CN101253113A - 工件搬入搬出系统及搬运装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的工件搬入搬出系统包括：搬运装置，在以大致水平姿势从下面侧支承方形板状的工件，并沿大致水平方向搬运该工件；存放盒，具备沿上下方向形成多层并具有搬运装置能通过的开口部且以大致水平姿势放置所述工件的多个放置部、形成工件的搬入搬出口的侧部和形成搬运装置能通过的进入口的底部，配置在搬运装置的上方；升降机构，使存放盒和搬运装置相对地上下升降。通过升降机构的升降动作使搬运装置进入存放盒内，用搬运装置把放置部上的工件向存放盒外部搬出，及从存放盒外部向放置部上搬入所述工件。搬运装置平面配置独立驱动的多个搬运部，多个搬运部根据所搬运的工件的大小和作为工件的搬运源及搬运地的放置部上的位置有选择地受到驱动。

Description

工件搬入搬出系统及搬运装置
技术领域
本发明涉及将玻璃基板等工件从存放盒搬出或搬入到存放盒中的系统。
背景技术
用于制造薄型显示器的玻璃基板等方形板状的工件以多层方式存放在存放盒中。而且，在工件处理时从存放盒中一张张地取出而向处理装置等搬运，另外，处理完的工件再次被搬入存放盒。在这样的设备中，需要从存放盒搬出或搬入工件的搬入搬出系统。
作为该种搬入搬出系统，众所周知例如在(日本)特开2002-167038号公报或(日本)特开2004-155569号公报中所记载的类型，即，在存放盒的下方配置有辊式输送机，通过升降存放盒，从下层侧顺次用辊式输送机把工件向存放盒外搬出或者搬入。
然而，现有的搬入搬出系统只能处理相同尺寸的工件，而为了处理不同大小的工件，需要系统整体的改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可以处理多种尺寸的工件的搬入搬出系统及搬运装置。
根据本发明，提供一种工件搬入搬出系统，其包括：搬运机构，其在以大致水平姿势从其下面侧支承方形板状的工件的同时，沿大致水平方向搬运该工件；存放盒，其具备多个放置部、侧部和底部，该多个放置部沿上下方向形成多层并具有所述搬运机构能通过的开口部且以大致水平姿势放置所述工件，该侧部形成所述工件的搬入搬出口，该底部形成所述搬运机构能通过的进入口，该存放盒配置在所述搬运机构的上方；以及升降机构，其使所述存放盒和所述搬运机构相对地上下升降；所述工件搬入搬出系统通过所述升降机构产生的升降动作使所述搬运机构进入所述存放盒内，用所述搬运机构把所述放置部上的所述工件向所述存放盒外部搬出，及从所述存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其特征在于，所述搬运机构通过平面地配设被独立驱动的多个搬运部而构成，所述多个搬运部根据所搬运的所述工件的大小和作为该工件的搬运源或搬运地的所述放置部上的位置而有选择地受到驱动。
在本发明的工件搬入搬出系统中，由于所述搬运机构通过以平面的方式配设受到独立驱动的多个搬运部而构成，所述多个搬运部根据所搬运的所述工件的大小和作为该工件的搬运源及搬运地的所述放置部上的位置而有选择地进行驱动，所以，可以搬入搬出不同大小的工件。因而，可以处理多种尺寸的工件。另外，也可以在所述存放盒的各放置部上放置多个小尺寸的工件，分别逐个地进行搬入搬出，提高所述存放盒的工件存放效率。
在本发明的优选实施方式中，采用以下结构，即，所述存放盒具有与形成所述搬入搬出口的所述侧部相向的另一侧部，而且，该另一侧部也形成所述搬入搬出口，所述搬运机构可以经由所述侧部及所述另一侧部各自的所述搬入搬出口来搬运所述工件，所述多个搬运部根据搬运的所述工件的大小、作为该工件搬运源及搬运地的所述放置部上的位置及使该工件通过的所述搬入搬出口有选择地受到驱动。根据该结构，可以从两个搬入搬出口分别搬入搬出工件，提高工件搬入搬出的效率。
另外，在本发明的优选实施方式中，采用以下结构，即，所述多个搬运部包括第一搬运部、和与所述工件的搬运方向正交的方向的宽度为所述第一搬运部的宽度的大致一半的第二搬运部，所述第一搬运部和所述第二搬运部在与所述工件的搬运方向正交的方向上配置成如下形式：两个所述第二搬运部位于两个所述第一搬运部之间。根据该结构，可以处理在所述宽度方面有至少三种尺寸的工件。
另外，在本发明的优选实施方式中，采用以下结构，即，所述升降机构使所述存放盒上下升降，所述搬运机构固定配置，所述存放盒呈长方体形状，所述升降机构以夹着所述存放盒的方式分别配设在所述存放盒的彼此相向的两侧部上，由以悬臂方式支承所述存放盒的一对升降单元构成。根据该结构，可以使系统整体的设置空间更小，而且，可以确保工件的搬入搬出口、所述搬运机构的空间更为宽阔。
另外，在本发明的优选实施方式中，采用以下结构，即，所述升降单元装备有用于检测相互的升降高度的偏差的检测机构。根据该结构，可以在升降时防止所述存放盒倾倒，使所述存放盒更加稳定地进行升降。
另外，根据本发明，提供一种搬运装置，其构成工件搬入搬出系统，该工件搬入搬出系统包括：搬运装置，其在以大致水平姿势从其下面侧支承方形板状的工件的同时，沿大致水平方向搬运该工件；存放盒，其具备多个放置部、侧部和底部，该多个放置部沿上下方向形成多层并具有所述搬运装置能通过的开口部且以大致水平姿势放置所述工件，该侧部形成所述工件的搬入搬出口，该底部形成所述搬运装置能通过的进入口，该存放盒配置在所述搬运装置的上方；以及升降机构，其使所述存放盒和所述搬运装置相对地上下升降；通过所述升降机构产生的升降动作使所述搬运装置进入所述存放盒内，用所述搬运装置把所述放置部上的所述工件向所述存放盒外部搬出，及从所述存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其特征在于，所述搬运装置通过平面地配设被独立驱动的多个搬运部而构成，所述多个搬运部根据所搬运的所述工件的大小和作为该工件的搬运源或搬运地的所述放置部上的位置而有选择地受到驱动。
