 수 있다.
이러한 승하강 장치(20, 20a) 및 제 1 구동부(311, 311a)의 구조는 예시적으로 도시되었고, 다양한 기어, 벨트, 와이어, 도르레 등의 조합으로 변형될 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버(500)를 나타내는 사시도이고, 도 11은 도 10의 버퍼 챔버(500)를 이용한 기판 이송을 나타내는 작동 상태 사시도이다. 이 실시예에서, 도 10 및 도 11에는 일부 구성이 도시되었고, 다른 구성은 도 1 내지 도 4의 구성을 참조할 수 있고, 중복된 설명은 생략된다. 도 10 및 도 11에는 주요하게 제 1 이송부(31)와 변폭형 이송부(34)가 도시된 것이고, 이 실시예에 따른 이송 장치(30)는 도 1에 도시된 바와 같이 제 1 이송부(31)와 변폭형 이송부(34) 외에 제 2 이송부(32) 및 아이들 이송부(33)를 더 포함할 수 있다.
도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 변폭형 이송부(34)는 대상물(1)이 대상물 투입구(10a)로부터 대상물의 투입 높이(H1)로 투입되도록 대상물(1)을 이송할 수 있다. 승하강 장치(20)는 대상물(1)을 변폭형 이송부(34)로부터 제 1 이송부(31)로 승하강시킬 수 있는 픽커(205)를 포함할 수 있다.
이 실시예에서, 제 1 이송부(31)의 제 1 롤러들(312)은 승하강 장치(20)에 의해 승하강하지 않고, 아이들 롤러들(332) 및 제 2 롤러들(322)과 나란하게 배치되어 있다. 변폭형 이송부(34)는 제 1 롤러들(312) 상에 이격되어 배치된 복수의 변폭형 롤러들(342)을 포함할 수 있다. 픽커(205)는 변폭형 롤러들(342) 상의 대상물(1)을 제 1 롤러들(312) 상으로 하강시킬 수 있다.
이에 따르면, 대상물(1)은 대상물 투입구(10a)를 통해서 투입 높이의 변폭형 롤러들(342) 상으로 투입된 후, 이어서 승하강 장치(20)를 이용하여 배출 높이인 제 1 롤러들(312) 상으로 하강되고, 이 후 제 1 롤러들(312)로부터 아이들 롤러들(332) 및 제 2 롤러들(322)을 차례로 거쳐서 대상물(1)과 이웃하는 대상물(2) 사의 거리를 제어하면서 대상물 배출구(10b)로 배출될 수 있다.
예를 들어, 변폭형 롤러들(342)은 대상물(1)을 파지한 픽커(205)의 하강 경로가 확보될 수 있도록 전후진 장치(341)에 의해 제 1 폭(W1)에서 제 2 폭(W2)으로 폭 방향 이송이 가능할 수 있다. 여기서, 상기 제 1 이송부(31)의 제 1 구동부(311)에는, 가감속 구동 모터(311-1)와, 제 1 롤러(312)와 회전축(311-2)(311-3)(311-4)을 서로 연결시키는 한 쌍의 베벨기어(311-5)(311-6)를 적용할 수 있다. 또한, 변폭형 이송부(34)에는, 가감속 구동 모터(341-1)와, 제 1 롤러(342)와 회전축(341-2)을 서로 연결시키는 한 쌍의 베벨기어(341-3)(341-4)를 적용할 수 있다.
이에 따르면, 대상물(1)을 제 1 롤러들(312) 상으로 투입하고, 투입된 대상물(1)을 픽커(205)가 파지한 다음, 대상물(1)을 파지한 픽커(205)의 하강 경로가 확보될 수 있도록 전후진 장치(341)가 변폭형 롤러(342)의 폭을 확폭하고, 픽커(205)가 하강하면서 대상물(1)을 제 1 이송부(31)의 제 1 롤러(312) 위에 안착시킬 수 있다. 이어서, 가감속 구동 모터(311-1)에 의해 회전축(311-2)(311-3)(311-4)과 한 쌍의 베벨기어(311-5)(311-6)를 통해 제 1 롤러(312)에 회전력이 전달되면 대상물(1)이 가감속 이송될 수 있다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 버퍼 챔버(600)를 나타내는 단면도이다.
도 12를 참조하면, 제 1 롤러들(312)은 승하강 장치(20)에 설치되고, 제 2 롤러들(322)은 챔버 몸체(10)의 수용 공간(A)의 저면에 설치되며, 아이들 롤러들(331)은 승하강 장치(20) 및 챔버 몸체(10)의 수용 공간(A)의 저면에 각각 설치되는 것도 가능하다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상을 해치지 않는 범위 내에서 당업자에 의한 변형이 가능함은 물론이다.