附图说明
图1是表示使用了本发明的一个实施方式的工件搬入搬出系统A的工件处理设备的布置的平面图。
图2是工件搬入搬出系统A的外观立体图。
图3是存放盒20的外观立体图以及表示一层部分的放置部的图。
图4是表示不同大小的玻璃基板的放置状态的图。
图5是升降装置30的外观立体图。
图6是升降装置30的分解立体图。
图7是搬运装置10的外观立体图。
图8是表示工件搬入搬出系统A的控制部40的结构的方框图。
图9是工件搬入搬出系统A的动作说明图。
图10是工件搬入搬出系统A的动作说明图。
图11是空的存放盒20和搬运装置10的平面视图以及表示特别规定各辊式输送机单元11、12的平面观看的位置的编号的图。
图12是搬出尺寸最大的玻璃基板W时的动作说明图。
图13A是搬出尺寸为玻璃基板W的1/2的玻璃基板W1及W2时的动作说明图。
图13B是搬出尺寸为玻璃基板W的1/2的玻璃基板W1及W2时的动作说明图。
图14A是搬出1/4大小的玻璃基板W1至W4时的动作说明图。
图14B是搬出1/4大小的玻璃基板W1至W4时的动作说明图。
图14C是搬出1/4大小的玻璃基板W1至W4时的动作说明图。
图15A是搬出1/6大小的玻璃基板W1至W6时的动作说明图。
图15B是搬出1/6大小的玻璃基板W1至W6时的动作说明图。
图16是表示在一层的放置部上放置了不同大小的玻璃基板的例子的图。
图17A是搬出大小不同的玻璃基板W1至3和W4及W5时的动作说明图。
图17B是搬出大小不同的玻璃基板W1至3和W4及W5时的动作说明图。
图17C是搬出大小不同的玻璃基板W1至3和W4及W5时的动作说明图。
图18A是在同时进行玻璃基板的搬出和搬入时的动作说明图。
图18B是在同时进行玻璃基板的搬出和搬入时的动作说明图。
具体实施方式
<设备的整体结构>
图1是表示使用了本发明的一个实施方式的工件搬入搬出系统A的、工件处理设备100的布置的平面图。另外，在各图中X、Y表示相互正交的水平方向，Z表示铅直方向。工件处理设备100是作为工件处理方形板状的玻璃基板的设备，包括工件搬入搬出系统A、处理装置B、带式输送机C、移载装置D。在本实施方式中，用同一个工件处理设备100处理大小不同的玻璃基板W1、W2。另外，作为工件，对于玻璃基板以外的工件也可以适用。
带式输送机C在工件搬入搬出系统A的X方向两侧分别各设置两台，各带式输送机C包括：其行进方向沿Y方向设定的两根环形皮带1、驱动缠绕环形皮带1的驱动轮转动的马达2、转动自由地支承缠绕环形皮带1的从动轮的支承部3，控制成在+Y方向、-Y方向环形皮带1的上侧部分往复行进。
工件搬入搬出系统A能沿X方向搬入搬出玻璃基板。在该实施方式的情况下，在于其X方向两侧分别各设置两台的两组带式输送机C彼此之间能搬入搬出玻璃基板，在+X方向、-X方向双方能搬入搬出玻璃基板。对工件搬入搬出系统A的详细情况将于后面叙述。处理装置B，在该实施方式的情况下，配置在带式输送机C的-X侧，接受由带式输送机C搬运的玻璃基板，实施规定的处理后交接给带式输送机C。图1中图示了多个处理装置B，但各处理装置B的处理内容既可以为不同的内容，也可以是相同的内容。
移载装置D分别设在带式输送机C和工件搬入搬出系统A或处理装置B之间，由配置在各环形皮带1之间或环形皮带和工件搬入搬出系统A及处理装置B之间的多个升降型的辊式输送机单元4 a、4b构成。各辊式输送机单元4a、4b是与构成后述的工件搬入搬出系统A的搬运装置10的辊式输送机单元11、12相同的结构，可以分别独立控制，是通过辊的转动可以沿+X方向及-X方向搬运玻璃基板的单元，同时是可以利用没有图示的升降装置沿Z方向升降的单元。在从工件搬入搬出系统A或处理装置B向带式输送机C移载玻璃基板时，移载装置D上升向+X方向或-X方向搬运玻璃基板，其后，下降向环形皮带1上移载玻璃基板。之后，使带式输送机C动作，让环形皮带1行进，搬运玻璃基板。另外，在从带式输送机C向工件搬入搬出系统A或处理装置B移载玻璃基板时，移载装置D上升，举起环形皮带1上的玻璃基板，之后，沿+X方向及-X方向对工件搬入搬出系统A或处理装置B搬运玻璃基板。
在由有关结构组成的工件处理设备100中，未处理的玻璃基板从工件搬入搬出系统A通过移载装置D及带式输送机C向处理装置B搬运，而且，处理完成的玻璃基板从处理装置B通过移载装置D及带式输送机C返回工件搬入搬出系统A。
<工件搬入搬出系统A的构成>
图2是工件搬入搬出系统A的外观立体图。工件搬入搬出系统A包括搬运装置10、配置在搬运装置10上方的存放盒20和升降装置30。
<存放盒>
在图3中，图3-1是存放盒20的外观立体图。存放盒20是能在上下方向(Z方向)上以多层的方式存放玻璃基板的盒。另外，图2及图3-1表示未存放玻璃基板的状态。在该实施方式的情况下，存放盒20由多个柱构件21a、21b和梁构件22a至22g构成大致立方体形的构架体。
柱构件21b沿X方向配置多个，同时，沿Y方向分开设置相同个数，在Y方向的各柱构件21b之间沿上下方向(Z方向)按规定的间距张设多个丝构件23。利用该丝构件23在上下方向上形成多层以大致水平姿势放置玻璃基板的放置部。图3-2是表示一层部分的放置部的图。各层的放置部由以相同高度沿X方向分开设置多个的丝构件23形成。各丝构件23之间和X方向两端的丝构件23的外方分别形成后述的搬运装置10能通过的开口部23a。在该实施方式中，由丝构件形成放置部，当然也可以采用其它方式。但是，通过使用丝构件可以使所存放的基板间的间隔变小，可以提高存放盒200的存放效率。
在图3中，图3-2表示存放盒20能存放的最大尺寸的玻璃基板W(用虚线表示)放在丝构件23上的形态，但在该实施方式中，可以在一层放置部上放置多种玻璃基板。图4是表示放置不同大小的玻璃基板的状态的图。图4-1表示放置图3-2的1/2大小的玻璃基板W的状态，各玻璃基板W放在两个丝构件23上。图4-2表示放置了图3-2的1/4大小的玻璃基板W的状态，各玻璃基板W放在两个丝构件23上。图4-3表示放置了图3-2的1/6大小的玻璃基板W的状态，各玻璃基板W放在两个丝构件23上。
返回图3-1，存放盒20的彼此相向的X方向的两侧部分别通过梁构件22a和柱构件21a呈门形开放，形成玻璃基板的搬入搬出口24。在该实施方式中，把存放盒20的X方向的两侧部作为搬入搬出口24，通过各自的搬入搬出口可以搬运玻璃基板，但也可以只把任意一个侧部作为搬入搬出口。不过，通过使存放盒20具有两个搬入搬出口，可以从各个搬入搬出口搬入搬出玻璃基板，提高了玻璃基板搬入搬出的效率。其次，存放盒20的底部由一对梁构件22d、多个梁构件22b及一个梁构件22f构成，在它们之间形成后述的搬运装置10能通过的进入口25。
<升降装置>
图5是升降装置30的外观立体图，图6是升降装置30的分解立体图。升降装置30是使存放盒20和搬运装置10相对地上下升降的装置。在该实施方式中，把搬运装置10固定，使存放盒20升降，但也可以采用固定存放盒20，使搬运装置10升降的结构。
在该实施方式的情况下，升降装置30以夹着存放盒20的方式分别配置在存放盒20相互相向的Y方向的两侧部，由以悬臂方式支承存放盒20的一对升降单元31构成。根据该结构，可以使升降单元31更薄型化，能使工件搬入搬出系统A整体的设置空间更小。另外，可以确保玻璃基板的搬入搬出口和搬运装置10的空间更宽阔。
升降单元31装备有放置存放盒20底部的梁构件22d的横梁部件311。各升降单元31的各横梁部件311通过同步地在上下方向(Z方向)上移动而使存放盒20升降。升降单元31装备有沿上下方向延伸的支柱312，在支柱312的内侧表面上固定有沿上下方向延伸的一对轨道部件313及齿轨314。在各升降单元31之间，梁构件32架设在支柱312的上端。
横梁部件311通过托架315a被固定支承在支承板315的一个侧面上。在支承板315的另一个侧面上固定能沿着轨道部件313移动的四个滑动部件316，横梁部件311及支承板315通过轨道部件313的引导而上下移动。驱动单元317由马达317a和减速机317b构成，固定支承在支承板318的一个侧面上。减速机317b的输出轴贯通支承板318而与配置在支承板318的另一侧面上的小齿轮319a连接。
支承板315和支承板318隔开规定间隔地被相互固定，在支承板315和支承板318的空隙中配置小齿轮319b至319d。小齿轮319b至319d可转动地轴支承在支承板315和支承板318之间，小齿轮319b及319d跟随小齿轮419a的转动而转动。小齿轮319c跟随小齿轮319b的转动而转动。小齿轮319b至319d是彼此规格相同的小齿轮，两个小齿轮319c及319d与各齿轨314啮合。
于是，当驱动单元317驱动时，小齿轮319a转动，由其驱动力使驱动单元317、支承板315及318、滑动部件316及横梁部件311呈一体地向上方或下方移动，可以使放置在横梁部件311上的存放盒20升降。在各升降单元31中，检测横梁部件311升降高度相互的偏差的传感器311a设在横梁部件311的端部。
传感器311a例如是装备有发光部和受光部的光传感器，如图5所示，判定是否互相向Y方向照射光并接受了光。在接受了光时，横梁部件311相互间的升降高度没有偏差，而在没有接受到光时，升降高度则存在偏差。若用传感器311a检测出升降高度的偏差，则可以利用马达317a的控制来进行控制以消除偏差。通过设置传感器311a来控制横梁部件311的升降高度的偏差，可以防止在升降时存放盒20倾斜，使存放盒20更稳定地升降。
另外，设在各横梁部件311上的两个传感器311a也可以做成这样的构成，即，其中一方具有发光部和受光部中的任意一方，而其另一方具有发光部和受光部的另一方。另外，不限于光传感器，也可以采用其它的传感器。
<搬运装置>
图7是搬运装置10的外观立体图。在该实施方式中，搬运装置10如此构成，即，构成被独立驱动的搬运部的多个辊式输送机单元11、12在X-Y平面上以平面方式配设。在该实施方式中，采用了辊式输送机方式，但也可以用其它搬运方式，例如带式输送机方式。各辊式输送机单元11、12各自具备：驱动箱11a、12a，轴承座11b、12b，转动自由地支承在驱动箱11a、12a和轴承座11b、12b之间的多个辊11c、12c。各辊11c、12c由轴部和圆盘部构成，其轴方向被设定在与玻璃基板的搬运方向(X方向)正交的Y方向上，绕Y方向的轴芯正转、反转。
各辊11c、12c的圆盘部的上面形成搬运玻璃基板的搬运面，以大致水平姿势对玻璃基板从其下面侧进行支承，同时，通过其转动沿大致水平方向(在该实施方式中为+X方向、-X方向)搬运玻璃基板。在驱动箱11a、12a中内装有没有图示的马达和把该马达的驱动力传递给各辊11c、12c的动力传递机构。另外，在驱动箱11a、12a上面的X方向两端部设有检测玻璃基板的传感器11a′、12a′。传感器11 a′、12a′例如是反射型的光传感器，根据由传感器11a′、12a′得到的玻璃基板的检测结果并以此为契机，开始或停止辊11c、12c的转动。
各辊式输送机单元11、12分别以不与存放箱20干涉的方式设有适当空隙而配置，通过由升降装置30进行的存放箱20的下降，从存放箱20的进入口25进入存放箱20内，另外，穿过由丝构件23形成的各放置部的开口部23a到达成为搬运对象的层的放置部。