따라서, 본 발명에서 권리를 청구하는 범위는 상세한 설명의 범위 내로 정해지는 것이 아니라 후술되는 청구범위와 이의 기술적 사상에 의해 한정될 것이다.
H1: 투입 높이 H2: 배출 높이
1, 2: 대상물 10: 챔버 몸체
10a: 대상물 투입구 10b: 대상물 배출구
10c: 반송물 투입구 10d, 10e: 제 1,2 반송물 배출구
20, 20a: 승하강 장치 205: 픽커
30: 이송 장치 31: 제 1 이송부
311, 311a: 제 1 구동부 312: 제 1 롤러
32: 제 2 이송부 321: 제 2 구동부
322: 제 2 롤러 33: 아이들 이송부
332: 아이들 롤러 34: 변폭형 이송부
40: 센서 50: 제어부
63: 크로스 트랜스퍼 65: 셔틀
631: 크로스 구동부 632: 크로스 롤러
100, 200, 300, 400, 500, 600: 버퍼 챔버
1, 2: 대상물 10: 챔버 몸체
10a: 대상물 투입구 10b: 대상물 배출구
10c: 반송물 투입구 10d, 10e: 제 1,2 반송물 배출구
20, 20a: 승하강 장치 205: 픽커
30: 이송 장치 31: 제 1 이송부
311, 311a: 제 1 구동부 312: 제 1 롤러
32: 제 2 이송부 321: 제 2 구동부
322: 제 2 롤러 33: 아이들 이송부
332: 아이들 롤러 34: 변폭형 이송부
40: 센서 50: 제어부
63: 크로스 트랜스퍼 65: 셔틀
631: 크로스 구동부 632: 크로스 롤러
100, 200, 300, 400, 500, 600: 버퍼 챔버
Claims (16)
- 일측에 대상물 투입구가 형성되며 타측에 대상물 배출구가 형성되는 챔버 몸체;
상기 대상물 투입구를 통해 투입된 대상물의 투입 높이에서 상기 대상물 배출구를 통해 배출되는 대상물의 배출 높이까지 상기 대상물을 승하강시키도록 상기 챔버 몸체에 결합된 승하강 장치; 및
상기 대상물 투입구에서 상기 대상물 배출구까지 상기 대상물을 이송시키고, 상기 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 제어하도록 구동되는, 이송 장치;를 포함하고,
상기 이송 장치는,
상기 대상물 투입구 및 상기 대상물 배출구 사이에 설치된 제 1 이송부;
상기 제 1 이송부 및 상기 대상물 배출구 사이에 설치된 제 2 이송부; 및
상기 제 1 이송부 및 상기 제 2 이송부 사이에 설치되고, 회전이 자유로운 아이들 이송부;를 포함하고,
상기 대상물은 상기 제 1 이송부로부터 상기 아이들 이송부 및 상기 제 2 이송부를 순차로 거쳐서 상기 대상물 배출구로 배출되고,
상기 제 1 이송부는 복수의 제 1 롤러들 및 상기 복수의 제 1 롤러들을 구동하는 제 1 구동부를 포함하고,
상기 제 2 이송부는 복수의 제 2 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들을 구동하는 제 2 구동부를 포함하고,
상기 아이들 이송부는 회전이 자유로운 복수의 아이들 롤러들을 포함하고,
상기 제 1 구동부 및 상기 제 2 구동부는 상기 대상물의 이송 시 상기 대상물과 그 선행하는 대상물의 거리를 좁히도록 상기 복수의 제 1 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들의 이송 속도를 독립적으로 제어할 수 있고,
상기 챔버 몸체는, 상기 타측에 반송물 투입구가 형성되고, 상기 일측에 제 1 반송물 배출구가 형성되며 다른 타측에 제 2 반송물 배출구가 형성되고,
상기 반송물 투입구를 통해 투입된 반송물의 적어도 일부를 상기 제 1 반송물 배출구 또는 상기 제 2 반송물 배출구로 배출시키는 반송 장치를 더 포함하는,
버퍼 챔버. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 복수의 제 1 롤러들은 상기 승하강 장치 상에 설치되어 상기 승하강 장치에 의해서 승하강되고,
상기 대상물은 상기 복수의 제 1 롤러들 상에서 상기 투입 높이에서 상기 배출 높이로 하강되는, 버퍼 챔버. - 제 5 항에 있어서,
상기 아이들 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들은 상기 대상물이 상기 배출 높이 상에서 상기 대상물 배출구로 인도되도록 상기 챔버 몸체 내에 서로 나란하게 설치된, 버퍼 챔버. - 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 이송부가 하강 동작하는 경우, 상기 복수의 제 1 롤러들은 상기 대상물이 상기 배출 높이 상에서 상기 대상물 배출구로 인도되도록 상기 아이들 롤러들 및 상기 복수의 제 2 롤러들과 나란한 높이로 하강되는, 버퍼 챔버. - 제 1 항에 있어서, 상기 승하강 장치는,
승하강 구동 모터;
상기 승하강 구동 모터에 의해 회전되는 나사봉; 및
상기 나사봉에 의해 관통되어 나사 승하강되는 가동대;
를 포함하고,
상기 복수의 제 1 롤러들은 상기 가동대 상에 탑재된, 버퍼 챔버. - 제 1 항에 있어서,
상기 이송 장치는 상기 대상물이 상기 대상물 투입구로부터 상기 투입 높이로 투입되도록 상기 대상물을 이송하는 변폭형 이송부를 더 포함하고,
상기 승하강 장치는 상기 대상물을 상기 변폭형 이송부로부터 상기 제 1 이송부로 승하강시킬 수 있는 픽커를 포함하는, 버퍼 챔버. - 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 이송부는 복수의 제 1 롤러들을 포함하고,
상기 변폭형 이송부는 상기 복수의 제 1 롤러들 상에 이격 배치된 복수의 변폭형 롤러들을 포함하고,
상기 픽커는 상기 변폭형 롤러들 상의 대상물을 상기 제 1 롤러들 상으로 하강시키는, 버퍼 챔버. - 제 10 항에 있어서,
상기 복수의 변폭형 롤러들은 상기 픽커의 하강 경로가 확보될 수 있도록 전후진 장치에 의해 제 1 폭에서 제 2 폭으로 폭 방향 이동이 가능한, 버퍼 챔버. - 일측에 대상물 투입구가 형성되며 타측에 대상물 배출구가 형성되는 챔버 몸체;