另外，辊式输送机12将与玻璃基板的搬运方向(X方向)正交的Y方向的宽度设定为辊式输送机单元11的Y方向的宽度的大致一半，辊式输送机单元11和辊式输送机单元12在与玻璃基板的搬运方向(X方向)正交的Y方向上配设成在两个辊式输送机单元11之间定位两个辊式输送机单元12。若向+Y方向观看，则为如下排列：辊式输送机单元11→辊式输送机单元12→辊式输送机单元12→辊式输送机单元11。
由此，如图3-2及图4-1至图4-3所示，可以用一个搬运装置10搬运Y方向宽度不同的各种尺寸的玻璃基板，可以处理至少三种Y方向宽度的工件。即，若驱动所有的辊式输送机单元11、12，就可以搬运图3-2或图4-1所示的Y方向的宽度的玻璃基板。其次，若在Y方向分割成两个，按辊式输送机单元11及12的两个组合各自独立驱动，就可以个别地搬运图4-2中所示的Y方向宽度的玻璃基板。
进而，若在Y方向分割成三个，通过辊式输送机单元11、两个辊式输送机单元12和辊式输送机单元11各自独立驱动，就可以个别地搬运图4-3中所示的Y方向宽度的玻璃基板。另外，与玻璃基板接触的辊的数量相同，可以以均等的搬运力搬运各玻璃基板，可以稳定地搬运各玻璃基板。
<控制部>
图8是表示工件搬入搬出系统A的控制部40的结构的方框图。控制部40具有掌管工件搬入搬出系统A的整体控制的CPU41、在提供CPU41的工件区域的同时存储可变数据等的RAM42、和存储控制程序、控制数据等固定数据的ROM43。RAM42、ROM43也可以采用其它的存储手段。
输入接口(I/F)44是CPU41与各种传感器(传感器311a、11a′、12a′)的接口，CPU41通过输入I/F44取得各种传感器的检测结果。
输出接口(I/F)45是CPU41与各种马达(马达317a、驱动箱11a及12a内的马达)的接口，CPU41通过输出I/F45控制各种马达。
在此，辊式输送机单元11、12的辊11c、12c的转速控制、即驱动箱11a及12a内的马达的转速控制可以采用变换器控制或伺服控制等。通过采用变换器控制和伺服控制，可以微调各马达的转速，通过控制可以修正控制各辊式输送机单元11、12的机械误差。由此，可以更加正确地同步控制辊式输送机单元11、12的辊11c、12c的转速。
另外，升降单元31的马达317a的转速控制也可以采用变换器控制或伺服控制。由于要求同步控制，即一对升降单元31相对于与存放盒20的各放置部对应的多个停止位置频繁且同步地反复停止、移动，故特别希望采用沿着空间上的连续的线移动的控制方法(所谓的CP(Continuous Path)控制)。另外，在该实施方式中，作为升降单元31的驱动源使用马达，但也可以利用油压或空气压等流体压动作的致动器。
通信接口(I/F)46是控制工件处理设备100整体的主机5和CPU41的接口，CPU41根据来自主机5的指令来控制工件搬入搬出系统A。
<工件搬入搬出系统A的动作>
对由工件搬入搬出系统A进行的玻璃基板的搬入搬出动作进行说明。首先，对用升降装置30产生的存放盒20的升降动作和伴随升降动作的由搬运装置10产生的玻璃基板的搬入搬出动作进行说明。在该实施方式中，用由升降装置30产生的升降动作使搬运装置10进入存放盒20内，由搬运装置10向存放盒20外部搬出放置部上(即各层丝构件23上)的玻璃基板，以及从存放盒20外部向放置部上搬入玻璃基板。图9-1及图10是工件搬入搬出系统A的动作说明图。在此，对玻璃基板的搬出动作进行说明，而关于搬入动作大概上为与其相反的顺序。
图9-1表示存放盒20位于搬运装置10的上方、搬运装置10尚未进入存放盒20的状态。在存放盒20的各层上放置玻璃基板W。玻璃基板W从较下层搬出。在图9-1状态的场合，最下层的玻璃基板W被最早搬出。
因此，由升降装置30使存放盒20如图9-2所示那样下降，使搬运装置10进入存放盒20内，搬运装置10的搬运面做成位于比最下层的放置部更高一些的位置。由此，最下层的玻璃基板利用搬运装置10被从最下层的放置部抬起而被放置在搬运装置10上。此后，使搬运装置10的辊11c、12c转动，以大致水平姿势搬运玻璃基板。图9-3表示沿+X方向搬出玻璃基板的中途的形态，图9-4表示沿-X方向搬出玻璃基板的中途的形态。
利用同样的顺序，在各层单位中反复进行存放盒20的下降、玻璃基板的搬出。图10-1表示反复进行存放盒20的下降和玻璃基板的搬出、存放盒20下降到搬运装置10进入存放盒20的中程位置后的形态，图10-2表示在图10-1的位置沿-X方向搬出玻璃基板的中途的形态。
另外，图10-3表示进一步反复进行存放盒20的下降、玻璃基板的搬出、存放盒20下降到搬运装置10进入存放盒20的上方的位置的形态，图10-4表示在图10-3的位置沿+X方向搬出玻璃基板的中途的形态。这样就会搬出直到最上层的玻璃基板。在把玻璃基板搬入空的存放盒20中时，从最上层的放置部起按顺序搬入玻璃基板，存放盒20会顺次上升。
其次，对大小不同的各种玻璃基板搬入搬出时的动作进行说明。在该实施方式中，根据搬运的玻璃基板的大小和作为该玻璃基板搬运源(搬出时)或搬运地(搬入时)的放置部上的位置以及使该玻璃基板通过的搬入搬出口，有选择地驱动各辊式输送机单元11、12。另外，把搬入搬出口做成一处时，根据搬运的玻璃基板的大小和作为该玻璃基板搬运源(搬出时)或搬运地(搬入时)的放置部上的位置，有选择地驱动各辊式输送机单元11、12。
在此，对玻璃基板的搬出动作进行说明，而关于搬入动作大概为与其相反的顺序。在图11中，图11-1是空的存放盒20和搬运装置10的平面视图。另外，梁构件22c的位置是平面视时的丝构件23的配置位置。为便于说明，对各辊式输送机单元11、12，如图11-2那样赋予编号11～16(辊式输送机单元11)、编号21～26(辊式输送机单元12)、编号31～36(辊式输送机单元12)、编号41～46(辊式输送机单元11)，以下按图11-2的编号特别规定各辊式输送机单元11、12来进行说明。
图12是搬出最大尺寸的玻璃基板W时的动作说明图。图12-1表示玻璃基板W放置在某一层的放置部(丝构件23)上的状态。由于玻璃基板W位于所有编号的辊式输送机单元上，故在该搬出中，所有的辊式输送机单元都成为驱动对象。图12-2表示从+X方向侧的搬入搬出口搬出玻璃基板W时的搬运中途的动作，图12-3表示从-X方向侧的搬入搬出口搬出玻璃基板W时的搬运中途的动作。根据搬运方向来决定辊式输送机单元的辊的转动方向。玻璃基板W通过的辊式输送机单元可以顺次停止其驱动。例如图12-2的场合，编号11、21、31及41的辊式输送机单元可以停止驱动。
图13A及图13B是搬出图12-1中表示的玻璃基板W的1/2大小的玻璃基板W1及W2时的动作说明图。在图13A中，图13-1表示两张玻璃基板W1及W2放置在某一层的放置部(丝构件23)上的状态，玻璃基板W1位于放置部的左半部位置上，玻璃基板W2位于放置部的右半部位置上。由此，玻璃基板W1位于编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元上，玻璃基板W2位于编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元上。
作为搬出的方式，大致区分为在+X方向侧的搬入搬出口和-X方向侧的搬入搬出口各自分别搬出玻璃基板W1及W2的方式(反方向搬运)、和从任意一个搬入搬出口搬出玻璃基板W1及W2的方式(同方向搬运)。另外，也可大致区分为一张张搬出玻璃基板W1及W2的方式(逐次搬运)、和同时搬出玻璃基板W1及W2的方式(同时搬运)。这些搬出方式可以任意组合。
在图13A中，图13-2及图13-3是表示按反方向搬运逐次搬运的例子的图。此时，首先向任意方向(+X方向、-X方向)搬运任意一个玻璃基板W1及W2。在图13-2的例子中，选择编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元作为驱动对象，向-X方向搬出玻璃基板W1。玻璃基板W1的搬出完成时，如图13-3的例子所示，选择编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，向+X方向搬出玻璃基板W2。在同时搬运时，同时驱动编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元和编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元，且使辊的转动方向相反。
在图13B中，图13-4及图13-5是表示按同方向搬运逐次搬运的例子的图。此时，首先向任意方向(+X方向、-X方向)搬运任意一个玻璃基板W1及W2。在图13-4的例子中，选择编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元作为驱动对象，向-X方向搬出玻璃基板W1。玻璃基板W1的搬出完成时，如图13-5的例子所示，选择编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元和编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元、即所有的辊式输送机单元作为驱动对象，也向-X方向搬出玻璃基板W2。在同时搬运时，同时驱动编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元和编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元，且使辊的转动方向相同。
图14A至图14C是搬出图12-1中所示的玻璃基板W的1/4大小的玻璃基板W1至W4时的动作说明图。在图14A中，图14-1表示四张玻璃基板W1至W4放置在某一层的放置部(丝构件23)上的状态，玻璃基板W1位于放置部的左上半部位置上，玻璃基板W2位于放置部的左下半部位置上，玻璃基板W3位于放置部的右上半部位置上，玻璃基板W4位于放置部的右下半部位置上。而且，玻璃基板W1位于编号11～13、编号21～23的辊式输送机单元上，玻璃基板W2位于编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元上，玻璃基板W3位于编号14～16、编号24～26的辊式输送机单元上，玻璃基板W4位于编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元上。
作为搬出方式，有上述的反方向搬运、同方向搬运、逐次搬运和同时搬运。同时搬运进一步分为所有四张同时搬运的情况和两张或三张同时搬运的情况。
在图14A中，图14-2及图14-3是表示按反方向搬运同时搬运两张的例子的图。此时，首先如图14-2所示那样，玻璃基板W1从-X方向的搬入搬出口、玻璃基板W4从+X方向的搬入搬出口分别搬出。为此，选择编号11～13、编号21～23的辊式输送机单元作为驱动对象向-X方向搬出玻璃基板W1，另外，选择编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象向+X方向搬出玻璃基板W4。
接着，如图14-3所示，选择编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元作为驱动对象向-X方向搬出玻璃基板W2，选择编号14～16、编号24～26的辊式输送机单元作为驱动对象向+X方向搬出玻璃基板W3。
在图14B中，图14-4是表示按反方向搬运同时搬运四张的例子的图。在该例子的场合，选择所有的辊式输送机单元作为驱动对象，且在驱动编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元和编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元中驱动辊向反方向转动。玻璃基板W1及W2从-X方向侧的搬入搬出口搬出，玻璃基板W3及W4从+X方向侧的搬入搬出口搬出。