상기 대상물 투입구를 통해 투입된 대상물의 투입 높이에서 상기 대상물 배출구를 통해 배출되는 대상물의 배출 높이까지 상기 대상물을 승하강시키도록 상기 챔버 몸체에 결합된 승하강 장치; 및
상기 대상물 투입구에서 상기 대상물 배출구까지 상기 대상물을 이송시키고, 상기 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 제어하도록 구동되는, 이송 장치;를 포함하고,
상기 챔버 몸체는, 상기 타측에 반송물 투입구가 형성되고, 상기 일측에 제 1 반송물 배출구가 형성되며 다른 타측에 제 2 반송물 배출구가 형성되고,
상기 반송물 투입구를 통해 투입된 반송물의 적어도 일부를 상기 제 1 반송물 배출구 또는 상기 제 2 반송물 배출구로 배출시키는 반송 장치를 더 포함하는, 버퍼 챔버. - 제 12 항에 있어서, 상기 반송 장치는,
상기 반송물을 상기 반송물 투입구로부터 상기 제 1 반송물 배출구 방향으로 반송하는 반송부; 및
상기 반송물의 적어도 일부를 상기 제 2 반송물 배출구로 반송하는 크로스 트랜스퍼를 포함하는, 버퍼 챔버. - 삭제
- 삭제
- 삭제
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020120069680A KR101812650B1 (ko) | 2012-06-28 | 2012-06-28 | 버퍼 챔버 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1020120069680A KR101812650B1 (ko) | 2012-06-28 | 2012-06-28 | 버퍼 챔버 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170153328A Division KR101864873B1 (ko) | 2017-11-16 | 2017-11-16 | 버퍼 챔버 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20140003770A KR20140003770A (ko) | 2014-01-10 |
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Family
ID=50140070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120069680A KR101812650B1 (ko) | 2012-06-28 | 2012-06-28 | 버퍼 챔버 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101812650B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111341709B (zh) * | 2018-12-18 | 2022-10-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 基片传输方法、控制模块和基片传输系统 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101025517B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2011-04-04 | 주식회사 야스 | 기판 이송 스피드 버퍼 챔버를 적용한 선형 증착시스템 |
-
2012
- 2012-06-28 KR KR1020120069680A patent/KR101812650B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101025517B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2011-04-04 | 주식회사 야스 | 기판 이송 스피드 버퍼 챔버를 적용한 선형 증착시스템 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20140003770A (ko) | 2014-01-10 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20120628 |
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| PG1501 | Laying open of application | ||
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| PN2301 | Change of applicant |
Patent event date: 20160415 Comment text: Notification of Change of Applicant Patent event code: PN23011R01D |
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| PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20160607 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20120628 Comment text: Patent Application |
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20170414 Patent event code: PE09021S01D |
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| E601 | Decision to refuse application | ||
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Patent event date: 20171019 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20170414 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |
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