图14B的图14-5及图14C的图14-6是表示按同方向搬运逐次搬运的例子的图。在该例子的情况下，按玻璃基板W3→玻璃基板W4→玻璃基板W1→玻璃基板W2的顺序从+X方向侧的搬入搬出口搬出，在玻璃基板W1搬出的中途开始玻璃基板W2的搬出。之后，首先选择编号14～16、编号24～26的辊式输送机单元作为驱动对象搬出玻璃基板W3。其次，选择编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W4。接着，选择编号11～13、编号21～23的辊式输送机单元和编号14～16、编号24～26的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W1。在其搬出中途，进一步选择编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元和编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W2。
图14C的图14-7是表示按同方向搬运同时搬运两张的例子的图。在该例子的情况下，按玻璃基板W3及W4→玻璃基板W1及W2的顺序从+X方向侧的搬入搬出口搬出。之后，首先选择编号14～16、编号24～26的辊式输送机单元和编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，同时搬出玻璃基板W3及W4。接着，选择所有的辊式输送机单元作为驱动对象，同时搬出玻璃基板W1及W2。
图15A及图15B是搬出图12-1中表示的玻璃基板W的1/6大小的玻璃基板W1及W6时的动作说明图。在图15A中，图15-1表示六张玻璃基板W1至W6放置在某一层的放置部(丝构件23)上的状态，玻璃基板W1位于放置部的左上层的位置上，玻璃基板W2位于放置部的左中层的位置上，玻璃基板W3位于放置部的左下层的位置上，玻璃基板W4位于放置部的右上层的位置上，玻璃基板W5位于放置部的右中层的位置上，玻璃基板W6位于放置部的右下层的位置上。
而且，玻璃基板W1位于编号11～13的辊式输送机单元上，玻璃基板W2位于编号21～23、31～33的辊式输送机单元上，玻璃基板W3位于编号41～43的辊式输送机单元上，玻璃基板W4位于编号14～16的辊式输送机单元上，玻璃基板W5位于编号24～26、34～36的辊式输送机单元上，玻璃基板W6位于编号44～46的辊式输送机单元上。
作为搬出方式，有上述的反方向搬运、同方向搬运、逐次搬运和同时搬运。同时搬运进一步分为六张同时搬运的情况和同时搬运两张到五张的情况。
在图15A中，图15-2是表示按反方向搬运同时搬运两张的例子的图。在该例子的情况下，首先向反方向同时搬运两张玻璃基板W1和W4，其次是搬运玻璃基板W2和W5，最后是搬运玻璃基板W3和W6。为此，首先选择编号11～13的辊式输送机单元和编号14～16的辊式输送机单元作为驱动对象，向-X方向搬出玻璃基板W1，向+X方向搬出玻璃基板W4。其次，选择编号21～23及编号31～33的辊式输送机单元和编号24～26及编号34～36的辊式输送机单元作为驱动对象，向-X方向搬出玻璃基板W2，向+X方向搬出玻璃基板W5。最后，选择编号41～43的辊式输送机单元和编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，向-X方向搬出玻璃基板W3，向+X方向搬出玻璃基板W6。
在图15B中，图15-3是表示在按反方向搬运同时搬运六张的例子的图。在该例子的情况下，玻璃基板W1至W3向-X方向、玻璃基板W4至W6向+X方向同时搬出。为此，选择所有的辊式输送机单元作为驱动对象，利用编号11～13、编号21～23、编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元和编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元驱动辊向反方向转动。
在图15B中，图15-4是表示按同方向搬运逐次搬运的例子的图。在该例的情况下，按玻璃基板W4→玻璃基板W5→玻璃基板W6→玻璃基板W1→玻璃基板W2→玻璃基板W3的顺序从+X方向侧的搬入搬出口搬出，在一个前面的玻璃基板搬出的中途开始下一个玻璃基板的搬出。
之后，首先选择编号14～16的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W4。其次，选择编号24～26及编号34～36的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W5。再次，选择编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W6。接着，选择编号11～16的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W1。其次，选择编号21～26及编号31～36的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W2。最后，选择编号41～46的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W3。
在图15B中，图15-5是表示按同方向搬运同时搬运三张的例子的图。在该例子的情况下，按玻璃基板W4至6→玻璃基板W1至3的顺序从+X方向侧的搬入搬出口搬出。之后，首先选择编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，同时搬运玻璃基板W4至W6。接着，选择所有的辊式输送机单元作为驱动对象，同时搬运玻璃基板W1至W3。
其次，在上述各例子中，表示了在一层放置部搬出相同尺寸的玻璃基板的例子，但也可以在一层放置部放置不同尺寸的玻璃基板，分别进行搬出。图16是表示在一层放置部上放置了不同大小的玻璃基板的例子的图，图16-1至图16-3表示放置两种的情况，图16-4表示放置三种的情况。
在图16-1的例子中，在一层放置部上混合放置有图12-1中所示的玻璃基板W的1/6大小的玻璃基板W1至W3和图12-1中所示的玻璃基板W的1/4大小的玻璃基板W4及W6。在图16-2的例子中，在一层放置部上混合放置有图12-1中所示的玻璃基板W的1/6大小的玻璃基板W1至W3和图12-1中所示的玻璃基板W的1/2大小的玻璃基板W4。在图16-3的例子中，在一层放置部上混合放置有图12-1中所示的玻璃基板W的1/2大小的玻璃基板W1和图12-1中所示的玻璃基板W的1/4大小的玻璃基板W2及W3。在图16-4的例子中，在一层放置部上混合放置有图12-1中所示的玻璃基板W的1/6大小的玻璃基板W1、图12-1中所示的玻璃基板W的1/4大小的玻璃基板W2和图12-1中所示的玻璃基板W的1/2大小的玻璃基板W3。
参照图17A到图17C说明这样在一层放置部上放置不同尺寸的玻璃基板时的搬出动作。在此，以图16-1的情况为例进行说明。
在图17A中，如图17-1所示那样，玻璃基板W1位于编号11～13的辊式输送机单元上，玻璃基板W2位于编号21～23、31～33的辊式输送机单元上，玻璃基板W3位于编号41～43的辊式输送机单元上，玻璃基板W4位于编号14～16、编号24～26的辊式输送机单元上，玻璃基板W5位于编号34～36、44～46的辊式输送机单元上。
作为搬出方式，具有上述的反方向搬运、同方向搬运、逐次搬运、同时搬运。同时搬运进一步可以分为同时搬运全部五张的情况和同时搬运两张到四张的情况。
在图17A中，图17-2是表示按反方向搬运进行逐次搬运的例子。在该例子中，玻璃基板W1至W3在-X方向逐次搬运，玻璃基板W4及W5在+X方向逐次搬运。作为驱动对象被选择的辊式输送机单元，玻璃基板W1是编号11～13，玻璃基板W2是编号21～23、31～33，玻璃基板W3是编号41～43，玻璃基板W4是编号14～16、编号24～26，玻璃基板W5是编号34～36、44～46。
在图17B中，图17-3是表示按反方向搬运进行同时搬运的例子。在该例子中，玻璃基板W1至W3在-X方向同时搬运，玻璃基板W4及W5在+X方向同时搬运。作为驱动对象被选择的辊式输送机单元，玻璃基板W1是编号11～13，玻璃基板W2是编号21～23、31～33，玻璃基板W3是编号41～43，玻璃基板W4是编号14～16、编号24～26，玻璃基板W5是编号34～36、44～46。
在图17B中，图17-4是表示按同方向搬运逐次搬运的例子的图。该例子的情况下，按玻璃基板W4→玻璃基板W5→玻璃基板W1→玻璃基板W2→玻璃基板W3的顺序从+X方向侧的搬入搬出口搬出，在一个前面的玻璃基板搬出的中途开始下一个玻璃基板的搬出。
之后，首先选择编号14～16和24～26的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W4。其次，选择编号34～36及编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W5。接着，选择编号11～16的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W1。再次，选择编号21～26及编号31～36的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W2。最后，选择编号41～46的辊式输送机单元作为驱动对象，搬出玻璃基板W3。
在图17C中，图17-5是表示按同方向搬运同时搬运两张、三张的例子的图。在该例子的情况下，按玻璃基板W4及5→玻璃基板W1至3的顺序从+X方向侧的搬入搬出口搬出。之后，首先选择编号14～16、编号24～26、编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，同时搬运玻璃基板W4及W5。接着，选择所有的辊式输送机单元作为驱动对象，同时搬运玻璃基板W1至W3。
在图17C中，图17-6是表示按反方向搬运同时搬运四张的例子的图。在该例子的情况下，按玻璃基板W1至W4→玻璃基板W5的顺序从-X方向侧的搬入搬出口搬出玻璃基板W1至W3及W5，从+X方向侧的搬入搬出口搬出玻璃基板W4。并且，首先选择编号11～13、编号21～23、编号31～33及编号41～43的辊式输送机单元和编号14～16、编号24～26辊式输送机单元作为驱动对象，搬运玻璃基板W1至玻璃基板W4。接着，选择编号31～36及编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象，搬运玻璃基板W5。
这样，在该实施方式中，通过根据所搬运的玻璃基板的大小、作为该玻璃基板的搬运源的放置部的位置和使该玻璃基板通过的搬入搬出口，有选择地驱动各辊式输送机单元11、12，从而可以搬出各种大小的玻璃基板，其搬运方式也可以选择各种方式。在向存放盒20搬入玻璃基板时，只要确定玻璃基板的大小和成为搬运地的放置部上的位置及搬入搬出口，就可以确定玻璃基板所应通过的各辊式输送机单元11、12，通过有选择地驱动所确定的各辊式输送机单元11、12，可以搬入各种大小的玻璃基板。
其次，对同时进行玻璃基板的搬出和搬入的情况进行说明。图18A及图18B是在同时进行玻璃基板的搬出和搬入时的动作说明图。在此，举例说明图12-1所示的玻璃基板W的1/6大小的玻璃基板。
在图18A中，图18-1表示玻璃基板W4至W6放置在放置部上、此后向存放盒20外搬出的玻璃基板，示出了玻璃基板W1至W3此后向存放盒20内的左半部的位置搬入的形态。
玻璃基板W4及W6各自放置在编号14～16、编号24～26及编号34～36、编号44～46的辊式输送机单元上。玻璃基板W1至W3各自被搬入到编号11～13、编号21～23及编号31～33、编号41～43的辊式输送机单元上。
首先，对通过同时搬运进行搬运的情况进行说明，作为驱动对象选择所有的辊式输送机单元，向同方向转动驱动。在图18A中，图18-2表示通过向+X方向搬运玻璃基板而搬出玻璃基板W4至W6、搬入玻璃基板W1至W3的途中的形态。在图18A中，图18-3表示搬运后的形态，玻璃基板W4至W6向存放盒20外搬出，玻璃基板W1至W3向存放盒20内搬入。
在图18B中，图18-4及图18-5表示同时进行玻璃基板的搬出和搬入时的其它的动作例，搬出玻璃基板W1、W2、W4及W6，向左下层搬入玻璃基板W3，向右中层搬入玻璃基板W5。
此时，为了搬出玻璃基板W1、W2、W4及W6，选择编号11～13、编号21～23及编号31～33、编号14～16、编号44～46的辊式输送机单元作为驱动对象。另外，为了搬入玻璃基板W3及W5，选择编号41～43、编号24～26及编号34～36的辊式输送机单元作为驱动对象。
并且，玻璃基板W1、W2及W5向-X方向搬运，玻璃基板W3、W4及W6向+X方向搬运。由此，玻璃基板W1及W2向-X方向搬出，玻璃基板W4及W6向+X方向搬出。另外，玻璃基板W3及W5分别向左下层、右中层搬入。
如以上所述那样，在本实施方式中，搬运装置10通过平面地配置了被独立驱动的多个辊式输送机单元11、12而构成，由于多个辊式输送机单元11、12根据所搬运的玻璃基板的大小和作为玻璃基板的搬运源(搬出时)或搬运地(搬入时)的放置部上的位置有选择地进行驱动，故可以搬入搬出不同大小的玻璃基板。因而，可以处理多种大小的工件。另外，在存放盒20的各放置部上也可以如图4-1至图4-3所示那样放置多个小尺寸的工件，各自个别地进行搬入搬出，提高存放盒20的玻璃基板的存放效率。

Claims (6)

1.一种工件搬入搬出系统，该工件搬入搬出系统包括：
搬运机构，该搬运机构以大致水平姿势对方形板状的工件从其下面侧进行支承，而且，沿大致水平方向搬运该工件；
存放盒，该存放盒具备多个放置部、侧部和底部；该多个放置部沿上下方向形成多层，具有所述搬运机构能通过的开口部，而且以大致水平姿势放置所述工件；该侧部形成所述工件的搬入搬出口；该底部形成所述搬运机构能通过的进入口；所述存放盒配置在所述搬运机构的上方；以及
升降机构，该升降机构使所述存放盒和所述搬运机构相对地上下升降；
通过由所述升降机构产生的升降动作使所述搬运机构进入所述存放盒内，利用所述搬运机构将所述放置部上的所述工件向所述存放盒外部搬出，以及从所述存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其特征在于，
所述搬运机构通过平面地配设被独立驱动的多个搬运部而构成；
所述多个搬运部根据所搬运的所述工件的大小和作为该工件的搬运源或搬运地的所述放置部上的位置而有选择地受到驱动。
2.如权利要求1所述的工件搬入搬出系统，其特征在于，所述存放盒具有与形成所述搬入搬出口的所述侧部相向的另一侧部，而且，该另一侧部也形成所述搬入搬出口；
所述搬运机构能够经由所述侧部以及所述另一侧部各自的所述搬入搬出口搬运所述工件；
所述多个搬运部根据所搬运的所述工件的大小、作为该工件搬运源或搬运地的所述放置部上的位置以及使该工件通过的所述搬入搬出口而有选择地受到驱动。
3.如权利要求1所述的工件搬入搬出系统，其特征在于，所述多个搬运部包括第一搬运部、和与所述工件的搬运方向正交的方向的宽度为所述第一搬运部宽度的大致一半的第二搬运部；
所述第一搬运部和所述第二搬运部在与所述工件的搬运方向正交的方向上如此配置，即，使两个所述第二搬运部位于两个所述第一搬运部之间。
4.如权利要求1所述的工件搬入搬出系统，其特征在于，所述升降机构使所述存放盒上下升降，所述搬运机构被固定配置；
所述存放盒呈长方体形状；
所述升降机构以夹着所述存放盒的方式分别配设在所述存放盒的相互相向的两侧部，由以悬臂方式支承所述存放盒的一对升降单元构成。
5.如权利要求4所述的工件搬入搬出系统，其特征在于，所述升降单元装备有检测相互的升降高度的偏差的检测机构。
6.一种搬运装置，该搬运装置构成工件搬入搬出系统，所述工件搬入搬出系统包括：
所述搬运装置，该搬运装置以大致水平姿势对方形板状的工件从其下面侧进行支承，而且，沿大致水平方向搬运该工件；
存放盒，该存放盒具备多个放置部、侧部和底部；该多个放置部沿上下方向形成多层，具有所述搬运装置能通过的开口部，而且以大致水平姿势放置所述工件；该侧部形成所述工件的搬入搬出口；该底部形成所述搬运装置能通过的进入口；所述存放盒配置在所述搬运装置的上方；以及
升降机构，该升降机构使所述存放盒和所述搬运装置相对地上下升降；
通过由所述升降机构产生的升降动作使所述搬运装置进入所述存放盒内，利用所述搬运装置将所述放置部上的所述工件向所述存放盒外部搬出，以及从所述存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其特征在于，
所述搬运装置通过平面地配设被独立驱动的多个搬运部而构成；
所述多个搬运部根据所搬运的所述工件的大小和作为该工件的搬运源或搬运地的所述放置部上的位置而有选择地受到驱动。
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